JP4483757B2 - 有機ｅｌ装置及び光学装置 - Google Patents

Description

本発明は、例えば、インクジェット法を用いて製造される有機ＥＬ表示装置等の有機ＥＬ装置及びカラーフィルタ等の光学装置の技術分野に関する。

この種の有機ＥＬ装置では、発光層である有機ＥＬ層を構成する材料として低分子の発光材料又は高分子の発光材料が用いられる。低分子の発光材料によって構成される発光層は、真空蒸着法に代表される乾式法によって形成されている。このため、低分子材料によって構成された発光層を大型基板上に均一な膜厚で形成することは困難であると考えられている。高分子の発光材料によって構成される発光層は、一般的に高分子材料で発光材料を溶媒に分散及び溶解させることによって得られる塗布液をスピンコート法等の塗布方法を用いて基板上に塗布することによって形成される。したがって、各色に発光する発光材料を含む塗布液を塗り分けることによってフルカラー表示可能なフルカラーディスプレイを製造することは困難であると考えられてきた。

このような実情の下、特許文献１は、赤色及び緑色の有機ＥＬ材料をインクジェット法を用いて塗り分けた後、赤色及び緑色に発光する有機層上及び所定の領域に青色の発光材料を蒸着することによってフルカラー表示を可能とする有機ＥＬ表示装置を提案している。加えて、特許文献１は、大型基板を用いて製造される有機ＥＬ表示装置に特許文献１に開示された有機ＥＬ表示装置を応用できる可能性があることを示唆している。

また、インクジェット法を用いて発光層を形成する場合、発光層を互いに隔てるための隔壁によって規定される領域に有機ＥＬ材料を含む液滴を塗布し、その後液適を乾燥させることによって、平坦な発光層を形成することになる。この際、液滴から溶媒が気化する際の液滴の挙動は、液滴に含まれる有機ＥＬ材料及び溶媒の種類、並びに乾燥条件によって異なるため、発光層の輝度を画素内及び基板全体で均一にするためには液滴を乾燥して得られる発光層の平坦性が損なわれないように留意しなければならない。このような留意点を考慮したうえで、特許文献２は、急激な乾燥を抑制するために本来画素領域として機能しない領域に液滴を塗布する技術を開示している。

また、特許文献３は、発光層が形成される領域、即ち有機ＥＬ材料を含む液滴が塗布される領域を規定する隔壁の表面に粗面処理を施すことにより、隔壁の表面における液滴の濡れ性を改善し、乾燥工程を経て形成される発光層を平坦にする技術を開示している。

特開平１０−１５３９６７号公報 特開２００２−２５２０８３号公報 特開２００２−１４８４２９号公報

この種の有機ＥＬ装置では、更なる開口率の向上に対する要請の下、有機ＥＬ材料を塗布してなる発光部の平面形状は、円形より非円形であることが望ましい。より具体的には、有機ＥＬ装置の開口率を更に向上させるためには、一方の方向に沿って延びる非等方的な俵状の平面形状を有する発光部をアレイ状に配列するほうが、平面形状が円形の発光部をアレイ状に配列するより有機ＥＬ装置全体の開口率を高めることができる。

しかしながら、このような非等方的な平面形状を有する発光部を形成するために、隔壁に囲まれた俵状の領域に液滴を塗布した場合、塗布された液滴に隔壁の側壁面から作用する力は非等方的であり、液滴を乾燥させる際に液滴に接する各側壁面から液滴に加わる力は各方向について不均一となり、平坦な発光層を形成し難いという技術的問題点がある。

このような技術的問題点を考慮した場合、特許文献１及び２に開示された技術では、十分均一な膜厚を有する発光層を形成することは困難である。また、特許文献３に開示された技術によれば、隔壁の側壁面に粗面処理を施すだけでは、液滴が塗布される非等方的な領域を規定する側壁面から液滴に作用する力を各方向間で調整し、液滴の表面を平坦にすることは困難であり、乾燥工程を経て平坦な発光層を形成することは困難である。加えて、大型基板上における隔壁によって規定された複数の画素の夫々にインクジェット法を用いて発光層を形成した場合、基板の端に近い領域及び中央に近い領域の夫々の間の位置の相違によりこれら領域の夫々に塗布された液滴を均一に乾燥させ、平坦な発光層を形成することは製造プロセス上の困難を伴う問題点がある。

よって、本発明は上記問題点等に鑑みてなされたものであり、例えば、俵状等の非等方的な領域にインクジェット法を用いて有機ＥＬ材料を含む塗布液を塗布した後、乾燥工程を経て形成される平坦な発光層を有する有機ＥＬ装置、及びこのような有機ＥＬ装置と同様にインクジェット法を用いて非等方的な領域に光学材料を含む塗布液を塗布してなるカラーフィルタ等の光学装置を提供することを課題とする。

本発明の第１の発明に係る有機ＥＬ装置は上記課題を解決するために、基板と、前記基板上に設けられており、平面的にみて非等方的な形状を有する複数の凹部を規定する隔壁部と、有機ＥＬ材料を含む塗布液を前記複数の凹部の夫々に個別に塗布した後、前記凹部に塗布された塗布液を乾燥させることによって形成された発光部と、前記隔壁部に形成されており、前記凹部に塗布された塗布液の一部を前記発光部の表面が平坦となるように前記凹部から逃す排液手段とを備える。

本発明の第１の発明に係る有機ＥＬ装置によれば、隔壁部は、例えば各画素に個別に設けられる複数の凹部の夫々を規定する。より具体的には、隔壁部は、複数の凹部に有機ＥＬ材料を含む塗布液を塗布することによって形成される発光層を互いに電気的に分離する。このような発光部は互いに独立して発光でき、例えば複数の凹部の夫々に赤色、緑色及び青色の夫々の色に発光する有機ＥＬ材料を含む塗布液を塗り分けることにより発光部を形成することにより、フルカラーの画像が表示される。

発光部は、例えばインクジェット法等の塗布法を用いて塗布液を複数の凹部の夫々に塗り分けた後、各凹部に塗布された塗布液を乾燥させることによって形成される。複数の凹部は、有機ＥＬ装置の開口率を高めるために平面的にみて非等方的な平面形状を有しており、例えば基板上の画素領域にアレイ状に配列されるように隔壁部によって規定された俵状の平面形状を有する。したがって、各凹部に形成された発光部によれば、円形等の等方的な平面形状を有する発光部が配列されてなる有機ＥＬ装置に比べて開口率を高めることが可能である。尚、本明細書では、発光部が形成された各画素或いは各画素部において、発光可能な領域を「開口領域」と称すると共に開口領域以外の領域を「非開口領域」と称し、更には、各画素の全領域（即ち、開口領域及びそれ以外の非開口領域）に占める開口領域の面積割合を「開口率」と称して説明する。

ここで、凹部に塗布された塗布液は、非等方的な各凹部の平面形状に起因して、凹部に塗布液が塗布された状態で或いは凹部に塗布された塗布液を乾燥させる際に、これら凹部を規定する隔壁部の側壁面から受ける力も非等方的となり、その表面はこれら非等方的な力により、凹部の中心からみた各方向に沿って不均一な高さを有する面となる。凹部に塗布された塗布液をこのままの状態で乾燥させた場合、発光部の表面を平坦にすることは困難であり、同一の凹部に形成された発光部の各部分における膜厚もばらつくことになる。このような発光部によれば、同一の発光部に流れる駆動電流が膜厚ばらつきに応じて発光部内の各部で互いに相違することになり、同一の発光部内の各部において輝度ばらつきが生じる。

そこで、本発明の第１の発明に係る有機ＥＬ装置によれば、塗布液を乾燥させる前に、塗布液の一部を排液手段を介して凹部から逃がすことにより、凹部に塗布された塗布液の液面が平坦になるように、隔壁部から塗布液に力が加わる。このようにして平坦化された塗布液の表面から、例えば塗布液に含まれる溶媒を均一に気化させることによって最終的に形成される発光部の表面を平坦にできる。

よって、本発明の第１の発明に係る有機ＥＬ装置によれば、例えば赤色、緑色及び青色の夫々の色に発光する有機ＥＬ材料を含む塗布液をインクジェット法を用いて各凹部に塗り分けた場合でも、発光部の表面を平坦にすることができ、発光部内の膜厚ばらつきに起因する輝度のばらつきを低減でき、輝度むらが低減された高品位の画像を表示できる。

本発明の第１の発明に係る有機ＥＬ装置の一の態様では、前記排液手段は、前記隔壁部の側壁面から前記塗布液に接するように設けられていてもよい。

この態様によれば、前記隔壁部の側壁面から前記塗布液に接する排液手段から塗布液に直接力が加わる。より具体的には、排液手段から直接塗布液に力が加わることにより凹部の中心からみた各方向に沿って塗布液に加わる力が調整され、凹部内で塗布液の表面を平坦にできる。

本発明の第１の発明に係る有機ＥＬ装置の一の態様では、前記側壁面のうち前記凹部の幅方向に沿って延びる第１側壁面の面積は、前記側壁面のうち前記凹部の長さ方向に沿って延びる第２側壁面の面積に比べて小さく、前記排液手段は、前記第１側壁面から前記塗布液に接するように設けられていてもよい。

この態様によれば、例えば凹部の平面形状が俵状である場合、第１側壁面は、側壁面のうち長さ方向に対して相対的に短い幅方向に沿って延びる。凹部の深さが凹部内で一定である場合、第１側壁面の面積は長さ方向に延びる第２側壁面に比べて相対的に小さくなる。このような第１側壁面及び第２側壁面から塗布液に加わる力は、この塗布液が接する第１側壁面及び第２側壁面の面積に応じて幅方向及び長さ方向に沿って互いに異なる。より具体的には、塗布液が第１側壁面に接する接触面積は、塗布液が第２側壁面に接する接触面積に比べて相対的に小さくなり、第１側壁面から長さ方向に沿って塗布液が受ける力は、第２側壁面から幅方向に沿って塗布液が受ける力に比べて小さくなる。

そこで、この態様では、第１側壁面に接するように設けられた排液手段が、凹部に塗布された塗布液の一部を第１側壁面から直接凹部の外に逃がし、塗布液の表面が平坦になるように第１側壁面及び第２側壁面から塗布液に加わる力が調整される。これにより、凹部に塗布された塗布液をこのまま乾燥させることによって平坦な発光部を形成できる。

この態様では、前記排液手段は、前記第１側壁面に開口するように前記長さ方向に沿って前記隔壁部内に延びる孔部であり、前記塗布液は、前記孔部を介して前記凹部から逃がされてもよい。

この態様によれば、第１側壁面から孔部を介して塗布液の一部が逃がされることによって第１側壁面及び第２側壁面から塗布液に加わる力が調整され、塗布液の表面が平坦となる。孔部は、長さ方向に沿って隔壁部内に延びている。塗布液の一部は、毛細管現象によって孔部から凹部の外に逃がされる。この際、塗布液の一部が逃がされたことにより、凹部に残留する塗布液に長さ方向に沿って力が加わり、例えば凹部に塗布された塗布液の表面が第１側壁面の近傍で第１側壁面に向かって落ち込むことを低減できる。加えて、塗布液が第１側壁面から受ける力を増大させることにより、塗布液が第２側壁面から受ける力を相対的に小さくでき、塗布液の表面のうち第２側壁面の近傍において第２側壁面に向かって盛り上がる部分を平坦に近づけることが可能である。また、孔部から逃がされる塗布液の量は、塗布液の組成及び塗布液を乾燥させる塗布液の挙動を観察したうえで、孔部のサイズ、より具体的には第１側壁面から凹部に臨む開口部のサイズ、及び長さ方向に沿って延びる孔部の長さを実験的、理論的、シミュレーション的に設定すればよい。

本発明の第１の発明に係る有機ＥＬ装置の他の態様では、前記排液手段は、前記第１側壁面及び前記隔壁部上に開口するように前記長さ方向に沿って延びる溝部であり、前記塗布液は、前記溝部を介して前記凹部から逃がされてもよい。

この態様によれば、第１側壁面及び第２側壁面から塗布力を均一にするように第１側壁面から孔部を介して塗布液の一部が逃がされる。溝部は、長さ方向に沿って延びるように隔壁部に設けられている。塗布液の一部は、毛細管現象によって溝部から凹部の外に逃がされる。これにより、例えば凹部に塗布された塗布液の表面が第１側壁面の近傍で第１側壁面に向かって落ち込むことを低減できる。加えて、塗布液が第１側壁面から受ける力を増大させることにより、塗布液が第２側壁面から受ける力を相対的に小さくでき、塗布液の表面が第２側壁面の近傍において第２側壁面に向かって盛り上がる部分を平坦に近づけることが可能である。また、溝部から逃がされる塗布液の量は、塗布液の組成及び塗布液を乾燥させる塗布液の挙動を観察したうえで、溝部のサイズ、より具体的には第１側壁面から凹部に臨む開口部のサイズ、及び長さ方向に沿って延びる孔部の長さを実験的、理論的、シミュレーション的に設定すればよい。

本発明の第２の発明に係る有機ＥＬ装置は上記課題を解決するために、基板と、前記基板上に設けられており、平面的にみて非等方的な形状を有する複数の凹部を規定する隔壁部と、有機ＥＬ材料を含む塗布液を前記複数の凹部の夫々に個別に塗布した後、前記複数の凹部に塗布された塗布液を乾燥させることによって形成された複数の発光部と、前記基板上における前記複数の凹部の夫々が規定された位置に応じて前記複数の凹部の夫々から互いに異なる量の塗布液を逃がすことによって、前記複数の発光部の夫々の発光面を平坦にする排液手段とを備える。

本発明の第２の発明に係る有機ＥＬ装置によれば、隔壁部は、例えば各画素に個別に設けられる複数の凹部の夫々を規定する。より具体的には、複数の凹部に有機ＥＬ材料を含む塗布液を塗布することによって形成される発光層を互いに電気的に分離する。各発光部を互いに独立して発光させることができ、例えば複数の凹部の夫々に赤色、緑色及び青色の夫々の色に発光する有機ＥＬ材料を含む塗布液を塗り分けることにより、フルカラーの画像が表示される。

発光部は、例えばインクジェット法等の塗布法を用いて塗布液を複数の凹部の夫々に塗り分けた後、各凹部に塗布された塗布液を乾燥させることによって形成される。複数の凹部は、有機ＥＬ装置の開口率を高めるために平面的にみて非等方的な平面形状を有しており、例えば基板上の画素領域にアレイ状に配列されるように隔壁部によって規定された俵状の平面形状を有する。したがって、各凹部に形成された発光部によれば、円形等の等方的な平面形状を有する発光部が配列されてなる有機ＥＬ装置に比べて開口率を高めることが可能である。

ここで、凹部に塗布された塗布液は、非等方的な各凹部の平面形状に起因して、これら凹部を規定する隔壁部の側壁面から受ける力も非等方的となり、その表面はこれら非等方的な力により凹部の中心からみた各方向に沿って不均一な高さを有する面となる。加えて、基板上における複数の凹部の夫々が規定された位置に応じて、これら複数の凹部に塗布された塗布液の乾燥速度に相違が生じる。より具体的には、例えば基板の縁に近い領域に規定された凹部では、塗布液が乾きやすく、基板の中央付近の領域に規定された凹部では塗布液が縁に近い領域の凹部に比べて相対的に乾きにくい。特に、有機ＥＬ装置の大型化の要請に伴い、大型基板上に規定された複数の凹部では、各凹部が設けられた基板上の位置の相違により塗布液の乾燥速度の相違は顕在化する。このような乾燥速度の違いにより、各凹部に形成される発光部の平坦性に相違が生じ、輝度ばらつきが生じる場合がある。

そこで、本発明の第２の発明に係る有機ＥＬ装置によれば、複数の発光部の夫々の発光面を平坦にするように、排液手段を介して基板上における複数の凹部の夫々が規定された位置に応じて複数の凹部の夫々から互いに異なる量の塗布液を逃がす。

これにより、各凹部に塗布された塗布液の表面を平坦にできる。このような塗布液を乾燥させることにより、各発光部の夫々を平坦にでき、且つ各発光部の膜厚が相互にばらつくことを低減することが可能である。より具体的には、大型基板を用いて形成された有機ＥＬ装置であっても、基板の縁に近い領域に形成された発光部と、基板の中央付近の領域に形成された発光部との間で生じる輝度ばらつきを低減でき、高品位の画像を表示できる。

本発明の第２の発明に係る有機ＥＬ装置の一の態様では、前記排液手段は、前記位置に応じて互いに異なるサイズを有するように前記隔壁部に形成された複数の孔部又は溝部であってもよい。

この態様によれば、孔部又は溝部を介した毛細管現象をよって塗布液を凹部から逃がすことが可能である。尚、孔部又は溝部のサイズは、凹部の夫々の位置に応じて実験的、理論的或いはシミュレーション的に設定すればよく、孔部又は溝部のサイズに応じて各凹部から逃がす塗布液の量を設定でき、これに伴い各凹部に塗布された塗布液の表面が平坦となるように隔壁部から塗布液に加わる力が調整される。

本発明の第３の発明に係る光学装置は上記課題を解決するために、基板と、前記基板上に設けられており、平面的にみて非等方的な形状を有する複数の凹部を規定する隔壁部と、光学材料を含む塗布液を前記複数の凹部の夫々に個別に塗布した後、前記凹部に塗布された塗布液を乾燥させることによって形成された光学層と、前記隔壁部に形成されており、前記凹部に塗布された塗布液の一部を前記光学層の表面が平坦となるように前記凹部から逃す排液手段とを備える。

本発明の第３の発明に係る光学装置によれば、本発明の第１の発明に係る有機ＥＬ装置と同様に、平坦な光学層を形成でき、光学層内の膜厚ばらつきに起因する光学特性の低下を抑制できる。

本発明の第４の発明に係る光学装置は上記課題を解決するために、基板と、前記基板上に設けられており、平面的にみて非等方的な形状を有する複数の凹部を規定する隔壁部と、光学材料を含む塗布液を前記複数の凹部の夫々に個別に塗布した後、該複数の凹部に塗布された塗布液を乾燥させることによって形成された複数の光学層と、前記基板上における前記複数の凹部の夫々が規定された位置に応じて前記複数の凹部の夫々から互いに異なる量の塗布液を逃がすことによって、前記複数の光学層の夫々の表面を平坦にする排液手段とを備える。

本発明の第４の発明に係る光学装置によれば、本発明の第２の発明に係る有機ＥＬ装置と同様に、各光学層の夫々を平坦にでき、且つ各光学層の膜厚が相互にばらつくことを低減でき、光学装置全体で均一な光学特性を確保することが可能である。

本発明のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施形態から明らかにされる。

以下図面を参照しながら、本実施形態に係る有機ＥＬ装置及び光学装置を詳細に説明する。

（第１実施形態）
先ず、図１乃至図７を参照しながら第１実施形態に係る有機ＥＬ装置を説明する。図１は、本実施形態の有機ＥＬ装置１０の全体構成を示すブロック図である。

図１において、有機ＥＬ装置１０は、駆動回路内蔵型のアクティブマトリクス駆動方式で駆動される表示装置であり、有機ＥＬ装置１０が有する各画素部７０は有機ＥＬ素子７２を備えている。

有機ＥＬ装置１０の画素領域１１０には、縦横に配線されたデータ線１１４及び走査線１１２が設けられており、それらの交点に対応する各サブ画素部７０Ｒ、７０Ｇ、及び７０Ｂはマトリクス状に配列され、これら３つのサブ画素部を一組として一つの画素部７０が構成されている。サブ画素部７０Ｒ、７０Ｇ及び７０Ｂは、赤色に発光する有機ＥＬ素子７２Ｒ、緑色に発光する有機ＥＬ素子７２Ｇ及び青色に発光する有機ＥＬ素子７２Ｂを夫々有している。更に、画素領域１１０には各データ線１１４に対して配列されたサブ画素部７０Ｒ、７０Ｇ及び７０Ｂに対応する電源供給線１１７が設けられている。

画素領域１１０の周辺に位置する周辺領域には、走査線駆動回路１３０及びデータ線駆動回路１５０が設けられている。走査線駆動回路１３０は複数の走査線１１２に走査信号を順次供給する。データ線駆動回路１５０は、画素領域１１０に配線されたデータ線１１４に画像信号を供給する。尚、走査線駆動回路１３０の動作とデータ線駆動回路１５０の動作とは、同期信号線１６０を介して相互に同期が図られる。電源供給線１１７には、外部回路から画素部を駆動するための画素駆動用電源が供給される。図１中、一つの画素部７０に着目すれば、画素部７０には、有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇお呼び７２Ｂが設けられると共に、例えばＴＦＴを用いて構成されるスイッチング用トランジスタ７６及び駆動用トランジスタ７４、並びに保持容量７８がサブ画素部毎に設けられている。スイッチング用トランジスタ７６のゲート電極には走査線１１２が電気的に接続されており、スイッチング用トランジスタ７６のソース電極にはデータ線１１４が電気的に接続され、スイッチング用トランジスタ７６のドレイン電極には駆動用トランジスタ７４のゲート電極が電気的に接続されている。駆動用トランジスタ７４のドレイン電極には、電源供給線１１７が電気的に接続されており、駆動用トランジスタ７４のソース電極には有機ＥＬ素子７２の陽極が電気的に接続されている。尚、図１に例示した画素回路の構成の他にも、電流プログラム方式の画素回路、電圧プログラム方式の画素回路、電圧比較方式の画素回路、サブフレーム方式の画素回路等の各種方式の画素回路を採用することが可能である。

次に、図２及び図３を参照しながら有機ＥＬ装置１０の具体的な構成を説明する。図２は、有機ＥＬ装置１０の概略構成を示す平面図であり、図３は図２のＩＩＩ−ＩＩＩ´線断面図である。

図２において、有機ＥＬ装置１０は、基板１、画素部７０、本発明の「隔壁部」の一例であるバンク部４７、及び本発明の「排液手段」の一例である孔部９０、有機ＥＬ素子７２を備えている。

画素部７０は、基板１上における画素領域１１０にマトリクス状に配設されている。画素部７０は、図中横方向に沿って配列された３つのサブ画素部７０Ｒ、７０Ｇ及び７０Ｂを一組として構成されており、画素領域１１０の図中縦方向及び横方向の夫々に沿って配列されている。

バンク部４７は、各画素においてこれら有機ＥＬ素子７２が形成される凹部６２を規定しつつ、基板１上における画素領域１１０の全体に延在している。サブ画素部７０Ｒ、７０Ｇ及び７０Ｂの夫々に設けられた有機ＥＬ素子７２Ｒ、７２Ｇ及び７２Ｂは、凹部６２の底部から基板１の上側、即ち図中手前側に臨む。孔部９０は、バンク部４７に設けられており、その開口部は凹部６２に臨む。有機ＥＬ層５０が形成される凹部６２は、最終的に凹部６２の底に形成される有機ＥＬ層５０による開口率を画素領域１１０において高めるために平面的にみて細長い俵状の平面形状を有している。有機ＥＬ素子７２が備える有機ＥＬ層は、不図示の陰極を介して凹部６２の底から基板１上に向かって臨む。尚、孔部９０の構成及び機能については後に詳細に説明する。

図３において、有機ＥＬ装置１０は、基板１、基板１上に形成された有機ＥＬ素子７２、駆動用トランジスタ７４、バンク部４７及び封止部２０を備えている。尚、有機ＥＬ素子７２は、図中下側に光を出射するボトムエミッション型の有機ＥＬ素子であるが、図中上側に光を出射するトップエミッション型の有機ＥＬ素子を備えた有機ＥＬ装置でも本発明の発光装置は適用可能であることは言うまでもない。また、バンク部４７の下側が有機ＥＬ層５０から光が出射されない非開口領域であり、有機ＥＬ層５０の下側が開口領域である。

基板１は、例えば、ガラス基板等で構成されており、有機ＥＬ素子７２が図中下側に出射する光を透過させる。したがって、図１に示す駆動用トランジスタ７４及びスイッチング用トランジスタ７６は、基板１における有機ＥＬ素子７２の下側の領域を避けるように形成されている。基板１は、基板１上に有機ＥＬ素子７２が形成されているだけでなく、図１に示す走査線駆動回路１３０及びデータ線駆動回路１５０の各種回路を備えている。このような回路は、基板１における画素領域１１０の周辺領域に設けられる。

有機ＥＬ素子７２は、本発明の「発光部」の一例である有機ＥＬ層５０、陰極４９、及び陽極３４を備えて構成されている。

有機ＥＬ層５０の夫々は、後述するように発光層を含む複数の有機層を備えており、これら有機層は、複数の有機ＥＬ層５０を互いに隔てるための素子分離部として機能するバンク部４７に囲まれた凹部６２に有機ＥＬ材料を含む塗布液を個別に塗布することによって形成されている。より具体的には、有機ＥＬ層５０は、塗布法の一例であるインクジェット法を用いて各有機ＥＬ層５０を形成するインクを凹部６２に個別に塗布し、その後所定の乾燥条件下で凹部６２に塗布された塗布液を乾燥させることによって形成されている。有機ＥＬ層５０の表面は平坦であり、その駆動時に各有機ＥＬ層５０に均一に駆動電流が流れ、均一な輝度で発光できる。尚、本実施形態では有機ＥＬ素子７２は、陽極３４、有機ＥＬ層５０及び陰極４９からなる３層構造を有しているが、正孔注入／輸送層が陽極３４３及び有機ＥＬ層５０間に形成されていてもよいし、電子注入／輸送層が、陰極４９及び有機ＥＬ層５０間に形成されていてもよい。

バンク部４７は、第１バンク部４７ａ及び第２バンク部４７ｂから構成されており、有機ＥＬ層５０が形成される凹部６２を規定する。第１バンク部４７ａは、ＳｉＯ、ＳｉＯ_２又はＴｉＯ_２等の無機材料で構成される無機材料層であり、例えば、保護層４５上にＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition；化学蒸着）法、コート法、スパッタ法等の膜形成法を用いて形成されている。第２バンク部４７ｂは、アクリル樹脂、又はポリイミド樹脂等の有機材料で構成される有機材料層であり、図中上側に向かって先細りとなるテーパー形状を有している。第２バンク部４７ｂは、第１バンク部４７ａ上に有機材料層を形成した後、この有機材料層をフォトリソグラフィ技術等を用いてパターニングすることによって形成されている。第２バンク部４７ｂは、その底部が図中横方向に沿って第１バンク部４７ａより小さめとなるように形成されている。

陰極４９は、第２バンク部４７ｂの表面及び有機ＥＬ層５０の表面を被うように形成されている。陰極４９は、基板１上に形成された各有機ＥＬ素子７２で共通とされる共通電極であり、基板１上で平面的に見て複数の有機ＥＬ素子７２間で物理的に接続された電極、或いは一枚の連続した電極として延在している。陰極４９は、例えばＡｌ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕから選ばれた少なくとも一種の材料を含んで構成されており、真空蒸着法等の物理的薄膜形成法を用いてこれらの材料を有機ＥＬ層５０及びバンク部４７の夫々の表面に蒸着させることにより形成されている。

陽極３４は、基板１上に順次形成されたゲート絶縁層２、層間絶縁膜４１、保護層４５、及び第１バンク部４７ａのうち第１バンク部４７ａに埋め込まれるように形成されている。陽極３４は、例えば、有機ＥＬ層５０から出射された光を図中下側に透過するようにＩＴＯ等の透明材料で形成された透明電極である。

駆動用トランジスタ７４のソース電極７４ｓは、図１に示す電源供給線１１７に電気的に接続されており、ドレイン電極７４ｄは陽極３４に電気的に接続されている。駆動用トランジスタ７４は、図１に示すデータ線１１４を介してゲート電極３ａに供給されるデータ信号に応じてオンオフされ、駆動電流を有機ＥＬ素子７２に供給する。このような素子を含む回路は、有機ＥＬ素子５０から基板１側に出射される光を遮らないように、有機ＥＬ素子５０の下側を避けるように設けられている。また、駆動用トランジスタ７４と同様に図１に示すスイッチング用トランジスタ７６も基板１上に形成されている。

半導体層３は、例えば低温ポリシリコン技術を用いて形成された多結晶シリコン層或いはアモルファスシリコン層である。半導体層３上には、半導体層３を埋め込んで、スイッチング用トランジスタ７６及び駆動用トランジスタ７４のゲート絶縁層２が形成されている。駆動用トランジスタ７４のゲート電極３ａ及び図１に示す走査線１１２は、ゲート絶縁層２上に形成されている。走査線１１２の一部は、スイッチング用トランジスタ７６のゲート電極として形成されている。

走査線１１２や駆動用トランジスタ７４のゲート電極３ａを埋め込んで、ゲート絶縁層２上には図３に示す層間絶縁層４１が形成されている。層間絶縁層４１及びゲート絶縁層２は例えばシリコン酸化膜から構成されている。層間絶縁層４１上には、例えばアルミニウム（Ａｌ）又はＩＴＯ（Indium Tin Oxide）を含む導電材料から夫々構成される、データ線１１４及び電源供給線１１７、更には駆動用トランジスタ７４のソース電極７４ｓが形成されている。層間絶縁層４１には、層間絶縁層４１の表面から層間絶縁層４１及びゲート絶縁層２を貫通して、駆動用トランジスタ７４の半導体層３に至るコンタクトホール５０１及び５０２が形成されている。電源供給線１１７及びドレイン電極７４ｄを構成する導電膜は、コンタクトホール５０１及び５０２の各々の内壁に沿って半導体層３の表面に至るように連続的に形成されている。層間絶縁層４１上には、電源供給線１１７及びドレイン電極７４ｄを埋め込んで、保護層４５として例えばシリコン窒化膜（ＳｉＮｘ）ないしシリコン酸化膜（ＳｉＯｘ）が形成されている。保護層４５上には、例えばシリコン酸化膜よりなる第１バンク部４７ａが形成され、更に第１バンク部４７ａ上に第２バンク部４７ｂが形成されている。第１バンク部４７ａ及び第２バンク部４７ｂによって、画素部における有機ＥＬ層５０の形成領域が規定されている。

封止板２０は、水分が有機ＥＬ装置１０の外部から有機ＥＬ層５０に浸入することを防止する。より具体的には、封止板２０は、基板１上に接着剤によって接着されており、有機ＥＬ装置１０の外気が有機ＥＬ素子７２に触れないように有機ＥＬ素子７２を封止する。基板１上に封止板２０を接着する接着剤は、熱硬化樹脂或いは紫外線硬化樹脂を含んでおり、例えば、熱硬化樹脂の一例であるエポキシ樹脂を封止板２０の周縁部にディスペンサ等の塗布手段を用いて塗布される。

次に、図４乃至図７を参照しながら、有機ＥＬ装置１０が備える孔部９０の具体的な構成及びこのような孔部を設けるに至った本願発明者の着眼点を説明する。

図４は、凹部６２の底から臨む有機ＥＬ層５０の平面形状を比較した平面図である。図４（ａ）は従来の有機ＥＬ層５０の平面形状を示す平面図であり、図４（ｂ）は本実施形態に係る有機ＥＬ装置１０が備える有機ＥＬ層５０の平面形状を示す平面図である。図５（ａ）及び（ｂ）は、図４（ｂ）のＶａ−Ｖａ´線断面図及びＶｂ−Ｖｂ´線断面図である。 図４（ａ）において、バンク部４７´は、有機ＥＬ材料を含む塗布液が塗布される凹部６２´を規定する。凹部６２´の平面形状は円形である。したがって、有機ＥＬ材料を含む塗布液を凹部６２´に塗布した際に、図中Ｘ方向及びＹ方向の夫々の方向に沿って等しい力Ｆが塗布液５１´を引っ張るようにバンク部４７´の側壁面から凹部６２´に塗布された塗布液５１´に加わる。言い換えれば、凹部６２´に塗布された塗布液５１´に対して平面的に見て等方的にバンク部４７´の側壁面から力Ｆが加わる。したがって、凹部６２´が円形である場合には、凹部６２´に塗布された塗布液の表面は、最終的に塗布液を乾燥させてなる有機ＥＬ層の表面が平坦となるように各方向に沿って均一に平坦化されている。

一方、図４（ｂ）に示すように、凹部６２の平面形状が図中Ｙ方向に沿った長さ方向を有する俵状である場合、バンク部４７のうち凹部６２を規定する側壁面のうち図中Ｘ方向に沿った幅方向に延びる第１側壁面４８ａから塗布液５１に加わる力Ｆｙの大きさと、長さ方向に沿って延びる第２側壁面４８ｂから塗布液に加わる力Ｆｘの大きさとが互いに相違することになる。より具体的には、第１側壁面４８ａが塗布液５１に接する面積が、第２側壁面４８ｂが塗布液５１に接する面積に比べて相対的に小さいことに起因して、塗布液５１に加わる力Ｆｘ及びＦｙが互いに異なる。このような力Ｆｘ及びＦｙによれば、図５（ａ）に示すように、Ｙ方向に沿って塗布液５１の表面が凹部６２の第１側壁面４８ａ付近で落ち込み、塗布液５１の中央部が第１側壁面４８ａに近い側の部分に比べて盛り上がる。また、図５（ｂ）に示すように、塗布液５１の表面の中央部が第１側壁面４８ａに近い側の部分に比べて窪んでしまう。よって図５（ａ）及び（ｂ）に示すように、塗布液５１を乾燥させることによって凹部６２の底に形成される有機ＥＬ層５０の表面を平坦にすることが困難となる。

そこで、本願発明者は、非等方的な平面形状を有する凹部６２に塗布された塗布液５１の表面が凹部６２の平面形状に起因する力によって平坦性が損なわれることに着目し、図６に示すように、有機ＥＬ装置１０に孔部９０を設けた。図６は、有機ＥＬ装置１０の画素部７０を拡大して示した平面図である。尚、図５に示した塗布液の断面形状は、一例であり、塗布液に含まれる有機ＥＬ材料及び溶剤の種類に応じて凹部６２内における塗布液の断面形状は様々の形状をとりうるため、例えばＶａ−Ｖａ´線で塗布液を切った断面形状及びＶｂ−Ｖｂ´線で塗布液をきった断面形状が相互に入れ替わる場合もある。このような場合でも、後述する孔部６０等の形状を最適化することにより、凹部６２に塗布された塗布液の表面を平坦にできる。

図６において、孔部９０は、第１側壁面４８ａから塗布液５１に開口し、図中Ｙ方向に沿ってバンク部４７中に延在されている。孔部９０は、凹部６２に塗布液５１が塗布された際に、塗布液５１の一部を孔部９０を介して凹部６２から逃がす。乾燥前の塗布液５１は、毛細管現象によって孔部９０から凹部６２の外側、即ちバンク部４７中に延びる孔部９０に吸い出される。この際、凹部６２に残留する塗布液５１に対して、図中Ｙ方向に沿って力Ｆｙ１が作用し、塗布液５１の表面はＹ方向に沿って平坦となる。これと同時に、Ｙ方向に沿って塗布液５１に力Ｆｙ１が作用することによって、Ｘ方向に沿った塗布液５１の表面を平坦化するように力Ｆｘ１が作用し、第１側壁面４８ｂから塗布液５１に作用する力が相対的に小さくなるように第１側壁面４８ａ及び第２側壁面４８ｂの夫々から塗布液５１に作用する力が調整される。これにより、Ｙ方向だけでなく、Ｘ方向に沿って塗布液５１の表面が平坦化される。尚、孔部９０から逃がされる塗布液の量は、塗布液の組成及び塗布液を乾燥させる塗布液の挙動を観察したうえで、孔部９０のサイズ、より具体的には第１側壁面４８ａから凹部６２に臨む開口部のサイズ、及びＹ方向に沿って延びる孔部９０の長さを実験的、理論的、シミュレーション的に個別具体的に設定すればよい。

図７（ａ）及び（ｂ）に示すように、Ｘ方向及びＹ方向に沿って塗布液５１の表面を平坦化させてなる塗布液５２を乾燥させることによって、非等方的な平面形状を有する俵状の凹部６２の底に平坦な表面を有する有機ＥＬ層５０が形成される。

このような有機ＥＬ層５０によれば、赤色、緑色及び青色の夫々の色に発光する有機ＥＬ材料を含む塗布液をインクジェット法を用いて各凹部６２に塗り分けた場合でも、有機ＥＬ層５０の表面を平坦にすることができ、有機ＥＬ層５０内の膜厚ばらつきに起因する輝度のばらつきを低減でき、輝度むらが低減された高品位の画像を表示できる。

（変形例）
次に、図８及び図９を参照しながら本実施形態に係る有機ＥＬ装置の変形例を説明する。図８は、本実施形態に係る有機ＥＬ装置の変形例の一例を示す平面図であり、図９は、本実施形態に係る有機ＥＬ装置の変形例の他の例の一部を破断して示した斜視図である。尚、以下の各例及び第２実施形態では、上述の有機ＥＬ装置と共通する部分に共通の参照符合し、共通する部分の詳細な説明は省略する。

図８において、本例に係る有機ＥＬ装置１００は、平面形状が俵状である凹部６２の長さ方向に延びる第２側壁面４８ｂに開口するように孔部９１が形成されている。凹部６２に塗布された塗布液の表面の平坦性は、塗布液に含まれる有機ＥＬ材料及び溶剤の特性によって異なるため、凹部６２の長さ方向に沿って延びる第２側壁面４８ｂに開口するように孔部９１を設けておいたほうが、第１側壁面４８ａに開口するように孔部を設ける場合に比べて塗布液の表面を平坦化できる場合もある。したがって、第１側壁面４８ａに開口する孔部９０を設ける場合に限定されず、本例の有機ＥＬ装置１００のように第２側壁面４８ｂに開口するように孔部９１を設けておくことにより塗布液５１の表面を平坦化できる。これにより、平坦な表面を有する有機ＥＬ層５０を乾燥工程を介して形成できる。

図９において、本例の有機ＥＬ装置２００は、凹部６２から塗布液の一部を逃がす溝部９２を備えている。溝部９２は、図中凹部６２の長さ方向であるＹ方向に沿って延在されており、第１側壁面４８ａから凹部６２に開口している。溝部９２によれば、凹部６２に塗布された塗布液の一部が毛細管現象により凹部６２から溝部９２に逃がされ、塗布液の表面を平坦化できる。このように表面が平坦化された塗布液を乾燥させることにより、図中凹部６２の底から上側に臨むように平坦な表面を有する有機ＥＬ層５０を形成できる。尚、溝部９２から逃がされる塗布液の量は、塗布液の組成及び塗布液を乾燥させる塗布液の挙動を観察したうえで、溝部９２のサイズ、より具体的には第１側壁面４８ａから凹部６２に臨む開口部のサイズ、及び長さ方向に沿って延びる溝部９２の長さを実験的、理論的、シミュレーション的に個別具体的に設定すればよい。また、図３に示した駆動用トランジスタ７４は、保護層４５の下側に形成された層間絶縁膜４１中に有機ＥＬ層５０を避けるように形成されているため、図９では図示していない。

（第２実施形態）
次に、図１０及び図１１を参照しながら、本発明の第２の発明に係る有機ＥＬ装置の実施形態を説明する。図１０は、本実施形態に係る有機ＥＬ装置３００の平面図である。

図１０において、有機ＥＬ装置３００は、インクジェット法を用いて形成された有機ＥＬ層５０を備えた複数の画素部７０を備えている。画素領域を構成する複数の画素部７０のうち基板３０１上の縁に沿った領域に形成された画素部７０ｂと、基板３０１の中央付近に形成された画素部７０ａとの間では、バンク部４７によって規定された凹部６２に塗布された塗布液の乾燥速度が相互に異なる。より具体的には、基板３０１が大型サイズの基板になるほど乾燥条件を細かく制御したとしても画素部７０ａに比べて画素部７０ｂにおける塗布液の乾燥速度が相対的に速くなり、塗布液の乾燥速度を基板３０１上の各領域で均一に維持することが困難となる。

そこで、図１１に示すように、有機ＥＬ装置３００は、基板３０１の縁に近い領域に位置する画素部７０ｂ及び基板３０１の中央付近に位置する画素部７０ｂの夫々に、塗布液を乾燥させる前に各画素部７０ａ及び７０ｂの位置に応じて相互に異なる量の塗布液を各凹部６２から逃がす孔部９３ａ及び９３ｂを備えている。

図１１は、図１０の画素部７０ａ及び７０ｂを拡大して示した平面図である。

図１１（ａ）において、画素部７０ａは、凹部６２の第１側壁面４８ａに開口するようにバンク部４７内に形成された孔部９３ａを備えている。図１１（ｂ）に示すように、画素部７０ｂは、凹部６２の第１側壁面４８ａに開口するようにバンク部４７内に形成された孔部９３ｂを備えている。図１１（ａ）及び（ｂ）に示すように、孔部９３ａ及び９３ｂの夫々は、図中Ｙ方向、即ち俵状の平面形状を有する凹部６２の長さ方向に沿って第１側壁面４８ａからバンク部４７内に延在されており、孔部９３ａ及び９３ｂの長さは、相互に異なる。より具体的には、孔部９３ｂの長さは、孔部９３ｂの長さに比べて相対的に大きい。したがって、画素部７０ｂでは、塗布液の乾燥工程に先立って凹部６２に塗布された塗布液のうち孔部９３ｂを介して凹部６２から逃がされる塗布液の量が、画素部７０ａにおいて凹６２から逃がされる塗布液の量に比べて多い。画素部７０ａ及び７０ｂの夫々から逃がされる塗布液の量は、画素部７０ａ及び７０ｂの基板３０１上における位置の相違、即ち凹部６２に塗布された塗布液の乾燥速度によって決められている。凹部６２から逃がされる塗布液の量を画素部７０の位置に応じて変えておくことにより、乾燥時における塗布液の挙動、例えば塗布液の乾燥速度に起因して有機ＥＬ層５０の表面に凹凸が生じることを低減できる。これにより、インクジェット法等の塗布法を用いて各凹部６２の夫々に個別に塗布液を塗布した場合でも、各画素部７０に平坦な表面を有する有機ＥＬ層５０を形成できる。尚、本実施形態では、画素部７０ａが備える孔部のサイズを画素部７０ｂが備える孔部９３ｂのサイズより小さく設定しているが、有機ＥＬ層５０を形成するための塗布液に含まれる有機ＥＬ材料及び溶剤の特性、塗布液の乾燥条件、並びに基板３０１のサイズに応じて各画素部７０に形成される孔部のサイズを個別に具体的に最適化すればよい。また、基板３０１の中央付近から縁に向かって序々にサイズが大きくなるように形成された孔部を各画素部に延びるバンク部４７に形成しておいてもよい。また、孔部に代えて溝部部を隔壁部に設け、この溝部を介して各凹部から異なる量の塗布液を逃がしてもよい。

以上説明したように第１実施形態に係る有機ＥＬ装置によれば、赤色、緑色及び青色の夫々の色に発光する有機ＥＬ材料を含む塗布液をインクジェット法を用いて各凹部に塗り分けた場合でも、開口率を高めつつ、有機ＥＬ層の表面を平坦にすることができる。これにより、有機ＥＬ層内の膜厚ばらつきに起因する輝度のばらつきを低減でき、輝度むらが低減された高品位の画像を表示可能である。また、第２実施形態に係る有機ＥＬ装置によれば、大型基板を用いて形成された有機ＥＬ装置であっても、基板の縁に近い領域に形成された有機ＥＬ層と、基板の中央付近の領域に形成された有機ＥＬ層との間で生じる輝度ばらつきを低減でき、高品位の画像を表示できる。

尚、第１及び第２実施形態に係る有機ＥＬ装置の構造を、バンク部によって規定された領域に赤色、緑色及び青色の夫々の色を透過させる光学層を備えてなるカラーフィルタに応用することも可能である。このようなカラーフィルタは、インクジェット法等の塗布法を用いて光学材料を塗布した後、バンク部に設けられた孔部或いは溝部を介して塗布された塗布液の液面を平坦にすることが可能である。その後、塗布された塗布液を乾燥させることによって平坦な表面を有する光学層を形成でき、各光学層の光学特性が揃ったカラーフィルタが提供可能となる。

（電子機器）
次に、図１２及び図１３を参照しながら上述した有機ＥＬ装置を具備してなる各種電子機器を説明する。

＜Ａ：モバイル型コンピュータ＞
図１２を参照しながらモバイル型のコンピュータに上述した有機ＥＬ装置を適用した例について説明する。図１２は、コンピュータ１２００の構成を示す斜視図である。

図１２において、コンピュータ１２００は、キーボード１２０２を備えた本体部１２０４と、図示しない有機ＥＬ装置を用いて構成された表示部１００５を有する表示ユニット１２０６とを備えている。表示部１００５は、平坦な有機ＥＬ層を備えているため高品位の画像を表示できる。また、表示部１００５のサイズを大型化した場合でも、基板上の各画素部の夫々が平坦な有機ＥＬ層を備えているため、大画面で且つ高品位の画像を表示できる。また、表示部１００５が備える複数の有機ＥＬディスプレイ基板に赤、緑、青の光の三原色の光を発光する有機ＥＬ素子を形成しておくことによって、表示部１００５はフルカラー表示で画像表示を行うことができる。

＜Ｂ：携帯型電話機＞
更に、上述した有機ＥＬ装置を携帯型電話機に適用した例について、図１３を参照して説明する。図１３は、携帯型電話機１３００の構成を示す斜視図である。

図１３において、携帯型電話機１３００は、複数の操作ボタン１３０２と共に、本発明の一実施形態である有機ＥＬ装置を有する表示部１３０５を備えるものである。

表示部１３０５は、平坦な有機ＥＬ層を備えているため、高品質の画像を表示することができる。また、表示部１３０５が備える複数の有機ＥＬ素子が夫々赤、緑、青の光の三原色の光を発光することによって、表示部１３０５はフルカラー表示で画像表示を行うこともできる。

尚、本発明は、上述した実施例に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う有機ＥＬ装置及び光学装置もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。

第１実施形態に係る有機ＥＬ装置１０の全体構成を示すブロック図である。 第１実施形態に係る有機ＥＬ装置１０の概略構成を示す平面図である。 図３は図２のＩＩＩ−ＩＩＩ´線断面図である。 凹部６２の底から臨む有機ＥＬ層５０の平面形状を比較した平面図である。 図４（ｂ）のＶａ−Ｖａ´線断面図及びＶｂ−Ｖｂ´線断面図である。 第１実施形態に係る有機ＥＬ装置１０の画素部７０を拡大して示した平面図である。 図６のＶＩＩａ−ＶＩＩａ´線断面図及びＶＩＩｂ−ＶＩＩｂ´線断面図である。 第１実施形態に係る有機ＥＬ装置の変形例の一例を示す平面図である。 第２実施形態に係る有機ＥＬ装置の変形例の他の例の一部を破断して示した斜視図である。 第２実施形態に係る有機ＥＬ装置３００の平面図である。 図１０に示した画素部７０ａ及び７０ｂを拡大して示す平面図である。 本発明に係る有機ＥＬ装置を具備してなる電子機器の一例の斜視図である。 本発明に係る有機ＥＬ装置を具備してなる電子機器の他の例の斜視図である。

符号の説明

１０、１００、２００、３００・・・有機ＥＬ装置、３４・・・陽極、４７・・・バンク部、５０・・・有機ＥＬ層、６２・・・凹部、７０・・・画素部、９０、９１、９３ａ。９３ｂ・・・孔部、９２・・・溝部

Claims (5)

1. 基板と、
   前記基板上に設けられており、平面的にみて非等方的な形状を有する複数の凹部を規定する隔壁部と、
   有機ＥＬ材料を含む塗布液を前記複数の凹部の夫々に個別に塗布した後、前記凹部に塗布された塗布液を乾燥させることによって形成された発光部と、
   前記隔壁部に形成されており、前記凹部に塗布された塗布液の一部を前記発光部の表面が平坦となるように前記凹部から逃す排液手段とを備え、
   前記隔壁部の側壁面のうち前記凹部の幅方向に沿って延びる第１側壁面の面積は、前記隔壁部の側壁面のうち前記凹部の長さ方向に沿って延びる第２側壁面の面積に比べて小さく、
   前記排液手段は、前記第１側壁面及び前記隔壁部上に開口するように前記長さ方向に沿って延び、かつ、前記隔壁部を貫通しない溝部であり、前記塗布液は、前記溝部を介して前記凹部から逃がされること
   を特徴とする有機ＥＬ装置。
2. 基板と、
   前記基板上に設けられており、平面的にみて非等方的な形状を有する複数の凹部を規定する隔壁部と、
   有機ＥＬ材料を含む塗布液を前記複数の凹部の夫々に個別に塗布した後、前記凹部に塗布された塗布液を乾燥させることによって形成された発光部と、
   前記隔壁部に形成されており、前記凹部に塗布された塗布液の一部を前記発光部の表面が平坦となるように前記凹部から逃す排液手段とを備え、
   前記隔壁部の側壁面のうち前記凹部の幅方向に沿って延びる第１側壁面の面積は、前記隔壁部の側壁面のうち前記凹部の長さ方向に沿って延びる第２側壁面の面積に比べて小さく、
   前記排液手段は、前記第２側壁面及び前記隔壁部上に開口するように前記長さ方向に交差する方向に延び、かつ、前記隔壁部を貫通しない溝部であり、前記塗布液は、前記溝部を介して前記凹部から逃がされること
   を特徴とする有機ＥＬ装置。
3. 請求項１または請求項２に記載の有機ＥＬ装置であって、
   前記排液手段は、前記基板上における前記複数の凹部の夫々が規定された位置に応じて前記複数の凹部の夫々から互いに異なる量の塗布液を逃がすことによって、前記複数の発光部の夫々の表面を平坦にすることを特徴とする有機ＥＬ装置。
4. 基板と、
   前記基板上に設けられており、平面的にみて非等方的な形状を有する複数の凹部を規定する隔壁部と、
   光学材料を含む塗布液を前記複数の凹部の夫々に個別に塗布した後、前記複数の凹部に塗布された塗布液を乾燥させることによって形成された複数の光学層と、
   前記基板上における前記複数の凹部の夫々が規定された位置に応じて前記複数の凹部の夫々から互いに異なる量の塗布液を逃がすことによって、前記複数の光学層の夫々の表面を平坦にする排液手段とを備え、
   前記隔壁部の側壁面のうち前記凹部の幅方向に沿って延びる第１側壁面の面積は、前記隔壁部の側壁面のうち前記凹部の長さ方向に沿って延びる第２側壁面の面積に比べて小さく、
   前記排液手段は、前記第１側壁面及び前記隔壁部上に開口するように前記長さ方向に沿って延び、かつ、前記隔壁部を貫通しない溝部であり、前記塗布液は、前記溝部を介して前記凹部から逃がされること
   を特徴とする光学装置。
5. 基板と、
   前記基板上に設けられており、平面的にみて非等方的な形状を有する複数の凹部を規定する隔壁部と、
   有機ＥＬ材料を含む塗布液を前記複数の凹部の夫々に個別に塗布した後、前記凹部に塗布された塗布液を乾燥させることによって形成された発光部と、
   前記隔壁部に形成されており、前記凹部に塗布された塗布液の一部を前記発光部の表面が平坦となるように前記凹部から逃す排液手段とを備え、
   前記隔壁部の側壁面のうち前記凹部の幅方向に沿って延びる第１側壁面の面積は、前記隔壁部の側壁面のうち前記凹部の長さ方向に沿って延びる第２側壁面の面積に比べて小さく、
   前記排液手段は、前記第２側壁面及び前記隔壁部上に開口するように前記長さ方向に交差する方向に延び、かつ、前記隔壁部を貫通しない溝部であり、前記塗布液は、前記溝部を介して前記凹部から逃がされること
   を特徴とする光学装置。

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