JP3239346B2 - Sample cartridge and cartridge holder for vacuum heating device - Google Patents
Sample cartridge and cartridge holder for vacuum heating deviceInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ブリッジマン法におけ
る真空加熱装置用の試料カートリッジとカートリッジホ
ルダーに関する。The present invention relates to a sample cartridge and a cartridge holder for a vacuum heating device in the Bridgman method.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ブリッジマン法による材料の一方向凝固
は、例えばシリコン等の単結晶を成長させるために従来
から広く用いられている。かかるブリッジマン法による
一方向凝固には、例えば図２に示すような加熱装置が用
いられている。この加熱装置は、軸線方向に直列に配置
されたほぼ中空円筒形の高温室１及び低温室２と、高温
室１と低温室２の間に設けられた中空ドーナツ状の冷却
器３と、高温室と低温室内にそれぞれ配置され互いに連
結された中空円筒状の試料カートリッジ４及びカートリ
ッジホルダー５とを備えており、これら全てが真空容器
６（一部のみを示す）の内部に設置されている。試料カ
ートリッジ４の中にはブリッジマン法により一方向凝固
させる材料７（例えばシリコン、合金等）が封入されて
おり、高温室１に設けられた加熱用ヒータ（図示せず）
により材料７が加熱・溶融されるようになっている。2. Description of the Related Art Unidirectional solidification of a material by the Bridgman method has been widely used for growing a single crystal such as silicon. For such directional solidification by the Bridgman method, for example, a heating device as shown in FIG. 2 is used. This heating device comprises a substantially hollow cylindrical high-temperature chamber 1 and a low-temperature chamber 2 arranged in series in the axial direction, a hollow donut-shaped cooler 3 provided between the high-temperature chamber 1 and the low-temperature chamber 2, A hollow cylindrical sample cartridge 4 and a cartridge holder 5 are arranged in the chamber and the low-temperature chamber and connected to each other, all of which are installed inside a vacuum vessel 6 (only a part is shown). A material 7 (for example, silicon, alloy, or the like) to be unidirectionally solidified by the Bridgman method is sealed in the sample cartridge 4, and a heating heater (not shown) provided in the high-temperature chamber 1.
Thereby, the material 7 is heated and melted.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】上記加熱装置により材
料７の一方向凝固を最適に行うためには、材料７の溶融
点付近の温度勾配をできるだけ大きくする必要がある。
このため、従来の加熱装置では高温室１と低温室２の間
の冷却器３に冷却水を流し、試料カートリッジ４の一部
を冷却するようになっていた。しかし、真空下では伝熱
量が非常に小さいため、冷却器３で冷却してもカートリ
ッジ４の一部を十分に冷却できない問題点があった。ま
た、従来のカートリッジホルダー５は、図２に示したよ
うに薄肉中空円筒形であり、かつ材質も熱伝導率の小さ
い耐熱材料（例えばタンタル）であるため、カートリッ
ジホルダー５を通して外部へ伝達できる熱量が小さい問
題点があった。更に、従来の試料カートリッジ４は、カ
ートリッジホルダー５に平行ネジ５ａで連結されている
が、平行ネジ５ａの雄ネジと雌ネジの間には通常隙間が
あるため接触面積が小さく、従って熱伝導による伝達熱
量が少なく、また真空下ではこの隙間の熱伝達量が輻射
のみによるので小さいという問題点があった。従って、
従来の試料カートリッジ４及びカートリッジホルダー５
では試料カートリッジ４の端部からの放熱を大きくでき
ず、材料７内の温度勾配を十分大きくできない問題点が
あった。In order to optimize the unidirectional solidification of the material 7 by the heating device, it is necessary to increase the temperature gradient near the melting point of the material 7 as much as possible.
For this reason, in the conventional heating apparatus, cooling water is supplied to the cooler 3 between the high temperature chamber 1 and the low temperature chamber 2 to cool a part of the sample cartridge 4. However, since the amount of heat transfer is very small under vacuum, there is a problem that a part of the cartridge 4 cannot be sufficiently cooled even when cooled by the cooler 3. Further, since the conventional cartridge holder 5 has a thin hollow cylindrical shape as shown in FIG. 2 and is made of a heat-resistant material (for example, tantalum) having a small thermal conductivity, the amount of heat that can be transmitted to the outside through the cartridge holder 5 is reduced. There was a small problem. Further, the conventional sample cartridge 4 is connected to the cartridge holder 5 by the parallel screw 5a. However, since there is usually a gap between the male screw and the female screw of the parallel screw 5a, the contact area is small, and therefore, the heat transfer due to heat conduction occurs. There is a problem in that the amount of heat transfer is small, and the amount of heat transfer in this gap is small under vacuum because it is caused only by radiation. Therefore,
Conventional sample cartridge 4 and cartridge holder 5
In this case, there is a problem that the heat radiation from the end of the sample cartridge 4 cannot be increased and the temperature gradient in the material 7 cannot be sufficiently increased.
【０００４】本発明はかかる問題点を解決するために創
案されたものである。すなわち、本発明の目的は、真空
下で試料カートリッジの端部からの放熱が大きく、材料
の一方向凝固を最適に近い状態で行うことができる真空
加熱装置用の試料カートリッジとカートリッジホルダー
を提供することにある。The present invention has been made to solve such a problem. That is, an object of the present invention is to provide a sample cartridge and a cartridge holder for a vacuum heating device, which have a large amount of heat radiation from the end of the sample cartridge under vacuum and can perform unidirectional solidification of the material in a state close to the optimum. It is in.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明によれば、軸線方
向に直列に配置されたほぼ中空円筒形の高音室及び低温
室と、該高温室と低温室内にそれぞれ配置され互いに連
結された試料カートリッジ及びカートリッジホルダーと
を備えた真空加熱装置用の試料カートリッジとカートリ
ッジホルダーであって、前記試料カートリッジは中空円
筒形であり、かつ前記カートリッジホルダーとの連結部
に切頭円錐形雄部分と縮径円筒形雄部分とを有し、前記
カートリッジホルダーは中実円筒形であり、かつ前記試
料カートリッジとの連結部に前記切頭円錐形雄部分及び
縮径円筒形雄部分にそれぞれ嵌合する切頭円錐形雌部分
と縮径円筒形雌部分とを有し、また、前記試料カートリ
ッジの切頭円錐形雄部分及び縮径円筒形雄部分の外面、
及び前記カートリッジホルダーの切頭円錐形雌部分と縮
径円筒形雌部分の内面には、セラミックコーティングが
施されている、ことを特徴とする真空加熱装置用の試料
カートリッジとカートリッジホルダーが提供される。According to the present invention, a substantially hollow cylindrical high sound chamber and a low temperature chamber arranged in series in the axial direction, and samples arranged respectively in the high temperature chamber and the low temperature chamber and connected to each other. A sample cartridge and a cartridge holder for a vacuum heating device comprising a cartridge and a cartridge holder, wherein the sample cartridge has a hollow cylindrical shape, and has a truncated conical male portion and a reduced diameter at a connection portion with the cartridge holder. A cylindrical male portion, wherein the cartridge holder is a solid cylindrical shape, and the truncated cone-shaped male portion and the reduced-diameter cylindrical male portion are respectively fitted to a connection portion with the sample cartridge. An outer surface of a frusto-conical male portion and a reduced-diameter cylindrical male portion of the sample cartridge having a conical female portion and a reduced-diameter cylindrical female portion;
And a sample cartridge and a cartridge holder for a vacuum heating device, wherein the inner surfaces of the truncated conical female portion and the reduced-diameter cylindrical female portion of the cartridge holder are provided with a ceramic coating. .
【０００６】さらに、本発明によれば、軸線方向に直列
に配置されたほぼ中空円筒形の高音室及び低温室と、該
高温室と低温室内にそれぞれ配置され互いに連結された
試料カートリッジ及びカートリッジホルダーとを備えた
真空加熱装置用の試料カートリッジとカートリッジホル
ダーであって、前記試料カートリッジは中空円筒形であ
り、かつ前記カートリッジホルダーとの連結部に切頭円
錐形雄部分と縮径円筒形雄部分とを有し、前記カートリ
ッジホルダーは中実円筒形であり、かつ前記試料カート
リッジとの連結部に前記切頭円錐形雄部分及び縮径円筒
形雄部分にそれぞれ嵌合する切頭円錐形雌部分と縮径円
筒形雌部分とを有し、また、前記カートリッジホルダー
は銅又は銅合金からなり、かつその表面にセラミックコ
ーティングが施されている、ことを特徴とする真空加熱
装置用の試料カートリッジとカートリッジホルダーが提
供される。Further, according to the present invention, a generally hollow cylindrical high sound chamber and a low temperature chamber arranged in series in the axial direction, and a sample cartridge and a cartridge holder arranged in the high temperature chamber and the low temperature chamber and connected to each other, respectively. A sample cartridge and a cartridge holder for a vacuum heating device, comprising: a hollow cylindrical shape; and a truncated conical male portion and a reduced-diameter cylindrical male portion at a connection portion with the cartridge holder. Wherein the cartridge holder has a solid cylindrical shape, and a frusto-conical female portion that fits into the connection portion with the sample cartridge to the male and female truncated cones, respectively. And a reduced-diameter cylindrical female portion, and the cartridge holder is made of copper or a copper alloy, and has a ceramic coating on its surface. And that, the sample cartridge and the cartridge holder for vacuum heating apparatus, characterized in that there is provided.
【０００７】[0007]
【作用】本発明は、試料カートリッジとカートリッジホ
ルダーとの連結構造とカートリッジホルダー自体の構造
を伝熱に適した構造にすることにより、真空下において
試料カートリッジの端部からの放熱を大きくしようとす
るものである。すなわち、本発明の上記構成によれば、
試料カートリッジとカートリッジホルダーとの連結部が
切頭円錐形の雄部分と雌部分の嵌合と、縮径円筒形の雄
部分と雌部分の嵌合とからなるので、連結部が互いに密
着して隙間がほとんどなくなり、接触面積を大きくし熱
伝導による伝熱量を大きくすることができ、同時に隙間
が小さいため輻射による伝熱量も大きくすることができ
る。またカートリッジホルダーが中実円筒形であるため
熱抵抗が小さく、試料カートリッジからカートリッジホ
ルダーに伝達された熱量を円滑に外部へ伝達することが
できる。The present invention seeks to increase the heat radiation from the end of the sample cartridge under vacuum by making the connection structure between the sample cartridge and the cartridge holder and the structure of the cartridge holder itself suitable for heat transfer. Things. That is, according to the above configuration of the present invention,
Since the connecting portion between the sample cartridge and the cartridge holder consists of fitting of a male portion and a female portion having a truncated cone shape and fitting of a male portion and a female portion having a reduced diameter cylindrical shape, the connecting portions are in close contact with each other. Since there is almost no gap, the contact area can be increased and the amount of heat transfer by heat conduction can be increased. At the same time, since the gap is small, the amount of heat transfer by radiation can be increased. In addition, since the cartridge holder has a solid cylindrical shape, the thermal resistance is small, and the amount of heat transmitted from the sample cartridge to the cartridge holder can be smoothly transmitted to the outside.
【０００８】更に、連結部の外面及び内面に、セラミッ
クコーテングを施こすことにより、連結部の輻射率を高
めることができ、連結部の輻射伝熱量を一層高めること
ができる。また、カートリッジホルダーに銅又は銅合金
を用い、その表面にセラミックコーテングを施こすこと
により、輻射による損傷を防止しつつ熱伝導率を高める
ことができる。Further, by applying a ceramic coating to the outer surface and the inner surface of the connecting portion, the emissivity of the connecting portion can be increased, and the radiant heat transfer of the connecting portion can be further increased. In addition, by using copper or a copper alloy for the cartridge holder and applying a ceramic coating to the surface thereof, it is possible to increase the thermal conductivity while preventing damage due to radiation.
【０００９】[0009]
【実施例】以下に本発明の好ましい実施例を図面を参照
して説明する。なお、図２と共通する部分には同一の符
号を付して使用する。図１は本発明による試料カートリ
ッジとカートリッジホルダーを用いた真空加熱装置の部
分断面図である。この図において、真空加熱装置は、ほ
ぼ中空円筒形の高温室１及び低温室２と、高温室１と低
温室２の内部にそれぞれ配置された試料カートリッジ１
０及びカートリッジホルダー１２とを備えている。高温
室１と低温室２は、軸線方向に直列に配置されている。
また、試料カートリッジ１０の一端とカートリッジホル
ダー１２の一端とは互いに連結され、カートリッジホル
ダー１２の他端は真空容器６（一部のみを示す）を通し
て外部に気密に連通している。更に、高温室１と低温室
２の間に中空ドーナツ状の冷却器３が設けられ、冷却器
３の内部に冷却水を通して冷却器３を冷却できるように
なっている。また、これら全ての機器は真空容器６の内
部に設置されており、図示しない真空装置により真空容
器６の内部は真空（例えば１０-1〜１０-3Ｐａ）に保持
される。試料カートリッジ４の中にはブリッジマン法に
より一方向凝固させる材料７（例えばシリコン、合金
等）が封入されており、高温室１に設けられた加熱ヒー
タ（図示せず）により高温室１の内部を例えば１６００
℃以上の高温に保持し、材料７を加熱・溶融するように
なっている。一方、低温室２の内部には加熱ヒータは設
けられず、低温室２の内部は約６００℃に保持される。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. Note that parts common to those in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals. FIG. 1 is a partial sectional view of a vacuum heating apparatus using a sample cartridge and a cartridge holder according to the present invention. In this figure, a vacuum heating device includes a substantially hollow cylindrical high-temperature chamber 1 and a low-temperature chamber 2, and sample cartridges 1 disposed inside the high-temperature chamber 1 and the low-temperature chamber 2, respectively.
0 and a cartridge holder 12. The high-temperature chamber 1 and the low-temperature chamber 2 are arranged in series in the axial direction.
One end of the sample cartridge 10 and one end of the cartridge holder 12 are connected to each other, and the other end of the cartridge holder 12 is air-tightly communicated with the outside through a vacuum container 6 (only a part is shown). Further, a cooler 3 having a hollow donut shape is provided between the high-temperature chamber 1 and the low-temperature chamber 2, and the cooler 3 can be cooled by passing cooling water inside the cooler 3. All of these devices are installed inside the vacuum vessel 6, and the inside of the vacuum vessel 6 is kept at a vacuum (for example, 10 -1 to 10 -3 Pa) by a vacuum device (not shown). A material 7 (for example, silicon, alloy, or the like) to be unidirectionally solidified by the Bridgman method is sealed in the sample cartridge 4, and the inside of the high-temperature chamber 1 is heated by a heater (not shown) provided in the high-temperature chamber 1. To 1600
The material 7 is heated and melted at a high temperature of not less than ℃. On the other hand, no heater is provided inside the low-temperature chamber 2 and the inside of the low-temperature chamber 2 is maintained at about 600 ° C.
【００１０】本発明によれば、試料カートリッジ１０は
中空円筒形であり、かつカートリッジホルダー１２との
連結部に切頭円錐形雄部分１０ａと縮径円筒形雄部分１
０ｂとを有している。試料カートリッジ１０は、薄い耐
熱金属、例えば厚さ約１ｍｍのタンタルで形成されてい
る。これにより、外部の熱を内部に円滑に伝え、内部に
封入された材料７を加熱することができる。また、前記
試料カートリッジ１０の切頭円錐形雄部分１０ａ及び縮
径円筒形雄部分１０ｂの外面には、セラミックコーテン
グが施こされている。かかるセラミックコーテングによ
り、コーテングなしの場合の低い輻射率（０．１〜０．
２）を例えば、約０．８程度まで高めることができ、真
空下での輻射伝熱を促進させることができる。更に、縮
径円筒形雄部分１０ｂは、半径方向に延びる複数の雌ネ
ジを有している。この雌ネジは、後述するように、カー
トリッジホルダー１２との連結に用いられる。According to the present invention, the sample cartridge 10 has a hollow cylindrical shape and has a frusto-conical male portion 10a and a reduced-diameter cylindrical male portion 1 connected to the cartridge holder 12.
0b. The sample cartridge 10 is formed of a thin heat-resistant metal, for example, tantalum having a thickness of about 1 mm. Thereby, external heat can be smoothly transmitted to the inside, and the material 7 sealed inside can be heated. The outer surfaces of the frusto-conical male portion 10a and the reduced-diameter cylindrical male portion 10b of the sample cartridge 10 are coated with a ceramic coating. With such a ceramic coating, the low emissivity without coating (0.1-0.
2) can be increased to, for example, about 0.8, and radiant heat transfer under vacuum can be promoted. Further, the reduced-diameter cylindrical male portion 10b has a plurality of female screws extending in the radial direction. The female screw is used for connection with the cartridge holder 12 as described later.
【００１１】一方、カートリッジホルダー１２は中実円
筒形であり、かつ試料カートリッジ１０との連結部に前
記切頭円錐形雄部分１０ａ及び縮径円筒形雄部分１０ｂ
にそれぞれ嵌合する切頭円錐形雌部分１２ａと縮径円筒
形雌部分１２ｂとを有している。このカートリッジホル
ダー１２の切頭円錐形雌部分１２ａ及び縮径円筒形雌部
分１２ｂの内面にも、セラミックコーテングが施こされ
ている。また、カートリッジホルダー１２は銅又は銅合
金からなり、かつその表面にセラミックコーテングが施
こされている。かかるセラミックコーテングにより、表
面の耐熱性能と輻射率の両方を高め、カートリッジホル
ダー１２の加熱を防ぐことができ、従来使用が困難であ
った銅又は銅合金を使用することができ、その高い熱伝
導率を有効に生かすことができる。更に、縮径円筒形雌
部分１２ｂは、前記縮径円筒形雄部分１０ｂの雌ネジと
整合する位置に半径方向に延びる複数の開口を有し、こ
の開口を通して複数のボルト１３が縮径円筒形雄部分１
０ｂの雌ネジと螺合し、試料カートリッジ１０とカート
リッジホルダー１２を連結している。かかる連結方法に
より、試料カートリッジ１０とカートリッジホルダー１
２の端面を密着して固定することができ、同時に相対的
に捩じることなく連結できるため、例えば熱電対等をカ
ートリッジホルダー１２を介して試料カートリッジ１０
まで容易に通すことができる。なお、連結方法はこれに
限定されず、例えば前記縮径円筒形雄部分１０ｂの端部
に雄ネジを設け、これと螺合する雌ネジを前記縮径円筒
形雌部分１２ｂの末端に設け、両者を螺合させて連結し
てもよい。On the other hand, the cartridge holder 12 has a solid cylindrical shape, and has a frusto-conical male portion 10a and a reduced-diameter cylindrical male portion 10b connected to the sample cartridge 10.
Each has a frusto-conical female portion 12a and a reduced-diameter cylindrical female portion 12b which fit into each other. Ceramic coating is also applied to the inner surfaces of the truncated conical female portion 12a and the reduced-diameter cylindrical female portion 12b of the cartridge holder 12. The cartridge holder 12 is made of copper or a copper alloy, and has a ceramic coating on its surface. With such a ceramic coating, both the heat resistance and the emissivity of the surface can be increased, the heating of the cartridge holder 12 can be prevented, and copper or a copper alloy, which has been difficult to use conventionally, can be used. The rate can be used effectively. Further, the reduced-diameter cylindrical female portion 12b has a plurality of radially extending openings at positions matching the female threads of the reduced-diameter cylindrical male portion 10b, and through which the plurality of bolts 13 are connected to the reduced-diameter cylindrical shape. Male part 1
The sample cartridge 10 and the cartridge holder 12 are connected with each other by screwing with a female screw 0b. With this connection method, the sample cartridge 10 and the cartridge holder 1
2 can be fixed in close contact with each other and at the same time can be connected without relatively twisting. For example, a thermocouple or the like can be connected to the sample cartridge 10 through the cartridge holder 12.
Can be easily threaded. The connection method is not limited to this, for example, a male screw is provided at an end of the reduced-diameter cylindrical male portion 10b, and a female screw to be screwed with the male screw is provided at an end of the reduced-diameter cylindrical female portion 12b. Both may be screwed and connected.
【００１２】上述した構成により、試料カートリッジ１
０とカートリッジホルダー１２との連結構造とカートリ
ッジホルダー１２自体の構造が最適化され、真空下にお
いて試料カートリッジ１０の一端からの放熱を大きくす
ることができる。すなわち、本発明の上記構成によれ
ば、試料カートリッジ１０とカートリッジホルダー１２
との連結部が切頭円錐形の雄部分１０ａと雌部分１２ａ
の嵌合と、縮径円筒形の雄部分１０ｂと雌部分１２ｂの
嵌合とからなるので、連結部が互いに密着し隙間がほと
んどなくなり、接触面積を大きくし熱伝導量を高めるこ
とができ、かつ隙間が小さいため輻射伝熱量を大きくす
ることができる。またカートリッジホルダー１２が中実
円筒形であるため、熱抵抗が小さく試料カートリッジ１
０からカートリッジホルダー１２に伝達された熱を円滑
に外部へ伝達することができる。With the above-described configuration, the sample cartridge 1
The connection structure between the cartridge holder 12 and the cartridge holder 12 and the structure of the cartridge holder 12 itself are optimized, and the heat radiation from one end of the sample cartridge 10 can be increased under vacuum. That is, according to the above configuration of the present invention, the sample cartridge 10 and the cartridge holder 12
The male part 10a and the female part 12a having a frustoconical connection
And the fitting of the male part 10b and the female part 12b of the reduced-diameter cylindrical shape, the connecting parts are in close contact with each other, there is almost no gap, the contact area can be increased, and the amount of heat conduction can be increased. In addition, since the gap is small, the amount of radiation heat transfer can be increased. Further, since the cartridge holder 12 has a solid cylindrical shape, the thermal resistance is small and the sample cartridge 1 is small.
The heat transmitted from 0 to the cartridge holder 12 can be smoothly transmitted to the outside.
【００１３】更に、連結部の外面及び内面に、セラミッ
クコーテングを施こすことにより、連結部の輻射率を高
めることができ、連結部の輻射伝熱量を一層高めること
ができる。また、カートリッジホルダー１２に銅又は銅
合金を用い、その表面にセラミックコーテングを施こす
ことにより、輻射による損傷を防止しつつ熱伝導率を高
めることができる。Further, by applying a ceramic coating to the outer surface and the inner surface of the connecting portion, the emissivity of the connecting portion can be increased, and the radiant heat transfer of the connecting portion can be further increased. Further, by using copper or a copper alloy for the cartridge holder 12 and applying a ceramic coating to the surface thereof, it is possible to increase the thermal conductivity while preventing damage due to radiation.
【００１４】[0014]
【発明の効果】従って、本発明の真空加熱装置用の試料
カートリッジとカートリッジホルダーは、真空下で試料
カートリッジの端部からの放熱が大きく、材料の一方向
凝固を最適に近い状態で行うことができる優れた効果を
有している。Accordingly, the sample cartridge and the cartridge holder for the vacuum heating device of the present invention have a large amount of heat radiation from the end of the sample cartridge under vacuum, and can perform unidirectional solidification of the material in an almost optimal state. It has an excellent effect.
【図１】本発明による試料カートリッジとカートリッジ
ホルダーを用いた真空加熱装置の部分断面図である。FIG. 1 is a partial sectional view of a vacuum heating device using a sample cartridge and a cartridge holder according to the present invention.
【図２】従来の試料カートリッジとカートリッジホルダ
ーを用いた真空加熱装置の部分断面図である。FIG. 2 is a partial cross-sectional view of a conventional vacuum heating device using a sample cartridge and a cartridge holder.
【符号の説明】 １ 高温室 ２ 低温室 ３ 冷却器 ４ 試料カートリッジ ５ カートリッジホルダー ５ａ 平行ネジ ６ 真空容器 ７ 材料 １０ 試料カートリッジ １０ａ 切頭円錐形雄部分 １０ｂ 縮径円筒形雄部分 １２ カートリッジホルダー １２ａ 切頭円錐形雌部分 １２ｂ 縮径円筒形雌部分 １３ ボルト[Description of Signs] 1 High temperature chamber 2 Low temperature chamber 3 Cooler 4 Sample cartridge 5 Cartridge holder 5a Parallel screw 6 Vacuum container 7 Material 10 Sample cartridge 10a Truncated conical male part 10b Reduced diameter cylindrical male part 12 Cartridge holder 12a Cut Frustoconical female part 12b Reduced diameter cylindrical female part 13 Bolt
Claims (2)
筒形の高音室及び低温室と、該高温室と低温室内にそれ
ぞれ配置され互いに連結された試料カートリッジ及びカ
ートリッジホルダーとを備えた真空加熱装置用の試料カ
ートリッジとカートリッジホルダーであって、 前記試料カートリッジは中空円筒形であり、かつ前記カ
ートリッジホルダーとの連結部に切頭円錐形雄部分と縮
径円筒形雄部分とを有し、 前記カートリッジホルダーは中実円筒形であり、かつ前
記試料カートリッジとの連結部に前記切頭円錐形雄部分
及び縮径円筒形雄部分にそれぞれ嵌合する切頭円錐形雌
部分と縮径円筒形雌部分とを有し、 また、前記試料カートリッジの切頭円錐形雄部分及び縮
径円筒形雄部分の外面、及び前記カートリッジホルダー
の切頭円錐形雌部分と縮径円筒形雌部分の内面には、セ
ラミックコーティングが施されている、 ことを特徴とす
る真空加熱装置用の試料カートリッジとカートリッジホ
ルダー。1. A vacuum heating system comprising a generally hollow cylindrical high sound chamber and a low temperature chamber arranged in series in the axial direction, and a sample cartridge and a cartridge holder arranged in the high temperature chamber and the low temperature chamber and connected to each other. A sample cartridge and a cartridge holder for an apparatus, wherein the sample cartridge has a hollow cylindrical shape, and has a truncated conical male portion and a reduced-diameter cylindrical male portion at a connection portion with the cartridge holder; The cartridge holder has a solid cylindrical shape, and has a frusto-conical female portion and a reduced-diameter cylindrical female fitted respectively to the connecting portion with the sample cartridge to the frusto-conical male portion and the reduced-diameter cylindrical male portion. possess a portion, also frustoconical Katachiyu portion and contraction of the sample cartridge
Outer surface of a cylindrical male part having a diameter, and the cartridge holder
The inner surface of the frusto-conical female part and the reduced-diameter cylindrical female part
A sample cartridge and a cartridge holder for a vacuum heating device , which are provided with a lamic coating .
筒形の高音室及び低温室と、該高温室と低温室内にそれ
ぞれ配置され互いに連結された試料カートリッジ及びカ
ートリッジホルダーとを備えた真空加熱装置用の試料カ
ートリッジとカートリッジホルダーであって、 前記試料カートリッジは中空円筒形であり、かつ前記カ
ートリッジホルダーとの連結部に切頭円錐形雄部分と縮
径円筒形雄部分とを有し、 前記カートリッジホルダーは中実円筒形であり、かつ前
記試料カートリッジとの連結部に前記切頭円錐形雄部分
及び縮径円筒形雄部分にそれぞれ嵌合する切頭円錐形雌
部分と縮径円筒形雌部分とを有し、 また、前記カートリッジホルダーは銅又は銅合金からな
り、かつその表面にセラミックコーティングが施されて
いる、ことを特徴とする真空加熱装置用の試料カートリ
ッジとカートリッジホルダー。 2. A substantially hollow circle arranged in series in the axial direction.
A cylindrical high-temperature room and a low-temperature room, and the high-temperature room and the low-temperature room
Sample cartridges and cartridges arranged and connected to each other
Sample holder for vacuum heater with cartridge holder
A cartridge and a cartridge holder, wherein the sample cartridge is hollow cylindrical and
At the connection with the cartridge holder, a frusto-conical male
A cylindrical male part, said cartridge holder being solid cylindrical and
The frustoconical male part is connected to the sample cartridge.
And frusto-conical female fitting into the cylindrical male part of reduced diameter
Part and a reduced-diameter cylindrical female part, and the cartridge holder is made of copper or copper alloy.
And the surface is coated with ceramic
Sample cartridge for a vacuum heating device
Cartridge and cartridge holder.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09632193A JP3239346B2 (en) | 1993-04-23 | 1993-04-23 | Sample cartridge and cartridge holder for vacuum heating device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09632193A JP3239346B2 (en) | 1993-04-23 | 1993-04-23 | Sample cartridge and cartridge holder for vacuum heating device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06305874A JPH06305874A (en) | 1994-11-01 |
| JP3239346B2 true JP3239346B2 (en) | 2001-12-17 |
Family
ID=14161755
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09632193A Expired - Fee Related JP3239346B2 (en) | 1993-04-23 | 1993-04-23 | Sample cartridge and cartridge holder for vacuum heating device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3239346B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3549621B2 (en) * | 1995-06-09 | 2004-08-04 | 株式会社アイ・エイチ・アイ・エアロスペース | Temperature limiting circuit |
-
1993
- 1993-04-23 JP JP09632193A patent/JP3239346B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06305874A (en) | 1994-11-01 |
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