JP4830769B2

JP4830769B2 - ファンフィルターユニット

Info

Publication number: JP4830769B2
Application number: JP2006274933A
Authority: JP
Inventors: 耕次飯尾
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2006-10-06
Filing date: 2006-10-06
Publication date: 2011-12-07
Anticipated expiration: 2026-10-06
Also published as: JP2008093507A

Description

本発明は、半導体、液晶、およびプラズマディスプレイパネルなどの、清浄空間を必要とする製造装置で使用されるファンフィルターユニットに関する。

従来、この種のファンフィルターユニットにおいて風速分布の改善のための手段として複数のガイド板や拡散板をチャンバー内に設ける構成としている（例えば特許文献１参照）。

特開平９−９４４１９号公報（段落００１２〜００１８、図１）

従来のファンフィルターユニットでは、フィルタ上流側の風速の均一化を目的として改善手段が設けられているが、フィルタ通過後の風速に対しては考慮されていないため、フィルタ吹出面においては、モーター直下の部分において、風速が確保されず、風速分布の偏りが発生している。

本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、フィルタ通過後の風速分布の均一性を高めたファンフィルターユニットを提供することを目的としている。

本発明のファンフィルターユニットは上記目的を達成するために、箱型状のチャンバー上部に吸込部を有し、ターボ型のファンとモーターからなるファンユニットを、前記チャンバー内部に有し、このファンユニットの吹出側にフィルタを設けたファンフィルターユニットにおいて、ファンとフィルタの間に補助送風ファンを少なくとも一つ備え、前記チャンバー内では、前記補助送風ファンが、前記ターボ型のファンの周方向に吹き出された空気の一部を前記ファンユニットのモータ直下から前記フィルタ方向に吹き出すものである。

また他の手段は、前記補助送風ファンは、クロスフローファンであることを特徴とするものである。

また他の手段は、吹出側を、モーターを支えるブリッジ形状のサポートによってチャンバーに固定し、前記サポートのフィルタ側に、補助送風ファンを一つまたは複数備えたものである。

また他の手段は、吹出側をサポートによってチャンバーに固定し、前記サポートのフィルタ側に、モーターの直下を通り、補助送風ファンがサポートに沿う向きに、補助送風ファンを一つまたは複数備えたものである。

また他の手段は、吹出側をサポートによってチャンバーに固定し、前記サポートのフィルタ側に、モーター直下を通り、補助送風ファンがサポートに沿う向きと垂直な向きに、補助送風ファンを一つまたは複数備えたものである。

また他の手段は、サポートに補助送風ファンから吹き出す空気をモーターに吹き付けるように送風ガイドを一つまたは複数備えたものである。

また他の手段は、箱型状のチャンバー上部に吸込部を有し、ファンとモーターからなるファンユニットを、前記チャンバー内部に有し、このファンユニットの吹出側にファイルターを設けたファンフィルターユニットにおいて、前記補助送風ファンを囲い、周囲に補強材となる枠を設けたメッシュを備えたものである。

また他の手段は、メッシュの目の粗さを部分的に変更させたものである。

また他の手段は、メッシュの目の粗さは、モーターに面した部分を粗く設定したものである。

これらの手段により、フィルタ通過後の風速分布の均一性を高めたファンフィルターユニットが得られる。

本発明によれば、補助送風ファンを設けることにより、モーター直下の風量不足を解消することができ、フィルタから吹出される風速が均一化し、吹出風速分布の均一化が図れるという効果が得られる。

また、モーターを補助送風ファンによって冷却するという効果が得られる。

本発明の実施の形態１のファンフィルターユニットの略縦断面図本発明の実施の形態２のファンフィルターユニットの略縦断面図本発明の実施の形態３のファンフィルターユニットの略縦断面図本発明の実施の形態４のファンフィルターユニットの略縦断面図本発明の実施の形態５のファンフィルターユニットの略縦断面図本発明の実施の形態６のファンフィルターユニットの略縦断面図

本発明の請求項１記載の発明は、箱型状のチャンバー上部に吸込部を有し、ターボ型のファンとモーターからなるファンユニットを、前記チャンバー内部に有し、このファンユニットの吹出側にフィルタを設けたファンフィルターユニットにおいて、ファンとフィルタの間に補助送風ファンを少なくとも一つ備え、前記チャンバー内では、前記補助送風ファンが、前記ターボ型のファンの周方向に吹き出された空気の一部を前記ファンユニット
のモータ直下から前記フィルタ方向に吹き出すものであり、ファン下部の風速を高め均一化することにより、フィルタ吹出風速分布を均一にするという作用を有する。

また、補助送風ファンとして、クロスフローファンを備えたものであり、モーター、サポート直下に気流を吹出し、モーター、サポート直下の風速を高め均一化することにより、フィルタ吹出風速分布を均一にするという作用を有するとともに、モーター側にも気流を吹出すことにより、モーターを冷却し、モーターの長寿命化を促すという作用を有するものである。

また、補助送風ファンとして、クロスフローファンを備えたものであり、モーター、サポート直下に気流を吹出し、モーター、サポート直下の風速を高め均一化することにより、吹出風速分布を均一にするという作用を有するとともに、モーター側にも気流を吹出すことにより、モーターを冷却し、モーターの長寿命化を促すという作用を有するものである。

また、吹出側をサポートによってチャンバーに固定し、前記サポートのフィルタ側に、補助送風ファンをサポートに沿う向きに、一つまたは複数備えたことにより、モーター直下と共に、サポートの直下の風速についても、広い範囲で補うことができ、風速を均一化することにより、フィルタ吹出風速分布を均一にするという作用を有する。

また、吹出側をサポートによってチャンバーに固定し、前記サポートのフィルタ側に、モーター直下を通り、補助送風ファンがサポートに沿う向きに垂直な向きに、補助送風ファンを一つまたは複数備えたものであり、モーター直下の風速に特化して風速を補い、風速を均一化することにより、吹出風速分布を均一にするという作用を有する。

また、モーター直下に補助送風ファンを設置し、かつサポートに補助送風ファンから吹き出す空気をモーターに吹き付けるように送風ガイドを設けることにより、モーターを冷却し、モーターの長寿命化を促すという作用を有する。

また、箱型状のチャンバー上部に吸込部を有し、ファンとモーターからなるファンユニットを、前記チャンバー内部に有し、このファンユニットの吹出側にファイルターを設けたファンフィルターユニットにおいて、前記補助送風ファンを囲う、周囲に補強材となる枠を設けたメッシュを備えたものであり、補助送風ファンによる気流がメッシュを通過することにより、チャンバー内で風速の偏りが起こることを抑え、風速が均一化し、吹出風速分布を均一にするという作用を有する。

また、メッシュの目の粗さを部分的に変更させたものであり、下流側はより細かく風速を均一化し、上流側はモーターの冷却効果を高め、モーターの長寿命化をより促すという作用を有する。

また、メッシュの目の粗さをモーターに面した部分を粗く設定したものであり、下流側は風速を均一化する一方、上流側にはより多くの気流を流すことによりモーターの冷却効果をさらに高め、モーターの長寿命化をより促すという作用を有する。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。

（実施の形態１）
図１に示すように、第１の実施の形態のファンフィルターユニットは、ターボ型のファン２とモーター３からなるファンユニット４を箱形状のチャンバー５に内蔵し、ファンユ
ニット４はブリッジ形状のサポート７によりチャンバー５に固定されている。ファンユニット４の吹出側となる下方にはフィルタ６を設け、ファン２とフィルタ６の間に、補助送風ファン８をチャンバー５に取付ける。

上記構成において、ファンユニット４を運転することによって、吸込口１より空気が吸込まれ、チャンバー５内に送り込まれる。（矢印で空気の流れを示す）また、補助送風ファン８を運転することによって、チャンバー５内に気流が発生する。ファンユニット４に用いられたターボ型のファン２は、ファン本体の周方向に空気を吹出すため、チャンバー５の縁部に対しファンの直下の風速が小さくなる。一方、補助送風ファン８による気流は、モーター３、サポート７直下を流れることにより、この部分の風速を補う。ファンユニット４から吹出された気流とともに、補助送風ファン８から吹出された気流が合わさることにより、モーター３、サポート７直下に、ターボ型のファン２から吹出された気流の届ききらなかった風速分を補い、風速が均一化した気流ができる。

また、クロスフローファンである補助送風ファン８は、フィルタ６側への気流の吹出と共にモーター３側への気流の吹出を伴い、発生した気流がモーター３に届くことによって、モーター３を冷却し、モーターの長寿命化を促すという効果がある。

（実施の形態２）
第２の実施の形態のファンフィルターユニットは、図２に示すように、サポート７に、モーター３の直下を通り、補助送風ファン８がサポート７に沿う向きに、補助送風ファン８を取付ける。

上記構成において、補助送風ファン８をサポート７のモーター３直下に取付けることにより、従来風速が弱いモーター３直下において風速を確保し、またサポート７直下においても、広い範囲で風速を確保することにより、風速の均一化ができる。

また、モーター３に補助送風ファン８により吹出された気流によって、モーター３を冷却し、モーターの長寿命化を促すことができる。

（実施の形態３）
第３の実施の形態のファンフィルターユニットは、図３に示すように、サポート７のモーター３直下を通り、補助送風ファン８がサポート７に沿う向きと垂直な向きに、補助送風ファン８を取付ける。

上記構成において、補助送風ファン８をサポート７のモーター３直下に取付けることにより、従来風速が弱いモーター３直下において特化して風速を確保し、風速の均一化ができる。

また、モーター３に補助送風ファン８により吹出された気流によって、モーター３の冷却がより効率よくできる。

（実施の形態４）
第４の実施の形態のファンフィルターユニットは、図４に示すように、サポート７に下方向あるいは横方向に吹き出した空気をモーター３方向へ向ける送風ガイド９を設ける構造を有する。

上記構成において、補助送風ファン８からモーター３側へ吹出された気流は、送風ガイド９に沿って流れて、モーター３に吹き付けられる。

このため、モーターはより効率が良い冷却効果を有することができ、モーターの長寿命化をより促すことができる。

（実施の形態５）
第５の実施の形態のファンフィルターユニットは、図５に示すように、サポート７にメッシュ１０を取付け、補助送風ファン８の周囲を囲む構造を有する。

上記構成において、補助送風ファン８から吹出された気流は、メッシュ１０に吹き付けられる。メッシュ１０においては、整流されて、吹出風速分布の均一化がさらにできる。

また、メッシュ１０の材質として、ナイロン・ポリエステル等の合成繊維を使用することにより、有機溶剤などの薬液を含む雰囲気においてメッシュ１０の腐食が抑制される。

また、メッシュ１０の材質としてステンレス等の金属を使用することにより、破損しにくく耐久性が向上する。また、金属材料としたことにより、合成繊維から揮発成分の発生がなく、クリーンルームなどの用途に適したファンフィルターユニットが得られる。

（実施の形態６）
第６の実施の形態のファンフィルターユニットは、図６に示すようにサポート７に取付けられたメッシュ１０のモーター３側が、下流側に比べて穴径が大きく、より多くの気流がモーター３に流れる構造を持つ。

上記構成において、補助送風ファン８から吹出される気流をメッシュ１０を通して整流すると共に、モーター３には多くの気流を流して、冷却効果を高めることができ、モーターの長寿命化をより促すことができる。

風速分布の高精度な均一性を確保することによって、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とするスペースに、均一な風速分布を提供でき、同時にモーターの冷却効果により、温度分布も均一な分布を提供できる。

１吸込口
２ファン
３モーター
４ファンユニット
５チャンバー
６フィルタ
７サポート
８補助送風ファン
９送風ガイド
１０メッシュ

Claims

箱型状のチャンバーと、そのチャンバー上部に吸込部を有し、ターボ型のファンとモーターからなるファンユニットを、前記チャンバー内部に有し、このファンユニットの吹出側にフィルタを設けたファンフィルターユニットにおいて、
ファンとフィルタの間に補助送風ファンを少なくとも一つ備え、
前記チャンバー内では、前記補助送風ファンが、前記ターボ型のファンの周方向に吹き出された空気の一部を前記ファンユニットのモータ直下から前記フィルタ方向に吹き出すファンフィルターユニット。
前記補助送風ファンは、クロスフローファンであることを特徴とする請求項１記載のファンフィルターユニット。
前記ファンユニットは、吹出側をモーターを支えるブリッジ形状のサポートによってチャンバーに固定し、前記サポートのフィルタ側に、補助送風ファンを一つまたは複数備えたことを特徴とする請求項２記載のファンフィルターユニット。
前記ファンユニットは、吹出側をサポートによってチャンバーに固定し、前記サポートのフィルタ側に、モーターの直下を通り、補助送風ファンがサポートに沿う向きに、補助送風ファンを一つまたは複数備えたことを特徴とする請求項３記載のファンフィルターユニット。
前記ファンユニットは、吹出側をサポートによってチャンバーに固定し、前記サポートのフィルタ側に、モーター直下を通り、補助送風ファンがサポートに沿う向きと垂直な向きに、補助送風ファンを一つまたは複数備えたことを特徴とする請求項３記載のファンフィルターユニット。
前記ファンユニットは、前記補助送風ファンをモーター直下に位置するようにサポートに取付け、サポートに送風ガイドを一つまたは複数設けることを特徴とする請求項４または５記載のファンフィルターユニット。
前記補助送風ファンを囲い、周囲に補強材となる枠を設けたメッシュを備えた請求項１〜６いずれかに記載のファンフィルターユニット。
前記メッシュの目の粗さを部分的に変更させた請求項７記載のファンフィルターユニット。
前記メッシュの目の粗さは、モーターに面した部分を粗く設定した請求項８記載のファンフィルターユニット。