JP3812469B2 - 光ファイバ保持体とその製法及び光ファイバ固定板 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、光ファイバを用いた光伝送路形成技術に関し、特に光ファイバアレイのような光ファイバ保持体とその製法及びこの製法の実施に使用する光ファイバ固定板に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、２次元光ファイバアレイとしては、図１９，２０に示すものが本願と同一出願人により既に提案されている（例えば、特願２００１−２４１１８０号参照）。
【０００３】
図１９，２０に示す光ファイバアレイにあっては、光ファイバホルダ１の一端から他端に貫通するように保持孔Ｊ１〜Ｊ８を設けると共に、ホルダ１の端部には保持孔Ｊ１〜Ｊ８に対応する位置決め孔Ｈ１〜Ｈ８を有する位置決め板２を装着し、位置決め板２を装着した状態で保持孔Ｊ１〜Ｊ８から位置決め孔Ｈ１〜Ｈ８にそれぞれ光ファイバＦ１〜Ｆ８を挿通し、固定する構成になっている。このような光ファイバアレイによれば、位置決め板２を薄膜プロセスにより簡単且つ精度よく形成できるので、高精度の位置決めが可能である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記した従来技術によると、ホルダ１の端面に金属製の位置決め板２を装着しているため、次のような問題点がある。
【０００５】
（１）ホルダ１の端面に位置決め板２を装着する際に、各保持孔に対して対応する位置決め孔をミクロンレベルで精密に位置合せする必要があり、位置合せ作業が容易でない。このような位置合せが不十分であると、光ファイバが挿入の途中で折れる事態を招く。
【０００６】
（２）位置決め板２は、厚さが１００μｍ程度と非常に薄いため、四辺に沿う側部で保持するのが困難である。そこで、位置決め板２をホルダ１の端面に装着する際には、位置決め板２のホルダ１側の主面をホルダ１の端面に接着剤で接着・固定するのが通例である。この場合、ホルダ１の端面に平行に位置決め板２を貼付する作業が容易でない。面の平行度が不十分であると、接着層が不均一となり、熱膨張時に位置決め板２のそり等のトラブルが発生する。
【０００７】
この発明の目的は、光ファイバホルダの端部において高精度且つ簡単に光ファイバの位置を決定することができる新規な光ファイバ保持体とその製法及び光ファイバ固定板を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る第１の光ファイバ保持体は、
１又は複数の光ファイバと、
前記１又は複数の光ファイバのうちの各光ファイバに対応する光ファイバ保持孔が一端から他端に貫通するように設けられ、該一端から該他端まで連続した構成材料からなる円柱状又は多角柱状の光ファイバホルダであって前記一端から前記他端に向けて延長するように第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）が各光ファイバ保持孔とは別個に設けられると共に前記一端の近傍には各光ファイバ保持孔及び前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）を横切るように固定板挿入溝が設けられたものと、
選択メッキ処理により形成され、前記固定板挿入溝に挿入された光ファイバ固定板であって前記光ファイバホルダの各光ファイバ保持孔及び前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）にそれぞれ対応する光ファイバ固定孔及び第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）がいずれも一方の主面から他方の主面に貫通するように設けられ、各光ファイバ固定孔が前記他方の主面に近づくにつれてサイズを増大するように形成されたものと、
前記第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）を前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）に連通させ且つ前記光ファイバ固定板の他方の主面を前記光ファイバホルダの他端に向けるように前記光ファイバ固定板を前記固定板挿入溝に挿入した状態で前記第１及び第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）に挿入された位置決めピンであって前記第１及び第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）に挿入された状態では前記光ファイバ固定板の各光ファイバ固定孔を前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔に連通させるように位置決めするものと、
前記第１及び第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）に前記位置決めピンを挿入し且つ各光ファイバを前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔及び前記光ファイバ固定板の対応する光ファイバ固定孔に挿入した状態で前記位置決めピン及び各光ファイバを前記光ファイバホルダに固定する固定手段と
を備えたものである。ここで、孔のサイズとは、孔の直径、孔の一辺の寸法等をいう。
【０００９】
第１の光ファイバ保持体によれば、光ファイバホルダの一端近傍に固定板挿入溝を設け、この固定板挿入溝に光ファイバ固定板を挿入した状態で光ファイバホルダの第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）及び光ファイバ固定板の第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）に位置決めピンを挿入して各光ファイバ固定孔を対応する光ファイバ保持孔に位置決めするようにしたので、光ファイバホルダに対する光ファイバ固定板の位置合せを簡単に且つ精度よく行なうことができる。また、光ファイバ固定板は、固定板挿入溝に挿入されているので、そりやはがれが生じにくい。
【００１０】
その上、光ファイバ固定板は、薄膜プロセスによりサブミクロンオーダーの精度で作成可能であるため、光ファイバホルダの端部において光ファイバの高精度の位置決めを行なうことができる。光ファイバ固定板は、各光ファイバ固定孔の大サイズ端が光ファイバホルダの他端を向くように固定板挿入溝に挿入されるので、光ファイバホルダの他端から各光ファイバ固定孔に光ファイバを簡単に挿入することができる。
【００１１】
この発明に係る第２の光ファイバ保持体は、
１又は複数の光ファイバと、
前記１又は複数の光ファイバのうちの各光ファイバに対応する光ファイバ保持孔が一端から他端に貫通するように設けられ、該一端から該他端まで連続した構成材料からなる円柱状又は多角柱状の光ファイバホルダであって前記一端から前記他端に向けて延長するように第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）が各光ファイバ保持孔とは別個に設けられると共に前記一端の近傍には各光ファイバ保持孔及び前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）を横切るように複数の固定板挿入溝が並設されたものと、
各々選択メッキ処理により形成され、前記複数の固定板挿入溝にそれぞれ挿入された複数の光ファイバ固定板であって各光ファイバ固定板には前記光ファイバホルダの各光ファイバ保持孔及び前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）にそれぞれ対応する光ファイバ固定孔及び第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）がいずれも一方の主面から他方の主面に貫通するように設けられ、各光ファイバ固定孔が前記他方の主面に近づくにつれてサイズを増大するように形成されたものと、
各光ファイバ固定板の第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）を前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）に連通させ且つ各光ファイバ固定板の他方の主面を前記光ファイバホルダの他端に向けるように各光ファイバ固定板を前記光ファイバホルダの対応する固定板挿入溝に挿入した状態で前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）と各光ファイバ固定板の第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）とに挿入された位置決めピンであって前記第１及び第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）に挿入された状態では各光ファイバ固定板毎に各光ファイバ固定孔を前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔に連通させるように位置決めするものと、
前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）と各光ファイバ固定板の第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）とに前記位置決めピンを挿入し且つ各光ファイバを前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔及び各光ファイバ固定板の対応する光ファイバ固定孔に挿入した状態で前記位置決めピン及び各光ファイバを前記光ファイバホルダに固定する固定手段と
を備えたものである。
【００１２】
第２の光ファイバ保持体は、第１の光ファイバ保持体において、固定板挿入溝を複数にすると共に光ファイバ固定板を複数にしたものに相当し、第１の光ファイバ保持体と同様の作用効果が得られる。その上、光ファイバホルダの端部において、複数の光ファイバ固定板により光ファイバの位置決めを行なうので、光ファイバ間の平行度を精密に設定することができる。
【００１３】
この発明に係る第１の光ファイバ保持体の製法は、
１又は複数の光ファイバと、前記１又は複数の光ファイバのうちの各光ファイバに対応する光ファイバ保持孔が一端から他端に貫通するように設けられ、該一端から該他端まで連続した構成材料からなる円柱状又は多角柱状の光ファイバホルダであって前記一端から前記他端に向けて延長するように第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）が各光ファイバ保持孔とは別個に設けられると共に前記一端の近傍には各光ファイバ保持孔及び前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）を横切るように固定板挿入溝が設けられたものと、前記固定板挿入溝に挿入されるべく選択メッキ処理により形成された光ファイバ固定板であって前記光ファイバホルダの各光ファイバ保持孔及び前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）にそれぞれ対応する光ファイバ固定孔及び第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）がいずれも一方の主面から他方の主面に貫通するように設けられ、各光ファイバ固定孔が前記他方の主面に近づくにつれてサイズを増大するように形成されたものと、前記第１及び第２の位置決めピン挿入孔に挿入されるべき位置決めピンとを用意するステップと、
前記第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）を前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）に連通させ且つ前記光ファイバ固定板の他方の主面を前記光ファイバホルダの他端に向けるように前記光ファイバ固定板を前記固定板挿入溝に挿入するステップと、
前記光ファイバ固定板を前記固定板挿入溝に挿入した状態で前記第１及び第２の位置決めピン挿入孔に前記位置決めピンを挿入することにより前記光ファイバ固定板の各光ファイバ固定孔を前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔に連通させるように位置決めするステップと、
前記位置決めピンにより前記光ファイバ固定板の各光ファイバ固定孔を前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔に位置決めした状態で前記位置決めピンを前記光ファイバホルダに固定するステップと、
前記位置決めピンを前記光ファイバホルダに固定した状態で各光ファイバを前記光ファイバホルダの他端から前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔及び前記光ファイバ固定板の対応する光ファイバ固定孔に挿入するステップと、
各光ファイバを前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔及び前記光ファイバ固定板の対応する光ファイバ固定孔に挿入した状態で各光ファイバを前記光ファイバホルダに固定するステップと
を含むものである。
【００１４】
第１の光ファイバ保持体の製法によれば、前述の第１の光ファイバ保持体を簡単且つ精度よく製作することができる。第１の光ファイバ保持体の製法においては、各光ファイバを光ファイバホルダに固定した状態で光ファイバホルダの一端と固定板挿入溝との間のホルダ区間内に達するまで光ファイバホルダの一端側を研磨するステップを実行するようにしてもよい。このようにすると、光ファイバホルダの端部を平坦且つ清浄な面とすることができ、他の光デバイスと結合するときに結合損失を低減することができる。
【００１５】
この発明に係る第２の光ファイバ保持体の製法は、
１又は複数の光ファイバと、前記１又は複数の光ファイバのうちの各光ファイバに対応する光ファイバ保持孔が一端から他端に貫通するように設けられ、該一端から該他端まで連続した構成材料からなる円柱状又は多角柱状の光ファイバホルダであって前記一端から前記他端に向けて延長するように第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）が各光ファイバ保持孔とは別個に設けられると共に前記一端の近傍には各光ファイバ保持孔及び前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）を横切るように複数の固定板挿入溝が並設されたものと、前記複数の固定板挿入溝にそれぞれ挿入されるべく選択メッキ処理により形成された複数の光ファイバ固定板であって各光ファイバ固定板には前記光ファイバホルダの各光ファイバ保持孔及び前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）にそれぞれ対応する光ファイバ固定孔及び第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）がいずれも一方の主面から他方の主面に貫通するように設けられ、各光ファイバ固定孔が前記他方の主面に近づくにつれてサイズを増大するように形成されたものと、前記第１の位置決めピン挿入孔及び各光ファイバ固定板の第２の位置決めピン挿入孔に挿入されるべき位置決めピンとを用意するステップと、
各光ファイバ固定板の第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）を前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）に連通させ且つ各光ファイバ固定板の他方の主面を前記光ファイバホルダの他端に向けるように各光ファイバ固定板を前記光ファイバホルダの対応する固定板挿入溝に挿入するステップと、
各光ファイバ固定板を前記光ファイバホルダの対応する固定板挿入溝に挿入した状態で前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）及び各光ファイバ固定板の第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）に前記位置決めピンを挿入することにより各光ファイバ固定板毎に各光ファイバ固定孔を前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔に連通させるように位置決めするステップと、
前記位置決めピンにより各光ファイバ固定板毎に各光ファイバ固定孔を前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔に位置決めした状態で前記位置決めピンを前記光ファイバホルダに固定するステップと、
前記位置決めピンを前記光ファイバホルダに固定した状態で各光ファイバを前記光ファイバホルダの他端から前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔及び各光ファイバ固定板の対応する光ファイバ固定孔に挿入するステップと、
各光ファイバを前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔及び各光ファイバ固定板の対応する光ファイバ固定孔に挿入した状態で各光ファイバを前記光ファイバホルダに固定するステップと
を含むものである。
【００１６】
第２の光ファイバ保持体の製法によれば、前述の第１又は第２の光ファイバ保持体を簡単且つ精度よく製作することができる。第２の光ファイバ保持体の製法においては、各光ファイバを光ファイバホルダに固定した状態で光ファイバホルダの一端と複数の固定板挿入溝のうちのいずれか１つとの間のホルダ区間内に達するまで光ファイバホルダの一端側を研磨するステップを実行するようにしてもよい。この場合、光ファイバホルダの一端に近い方のホルダ区間内に達するまで光ファイバホルダの一端側を研磨すると、前述の第２の光ファイバ保持体が得られる。また、光ファイバホルダの一端から遠い方のホルダ区間内に達するまで光ファイバホルダの一端側を研磨すると、前述の第１の光ファイバ保持体が得られる。このように光ファイバホルダの一端側を研磨すると、前述したように他の光デバイスと結合するときに結合損失を低減することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
図１は、この発明の一実施形態に係る２次元光ファイバアレイを示すもので、図１のＸ−Ｘ’線に沿う断面は図２に示し、図１のＹ−Ｙ’線に沿う断面は図４に示す。図３には、図２の一部を拡大して示す。
【００１８】
光ファイバホルダ１０は、一例として四角柱状のもので、セラミック、金属又はプラスチック等からなっている。ホルダ１０には、各々円形状の光ファイバ保持孔Ｈ１１〜Ｈ４８が実質的に平行な状態でホルダ１０の一端（左端）から他端（右端）に貫通するように行列状に設けられると共に、各々円形状の位置決めピン挿入孔１０ａ、１０ｂが実質的に平行な状態でホルダ１０の一端から他端に貫通するように設けられている。ピン挿入孔１０ａ、１０ｂは、保持孔Ｈ１１〜Ｈ４８に対して実質的に平行な状態にある。保持孔Ｈ１１〜Ｈ４８及びピン挿入孔１０ａ、１０ｂは、いずれも図２，４に示すようにホルダ１０の他端に近づくにつれて直径が増大するようになっている。
【００１９】
ホルダ１０の一端近傍には、固定板挿入溝１４が保持孔Ｈ１１〜Ｈ４８及びピン挿入孔１０ａ、１０ｂに実質的に直交するように形成されている。１０Ａは、ホルダ１０の一端と板挿入溝１４との間のホルダ区間を示す。板挿入溝１４には、光ファイバ固定板１６が挿入されている。固定板１６は、一例としてホルダ１０の長手方向に直交する断面の形状に対応して四辺形状のもので、Ｎｉ−Ｆｅ合金等の金属板からなっている。固定板１６には、ホルダ１０の保持孔Ｈ１１〜Ｈ４８にそれぞれ対応して３２個の光ファイバ固定孔が固定板１６の一方の主面から他方の主面に貫通するように設けられている。図２には、固定板１６の３２個の固定孔のうち、４個の固定孔Ｓ１１，Ｓ２１，Ｓ３１，Ｓ４１を示す。固定板１６には、図４に示すようにホルダ１０のピン挿入孔１０ａ，１０ｂにそれぞれ対応して位置決めピン挿入孔Ｓａ、Ｓｂが設けられている。
【００２０】
固定板１６において、図２に示す固定孔Ｓ１１〜Ｓ４１は、固定板１６の他方の主面に近づくにつれて直径が増大するよう形成されており、このことは、他の固定孔についても同様である。固定板１６は、他方の主面をホルダ１０の他端に向けるようにして板挿入溝１４に挿入されている。固定板１６の一方の主面には、図２に示すように固定孔Ｓ１１，Ｓ２１，Ｓ３１，Ｓ４１の小サイズ端にそれぞれ連続して接着孔Ｍ１１，Ｍ２１，Ｍ３１，Ｍ４１が設けられており、このことは、他の固定孔についても同様である。Ｍ１１等の各接着孔は、対応する固定孔より大きい直径を有する。
【００２１】
固定板１６の一方の主面には、図４に示すようにピン挿入孔Ｓａ，Ｓｂの小サイズ端にそれぞれ連続して接着孔Ｍａ，Ｍｂが設けられている。接着孔Ｍａ，Ｍｂは、いずれも対応するピン挿入孔より大きい直径を有する。
【００２２】
ピン挿入孔１０ａ，Ｓａとピン挿入孔１０ｂ，Ｓｂとには、ホルダ１０の他端から位置決めピン１２ａ，１２ｂがそれぞれ挿入される。位置決めピン１２ａ，１２ｂは、いずれも例えば直径１ｍｍ程度のステンレススチール等の金属又はアルミナ等のセラミックからなっている。ピン挿入孔１０ａ，１０ｂ，Ｓａ，Ｓｂには、いずれも大サイズ端から位置決めピンが挿入されるので、挿入作業が容易となる。位置決めピン１２ａ，１２ｂは、図３について後述する光ファイバの接着と同様にしてそれぞれ接着孔Ｍａ，Ｍｂにて接着剤により接着されることにより固定板１６と共にホルダ１０に固定される。この結果、固定板１６は、各固定孔がホルダ１０の対応する保持孔に連通するようにホルダ１０に精密に位置合せされたことになる。
【００２３】
このように位置合せされた状態において、図２に示すように保持孔Ｈ１１と 固定孔Ｓ１１との連通孔、保持孔Ｈ２１と固定孔Ｓ２１との連通孔、保持孔Ｈ３１と固定孔Ｓ３１との連通孔及び保持孔Ｈ４１と固定孔Ｓ４１との連通孔には、ホルダ１０の他端から光ファイバＦ１１、Ｆ２１、Ｆ３１及びＦ４１がそれぞれ挿通される。このことは、他の保持孔と固定孔との連通孔についても同様である。各保持孔及び各固定孔には、いずれも大サイズ端から光ファイバが挿通されるので、挿入作業が容易となる。各光ファイバは、対応する接着孔にて接着剤によりホルダ１０に接着・固定される。
【００２４】
図３は、このときの接着・固定構造を接着孔Ｍ１１，Ｍ２１について例示するものである。一例として、固定板１６を板挿入溝１４に挿入する前に接着孔Ｍ１１，Ｍ２１に紫外線硬化性の接着剤を充填しておき、図３に示すように孔Ｓ１１，Ｍ１１及び孔Ｓ２１，Ｍ２１にそれぞれ光ファイバＦ１１及びＦ２１を挿通し終わった段階で光ファイバＦ１１、Ｆ２１をそれぞれ介して接着孔Ｍ１１，Ｍ２１内の接着層Ａ１１，Ａ２１に紫外線を照射することにより接着層Ａ１１，Ａ２１を硬化させる。この結果、光ファイバＦ１１、Ｆ２１は、それぞれ接着層Ａ１１，Ａ２１により固定板１６と共にホルダ１０に固定される。
【００２５】
次に、図５〜１０を参照して上記のような光ファイバアレイの製法を説明する。図５〜１０において、図１〜４と同様の部分には同様の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００２６】
図５の工程では、前述したように光ファイバ保持孔Ｈ１１〜Ｈ４８を含む保持孔群Ｈと位置決めピン挿入孔１０ａ，１０ｂとを有する光ファイバホルダ１０を例えばジルコニア粉末の焼成処理により作成する。
【００２７】
図６の工程では、１００μｍ〜２００μｍ幅のダイシングブレードを使用してホルダ１０の一端近傍に２つのダイシング溝を並べて形成することによりこれらダイシング溝からなる固定板挿入溝１４，１８を得る。ピン挿入孔１０ａ，１０ｂは、板挿入溝１４，１８により切断された形となる。ホルダ１０の一端と板挿入溝１８との間にはホルダ区間１０Ｂが残されると共に板挿入溝１８及び１４の間にはホルダ区間１０Ａが残される。
【００２８】
図７の工程では、図１２〜１８について後述するような薄膜プロセスにより作成された光ファイバ固定板１６，１６’を用意する。固定板１６は、前述したようにＳ１１〜Ｓ４１等の光ファイバ固定孔及びＭ１１〜Ｍ４１等の接着孔を含む接着・固定孔群ＳＭと位置決めピン挿入孔Ｓａ，Ｓｂとを有するもので、固定板１６’も固定板１６と同様の構成である。
【００２９】
次に、固定板１６，１６’を板挿入孔１４，１８にそれぞれ挿入する。このとき、図２，４に示したようにＳ１１等の各固定孔及びＳａ等の各ピン挿入孔がいずれも大サイズ端をホルダ１０の他端（右端）に向けるように固定板１６を板挿入溝１４に挿入し、固定板１６’についても同様とする。図８には、固定板１６，１６’の挿入後の状態が示されている。
【００３０】
図８の工程では、固定板１６，１６’をそれぞれ板挿入溝１４，１８に挿入した状態においてホルダ１０の他端からピン挿入孔１０ａ、１０ｂに位置決めピン１２ａ，１２ｂを挿入する。位置決めピン１２ａ，１２ｂは、図４に関して前述したようにピン挿入孔１０ａ，１０ｂをそれぞれ介して固定板１６のピン挿入孔Ｓａ，Ｓｂに挿入すると共にホルダ区間１０Ａ、固定板１６’及びホルダ区間１０Ｂ内に貫通させ、このような状態で前述したように接着孔にて固定する。この結果、固定板１６，１６’は、ホルダ１０に対して位置決めされる。
【００３１】
図９の工程では、上記したような位置決め状態において、ファイバテープＦＴから導出された光ファイバ（ファイバ芯線）群Ｆのうちの各光ファイバをホルダ１０の他端からホルダ１０の対応する保持孔と、固定板１６の対応する固定孔と、ホルダ区間１０Ａの対応する保持孔と、固定板１６’の対応する固定孔と、ホルダ区間１０Ｂの対応する保持孔とに挿入し、前述したように対応する接着孔にてホルダ１０に固定する。図１０には、光ファイバ群Ｆをホルダ１０に挿入・固定した状態が示されている。
【００３２】
図１０の工程では、ホルダ１０の一端から突出した光ファイバ部分とホルダ１０の端部とに研磨処理を施すことにより図９に示すようにホルダ１０の一端からホルダ区間１０Ａ内に至る長さＤのホルダ区間を除去する。この結果、ホルダ区間１０Ａの端面は、図１に示したように平坦状の面となり、固定板１６が残存することになる。なお、研磨処理としては、必要に応じて斜め研磨処理を施してもよい。
【００３３】
上記した例では、ホルダ区間１０Ａ内に至るまで研磨したが、ホルダ区間１０Ｂ内に達した段階で研磨を停止するようにしてもよい。この場合は、固定板１６，１６’が共に残存することになる。また、固定板１６，１６’は、いずれか一方を省略するようにしてもよい。
【００３４】
図１１は、ホルダと固定板の位置合せ方法の変形例を示すもので、図１〜４と同様の部分には同様の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００３５】
図１１の例では、ホルダ１０の一端から他端に向けて延長するように（又は他端に達するように）ホルダ１０の上部及び両側部に位置決めピン挿入溝１０ｐ、１０ｑ、１０ｒを設ける。ピン挿入溝１０ｐ〜１０ｒは、いずれもホルダ区間１０Ｂの端面から固定板１６’、ホルダ区間１０Ａ及び固定板１６の各露呈部を通ってホルダ１０の他端側に延長している。
【００３６】
位置合せに際しては、ホルダ１０の板挿入溝１４，１８にそれぞれ固定板１６，１６’を図１１に示すように挿入した状態においてピン挿入溝１０ｐ，１０ｑ，１０ｒにそれぞれ板状の位置決めピン１２ｐ，１２ｑ，１２ｒを図１１にて矢印で示すように挿入し、接着等により固定する。このような固定状態において、前述したと同様に光ファイバ挿入作業を行なう。位置決めピン１２ｐ〜１２ｒにおいてホルダ１０（ホルダ区間１０Ａ，１０Ｂも含む）や固定板１６，１６’から突出した部分は、研磨処理等により除去することができる。
【００３７】
上記した実施形態によれば、位置決めピン１２ａ，１２ｂ又は１２ｐ〜１２ｒを用いて固定板１６，１６’をホルダ１０に対して精密に位置決めすることができる。また、固定板１６，１６’は、それぞれ板挿入溝１４，１８内に存在するため、そりやはがれが生じにくい。さらに、固定板１６，１６’の各固定孔の直径の精度としては、光ファイバの外径に対して１μｍより下のサブミクロンオーダーの精度を出すことができるので、光ファイバの端部で高精度の位置決めが可能であり、光ファイバ間の平行度を０．１度以下にすることができる。
【００３８】
図１２〜１６は、光ファイバ固定板の製法の一例を示すものである。
【００３９】
図１２の工程では、例えばガラス又は石英からなる基板２０の一方の主面にメッキ下地層としてＣｕ／Ｃｒ積層（Ｃｒ層にＣｕ層を重ねた積層）２２をスパッタ法により形成する。Ｃｒ層は、基板２０に対するＣｕ層の密着性を向上させるためのもので、Ｃｒ層及びＣｕ層の厚さは、それぞれ３０ｎｍ及び３００ｎｍ程度とすることができる。Ｃｕ／Ｃｒ積層２２を形成した後、ホトリソグラフィ処理により所望の接着孔パターンにそれぞれ対応するレジスト（ネガレジスト）層Ｒ１１〜Ｒ１６をＣｕ／Ｃｒ積層２２の上に形成する。
【００４０】
次に、図１３の工程では、ホトリソグラフィ処理により所望の固定孔パターンにそれぞれ対応するレジスト（ネガレジスト）層Ｒ２１〜Ｒ２６をレジスト層Ｒ１１〜Ｒ１６の上にそれぞれ形成する。
【００４１】
図１４の工程では、レジスト層Ｒ１１〜Ｒ１６，Ｒ２１〜Ｒ２６をマスクとするＮｉ−Ｆｅ合金の選択メッキ処理によりＮｉ−Ｆｅ合金層からなる光ファイバ固定板１６を形成する。このとき、固定板１６は、Ｒ２１等の各レジスト層の周囲で上方に進むほど各レジスト層から離れるように（上方に進むに従ってサイズが増大する固定孔を有するように）形成される。
【００４２】
図１７は、このときのメッキ層１６の成長状況をレジスト層Ｒ１１，Ｒ２１に関して例示するものである。Ｃｕ／Ｃｒ積層２２上においてレジスト層Ｒ１１の近傍の点Ｐから見たとき、メッキ層１６の表面における図示の点Ｑ，Ｒは等距離にある。メッキ層１６は等方的に成長するので、直下にレジスト層Ｒ１１があってメッキ下地が露呈していない点Ｒでは、メッキ層１６がＰ点からレジスト層Ｒ１１を乗り越えて成長する。このため、メッキ層（固定板）１６は、各レジスト層の周囲で上方に進むほど各レジスト層から離れるように形成される。
【００４３】
図１５の工程では、薬液処理等によりレジスト層Ｒ１１〜Ｒ１６，Ｒ２１〜Ｒ２６を除去して固定板１６に固定孔Ｓ１１〜Ｓ１６及び接着孔Ｍ１１〜Ｍ１６を付与する。この結果、固定板１６においては、一方の主面から他方の主面に貫通し且つ他方の主面に近づくにつれてサイズを増大するように固定孔Ｓ１１〜Ｓ１６が形成されると共に、固定孔Ｓ１１〜Ｓ１６の小サイズ端にそれぞれ連続して該小サイズ端よりサイズが大きい接着孔Ｍ１１〜Ｍ１６が形成される。
【００４４】
図１６の工程では、Ｃｕ／Ｃｒ積層２２のうちのＣｕ層をエッチング処理により除去して基板２０から固定板１６を分離する。
【００４５】
図２〜４に示した光ファイバ固定板１６としては、接着孔Ｍ１１〜Ｍ４１，Ｍａ，Ｍｂを省略したものを用いてもよい。この場合、固定板１６は、図１８に示すようにして製作することができる。すなわち、基板２０の表面にＣｕ／Ｃｒ層２２を図１２に関して前述したと同様にして形成した後、ホトリソグラフィ処理によりＣｕ／Ｃｒ積層２２の上にレジスト層２４，Ｒ１〜Ｒ８を形成する。レジスト層２４は、所望の固定板の平面パターンに対応した四辺形孔を有するように形成し、レジスト層Ｒ１〜Ｒ８は、いずれも該四辺形孔内において所望の固定孔に対応したパターンを有し且つ上部から下部に進むにつれてサイズが増大するように形成する。ここで、層Ｒ１〜Ｒ８のような順テーパー状のレジスト形状を得るためには、ステッパ（縮小投影露光装置）を用いた場合、
（１）フォーカス位置をレジスト内に設定する方法、
（２）レジスト下部にて露光量を小さく設定する方法（ポジレジスト用の方法）、
（３）露光マスクにおいて、マスク部の透過率を徐々に変化させる（レジストの裾にいくに従って透過率を高くする）方法
のうちいずれかの方法を用いることができる。
【００４６】
次に、レジスト層２４，Ｒ１〜Ｒ８をマスクとするＮｉ−Ｆｅ合金の選択メッキ処理によりＮｉ−Ｆｅ合金層からなる固定板１６を形成する。そして、薬液処理等によりレジスト層２４、Ｒ１〜Ｒ８を除去する。レジスト層Ｒ１〜Ｒ８を除去したため、固定板１６には、固定孔Ｓ１〜Ｓ８が付与される。各固定孔は、対応するレジスト層が上部から下部に進むにつれてサイズが増大するようになっていたため、固定板１６の上面から下面に進むにつれてサイズが増大するように形成される。この後、エッチング処理によりＣｕ／Ｃｒ積層２２のうちのＣｕ層を除去して基板２０から固定板１６を分離する。
【００４７】
上記した光ファイバ固定板の製法によれば、孔Ｓ１１〜Ｓ１６，Ｍ１１〜Ｍ１６，Ｓ１〜Ｓ８の位置やサイズ及び固定孔間ピッチを０．５μｍ等のサブミクロンオーダーの精度で設定することができる。また、固定板１６としては、孔Ｓ１１〜Ｓ１６，Ｍ１１〜Ｍ１６，Ｓ１〜Ｓ８が１次元配列をなすものを例示したが、固定孔及び接着孔が２次元配列をなすものも上記したと同様にして作成可能である。さらに、図４に示したピン挿入孔Ｓａ，Ｓｂや接着孔Ｍａ，Ｍｂも固定孔Ｓ１１〜Ｓ１６や接着孔Ｍ１１〜Ｍ１６と同様にして作成可能であり、必要に応じてピン挿入孔Ｓａ，Ｓｂを接着孔なしで固定孔Ｓ１〜Ｓ８と同様にして作成してもよい。
【００４８】
この発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、種々の改変形態で実施可能なものである。例えば、次のような変更が可能である。
【００４９】
（１）光ファイバホルダ１０の形状は、四角柱状に限らず、円柱状、多角柱（例えば三角柱、六角柱）状等であってもよい。
【００５０】
（２）光ファイバホルダ１０の保持孔やピン挿入孔及び固定板１６，１６’の固定孔やピン挿入孔の形状は、円形状に限らず、多角形（例えば三角形、正方形、平行四辺形、六角形）状等であってもよい。ホルダ１０のピン挿入孔及び固定板１６、１６’のピン挿入孔を多角形にした場合は、位置決めピンの断面形状もピン挿入孔の多角形状に対応する多角形状とする。この場合、位置決めピンが回転しないので、使用する位置決めピンを１本とすることもできる。
【００５１】
（３）この発明は、２次元光ファイバアレイに限らず、１次元光ファイバアレイや単芯の光ファイバホルダ（光ファイバ１本の位置決め）にも適用可能である。
【００５２】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、光ファイバホルダの一端近傍に設けた１又は複数の固定板挿入溝に光ファイバ固定板を挿入した状態で光ファイバホルダの位置決めピン挿入孔（又は溝）と光ファイバ固定板の位置決めピン挿入孔（又は溝）とに位置決めピンを挿入して光ファイバホルダ及び光ファイバ固定板を位置合せする構成にしたので、光ファイバ固定板の各光ファイバ固定孔を光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔に精密に位置決めすることができる。従って、光ファイバ保持孔を介して光ファイバ固定孔に光ファイバを挿通する作業が容易となり、光ファイバが折れるような事態を未然に防止できる効果が得られる。
【００５３】
また、固定板挿入溝に光ファイバ固定板を挿入し、固定する構成にしたので、光ファイバ固定板のそりやはがれを防止することができ、特に光ファイバホルダの端面を研磨する際には光ファイバ固定板に特別の注意を払うことなく研磨作業を行なえる効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明の一実施形態に係る光ファイバアレイを示す斜視図である。
【図２】 図１のＸ−Ｘ’線に沿う断面図である。
【図３】 光ファイバ接着部を拡大して示す断面図である。
【図４】 図１のＹ−Ｙ’線に沿う断面図である。
【図５】 図１の光ファイバアレイの製法の一例におけるホルダ作成工程を示す斜視図である。
【図６】 図５の工程に続く板挿入溝形成工程を示す斜視図である。
【図７】 図６の工程に続く固定板挿入工程を示す斜視図である。
【図８】 図７の工程に続く位置決めピン挿入・固定工程を示す斜視図である。
【図９】 図８の工程に続く光ファイバ挿入・固定工程を示す斜視図である。
【図１０】 図９の工程に続く研磨工程を示す斜視図である。
【図１１】 ホルダと固定板の位置合せ方法の変形例を示す斜視図である。
【図１２】 この発明に係る光ファイバ固定板の製法の一例におけるレジスト層形成工程を示す断面図である。
【図１３】 図１２の工程に続くレジスト層形成工程を示す断面図である。
【図１４】 図１３の工程に続く選択メッキ工程を示す断面図である。
【図１５】 図１４の工程に続くレジスト除去工程を示す断面図である。
【図１６】 図１５の工程に続く分離工程を示す断面図である。
【図１７】 選択メッキ処理におけるメッキ層の成長状況を示す断面図である。
【図１８】 光ファイバ固定板の変形例を示す断面図である。
【図１９】 従来の２次元光ファイバアレイを示す斜視図である。
【図２０】 図１９のＡ−Ａ’線に沿う断面図である。
【符号の説明】
１０：光ファイバホルダ、１０Ａ，１０Ｂ：ホルダ区間、１０ａ，１０ｂ，Ｓａ，Ｓｂ：ピン挿入孔、１０ｐ〜１０ｒ：ピン挿入溝、１２ａ，１２ｂ，１２ｐ〜１２ｒ：位置決めピン、１４，１８：板挿入溝、１６，１６’：光ファイバ固定板、２０：基板、２２：Ｃｕ／Ｃｒ積層、Ｈ１１〜Ｊ４８：保持孔、Ｆ１１〜Ｆ４８：光ファイバ、Ｍ１１〜Ｍ４１，Ｍａ，Ｍｂ，Ｍ１１〜Ｍ１６：接着孔、Ｓ１１〜Ｓ４１，Ｓ１１〜Ｓ１６，Ｓ１〜Ｓ８：固定孔、Ａ１１，Ａ２１：接着層、Ｈ：保持孔群、ＳＭ：接着・固定孔群、Ｆ：光ファイバ群、ＦＴ：光ファイバテープ、Ｒ１１〜Ｒ１６，Ｒ２１〜Ｒ２６，Ｒ１〜Ｒ８，２４：レジスト層。
【発明の属する技術分野】
この発明は、光ファイバを用いた光伝送路形成技術に関し、特に光ファイバアレイのような光ファイバ保持体とその製法及びこの製法の実施に使用する光ファイバ固定板に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、２次元光ファイバアレイとしては、図１９，２０に示すものが本願と同一出願人により既に提案されている（例えば、特願２００１−２４１１８０号参照）。
【０００３】
図１９，２０に示す光ファイバアレイにあっては、光ファイバホルダ１の一端から他端に貫通するように保持孔Ｊ１〜Ｊ８を設けると共に、ホルダ１の端部には保持孔Ｊ１〜Ｊ８に対応する位置決め孔Ｈ１〜Ｈ８を有する位置決め板２を装着し、位置決め板２を装着した状態で保持孔Ｊ１〜Ｊ８から位置決め孔Ｈ１〜Ｈ８にそれぞれ光ファイバＦ１〜Ｆ８を挿通し、固定する構成になっている。このような光ファイバアレイによれば、位置決め板２を薄膜プロセスにより簡単且つ精度よく形成できるので、高精度の位置決めが可能である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記した従来技術によると、ホルダ１の端面に金属製の位置決め板２を装着しているため、次のような問題点がある。
【０００５】
（１）ホルダ１の端面に位置決め板２を装着する際に、各保持孔に対して対応する位置決め孔をミクロンレベルで精密に位置合せする必要があり、位置合せ作業が容易でない。このような位置合せが不十分であると、光ファイバが挿入の途中で折れる事態を招く。
【０００６】
（２）位置決め板２は、厚さが１００μｍ程度と非常に薄いため、四辺に沿う側部で保持するのが困難である。そこで、位置決め板２をホルダ１の端面に装着する際には、位置決め板２のホルダ１側の主面をホルダ１の端面に接着剤で接着・固定するのが通例である。この場合、ホルダ１の端面に平行に位置決め板２を貼付する作業が容易でない。面の平行度が不十分であると、接着層が不均一となり、熱膨張時に位置決め板２のそり等のトラブルが発生する。
【０００７】
この発明の目的は、光ファイバホルダの端部において高精度且つ簡単に光ファイバの位置を決定することができる新規な光ファイバ保持体とその製法及び光ファイバ固定板を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る第１の光ファイバ保持体は、
１又は複数の光ファイバと、
前記１又は複数の光ファイバのうちの各光ファイバに対応する光ファイバ保持孔が一端から他端に貫通するように設けられ、該一端から該他端まで連続した構成材料からなる円柱状又は多角柱状の光ファイバホルダであって前記一端から前記他端に向けて延長するように第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）が各光ファイバ保持孔とは別個に設けられると共に前記一端の近傍には各光ファイバ保持孔及び前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）を横切るように固定板挿入溝が設けられたものと、
選択メッキ処理により形成され、前記固定板挿入溝に挿入された光ファイバ固定板であって前記光ファイバホルダの各光ファイバ保持孔及び前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）にそれぞれ対応する光ファイバ固定孔及び第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）がいずれも一方の主面から他方の主面に貫通するように設けられ、各光ファイバ固定孔が前記他方の主面に近づくにつれてサイズを増大するように形成されたものと、
前記第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）を前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）に連通させ且つ前記光ファイバ固定板の他方の主面を前記光ファイバホルダの他端に向けるように前記光ファイバ固定板を前記固定板挿入溝に挿入した状態で前記第１及び第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）に挿入された位置決めピンであって前記第１及び第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）に挿入された状態では前記光ファイバ固定板の各光ファイバ固定孔を前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔に連通させるように位置決めするものと、
前記第１及び第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）に前記位置決めピンを挿入し且つ各光ファイバを前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔及び前記光ファイバ固定板の対応する光ファイバ固定孔に挿入した状態で前記位置決めピン及び各光ファイバを前記光ファイバホルダに固定する固定手段と
を備えたものである。ここで、孔のサイズとは、孔の直径、孔の一辺の寸法等をいう。
【０００９】
第１の光ファイバ保持体によれば、光ファイバホルダの一端近傍に固定板挿入溝を設け、この固定板挿入溝に光ファイバ固定板を挿入した状態で光ファイバホルダの第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）及び光ファイバ固定板の第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）に位置決めピンを挿入して各光ファイバ固定孔を対応する光ファイバ保持孔に位置決めするようにしたので、光ファイバホルダに対する光ファイバ固定板の位置合せを簡単に且つ精度よく行なうことができる。また、光ファイバ固定板は、固定板挿入溝に挿入されているので、そりやはがれが生じにくい。
【００１０】
その上、光ファイバ固定板は、薄膜プロセスによりサブミクロンオーダーの精度で作成可能であるため、光ファイバホルダの端部において光ファイバの高精度の位置決めを行なうことができる。光ファイバ固定板は、各光ファイバ固定孔の大サイズ端が光ファイバホルダの他端を向くように固定板挿入溝に挿入されるので、光ファイバホルダの他端から各光ファイバ固定孔に光ファイバを簡単に挿入することができる。
【００１１】
この発明に係る第２の光ファイバ保持体は、
１又は複数の光ファイバと、
前記１又は複数の光ファイバのうちの各光ファイバに対応する光ファイバ保持孔が一端から他端に貫通するように設けられ、該一端から該他端まで連続した構成材料からなる円柱状又は多角柱状の光ファイバホルダであって前記一端から前記他端に向けて延長するように第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）が各光ファイバ保持孔とは別個に設けられると共に前記一端の近傍には各光ファイバ保持孔及び前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）を横切るように複数の固定板挿入溝が並設されたものと、
各々選択メッキ処理により形成され、前記複数の固定板挿入溝にそれぞれ挿入された複数の光ファイバ固定板であって各光ファイバ固定板には前記光ファイバホルダの各光ファイバ保持孔及び前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）にそれぞれ対応する光ファイバ固定孔及び第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）がいずれも一方の主面から他方の主面に貫通するように設けられ、各光ファイバ固定孔が前記他方の主面に近づくにつれてサイズを増大するように形成されたものと、
各光ファイバ固定板の第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）を前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）に連通させ且つ各光ファイバ固定板の他方の主面を前記光ファイバホルダの他端に向けるように各光ファイバ固定板を前記光ファイバホルダの対応する固定板挿入溝に挿入した状態で前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）と各光ファイバ固定板の第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）とに挿入された位置決めピンであって前記第１及び第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）に挿入された状態では各光ファイバ固定板毎に各光ファイバ固定孔を前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔に連通させるように位置決めするものと、
前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）と各光ファイバ固定板の第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）とに前記位置決めピンを挿入し且つ各光ファイバを前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔及び各光ファイバ固定板の対応する光ファイバ固定孔に挿入した状態で前記位置決めピン及び各光ファイバを前記光ファイバホルダに固定する固定手段と
を備えたものである。
【００１２】
第２の光ファイバ保持体は、第１の光ファイバ保持体において、固定板挿入溝を複数にすると共に光ファイバ固定板を複数にしたものに相当し、第１の光ファイバ保持体と同様の作用効果が得られる。その上、光ファイバホルダの端部において、複数の光ファイバ固定板により光ファイバの位置決めを行なうので、光ファイバ間の平行度を精密に設定することができる。
【００１３】
この発明に係る第１の光ファイバ保持体の製法は、
１又は複数の光ファイバと、前記１又は複数の光ファイバのうちの各光ファイバに対応する光ファイバ保持孔が一端から他端に貫通するように設けられ、該一端から該他端まで連続した構成材料からなる円柱状又は多角柱状の光ファイバホルダであって前記一端から前記他端に向けて延長するように第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）が各光ファイバ保持孔とは別個に設けられると共に前記一端の近傍には各光ファイバ保持孔及び前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）を横切るように固定板挿入溝が設けられたものと、前記固定板挿入溝に挿入されるべく選択メッキ処理により形成された光ファイバ固定板であって前記光ファイバホルダの各光ファイバ保持孔及び前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）にそれぞれ対応する光ファイバ固定孔及び第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）がいずれも一方の主面から他方の主面に貫通するように設けられ、各光ファイバ固定孔が前記他方の主面に近づくにつれてサイズを増大するように形成されたものと、前記第１及び第２の位置決めピン挿入孔に挿入されるべき位置決めピンとを用意するステップと、
前記第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）を前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）に連通させ且つ前記光ファイバ固定板の他方の主面を前記光ファイバホルダの他端に向けるように前記光ファイバ固定板を前記固定板挿入溝に挿入するステップと、
前記光ファイバ固定板を前記固定板挿入溝に挿入した状態で前記第１及び第２の位置決めピン挿入孔に前記位置決めピンを挿入することにより前記光ファイバ固定板の各光ファイバ固定孔を前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔に連通させるように位置決めするステップと、
前記位置決めピンにより前記光ファイバ固定板の各光ファイバ固定孔を前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔に位置決めした状態で前記位置決めピンを前記光ファイバホルダに固定するステップと、
前記位置決めピンを前記光ファイバホルダに固定した状態で各光ファイバを前記光ファイバホルダの他端から前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔及び前記光ファイバ固定板の対応する光ファイバ固定孔に挿入するステップと、
各光ファイバを前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔及び前記光ファイバ固定板の対応する光ファイバ固定孔に挿入した状態で各光ファイバを前記光ファイバホルダに固定するステップと
を含むものである。
【００１４】
第１の光ファイバ保持体の製法によれば、前述の第１の光ファイバ保持体を簡単且つ精度よく製作することができる。第１の光ファイバ保持体の製法においては、各光ファイバを光ファイバホルダに固定した状態で光ファイバホルダの一端と固定板挿入溝との間のホルダ区間内に達するまで光ファイバホルダの一端側を研磨するステップを実行するようにしてもよい。このようにすると、光ファイバホルダの端部を平坦且つ清浄な面とすることができ、他の光デバイスと結合するときに結合損失を低減することができる。
【００１５】
この発明に係る第２の光ファイバ保持体の製法は、
１又は複数の光ファイバと、前記１又は複数の光ファイバのうちの各光ファイバに対応する光ファイバ保持孔が一端から他端に貫通するように設けられ、該一端から該他端まで連続した構成材料からなる円柱状又は多角柱状の光ファイバホルダであって前記一端から前記他端に向けて延長するように第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）が各光ファイバ保持孔とは別個に設けられると共に前記一端の近傍には各光ファイバ保持孔及び前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）を横切るように複数の固定板挿入溝が並設されたものと、前記複数の固定板挿入溝にそれぞれ挿入されるべく選択メッキ処理により形成された複数の光ファイバ固定板であって各光ファイバ固定板には前記光ファイバホルダの各光ファイバ保持孔及び前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）にそれぞれ対応する光ファイバ固定孔及び第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）がいずれも一方の主面から他方の主面に貫通するように設けられ、各光ファイバ固定孔が前記他方の主面に近づくにつれてサイズを増大するように形成されたものと、前記第１の位置決めピン挿入孔及び各光ファイバ固定板の第２の位置決めピン挿入孔に挿入されるべき位置決めピンとを用意するステップと、
各光ファイバ固定板の第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）を前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）に連通させ且つ各光ファイバ固定板の他方の主面を前記光ファイバホルダの他端に向けるように各光ファイバ固定板を前記光ファイバホルダの対応する固定板挿入溝に挿入するステップと、
各光ファイバ固定板を前記光ファイバホルダの対応する固定板挿入溝に挿入した状態で前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）及び各光ファイバ固定板の第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）に前記位置決めピンを挿入することにより各光ファイバ固定板毎に各光ファイバ固定孔を前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔に連通させるように位置決めするステップと、
前記位置決めピンにより各光ファイバ固定板毎に各光ファイバ固定孔を前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔に位置決めした状態で前記位置決めピンを前記光ファイバホルダに固定するステップと、
前記位置決めピンを前記光ファイバホルダに固定した状態で各光ファイバを前記光ファイバホルダの他端から前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔及び各光ファイバ固定板の対応する光ファイバ固定孔に挿入するステップと、
各光ファイバを前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔及び各光ファイバ固定板の対応する光ファイバ固定孔に挿入した状態で各光ファイバを前記光ファイバホルダに固定するステップと
を含むものである。
【００１６】
第２の光ファイバ保持体の製法によれば、前述の第１又は第２の光ファイバ保持体を簡単且つ精度よく製作することができる。第２の光ファイバ保持体の製法においては、各光ファイバを光ファイバホルダに固定した状態で光ファイバホルダの一端と複数の固定板挿入溝のうちのいずれか１つとの間のホルダ区間内に達するまで光ファイバホルダの一端側を研磨するステップを実行するようにしてもよい。この場合、光ファイバホルダの一端に近い方のホルダ区間内に達するまで光ファイバホルダの一端側を研磨すると、前述の第２の光ファイバ保持体が得られる。また、光ファイバホルダの一端から遠い方のホルダ区間内に達するまで光ファイバホルダの一端側を研磨すると、前述の第１の光ファイバ保持体が得られる。このように光ファイバホルダの一端側を研磨すると、前述したように他の光デバイスと結合するときに結合損失を低減することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
図１は、この発明の一実施形態に係る２次元光ファイバアレイを示すもので、図１のＸ−Ｘ’線に沿う断面は図２に示し、図１のＹ−Ｙ’線に沿う断面は図４に示す。図３には、図２の一部を拡大して示す。
【００１８】
光ファイバホルダ１０は、一例として四角柱状のもので、セラミック、金属又はプラスチック等からなっている。ホルダ１０には、各々円形状の光ファイバ保持孔Ｈ１１〜Ｈ４８が実質的に平行な状態でホルダ１０の一端（左端）から他端（右端）に貫通するように行列状に設けられると共に、各々円形状の位置決めピン挿入孔１０ａ、１０ｂが実質的に平行な状態でホルダ１０の一端から他端に貫通するように設けられている。ピン挿入孔１０ａ、１０ｂは、保持孔Ｈ１１〜Ｈ４８に対して実質的に平行な状態にある。保持孔Ｈ１１〜Ｈ４８及びピン挿入孔１０ａ、１０ｂは、いずれも図２，４に示すようにホルダ１０の他端に近づくにつれて直径が増大するようになっている。
【００１９】
ホルダ１０の一端近傍には、固定板挿入溝１４が保持孔Ｈ１１〜Ｈ４８及びピン挿入孔１０ａ、１０ｂに実質的に直交するように形成されている。１０Ａは、ホルダ１０の一端と板挿入溝１４との間のホルダ区間を示す。板挿入溝１４には、光ファイバ固定板１６が挿入されている。固定板１６は、一例としてホルダ１０の長手方向に直交する断面の形状に対応して四辺形状のもので、Ｎｉ−Ｆｅ合金等の金属板からなっている。固定板１６には、ホルダ１０の保持孔Ｈ１１〜Ｈ４８にそれぞれ対応して３２個の光ファイバ固定孔が固定板１６の一方の主面から他方の主面に貫通するように設けられている。図２には、固定板１６の３２個の固定孔のうち、４個の固定孔Ｓ１１，Ｓ２１，Ｓ３１，Ｓ４１を示す。固定板１６には、図４に示すようにホルダ１０のピン挿入孔１０ａ，１０ｂにそれぞれ対応して位置決めピン挿入孔Ｓａ、Ｓｂが設けられている。
【００２０】
固定板１６において、図２に示す固定孔Ｓ１１〜Ｓ４１は、固定板１６の他方の主面に近づくにつれて直径が増大するよう形成されており、このことは、他の固定孔についても同様である。固定板１６は、他方の主面をホルダ１０の他端に向けるようにして板挿入溝１４に挿入されている。固定板１６の一方の主面には、図２に示すように固定孔Ｓ１１，Ｓ２１，Ｓ３１，Ｓ４１の小サイズ端にそれぞれ連続して接着孔Ｍ１１，Ｍ２１，Ｍ３１，Ｍ４１が設けられており、このことは、他の固定孔についても同様である。Ｍ１１等の各接着孔は、対応する固定孔より大きい直径を有する。
【００２１】
固定板１６の一方の主面には、図４に示すようにピン挿入孔Ｓａ，Ｓｂの小サイズ端にそれぞれ連続して接着孔Ｍａ，Ｍｂが設けられている。接着孔Ｍａ，Ｍｂは、いずれも対応するピン挿入孔より大きい直径を有する。
【００２２】
ピン挿入孔１０ａ，Ｓａとピン挿入孔１０ｂ，Ｓｂとには、ホルダ１０の他端から位置決めピン１２ａ，１２ｂがそれぞれ挿入される。位置決めピン１２ａ，１２ｂは、いずれも例えば直径１ｍｍ程度のステンレススチール等の金属又はアルミナ等のセラミックからなっている。ピン挿入孔１０ａ，１０ｂ，Ｓａ，Ｓｂには、いずれも大サイズ端から位置決めピンが挿入されるので、挿入作業が容易となる。位置決めピン１２ａ，１２ｂは、図３について後述する光ファイバの接着と同様にしてそれぞれ接着孔Ｍａ，Ｍｂにて接着剤により接着されることにより固定板１６と共にホルダ１０に固定される。この結果、固定板１６は、各固定孔がホルダ１０の対応する保持孔に連通するようにホルダ１０に精密に位置合せされたことになる。
【００２３】
このように位置合せされた状態において、図２に示すように保持孔Ｈ１１と 固定孔Ｓ１１との連通孔、保持孔Ｈ２１と固定孔Ｓ２１との連通孔、保持孔Ｈ３１と固定孔Ｓ３１との連通孔及び保持孔Ｈ４１と固定孔Ｓ４１との連通孔には、ホルダ１０の他端から光ファイバＦ１１、Ｆ２１、Ｆ３１及びＦ４１がそれぞれ挿通される。このことは、他の保持孔と固定孔との連通孔についても同様である。各保持孔及び各固定孔には、いずれも大サイズ端から光ファイバが挿通されるので、挿入作業が容易となる。各光ファイバは、対応する接着孔にて接着剤によりホルダ１０に接着・固定される。
【００２４】
図３は、このときの接着・固定構造を接着孔Ｍ１１，Ｍ２１について例示するものである。一例として、固定板１６を板挿入溝１４に挿入する前に接着孔Ｍ１１，Ｍ２１に紫外線硬化性の接着剤を充填しておき、図３に示すように孔Ｓ１１，Ｍ１１及び孔Ｓ２１，Ｍ２１にそれぞれ光ファイバＦ１１及びＦ２１を挿通し終わった段階で光ファイバＦ１１、Ｆ２１をそれぞれ介して接着孔Ｍ１１，Ｍ２１内の接着層Ａ１１，Ａ２１に紫外線を照射することにより接着層Ａ１１，Ａ２１を硬化させる。この結果、光ファイバＦ１１、Ｆ２１は、それぞれ接着層Ａ１１，Ａ２１により固定板１６と共にホルダ１０に固定される。
【００２５】
次に、図５〜１０を参照して上記のような光ファイバアレイの製法を説明する。図５〜１０において、図１〜４と同様の部分には同様の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００２６】
図５の工程では、前述したように光ファイバ保持孔Ｈ１１〜Ｈ４８を含む保持孔群Ｈと位置決めピン挿入孔１０ａ，１０ｂとを有する光ファイバホルダ１０を例えばジルコニア粉末の焼成処理により作成する。
【００２７】
図６の工程では、１００μｍ〜２００μｍ幅のダイシングブレードを使用してホルダ１０の一端近傍に２つのダイシング溝を並べて形成することによりこれらダイシング溝からなる固定板挿入溝１４，１８を得る。ピン挿入孔１０ａ，１０ｂは、板挿入溝１４，１８により切断された形となる。ホルダ１０の一端と板挿入溝１８との間にはホルダ区間１０Ｂが残されると共に板挿入溝１８及び１４の間にはホルダ区間１０Ａが残される。
【００２８】
図７の工程では、図１２〜１８について後述するような薄膜プロセスにより作成された光ファイバ固定板１６，１６’を用意する。固定板１６は、前述したようにＳ１１〜Ｓ４１等の光ファイバ固定孔及びＭ１１〜Ｍ４１等の接着孔を含む接着・固定孔群ＳＭと位置決めピン挿入孔Ｓａ，Ｓｂとを有するもので、固定板１６’も固定板１６と同様の構成である。
【００２９】
次に、固定板１６，１６’を板挿入孔１４，１８にそれぞれ挿入する。このとき、図２，４に示したようにＳ１１等の各固定孔及びＳａ等の各ピン挿入孔がいずれも大サイズ端をホルダ１０の他端（右端）に向けるように固定板１６を板挿入溝１４に挿入し、固定板１６’についても同様とする。図８には、固定板１６，１６’の挿入後の状態が示されている。
【００３０】
図８の工程では、固定板１６，１６’をそれぞれ板挿入溝１４，１８に挿入した状態においてホルダ１０の他端からピン挿入孔１０ａ、１０ｂに位置決めピン１２ａ，１２ｂを挿入する。位置決めピン１２ａ，１２ｂは、図４に関して前述したようにピン挿入孔１０ａ，１０ｂをそれぞれ介して固定板１６のピン挿入孔Ｓａ，Ｓｂに挿入すると共にホルダ区間１０Ａ、固定板１６’及びホルダ区間１０Ｂ内に貫通させ、このような状態で前述したように接着孔にて固定する。この結果、固定板１６，１６’は、ホルダ１０に対して位置決めされる。
【００３１】
図９の工程では、上記したような位置決め状態において、ファイバテープＦＴから導出された光ファイバ（ファイバ芯線）群Ｆのうちの各光ファイバをホルダ１０の他端からホルダ１０の対応する保持孔と、固定板１６の対応する固定孔と、ホルダ区間１０Ａの対応する保持孔と、固定板１６’の対応する固定孔と、ホルダ区間１０Ｂの対応する保持孔とに挿入し、前述したように対応する接着孔にてホルダ１０に固定する。図１０には、光ファイバ群Ｆをホルダ１０に挿入・固定した状態が示されている。
【００３２】
図１０の工程では、ホルダ１０の一端から突出した光ファイバ部分とホルダ１０の端部とに研磨処理を施すことにより図９に示すようにホルダ１０の一端からホルダ区間１０Ａ内に至る長さＤのホルダ区間を除去する。この結果、ホルダ区間１０Ａの端面は、図１に示したように平坦状の面となり、固定板１６が残存することになる。なお、研磨処理としては、必要に応じて斜め研磨処理を施してもよい。
【００３３】
上記した例では、ホルダ区間１０Ａ内に至るまで研磨したが、ホルダ区間１０Ｂ内に達した段階で研磨を停止するようにしてもよい。この場合は、固定板１６，１６’が共に残存することになる。また、固定板１６，１６’は、いずれか一方を省略するようにしてもよい。
【００３４】
図１１は、ホルダと固定板の位置合せ方法の変形例を示すもので、図１〜４と同様の部分には同様の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００３５】
図１１の例では、ホルダ１０の一端から他端に向けて延長するように（又は他端に達するように）ホルダ１０の上部及び両側部に位置決めピン挿入溝１０ｐ、１０ｑ、１０ｒを設ける。ピン挿入溝１０ｐ〜１０ｒは、いずれもホルダ区間１０Ｂの端面から固定板１６’、ホルダ区間１０Ａ及び固定板１６の各露呈部を通ってホルダ１０の他端側に延長している。
【００３６】
位置合せに際しては、ホルダ１０の板挿入溝１４，１８にそれぞれ固定板１６，１６’を図１１に示すように挿入した状態においてピン挿入溝１０ｐ，１０ｑ，１０ｒにそれぞれ板状の位置決めピン１２ｐ，１２ｑ，１２ｒを図１１にて矢印で示すように挿入し、接着等により固定する。このような固定状態において、前述したと同様に光ファイバ挿入作業を行なう。位置決めピン１２ｐ〜１２ｒにおいてホルダ１０（ホルダ区間１０Ａ，１０Ｂも含む）や固定板１６，１６’から突出した部分は、研磨処理等により除去することができる。
【００３７】
上記した実施形態によれば、位置決めピン１２ａ，１２ｂ又は１２ｐ〜１２ｒを用いて固定板１６，１６’をホルダ１０に対して精密に位置決めすることができる。また、固定板１６，１６’は、それぞれ板挿入溝１４，１８内に存在するため、そりやはがれが生じにくい。さらに、固定板１６，１６’の各固定孔の直径の精度としては、光ファイバの外径に対して１μｍより下のサブミクロンオーダーの精度を出すことができるので、光ファイバの端部で高精度の位置決めが可能であり、光ファイバ間の平行度を０．１度以下にすることができる。
【００３８】
図１２〜１６は、光ファイバ固定板の製法の一例を示すものである。
【００３９】
図１２の工程では、例えばガラス又は石英からなる基板２０の一方の主面にメッキ下地層としてＣｕ／Ｃｒ積層（Ｃｒ層にＣｕ層を重ねた積層）２２をスパッタ法により形成する。Ｃｒ層は、基板２０に対するＣｕ層の密着性を向上させるためのもので、Ｃｒ層及びＣｕ層の厚さは、それぞれ３０ｎｍ及び３００ｎｍ程度とすることができる。Ｃｕ／Ｃｒ積層２２を形成した後、ホトリソグラフィ処理により所望の接着孔パターンにそれぞれ対応するレジスト（ネガレジスト）層Ｒ１１〜Ｒ１６をＣｕ／Ｃｒ積層２２の上に形成する。
【００４０】
次に、図１３の工程では、ホトリソグラフィ処理により所望の固定孔パターンにそれぞれ対応するレジスト（ネガレジスト）層Ｒ２１〜Ｒ２６をレジスト層Ｒ１１〜Ｒ１６の上にそれぞれ形成する。
【００４１】
図１４の工程では、レジスト層Ｒ１１〜Ｒ１６，Ｒ２１〜Ｒ２６をマスクとするＮｉ−Ｆｅ合金の選択メッキ処理によりＮｉ−Ｆｅ合金層からなる光ファイバ固定板１６を形成する。このとき、固定板１６は、Ｒ２１等の各レジスト層の周囲で上方に進むほど各レジスト層から離れるように（上方に進むに従ってサイズが増大する固定孔を有するように）形成される。
【００４２】
図１７は、このときのメッキ層１６の成長状況をレジスト層Ｒ１１，Ｒ２１に関して例示するものである。Ｃｕ／Ｃｒ積層２２上においてレジスト層Ｒ１１の近傍の点Ｐから見たとき、メッキ層１６の表面における図示の点Ｑ，Ｒは等距離にある。メッキ層１６は等方的に成長するので、直下にレジスト層Ｒ１１があってメッキ下地が露呈していない点Ｒでは、メッキ層１６がＰ点からレジスト層Ｒ１１を乗り越えて成長する。このため、メッキ層（固定板）１６は、各レジスト層の周囲で上方に進むほど各レジスト層から離れるように形成される。
【００４３】
図１５の工程では、薬液処理等によりレジスト層Ｒ１１〜Ｒ１６，Ｒ２１〜Ｒ２６を除去して固定板１６に固定孔Ｓ１１〜Ｓ１６及び接着孔Ｍ１１〜Ｍ１６を付与する。この結果、固定板１６においては、一方の主面から他方の主面に貫通し且つ他方の主面に近づくにつれてサイズを増大するように固定孔Ｓ１１〜Ｓ１６が形成されると共に、固定孔Ｓ１１〜Ｓ１６の小サイズ端にそれぞれ連続して該小サイズ端よりサイズが大きい接着孔Ｍ１１〜Ｍ１６が形成される。
【００４４】
図１６の工程では、Ｃｕ／Ｃｒ積層２２のうちのＣｕ層をエッチング処理により除去して基板２０から固定板１６を分離する。
【００４５】
図２〜４に示した光ファイバ固定板１６としては、接着孔Ｍ１１〜Ｍ４１，Ｍａ，Ｍｂを省略したものを用いてもよい。この場合、固定板１６は、図１８に示すようにして製作することができる。すなわち、基板２０の表面にＣｕ／Ｃｒ層２２を図１２に関して前述したと同様にして形成した後、ホトリソグラフィ処理によりＣｕ／Ｃｒ積層２２の上にレジスト層２４，Ｒ１〜Ｒ８を形成する。レジスト層２４は、所望の固定板の平面パターンに対応した四辺形孔を有するように形成し、レジスト層Ｒ１〜Ｒ８は、いずれも該四辺形孔内において所望の固定孔に対応したパターンを有し且つ上部から下部に進むにつれてサイズが増大するように形成する。ここで、層Ｒ１〜Ｒ８のような順テーパー状のレジスト形状を得るためには、ステッパ（縮小投影露光装置）を用いた場合、
（１）フォーカス位置をレジスト内に設定する方法、
（２）レジスト下部にて露光量を小さく設定する方法（ポジレジスト用の方法）、
（３）露光マスクにおいて、マスク部の透過率を徐々に変化させる（レジストの裾にいくに従って透過率を高くする）方法
のうちいずれかの方法を用いることができる。
【００４６】
次に、レジスト層２４，Ｒ１〜Ｒ８をマスクとするＮｉ−Ｆｅ合金の選択メッキ処理によりＮｉ−Ｆｅ合金層からなる固定板１６を形成する。そして、薬液処理等によりレジスト層２４、Ｒ１〜Ｒ８を除去する。レジスト層Ｒ１〜Ｒ８を除去したため、固定板１６には、固定孔Ｓ１〜Ｓ８が付与される。各固定孔は、対応するレジスト層が上部から下部に進むにつれてサイズが増大するようになっていたため、固定板１６の上面から下面に進むにつれてサイズが増大するように形成される。この後、エッチング処理によりＣｕ／Ｃｒ積層２２のうちのＣｕ層を除去して基板２０から固定板１６を分離する。
【００４７】
上記した光ファイバ固定板の製法によれば、孔Ｓ１１〜Ｓ１６，Ｍ１１〜Ｍ１６，Ｓ１〜Ｓ８の位置やサイズ及び固定孔間ピッチを０．５μｍ等のサブミクロンオーダーの精度で設定することができる。また、固定板１６としては、孔Ｓ１１〜Ｓ１６，Ｍ１１〜Ｍ１６，Ｓ１〜Ｓ８が１次元配列をなすものを例示したが、固定孔及び接着孔が２次元配列をなすものも上記したと同様にして作成可能である。さらに、図４に示したピン挿入孔Ｓａ，Ｓｂや接着孔Ｍａ，Ｍｂも固定孔Ｓ１１〜Ｓ１６や接着孔Ｍ１１〜Ｍ１６と同様にして作成可能であり、必要に応じてピン挿入孔Ｓａ，Ｓｂを接着孔なしで固定孔Ｓ１〜Ｓ８と同様にして作成してもよい。
【００４８】
この発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、種々の改変形態で実施可能なものである。例えば、次のような変更が可能である。
【００４９】
（１）光ファイバホルダ１０の形状は、四角柱状に限らず、円柱状、多角柱（例えば三角柱、六角柱）状等であってもよい。
【００５０】
（２）光ファイバホルダ１０の保持孔やピン挿入孔及び固定板１６，１６’の固定孔やピン挿入孔の形状は、円形状に限らず、多角形（例えば三角形、正方形、平行四辺形、六角形）状等であってもよい。ホルダ１０のピン挿入孔及び固定板１６、１６’のピン挿入孔を多角形にした場合は、位置決めピンの断面形状もピン挿入孔の多角形状に対応する多角形状とする。この場合、位置決めピンが回転しないので、使用する位置決めピンを１本とすることもできる。
【００５１】
（３）この発明は、２次元光ファイバアレイに限らず、１次元光ファイバアレイや単芯の光ファイバホルダ（光ファイバ１本の位置決め）にも適用可能である。
【００５２】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、光ファイバホルダの一端近傍に設けた１又は複数の固定板挿入溝に光ファイバ固定板を挿入した状態で光ファイバホルダの位置決めピン挿入孔（又は溝）と光ファイバ固定板の位置決めピン挿入孔（又は溝）とに位置決めピンを挿入して光ファイバホルダ及び光ファイバ固定板を位置合せする構成にしたので、光ファイバ固定板の各光ファイバ固定孔を光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔に精密に位置決めすることができる。従って、光ファイバ保持孔を介して光ファイバ固定孔に光ファイバを挿通する作業が容易となり、光ファイバが折れるような事態を未然に防止できる効果が得られる。
【００５３】
また、固定板挿入溝に光ファイバ固定板を挿入し、固定する構成にしたので、光ファイバ固定板のそりやはがれを防止することができ、特に光ファイバホルダの端面を研磨する際には光ファイバ固定板に特別の注意を払うことなく研磨作業を行なえる効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明の一実施形態に係る光ファイバアレイを示す斜視図である。
【図２】 図１のＸ−Ｘ’線に沿う断面図である。
【図３】 光ファイバ接着部を拡大して示す断面図である。
【図４】 図１のＹ−Ｙ’線に沿う断面図である。
【図５】 図１の光ファイバアレイの製法の一例におけるホルダ作成工程を示す斜視図である。
【図６】 図５の工程に続く板挿入溝形成工程を示す斜視図である。
【図７】 図６の工程に続く固定板挿入工程を示す斜視図である。
【図８】 図７の工程に続く位置決めピン挿入・固定工程を示す斜視図である。
【図９】 図８の工程に続く光ファイバ挿入・固定工程を示す斜視図である。
【図１０】 図９の工程に続く研磨工程を示す斜視図である。
【図１１】 ホルダと固定板の位置合せ方法の変形例を示す斜視図である。
【図１２】 この発明に係る光ファイバ固定板の製法の一例におけるレジスト層形成工程を示す断面図である。
【図１３】 図１２の工程に続くレジスト層形成工程を示す断面図である。
【図１４】 図１３の工程に続く選択メッキ工程を示す断面図である。
【図１５】 図１４の工程に続くレジスト除去工程を示す断面図である。
【図１６】 図１５の工程に続く分離工程を示す断面図である。
【図１７】 選択メッキ処理におけるメッキ層の成長状況を示す断面図である。
【図１８】 光ファイバ固定板の変形例を示す断面図である。
【図１９】 従来の２次元光ファイバアレイを示す斜視図である。
【図２０】 図１９のＡ−Ａ’線に沿う断面図である。
【符号の説明】
１０：光ファイバホルダ、１０Ａ，１０Ｂ：ホルダ区間、１０ａ，１０ｂ，Ｓａ，Ｓｂ：ピン挿入孔、１０ｐ〜１０ｒ：ピン挿入溝、１２ａ，１２ｂ，１２ｐ〜１２ｒ：位置決めピン、１４，１８：板挿入溝、１６，１６’：光ファイバ固定板、２０：基板、２２：Ｃｕ／Ｃｒ積層、Ｈ１１〜Ｊ４８：保持孔、Ｆ１１〜Ｆ４８：光ファイバ、Ｍ１１〜Ｍ４１，Ｍａ，Ｍｂ，Ｍ１１〜Ｍ１６：接着孔、Ｓ１１〜Ｓ４１，Ｓ１１〜Ｓ１６，Ｓ１〜Ｓ８：固定孔、Ａ１１，Ａ２１：接着層、Ｈ：保持孔群、ＳＭ：接着・固定孔群、Ｆ：光ファイバ群、ＦＴ：光ファイバテープ、Ｒ１１〜Ｒ１６，Ｒ２１〜Ｒ２６，Ｒ１〜Ｒ８，２４：レジスト層。
Claims (7)
- １又は複数の光ファイバと、
前記１又は複数の光ファイバのうちの各光ファイバに対応する光ファイバ保持孔が一端から他端に貫通するように設けられ、該一端から該他端まで連続した構成材料からなる円柱状又は多角柱状の光ファイバホルダであって前記一端から前記他端に向けて延長するように第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）が各光ファイバ保持孔とは別個に設けられると共に前記一端の近傍には各光ファイバ保持孔及び前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）を横切るように固定板挿入溝が設けられたものと、
選択メッキ処理により形成され、前記固定板挿入溝に挿入された光ファイバ固定板であって前記光ファイバホルダの各光ファイバ保持孔及び前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）にそれぞれ対応する光ファイバ固定孔及び第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）がいずれも一方の主面から他方の主面に貫通するように設けられ、各光ファイバ固定孔が前記他方の主面に近づくにつれてサイズを増大するように形成されたものと、
前記第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）を前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）に連通させ且つ前記光ファイバ固定板の他方の主面を前記光ファイバホルダの他端に向けるように前記光ファイバ固定板を前記固定板挿入溝に挿入した状態で前記第１及び第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）に挿入された位置決めピンであって前記第１及び第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）に挿入された状態では前記光ファイバ固定板の各光ファイバ固定孔を前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔に連通させるように位置決めするものと、
前記第１及び第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）に前記位置決めピンを挿入し且つ各光ファイバを前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔及び前記光ファイバ固定板の対応する光ファイバ固定孔に挿入した状態で前記位置決めピン及び各光ファイバを前記光ファイバホルダに固定する固定手段と
を備えた光ファイバ保持体。 - １又は複数の光ファイバと、
前記１又は複数の光ファイバのうちの各光ファイバに対応する光ファイバ保持孔が一端から他端に貫通するように設けられ、該一端から該他端まで連続した構成材料からなる円柱状又は多角柱状の光ファイバホルダであって前記一端から前記他端に向けて延長するように第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）が各光ファイバ保持孔とは別個に設けられると共に前記一端の近傍には各光ファイバ保持孔及び前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）を横切るように複数の固定板挿入溝が並設されたものと、
各々選択メッキ処理により形成され、前記複数の固定板挿入溝にそれぞれ挿入された複数の光ファイバ固定板であって各光ファイバ固定板には前記光ファイバホルダの各光ファイバ保持孔及び前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）にそれぞれ対応する光ファイバ固定孔及び第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）がいずれも一方の主面から他方の主面に貫通するように設けられ、各光ファイバ固定孔が前記他方の主面に近づくにつれてサイズを増大するように形成されたものと、
各光ファイバ固定板の第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）を前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）に連通させ且つ各光ファイバ固定板の他方の主面を前記光ファイバホルダの他端に向けるように各光ファイバ固定板を前記光ファイバホルダの対応する固定板挿入溝に挿入した状態で前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）と各光ファイバ固定板の第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）とに挿入された位置決めピンであって前記第１及び第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）に挿入された状態では各光ファイバ固定板毎に各光ファイバ固定孔を前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔に連通させるように位置決めするものと、
前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）と各光ファイバ固定板の第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）とに前記位置決めピンを挿入し且つ各光ファイバを前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔及び各光ファイバ固定板の対応する光ファイバ固定孔に挿入した状態で前記位置決めピン及び各光ファイバを前記光ファイバホルダに固定する固定手段と
を備えた光ファイバ保持体。 - １又は複数の光ファイバと、前記１又は複数の光ファイバのうちの各光ファイバに対応する光ファイバ保持孔が一端から他端に貫通するように設けられ、該一端から該他端まで連続した構成材料からなる円柱状又は多角柱状の光ファイバホルダであって前記一端から前記他端に向けて延長するように第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）が各光ファイバ保持孔とは別個に設けられると共に前記一端の近傍には各光ファイバ保持孔及び前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）を横切るように固定板挿入溝が設けられたものと、前記固定板挿入溝に挿入されるべく選択メッキ処理により形成された光ファイバ固定板であって前記光ファイバホルダの各光ファイバ保持孔及び前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）にそれぞれ対応する光ファイバ固定孔及び第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）がいずれも一方の主面から他方の主面に貫通するように設けられ、各光ファイバ固定孔が前記他方の主面に近づくにつれてサイズを増大するように形成されたものと、前記第１及び第２の位置決めピン挿入孔に挿入されるべき位置決めピンとを用意するステップと、
前記第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）を前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）に連通させ且つ前記光ファイバ固定板の他方の主面を前記光ファイバホルダの他端に向けるように前記光ファイバ固定板を前記固定板挿入溝に挿入するステップと、
前記光ファイバ固定板を前記固定板挿入溝に挿入した状態で前記第１及び第２の位置決めピン挿入孔に前記位置決めピンを挿入することにより前記光ファイバ固定板の各光ファイバ固定孔を前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔に連通させるように位置決めするステップと、
前記位置決めピンにより前記光ファイバ固定板の各光ファイバ固定孔を前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔に位置決めした状態で前記位置決めピンを前記光ファイバホルダに固定するステップと、
前記位置決めピンを前記光ファイバホルダに固定した状態で各光ファイバを前記光ファイバホルダの他端から前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔及び前記光ファイバ固定板の対応する光ファイバ固定孔に挿入するステップと、
各光ファイバを前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔及び前記光ファイバ固定板の対応する光ファイバ固定孔に挿入した状態で各光ファイバを前記光ファイバホルダに固定するステップと
を含む光ファイバ保持体の製法。 - 各光ファイバを前記光ファイバホルダに固定した状態で前記光ファイバホルダの一端と前記固定板挿入溝との間のホルダ区間内に達するまで前記光ファイバホルダの一端側を研磨するステップを更に含む請求項３記載の光ファイバ保持体の製法。
- １又は複数の光ファイバと、前記１又は複数の光ファイバのうちの各光ファイバに対応する光ファイバ保持孔が一端から他端に貫通するように設けられ、該一端から該他端まで連続した構成材料からなる円柱状又は多角柱状の光ファイバホルダであって前記一端から前記他端に向けて延長するように第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）が各光ファイバ保持孔とは別個に設けられると共に前記一端の近傍には各光ファイバ保持孔及び前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）を横切るように複数の固定板挿入溝が並設されたものと、前記複数の固定板挿入溝にそれぞれ挿入されるべく選択メッキ処理により形成された複数の光ファイバ固定板であって各光ファイバ固定板には前記光ファイバホルダの各光ファイバ保持孔及び前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）にそれぞれ対応する光ファイバ固定孔及び第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）がいずれも一方の主面から他方の主面に貫通するように設けられ、各光ファイバ固定孔が前記他方の主面に近づくにつれてサイズを増大するように形成されたものと、前記第１の位置決めピン挿入孔及び各光ファイバ固定板の第２の位置決めピン挿入孔に挿入されるべき位置決めピンとを用意するステップと、
各光ファイバ固定板の第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）を前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）に連通させ且つ各光ファイバ固定板の他方の主面を前記光ファイバホルダの他端に向けるように各光ファイバ固定板を前記光ファイバホルダの対応する固定板挿入溝に挿入するステップと、
各光ファイバ固定板を前記光ファイバホルダの対応する固定板挿入溝に挿入した状態で前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）及び各光ファイバ固定板の第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）に前記位置決めピンを挿入することにより各光ファイバ固定板毎に各光ファイバ固定孔を前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔に連通させるように位置決めするステップと、
前記位置決めピンにより各光ファイバ固定板毎に各光ファイバ固定孔を前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔に位置決めした状態で前記位置決めピンを前記光ファイバホルダに固定するステップと、
前記位置決めピンを前記光ファイバホルダに固定した状態で各光ファイバを前記光ファイバホルダの他端から前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔及び各光ファイバ固定板の対応する光ファイバ固定孔に挿入するステップと、
各光ファイバを前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔及び各光ファイバ固定板の対応する光ファイバ固定孔に挿入した状態で各光ファイバを前記光ファイバホルダに固定するステップと
を含む光ファイバ保持体の製法。 - 各光ファイバを前記光ファイバホルダに固定した状態で前記光ファイバホルダの一端と前記複数の固定板挿入溝のうちのいずれか１つとの間のホルダ区間内に達するまで前記光ファイバホルダの一端側を研磨するステップを更に含む請求項５記載の光ファイバ保持体の製法。
- １又は複数の光ファイバ保持孔が一端から他端に貫通するように設けられ、該一端から該他端まで連続した構成材料からなる円柱状又は多角柱状の光ファイバホルダであって前記一端から前記他端に向けて延長するように第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）が各光ファイバ保持孔とは別個に設けられ、前記一端の近傍には各光ファイバ保持孔及び前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）を横切るように固定板挿入溝が設けられた光ファイバホルダにおいて前記固定板挿入溝に挿入して使用される光ファイバ固定板であって、
前記光ファイバホルダの各光ファイバ保持孔及び前記第１の位置決めピン挿入孔（又は溝）にそれぞれ対応する光ファイバ固定孔及び第２の位置決めピン挿入孔（又は溝）がいずれも一方の主面から他方の主面に貫通し且つ各光ファイバ固定孔が前記他方の主面に近づくにつれてサイズを増大するように選択メッキ処理により形成された光ファイバ固定板。
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