immersion programとは 意味・読み方・使い方

CLEANING METHOD, IMMERSION EXPOSURE DEVICE, DEVICE MANUFACTURING METHOD, PROGRAM AND RECORDING MEDIUM例文帳に追加

クリーニング方法、液浸露光装置、デバイス製造方法、プログラム、及び記録媒体 - 特許庁

To provide a system, a method, and a program that measure the temperature of an immersion fluid and correct changes of immersion fluid temperatures.例文帳に追加

液浸流体の温度を測定し、液浸流体温度の変化を補償するシステム、方法及びコンピュータプログラムを提供することに関する。 - 特許庁

CLEANING DEVICE AND CLEANING METHOD OF IMMERSION EXPOSURE, AND COMPUTER PROGRAM AND MEMORY MEDIUM例文帳に追加

液浸露光用洗浄装置および洗浄方法、ならびにコンピュータプログラムおよび記憶媒体 - 特許庁

PROCESSING CONDITION DETERMINING METHOD AND DEVICE OF COATING FILM FOR LIQUID IMMERSION EXPOSURE, AND COMPUTER PROGRAM例文帳に追加

液浸露光用塗布膜の処理条件決定方法および処理条件決定装置、ならびにコンピュータプログラム - 特許庁

To provide a method for correcting an exposure parameter of an immersion lithographic apparatus, and to provide a device and/or a computer program product.例文帳に追加

浸漬式リソグラフィ装置の露光パラメータを補正するための方法、装置及び／又はコンピュータ・プログラム製品を提供する。 - 特許庁

AIR POCKET GENERATION SIMULATION METHOD IN IMMERSION-PROCESSED OBJECT AND COMPUTER-EXECUTABLE PROGRAM EXECUTING SIMULATION METHOD例文帳に追加

被浸漬処理物における空気溜まり発生シミュレーション方法およびこのシミュレーション方法を実行するコンピュータが実行可能なプログラム - 特許庁

SIMULATION METHOD OF IMMERSION LIQUID DISCHARGE TIME IN VEHICLE BODY, AND COMPUTER-IMPLEMENTED PROGRAM FOR CARRYING OUT SIMULATION METHOD例文帳に追加

車体ボディにおける浸漬液排出時間のシミュレーション方法およびこのシミュレーション方法を実行するコンピュータが実行可能なプログラム - 特許庁

METHOD FOR SIMULATION OF AIR ORBIT IN IMMERSION TREATMENT OF OBJECT MATTER AND COMPUTER-READABLE PROGRAM FOR PERFORMING SIMULATION METHOD THEREOF BY COMPUTER例文帳に追加

被浸漬処理物における空気軌道のシミュレーション方法およびこのシミュレーション方法を実行するコンピュータが実行可能なプログラム - 特許庁