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JP2563785B2 - Solid-state imaging device - Google Patents
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JP2563785B2 - Solid-state imaging device - Google Patents

Solid-state imaging device

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JP2563785B2 JP62008071A JP807187A JP2563785B2 JP 2563785 B2 JP2563785 B2 JP 2563785B2 JP 62008071 A JP62008071 A JP 62008071A JP 807187 A JP807187 A JP 807187A JP 2563785 B2 JP2563785 B2 JP 2563785B2
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、相関2重サンプリングを行う3チャンネ
ル出力からなる固体撮像素子の信号出力処理回路を備え
た固体撮像装置に関するものである。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a solid-state image pickup device including a signal output processing circuit of a solid-state image pickup device having a three-channel output for performing correlated double sampling.

[従来の技術] 第1図は従来及びこの発明の固体撮像装置の各水平シ
フトレジスタ終段に設けられる相関2重サンプリング回
路(CDS回路)の図、第2図は第1図の出力と駆動パル
スを示したタイミングチャートである。
[Prior Art] FIG. 1 is a diagram of a correlated double sampling circuit (CDS circuit) provided at the final stage of each horizontal shift register of the solid-state imaging device of the prior art and the present invention, and FIG. 2 is the output and drive of FIG. It is a timing chart showing a pulse.

第1図,第2図中、φRSはリセットパルス、φCLはク
ランプパルス、φSHはサンプルホールドパルスであり、
これら3つのパルスφRSCLSHは後述の水平シフト
レジスタの駆動パルスを兼用しており、これらにより、
信号成分は出力される。
1 and 2, φ RS is a reset pulse, φ CL is a clamp pulse, φ SH is a sample hold pulse,
These three pulses φ RS , φ CL , and φ SH also serve as drive pulses for the horizontal shift register, which will be described later.
The signal component is output.

第1図において1はフローティングダイオードで、2
のMOSFETをオンにしてA点の電位を一定のリセット電位
VRに保ち、その後、このMOSFET2をオフにする。信号電
荷がA点のフローティングダイオード1の接合容量が作
る電位井戸に送りこまれる。これによるA点の電位変化
をMOSFET3のソースホロアを通して増幅する。B点にお
ける出力では、リセット用のMOSFET2のスイッチングに
起因するリセットノイズと、増幅MOSFET3によって発生
する1/fノイズがふくまれる。このノイズを取り除くの
がCDS回路で、まず、高域成分をLPF4でカットし、コン
デンサ5で交流結合された信号の電位(フィードスルー
レベル)をクランプ用のMOSFET6をオンにすることによ
って所定のクランプ電位Vclampにクランプする。さら
に、クランプ用のMOSFET6をオフにしたのち、サンプル
ホールドのMOSFET8をオンにし、サンプルホールド用の
コンデンサ9に後述の固体撮像素子である電荷結合素子
(CCD)の出力信号電位を蓄積し、サンプルホールド用
のMOSFET8がオフの後も出力信号電位を保持する。保持
された電位をアンプ10により増幅し出力する。
In FIG. 1, 1 is a floating diode and 2
Turn on the MOSFET and set the potential at point A to a constant reset potential.
Hold at V R and then turn off this MOSFET2. The signal charge is sent to the potential well created by the junction capacitance of the floating diode 1 at point A. The resulting potential change at point A is amplified through the source follower of MOSFET3. At the output at the point B, reset noise caused by switching of the resetting MOSFET 2 and 1 / f noise generated by the amplifying MOSFET 3 are included. The CDS circuit removes this noise. First, the high frequency component is cut by LPF4, and the potential (feedthrough level) of the signal AC-coupled by capacitor 5 is turned on by turning on MOSFET 6 for clamping. Clamp to the electric potential V clamp . Further, after turning off the clamp MOSFET 6, the sample hold MOSFET 8 is turned on, the output signal potential of the charge coupled device (CCD), which is a solid-state image pickup device described later, is accumulated in the sample hold capacitor 9, and the sample hold is performed. The output signal potential is held even after the power MOSFET 8 is turned off. The held potential is amplified by the amplifier 10 and output.

第3図は3チャンネル出力で、第1,第2,第3チャンネ
ルの転送パルスの位相を120゜づつずらして3相駆動す
るCCDの垂直CCD部A,B,Cから水平CCD部a,b,cに電荷を転
送する部分の例を示した図であり、第4図は第3図のCC
Dの駆動パルスを示した図で、φは垂直CCD、A,B,Cの
転送パルス、φは不図示の受光画素から垂直CCDに取
込まれた信号をCCD、Aに1ビットづつ送り出すための
転送パルス、φS1S2S3は水平CCD、a,b,c中のそれ
ぞれの信号を転送するための転送パルスである。
Fig. 3 shows 3-channel output. Vertical CCDs A, B, C to horizontal CCDs a, b of CCDs that drive the three-phases by shifting the phases of the transfer pulses of the first, second, and third channels by 120 °. FIG. 4 is a diagram showing an example of a portion for transferring charges to c and c, and FIG. 4 is a CC of FIG.
In the figure showing the drive pulse of D, φ P is a vertical CCD, transfer pulse of A, B, C, φ T is a signal taken in the vertical CCD from a light receiving pixel (not shown), CCD and A are 1 bit at a time. Transfer pulses for sending out, φ S1 , φ S2 , and φ S3 are transfer pulses for transferring respective signals in the horizontal CCDs, a, b, and c.

第3図に示すCCDはVirtual Phase CCD(詳細は特開昭
55−11394号に示されている)11の部分はVirtual Phase
であり12の斜線の部分はポリシリコン電極ののっている
Clocked Phaseである。
The CCD shown in FIG. 3 is a virtual phase CCD (for details, see
11) (shown in No. 55-11394) is Virtual Phase
And the 12 shaded areas have the polysilicon electrodes
Clocked Phase.

第5図はVirtual Phase14とClocked Phase15のポテン
シャルプロフィールを示す図である。実線は転送パルス
φが低(L)の時の電荷の移動を示し、破線は転送パル
スφが高(H)の時の電荷の移動を示している。第5図
から明らかなように、φを単相駆動することによって電
荷を転送できる。よって、第4図の水平ブランキング期
間13のパルスによって、垂直CCDから水平CCDに電荷を転
送できる。
FIG. 5 is a diagram showing potential profiles of Virtual Phase 14 and Clocked Phase 15. The solid line shows the movement of charges when the transfer pulse φ is low (L), and the broken line shows the movement of charges when the transfer pulse φ is high (H). As is apparent from FIG. 5, charges can be transferred by driving φ in a single phase. Therefore, charges can be transferred from the vertical CCD to the horizontal CCD by the pulse in the horizontal blanking period 13 in FIG.

この様な3チャンネル出力をもち、駆動パルスが3相
であるCCDに前記CDS回路を付ける場合、従来は第4図の
転送パルスφS1S2S3を用いてCDS回路を駆動して
いた。
In the case of attaching the CDS circuit to a CCD having such three-channel output and driving pulses of three phases, conventionally, the CDS circuit is driven by using the transfer pulses φ S1 , φ S2 , φ S3 of FIG. It was

第12図〜第14図は従来のCDS回路を駆動する転送パル
スのタイミングを示したタイミングチャートである。第
12図でVout1は第1チャンネルの出力である。転送パル
スφS3の時間t1でリセットし、転送パルスφS1の時間t2
でクランプ、転送パルスφS2の時間t3でサンプルホール
ドするので、不要なノイズは生じない。第13図でVout2
は第2チャンネルの出力である。転送パルスφS1の時間
t4でリセットし転送パルスφS2の時間t5でクランプし、
転送パルスφS3の時間t6でサンプルホールドするので第
1チャンネルと同様にノイズは生じない。第14図で示す
Vout3は第3チャンネルの出力であり、転送パルスφS2
の時間t7でリセットし、転送パルスφS3の時間t8でクラ
ンプし、転送パルスφS1の時間t9でサンプルホールドす
る。この第3チャンネルでは、リセットのパルスφS2
時間t7とクランプのパルスφS3の時間t8とが同時である
ために、1水平期間の先頭に不要な大出力が生じてしま
う。このノイズを除去するには、第15図のようにパルス
φS3の水平ブランキング期間の最後のパルスの立下がり
時間t12を少し遅らせればよいのであるが、このような
駆動法では第2のチャンネルの水平ブランキング期間の
終りのところでリセットの時間t10とクランプの時間t11
が同時であるためにノイズを生じる。
12 to 14 are timing charts showing timings of transfer pulses for driving the conventional CDS circuit. First
In FIG. 12, V out 1 is the output of the first channel. Reset at transfer pulse φ S3 time t 1 , transfer pulse φ S1 time t 2
Therefore, unnecessary noise does not occur because the sample is held at the time t 3 of the clamp and transfer pulse φ S2 . In Figure 13, V out 2
Is the output of the second channel. Transfer pulse φ S1 time
Reset at t 4 and clamp at transfer pulse φ S2 time t 5 ,
Since the sample is held at the time t 6 of the transfer pulse φ S3 , no noise is generated as in the case of the first channel. Shown in Figure 14
V out 3 is the output of the third channel, and the transfer pulse φ S2
Reset at time t 7, clamped at time t 8 the transfer pulse phi S3, samples and holds at time t 9 the transfer pulse phi S1. In the third channel, for a time t 8 of time t 7 and the clamp pulse phi S3 of the reset pulse phi S2 are simultaneous, unnecessary high output at the beginning of 1 horizontal period occurs. In order to remove this noise, the fall time t 12 of the last pulse of the horizontal blanking period of the pulse φ S3 may be delayed a little as shown in FIG. Reset time t 10 and clamp time t 11 at the end of the horizontal blanking period of the channel
Are generated simultaneously, which causes noise.

[発明が解決しようとする問題点] 上記のように従来の固体撮像装置においては、複数チ
ャンネルにおけるいずれかのチャンネルの水平期間の先
頭及び水平ブランキング期間の後端で、リセットパルス
とクランプパルスが同時刻に発生する怖れがあり、その
ため、クランプ電位にリセット電位を重畳したものが基
準となったような形態で信号成分が形成されてしまい、
結果的には信号成分のレベルが非常に大きくなって、大
出力が生じてしまうという問題があった。
[Problems to be Solved by the Invention] As described above, in the conventional solid-state imaging device, the reset pulse and the clamp pulse are generated at the beginning of the horizontal period and the end of the horizontal blanking period of one of the channels. There is a fear that it will occur at the same time, so that the signal component is formed in a form in which the clamp potential and the reset potential are superimposed is the reference,
As a result, there is a problem that the level of the signal component becomes very large and a large output is generated.

この発明はかかる従来の問題点を解決するためになさ
れたもので、リセットとクランプのパルスのタイミング
をずらして、クランプ時のノイズの発生を除去する駆動
手段を備えた固体撮像装置を提供するものである。
The present invention has been made in order to solve such a conventional problem, and provides a solid-state imaging device including a driving unit that shifts the timings of reset and clamp pulses to eliminate the occurrence of noise during clamping. Is.

[問題点を解決するための手段] 上記の目的を達成するために、この発明の固体撮像装
置は、第1、第2、第3の3つの並列チャンネル出力を
有する電荷結合素子と、前記第1、第2、第3チャンネ
ルの各転送パルスの位相を水平ブランキング期間外につ
いて120゜づつずらし、かつこれら第1、第2、第3チ
ャンネルの各転送パルスは、第1、第2、第3チャンネ
ルの出力信号の電位レベルをそれぞれクランプし、その
後各々第2、第3、第1チャンネルのフローティング・
ディフュージョンの電荷をそれぞれリセットし、さらに
第3、第1、第2チャンネルの各チャンネルの転送され
た電荷に相当した信号レベルをそれぞれサンプルホール
ドするパルスとして用いる電荷結合素子の信号処理回路
と、前記第1、第2、第3の3つのパルスの水平ブラン
キング期間内の少なくとも最後の各々のパルスの立ち下
がりの順序を前記第1、第2、第3のチャンネルの電荷
転送パルスの水平ブランキング期間外のパルスの立ち下
がりと同一の順序となるようにずらす制御手段とを有す
るものである。
[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above-mentioned object, a solid-state imaging device according to the present invention includes a charge-coupled device having first, second, and third parallel channel outputs; The phases of the transfer pulses of the first, second, and third channels are shifted by 120 ° outside the horizontal blanking period, and the transfer pulses of the first, second, and third channels are shifted by the first, second, and third channels. The potential levels of the output signals of the three channels are clamped respectively, and then the floating levels of the second, third and first channels are respectively set.
A signal processing circuit of a charge-coupled device, which is used as a pulse for resetting the charges of the diffusions, and further using the signal levels corresponding to the transferred charges of the third, first, and second channels as sample and hold, respectively; The fall order of at least the last pulse of each of the first, second, and third pulse horizontal blanking periods is defined by the horizontal blanking period of the charge transfer pulses of the first, second, and third channels. And a control means for shifting the pulse so that it is in the same order as the fall of the outer pulse.

[作用] 上記のように構成したことにより、各チャンネルのク
ランプ用のバルスの立下りが必ずリセット用のパルスの
低(L)の期間に位置するようになって、信号成分にノ
イズは発生しない。
[Operation] With the above-described configuration, the falling edge of the clamping pulse of each channel is always located in the low (L) period of the reset pulse, so that noise does not occur in the signal component. .

[実施例] 第6図はこの発明の一実施例である固体撮像装置の駆
動法によるタイミングを示すタイミングチャートであ
る。第6図のように転送パルスφS1S2S3の水平ブ
ランキング期間の最後のパルスの立下りを少しづつずら
すことによって、リセットとクランプが同時にかからな
いように駆動する。
[Embodiment] FIG. 6 is a timing chart showing the timing by the driving method of the solid-state imaging device according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 6, by slightly shifting the trailing edge of the last pulse of the transfer pulses φ S1 , φ S2 , and φ S3 during the horizontal blanking period, driving is performed so that reset and clamp are not applied simultaneously.

以下、この発明の実施例の具体的タイミングチャート
を第7図〜第11図を用いて説明する。
Specific timing charts of the embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 7 to 11.

第7図は前記の駆動タイミングを得るために、転送パ
ルスφS1S2S3を水平ブランキング期間内でも3相
駆動とした実施例である。これによって水平ブランキン
グ期間の最後の部分の転送パルスφS1S2S3それぞ
れのタイミングがずれて発生している。
FIG. 7 shows an embodiment in which the transfer pulses φ S1 , φ S2 , and φ S3 are three-phase driven even during the horizontal blanking period in order to obtain the above-mentioned driving timing. As a result, the transfer pulses φ S1 , φ S2 , and φ S3 in the last part of the horizontal blanking period are generated with different timings.

第8図,第9図は水平ブランキング期間内の転送パル
スφS1S2S3の立下りを少しづつずらす方法であ
る。第8図ではそれぞれの転送パルスφS1S2S3
幅を変えることにより、水平ブランキング期間の最後に
おけるそれぞれ各転送パルスの立下りのタイミングをず
らしている。
8 and 9 show a method in which the trailing edges of the transfer pulses φ S1 , φ S2 , and φ S3 in the horizontal blanking period are slightly shifted. In FIG. 8, the falling timing of each transfer pulse at the end of the horizontal blanking period is shifted by changing the width of each transfer pulse φ S1 , φ S2 , φ S3 .

また、第9図では各転送パルスφS1S2S3を前の
チャンネルの転送パルスに対して少しづつ遅らせること
により、各転送パルスの立下りのタイミングを得てい
る。
Further, in FIG. 9, each transfer pulse φ S1 , φ S2 , φ S3 is delayed little by little with respect to the transfer pulse of the previous channel to obtain the falling timing of each transfer pulse.

第10図,第11図は少くとも水平ブランキング期間の最
後のパルスの立下りを少しづつずらす用法である。第10
図では各転送パルスのφS1S2S3の最後のパルスを
前のチャンネルの転送パルスに対して遅らせることによ
って、この発明による駆動手段のタイミングを得てい
る。
Figures 10 and 11 show the usage in which the trailing edge of the last pulse in the horizontal blanking period is at least slightly shifted. 10th
In the figure, the timing of the driving means according to the present invention is obtained by delaying the last pulse of φ S1 , φ S2 , and φ S3 of each transfer pulse with respect to the transfer pulse of the previous channel.

尚、この発明の駆動手段によるタイミングにおいて
も、垂直CCDから水平CCDへの変換部の電荷転送には何の
支障も生じない。
Even at the timing of the driving means of the present invention, no problem occurs in the charge transfer of the conversion unit from the vertical CCD to the horizontal CCD.

[発明の効果] 本発明によれば、従来では水平期間の先頭、もしくは
水平ブランキング期間の終りのところに生じたノイズを
除去でき、CCDの転送パルスでCDS回路の駆動もすること
ができる。
[Advantages of the Invention] According to the present invention, it is possible to remove noise that has conventionally occurred at the beginning of the horizontal period or at the end of the horizontal blanking period, and it is also possible to drive the CDS circuit by the transfer pulse of the CCD.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は従来及びこの発明の固体撮像装置の各水平シフ
トレジスタ終段に設けられる相関2重サンプリング回路
(CDS回路)の図、第2図は第1図の出力と駆動パルス
を示したタイミングチャート、第3図は3チャンネル出
力で第1,第2第3チャンネルの転送パルスの位相を120
゜づつずらして3相駆動するCCDの垂直CCD部A,B,Cから
水平CCD部a,b,cに電荷を転送する部分の例を示した図、
第4図は第3図のCCDの駆動パルスを示した図、第5図
はVirtual PhaseとClocked Phaseのボテンシャルプロフ
ィールを示す図、第6図はこの発明の一実施例である固
体撮像装置の駆動法によるタイミングを示すタイミング
チャート、第7図,第8図,第9図,第10図,第11図は
それぞれこの発明の実施例における転送パルスの具体的
タイミングチャート、第12図,第13図、第14図、第15図
はそれぞれ従来の装置を駆動する転送パルスのタイミン
グチャートである。 図中, 2,6,9:MOSFET 4:LPF、5,9:コンデンサ 7,10:アンプ φRS:リセットパルス φCL:クランプパルス φSH:サンプルホールドパルス φS1S2S3:転送パルス
FIG. 1 is a diagram of a correlated double sampling circuit (CDS circuit) provided at the final stage of each horizontal shift register of the conventional and the solid-state image pickup device of the present invention, and FIG. 2 is a timing showing the output and drive pulse of FIG. The chart in Fig. 3 shows the phase of the transfer pulse of the 1st, 2nd and 3rd channels with 3-channel output.
A diagram showing an example of a portion where charges are transferred from the vertical CCD portions A, B, C of the CCD that is shifted by three degrees and driven in three phases to the horizontal CCD portions a, b, c,
FIG. 4 is a diagram showing the drive pulses of the CCD of FIG. 3, FIG. 5 is a diagram showing the potential profiles of Virtual Phase and Clocked Phase, and FIG. 6 is a diagram showing a solid-state image pickup device according to an embodiment of the present invention. Timing charts showing timings according to the driving method, FIG. 7, FIG. 8, FIG. 9, FIG. 10, and FIG. 11 are concrete timing charts of transfer pulses in the embodiment of the present invention, respectively, and FIG. FIG. 14, FIG. 15 and FIG. 15 are timing charts of transfer pulses for driving a conventional device, respectively. In the figure, 2,6,9: MOSFET 4: LPF, 5, 9: Capacitor 7, 10: Amplifier φ RS : Reset pulse φ CL : Clamp pulse φ SH : Sample hold pulse φ S1 , φ S2 , φ S3 : Transfer pulse

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】第1、第2、第3の3つの並列チャンネル
出力を有する電荷結合素子と、 前記第1、第2、第3チャンネルの各転送パルスの位相
を水平ブランキング期間外について120゜づつずらし、
かつこれら第1、第2、第3チャンネルの各転送パルス
は、第1、第2、第3チャンネルの出力信号の電位レベ
ルをそれぞれクランプし、その後各々第2、第3、第1
チャンネルのフローティング・ディフュージョンの電荷
をそれぞれリセットし、さらに第3、第1、第2チャン
ネルの各チャンネルの転送された電荷に相当した信号レ
ベルをそれぞれサンプルホールドするパルスとして用い
る電荷結合素子の信号処理回路と、 前記第1、第2、第3の3つのパルスの水平ブランキン
グ期間内の少なくとも最後の各々のパルスの立ち下がり
の順序を前記第1、第2、第3のチャンネルの電荷転送
パルスの水平ブランキング期間外のパルスの立ち下がり
と同一の順序となるようにずらす制御手段と、 を有することを特徴とする固体撮像装置。
1. A charge-coupled device having first, second, and third parallel channel outputs, and the phase of each transfer pulse of the first, second, and third channels is 120 outside the horizontal blanking period.゜ shift,
The transfer pulses of the first, second, and third channels clamp the potential levels of the output signals of the first, second, and third channels, respectively, and then the second, third, and first channels, respectively.
A signal processing circuit of a charge-coupled device that resets the charges of the floating diffusions of the channels, and further uses the signal levels corresponding to the transferred charges of the third, first, and second channels as sample and hold pulses, respectively. And the order of the trailing edges of at least the last pulse in the horizontal blanking period of the first, second, and third pulses is the same as that of the charge transfer pulses of the first, second, and third channels. A solid-state image pickup device comprising: a control unit that shifts the pulse so that the pulse falls outside the horizontal blanking period in the same order.
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