immersion inとは 意味・読み方・使い方

To protect an immersion fluid from an atmospheric environment in an immersion lithographic apparatus.例文帳に追加

液浸リソグラフィ装置において大気環境から液浸流体を保護する。 - 特許庁

To improve the durability of the lower part in an immersion tube, in the immersion tube for vacuum degassing apparatus.例文帳に追加

真空脱ガス装置用浸漬管において、浸漬管下方の耐用性を向上させる。 - 特許庁

MEMBRANE ELEMENT IN IMMERSION-TYPE MEMBRANE SEPARATOR例文帳に追加

浸漬型膜分離装置における膜エレメント - 特許庁

The liquid immersion solution for photoresist liquid immersion exposure is characterized in including heavy water, and the method of forming the liquid immersion exposure type pattern uses the same liquid immersion solution.例文帳に追加

重水を含むことを特徴とするフォトレジスト液浸露光用液浸液、およびそれを用いる液浸露光型のパターン形成方法。 - 特許庁

Though the water immersion due to rain in the pit becomes problem in this case, a water immersion sensing means 8 sensing the water immersion in the pit before the water immersion reaches the control device in the pit, is provided, and sends out water immersion sensing signal when sensing the water immersion.例文帳に追加

この場合にはピット内の雨水による浸水が問題になるが、浸水がピット内の制御装置に達する前にピット内の浸水を感知する浸水感知手段８を設け、浸水を感知すると浸水感知信号を送出する。 - 特許庁

To provide a method of removing contamination from an immersion hood and/or an immersion fluid in an immersion lithography device.例文帳に追加

液浸リソグラフィ装置において、液浸フードおよび／または液浸流体の汚染を除去方法を提供する。 - 特許庁

MEMBER FOR USE IN IMMERSION LITHOGRAPHY APPARATUS, IMMERSION LITHOGRAPHY APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

液浸露光装置に用いられる部材、液浸露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁

To improve throughput in immersion lithography.例文帳に追加

液浸リソグラフィにおいてスループットを向上させる。 - 特許庁