JP5016334B2 - Case for receiving solid-state imaging device and solid-state imaging device - Google Patents
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Description
本発明は、固体撮像素子収容用ケース及び固体撮像装置に関する。 The present invention relates to a case for housing a solid-state imaging device and a solid-state imaging device.
従来、樹脂製のケース内に固体撮像素子を収容した固体撮像装置が知られている。このような固体撮像装置は、例えば、下記特許文献1に記載されている。固体撮像装置からは複数のアウターリードが延びており、これらのアウターリードは配線基板上に固定される。
しかしながら、固体撮像装置を配線基板上に固定した場合、配線基板が熱膨張すると、アウターリードの末端部の位置が移動し、アウターリードを介してケースに応力がかかる。特に、ラインセンサ等のアスペクト比が高い固体撮像素子をケース内に固定し、ケースの長手方向両端部にそれぞれ複数のアウターリードを設けた場合、ケース長手方向に平行な外側向きにアウターリード末端部が移動すると、ケースが厚み方向に沿って撓み、このときの応力により、ケース内に固定された固体撮像素子が大きく反るという問題が生じる。 However, when the solid-state imaging device is fixed on the wiring board, when the wiring board is thermally expanded, the position of the end portion of the outer lead is moved, and stress is applied to the case via the outer lead. In particular, when a solid-state image sensor with a high aspect ratio, such as a line sensor, is fixed in the case and a plurality of outer leads are provided at both ends in the longitudinal direction of the case, the outer lead end portion is directed outwardly parallel to the case longitudinal direction. As the case moves, the case bends in the thickness direction, and the stress at this time causes a problem that the solid-state imaging device fixed in the case largely warps.
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、ケース内に生じる応力を低減可能な固体撮像素子収容用ケース及び固定撮像装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such a problem, and an object thereof is to provide a case for housing a solid-state imaging device and a fixed imaging device capable of reducing stress generated in the case.
上述の課題を解決するため、本発明に係る固体撮像素子収容用ケースは、凹部を有する樹脂製のケース本体と、凹部内からケース本体の側壁を介して外部に延びた複数のリードとを備え、個々のリードのアウターリード部は、アウターリード部の長手方向の中心線に対して非対称の屈曲部を有し、リードは、ケース本体の長手方向の両端部周辺部位にそれぞれ複数設けられ、前記両端部周辺部位における一方の端部側の複数の前記アウターリード部の形状と他方の端部側の複数の前記アウターリード部の形状は、ケース本体の長手方向の中心を通り、この長手方向に垂直な平面に対して、鏡対称であることを特徴とする。 In order to solve the above-described problems, a case for housing a solid-state imaging device according to the present invention includes a resin case main body having a recess and a plurality of leads extending from the inside of the recess through the side wall of the case main body. , the outer lead portions of each lead has a bent portion of the asymmetric with respect to the longitudinal center line of the outer lead portion, the lead, each provided in plurality in the longitudinal direction of the both end portions near the site of the case body, wherein The shape of the plurality of outer lead portions on one end side and the shape of the plurality of outer lead portions on the other end side in the peripheral portion of both ends pass through the center in the longitudinal direction of the case body, and in this longitudinal direction It is characterized by mirror symmetry with respect to a vertical plane.
さらに、固体撮像素子収容用ケースは、樹脂製のケース本体の凹部の底面上に、固体撮像素子の設置用として設けられたアイランド(ダイパッド)を更に備えることが好ましい。該アイランドは固体撮像素子の稼動時に発生する熱を、外部に放熱する用途で好適に用いることができる。 Furthermore, it is preferable that the case for housing the solid-state imaging device further includes an island (die pad) provided for installing the solid-state imaging device on the bottom surface of the concave portion of the resin case body. The island can be suitably used for the purpose of radiating heat generated during operation of the solid-state imaging device to the outside.
アウターリード部が中心線に対して非対称の屈曲部を有するため、アウターリード部の末端部が移動すると、この屈曲部に応力が集中して若干曲がる。したがって、アウターリード部が接続されたケース本体への応力の伝達は緩和され、ケース内に生じる応力を低減することができる。導電性アイランド上には固体撮像素子が固定されるが、ケース内の応力が低減されるため、固体撮像素子への応力も低減される。 Since the outer lead portion has a bent portion that is asymmetric with respect to the center line, when the end portion of the outer lead portion moves, the stress concentrates on the bent portion and is bent slightly. Therefore, the transmission of stress to the case main body to which the outer lead portion is connected is relaxed, and the stress generated in the case can be reduced. The solid-state image sensor is fixed on the conductive island, but the stress on the solid-state image sensor is also reduced because the stress in the case is reduced.
また、この屈曲部は、中心線の一方側に弧を描くように曲がった第1湾曲部と、第1湾曲部に連続し、中心線の他方側に弧を描くように曲がった第2湾曲部とを有することが好ましい。この場合、配線基板の熱膨張時にアウターリード部の末端部が一方向に移動することによって一方の湾曲部に応力がかかるのと同様に、配線基板の熱収縮時にアウターリード部の末端部が逆方向に移動することによって他方の湾曲部に応力がかかるため、幅広い温度範囲において均一性の高い応力緩和を行うことができる。 The bent portion includes a first curved portion that is bent so as to draw an arc on one side of the center line, and a second curved portion that is continuous to the first curved portion and bent so as to draw an arc on the other side of the center line. Part. In this case, the end portion of the outer lead portion is reversed when the wiring board is thermally contracted, just as the end portion of the outer lead portion moves in one direction during the thermal expansion of the wiring substrate and stress is applied to one curved portion. Since stress is applied to the other curved portion by moving in the direction, stress relaxation with high uniformity can be performed in a wide temperature range.
また、第1湾曲部と第2湾曲部とは、上記中心線上の1点に対して点対称の関係を有することが好ましい。この場合、中心線上の1点の回りで均等に応力が緩和される傾向があるため、均一性の高い応力緩和を行うことができる。 Moreover, it is preferable that a 1st bending part and a 2nd bending part have a point-symmetrical relationship with respect to one point on the said centerline. In this case, since the stress tends to be evenly relieved around one point on the center line, highly uniform stress relaxation can be performed.
また、上記屈曲部は、中心線の一方側に直線的に突出した第1直線部と、第1直線部に連続し、中心線側に折り返すように直線的に延びた第2直線部とを有することもできる。この場合、第1直線部と第2直線部との接続部に応力がかかり、応力緩和を行うことができる。 The bent portion includes a first straight portion projecting linearly on one side of the center line, and a second straight portion continuing to the first straight portion and extending linearly so as to be folded back to the center line side. Can also have. In this case, stress is applied to the connecting portion between the first straight portion and the second straight portion, and stress relaxation can be performed.
また、上述の屈曲部の幅は、アウターリード部の末端部の幅よりも狭いことが好ましい。この場合、屈曲部が細いため、応力が集中して曲がり易くなる。アウターリード部の先端から10%以内を末端部とすると、このアウターリード部の末端部の最大幅よりも屈曲部の幅が狭いことが好ましい。 Moreover, it is preferable that the width | variety of the above-mentioned bending part is narrower than the width | variety of the terminal part of an outer lead part. In this case, since the bent part is thin, the stress concentrates and it is easy to bend. When the end portion is within 10% from the tip of the outer lead portion, the width of the bent portion is preferably narrower than the maximum width of the end portion of the outer lead portion.
アウターリード部は、引張強度が390N/mm2以上の材料からなることが好ましい。すなわち、アウターリード部がこのような材料からなる場合、アウターリード部の末端部の移動に対して、アウターリード部、特に屈曲部が柔軟に変形し、また、末端部の位置が元に戻ると、その形状が柔軟に復元するものであり、十分な弾性変形を行うことができる。 The outer lead portion is preferably made of a material having a tensile strength of 390 N / mm 2 or more. That is, when the outer lead portion is made of such a material, the outer lead portion, particularly the bent portion, is flexibly deformed with respect to the movement of the end portion of the outer lead portion, and the position of the end portion returns to the original position. The shape can be flexibly restored and sufficient elastic deformation can be performed.
このような材料は、銅合金を含むものであることが好適である。銅合金を含むと、高い導電性を以ってリードとして十分に機能すると共に、十分な弾性も有する。銅合金は、リン青銅、黄銅、洋白及びベリリウム銅からなる合金群から選択されることが好ましい。これらの合金は、高い引張強度とバネ性を有するため、十分な弾性も有する。 Such a material preferably includes a copper alloy. When the copper alloy is included, it functions sufficiently as a lead with high conductivity and has sufficient elasticity. The copper alloy is preferably selected from the alloy group consisting of phosphor bronze, brass, white and beryllium copper. Since these alloys have high tensile strength and spring properties, they also have sufficient elasticity.
また、アウターリード部は、ケース本体の長手方向に垂直な幅方向に延びた水平部と、水平部の末端からケース本体の厚み方向に屈曲し屈曲部に連続する肩部とを有することが好ましい。アウターリード部が水平部及び肩部を有する場合、屈曲部における応力がケース本体に伝達しにくくなり、ケース本体の反りを抑制することができる。本発明に係る固体撮像装置は、上述の固体撮像素子収容用ケースと、固体撮像素子収容用ケースの凹部内に固定された固体撮像素子とを備えており、ケースに発生する反り量を劇的に低減できることから、素子の誤作動を抑制することが可能となる。 The outer lead part preferably has a horizontal part extending in the width direction perpendicular to the longitudinal direction of the case body and a shoulder part bent from the end of the horizontal part in the thickness direction of the case body and continuing to the bent part. . When the outer lead part has a horizontal part and a shoulder part, it becomes difficult for stress in the bent part to be transmitted to the case body, and warping of the case body can be suppressed. A solid-state imaging device according to the present invention includes the above-described solid-state imaging element accommodation case and a solid-state imaging element fixed in a recess of the solid-state imaging element accommodation case, and dramatically reduces the amount of warpage generated in the case. Therefore, it is possible to suppress malfunction of the element.
本発明の固体撮像素子収容用ケースによれば、ケース内に生じる応力を低減することができ、したがって、内部に設置される固体撮像素子の反りを抑制し、これに起因する固体撮像素子の特性劣化を抑制することができる。 According to the case for housing a solid-state imaging device of the present invention, it is possible to reduce the stress generated in the case, and thus suppress the warpage of the solid-state imaging device installed therein, and the characteristics of the solid-state imaging device resulting therefrom Deterioration can be suppressed.
以下、実施の形態に係る固体撮像素子収容用ケースについて説明する。なお、同一要素には同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。 Hereinafter, the case for housing a solid-state imaging device according to the embodiment will be described. Note that the same reference numerals are used for the same elements, and redundant description is omitted.
図1は、第1の実施形態に係る固体撮像素子収容用ケース1を備えた固体撮像装置10の分解斜視図である。図2は、図1に示した固体撮像装置10のII−II矢印線断面図である。
FIG. 1 is an exploded perspective view of a solid-
固体撮像装置10は、配線基板20上に固定されている。固体撮像素子収容用ケース1は、凹部1a1を有する樹脂製のケース本体1aを有している。ケース本体1aの凹部1a1の底面上には導電性アイランド(ダイパッド)2aが設けられており、導電性アイランド2a上には固体撮像素子3が固定されている。固体撮像素子3は、ラインセンサ等のアスペクト比が高いものである。凹部1a1内からケース本体1aの側壁1a2を介して外部にはリード2bが延びている。リード2bは、アウターリード部2b1及びインナーリード部2b2からなる。固体撮像素子3は、ボンディングワイヤ5を介して、インナーリード部2b2に電気的に接続されている。
The solid-
ケース本体1aの凹部(開口)1a1は、透明板4によって封止されており、透明板4を介して入射した像は、固体撮像素子3に入射し、固体撮像素子3で光電変換された像の画像信号は、ボンディングワイヤ5、インナーリード部2b2、及びアウターリード部2b1を順次介して配線基板20に伝達される。
The recess (opening) 1a 1 of the case
ケース本体1aは長手方向と短手方向のアスペクト比が3以上の長尺形状を有している。リードフレーム2の裏面側に設けられる裏面金型の内部空間は、リードフレーム2から離れるに従って、ケース本体1aの長手方向に垂直な断面における幅が徐々に狭くなっており、成形樹脂を容易に裏面金型から抜くことができる。固体撮像素子3も、長手方向と短手方向のアスペクト比が3以上の長尺形状を有している。このようにアスペクト比が3以上であると、本発明による反り量の低減が効果的に発現され、アスペクト比がより高くなるに従って顕著となる。ケース本体1aの長手方向に沿った側壁1a2には、複数の凹溝1a3(肉盗み部)がケース本体1aの長手方向に沿って形成されていると好ましい。このように、肉盗み部を有すると、ケース本体1aの軽量化の観点で好ましい。また、このような肉盗み部形成用の金型を用いると、樹脂成形時における樹脂の流動性を確保することができるという利点もある。
The
アイランド2aの幅方向(Y軸)両端の側面には、ケース本体1aの長手方向(X軸)に沿って延び、凹部1a1の底面からZ軸方向に立設した一対の突起(突堤部)1a5が接触しており、アイランド2aの幅方向の移動を規制している。突起1a5のインナーリード部側の側面と、インナーリード部2b2のアイランド側の端面とは、これらの間に介在する溝1a6の一側面及び他側面の一部をそれぞれ構成している。
A pair of protrusions (projection portions) that extend along the longitudinal direction (X axis) of the
ケース本体1aは、樹脂の射出成形によって形成されるが、この場合、リードフレーム2(図3参照)の表面側及び裏面側に金型を配置して、表面金型と裏面金型との間に形成される空間内に樹脂を注入する。ケース本体1aにおけるインナーリード部2b2の直下には、ケース本体1aの外底面からインナーリード部2b2の裏面に到達する凹溝1a4がケース本体1aの長手方向に沿って設けられている。この凹溝1a4は、樹脂成型を行う際にインナーリード部2b2を裏面側から金型で押さえた跡である。
The
ケース本体1aは、その長手方向(X軸)に沿った一対の補強リブ1a7を有している。換言すれば、一対の補強リブ1a7間に裏面溝1a8が形成されている。
The case
リード2bのアウターリード部2b1は、屈曲部2b10を有している。リード2bは、ケース本体1aの長手方向の両端部周辺部位にそれぞれ複数設けられている。
図3は、上述のケース1となるリードフレーム2の平面図である。
FIG. 3 is a plan view of the
一対のアイランド2aは、ケース本体1aの両端部にそれぞれ設けられている。この分割された一対のアイランド2aは、一体化されていてもよい。アイランド2aの幅方向両端からは、幅方向アイランド押さえ部2a2がケース本体1aの幅方向に沿って連続して一体的に延びており、側壁1a2の内部に到達している。また、アイランド2aのケース本体1aの長手方向両端からは、長手方向アイランド押さえ部2a3がケース本体1aの長手方向に沿って連続して一体的に延びており、ケース本体1aの短手方向(Y軸)に沿って延びた側壁1a9(図1参照)の内部に到達している。
The pair of
リードフレーム2は、外枠2cを備えており、外枠2cの内側から複数のアウターリード部2b1、長手方向アイランド押さえ部2a3が内側に向けて延びている。樹脂成形後、外枠2cからアウターリード部2b1、長手方向アイランド押さえ部2a3を切断して切り離し、アウターリード部2b1をケース本体1aの厚み方向に沿って折り曲げることで、図1に示したケース1が完成する。
The
図4は、図3に示したアウターリード部2b1の1つの平面図である。
4 is a plan view of one of the
アウターリード部2b1は屈曲部2b10を有している。屈曲部2b10は、アウターリード部2b1の長手方向の中心線Z0に対して非対称である。このように、アウターリード部2b1が中心線Z0に対して非対称の屈曲部2b10を有するため、配線基板20(図1参照)の熱膨張に伴って、アウターリード部2b1の末端部Aがケース本体1aの長手方向(X軸方向)に沿って移動すると、この屈曲部2b10に応力が集中して若干曲がる。したがって、アウターリード部2b1が接続されたケース本体1aへの応力の伝達は緩和され、ケース内に生じる応力を低減することができる。
The
また、屈曲部2b10の幅W1(=0.3mm)は、アウターリード部2b1の末端部Aの幅W2(=0.46mm)よりも狭く、屈曲部2b10が細いため、応力が集中して曲がり易くなる。
The width W1 of the bent portion 2b 10 (= 0.3 mm), the
図1を再び参照すると、ケース本体1aの長手方向Xに沿って配線基板20が熱膨張すると、X軸の正方向側に位置するアウターリード部2b1の末端部Aに、X軸の正方向に沿った力Fs+が働き、X軸の負方向側に位置するアウターリード部2b1の末端部Aに、X軸の負方向に沿った力Fs−が働く。この場合、固体撮像素子3のX方向中心位置はZ軸の負方向に撓もうとするが、屈曲部2b10が弾性変形することによって、力Fs+,Fs−のケース本体1aへの伝達が抑制される。なお、屈曲部2b10には、屈曲部2b10から末端部A方向に引っ張る力もかかる。
Referring again to FIG. 1, when the
図4において、屈曲部2b10は、中心線Z0の一方側に弧を描くように曲がった第1湾曲部2b11と、第1湾曲部2b11に連続し、中心線Z0の他方側に弧を描くように曲がった第2湾曲部2b12とを有している。この場合、配線基板20の熱膨張時にアウターリード部2b1の末端部Aが一方向に移動することによって一方の湾曲部(例えば2b11)に応力がかかるのと同様に、配線基板20の熱収縮時にアウターリード部2b1の末端部Aが逆方向に移動することによって他方の湾曲部(例えば2b12)に応力がかかるため、幅広い温度範囲において均一性の高い応力緩和を行うことができる。
In FIG. 4, the
また、第1湾曲部2b11と第2湾曲部2b12とは、中心線Z0上の1点Bに対して点対称の関係を有する。この場合、中心線上の1点Bの回りで均等に応力が緩和される傾向があるため、均一性の高い応力緩和を行うことができる。また、上述の引っ張り力に対しても中心線Z0に対してアウターリード部2b1が非対称の変形をしにくいため、ケース本体1aへの応力伝達がさらに緩和される。また、アウターリード部2b1は、その基端部と屈曲部2b10との間に、先端に向かうに従って細くなったテーパ部2b13を有している。
Further, the first bending portion 2b 11 and the second bending portion 2b 12, have a relationship of point symmetry with respect to a point B on the center line Z 0. In this case, since the stress tends to be evenly relieved around one point B on the center line, highly uniform stress relaxation can be performed. Further, the
第1湾曲部2b11の内側の弧の中心点B1よりも中心点B側の領域において、この弧の接線とX軸との成す角の最小値θ1、この弧の中心点B1よりもアウターリード部2b1の基端部(テーパ部2b13)側の領域において、この弧の接線とX軸との成す角の最小値θ2、この領域において、第1湾曲部2b11の外側の弧の接線とX軸との成す角の最小値θ3は、それぞれ、θ1=15度、θ2=10度、θ3=20度である。これらの角度は±20%の誤差を含んでいてもよい。
In the inner region of the center point B side from the center point B1 of the arc of the first
第1湾曲部2b11の外側の弧からアウターリード部2b1の基端部に連続する弧の曲率半径R1、第1湾曲部2b11の内側の弧からアウターリード部2b1の基端部に連続する弧の曲率半径R2、第1湾曲部2b11の内側の弧の曲率半径R3、第1湾曲部2b11の外側の弧の曲率半径R4は、それぞれ、R1=0.05mm、R2=0.3mm、R3=0.4mm、R4=0.7mmである。これらの曲率半径は±20%の誤差を含んでいてもよい。
The radius of curvature R1 of the arc which is continuous from the outside of the arc to the proximal end of the
なお、第2湾曲部2b12の形状は、末端部に連続する部分の曲率半径R1、R2が若干異なる点を除いて、中心点Bに対して第1湾曲部2b11と点対称であり、上述の説明において基端部を末端部と読みかえる。
The shape of the second
また、アウターリード部2b1の形状は、ケース本体1aの長手方向の中心を通り、この長手方向に垂直な平面(YZ平面)に対して、鏡対称であり、応力緩和の対称性を達成している。
Further, the shape of the
図5は、第2の実施形態に係る固体撮像素子収容用ケース1を備えた固体撮像装置10の分解斜視図である。図6は、図5に示した固体撮像装置10のVI−VI矢印線断面図である。
FIG. 5 is an exploded perspective view of the solid-
この固体撮像装置10は、アウターリード部2b1の形状のみが、図1に示したものと異なり、他の構成は同一である。
The solid-
アウターリード部2b1は、ケース本体1aの長手方向Xに垂直な幅方向Yに延びた水平部2b14と、水平部2b14の末端からケース本体1aの厚み方向に屈曲し屈曲部2b10に連続する肩部2b8とを有している。アウターリード部2b1が水平部2b14及び肩部2b8を有する場合、屈曲部2b10における応力がケース本体1aに伝達しにくくなり、ケース本体1aの反りを抑制することができる。水平部2b14の長さは0.8mm〜8mmである。なお、この構成は、上述の湾曲部を有する屈曲部2b10を採用したアウターリード部2b1の構造にも適用することができる。
The
図7は、図5に示したケース1となるリードフレーム2の平面図である。
FIG. 7 is a plan view of the
リードフレーム2は、外枠2cを備えており、外枠2cの内側から複数のアウターリード部2b1、長手方向アイランド押さえ部2a3が内側に向けて延びているが、図3に示したものとアウターリード部2b1の形状のみが異なる。樹脂成形後、外枠2cからアウターリード部2b1、長手方向アイランド押さえ部2a3を切断して切り離し、アウターリード部2b1を、上述の水平部2b14(図6参照)の距離をとって、ケース本体1aの厚み方向に沿って折り曲げることで、図1に示したケース1が完成する。
The
図8は、図7に示したアウターリード部2b1の1つの平面図である。
FIG. 8 is a plan view of one of the
アウターリード部2b1の屈曲部2b10は、中心線Z0の一方側(図面右側)に直線的に突出した第1直線部2b15と、第1直線部2b15に連続し、中心線Z0側に折り返すように直線的に延びた第2直線部2b16とを有する。この場合、第1直線部2b15と第2直線部2b16との接続部Cに応力がかかり、応力緩和を行うことができる。
The
第1直線部2b15と第2直線部2b16との成す角度θ11は90度である。第1直線部2b15の屈曲内側の側面と直線部(テーパ部2b13)とを接続する部分の曲率半径R11、第1直線部2b15の屈曲外側の側面と直線部(テーパ部2b13)とを接続する部分の曲率半径R12、第1直線部2b15と第2直線部2b16との接続部Cの外側の弧の曲率半径R13、第1直線部2b15と第2直線部2b16との接続部Cの内側の弧の曲率半径R14は、それぞれ、R11=0.3mm、R12=0.1mm、R13=0.4mm、R14=0.1mmである。これらの角度及び曲率半径は±20%の誤差を含んでいても良い。なお、屈曲部2b10の幅W1(=0.3mm)は、アウターリード部2b1の末端部Aの幅W2(=0.46mm)よりも狭く、屈曲部2b10が細いため、応力が集中して曲がり易くなる。
The angle θ11 formed by the first
図9は、温度(℃)と固体撮像素子3の厚み方向の反り量(μm)との関係を示すグラフである。ここで、該反り量の測定方法を、図12を参照して説明する。固体撮像素子3を長手方向に四等分し、測定点XA、S1、S2、S3、XBの高さを各々測定する(図12(a)参照)。測定点XAと測定点XBを結んだ直線を基準線XPとする(図12(b)参照)。測定点S1、S2、S3と基準線XPとの差を変位量δ1、δ2、δ3とし、これらの中で最大となる変位量を固体撮像素子3の長手方向における反り量とする。固体撮像素子3が下に凸となるように撓めば変位量は負の値となり、固体撮像素子3が上に凸となるように撓めば変位量は正の値となる。上記反り量は、各測定点S1、S2、S3における変位量δ1、δ2、δ3の最大値とする。なお、室温における反り量を0μmとして、グラフにプロットしている。
FIG. 9 is a graph showing the relationship between the temperature (° C.) and the amount of warpage (μm) in the thickness direction of the solid-
温度の上昇に伴って、固体撮像素子3の長手方向中央位置は−Z方向に変位する。A*(水平部なし≒0mm)は従来の屈曲部が無いタイプのアウターリード部を採用した固体撮像装置のデータ、B*は図8に示したタイプのアウターリード部(水平部なし≒0mm)を採用した固体撮像装置のデータ、C*は図4に示したタイプのアウターリード部(水平部=1mm)を採用した固体撮像装置のデータである。
As the temperature rises, the center position in the longitudinal direction of the solid-
なお、リードフレームの材料は三菱伸銅株式会社製TAMAC194である。TAMAC194は、Cu:97(重量%)以上、Fe:2.1〜2.6(重量%)、P:0.015〜0.15(重量%)、Zn:0.05〜0.20(重量%)、Pb:0.03(重量%)以下を含む材料である。 The material of the lead frame is TAMAC194 manufactured by Mitsubishi Shindoh Co., Ltd. TAMAC194 is Cu: 97 (wt%) or more, Fe: 2.1-2.6 (wt%), P: 0.015-0.15 (wt%), Zn: 0.05-0.20 (wt%). % By weight) and Pb: 0.03 (% by weight) or less.
製品によってデータに若干のバラツキがあるが、屈曲部を有するアウターリード部を採用した場合、従来品よりも温度変化に対する変位の変化が小さくなっている。20℃〜100℃の温度範囲において、図8に示したタイプのアウターリード部を採用した場合、変位は15μm以下であり、図4に示したタイプのアウターリード部を採用した場合、変位は13μm以下であった。なお、同グラフでは、昇温中の変位量(μm)と降温中の変位量(μm)を示しており、いずれの状態のデータであるかはグラフ中に(昇温)及び(降温)で示されている。 Although there is some variation in data depending on the product, when the outer lead portion having a bent portion is adopted, the change in displacement with respect to the temperature change is smaller than in the conventional product. When the outer lead portion of the type shown in FIG. 8 is employed in the temperature range of 20 ° C. to 100 ° C., the displacement is 15 μm or less, and when the outer lead portion of the type shown in FIG. 4 is employed, the displacement is 13 μm. It was the following. The graph shows the amount of displacement during temperature rise (μm) and the amount of displacement during temperature drop (μm). The state of the data is (temperature rise) and (temperature drop) in the graph. It is shown.
図10は、温度(℃)と固体撮像素子3の厚み方向の反り量(μm)との関係を示すグラフである。なお、反り量の測定方法は上述の通りである。
FIG. 10 is a graph showing the relationship between the temperature (° C.) and the amount of warpage (μm) in the thickness direction of the solid-
E*は図8に示したタイプのアウターリード部(水平部(=1mm)有り)を採用した固体撮像装置のデータ、B*は図8に示したタイプのアウターリード部(水平部なし≒0mm)を採用した固体撮像装置のデータを示す。 E * is the data of the solid-state imaging device adopting the outer lead portion of the type shown in FIG. 8 (with horizontal portion (= 1 mm)), B * is the outer lead portion of the type shown in FIG. 8 (no horizontal portion ≈ 0 mm) ) Shows data of a solid-state imaging device employing the above.
なお、リードフレームの材料は三菱伸銅株式会社製TAMAC194である。 The material of the lead frame is TAMAC194 manufactured by Mitsubishi Shindoh Co., Ltd.
製品によってデータに若干のバラツキがあるが、水平部(=1mm)を有するアウターリード部を採用した場合、これを採用しないものよりも、温度変化に対する変位の変化が小さくなっている。20℃〜100℃の温度範囲において、図6に示した水平部(=1mm)を有するアウターリード部を採用した場合、変位は12μm以下であった。なお、同グラフでは、昇温中の変位量(μm)と降温中の変位量(μm)を示しており、いずれの状態のデータであるかはグラフ中に(昇温)及び(降温)で示されている。 Although there is some variation in data depending on the product, when an outer lead portion having a horizontal portion (= 1 mm) is adopted, a change in displacement with respect to a temperature change is smaller than that in which the outer lead portion is not adopted. When the outer lead portion having the horizontal portion (= 1 mm) shown in FIG. 6 was employed in the temperature range of 20 ° C. to 100 ° C., the displacement was 12 μm or less. The graph shows the amount of displacement during temperature rise (μm) and the amount of displacement during temperature drop (μm). The state of the data is (temperature rise) and (temperature drop) in the graph. It is shown.
図13は、温度(℃)と固体撮像素子3の厚み方向の反り量(μm)との関係を示すグラフである。なお、反り量の測定方法は上述の通りである。
FIG. 13 is a graph showing the relationship between temperature (° C.) and the amount of warpage (μm) in the thickness direction of the solid-
F*は、リードフレーム材料として、清峰金属工業株式会社製の「C5210」(リン青銅)を用いた固体撮像装置のデータである。「C5210」は、Sn:7〜9(重量%)、P:0.03〜0.35(重量%)、Fe:0.10(重量%)以下、Pb:0.05(重量%)以下、Zn:0.20(重量%)以下、Cu+Sn+P:99.7(重量%)以上を含む材料である。 F * is data of a solid-state imaging device using “C5210” (phosphor bronze) manufactured by Kiyomine Metal Industry Co., Ltd. as a lead frame material. "C5210" is Sn: 7-9 (wt%), P: 0.03-0.35 (wt%), Fe: 0.10 (wt%) or less, Pb: 0.05 (wt%) or less Zn: 0.20 (wt%) or less, Cu + Sn + P: 99.7 (wt%) or more.
G*は、リードフレーム材料として、日本ガイシ製の「7合金」(ベリリウム銅)を用いた固体撮像装置のデータである。「7合金」は、Be:0.2〜0.4(重量%)、Ni+Co:1.8〜2.5(重量%)、Al:0.6(重量%)以下、Cu+Be+Ni+Co+Al:99.0(重量%)以上を含む材料である。 G * is data of a solid-state imaging device using “7 alloy” (beryllium copper) manufactured by NGK as a lead frame material. “7 alloy” is: Be: 0.2 to 0.4 (wt%), Ni + Co: 1.8 to 2.5 (wt%), Al: 0.6 (wt%) or less, Cu + Be + Ni + Co + Al: 99.0 It is a material containing (% by weight) or more.
なお、F*及びG*は共に、図8に示したタイプのアウターリード部において、R11=0.8mm、R12=0.5mm、R13=0.8mm、R14=0.5mmと変更した以外は、図8と同一形状のアウターリード部(水平部=1mm)を採用した。 Note that both F * and G * are changed to R11 = 0.8 mm, R12 = 0.5 mm, R13 = 0.8 mm, and R14 = 0.5 mm in the outer lead portion of the type shown in FIG. The outer lead part (horizontal part = 1 mm) having the same shape as in FIG. 8 was adopted.
屈曲部を有するアウターリード部を採用した場合、従来品よりも温度変化に対する変位の変化が小さくなっている。20℃〜100℃の温度範囲において、リードフレーム材料としてリン青銅を用いた場合、変位は8μm以下であり、リードフレーム材料としてベリリウム銅を用いた場合は、変位は13μm以下であった。上述の各原料は±10%の誤差を含むものとしてもよい。 When the outer lead portion having a bent portion is employed, the change in displacement with respect to the temperature change is smaller than that of the conventional product. In the temperature range of 20 ° C. to 100 ° C., when phosphor bronze was used as the lead frame material, the displacement was 8 μm or less, and when beryllium copper was used as the lead frame material, the displacement was 13 μm or less. Each raw material described above may include an error of ± 10%.
次に、材料について説明する。 Next, materials will be described.
上述のアウターリード部2b1は、引張強度が390N/mm2以上の材料からなることが好ましい。アウターリード部2b1がこのような材料からなる場合、アウターリード部2b1の末端部Aの移動に対して、アウターリード部、特に屈曲部が柔軟に変形し、また、末端部の位置が元に戻ると、その形状が柔軟に復元するものであり、十分な弾性変形を行うことができる。
The aforementioned
このような材料としては銅合金を含むものであることが好適である。銅合金を含むと、高い導電性を以ってリードとして十分に機能すると共に、十分な弾性も有する。 Such a material preferably contains a copper alloy. When the copper alloy is included, it functions sufficiently as a lead with high conductivity and has sufficient elasticity.
銅合金は、リン青銅(銅を主成分として、すず3.5〜9.0%、りん0.03〜0.35%を含む合金)、黄銅(銅を主成分(59.0〜71.5%)とする亜鉛との合金)、洋白(銅54.0〜75.0%、ニッケル5.0%以上、マンガン0〜0.50%、残り亜鉛からなる合金)、ベリリウム銅(銅にベリリウム0.2〜2.2%と少量のコバルト及びニッケルを添加した析出硬化形の合金)などが好適であり、これらを採用することができる。これらの合金は高い引張強度と弾性を有する。 Copper alloys are phosphor bronze (alloy containing 3.5 to 9.0% tin and 0.03 to 0.35% phosphorus), brass (main component (59.0 to 71. 5%)). 5%), white (copper 54.0-75.0%, nickel 5.0% or more, manganese 0-0.50%, alloy consisting of remaining zinc), beryllium copper (copper) (Precipitation hardening type alloy in which beryllium 0.2 to 2.2% and a small amount of cobalt and nickel are added) is suitable, and these can be employed. These alloys have high tensile strength and elasticity.
また、ケース本体1aを構成する樹脂としては熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂が挙げられる。このような熱硬化性樹脂として、フェノール樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、ジアリルフタレート樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリイミド樹脂および不飽和ポリエステル樹脂等が例示でき、フェノール樹脂、エポキシ樹脂が好ましく使用される。また熱可塑性樹脂としては、ポリスチレン樹脂、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、フッ素樹脂、ポリフェニレンスルフィド樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリエーテルケトン樹脂、液晶性ポリマー、ポリアミドイミド樹脂、ポリイミド樹脂等が例示でき、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリフェニレンスルフィド樹脂、液晶性ポリマーが好ましく使用され、流動性、耐熱性、剛性に優れているという観点からは液晶性ポリマーがもっとも好ましく使用される。これらの樹脂は単独で用いてもポリマーアロイとして複数を同時に用いてもよい。
Examples of the resin constituting the
また、この樹脂には、少なくとも一種の以下の充填材が充填されていることが好ましい。充填剤としては、ガラス繊維(ミルドガラスファイバー、チョップドガラスファイバーなど)、ガラスビーズ、中空ガラス球、ガラス粉末、マイカ、タルク、クレー、シリカ、アルミナ、チタン酸カリウム、ウォラストナイト、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、硫酸ソーダ、硫酸カルシウム、硫酸バリウム、亜硫酸カルシウム、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、水酸化カルシウム、珪酸カルシウム、けい砂、けい石、石英、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化鉄、グラファイト、モリブデン、アスベスト、シリカアルミナ繊維、アルミナ繊維、石膏繊維、炭素繊維、カーボンブラック、ホワイトカーボン、珪藻土、ベントナイト、セリサイト、シラス、黒鉛などの無機フィラー、チタン酸カリウムウィスカ、アルミナウィスカ、ホウ酸アルミニウムウィスカ、炭化珪素ウィスカ、窒化珪素ウィスカなどの金属ウィスカまたは非金属ウィスカ類などを例示することができる。 The resin is preferably filled with at least one of the following fillers. Fillers include glass fiber (milled glass fiber, chopped glass fiber, etc.), glass beads, hollow glass sphere, glass powder, mica, talc, clay, silica, alumina, potassium titanate, wollastonite, calcium carbonate, carbonic acid Magnesium, sodium sulfate, calcium sulfate, barium sulfate, calcium sulfite, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, calcium hydroxide, calcium silicate, silica sand, silica, quartz, titanium oxide, zinc oxide, iron oxide, graphite, molybdenum, Asbestos, silica alumina fiber, alumina fiber, gypsum fiber, carbon fiber, carbon black, white carbon, diatomaceous earth, bentonite, sericite, shirasu, graphite and other inorganic fillers, potassium titanate whisker, alumina whisker, boro Aluminum whisker, silicon carbide whisker, and the like can be exemplified metal whiskers or nonmetal whiskers such as silicon nitride whiskers.
次に、アイランドの形状の変形例について若干の説明をしておく。 Next, some modifications of the island shape will be described.
図11は、アイランド2aの形状のみを図3又は図7のものから代えた固体撮像装置の部分斜視図である。上述の例では、アイランド2aは長手方向両端に一対あり、これらは別体であったが、本例では、アイランド2aは一体である。このアイランド2aからは、ケース本体1aの長手方向に沿って距離X0だけ離間した一対の幅方向アイランド押さえ部2a2が幅方向に沿って延びている。すなわち、アイランド2aの幅方向両端からは、幅方向アイランド押さえ部2a2がケース本体1aの幅方向に沿って連続して一体的に延びており、側壁1a2の内部に到達している。
FIG. 11 is a partial perspective view of a solid-state imaging device in which only the shape of the
この離間距離X0の中央位置Jは、ケース本体1aの長手方向の中央位置に一致する。アイランド2aは、中央位置Jの長手方向両側に、一対のスリット(切り欠き部)2a4を有している。一方のスリット2a4は幅方向の一端から他端に向けて延びており、他方のスリット2a4は幅方向の他端から一端に向けて延びている。各スリット2a4の長さは、アイランド2aの幅の1/2以上6/7以下である。
The center J of the distance X 0 corresponds to the longitudinal center position of the
本例では、一方の幅方向アイランド押さえ部2a2の中心線から中央位置Jまでの距離X1は、他方の幅方向アイランド押さえ部2a2の中心線から中央位置Jまでの距離X2に等しい。スリット2a4の内部には樹脂が充填されておらず、周辺のアイランド2aが容易に変形することができる。換言すれば、スリット2a4の内部には気体が充填されている。また、スリット2a4の最深部は曲面で構成されており、変形時の応力集中による金属疲労を抑制している。
In this example, the distance X 1 from one of the center line in the width direction of the
以上、説明したように、上述の実施形態による固体撮像素子収容用ケース1によれば、アウターリード部2b1が屈曲部2b10を有するため、ケース内に生じる応力を低減することができる。
As described above, according to the solid-state imaging
1・・・固体撮像素子収容用ケース、1a・・・ケース本体、1a1・・・凹部、1a2・・・側壁、1a3・・・凹溝、1a4・・・凹溝、1a5・・・突起、1a6・・・溝、1a7・・・補強リブ、1a8・・・裏面溝、1a9・・・側壁、2・・・リードフレーム、2a・・・アイランド、2a2・・・幅方向アイランド押さえ部、2a3・・・長手方向アイランド押さえ部、2a4・・・スリット、2b・・・リード、2b1・・・アウターリード部、2b10・・・屈曲部、2b11・・・湾曲部、2b12・・・湾曲部、2b13・・・テーパ部、2b14・・・水平部、2b15・・・直線部、2b16・・・直線部、2b8・・・肩部、2b2・・・インナーリード部、2c・・・外枠、3・・・固体撮像素子、4・・・透明板、5・・・ボンディングワイヤ、10・・・固体撮像装置、20・・・配線基板、A・・・末端部、B・・・中心点、B1・・・中心点、C・・・接続部、Fs・・・力、J・・・中央位置、R1・・・曲率半径、R2・・・曲率半径、R3・・・曲率半径、R4・・・曲率半径、R11・・・曲率半径、R12・・・曲率半径、R13・・・曲率半径、R14・・・曲率半径、W1・・・幅、W2・・・幅、X・・・長手方向、X0・・・距離、Y・・・幅方向、Z0・・・中心線。
DESCRIPTION OF
Claims (11)
前記凹部内からケース本体の側壁を介して外部に延びた複数のリードと、を備え、
個々の前記リードのアウターリード部は、このアウターリード部の長手方向の中心線に対して非対称の屈曲部を有し、
前記リードは、前記ケース本体の長手方向の両端部周辺部位にそれぞれ複数設けられ、前記両端部周辺部位における一方の端部側の複数の前記アウターリード部の形状と他方の端部側の複数の前記アウターリード部の形状は、前記ケース本体の長手方向の中心を通り、この長手方向に垂直な平面に対して、鏡対称である、
ことを特徴とする固体撮像素子収容用ケース。 A resin case body having a recess;
A plurality of leads extending to the outside from the inside of the recess through the side wall of the case body,
The outer lead portion of each of the leads has an asymmetric bent portion with respect to the center line in the longitudinal direction of the outer lead portion,
A plurality of the leads are provided in each of the peripheral portions at both ends in the longitudinal direction of the case body, and a plurality of the outer lead portions on one end side in the peripheral portions at both ends and a plurality of leads on the other end side are provided. The shape of the outer lead portion is mirror-symmetric with respect to a plane that passes through the center of the case body in the longitudinal direction and is perpendicular to the longitudinal direction.
A case for housing a solid-state image pickup device.
前記中心線の一方側に弧を描くように曲がった第1湾曲部と、
前記第1湾曲部に連続し、前記中心線の他方側に弧を描くように曲がった第2湾曲部と、を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の固体撮像素子収容用ケース。 The bent portion is
A first bending portion bent to draw an arc on one side of the center line;
3. The solid-state imaging element housing case according to claim 1, further comprising: a second bending portion that is continuous with the first bending portion and is bent so as to draw an arc on the other side of the center line. .
前記中心線の一方側に直線的に突出した第1直線部と、
前記第1直線部に連続し、前記中心線側に折り返すように直線的に延びた第2直線部と、を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の固体撮像素子収容用ケース。 The bent portion is
A first straight portion protruding linearly on one side of the center line;
3. The solid-state image sensor housing case according to claim 1, further comprising: a second linear portion that is continuous with the first linear portion and extends linearly so as to be folded back toward the center line.
前記ケース本体の長手方向に垂直な幅方向に延びた水平部と、
前記水平部の末端から前記ケース本体の厚み方向に屈曲し前記屈曲部に連続する肩部と、
を有することを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の固体撮像素子収容用ケース。 The outer lead portion is
A horizontal portion extending in the width direction perpendicular to the longitudinal direction of the case body;
A shoulder portion bent in the thickness direction of the case body from the end of the horizontal portion and continuing to the bent portion;
The solid-state image sensor housing case according to claim 1, wherein the solid-state image sensor housing case is provided.
前記固体撮像素子収容用ケース内に設けられた固体撮像素子と、
を備えることを特徴とする固体撮像装置。
The solid-state image sensor housing case according to any one of claims 1 to 10,
A solid-state imaging device provided in the case for housing the solid-state imaging device;
A solid-state imaging device comprising:
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