JP3156286B2 - Vacuum differential pressure generator - Google Patents
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は真空差圧発生装置に関す
るものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum pressure difference generator.
【０００２】[0002]
【従来の技術】材料の表面に金属被膜を形成する方法と
して、真空蒸着法がある。2. Description of the Related Art As a method for forming a metal film on the surface of a material, there is a vacuum deposition method.
【０００３】真空蒸着法について簡単に説明すると、真
空蒸着法は、表面を金属あるいは非金属の被膜により被
覆すべき材料を１×１０-5Ｔｏｒｒ程度に減圧された真
空蒸着室内に入れ、該真空蒸着室内において金属あるい
は非金属の被膜を形成するための物質を蒸発させること
により、前記材料の表面に蒸発した物質を凝縮させ、材
料の表面に被膜を形成させるものである。The vacuum evaporation method will be briefly described. In the vacuum evaporation method, a material whose surface is to be coated with a metal or nonmetal coating is put into a vacuum evaporation chamber reduced to about 1 × 10 -5 Torr, and the vacuum evaporation is performed. By evaporating a substance for forming a metal or non-metallic film in the vapor deposition chamber, the substance evaporated on the surface of the material is condensed to form a film on the surface of the material.
【０００４】従来、金属薄板等の屈曲性を有する長尺材
料の表面に、連続的に金属被膜を形成させる真空蒸着装
置では、長尺材料が連続的に通過できるように構成され
た真空蒸着室の長尺材料移動方向上流側及び下流側に、
シール区画された複数の差圧室を形成するシール装置が
設けられている。Conventionally, in a vacuum deposition apparatus for continuously forming a metal film on the surface of a flexible long material such as a thin metal plate, a vacuum deposition chamber configured to allow the continuous passage of the long material. In the long material moving direction upstream and downstream,
A sealing device that forms a plurality of differential pressure chambers partitioned by a seal is provided.
【０００５】図２及び図３は、実開平１−９４４５７号
公報に開示されたシール装置を示し、該シール装置は、
長尺材料（図示せず）が通過可能な角筒状のシールボッ
クス１０と、略水平方向に延び、前記シールボックス１
０の一端側に当接した上下シールロール１１とを備えて
いる。FIGS. 2 and 3 show a seal device disclosed in Japanese Utility Model Laid-Open Publication No. 1-94457.
A rectangular cylindrical seal box 10 through which a long material (not shown) can pass;
0 and an upper and lower seal roll 11 abutting on one end side.
【０００６】前記シールロール１１は、左右両端部のロ
ール軸１２と一体になっている中央ロール１３と、該中
央ロール１３の端部に隣接するように遊転可能にロール
軸１２に外嵌された左右端部ロール１４とから構成され
ている。The seal roll 11 has a central roll 13 integrated with a roll shaft 12 at both left and right ends, and is fitted around the roll shaft 12 so as to be freely rotatable adjacent to an end of the central roll 13. And left and right end rolls 14.
【０００７】シールボックス１０は、上下シールプレー
ト１５と左右サイドプレート１６とから構成され、シー
ルプレート１５の一端の幅方向端部及びサイドプレート
１６の一端に形成した切欠き部１６ａは前記端部ロール
１４の外周面に当接し、また、シールプレート１５の幅
方向中間部には、中央ロール１３の外周面に対して間隙
ｇが形成されるようになっている。The seal box 10 includes an upper and lower seal plate 15 and left and right side plates 16. A notch 16 a formed at one end of the seal plate 15 in the width direction and one end of the side plate 16 is formed by the end roll. A gap g is formed in the middle portion of the seal plate 15 in the width direction with respect to the outer peripheral surface of the central roll 13.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかし、図２及び図３
に示すシール装置では、空気が通過するシール部分（間
隙ｇ）を形成するシールプレート１５の厚さを大きくし
ようとしても該シールプレート１５の厚さはシールロー
ル１１の径によって制限されるため、前記シール部分の
空気通過方向の長さを充分にとることができず、シール
装置１台あたりの差圧比が小さかった。However, FIG. 2 and FIG.
In the sealing device shown in FIG. 1, even if it is attempted to increase the thickness of the seal plate 15 forming the seal portion (gap) through which air passes, the thickness of the seal plate 15 is limited by the diameter of the seal roll 11. The length of the sealing portion in the air passage direction could not be sufficiently set, and the differential pressure ratio per sealing device was small.
【０００９】このため、真空蒸着室の前後に前述したシ
ール装置を１０段程度設けたうえ、真空蒸着室内を真空
状態にするための吸引装置の吸引容量を大きくしないと
真空蒸着室内の真空度を所定の値に保持することができ
なかった。For this reason, about 10 stages of the above-mentioned sealing device are provided before and after the vacuum deposition chamber, and the degree of vacuum in the vacuum deposition chamber must be increased unless the suction capacity of the suction device for making the vacuum deposition chamber a vacuum is increased. It could not be maintained at the predetermined value.
【００１０】本発明は上述した問題点を解決するもの
で、真空差圧を効率良く得ることが可能な真空差圧発生
装置を提供することを目的としている。An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a vacuum differential pressure generating device capable of efficiently obtaining a vacuum differential pressure.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の真空差圧発生装置は、互いに平行に且つ回転可能に支
持された略水平な上下ガイドロールと、上下ガイドロー
ルの外周面に巻掛けた長尺材料の上下ガイドロール間に
位置する部分が所定の長さになるように、前記ガイドロ
ールを内部に設けたチャンバに収納するガイドロールケ
ーシングと、隣接するチャンバに連通し且つ内部に挿通
された前記ガイドロール間に位置する長尺材料に対して
小さなクリアランスを有するトンネル部と、すくなくと
も前記各チャンバのひとつに直接または間接的に接続さ
れた吸引装置とを備え、前記トンネル部を略水平な軸を
中心に傾動可能に支持している。According to a first aspect of the present invention, there is provided a vacuum differential pressure generating apparatus comprising: a substantially horizontal upper and lower guide roll supported in parallel and rotatably; A guide roll casing for accommodating the guide roll in a chamber provided therein such that a portion of the wound long material located between the upper and lower guide rolls has a predetermined length; A tunnel portion having a small clearance for the long material located between the guide rolls inserted into the guide roll, and a suction device directly or indirectly connected to at least one of the chambers, wherein the tunnel portion is provided. It is supported so that it can tilt about a substantially horizontal axis.
【００１２】また、本発明の請求項２に記載の真空差圧
発生装置は、請求項１に記載の真空差圧発生装置の構成
に加えて、長尺材料に対してクリアランスを変えられる
ようにトンネル部内に長尺材料の通板方向に延びる内側
板を配設したうえ、該内側板を長尺材料に対して近接離
反させ得るよう構成している。Further, the vacuum differential pressure generating device according to the second aspect of the present invention can change the clearance for a long material in addition to the configuration of the vacuum differential pressure generating device according to the first aspect. An inner plate extending in the direction in which the long material passes in the tunnel portion is provided, and the inner plate can be moved toward and away from the long material.
【００１３】[0013]
【作用】本発明の請求項１，２に記載した真空差圧発生
装置のいずれにおいても、吸引装置を駆動すると、チャ
ンバ内の空気が吸引され、該チャンバ内の圧力が低下す
るとともに、トンネル部内の空気も吸引される。In any of the vacuum differential pressure generating devices according to the first and second aspects of the present invention, when the suction device is driven, the air in the chamber is sucked, the pressure in the chamber is reduced, and the pressure in the tunnel is reduced. Air is also sucked.
【００１４】このとき、各ガイドロールの軸方向に見
て、各ガイドロールに巻き掛けられて搬送される長尺材
料が、上下方向に移動するようになっているので、長尺
材料のカテナリー撓みを最小に抑制すると同時に、長尺
材料の移動に伴って生じる板厚方向の振動幅を小さくす
ることができ、これにより、長尺材料に対するトンネル
部のクリアランスを小さくしてシール効果を高めること
ができる。At this time, since the long material wound around and conveyed by each guide roll moves vertically when viewed in the axial direction of each guide roll, the catenary bending of the long material is performed. At the same time, the vibration width in the thickness direction caused by the movement of the long material can be reduced, thereby reducing the clearance of the tunnel portion with respect to the long material and increasing the sealing effect. it can.
【００１５】また、トンネル部が略水平な軸を中心に回
動できるようになっているので、各ガイドロールの表面
を研磨することにより、各ガイドロールの径が小さくな
ってこれらに巻き掛けられて搬送される長尺材料の水平
線に対する角度が小さくなったとしても、トンネル部を
略水平な軸を中心に回動させれば、トンネル部の内側面
と長尺材料との間を所定の間隔に保持することができ
る。Further, since the tunnel portion is rotatable about a substantially horizontal axis, the diameter of each guide roll is reduced by polishing the surface of each guide roll so that the guide roll can be wound around them. Even if the angle of the long material being conveyed to the horizontal line becomes small, if the tunnel portion is rotated about a substantially horizontal axis, the predetermined distance between the inner surface of the tunnel portion and the long material can be obtained. Can be held.
【００１６】本発明の請求項２に記載した真空差圧発生
装置においては、アクチュエータを作動させることによ
り、内側板の位置を調整するので、内側板を長尺材料の
通過位置に対して離反するように移動させておけば、ト
ンネル部に長尺材料の先端部を容易に挿通させることが
でき、また、トンネル部の内側面に付着した塵等に対す
る清掃作業を容易に行うことができる。In the vacuum pressure difference generating device according to the second aspect of the present invention, the position of the inner plate is adjusted by operating the actuator, so that the inner plate is separated from the position where the long material passes. With such a movement, the tip of the long material can be easily inserted into the tunnel portion, and the cleaning operation for dust or the like attached to the inner surface of the tunnel portion can be easily performed.
【００１７】[0017]
【実施例】以下本発明の実施例を図面を参照しつつ説明
する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１８】図１は本発明の一実施例であり、６０，６
１は回転可能に支持された略水平な上ガイドロール、６
２は上ガイドロール６０，６１の下方に回転可能に支持
され且つ上ガイドロール６０，６１に対して略平行な下
ガイドロールであり、前記上ガイドロール６０，６１、
下ガイドロール６２によって、それらのロール６０，６
１，６２に巻掛けた屈曲性を有する長尺材料２９を一方
Ａ側から他方Ｂ側へ向って搬送し得るようになってい
る。FIG. 1 shows an embodiment of the present invention.
1 is a substantially horizontal upper guide roll rotatably supported, 6
Reference numeral 2 denotes a lower guide roll rotatably supported below the upper guide rolls 60 and 61 and substantially parallel to the upper guide rolls 60 and 61.
By the lower guide roll 62, those rolls 60, 6
The flexible long material 29 wound around 1, 62 can be conveyed from one A side to the other B side.
【００１９】６３，６４は内部に上チャンバ６５，６６
を有し、該上チャンバ６５，６６に前記上ガイドロール
６０，６１を収納した上ガイドロールケーシング、６７
は内部に下チャンバ６８を有し、該下チャンバ６８に前
記下ガイドロール６２を収納した下ガイドロールケーシ
ングであり、上ガイドロール６０、下ガイドロール６
２、上ガイドロール６１は、それらのロール６０，６
２，６１により搬送される長尺材料２９のロール６０，
６２間及びロール６２，６１間に位置する部分が所定の
長さになるように、前記上ガイドロールケーシング６
３、下ガイドロールケーシング６７、上ガイドロールケ
ーシング６４内に支持されている。The upper chambers 63, 64 have upper chambers 65, 66 therein.
An upper guide roll casing 67 having the upper guide rolls 60 and 61 housed in the upper chambers 65 and 66.
Is a lower guide roll casing having a lower chamber 68 therein and containing the lower guide roll 62 in the lower chamber 68;
2. The upper guide roll 61 is composed of those rolls 60, 6
Roll 60 of the long material 29 transported by
The upper guide roll casing 6 is formed so that a portion located between the rolls 62 and between the rolls 62 and 61 has a predetermined length.
3. It is supported in the lower guide roll casing 67 and the upper guide roll casing 64.
【００２０】また、前記上ガイドロール６０，６１と下
ガイドロール６２は、各ガイドロール６０，６１，６２
の軸方向に見て、各ガイドロール６０，６１，６２に巻
き掛けられて搬送される長尺材料２９の水平線に対する
角度θが、略９０゜になるような位置関係になってい
る。Further, the upper guide rolls 60, 61 and the lower guide roll 62 are formed by the respective guide rolls 60, 61, 62.
When viewed in the axial direction, the angle θ with respect to the horizontal line of the long material 29 wound around and conveyed by each of the guide rolls 60, 61, 62 is substantially 90 °.
【００２１】６９，７０は隣接するチャンバ６５，６
８、チャンバ６８，６６にベローズ７１，７２，７３，
７４を介して接続されたトンネル部であり、トンネル部
６９，７０は同一構造を有している。69, 70 are adjacent chambers 65, 6
8. The bellows 71, 72, 73,
The tunnels are connected through a tunnel 74, and the tunnels 69 and 70 have the same structure.
【００２２】トンネル部６９，７０の構造をトンネル部
６９を例にとって説明すると、トンネル部６９は、略水
平に延びるピン７５によって傾動可能に支持された上下
方向に延びる略角筒状のトンネル部本体７６と、該トン
ネル部本体７６内に配設され、トンネル部本体７６外側
に設けられた流体圧シリンダ７７によってトンネル部本
体７６内に挿通された長尺材料２９に対して近接離反し
得る内側板７８とを備えており、前記トンネル部本体７
６は、ウォームスクリュー、流体圧シリンダ等の図示さ
れないアクチュエータによって所定の角度に傾動できる
ようになっている。The structure of the tunnel portions 69, 70 will be described by taking the tunnel portion 69 as an example. The tunnel portion 69 is a substantially rectangular tubular main body vertically extending and supported by a horizontally extending pin 75 so as to be tiltable. And an inner plate disposed inside the tunnel portion main body and capable of approaching and separating from the long material 29 inserted into the tunnel portion main body by a fluid pressure cylinder 77 provided outside the tunnel portion main body. 78 and the tunnel body 7
Numeral 6 can be tilted to a predetermined angle by an actuator (not shown) such as a worm screw or a fluid pressure cylinder.
【００２３】なお、図１において、７９，８０，８１は
前記チャンバ６５，６８，６６に接続された吸引装置で
ある。In FIG. 1, 79, 80 and 81 are suction devices connected to the chambers 65, 68 and 66.
【００２４】また、図１には図示されていないが、上下
ガイドロールケーシング６４の長尺材料２９搬送方向下
流Ｂ側には、前記トンネル部６９，７０と同構成のトン
ネル部を介して、ガイドロール、吸引装置等を有するガ
イドロールケーシング６７，６４と同構成のガイドロー
ルケーシングが複数段にわたって接続され、更に、長尺
材料２９搬送方向下流Ｂ側の最終段のガイドロールケー
シングには、真空蒸着室が接続されている。Although not shown in FIG. 1, a guide is provided on the downstream side B in the conveying direction of the long material 29 in the upper and lower guide roll casing 64 via a tunnel having the same configuration as the tunnels 69 and 70. Guide roll casings having the same configuration as the guide roll casings 67 and 64 having a roll, a suction device, and the like are connected in a plurality of stages, and further, the last stage guide roll casing on the downstream B side in the transport direction of the long material 29 is vacuum-deposited. Rooms are connected.
【００２５】以下、本実施例の作動を説明する。The operation of this embodiment will be described below.
【００２６】屈曲性を有する鋼板等の長尺材料２９に真
空蒸着処理を行う際には、長尺材料２９をチャンバ６５
へ導き、長尺材料２９をガイドロール６０に上下方より
巻掛け、長尺材料２９をトンネル部６９内へ挿通してチ
ャンバ６８へ導き、長尺材料２９をガイドロール６２に
下方より巻掛け、更に、長尺材料２９をトンネル部７０
内へ挿通してチャンバ６６へ導き、長尺材料２９をガイ
ドロール６１に上方より巻掛け、長尺材料２９を真空蒸
着室内へ導く。When performing a vacuum deposition process on the long material 29 such as a steel plate having flexibility, the long material 29 is placed in the chamber 65.
The long material 29 is wound around the guide roll 60 from above and below, the long material 29 is inserted into the tunnel portion 69 and guided to the chamber 68, and the long material 29 is wound around the guide roll 62 from below, Further, the long material 29 is transferred to the tunnel 70
The long material 29 is wound around the guide roll 61 from above and guided into the vacuum evaporation chamber.
【００２７】次いで、吸引装置７９，８０，８１を駆動
してチャンバ６５，６８，６６内の空気を排出する。Next, the suction devices 79, 80, 81 are driven to discharge the air in the chambers 65, 68, 66.
【００２８】吸引装置７９，８０，８１が作動すると、
チャンバ６５，６８，６６内の圧力が低下するととも
に、トンネル部６９，７０内の空気がチャンバ６５，６
８へと吸引される。When the suction devices 79, 80, 81 operate,
As the pressure in the chambers 65, 68, 66 decreases, the air in the tunnels 69, 70 becomes
Aspirated to 8.
【００２９】このとき、トンネル部６９，７０等のトン
ネル部上流Ａ側端部圧力Ｐ1、トンネル部下流Ｂ側端部
における圧力Ｐ2、トンネル部を通過する空気の分子量
Ｑの関係は、 Ｑ＝Ｃ（Ｐ1−Ｐ2）…（１） Ｃ：コンダクタンス で表わされる。At this time, the relationship between the pressure P 1 at the upstream A side end of the tunnel portions 69, 70, etc., the pressure P 2 at the downstream B side end of the tunnel portion, and the molecular weight Q of the air passing through the tunnel portion is as follows: = C (P 1 -P 2 ) (1) C: expressed by conductance.
【００３０】すなわち、コンダクタンスＣが小さいほ
ど、シール効果は大きく、トンネル部６９，７０を流通
する空気の流れが、分子流領域であるときには、コンダ
クタンスＣは次のように表される。 Ｃ＝α・Ｋｓ・（ａ＋ｂ）2 ／Ｌ（ａ＋ｂ）・（Ｔ／Ｍ）1/2…（２） α：ガス状数（常温空気の場合９，７０） Ｋｓ：補正係数 ａ：トンネル部の一方の対向する内壁の間隔 ｂ：トンネル部の他方の対向する内壁の間隔 Ｌ：トンネル部の長さ Ｔ：ガス（空気）の絶対温度 Ｍ：ガスの分子量（空気の場合２９，９６）That is, the smaller the conductance C, the greater the sealing effect. When the flow of air flowing through the tunnels 69 and 70 is in the molecular flow region, the conductance C is expressed as follows. C = α · Ks · (a + b) 2 / L (a + b) · (T / M) 1/2 (2) α: gaseous number (9,70 in the case of normal temperature air) Ks: correction coefficient a: tunnel section B: distance between the other opposing inner walls of the tunnel portion L: length of the tunnel portion T: absolute temperature of gas (air) M: molecular weight of gas (29, 96 in the case of air)
【００３１】よって、トンネル部６９，７０の形状は、
ａ，ｂが小さく、Ｌが大きいほど、シール効果を発揮す
る。Therefore, the shape of the tunnel portions 69 and 70 is
As a and b are smaller and L is larger, a sealing effect is exhibited.
【００３２】このようにして、各チャンバ６５，６８，
６６の内圧が所定の値まで低下したならば、ガイドロー
ル６０，６２，６１を回転させて、長尺材料２９を真空
蒸着室に連続的に搬送する。Thus, each of the chambers 65, 68,
When the internal pressure at 66 decreases to a predetermined value, the guide rolls 60, 62 and 61 are rotated to continuously transport the long material 29 to the vacuum evaporation chamber.
【００３２】本実施例の真空差圧発生装置では、長尺材
料２９に対して小さなクリアランスを有し且つ所定の長
さを有するトンネル部６９，７０を設けているので、シ
ール効果が極めて高い。In the vacuum pressure difference generating apparatus of the present embodiment, since the tunnel portions 69 and 70 having a small clearance and a predetermined length with respect to the long material 29 are provided, the sealing effect is extremely high.
【００３３】また、トンネル部６９，７０の流体圧シリ
ンダ７７を作動させることにより、内側板７８の位置を
調整することができるので、内側板７８を長尺材料２９
の通過位置に対して離反するように移動させておけば、
トンネル部６９，７０に長尺材料２９の先端部を容易に
挿通させることができ、また、トンネル部６９，７０の
内側面に付着した塵等に対する清掃作業を容易に行うこ
とができる。The position of the inner plate 78 can be adjusted by operating the fluid pressure cylinders 77 of the tunnel portions 69, 70.
If you move it away from the passing position of,
The distal end portion of the long material 29 can be easily inserted into the tunnel portions 69 and 70, and a cleaning operation for dust and the like adhered to the inner surfaces of the tunnel portions 69 and 70 can be easily performed.
【００３４】更に、トンネル部６９，７０がピン７５を
中心に回動できるようになっているので、各ガイドロー
ル６０，６１，６２の表面を研磨することにより、ガイ
ドロール６０，６１，６２の径が小さくなって各ガイド
ロール６０，６１，６２に巻き掛けられて搬送される長
尺材料２９の水平線に対する角度θが、略９０゜よりも
小さい値になっても、トンネル部６９，７０をピン７５
を中心に回動させれば、トンネル部６９，７０の内側面
と長尺材料２９との間を所定の間隔に保持することがで
きる。Further, since the tunnel portions 69, 70 can rotate about the pin 75, the surfaces of the guide rolls 60, 61, 62 are polished, so that the Even when the diameter becomes small and the angle θ of the long material 29 wound around each of the guide rolls 60, 61, and 62 with respect to the horizontal line becomes smaller than approximately 90 °, the tunnel portions 69 and 70 are formed. Pin 75
Can be maintained at a predetermined distance between the inner surfaces of the tunnel portions 69 and 70 and the long material 29.
【００３５】なお、本発明の真空差圧発生装置は、上述
の実施例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨
を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは
勿論である。It should be noted that the vacuum differential pressure generating device of the present invention is not limited to the above-described embodiment, and it goes without saying that various changes can be made without departing from the spirit of the present invention.
【００３６】[0036]
【発明の効果】以上述べたように、本発明の真空差圧発
生装置によれば、下記のような優れた効果を奏し得る。As described above, according to the vacuum differential pressure generator of the present invention, the following excellent effects can be obtained.
【００３７】（１）本発明の請求項１，２に記載した真
空差圧発生装置のいずれにおいても、各ガイドロールの
軸方向に見て、各ガイドロールに巻き掛けられて搬送さ
れる長尺材料が、上下方向に移動するようになっている
ので、長尺材料のカテナリー撓みを最小に抑制すると同
時に、長尺材料の移動に伴って生じる板厚方向の振動幅
を小さくすることができ、これにより、長尺材料に対す
るトンネル部のクリアランスを小さくしてシール効果を
高めることができる。(1) In any of the vacuum differential pressure generators according to the first and second aspects of the present invention, a long sheet wound around each guide roll and conveyed when viewed in the axial direction of each guide roll. Since the material moves in the vertical direction, the catenary flexure of the long material can be suppressed to the minimum, and the vibration width in the thickness direction caused by the movement of the long material can be reduced. Thereby, the clearance of the tunnel portion with respect to the long material can be reduced, and the sealing effect can be enhanced.
【００３８】（２）また、トンネル部が略水平な軸を中
心に回動できるようになっているので、各ガイドロール
の表面を研磨することにより、各ガイドロールの径が小
さくなってこれらに巻き掛けられて搬送される長尺材料
の水平線に対する角度が小さくなったとしても、トンネ
ル部を略水平な軸を中心に回動させれば、トンネル部の
内側面と長尺材料との間を所定の間隔に保持することが
できる。(2) Since the tunnel portion can be rotated about a substantially horizontal axis, the diameter of each guide roll is reduced by polishing the surface of each guide roll. Even if the angle of the long material wound and conveyed with respect to the horizontal line becomes small, if the tunnel portion is rotated about a substantially horizontal axis, the gap between the inner surface of the tunnel portion and the long material can be obtained. It can be maintained at a predetermined interval.
【００３９】（３）本発明の請求項２に記載した真空差
圧発生装置においては、アクチュエータを作動させるこ
とにより、内側板の位置を調整するので、内側板を長尺
材料の通過位置に対して離反するように移動させておけ
ば、トンネル部に長尺材料の先端部を容易に挿通させる
ことができ、また、トンネル部の内側面に付着した塵等
に対する清掃作業を容易に行うことができる。(3) In the vacuum differential pressure generating device according to the second aspect of the present invention, the position of the inner plate is adjusted by operating the actuator. If the material is moved away from the tunnel, the tip of the long material can be easily inserted into the tunnel, and the cleaning work for dust and the like adhering to the inner surface of the tunnel can be easily performed. it can.
【図１】本発明の真空差圧発生装置の一実施例を示す断
面図である。FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of a vacuum differential pressure generating device of the present invention.
【図２】従来のシール装置の一例の斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of an example of a conventional sealing device.
【図３】図２に示す装置のシールボックスの斜視図であ
る。FIG. 3 is a perspective view of a seal box of the device shown in FIG.
２９ 長尺材料 ６０，６１ 上ガイドロール（ガイドロール） ６２ 下ガイドロール（ガイドロール） ６３，６４ 上ガイドロールケーシング（ガイドロー
ルケーシング） ６５，６６ 上チャンバ（チャンバ） ６７ 下ガイドロールケーシング（ガイドロールケー
シング） ６８ 下チャンバ（チャンバ） ６９，７０ トンネル部 ７５ ピン（略水平な軸） ７８ 内側板 ７９，８０，８１ 吸引装置29 Long material 60, 61 Upper guide roll (guide roll) 62 Lower guide roll (guide roll) 63, 64 Upper guide roll casing (guide roll casing) 65, 66 Upper chamber (chamber) 67 Lower guide roll casing (guide roll) Casing) 68 Lower chamber (chamber) 69, 70 Tunnel part 75 Pin (substantially horizontal axis) 78 Inner plate 79, 80, 81 Suction device
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−23982（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−179876（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−59965（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−130142（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−165074（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−14556（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭58−47247（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C23C 14/00 - 14/58 B01J 3/03 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (56) References JP-A-62-23982 (JP, A) JP-A-2-179876 (JP, A) JP-A-4-59965 (JP, A) JP-A-4-199 130142 (JP, A) JP-A-4-165074 (JP, A) JP-A-63-1556 (JP, U) JP-B-58-47247 (JP, B2) (58) Fields investigated (Int. 7 , DB name) C23C 14/00-14/58 B01J 3/03
Claims (2)
略水平な上下ガイドロールと、上下ガイドロールの外周
面に巻掛けた長尺材料の上下ガイドロール間に位置する
部分が所定の長さになるように、前記ガイドロールを内
部に設けたチャンバに収納するガイドロールケーシング
と、隣接するチャンバに連通し且つ内部に挿通された前
記ガイドロール間に位置する長尺材料に対して小さなク
リアランスを有するトンネル部と、すくなくとも前記各
チャンバのひとつに直接または間接的に接続された吸引
装置とを備え、前記トンネル部を略水平な軸を中心に傾
動可能に支持したことを特徴とする真空差圧発生装置。A substantially horizontal upper and lower guide roll supported in a rotatable manner in parallel with each other, and a portion of the long material wound on the outer peripheral surface of the upper and lower guide rolls located between the upper and lower guide rolls has a predetermined length. And a guide roll casing for accommodating the guide roll in a chamber provided therein, and a small clearance for a long material located between the guide rolls that are communicated with an adjacent chamber and inserted inside. A vacuum device comprising: a tunnel portion having at least one suction device directly or indirectly connected to at least one of the chambers; and supporting the tunnel portion so as to be tiltable about a substantially horizontal axis. Generator.
れるようにトンネル部内に長尺材料の通板方向に延びる
内側板を配設したうえ、該内側板を長尺材料に対して近
接離反させ得るよう構成した請求項１に記載の真空差圧
発生装置。2. An inner plate extending in the direction in which the long material passes in the tunnel portion so that the clearance can be changed with respect to the long material, and the inner plate is moved close to and away from the long material. The vacuum differential pressure generator according to claim 1, wherein the vacuum differential pressure generator is configured to obtain the pressure difference.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21918791A JP3156286B2 (en) | 1991-08-05 | 1991-08-05 | Vacuum differential pressure generator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21918791A JP3156286B2 (en) | 1991-08-05 | 1991-08-05 | Vacuum differential pressure generator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0539572A JPH0539572A (en) | 1993-02-19 |
| JP3156286B2 true JP3156286B2 (en) | 2001-04-16 |
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ID=16731571
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
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| JP (1) | JP3156286B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5847247B2 (en) | 2014-07-14 | 2016-01-20 | 株式会社東芝 | Magnetic resonance imaging system |
-
1991
- 1991-08-05 JP JP21918791A patent/JP3156286B2/en not_active Expired - Fee Related
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| JP5847247B2 (en) | 2014-07-14 | 2016-01-20 | 株式会社東芝 | Magnetic resonance imaging system |
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| JPH0539572A (en) | 1993-02-19 |
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