JP4126685B2

JP4126685B2 - 新規な感光性樹脂組成物

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Publication number: JP4126685B2
Application number: JP2001571166A
Authority: JP
Inventors: パメラ・ジェイ・ウォーターソン; アーマド・ナイーニ; スティーヴ・リエン−チュン・シュー; ウィリアム・ディー・ウェーバー
Original assignee: Fujifilm Electronic Materials USA Inc
Current assignee: Fujifilm Electronic Materials USA Inc
Priority date: 2000-03-24
Filing date: 2001-02-23
Publication date: 2008-07-30
Anticipated expiration: 2021-02-23
Also published as: US6214516B1; EP1266266A4; KR100740020B1; JP2003529099A; TWI291077B; WO2001073509A1; EP1266266A1; KR20030051417A

Description

【０００１】
【技術分野】
本発明は、ポジ感光性樹脂組成物に関する。より詳しくは、本発明は、マイクロエレクトロニクスの分野の用途に適したポジ型水性塩基現像可能な感光性ポリベンゾオキサゾール（ＰＢＯ）前駆体組成物に関する。
【０００２】
【発明の背景】
マイクロエレクトロニクスの用途では、高温抵抗性を示すポリマーが一般によく知られている。このようなポリマーの前駆体、例えばポリイミド及びポリベンゾオキサゾールは、適切な添加剤を用いて光反応性にすることができる。前駆体は、高温に暴露するといったような知られている技術によって所望のポリマーに転化される。ポリマー前駆体は、保護層、絶縁層及び高耐熱性ポリマーのレリーフ構造を製造するのに使用される。
【０００３】
慣用のポジ型感光性ポリベンゾオキサゾール（ＰＢＯ）は、米国特許第4,371,685号に記載されたように、アルカリ可溶性のＰＢＯ前駆体及びジアゾキノン光活性化合物を含んでいる。ジアゾキノン化合物は、水性塩基中でＰＢＯ前駆体の溶解性を抑制する。露光した後、ジアゾキノン化合物は光分解してインデンカルボン酸に転化され、これがＰＢＯ前駆体の水性塩基溶解度を高める。
【０００４】
【発明の概要】
本発明は、シランジオール、例えばジアリールシランジオール又はジアルキルシランジオール、一つ又はそれ以上のポリベンゾオキサゾール前駆体、感光剤（photosensitive agent）（例えばジアゾキノン化合物、ジヒドロピリジン又はそれらの混合物）及び溶媒を含むポジ感光性樹脂組成物を提供する。
【０００５】
本発明において、シランジオール化合物は、ポジ型光活性樹脂組成物の必須成分である。本発明において、シランジオールは、驚くべきことに、溶解抑制剤として作用する。この作用は予想されたものとは反対である。その理由は、例えば米国特許第5,856,065号に記載されたような別の系では、シランジオールは、溶解促進剤として機能しているからである。
【０００６】
本発明は、シランジオール、一つ又はそれ以上のポリベンゾオキサゾール前駆体、感光剤及び溶媒を含むポジ感光性樹脂組成物を提供する。本発明の組成物は、先行技術の組成物よりもいくつかの改良点を示す。例えば、溶解抑制及びクラック抵抗は、顕著に改善される。さらに、同様の抑制レベルで他の組成物と比較すると水性現像剤に曝露の間に、膨潤及びスキンニングが減少する。これらの改良点により、現像時間をより長く、より制御することが可能となり、その結果、現像方法の許容範囲が拡大される。
【０００７】
【発明の詳述】
本発明のポジ感光性樹脂組成物は、(ａ) シランジオール、例えばジアリールシランジオール又はジアルキルシランジオール、(ｂ) 一つ又はそれ以上のポリベンゾオキサゾール前駆体、(ｃ) 感光剤（例えばジアゾキノン化合物、ジヒドロピリジン又はそれらの混合物）、及び(ｄ) 溶媒：を含む。
【０００８】
シランジオール化合物は、例えばジアリールシランジオール又はジアルキルシランジオール又はそれらの混合物であることができる。ジフェニルシランジオールは、最も好ましい。シランジオールは、組成物中に約０.１重量％〜１０.０重量％、好ましくは約０.５重量％〜７.５重量％、そして最も好ましくは約１重量％〜５重量％で含まれる。
【０００９】
感光性樹脂組成物は、（Ｄ）：
【化１１】

に示した構造を有する一つ又はそれ以上のポリベンゾオキサゾール前駆体を有する。ポリベンゾオキサゾール前駆体は、１０〜１０００の重合度を有し、塩基の存在下でモノマー(Ａ)、(Ｂ)及び(Ｃ)：
【化１２】

（式中、ｘは１０〜１０００であり、そしてｙは０〜９００であり；Ａｒ₁は、四価の芳香族、脂肪族又は複素環基であり；Ａｒ₂は、二価の芳香族、複素環、脂環式又は脂肪族基であり；Ａｒ₃は、二価の芳香族、脂肪族又は複素環基であり、そしてＷはＣｌ又はＯＲ及びＨであり、ここでＲは、アルキル基、例えば−ＣＨ₃、−Ｃ₂Ｈ₅、ｎ−Ｃ₃Ｈ₇、ｉ−Ｃ₃Ｈ₇、ｎ−Ｃ₄Ｈ₉、ｔ−Ｃ₄Ｈ₉又はシクロヘキシル基である）の反応によって合成される。
【００１０】
[(Ａ)＋(Ｂ)]／(Ｃ)の比は、一般に約０.９〜１.１の間である。モノマー(Ａ)は、[(Ａ)＋(Ｂ)]の約１０〜１００モル％であり、そしてモノマー(Ｂ)は、[(Ａ)＋(Ｂ)]の約０〜９０モル％である。
【００１１】
ポリマー(Ｄ)の構成要素であるモノマー(Ａ)において、Ａｒ₁は、四価の芳香族、脂肪族又は複素環基であり、そして以下の基
【化１３】

（式中、Ｘ₁は、−Ｏ−、−Ｓ−、−（ＣＦ₃)₂−、−ＣＨ₂−、−ＳＯ₂−、− ＮＨＣＯ−又は
【化１４】

であり、Ｒ¹は、アルキル又はシクロアルキル、例えば−ＣＨ₃、−Ｃ₂Ｈ₅、ｎ−Ｃ₃Ｈ₇、ｉ−Ｃ₃Ｈ₇、ｎ−Ｃ₄Ｈ₉、ｔ−Ｃ₄Ｈ₉、シクロヘキシル等である）
を含むことができる。しかし、Ａｒ₁は、これらの基に限定されない。さらに、モノマー(Ａ)は、２個又はそれ以上モノマーの混合物であってもよい。
【００１２】
ポリベンゾオキサゾール前駆体（Ｄ）の構成要素であるモノマー(Ｂ)では、Ａｒ₂は、ケイ素を含みうる又は含まない二価の芳香族、複素環、脂環式又は脂肪族基である。Ａｒ₂を含むモノマー（Ｂ）には、例えば、５(６)−ジアミノ−１−（４−アミノフェニル）−１,３ ,３−トリメチルインダン（ＤＡＰＩ）、ｍ−フェニレンジアミン、ｐ−フェニレンジアミン、２,２′−ビス（トリフルオロメチル）−４,４′−ジアミノ−１,１′−ビフェニル、３,４′−ジアミノジフェニルエーテル、４,４′ −ジアミノジフェニルエーテル、３,３′−ジアミノジフェニルエーテル、２,４−トリレンジアミン、３,３′−ジアミノジフェニルスルホン、３,４′−ジアミノジフェニルスルホン、４,４′−ジアミノジフェニルスルホン、３,３′−ジアミノジフェニルメタン、４,４′−ジアミノジフェニルメタン、３,３′−ジアミノジフェニルメタン、３,４′−ジアミノジフェニルメタン、４,４′−ジアミノジフェニルケトン、３,３′−ジアミノジフェニルケトン、３,４′−ジアミノジフェニルケトン、１,３−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、１,３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン、１,４−ビス（γ−アミノプロピル）テトラメチルジシロキサン、２,３,５,６−テトラメチル−ｐ−フェニレンジアミン、ｍ−キシリレンジアミン、ｐ−キシリレンジアミン、メチレンジアミン、テトラメチレンジアミン、ペンタメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、２,５−ジメチルヘキサメチレンジアミン、３−メトキシヘキサメチレンジアミン、ヘプタメチレンジアミン、２,５−ジメチルヘプタメチレンジアミン、３−メチルヘプタメチレンジアミン、４,４−ジメチルヘプタメチレンジアミン、オクタメチレンジアミン、ノナメチレンジアミン、２,５−ジメチルノナメチレンジアミン、デカメチレンジアミン、エチレンジアミン、プロピレンジアミン、２,２−ジメチルプロピレンジアミン、１,１０−ジアミノ−１,１０−ジメチルデカン、２,１１−ジアミニドデカン、１,１２−ジアミノオクタデカン、２,１７−ジアミノエイコサン、３,３′−ジメチル−４,４′−ジアミノジフェニルメタン、ビス（４−アミノシクロヘキシル）メタン、３,３′−ジアミノジフェニルエタン、４,４′−ジアミノジフェニルエタン、及び４,４−ジアミノジフェニルスルフィド、２,６−ジアミノピリジン、２,５−ジアミノピリジン、２,６−ジアミノ−４−トリフルオロメチルピリジン、２,５−ジアミノ−１,３,４−オキサジアゾール、１,４−ジアミノシクロヘキサン、ピペラジン、４,４′−メチレンジアニリン、４,４′−メチレン−ビス(ｏ−クロロアニリン)、４,４′−メチレンビス−（３−メチルアニリン）、４,４′−メチレンビス（２−エチルアニリン）、４,４′−メチレン−ビス（２−メトキシアニリン）、４,４′−オキシジアニリン、４,４′−オキシ−ビス−（２−メトキシアニリン）、４,４′−オキシ−ビス−（２−クロロアニリン）、４,４′−チオ−ジアニリン、４,４′−チオ−ビス（２−メチルアニリン）、４,４′−チオ−ビス（２−メチオキシアニリン）、４,４′−チオ−ビス（２−クロロアニリン）、３,３′−スルホニルジアニリン、３,３′−スルホニルジアニリン及びそれらの混合物が含まれる。しかし、モノマー（Ｂ）がこれらの化合物に限定されないと理解すべきである。
【００１３】
ポリベンゾオキサゾール前駆体(Ｄ)の構成要素であるモノマー(Ｃ)では、Ａｒ₃は、二価の芳香族又は複素環基であり、そして例えば、
【化１５】

（式中、Ｘ₂は、−Ｏ−、−Ｓ−、−Ｃ(ＣＦ₃)₂−、−ＣＨ₂−、−ＳＯ₂又は−ＮＨＣＯ−である）が含まれる。しかし、Ａｒ₃はこれらの基に限定されない。さらに、モノマー(Ｃ)は、２個又はそれ以上のモノマーの混合物であってもよい。
【００１４】
好ましい反応溶媒は、Ｎ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）、γ−ブチロラクトン（ＧＢＬ）、Ｎ,Ｎ−ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）、Ｎ,Ｎ−ジメチルアセトアミド（ＤＭＡｃ）、ジメチル−２−ピペリドン、ジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）、スルホラン、及びジグライムである。Ｎ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）及びγ−ブチロラクトン（ＧＢＬ）は、最も好ましい。
【００１５】
このようなジカルボン酸又はその二塩化物もしくはジエステルと、少なくとも１つの芳香族及び／又は複素環式ジヒドロキシジアミン、及び場合により少なくとも一つのジアミンとの適切な反応を使用することができる。一般に、反応は、約１０℃〜約５０℃で約６〜４８時間行われる。二酸対（ジアミン＋ジヒドロキシジアミン）のモル比は、約０.９〜１.１：１でなければならない。
【００１６】
ポジ感光性樹脂組成物は、一つ又はそれ以上のポリベンゾオキサゾール前駆体を約１０重量％〜５０重量％含む。好ましくは、約２０重量％〜４５重量％、最も好ましくは約２５重量％〜４０重量％のポリベンゾオキサゾール前駆体が、組成物中に存在する。
【００１７】
本発明の感光性樹脂組成物の感光剤は、例えば、ジアゾキノン化合物(Ｅ)、ジヒドロピリジン化合物(Ｆ)又はそれらの混合物であることができる。適切なジアゾキノン化合物(Ｆ)は、以下の構造：
【００１８】
【化１６】

【００１９】
【化１７】

【００２０】
【化１８】

（式中、Ｄは、独立してＨ又は以下の部分
【化１９】

の一つであることができるが、但し、各化合物において少なくとも１つのＤは、Ｈではない）の一つであることができるが、それらに限定されない。
【００２１】
ジヒドロピリジン(Ｆ)は、例えば、以下の構造
【化２０】

〔式中、Ｒ³基は、同じか又は異なり、Ｈ、ＯＨ、ＣＯＯ−(ＣＨ₂)_n−ＣＨ₃、(ＣＨ₂)_n−ＣＨ₃、Ｏ−(ＣＨ₂)_n−ＣＨ₃、ＣＯ−(ＣＨ₂)_n−ＣＨ₃、(ＣＦ₂)−ＣＦ₃、Ｃ₆Ｈ₅、ＣＯＯＨ、(ＣＨ₂)_n−Ｏ−(ＣＨ₂)_m−ＣＨ₃、(ＣＨ₂)_n−ＯＨ、ＣＨ₂＝ＣＨ−(ＣＨ₂)_p−ＣＯ−ＣＨ₂、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ又はＩであり；
ｍ＝０〜１０、ｎ＝０〜１０及びｐ＝０〜４；
Ｒ⁴は、Ｈ、Ｃ₁−Ｃ₇アルキル、シクロアルキル又はフェニル及びモノ置換フェニルであり；
【００２２】
Ｒ⁵は、
【化２１】

（式中、Ｒ⁶は、Ｒ³と同様に定義され、そしてＮＯ₂基は、ジヒドロピリジン環に関してオルト位にある）である〕
を有する化合物であることができる。
【００２３】
例えば、ジヒドロピリジンは、
【化２２】

〔式中、Ｙは、−ＯＲ²（ここで、Ｒ²は、一価の置換された又は非置換の芳香族基又は脂肪族基、ＣＮ、Ｃｌ、Ｂｒ又はＩである）である〕であることができる。
【００２４】
ポリベンゾオキサゾール前駆体（Ｄ）は、一つ又はそれ以上のジアゾキノン化合物（Ｅ）、一つ又はそれ以上のジヒドロピリジン(Ｆ)又はそれらの混合物を用いて処方することができる。この組成物中に用いられるジアゾキノン化合物（Ｅ）は、組成物の総重量の約１重量％〜２０重量％、好ましくは約２重量％〜１０重量％、そして最も好ましくは約３重量％〜８重量％である。この組成物に用いられるジヒドロピリジン化合物(Ｆ)の量は、組成物の総重量の約１重量％〜２０重量％、好ましくは約２重量％〜１０重量％、そして最も好ましくは約３重量％〜８重量％である。ジアゾキノン化合物(Ｅ)及びジヒドロピリジン化合物(Ｆ)の両方を用いる場合、この組成物中の(Ｅ)＋(Ｆ)の量は、組成物の総重量の約１重量％〜２０重量％、好ましくは約２重量％〜１０重量％、そして最も好ましくは約３重量％〜８重量％である。
【００２５】
本発明のポジ型光活性樹脂は、溶媒中に溶解された溶液で使用される。適切な溶媒には、Ｎ−メチルピロリドン（ＮＭＰ）、γ−ブチロラクトン（ＧＢＬ）、Ｎ,Ｎ−ジメチルアセトアミド（ＤＭＡｃ）、ジメチル−２−ピペリドン、Ｎ,Ｎ−ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）及びそれらの混合物といったような有機溶媒が含まれるが、これらに限定されない。好ましい溶媒は、γ−ブチロラクトン及びＮ−メチルピロリドンであり、最も好ましいのはγ−ブチロラクトンである。
【００２６】
本発明では、さらに添加剤を含むことができる。適切な添加剤は、例えば接着促進剤、例えばアミノシラン、均展剤、それらの混合物等である。
【００２７】
さらに、本発明は、レリーフパターンの形成方法を包含する。その方法は、
(ａ) 適切な基板上に、シランジオール、構造（Ｄ）を有する一つ又はそれ以上のポリベンゾオキサゾール前駆体、感光剤及び溶媒を含むポジ型感光性組成物をコートし、これによってコートされた基板を形成する工程；
(ｂ) このコートされた基板を化学放射線に露光する工程；
(ｃ) このコートされた基板を高められた温度で露光後ベークする工程；
(ｄ) このコートされた基板を水性現像剤で現像して現像された基板を形成する工程；
(ｅ) この現像された基板をすすぐ工程；及び
(ｆ) このすすいだ基板を高められた温度でベークし、これよりレリーフパターンを硬化させる工程
からなる。
【００２８】
本発明のポジ型光活性組成物は、適切な基板（例えばシリコンウェハー、セラミック基板等）の上にコートされる。コーティング方法には、スプレー塗装、スピンコーティング、オフセット印刷、ローラー塗り、スクリーン印刷、押出しコーティング、メニスカスコーティング、カーテンコーティング及び浸し塗りが含まれるが、これらに限定されない。得られた被膜は、方法によっては、残留溶媒を蒸発させるため、場合により約７０〜１２０℃の高められた温度で数分から３０分の間プレベークすることができる。その後、得られた乾燥被膜を、マスクを通して好ましいパターンで化学線に露光させる。Ｘ線、電子ビーム、紫外線、可視光、等を、化学線として使用することができる。最も好ましい放射線は、４３６nm（ｇ線）及び３６５nm（ｉ線）の波長を有するものである。
【００２９】
化学放射線に露光した後、コートされた基板を、約７０℃〜１２０℃の温度に加熱することが好都合である。コーｔ−された基板を、この温度で、短時間、典型的には数秒から数分間加熱する。このプロセス段階を、当分野では、一般に露光後ベークと称する。
【００３０】
水性現像剤を用いて被膜を現像すると、レリーフパターンが得られる。水性現像剤には、例えばアルカリ、無機アルカリの溶液（例えば水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、アンモニア水）、第一級アミン（例えばエチルアミン、ｎ−プロピルアミン）、第二級アミン（例えばジエチルアミン、ジ−ｎ−プロピルアミン）、第三級アミン（例えばトリエチルアミン）、アルコールアミン（例えばトリエタノールアミン）、第四級アンモニウム塩（例えばテトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド）、及びそれらの混合物が含まれる。最も好ましい現像剤は、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド（ＴＭＡＨ）を含むものである。適当な量の界面活性剤を現像剤に加えることができる。現像は、浸漬、スプレー、パドリング又は他の同様の現像方法によって実施することができる。
【００３１】
次に、脱イオン水を用いてレリーフパターンをすすぐ。次に、レリーフパターンを硬化することによってオキサゾール環を形成させて高耐熱性ポリマーの最終パターンを得る。硬化は、現像された基板をポリマーのガラス転移温度Ｔｇ又はそれより上でベークして実施され、高耐熱性の最終パターンを形成するオキサゾール環が得られる。
【００３２】
本発明を説明するために、以下の実施例を提供する。本発明が記載された実施例に限定されないことは理解すべきである。
【００３３】
合成実施例
機械撹拌機、窒素引入口及び滴下漏斗を備えた２Ｌの三つ口丸底フラスコに、ヘキサフルオロ−２,２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）プロパン１５５.９ｇ（４２６.０mmol）、ピリジン６４.３ｇ（７９４.９mmol）及びＮ−メチルピロリドン（ＮＭＰ）６３７.５ｇを加えた。全ての固形物が溶解するまで、溶液を室温で撹拌し、次に氷水浴中、０〜５℃で冷やした。この溶液に、ＮＭＰ４２７.５ｇ中に溶解したイソフタリルクロリド３９.３ｇ（１９４mmol）、及び１,４−オキシジベンゾイルクロリド５６.９ｇ（１９４mmol）を滴加した。添加を完了した後、得られた混合物を室温で１８時間撹拌した。激しく撹拌された脱イオン水１０リットル中で、粘性溶液を沈殿させた。ポリマーを濾過により集め、脱イオン水及び水／メタノール（５０／５０）混合物で洗浄した。ポリマーを真空条件下１５０℃で２４時間乾燥した。
収率は、ほぼ定量的であり、ポリマーの固有粘度は、２５℃、０.５ｇ／ｄｌの濃度で、ＮＭＰ中で測定して０.２４dl／ｇであった。
【００３４】
実施例１
以下の組成の感光性処方物を調製した。合成実施例ＡのＰＢＯ前駆体１００重量部、光活性化合物又はＰＡＣ２５部、接着促進剤０.７部、及びジフェニルシランジオール５部をＧＢＬ溶媒２３３部に溶解して感光性樹脂組成物を得た。次に、この組成物をシリコンウェハー上へスピンコーティングし、１２０℃で３分間ホットプレート上でベークし、厚さ約１０μｍの被膜を得た。この被膜をｉ線ステッパー上で露光し、次に０.２６２Ｎの水性ＴＭＡＨ溶液を用いて７０秒間現像し、続いて脱イオン水ですすいでレリーフパターンを得た。清浄化のための露光エネルギーは、８００mJ／cm²であり、暗部、すなわち未露光の膜厚保持率８８.５％であった。暗部被膜の溶解速度値Ｒ_minは、０.９８μｍ／分であった。現像の際に被膜の割れ、剥離又はスキンニングは、観察されなかった。
【００３５】
実施例２
以下の組成の感光性処方物を調製した。合成実施例ＡのＰＢＯ前駆体１００重量部、ＰＡＣ２５部、接着促進剤０.７部、及びジフェニルシランジオール５部をＧＢＬ溶媒２３３部に溶解して感光性樹脂組成物を得た。次に、組成物をシリコンウェハー上へスピンコーティングし、ホットプレート上、１２０℃で３分間ベークして厚さ約９.９μｍの被膜を得た。この被膜をｉ線ステッパー上で露光してから、０.２８Ｎの水性ＴＭＡＨ溶液を用いて９０秒間現像し、その後、脱イオン水ですすいでレリーフパターンを得た。清浄化のための露光エネルギーは、５８０mJ／cm²であり、暗部被膜の厚さ保持率８０.７％、そしてＲ_min値１.２７μｍ／分であった。現像の際に、被膜の割れ、剥離又はスキンニングは、観察されなかった。
【００３６】
実施例３
以下の組成の感光性処方物を調製した。合成実施例ＡのＰＢＯ前駆体１００重量部、ＰＡＣ２５部、接着促進剤０.７部、及びジフェニルシランジオール５部をＧＢＬ溶媒２３３部に溶解して感光性樹脂組成物を得た。次に、この組成物をシリコンウェハー上へスピンコーティングし、ホットプレート上１２０℃で３分間ベークして厚さ約１２.５μｍの被膜を得た。この被膜をｉ線ステッパー上で露光し、次に０.３３Ｎの水性ＴＭＡＨ溶液を用いて１２０秒間現像し、続いて脱イオン水中ですすいでレリーフパターンを得た。清浄化のための露光エネルギーは、３８０mJ／cm²であり、暗部膜厚保持率５６.５％、そしてＲ_min値２.７２μｍ／分であった。現像の際に被膜の割れ、剥離又はスキンニングは、観察されなかった。
【００３７】
比較例１
以下の組成の感光性処方物を調製した。合成実施例ＡのＰＢＯ前駆体１００重量部、ＰＡＣ２５部、及び接着促進剤０.７部をＧＢＬ溶媒２３３部に溶解して感光性樹脂組成物を得た。次に、この組成物をシリコンウェハー上へスピンコーティングし、ホットプレート上１２０℃で３分間ベークし、約９.６μｍの厚さを有する被膜を得た。この被膜をｉ線ステッパー上で露光し、次に０.２６２Ｎの水性ＴＭＡＨ溶液を用いて７０秒間現像し、続いて脱イオン水ですすいでレリーフパターンを得た。清浄化のための露光エネルギーは、５２０mJ／cm²であり、暗部膜厚保持率７９.２％、そしてＲ_min値１.７１μｍ／分であった。割れ、剥離又は被膜のスキンニングは、観察されなかったが、被膜は、実施例１で観察された値よりも４３％速い暗部被膜の溶解速度を示した。
【００３８】
比較例２
以下の組成の感光性処方物を調製した。合成実施例ＡからのＰＢＯ前駆体１００重量部、ＰＡＣ２５部、及び接着促進剤０.７部を、ＧＢＬ溶媒２３３部に溶解して感光性樹脂組成物を得た。
次に、この組成物をシリコンウェハー上へスピンコーティングし、ホットプレート上１２０℃で３分間ベークし、約９.７μｍの厚さの被膜を得た。この被膜をｉ線ステッパー上で露光し、次に０.２８Ｎの水性ＴＭＡＨ溶液を用いて９０秒間現像し、続いて脱イオン水ですすいでレリーフパターンを得た。清浄化のための露光エネルギーは、３００mJ／cm²であり、暗部膜厚保持率６７％、そしてＲ_min値２.１μｍ／分であった。割れ、剥離又は被膜のスキンニングは、観察されなかったが、被膜は、実施例２で観察された値より６７％速い暗部被膜溶解速度を示した。
【００３９】
比較例３
以下の組成の感光性処方物を調製した。合成実施例ＡからのＰＢＯ前駆体１００重量部、ＰＡＣ２５部、及び接着促進剤０.７部を、ＧＢＬ溶媒２３３部に溶解して感光性樹脂組成物を得た。次に、この組成物をシリコンウェハー上へスピンコーティングし、ホットプレート上１２０℃で３分間ベークして約１２.１μｍの厚さの被膜を得た。この被膜をｉ線ステッパー上で露光し、次に０.３３Ｎの水性ＴＭＡＨ溶液を用いて１２０秒間現像し、続いて脱イオン水ですすいで、レリーフパターンを得た。現像の際に、被膜に割れと剥離が観察された。この組成物における溶解抑制度は、実施例３（これは、同様の現像プロセスを使用した）で観察された溶解抑制度ほど高くなかった。さらに、実施例３とは異なり、この組成物からの被膜は、現像プロセスの際に、ＴＭＡＨ溶液の作用によって生じる過度の膨潤及び歪力を示し、現像中、被膜に割れ及び剥離が生じた。
【００４０】
実施例４
以下の組成の感光性処方物を調製した。合成実施例Ａの方法に従って合成された０.２３dL／ｇの固有粘度を有するＰＢＯ前駆体１００重量部、ＰＡＣ２０部、接着促進剤１部、及びジフェニルシランジオール１０部をＧＢＬ溶媒２３３部に溶解して感光性樹脂組成物を得た。次に、この組成物をシリコンウェハー上へスピンコーティングし、ホットプレート上１２０℃で３分間ベークして約１０.５μｍの厚さの被膜を得た。この被膜をｉ線ステッパー上で露光し、次に０.２６２Ｎの水性ＴＭＡＨ溶液を用いて９０秒間現像し、続いて脱イオン水ですすぎ、レリーフパターンを得た。５９０mJ／cm²の照射線量、暗部被膜保持率８４％及びＲ_min値１.１２μｍ／分で、３μｍのパターン解像度が得られた。被膜の割れ、剥離又はスキンニングは、観察されなかった。
【００４１】
実施例５
以下の組成の感光性処方物を調製した。合成実施例Ａの方法に従って合成された０.２３dl／ｇの固有粘度を有するＰＢＯ前駆体１００重量部、接着促進剤１部及びジフェニルシランジオール１０部をＧＢＬ溶媒２３３部に溶解して感光性樹脂組成物を得た。次に、この組成物をシリコンウェハー上へスピンコーティングし、ホットプレート上１２０℃で３分間ベークし、約１０.６μｍの厚さの被膜を得た。この被膜をｉ線ステッパー上で露光し、次に０.２６２Ｎ水性ＴＭＡＨ溶液を用いて１２０秒間現像し、続いて脱イオン水ですすいでレリーフパターンを得た。４５０mJ／cm²の露光エネルギーを使用して、暗部被膜保持率７５.８％及びＲ_min値１.２８μｍ／分で、３μｍのパターン解像度が得られた。被膜の割れ、剥離又はスキンニングは、観察されなかった。
【００４２】
比較例４
以下の組成の感光性の処方物を調製した。合成実施例Ａの方法に従って合成された０.２３dl／ｇの固有粘度を有するＰＢＯ前駆体１００重量部、ＰＡＣ２０部、及び接着促進剤１部を、ＧＢＬ溶媒２３３部に溶解して感光性樹脂組成物を得た。次に、組成物をシリコンウェハー上へスピンコーティングし、ホットプレート上１２０℃で３分間ベークし、約１０.４μｍの厚さの被膜を得た。この被膜をｉ線ステッパーに露光し、次に０.２６２Ｎの水性ＴＭＡＨ溶液を用いて４０秒間現像し、続いて脱イオン水ですすいでレリーフパターンを得た。６７０mJ／cm²の照射線量を使用して、暗部被膜保持率８１％及びＲ_min値２.９６μｍ／分で３μｍのパターン解像度が得られた。被膜の割れ、剥離又はスキンニングは、観察されなかった。
【００４３】
比較例５
以下の組成の感光性処方物を調製した。合成実施例Ａの方法に従って合成された０.２３dl／ｇの固有粘度を有するＰＢＯ前駆体１００重量部、ＰＡＣ２０部、及び接着促進剤１部をＧＢＬ溶媒２３３部に溶解して感光性樹脂組成物を得た。次に、これをシリコンウェハー上へスピンコーティングし、ホットプレート上１２０℃で３分間ベークして約１０.４μｍの厚さの被膜を得た。この被膜をｉ線ステッパー上で露光し、次に０.２６２Ｎの水性ＴＭＡＨ溶液を用いて５５秒間現像し、続いて脱イオン水ですすいでレリーフパターンを得た。４４０mJ／cm²の照射線量、暗部被膜保持率７３％及びＲ_min値３.０５μｍ／分で、３μｍの解像度が得られた。実施例４及び５に記載されたリトグラフの結果と比較例４及び５に記載されたものと比較は、感光性組成物中にシランジオールが含まれると、現像プロセスにおける寛容度が改善されることを示している。
【００４４】
本発明を、特にその好ましい形態に関して記載した。本発明の特許請求の範囲に記載した本発明の趣旨および範囲から逸脱することなく、変更及び改良をその中で実施することができることは当業者に明白である。

Claims

(ａ) シランジオール、
(ｂ) 構造

（式中、Ａｒ₁は、四価の芳香族基、脂肪族基、複素環基、又はそれらの混合した基であり；Ａｒ₂は、場合によりケイ素を含みうる二価の芳香族、複素環、脂環式又は脂肪族基であり；Ａｒ₃は、二価の芳香族基、脂肪族基、複素環基、又はそれらの混合した基であり；ｘは１０〜１０００であり、そしてｙは０〜９００である）を有する一つ又はそれ以上のポリベンゾオキサゾール前駆体、
(ｃ) 感光剤、及び
(ｄ) 溶媒
を含むポジ感光性樹脂組成物。
シランジオールが、組成物の総重量の０.１重量％〜１０.０重量％である請求項１記載の組成物。
シランジオールが、ジアリールシランジオール、ジアルキルシランジオール及びそれらの混合物からなる群から選ばれる請求項１記載の組成物。
シランジオールが、ジフェニルシランジオールである請求項３記載の組成物。
ポリベンゾオキサゾール前駆体が、２５重量％〜４０重量％である請求項１記載の組成物。
ポリベンゾオキサゾール前駆体が、１０〜１０００の重合度を有する請求項１記載の組成物。
Ａｒ₁が、ヘキサフルオロプロパン−２,２−ビフェニル基であり、そしてＡｒ₃が、フタロイル又は１,４−オキシジベンゾイル及びそれらの混合物からなる群から選ばれる基である請求項１記載の組成物。
感光剤が、組成物の総重量の２重量％〜１０重量％である請求項１記載の組成物。
感光剤が、ジアゾキノン化合物、ジヒドロピリジン化合物、及びそれらの混合物からなる群から選ばれる請求項１記載の組成物。
感光剤が、

（式中、Ｄは、独立してＨ又は以下の基

の一つであることができるが、但し、各化合物において、少なくとも１つのＤは、Ｈでない）
からなる群から選ばれた構造を有するジアゾキノン化合物である請求項９記載の組成物。
感光剤が、構造：

〔式中、Ｒ³基は、同じか又は異なり、Ｈ、ＯＨ、ＣＯＯ−(ＣＨ₂)_n−ＣＨ₃、（ＣＨ₂）_n−ＣＨ₃、Ｏ−(ＣＨ₂)_n−ＣＨ₃、ＣＯ−(ＣＨ₂)_n−ＣＨ₃、（ＣＦ₂）_n−ＣＦ₃、Ｃ₆Ｈ₅、ＣＯＯＨ、（ＣＨ₂）_n−Ｏ−(ＣＨ₂)_m−ＣＨ₃、（ＣＨ₂）_n−ＯＨ、（ＣＨ＝ＣＨ）_p−ＣＯ−ＣＨ₃、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ又はＩであり；
ｍ＝０〜１０、ｎ＝０〜１０、そしてｐ＝１〜４であり；
Ｒ⁴は、Ｈ、Ｃ₁−Ｃ₇アルキル、シクロアルキル、又はフェニル及びモノ置換されたフェニルであり；
Ｒ⁵は、

（式中、Ｒ⁶は、Ｒ³と同様に定義され、そしてＮＯ₂基は、ジヒドロピリジン環に関してオルト位にある）である〕
を有するジヒドロピリジン化合物である請求項９記載の組成物。
感光剤が、

〔式中、Ｙは、−ＯＲ²（ここで、Ｒ²は、一価の置換された又は非置換の芳香族又は脂肪族基である）、ＣＮ、Ｃｌ、Ｂｒ又はＩである〕
の群から選ばれた構造を有するジヒドロピリジン化合物である請求項１１記載の組成物。
溶媒が、Ｎ−メチルピロリドン、γ−ブチロラクトン、Ｎ,Ｎ−ジメチルアセトアミド、ジメチル−２−ピペリドン、Ｎ,Ｎ−ジメチルホルムアミド及びそれらの混合物からなる群から選ばれる請求項１記載の組成物。
溶媒が、γ−ブチロラクトンである請求項１３記載の組成物。
さらに、接着促進剤、均展剤及びそれらの混合物からなる群から選ばれる一つ又はそれ以上の添加剤を含む請求項１記載の組成物。
シランジオール０.１重量％〜１０.０重量％；
構造：

（式中、Ａｒ₁は、四価の芳香族基、脂肪族基、複素環基、又はそれらの混合した基であり；Ａｒ₂は、ケイ素を含みうる又は含まない二価の芳香族、複素環、脂環式又は脂肪族基であり；Ａｒ₃は、二価の芳香族基、脂肪族基、複素環基又はそれらの混合した基であり；そして、ｘは１０〜１０００であり、ｙは０〜９００である）
を有する一つ又はそれ以上のポリベンゾオキサゾール前駆体の１０重量％〜５０重量％；
感光剤１重量％〜２０重量％；及び
溶媒
を含むポジ感光性樹脂組成物。
ａ) シランジオール；
構造：

（式中、Ａｒ₁は、四価の芳香族基、複素環基、又はそれらの混合した基であり；Ａｒ₂は、ケイ素を含みうる又は含まない二価の芳香族、複素環、脂環式又は脂肪族基であり；Ａｒ₃は、二価の芳香族基、複素環基、又はそれらの混合した基であり；ｘは、１０〜１０００であり；ｙは、０〜９００であり；そして、ｂは０.１０〜３５０である）を有する一つ又はそれ以上のポリベンゾオキサゾール前駆体；
感光剤；及び
溶媒
からなるポジ感光性樹脂組成物を基板上にコートし、それによってコートされた基板を形成する工程；
ｂ) 前記コートされた基板を化学放射線に露光する工程；
ｃ) 前記コートされた基板を高められた温度で露光後ベークする工程；
ｄ) 前記コートされた基板を水性現像剤で現像することにより、現像された基板を形成する工程；
ｅ) 現像された基板をすすぐ工程；及び
ｆ) すすいだ基板を高められた温度で硬化させ、これによりレリーフパターンを形成する工程：
からなるレリーフパターンの形成方法。
コートされた基板が形成された後、そしてコートされた基板を露光する前に、コートされた基板をプレベークする工程をさらに含む請求項１７記載の方法。
化学線が、Ｘ線、電子ビーム線、紫外線、及び可視光線からなる群から選ばれる請求項１７記載の方法。
化学線が４３６nm及び３６５nmの波長を有する請求項１７記載の方法。
水性現像剤が、アルカリ、第一級アミン、第二級アミン、第三級ア
ミン、アルコールアミン、第四級アンモニウム塩、及びそれらの混合物からなる群から選ばれる溶液である請求項１７記載の方法。
シランジオールが、ジフェニルシランジオールである請求項１７記載の方法。