JP4741897B2 - 光硬化性樹脂の塗布装置及び塗布方法 - Google Patents
光硬化性樹脂の塗布装置及び塗布方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4741897B2 JP4741897B2 JP2005229560A JP2005229560A JP4741897B2 JP 4741897 B2 JP4741897 B2 JP 4741897B2 JP 2005229560 A JP2005229560 A JP 2005229560A JP 2005229560 A JP2005229560 A JP 2005229560A JP 4741897 B2 JP4741897 B2 JP 4741897B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- application
- photocurable resin
- substrate
- coating
- side portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
- B05C5/0208—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to separate articles
- B05C5/0212—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to separate articles only at particular parts of the articles
- B05C5/0216—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to separate articles only at particular parts of the articles by relative movement of article and outlet according to a predetermined path
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C9/00—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important
- B05C9/08—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying liquid or other fluent material and performing an auxiliary operation
- B05C9/12—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying liquid or other fluent material and performing an auxiliary operation the auxiliary operation being performed after the application
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C9/00—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important
- B05C9/08—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying liquid or other fluent material and performing an auxiliary operation
- B05C9/14—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying liquid or other fluent material and performing an auxiliary operation the auxiliary operation involving heating or cooling
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D7/00—Processes, other than flocking, specially adapted for applying liquids or other fluent materials to particular surfaces or for applying particular liquids or other fluent materials
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D7/00—Processes, other than flocking, specially adapted for applying liquids or other fluent materials to particular surfaces or for applying particular liquids or other fluent materials
- B05D7/24—Processes, other than flocking, specially adapted for applying liquids or other fluent materials to particular surfaces or for applying particular liquids or other fluent materials for applying particular liquids or other fluent materials
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1345—Conductors connecting electrodes to cell terminals
- G02F1/13452—Conductors connecting driver circuitry and terminals of panels
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
- H05K3/28—Applying non-metallic protective coatings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Wood Science & Technology (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
上記基板が載置される基板ステージと、
この基板ステージと対向して配置され上記基板と電子部品との接続部分に光硬化性樹脂を塗布する塗布ノズルを有する塗布ユニットと、
上記塗布ノズルを駆動して上記基板の側辺部に沿う方向に移動させる駆動手段と、
上記塗布ユニットに上記塗布ノズルと一体的に移動するよう設けられ上記塗布ノズルによって上記基板と電子部品との接続部分に塗布された光硬化性樹脂に照射光を照射して硬化させる光照射部と、
上記光照射部からの照射光が上記塗布ノズルを照射するのを阻止する遮光手段を具備し、
上記塗布ユニットは、長方形状の上記基板の1つの短側辺部に対向して配置され1つの塗布ノズルが設けられた第1の塗布ユニットと、上記基板の1つの長側辺部に対向して配置され複数の塗布ノズルが設けられた第2の塗布ユニットを有し、
上記第1の塗布ユニットの塗布ノズルは、上記基板の上記短側辺部の一端部から上記光硬化性樹脂の塗布を開始するよう駆動され、
上記第2の塗布ユニットの複数の塗布ノズルのうちの1つは、上記長側辺部の上記1つの短側辺部と反対側に位置する一端部から他端部に向かって上記光硬化性樹脂の塗布を開始するよう駆動され、残りの塗布ノズルは、上記長側辺部の中途部から他端部に向かって上記光硬化性樹脂の塗布を開始するよう駆動される
ことを特徴とする光硬化性樹脂の塗布装置にある。
上記塗布ノズルを上記基板の側辺部に沿う方向に移動させて上記基板と上記電子部品との接続部分に光硬化性樹脂を塗布する工程と、
上記塗布ノズルによる光硬化性樹脂の塗布に続いて上記接続部分に塗布された光硬化性樹脂に照射光を照射して硬化させる工程を具備し、
上記基板の上記1つの短側辺部に対してはこの短側辺部に対向して配置された第1の塗布ユニットに設けられた1つの塗布ノズルによって上記1つの長側辺部と隣接する一端から光硬化性樹脂の塗布を開始し、上記1つの長側辺部に対してはこの長側辺部に対向して配置された第2の塗布ユニットに設けられた複数の塗布ノズルの1つによって上記長側辺部の上記1つの短側辺部と反対側に位置する一端から他端に向かって光硬化性樹脂の塗布を開始し、残りの塗布ノズルによって上記長側辺部の長手方向の中途部から他端に向かって光硬化性樹脂の塗布を開始することを特徴とする光硬化性樹脂の塗布方法にある。
図1乃至図6は液晶パネル200隣り合う長側辺部と短側辺部とに光硬化性樹脂を、第1の塗布ユニット2と第2の塗布ユニット3によって別々に塗布する参考となる実施の形態を示す。図1は塗布装置の概略的構成を示す平面図である。この塗布装置はベース1を備えている。このベース1には図1に矢印で示すX方向に沿って第1の塗布ユニット2と第2の塗布ユニット3が配置されている。
それによって、基板200の隣り合う長側辺部と短側辺部とに光硬化性樹脂205を同時に塗布できるから、塗布に要するタクトタイムを短縮することができる。
Claims (6)
- 長方形状の基板とこの基板の側辺部に接続された電子部品との接続部分に光硬化性樹脂を塗布する光硬化性樹脂の塗布装置であって、
上記基板が載置される基板ステージと、
この基板ステージと対向して配置され上記基板と電子部品との接続部分に光硬化性樹脂を塗布する塗布ノズルを有する塗布ユニットと、
上記塗布ノズルを駆動して上記基板の側辺部に沿う方向に移動させる駆動手段と、
上記塗布ユニットに上記塗布ノズルと一体的に移動するよう設けられ上記塗布ノズルによって上記基板と電子部品との接続部分に塗布された光硬化性樹脂に照射光を照射して硬化させる光照射部と、
上記光照射部からの照射光が上記塗布ノズルを照射するのを阻止する遮光手段を具備し、
上記塗布ユニットは、長方形状の上記基板の1つの短側辺部に対向して配置され1つの塗布ノズルが設けられた第1の塗布ユニットと、上記基板の1つの長側辺部に対向して配置され複数の塗布ノズルが設けられた第2の塗布ユニットを有し、
上記第1の塗布ユニットの塗布ノズルは、上記基板の上記短側辺部の一端部から上記光硬化性樹脂の塗布を開始するよう駆動され、
上記第2の塗布ユニットの複数の塗布ノズルのうちの1つは、上記長側辺部の上記1つの短側辺部と反対側に位置する一端部から他端部に向かって上記光硬化性樹脂の塗布を開始するよう駆動され、残りの塗布ノズルは、上記長側辺部の中途部から他端部に向かって上記光硬化性樹脂の塗布を開始するよう駆動される
ことを特徴とする光硬化性樹脂の塗布装置。 - 上記基板の少なくとも上記塗布ノズルによって光硬化性樹脂が塗布される側辺部は上記基板ステージから突出していて、この基板の上記基板ステージから突出した部分の下面は支持体によって支持されることを特徴とする請求項1記載の光硬化性樹脂の塗布装置。
- 上記支持体の上面に上記基板を吸着保持する吸着手段を備えていることを特徴とする請求項2記載の光硬化性樹脂の塗布装置。
- 上記塗布ノズルによって塗布された光硬化性樹脂を撮像する撮像手段と、この撮像手段からの撮像信号によって上記光硬化性樹脂の塗布状態を判定する判定手段とを備えていることを特徴とする請求項1記載の光硬化性樹脂の塗布装置。
- 上記第1の塗布ユニットに設けられた1つの塗布ノズルと、上記第2の塗布ユニットに設けられた複数の塗布ノズルとは、上記基板の一側部と他側部に沿って同期して駆動されることを特徴とする請求項1記載の光硬化性樹脂の塗布装置。
- 長方形状の基板とこの基板の長さの異なる1つの短側辺部と1つの長側辺部にそれぞれ接続された電子部品との接続部分に塗布ノズルから吐出される光硬化性樹脂を塗布する光硬化性樹脂の塗布方法であって、
上記塗布ノズルを上記基板の側辺部に沿う方向に移動させて上記基板と上記電子部品との接続部分に光硬化性樹脂を塗布する工程と、
上記塗布ノズルによる光硬化性樹脂の塗布に続いて上記接続部分に塗布された光硬化性樹脂に照射光を照射して硬化させる工程を具備し、
上記基板の上記1つの短側辺部に対してはこの短側辺部に対向して配置された第1の塗布ユニットに設けられた1つの塗布ノズルによって上記1つの長側辺部と隣接する一端から光硬化性樹脂の塗布を開始し、上記1つの長側辺部に対してはこの長側辺部に対向して配置された第2の塗布ユニットに設けられた複数の塗布ノズルの1つによって上記長側辺部の上記1つの短側辺部と反対側に位置する一端から他端に向かって光硬化性樹脂の塗布を開始し、残りの塗布ノズルによって上記長側辺部の長手方向の中途部から他端に向かって光硬化性樹脂の塗布を開始することを特徴とする光硬化性樹脂の塗布方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005229560A JP4741897B2 (ja) | 2005-01-12 | 2005-08-08 | 光硬化性樹脂の塗布装置及び塗布方法 |
| KR1020077012586A KR100893739B1 (ko) | 2005-01-12 | 2005-09-13 | 광경화성 수지의 도포 장치 및 도포 방법 |
| PCT/JP2005/016793 WO2006075421A1 (ja) | 2005-01-12 | 2005-09-13 | 光硬化性樹脂の塗布装置及び塗布方法 |
| CN2005800464537A CN101098760B (zh) | 2005-01-12 | 2005-09-13 | 光固化性树脂的涂布装置及涂布方法 |
| TW094132120A TWI368799B (en) | 2005-01-12 | 2005-09-16 | Apparatus for applying a photosetting resin and method of applying a photosetting |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005005395 | 2005-01-12 | ||
| JP2005005395 | 2005-01-12 | ||
| JP2005229560A JP4741897B2 (ja) | 2005-01-12 | 2005-08-08 | 光硬化性樹脂の塗布装置及び塗布方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2006218470A JP2006218470A (ja) | 2006-08-24 |
| JP4741897B2 true JP4741897B2 (ja) | 2011-08-10 |
Family
ID=36677456
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005229560A Expired - Fee Related JP4741897B2 (ja) | 2005-01-12 | 2005-08-08 | 光硬化性樹脂の塗布装置及び塗布方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4741897B2 (ja) |
| KR (1) | KR100893739B1 (ja) |
| CN (1) | CN101098760B (ja) |
| TW (1) | TWI368799B (ja) |
| WO (1) | WO2006075421A1 (ja) |
Families Citing this family (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4741897B2 (ja) * | 2005-01-12 | 2011-08-10 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 光硬化性樹脂の塗布装置及び塗布方法 |
| TWI355970B (en) | 2007-01-19 | 2012-01-11 | Tokyo Electron Ltd | Coating treatment apparatus, substrate treatment s |
| JP4884991B2 (ja) * | 2007-01-19 | 2012-02-29 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布処理装置 |
| KR100895863B1 (ko) * | 2007-11-20 | 2009-05-06 | 세메스 주식회사 | 기판 제조 장치 및 그 방법 |
| KR100933027B1 (ko) * | 2007-11-21 | 2009-12-21 | 세메스 주식회사 | 기판 제조 장치 및 그 방법 |
| KR100901489B1 (ko) * | 2007-11-21 | 2009-06-08 | 세메스 주식회사 | 기판 제조 장치 및 그 방법 |
| JP2011000545A (ja) * | 2009-06-19 | 2011-01-06 | Sharp Corp | 液滴塗布状態判定装置および液滴塗布状態判定方法及びそれを用いた液滴塗布装置 |
| TWI533942B (zh) | 2009-09-04 | 2016-05-21 | Dexerials Corp | Filling device |
| JP5455583B2 (ja) * | 2009-11-30 | 2014-03-26 | キヤノン株式会社 | インプリント装置 |
| CN102520554A (zh) * | 2011-11-21 | 2012-06-27 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 涂布装置及涂布方法 |
| US20130129913A1 (en) * | 2011-11-21 | 2013-05-23 | Shenzhen China Star Optoellectronics Technolohy Co., Ltd. | Coating apparatus and coating method |
| KR101416769B1 (ko) * | 2012-11-15 | 2014-07-09 | 안성룡 | 가경화 장치 |
| KR101502786B1 (ko) * | 2012-12-17 | 2015-03-17 | 주식회사 프로텍 | Tft lcd 패널 제조 장치 |
| CN104185370A (zh) * | 2013-05-24 | 2014-12-03 | 索尼电子(无锡)有限公司 | 具有防水层的基板、基板中防水层的形成方法和加工设备 |
| CN104423101A (zh) * | 2013-08-21 | 2015-03-18 | 北京京东方光电科技有限公司 | 一种封框胶涂布装置、方法以及实现对盒的方法 |
| JP2014064022A (ja) * | 2013-11-11 | 2014-04-10 | Canon Inc | インプリント装置 |
| CN103895345B (zh) * | 2014-03-27 | 2016-01-20 | 华中科技大学 | 一种多功能电流体喷墨打印系统及方法 |
| CN104096660B (zh) * | 2014-07-16 | 2016-08-24 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种点胶治具 |
| JP5933060B2 (ja) * | 2015-03-13 | 2016-06-08 | キヤノン株式会社 | インプリント装置および方法ならびに物品製造方法 |
| CN105772340B (zh) | 2016-05-16 | 2019-07-05 | 京东方科技集团股份有限公司 | 液态光固化胶涂覆装置和方法 |
| CN105797902A (zh) * | 2016-05-17 | 2016-07-27 | 复旦大学 | 智能自清洗双固化涂装系统 |
| JP6905325B2 (ja) * | 2016-10-31 | 2021-07-21 | デクセリアルズ株式会社 | 積層体の製造方法 |
| KR102039822B1 (ko) * | 2018-04-09 | 2019-11-01 | 주식회사 프로텍 | 사이드 실링 디스펜서 |
| KR101970444B1 (ko) * | 2018-12-14 | 2019-04-18 | 문득수 | 단방향 또는 양방향 디스플레이 패널의 레진 도포장치, 그리고 이를 활용한 레진 도포방법 |
| JP2020120085A (ja) * | 2019-01-28 | 2020-08-06 | 日本特殊陶業株式会社 | 配線基板の製造方法及び配線基板の製造装置 |
| JP2020136640A (ja) * | 2019-02-26 | 2020-08-31 | トヨタ自動車株式会社 | 膜の製造方法 |
| JP7286250B2 (ja) * | 2019-08-07 | 2023-06-05 | 株式会社ディスコ | 保護部材形成装置 |
| KR102354878B1 (ko) * | 2019-08-22 | 2022-01-25 | 에이피시스템 주식회사 | 용액 도포장치, 용액 도포방법 및 이를 이용한 합착 방법 |
| KR20220077315A (ko) | 2020-12-01 | 2022-06-09 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치, 그 표시 장치 제조 장치, 및 그 표시 장치의 제조 방법 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6211570A (ja) * | 1985-07-05 | 1987-01-20 | Honda Motor Co Ltd | 自動塗布装置 |
| JPH0721254Y2 (ja) * | 1992-09-18 | 1995-05-17 | 徹也 北城 | 紫外線硬化型樹脂材料の塗付兼硬化装置 |
| JP3113502B2 (ja) * | 1994-05-31 | 2000-12-04 | キヤノン株式会社 | 封止装置 |
| JPH08298394A (ja) * | 1995-04-26 | 1996-11-12 | Tescon:Kk | ディスペンサー装置 |
| JPH11128800A (ja) * | 1997-10-27 | 1999-05-18 | Fujitsu Ten Ltd | 接着剤塗布装置 |
| JP2001282147A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-10-12 | Minolta Co Ltd | 積層型表示パネルの製造方法 |
| JP4558973B2 (ja) * | 2001-04-20 | 2010-10-06 | 株式会社小森コーポレーション | 印刷機またはコーティング装置 |
| KR100850472B1 (ko) * | 2002-07-05 | 2008-08-07 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유브이 경화장치를 포함하는 홀로그래픽 확산층 복제장비 |
| KR100724475B1 (ko) * | 2002-11-13 | 2007-06-04 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정 표시패널의 실 디스펜서 및 이를 이용한 실 패턴의단선 검출방법 |
| JP4200758B2 (ja) * | 2002-12-26 | 2008-12-24 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パネルの樹脂塗布方法、ディスプレイ用パネルの製造方法及び樹脂塗布装置 |
| JP4393093B2 (ja) * | 2003-03-31 | 2010-01-06 | シャープ株式会社 | 液剤描画装置 |
| JP2004322460A (ja) * | 2003-04-24 | 2004-11-18 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | 画像記録装置 |
| JP4741897B2 (ja) * | 2005-01-12 | 2011-08-10 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 光硬化性樹脂の塗布装置及び塗布方法 |
-
2005
- 2005-08-08 JP JP2005229560A patent/JP4741897B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-09-13 CN CN2005800464537A patent/CN101098760B/zh not_active Expired - Lifetime
- 2005-09-13 WO PCT/JP2005/016793 patent/WO2006075421A1/ja not_active Ceased
- 2005-09-13 KR KR1020077012586A patent/KR100893739B1/ko not_active Expired - Fee Related
- 2005-09-16 TW TW094132120A patent/TWI368799B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2006075421A1 (ja) | 2006-07-20 |
| KR100893739B1 (ko) | 2009-04-17 |
| TWI368799B (en) | 2012-07-21 |
| CN101098760A (zh) | 2008-01-02 |
| CN101098760B (zh) | 2010-12-08 |
| KR20070074660A (ko) | 2007-07-12 |
| TW200624967A (en) | 2006-07-16 |
| JP2006218470A (ja) | 2006-08-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4741897B2 (ja) | 光硬化性樹脂の塗布装置及び塗布方法 | |
| CN1066907C (zh) | 电子元件装配装置 | |
| TWI511794B (zh) | A film pattern forming apparatus, a film pattern forming method, and a device adjusting method | |
| CN101920235B (zh) | 涂敷装置和涂敷方法 | |
| KR102061315B1 (ko) | 기판제조장치 및 기판제조방법 | |
| TW201344824A (zh) | 電糊塗布裝置及電糊塗布方法以及晶粒接合器 | |
| CN100574565C (zh) | 基准位置决定方法、印刷方法及装置、安装方法 | |
| JP2013030571A (ja) | 液滴吐出装置及び液滴吐出方法 | |
| JP2000150970A (ja) | 発光素子のボンディング方法および装置 | |
| JP2018163272A (ja) | 露光装置 | |
| JP4480660B2 (ja) | 基板貼り合わせ装置 | |
| JP5047772B2 (ja) | 実装基板製造方法 | |
| JPWO2013141388A1 (ja) | 電子部品の実装装置及び実装方法 | |
| JP2003303854A (ja) | チップ実装方法およびそれを用いた装置 | |
| KR20210069561A (ko) | 도전성 입자 탑재기판의 불요물 제거장치 | |
| JP2015194727A (ja) | 表示装置用部材の製造装置及び表示装置用部材の製造方法 | |
| JPH05251893A (ja) | 電子部品装着方法 | |
| JP3560898B2 (ja) | 部品装着方法および部品装着装置 | |
| KR101814329B1 (ko) | Ldi용 노광 장치 | |
| JP3641545B2 (ja) | コアスライダマウント装置およびコアスライダマウント方法 | |
| JP2762689B2 (ja) | 補正爪の位置ずれ検出方法 | |
| KR101897487B1 (ko) | 지문센서 부착 장치 | |
| KR101616198B1 (ko) | 접착제 도포 장치, 접착제 도포 방법, 표시 장치용 부재의 제조 장치 및 표시 장치용 부재의 제조방법 | |
| CN104933961A (zh) | 显示装置用构件的制造装置及显示装置用构件的制造方法 | |
| JP2015189931A (ja) | 紫外線照射装置、板状体貼り合わせ装置及び板状体貼り合わせ方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070514 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100831 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100917 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110322 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110406 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110426 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110509 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4741897 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140513 Year of fee payment: 3 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |