JP2988040B2 - 電気化学式ガスセンサ - Google Patents
電気化学式ガスセンサInfo
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Landscapes
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電気化学式ガスセンサ
に関し、詳しくは絶縁基板に作用極を含む複数の電極が
設けられ、さらにこれらの電極を一連に被覆する固体電
解質膜とからなる電気化学式ガスセンサに関し、電極上
で起こるガスの電気化学反応を利用して、例えば大気中
の特定のガスを検知する電気化学式ガスセンサに関する
ものである。
に関し、詳しくは絶縁基板に作用極を含む複数の電極が
設けられ、さらにこれらの電極を一連に被覆する固体電
解質膜とからなる電気化学式ガスセンサに関し、電極上
で起こるガスの電気化学反応を利用して、例えば大気中
の特定のガスを検知する電気化学式ガスセンサに関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】電気化学反応を利用したガスセンサの基
本は、複数の電極を電解質でつなぎ、電極において電気
化学的な反応を起こさせるものである。ここで電解質と
しては、液体やゲル状電解質を用いていたが、機器から
の液漏れや溶媒の蒸発などが生じるために、センサの耐
久性や信頼性に劣る問題がある。このために無機物ある
いは有機の固体電解質が採用されるに到った。無機物と
しては、β−アルミナ、ナシコン、リシコン、安定化ジ
ルコニア等が用いられ、これらの無機物を用いた場合
は、常温におけるインピーダンスが高いため、常温では
イオンが伝導しがたい状態にある。したがって、一般に
は前記のような無機物の固体電解質は、加熱してインビ
ーダンスが低い状態に保持する必要があり、その結果、
消費電力が大きくなる。
本は、複数の電極を電解質でつなぎ、電極において電気
化学的な反応を起こさせるものである。ここで電解質と
しては、液体やゲル状電解質を用いていたが、機器から
の液漏れや溶媒の蒸発などが生じるために、センサの耐
久性や信頼性に劣る問題がある。このために無機物ある
いは有機の固体電解質が採用されるに到った。無機物と
しては、β−アルミナ、ナシコン、リシコン、安定化ジ
ルコニア等が用いられ、これらの無機物を用いた場合
は、常温におけるインピーダンスが高いため、常温では
イオンが伝導しがたい状態にある。したがって、一般に
は前記のような無機物の固体電解質は、加熱してインビ
ーダンスが低い状態に保持する必要があり、その結果、
消費電力が大きくなる。
【０００３】一方有機物としては、ポリスチレンスルホ
ネート、ポリビニルスルホネート、パーフルオロスルホ
ネートポリマー、パーフルオロカルボキシレートポリマ
ー等のカチオン交換樹脂に属するポリマが用いられる。
これらの樹脂は、無機物に比べて、常温でのカチオン解
離度が大きいために、インピーダンスが小さく、したが
って消費電力が小さい点で有利である。中でもパーフル
オロスルホネートポリマーは、カチオン解離度が他に比
べて大きく、かつ熱的に、ならびに電気化学的にも安定
である上に溶媒に可溶であるため絶縁基板とこの絶縁基
板に形成された複数の電極の上にキャステングすること
により成膜することができるので、製造上の利点も見逃
せない。
ネート、ポリビニルスルホネート、パーフルオロスルホ
ネートポリマー、パーフルオロカルボキシレートポリマ
ー等のカチオン交換樹脂に属するポリマが用いられる。
これらの樹脂は、無機物に比べて、常温でのカチオン解
離度が大きいために、インピーダンスが小さく、したが
って消費電力が小さい点で有利である。中でもパーフル
オロスルホネートポリマーは、カチオン解離度が他に比
べて大きく、かつ熱的に、ならびに電気化学的にも安定
である上に溶媒に可溶であるため絶縁基板とこの絶縁基
板に形成された複数の電極の上にキャステングすること
により成膜することができるので、製造上の利点も見逃
せない。
【０００４】ところで、この様に利点を有する有機物を
用いた固体電解質膜を備えた電気化学式ガスセンサは、
この固体電解質膜の電気的特性あるいはガスの透過性が
経時的に変化するために、センサの感度の経時的変化を
誘発し、信頼性に欠ける問題がある。
用いた固体電解質膜を備えた電気化学式ガスセンサは、
この固体電解質膜の電気的特性あるいはガスの透過性が
経時的に変化するために、センサの感度の経時的変化を
誘発し、信頼性に欠ける問題がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】したがって、この発明
が解決する課題は、固体電解質膜の電気的特性あるいは
ガスの透過性など複雑な原因によって引き起こされる、
対象ガスを検知する感度が正常に保持されていることを
検知することにより、信頼性を高めた電気化学式ガスセ
ンサを提供するものである。
が解決する課題は、固体電解質膜の電気的特性あるいは
ガスの透過性など複雑な原因によって引き起こされる、
対象ガスを検知する感度が正常に保持されていることを
検知することにより、信頼性を高めた電気化学式ガスセ
ンサを提供するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明に係る電気化学
式ガスセンサは、絶縁基板１０、この絶縁基板１０に設
けられた作用極２０、対極３０、参照極４０及びこれら
の電極２０、３０、４０を一連に被覆する固体電解質膜
８０とからなる対象ガスを検知する対象ガス検知部Ａ、
この対象ガス検知部Ａと同一の構成を有する、使用環境
に一定の濃度で存在する基準ガスを検知する基準ガス検
知部Ｂ、及びこの基準ガス検知部Ｂには検知出力が一定
値以下になると信号を発する寿命告知手段を備えたこと
を特徴とするものである。
式ガスセンサは、絶縁基板１０、この絶縁基板１０に設
けられた作用極２０、対極３０、参照極４０及びこれら
の電極２０、３０、４０を一連に被覆する固体電解質膜
８０とからなる対象ガスを検知する対象ガス検知部Ａ、
この対象ガス検知部Ａと同一の構成を有する、使用環境
に一定の濃度で存在する基準ガスを検知する基準ガス検
知部Ｂ、及びこの基準ガス検知部Ｂには検知出力が一定
値以下になると信号を発する寿命告知手段を備えたこと
を特徴とするものである。
【０００７】
【作用】この発明にかかる電気化学式ガスセンサによる
と、絶縁基板１０に設けられた作用極２０、対極３０、
参照極４０及びこれらの電極１０，２０，３０を一連に
被覆する固体電解質膜８０とからなる対象ガスを検知す
る対象ガス検知部Ａ、及びこの対象ガス検知部Ａと同一
の構成を有する、使用環境に一定の濃度で存在する基準
ガスを検知する基準ガス検知部Ｂ、及びこの基準ガス検
知部Ｂには検知出力が一定値以下になると信号を発する
寿命告知手段を備えることにより、使用環境に一定の濃
度で存在する基準ガスを検知する基準ガス検知部Ｂの感
度特性は、基準ガス検知部Ｂが対象ガスを検知する対象
ガス検知部Ａと同一の構成を備えているので、対象ガス
検知部Ａの感度特性と同一乃至同等の経時変化をたどる
ので、基準ガス検知部Ｂの検知出力が一定値以下になる
と信号を発する寿命告知手段の信号により検知すること
ができるのである。
と、絶縁基板１０に設けられた作用極２０、対極３０、
参照極４０及びこれらの電極１０，２０，３０を一連に
被覆する固体電解質膜８０とからなる対象ガスを検知す
る対象ガス検知部Ａ、及びこの対象ガス検知部Ａと同一
の構成を有する、使用環境に一定の濃度で存在する基準
ガスを検知する基準ガス検知部Ｂ、及びこの基準ガス検
知部Ｂには検知出力が一定値以下になると信号を発する
寿命告知手段を備えることにより、使用環境に一定の濃
度で存在する基準ガスを検知する基準ガス検知部Ｂの感
度特性は、基準ガス検知部Ｂが対象ガスを検知する対象
ガス検知部Ａと同一の構成を備えているので、対象ガス
検知部Ａの感度特性と同一乃至同等の経時変化をたどる
ので、基準ガス検知部Ｂの検知出力が一定値以下になる
と信号を発する寿命告知手段の信号により検知すること
ができるのである。
【０００８】
【実施例】以下、本発明を実施例として示した図面に基
づいて説明する。図１は本発明の一実施例に係る電気化
学式ガスセンサを模式的に示した平面図であり、図２は
その断面図である。
づいて説明する。図１は本発明の一実施例に係る電気化
学式ガスセンサを模式的に示した平面図であり、図２は
その断面図である。
【０００９】図１及び図２において、絶縁基板１０に
は、対象ガスを検知する対象ガス検知部Ａとこの対象ガ
ス検知部Ａに対を成す基準ガス検知部Ｂを間隔をおいて
備える。対象ガス検知部Ａは、絶縁基板１０の上に相互
に間隔をおいて形成された作用極２０、この作用極２０
の対極３０及び参照極４０を備え、さらにこれらの電極
２０、３０、４０を被覆して一連につなぐ固体電解質膜
８０から構成される。作用極２０、この作用極２０の対
極３０及び参照極４０は、一例を挙げると、白金や金な
どの電極材料を絶縁基板１０にスパッタリングや蒸着等
の手段により，図示の如く、一端を固体電解質膜８０の
外部に露出させて、外部回路との接続に用いる端子部２
２、３２、４２を有するよう形成され、固体電解質膜８
０は、たとえば前記のポリスチレンスルホネート、ポリ
ビニルスルホネート、パーフルオロスルホネートポリマ
ー、パーフルオロカルボキシレートポリマー等のポリマ
が用いられ、中でも一例をあげると前述の如くパーフル
オロスルホネートポリマー（デュポン社製の商標ナフィ
オン）が実用的である。固体電解質膜８０を成膜するに
は、たとえば簡単なキャステング、その他適当な手段が
用いられる。
は、対象ガスを検知する対象ガス検知部Ａとこの対象ガ
ス検知部Ａに対を成す基準ガス検知部Ｂを間隔をおいて
備える。対象ガス検知部Ａは、絶縁基板１０の上に相互
に間隔をおいて形成された作用極２０、この作用極２０
の対極３０及び参照極４０を備え、さらにこれらの電極
２０、３０、４０を被覆して一連につなぐ固体電解質膜
８０から構成される。作用極２０、この作用極２０の対
極３０及び参照極４０は、一例を挙げると、白金や金な
どの電極材料を絶縁基板１０にスパッタリングや蒸着等
の手段により，図示の如く、一端を固体電解質膜８０の
外部に露出させて、外部回路との接続に用いる端子部２
２、３２、４２を有するよう形成され、固体電解質膜８
０は、たとえば前記のポリスチレンスルホネート、ポリ
ビニルスルホネート、パーフルオロスルホネートポリマ
ー、パーフルオロカルボキシレートポリマー等のポリマ
が用いられ、中でも一例をあげると前述の如くパーフル
オロスルホネートポリマー（デュポン社製の商標ナフィ
オン）が実用的である。固体電解質膜８０を成膜するに
は、たとえば簡単なキャステング、その他適当な手段が
用いられる。
【００１０】この固体電解質膜８０の経時的劣化、たと
えば電気的特性の経時的変化あるいは対象ガスの透過性
の変化等を阻止する目的で、この固体電解質膜８０の上
に、さらに保護膜９０が形成される。この保護膜９０
は、一例を示すと弗素系樹脂を用い、蒸着法あるいはプ
ラズマ法等により形成することができる。
えば電気的特性の経時的変化あるいは対象ガスの透過性
の変化等を阻止する目的で、この固体電解質膜８０の上
に、さらに保護膜９０が形成される。この保護膜９０
は、一例を示すと弗素系樹脂を用い、蒸着法あるいはプ
ラズマ法等により形成することができる。
【００１１】基準ガス検知部Ｂは、上述の対象ガス検知
部Ａと同一の構成を有する。すなわち、絶縁基板１０の
上に相互に間隔をおいて形成された作用極５０、この作
用極５０の対極６０及び参照極７０を備え、さらにこれ
らの電極５０、６０、７０を被覆して一連につなぐ固体
電解質膜８２から構成され、基準ガス検知部Ａの作用極
２０、作用極２０の対極３０及び参照極４０と同様に、
一端を固体電解質膜８２の外部に露出させて、端子部５
２、６２、７２を有するよう形成され、さらに対象ガス
検知部Ａの固体電解質膜８０の経時的劣化と同一乃至同
等に追従する固体電解質膜８２の上に、この固体電解質
膜８２を作用極５０とで挟む、ほぼ作用極５０と同一の
形状を有する保護膜９２が形成されている。ここで、保
護膜９２を作用極５０上のみに限定して形成すると、電
気的特性の経時的変化あるいは対象ガスの透過性の変化
等の経時特性が同等の対象ガス検知部Ａと基準ガス検知
部Ｂを構成することができる。その理由はつぎのとおり
である。基準ガス検知部Ｂでは、使用環境中に存在して
いるため、作用極５０上においては、電気化学反応が絶
えず起きているために、たとえば基準ガスを酸素とする
と、
部Ａと同一の構成を有する。すなわち、絶縁基板１０の
上に相互に間隔をおいて形成された作用極５０、この作
用極５０の対極６０及び参照極７０を備え、さらにこれ
らの電極５０、６０、７０を被覆して一連につなぐ固体
電解質膜８２から構成され、基準ガス検知部Ａの作用極
２０、作用極２０の対極３０及び参照極４０と同様に、
一端を固体電解質膜８２の外部に露出させて、端子部５
２、６２、７２を有するよう形成され、さらに対象ガス
検知部Ａの固体電解質膜８０の経時的劣化と同一乃至同
等に追従する固体電解質膜８２の上に、この固体電解質
膜８２を作用極５０とで挟む、ほぼ作用極５０と同一の
形状を有する保護膜９２が形成されている。ここで、保
護膜９２を作用極５０上のみに限定して形成すると、電
気的特性の経時的変化あるいは対象ガスの透過性の変化
等の経時特性が同等の対象ガス検知部Ａと基準ガス検知
部Ｂを構成することができる。その理由はつぎのとおり
である。基準ガス検知部Ｂでは、使用環境中に存在して
いるため、作用極５０上においては、電気化学反応が絶
えず起きているために、たとえば基準ガスを酸素とする
と、
【００１２】
【化１】
【００１３】なる反応により水が発生し続ける。このよ
うな生成物が固体電解質膜８２内に留まると、対象ガス
検知部Ａの経時特性とは異なる特性を示す。固体電解質
膜８２が保護膜９２で被覆されていない場合は、このよ
うな生成物は使用環境中に大部分が放出されるので、そ
れほどの影響を与えないが、固体電解質膜８２が保護膜
９２で被覆されている場合は、放出されにくい。そこ
で、固体電解質膜８２の作用極５０上の部分を除いた全
面を露出させると、生成物の放出が促進されるからであ
る。
うな生成物が固体電解質膜８２内に留まると、対象ガス
検知部Ａの経時特性とは異なる特性を示す。固体電解質
膜８２が保護膜９２で被覆されていない場合は、このよ
うな生成物は使用環境中に大部分が放出されるので、そ
れほどの影響を与えないが、固体電解質膜８２が保護膜
９２で被覆されている場合は、放出されにくい。そこ
で、固体電解質膜８２の作用極５０上の部分を除いた全
面を露出させると、生成物の放出が促進されるからであ
る。
【００１４】上述のとおり、経時的劣化が相互に同一乃
至同等に進行する関係にある対象ガス検知部Ａの電極２
０、３０、４０と基準ガス検知部Ｂの電極５０、６０、
７０は、それぞれの端子部２２、３２、４２と５２、６
２、７２においてリード線１０２と１０４を介して対象
ガスの検知を、対象ガス検知部Ａの作用極２０と対極３
０間に流れる電流値によって行う信号処理回路１００と
基準ガス検知部Ｂの作用極５０と対極６０間に流れる電
流値によって基準ガス検知部Ｂの経時劣化の検知を行う
寿命告知回路１１０に接続され、この寿命告知回路１１
０は、作用極５０と対極６０間に流れる電流値で判別す
る検知出力が一定値以下になると信号を発して寿命を告
知する寿命告知手段を構成する。ここで寿命を告知する
信号は、たとえば警告音の発生、警告ランプの点灯など
任意である。また寿命を告知する時点は、作用極５０と
対極６０間に流れる初期の電流値の半分になる時点、ま
たはあらかじめ設定したしきい値以下に低下した時点と
することもでき、ガスセンサの用途や目的に応じて設定
する必要がある。
至同等に進行する関係にある対象ガス検知部Ａの電極２
０、３０、４０と基準ガス検知部Ｂの電極５０、６０、
７０は、それぞれの端子部２２、３２、４２と５２、６
２、７２においてリード線１０２と１０４を介して対象
ガスの検知を、対象ガス検知部Ａの作用極２０と対極３
０間に流れる電流値によって行う信号処理回路１００と
基準ガス検知部Ｂの作用極５０と対極６０間に流れる電
流値によって基準ガス検知部Ｂの経時劣化の検知を行う
寿命告知回路１１０に接続され、この寿命告知回路１１
０は、作用極５０と対極６０間に流れる電流値で判別す
る検知出力が一定値以下になると信号を発して寿命を告
知する寿命告知手段を構成する。ここで寿命を告知する
信号は、たとえば警告音の発生、警告ランプの点灯など
任意である。また寿命を告知する時点は、作用極５０と
対極６０間に流れる初期の電流値の半分になる時点、ま
たはあらかじめ設定したしきい値以下に低下した時点と
することもでき、ガスセンサの用途や目的に応じて設定
する必要がある。
【００１５】なお、対象ガス検知部Ａの検知する対象ガ
スは、一酸化炭素、アルコール、硫化水素他、各種のガ
スがなりうる。すなわち、これらのガス種に応じて、作
用極２０と参照極４０の間にかける電圧を設定する。同
様に基準ガス検知部Ｂの基準ガスは、通常の使用環境で
は、大気中に存在する酸素が適切であるが、使用環境に
応じてガス種を選択し、選択したガスに応じて作用極５
０と参照極７０の間にかける電圧を設定する。
スは、一酸化炭素、アルコール、硫化水素他、各種のガ
スがなりうる。すなわち、これらのガス種に応じて、作
用極２０と参照極４０の間にかける電圧を設定する。同
様に基準ガス検知部Ｂの基準ガスは、通常の使用環境で
は、大気中に存在する酸素が適切であるが、使用環境に
応じてガス種を選択し、選択したガスに応じて作用極５
０と参照極７０の間にかける電圧を設定する。
【００１６】
【発明の効果】この発明に係る電気化学式ガスセンサに
よると、絶縁基板１０に設けられた作用極２０、対極３
０、参照極４０及びこれらの電極２０、３０、４０を一
連に被覆する固体電解質膜８０とからなる対象ガスを検
知する対象ガス検知部Ａ、及びこの対象ガス検知部と同
一の構成を有する、使用環境に一定の濃度で存在する基
準ガスを検知する基準ガス検知部Ｂ、及びこの基準ガス
検知部Ｂには検知出力が一定値以下になると信号を発す
る寿命告知手段を備えることにより、使用環境に一定の
濃度で存在する基準ガスを検知する基準ガス検知部Ａの
感度特性は、基準ガス検知部Ｂが対象ガスを検知する対
象ガス検知部Ａと同一の構成を備えているので、対象ガ
ス検知部Ａの感度特性と同一乃至同等の経時変化をたど
るので、基準ガス検知部Ｂの検知出力が一定値以下にな
ると信号を発する寿命告知手段の信号により検知するこ
とができ、その結果、対象ガス検知部Ａの固体電解質膜
８０の電気的特性あるいはガスの透過性など複雑な原因
によって引き起こされる、対象ガスを検知する感度が正
常に保持されていることを検知することにより、信頼性
を高めた電気化学式ガスセンサを提供するものである。
よると、絶縁基板１０に設けられた作用極２０、対極３
０、参照極４０及びこれらの電極２０、３０、４０を一
連に被覆する固体電解質膜８０とからなる対象ガスを検
知する対象ガス検知部Ａ、及びこの対象ガス検知部と同
一の構成を有する、使用環境に一定の濃度で存在する基
準ガスを検知する基準ガス検知部Ｂ、及びこの基準ガス
検知部Ｂには検知出力が一定値以下になると信号を発す
る寿命告知手段を備えることにより、使用環境に一定の
濃度で存在する基準ガスを検知する基準ガス検知部Ａの
感度特性は、基準ガス検知部Ｂが対象ガスを検知する対
象ガス検知部Ａと同一の構成を備えているので、対象ガ
ス検知部Ａの感度特性と同一乃至同等の経時変化をたど
るので、基準ガス検知部Ｂの検知出力が一定値以下にな
ると信号を発する寿命告知手段の信号により検知するこ
とができ、その結果、対象ガス検知部Ａの固体電解質膜
８０の電気的特性あるいはガスの透過性など複雑な原因
によって引き起こされる、対象ガスを検知する感度が正
常に保持されていることを検知することにより、信頼性
を高めた電気化学式ガスセンサを提供するものである。
【図１】本発明の一実施例に係る電気化学式ガスセンサ
の平面図である。
の平面図である。
【図２】本発明の一実施例に係る図１の断面図である。
１０ 絶縁基板 ２０ 作用極 ３０ 対極 ４０ 参照極 ８０ 固体電解質膜 ８２ 固体電解質膜 ９０ 保護膜 ９２ 保護膜 Ａ 対象ガス検知部 Ｂ 基準ガス検知部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−43950（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−208849（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−230843（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−43951（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−249075（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01N 27/416
Claims (2)
- 【請求項１】絶縁基板（１０）、この絶縁基板（１０）
に設けられた作用極（２０）、対極（３０）、参照極
（４０）及びこれらの電極を一連に被覆する固体電解質
膜（８０）とからなる対象ガスを検知するため、対象ガ
スのガス種に応じて作用極（２０）と参照極（４０）の
間にかける電圧が設定される対象ガス検知部Ａ、この対
象ガス検知部Ａと同一の電極構成とこれら電極を一連に
被覆する固体電解質膜（８２）から構成されてなり、使
用環境に一定の濃度で存在する、対象ガスと異なる基準
ガスを検知するため、基準ガスのガス種に応じて作用極
（５０）と参照極（７０）の間にかける電圧が設定され
る基準ガス検知部Ｂ、及び基準ガス検知部Ｂの検知出力
が一定値以下になると信号を発する寿命告知手段を備え
たことを特徴とする電気化学式ガスセンサ。 - 【請求項２】対象ガス検知部Ａの固体電解質膜（８０）
の全面を被覆する保護膜（９０）、及び基準ガス検知部
Ｂの固体電解質膜（８２）の上に、この固体電解質膜
（８２）を作用極（５０）とで挟む、作用極（５０）と
ほぼ同一の形状を有する保護膜（９２）を備えた請求項
１記載の電気化学式ガスセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3220299A JP2988040B2 (ja) | 1991-08-30 | 1991-08-30 | 電気化学式ガスセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3220299A JP2988040B2 (ja) | 1991-08-30 | 1991-08-30 | 電気化学式ガスセンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0560727A JPH0560727A (ja) | 1993-03-12 |
| JP2988040B2 true JP2988040B2 (ja) | 1999-12-06 |
Family
ID=16748984
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3220299A Expired - Fee Related JP2988040B2 (ja) | 1991-08-30 | 1991-08-30 | 電気化学式ガスセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2988040B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5496451A (en) * | 1993-09-14 | 1996-03-05 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Method for detecting chemical substances |
| US5770038A (en) * | 1994-06-29 | 1998-06-23 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Method for detecting chemical substances |
-
1991
- 1991-08-30 JP JP3220299A patent/JP2988040B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0560727A (ja) | 1993-03-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |