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immersion techniqueとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 液浸法
「immersion technique」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 20件
To provide a technique for stably holding immersion liquid on an objective lens.例文帳に追加
浸液を対物レンズ上に安定して保持する技術を提供する。 - 特許庁
To provide a novel and useful technique to keep a final surface of a projection optical system in a liquid immersion state or to generate the liquid immersion state, in an exposure device to which a liquid immersion method is applied.例文帳に追加
液浸法を適用した露光装置において、投影光学系の最終面を液浸状態に維持し、または当該液浸状態を生成するための新規かつ有用な技術を提供する。 - 特許庁
To provide a technique for highly precisely sensing presence or absence of liquid immersion without excessively complicating the system.例文帳に追加
過度にシステムの複雑化を伴うことなく、液浸の有無を高精度に検出する技術を提供する。 - 特許庁
To provide a nitrogen absorption preventing method more effective than the conventional air infiltration preventing technique through an RH (Ruhrstahl-Heraeus) immersion tube.例文帳に追加
従来のＲＨ浸漬管からの空気侵入防止技術より効果的な吸窒防止方法を提供する。 - 特許庁
To provide a resist composition for immersion exposure which inhibits elution into an immersion medium and does not impair the function of resist in an immersion exposure technique, has a high contact angle to the immersion medium, and is capable of forming a fine resist pattern, and a method for manufacturing a semiconductor device using the same.例文帳に追加
液浸露光技術において、液浸媒体への溶出を抑制してレジストの機能を損なわず、前記液浸媒体に対して高い接触角を有し、微細なレジストパターンを形成可能な液浸露光用レジスト組成物、及びそれを用いた半導体装置の製造方法の提供。 - 特許庁
To provide a technique for improving throughput, and the manufacturing yield of a semiconductor device in a immersion projection exposure technique using an F_2 laser.例文帳に追加
Ｆ_２レーザを用いた液浸投影露光技術において、スループットの向上および半導体装置の製造歩留まりを向上することができる技術を提供する。 - 特許庁
To provide a technique capable of maintaining a final surface of a projection optical system, in an immersed state, or in a new and useful for generating the immersion state, in an exposure apparatus that uses immersion method.例文帳に追加
液浸法を適用した露光装置において、投影光学系の最終面を液浸状態に維持し、または当該液浸状態を生成するための新規かつ有用な技術を提供する。 - 特許庁
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「immersion technique」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 20件
To provide a technique for melting a Ti-containing ferritic stainless steel without clogging of immersion nozzle and obtaining a cast slab free from surface defects.例文帳に追加
Ti含有フェライト系ステンレス鋼を浸漬ノズル閉塞なく溶製し、かつ表面欠陥のない鋳片を得ることのできる技術を開発する。 - 特許庁
To provide a particle removal technique wherein in an immersion type substrate processing apparatus the working load of an operator is light and an apparatus operation rate is not lowered.例文帳に追加
浸漬型の基板処理装置において、オペレータの作業負担が軽く、装置稼動率を低下させることもないパーティクル除去技術を提供する。 - 特許庁
Solutions are described for adoption of immersion lithography technique into the optical maskless lithography, and in particular, the present invention provides one or more solutions to reduce time when a liquid for liquid immersion exposure is in contact with prescribed part of a top surface of the substrate during imaging.例文帳に追加
マスクレス光リソグラフィに液浸リソグラフィ技術を採用する場合の解決法を説明し、特に、像形成中に液浸露光用の液体が基板上面の所定部分に接触する時間を減少させる１つ以上の解決法を提供する。 - 特許庁
A substance (e.g. a coating material, a culture medium, an organic or inorganic chemical, or a natural extract) having been made easily flowable is impregnated by a technique such as immersion, permeation, or vacuum into the pores of a porous metal-sintered compact made by a powder-metallurgical technique.例文帳に追加
粉末冶金の手法により製造した、多孔質の金属焼結体の空孔部分へ流動しやすく加工した塗料、培地、有機、無機の化学品、天然抽出物等を浸漬、浸透、真空などの手法で含浸させる。 - 特許庁
To provide an immersion jig constituted so as to perform the fixing and blocking treatment of a plurality of kinds of antibodies, without requiring an advanced technique by variously changing the length of a probe for immunoassay to be immersed in a solution.例文帳に追加
溶液に浸漬させる免疫測定用プローブの長さを様々に変えることにより、高度な技術を必要とせず、複数種の抗体の固定・ブロック処理を行う。 - 特許庁
To provide a F_2 resist composition suitable for the liquid immersion lithography process which is a new lithography technique, and a resist pattern forming method using this F_2 resist composition.例文帳に追加
新たなリソグラフィー技術である液浸露光プロセスに用いて好適なＦ_2レジスト組成物と、このＦ_2レジスト組成物を用いたレジストパターン形成方法とを提供する。 - 特許庁
To provide an immersion lithography technique capable of removing influence of atmospheric pressure variation and dissolved gas variation of a factory facility, and of preventing micro-bubbles due to the dissolved gas and degradation of optical performance.例文帳に追加
大気圧変動や工場設備の溶存ガス変動の影響を除去し、溶存ガスによるマイクロバブルや光学性能の劣化を防ぐことができる液浸露光技術の実現。 - 特許庁
To develop a technique which prevents molten steel from picking up nitrogen by infiltration of the nitrogen in the atmosphere air from the outside of an immersion pipe of a degassing treatment device when melting extra-low nitrogen steel.例文帳に追加
極低窒素鋼を溶製するに際し、大気中窒素が脱ガス処理装置の浸漬管外部から侵入し、溶鋼が窒素をピックアップするのを防止する技術を開発する。 - 特許庁
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