JP6468792B2 - パターン補正量算出装置、パターン補正量算出方法、およびプログラム - Google Patents

Description

本発明は、マスクレイアウトなどのパターン図形における連続する２以上の各微小辺に対する適切な補正量を算出するパターン補正量算出装置等に関するものである。

従来、ＭＰＣ（Mask Process Correction、マスクプロセス補正）、ＯＰＣ（Optical Proximity Correction、光近接効果補正）などを行う装置が開発されている（非特許文献１、非特許文献２参照）。

"Calibre MPCpro"、［online］、メンター・グラフィックス・ジャパン株式会社、［２０１４年９月２４日検索］、インターネット［URL；http://www.mentorg.co.jp/products/ic-manufacturing/mask-process-correction/calibre-mpcpro.html］ "Calibre OPCpro"、［online］、メンター・グラフィックス・ジャパン株式会社、［２０１４年９月２４日検索］、インターネット［URL；http://www.mentorg.co.jp/products/ic-manufacturing/computational-lithography/calibre-opcpro.html］

従来の装置等では、レイアウトパターンやマスクパターンなどと呼ばれるパターン図形が、予め決められた条件を満たすほど小さい辺である微小辺が２以上連続する箇所を有する場合に、当該連続する２以上の各微小辺に対する適切な補正量を算出することができなかった。

本第一の発明のパターン補正量算出装置は、電子ビーム描画装置に描画させる図形であるパターン図形を示す情報であるパターン情報を受け付ける受付部と、パターン情報を用いて、パターン情報が示すパターン図形の輪郭線を構成する連続する２以上の辺の集合であり、予め決められた条件を満たすほど小さい辺である微小辺の集合である微小辺集合を取得する微小辺集合取得部と、微小辺集合が有する２以上の微小辺を近似する辺である仮想辺を取得する仮想辺取得部と、仮想辺に対する補正量である仮想辺補正量を算出する仮想辺補正量算出部と、仮想辺補正量を用いて、仮想辺に対応する微小辺集合が有する２以上の各微小辺に対する補正量である２以上の微小辺補正量を算出する微小辺補正量算出部と、２以上の微小辺補正量を出力する出力部とを備えるパターン補正量算出装置である。

このような構成により、連続する２以上の各微小辺に対する適切な補正量を算出することができる。

また、本第二の発明のパターン補正量算出装置は、第一の発明に対して、仮想辺取得部は、微小辺集合が有する２つの各端辺上の点を結ぶ線分を仮想辺として取得するパターン補正量算出装置である。

このような構成により、微小辺集合が有する２つの端辺上の点を結ぶ仮想辺を用いて、連続する２以上の各微小辺に対する適切な補正量を算出することができる。

また、本第三の発明のパターン補正量算出装置は、第一または第二の発明に対して、仮想辺取得部は、微小辺集合が、１以上の折返しを有する場合に、折返しに対応する１以上の各辺上の点と、微小辺集合が有する２つの各端辺上の点とを順に結ぶ２以上の線分を仮想辺として取得するパターン補正量算出装置である。

このような構成により、微小辺集合が折返しを有する場合でも、当該微小辺集合が有する連続する２以上の各微小辺に対する適切な補正量を算出することができる。

また、本第四の発明のパターン補正量算出装置は、第二または第三の発明に対して、端辺上の点は、端辺の端点であるパターン補正量算出装置である。

このような構成により、微小辺集合が有する２つの端辺の端点を結ぶ仮想辺を用いて、連続する２以上の各微小辺に対する適切な補正量を算出することができる。

また、本第五の発明のパターン補正量算出装置は、第三の発明に対して、折返しに対応する辺上の点は、折返しに対応する辺の中点であるパターン補正量算出装置である。

このような構成により、微小辺集合が折返しを有する場合でも、当該微小辺集合が有する連続する２以上の各微小辺に対する適切な補正量を算出することができる。

また、本第六の発明のパターン補正量算出装置は、第一から第五いずれか１つの発明に対して、微小辺補正量算出部は、仮想辺補正量と、仮想辺に対する微小辺集合が有する２以上の各微小辺の角度とを用いて、２以上の微小辺補正量を算出するパターン補正量算出装置である。

このような構成により、仮想辺補正量と、仮想辺に対する２以上の各微小辺集合の角度とを用いて、連続する２以上の各微小辺に対する適切な補正量を算出することができる。

また、本第七の発明のパターン補正量算出装置は、第六の発明に対して、微小辺補正量算出部は、三角関数を用いて、仮想辺補正量を、仮想辺に対する微小辺集合が有する２以上の各微小辺の角度の成分に分解することにより、２以上の微小辺補正量を算出するパターン補正量算出装置である。

このような構成により、三角関数を用いて、仮想辺補正量を、仮想辺に対する２以上の各微小辺集合の角度の成分に分解することにより、連続する２以上の各微小辺に対する適切な補正量を算出することができる。

また、本第八の発明のパターン補正量算出装置は、第一から第七いずれか１つの発明に対して、微小辺は、例えば、１００ナノメートル以下の長さの辺であるパターン補正量算出装置である。

このような構成により、例えば、１００ナノメートル以下の２以上の各微小辺に対する適切な補正量を算出することができる。

また、本第九の発明のパターン補正量算出装置は、第一から第八いずれか１つの発明に対して、パターン図形を構成する２以上の辺は、隣接する２つの辺が直角を構成する辺であるパターン補正量算出装置である。

このような構成により、直角を構成する２以上の辺の集合により構成されるパターン図形において、連続する２以上の各微小辺に対する適切な補正量を算出することができる。

本発明によるパターン補正量算出装置等によれば、連続する２以上の各微小辺に対する適切な補正量を算出することができる。

実施の形態１におけるパターン補正量算出装置１のブロック図 同折返しおよび折返辺の例を示す図 同微小辺補正量の算出の例を示す図 同パターン補正量算出装置１の全体動作ついて説明するフローチャート 同微小辺集合の取得処理ついて説明するフローチャート 同仮想辺の取得処理ついて説明するフローチャート 同パターン情報の例を示す図 同パターン図形の例を示す図 同微小辺集合情報の例を示す図 同微小辺集合の例を示す図 同仮想辺の例を示す図 同仮想辺情報の算出結果の例を示す図 同仮想辺補正量の算出結果の例を示す図 同微小辺補正量の算出結果の例を示す図 同微小辺集合の例を示す図 同仮想辺の例を示す図 同微小辺集合の例を示す図 同仮想辺の例を示す図 同パターン補正装置２のブロック図 同パターン描画装置３のブロック図 同コンピュータシステムの概観図 同コンピュータシステムのブロック図

以下、本発明によるパターン補正量算出装置等の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、実施の形態において同じ符号を付した構成要素は同様の動作を行うので、再度の説明を省略する場合がある。また、本実施の形態において説明する各情報の形式、内容などは、あくまで例示であり、各情報の持つ意味を示すことができれば、形式、内容などは問わない。

（実施の形態１）
本実施の形態において、パターン図形の輪郭線から、連続する２以上の微小辺の集合である微小辺集合を取得し、当該微小辺集合が有する２以上の各微小辺に対する適切な補正量を算出するパターン補正量算出装置１について説明する。なお、「適切な補正量」とは、微小辺以外の他の辺に対する補正量と同等の補正量、微小辺以外の他の辺に対する補正量との差が予め決められた条件を満たすほど小さい補正量、パターン図形の形状くずれを起こさない補正量、などである。

図１は、本実施の形態におけるパターン補正量算出装置１のブロック図である。パターン補正量算出装置１は、受付部１１、微小辺集合取得部１２、仮想辺取得部１３、仮想辺補正量算出部１４、微小辺補正量算出部１５、出力部１６を備える。

受付部１１は、パターン情報を受け付ける。受け付けとは、タッチパネルやキーボードなどの入力デバイスにより選択または入力された情報の取得、光ディスクや磁気ディスク、半導体メモリなどの記録媒体に格納されている情報の読み出し、有線もしくは無線の通信回線を介して送信された情報の受信などを含む概念である。

また、パターン情報とは、パターン図形を示す情報である。また、パターン図形とは、電子ビーム描画装置に描画させる図形である。パターン情報は、例えば、いわゆるレイアウトデータや、パターンデータなどと呼ばれるデータである。また、パターン情報のデータ形式は、問わない。パターン情報のデータ形式は、通常、いわゆるマスク設計データや、レイアウト設計データなどと呼ばれるデータ形式である。パターン情報の具体的なデータ形式は、例えば、ＧＤＳ−２や、ＯＡＳＩＳ、ＭＥＢＥＳなどである。なお、パターン情報は、例えば、１または２以上のパターン図形を示す。

また、パターン情報は、例えば、３以上の座標を有する情報である。当該座標は、パターン図形の頂点を示す情報である。当該頂点は、パターン図形の辺の端点でもある。つまり、パターン情報において隣り合う２つの座標は、通常、パターン図形の辺を示す情報であるとも言える。また、座標は、通常、ｘ座標とｙ座標の２つの数値からなる。また、当該数値は、通常、整数であるが、小数であってもよい。また、パターン情報は、例えば、３以上の座標対を有する情報である。座標対とは、座標の対であり、２つの座標が対応付いた情報である。また、当該座標対は、パターン図形の辺の端点を示す情報である。当該端点は、パターン図形の頂点でもある。また、当該座標対は、例えば、パターン図形の辺を示す情報であるとも言える。以上より、パターン図形は、例えば、３以上の頂点を有する図形である。また、パターン図形は、例えば、３以上の辺を有する図形である。

また、パターン情報には、通常、縮尺を示す情報が対応付いている。当該情報により、パターン情報が示すパターン図形の大きさ、パターン図形が有する辺の長さなどを算出することができる。

また、パターン図形において、隣接する２つの辺間の角度は、問わない。隣接するとは、例えば、一の辺が有する一の端点と、他の一の辺が有する一の端点とが共通していることである。また、当該角度は、通常、内角または劣角であるが、外角または優角であってもよい。また、当該角度は、直角（９０°）であることが好適である。言い換えると、パターン図形において、隣接する２つの辺は、直角を構成する辺であることが好適である。さらに言い換えると、パターン図形において、３以上の各頂点の角度は、例えば、直角であることが好適である。つまり、パターン図形は、例えば、４以上の頂点を有する図形および４以上の辺を有する図形であることが好適である。また、隣接する２つの辺間の角度が直角である場合、パターン図形が有する４以上の各辺は、例えば、水平方向または垂直方向の線分であることが好適である。また、パターン図形において、隣接する２つの辺間の角度は、例えば、４５°、１３５°、２２５°、３１５°などであってもよい。

また、パターン図形の辺は、パターン図形が有する辺、パターン図形の輪郭線を構成する辺、パターン図形の輪郭線が有する辺、などとも言える。また、パターン図形の頂点は、パターン図形が有する頂点、パターン図形の輪郭線を構成する頂点、パターン図形の輪郭線が有する頂点、などとも言える。

また、受付部１１における情報や指示などの入力手段は、メニュー画面によるものや、キーボードなど、何でもよい。受付部１１は、メニュー画面の制御ソフトウェアや、キーボード等の入力手段のデバイスドライバなどで実現され得る。

微小辺集合取得部１２は、パターン図形から、微小辺集合を取得する。当該パターン図形は、受付部１１が受け付けたパターン情報により示される。つまり、微小辺集合取得部１２は、パターン情報を用いて、当該パターン情報が示すパターン図形が有する微小辺集合を取得する。また、微小辺集合とは、連続する２以上の微小辺の集合である。言い換えると、微小辺集合が有する２以上の微小辺は、連続する。連続するとは、例えば、連続して隣接していることである。また、微小辺とは、予め決められた条件（以下、適宜、微小辺条件とする）を満たすほど小さい辺である。また、微小辺集合が有する微小辺は、微小辺集合を構成する辺である。また、微小辺集合は、通常、パターン図形の輪郭線の一部である。

例えば、パターン図形において連続する５つの辺を、辺Ａ、辺Ｂ、辺Ｃ、辺Ｄ、辺Ｅとする。また、例えば、当該５つの辺のうち、辺Ｂ、辺Ｃ、辺Ｄが微小辺であり、その他の辺が微小辺ではない辺（以下、適宜、非微小辺とする）であるとする。このような場合、辺Ｂ、辺Ｃ、辺Ｄは、微小辺集合である。また、当該５つの辺のうち、辺Ｂのみが微小辺であり、その他の辺が非微小辺であるとする。このような場合、当該辺Ｂは、単独の微小辺であり、微小辺集合ではない。

また、微小辺条件は、辺の長さに関する条件である。微小辺条件は、例えば、辺の長さが予め決められた閾値以下であることである。当該「以下」は、例えば、「未満」であってもよい。また、当該閾値は、問わない（任意である）。当該閾値は、例えば、１００ナノメートルである。

また、微小辺集合を取得するとは、微小辺集合を示す情報（以下、適宜、微小辺集合情報とする）を取得することである。微小辺集合情報は、例えば、３以上の座標を有する情報である。当該座標は、微小辺集合が有する頂点を示す情報である。つまり、微小辺集合は、３以上の頂点を有する。なお、当該３以上の頂点のうち、２つの頂点は、通常、微小辺集合の端点である。また、微小辺集合情報は、例えば、２以上の座標対を有する情報である。当該座標対は、微小辺集合が有する微小辺の端点を示す情報である。当該端点は、パターン図形の頂点でもある。また、当該座標対は、例えば、微小辺集合が有する微小辺を示す情報であるとも言える。つまり、微小辺集合は、例えば、２以上の微小辺を有する。

具体的に、微小辺集合取得部１２は、例えば、パターン情報を用いて、パターン図形が有する３以上の各辺に対して、順に、微小辺であるか否かを判断する。微小辺であるか否かを判断するとは、当該判断の対象となる辺の長さが、微小辺条件を満たすか否かを判断することである。そして、微小辺集合取得部１２は、当該辺の長さが微小辺条件を満たす場合、当該辺を微小辺であると判断する。また、微小辺集合取得部１２は、当該辺の長さが微小辺条件を満たさない場合、当該辺を非微小辺であると判断する。当該非微小辺であるとの判断は、微小辺ではないとの判断と同様である。そして、微小辺集合取得部１２は、例えば、２以上の辺に対して連続して微小辺であると判断した場合に、当該２以上の辺を取得する。辺を取得するとは、例えば、辺を示す情報を取得することである。また、微小辺集合取得部１２は、例えば、一の辺の取得ごとに、２つの座標を取得する。

例えば、パターン図形において連続する５つの辺を、辺Ａ、辺Ｂ、辺Ｃ、辺Ｄ、辺Ｅとする。また、例えば、当該５つの辺のうち、辺Ｂ、辺Ｃ、辺Ｄが微小辺であり、その他の辺が非微小辺であるとする。このような場合、微小辺集合取得部１２は、例えば、まず、辺Ａに対して、非微小辺であると判断する。次に、微小辺集合取得部１２は、辺Ｂに対して、微小辺であると判断する。次に、微小辺集合取得部１２は、辺Ｂに続き、辺Ｃに対して、微小辺であると判断する。次に、微小辺集合取得部１２は、辺Ｃに続き、辺Ｄに対して、微小辺であると判断する。次に、微小辺集合取得部１２は、辺Ｅに対して、非微小辺であると判断する。ここで、微小辺集合取得部１２は、３回連続で微小辺であると判断したため、当該微小辺であると判断した辺Ｂ、辺Ｃ、辺Ｄを取得する。なお、当該連続した微小辺の取得を、以下、適宜、一連の微小辺の取得とする。

また、例えば、上記５つの辺のうち、辺Ｂのみが微小辺であり、その他の辺が非微小辺であるとする。このような場合、例えば、まず、辺Ａに対して、非微小辺であると判断する。次に、微小辺集合取得部１２は、辺Ｂに対して、微小辺であると判断する。次に、微小辺集合取得部１２は、辺Ｃに対して、非微小辺であると判断する。ここで、微小辺集合取得部１２は、２回以上連続して微小辺であると判断していないため、辺を取得しない。次に、微小辺集合取得部１２は、辺Ｃに続き、辺Ｄに対して、非微小辺であると判断する。次に、微小辺集合取得部１２は、辺Ｄに続き、辺Ｅに対して、非微小辺であると判断する。

なお、微小辺集合取得部１２は、例えば、一連の微小辺の取得ごとに、当該一連の微小辺の取得により取得された微小辺集合に、当該微小辺集合を識別する情報を付与してもよい。また、微小辺集合取得部１２は、通常、０または１以上の微小辺集合を取得する。また、微小辺集合取得部１２は、取得した一の微小辺集合情報において、重複する座標を削除してもよい。

仮想辺取得部１３は、１以上の各微小辺集合に対して、１以上の仮想辺を取得する。当該微小辺集合は、微小辺集合取得部１２が取得した微小辺集合情報により示される。つまり、仮想辺取得部１３は、１以上の微小辺集合情報を用いて、当該１以上の各微小辺集合情報が示す微小辺集合に対する仮想辺を取得する。また、仮想辺とは、例えば、一の微小辺集合に対して仮想的に配置される辺である。また、仮想辺は、例えば、一の微小辺集合に代わる辺、一の微小辺集合を置き換える辺、一の微小辺集合を１つの辺と見立てるための辺、微小辺集合が有する２以上の微小辺を近似する辺、微小辺集合が有する３以上の頂点を近似する辺、集合が有する２以上の微小辺上の点を端点とする線分などであるとも言える。

また、仮想辺を取得するとは、仮想辺を示す情報（以下、適宜、仮想辺情報とする）を取得することである。仮想辺情報は、例えば、２以上の座標を有する情報である。当該座標は、仮想辺上の点を示す情報である。また、仮想辺情報は、例えば、関数（数式）である。当該関数は、通常、一次関数である。また、仮想辺取得部１３は、１以上の各仮想辺を示す仮想辺情報を取得する。

また、以下、微小辺集合が、折返しを有さない場合と、折返しを有する場合とに分けて、仮想辺を取得する方法や手順などについて説明する。なお、折返しとは、例えば、いわゆるコの字の形状である。また、折返しは、例えば、パターン図形の輪郭線を構成する辺を、順に、一の方向（例えば、右回りまたは左回り）になぞっていくときに、進行方向が反転する箇所であるとも言える。また、折返しは、例えば、微小辺集合が有する微小辺を関数（数式）で表したときに、当該関数の傾きが反転する箇所であるとも言える。また、折返しは、通常、３つの辺から構成される。言い換えると、折返しは、通常、３つの辺を有する。また、以下、折返しに対応する辺（以下、適宜、折返辺とする）とは、いわゆるコの字の形状における中央の辺である。また、折返辺は、例えば、折返しが有する３つの辺の中央の辺であるとも言える。なお、パターン図形における微小辺集合、当該微小辺集合における折返し、当該折返しに対応する折返辺の例は、例えば、図２である。また、微小辺集合が折返しを有する場合、当該折返しの数は、１以上である。

（１）微小辺集合が折返しを有さない場合、仮想辺取得部１３は、例えば、微小辺集合が有する２つの各端辺上の点を結ぶ線分を、仮想辺として取得する。当該線分は、２つの各端辺上の点を端点とする線分であるとも言える。また、端辺とは、微小辺集合が有する２以上の微小辺のうちの端の辺である。また、端辺は、例えば、微小辺集合である２以上の微小辺の連続における最初と最後の辺であるとも言える。また、端辺上の点は、通常、端点である。当該端点は、微小辺集合において、他の微小辺の端点と共通しない端点である。つまり、微小辺集合が折返しを有さない場合、仮想辺取得部１３は、通常、微小辺集合の端点を結ぶ線分を、仮想辺として取得する。また、端辺上の点は、例えば、中点であってもよい。

例えば、一の微小辺集合が、辺Ａ、辺Ｂの２つの微小辺を有するとする。このような場合、端辺は、辺Ａと辺Ｂである。そして、仮想辺取得部１３は、辺Ａ上の一点と辺Ｂ上の一点とを結ぶ線分を、仮想辺として取得する。また、例えば、一の微小辺集合が、辺Ａ、辺Ｂ、辺Ｃの３つの微小辺を有するとする。また、当該一の微小辺集合において、当該３つの微小辺の接続の順序が、辺Ａ、辺Ｂ、辺Ｃの順であるとする。このような場合、端辺は、辺Ａと辺Ｃである。そして、仮想辺取得部１３は、辺Ａ上の一点と辺Ｃ上の一点とを結ぶ線分を、仮想辺として取得する。

（２）微小辺集合が１以上の折返しを有する場合、仮想辺取得部１３は、例えば、当該折返しに対応する１以上の各辺上の点と、微小辺集合が有する２つの各端辺上の点とを順に結ぶ線分を、仮想辺として取得する。順に結ぶとは、微小辺の接続の順序に従い結ぶことである。また、折返辺上の点は、通常、中点である。また、端辺上の点は、通常、端点である。当該端点は、微小辺集合において、他の微小辺の端点と共通しない端点である。つまり、微小辺集合が１以上の折返しを有する場合、仮想辺取得部１３は、通常、１以上の各折返辺の中点と、微小辺集合の端点とを順に結ぶ線分を、仮想辺として取得する。また、折返辺上の点は、例えば、端点であってもよい。また、端辺上の点は、例えば、中点であってもよい。

また、微小辺集合が１以上の折返しを有する場合、仮想辺取得部１３は、通常、「折返しの数＋１」の仮想辺を取得する。例えば、折返しが１つの場合、仮想辺取得部１３は、通常、２つの仮想辺を取得する。また、折返しが２つの場合、仮想辺取得部１３は、通常、３つの仮想辺を取得する。

例えば、一の微小辺集合が、辺Ａと辺Ｑを端辺とする辺Ａから辺Ｑまでの微小辺を順に有するとする。また、当該一の微小辺集合において、辺Ｋが折返辺であるとする。これは、つまりは、当該一の微小辺集合が１つの折返しを有することを意味する。このような場合、仮想辺取得部１３は、辺Ａ上の一点と、辺Ｋ上の一点とを結ぶ線分、および、当該辺Ｋ上の一点と、辺Ｑ上の一点とを結ぶ線分を、仮想辺として取得する。また、当該一の微小辺集合において、辺Ｆと辺Ｍが折返辺であるとする。これは、つまりは、当該一の微小辺集合が２つの折返しを有することを意味する。このような場合、仮想辺取得部１３は、辺Ａ上の一点と、辺Ｆ上の一点とを結ぶ線分、当該辺Ｆ上の一点と、辺Ｍ上の一点とを結ぶ線分、当該辺Ｍ上の一点と、辺Ｑ上の一点とを結ぶ線分を、仮想辺として取得する。

なお、２つの点を結ぶ線分（ここでは、仮想辺）を示す情報（ここでは、仮想辺情報）を取得する方法や手順などは、公知であるので、詳細な説明を省略する。

仮想辺補正量算出部１４は、１以上の各仮想辺に対して、１つの仮想辺補正量を算出する。つまり、仮想辺補正量算出部１４は、１以上の仮想辺補正量を算出する。当該１以上の仮想辺は、仮想辺取得部１３が取得した仮想辺である。また、仮想辺補正量とは、例えば、パターン図形の補正において、パターン図形が有する微小辺集合を仮想辺で置き換えた場合における、当該仮想辺に対する補正量である。言い換えると、仮想辺補正量とは、パターン図形の補正において、パターン図形が有する微小辺集合が仮想辺であると想定した場合に当該仮想辺に対して適用される補正量である。また、補正量は、補正の量を示す情報である。

また、仮想辺補正量は、通常、仮想辺に対して垂直なベクトルの大きさおよび向きを示す情報である。当該大きさは、数値により示される。また、当該向きは、符号（プラス、マイナス）により示される。また、当該向き、および、符号の関係は、問わない。つまり、例えば、パターン図形の内側への向きをプラス（パターン図形の外側への向きをマイナス）としてもよい。また、例えば、パターン図形の外側への向きをプラス（パターン図形の内側への向きをマイナス）としてもよい。つまり、仮想辺補正量が示す向きは、仮想辺を、パターン図形の内側向きに補正するか、パターン図形の外側向きに補正するかを示す。

なお、ＭＰＣやＯＰＣなどにおいて、パターン図形が有する一の辺（ここでは、仮想辺）に対する補正量（ここでは、仮想辺補正量）を算出する方法や手順などは、公知であるので、詳細な説明を省略する。仮想辺補正量算出部１４は、通常、仮想辺の中点をいわゆる評価点とし、当該評価点における点拡がり関数の畳み込み積分などにより、仮想辺補正量を算出する。

微小辺補正量算出部１５は、２以上の各微小辺に対して、１つの微小辺補正量を算出する。微小辺補正量とは、パターン図形の補正において、微小辺集合であるとして取得された２以上の各微小辺に対する補正量である。つまり、微小辺補正量算出部１５は、２以上の微小辺補正量を算出する。また、微小辺補正量は、仮想辺補正量と同様に、通常、微小辺に対して垂直なベクトルの大きさおよび向きを示す情報である。なお、微小辺補正量が示す当該ベクトルの大きさおよび向きなどは、仮想辺補正量が示す大きさおよび向きなどと同様であるので、説明を省略する。

また、微小辺補正量を算出する対象となる２以上の微小辺は、微小辺集合が有する微小辺である。また、当該微小辺集合は、微小辺集合取得部１２が取得した１以上の微小辺集合である。つまり、微小辺補正量算出部１５は、微小辺集合取得部１２が取得した１以上の各微小辺集合に対し、２以上の微小辺補正量を算出する。

また、微小辺補正量算出部１５は、仮想辺補正量を用いて微小辺補正量を算出する。当該仮想辺補正量は、仮想辺補正量算出部１４が、１以上の各仮想辺に対して算出した仮想辺補正量である。また、当該１以上の各仮想辺は、仮想辺取得部１３が取得した仮想辺であり、微小辺集合取得部１２が取得した１以上の各微小辺集合に対応する仮想辺である。つまり、微小辺補正量算出部１５は、仮想辺補正量算出部１４が一の仮想辺に対して算出した仮想辺補正量を用いて、２以上の微小辺補正量を算出する。

また、微小辺補正量算出部１５は、通常、仮想辺補正量と、微小辺角度とを用いて、２以上の微小辺補正量を算出する。微小辺角度とは、仮想辺に対する微小辺の角度である。具体的に、微小辺補正量算出部１５は、例えば、微小辺補正量を算出するための算出式を予め保持している。当該算出式は、仮想辺補正量と微小辺角度とを代入する変数を有する。また、当該算出式は、通常、仮想辺補正量に対して、微小辺角度に基づく係数を乗算するような式である。そして、微小辺補正量算出部１５は、当該算出式に仮想辺補正量と微小辺角度とを代入し、微小辺補正量を算出する。

例えば、上記算出式は、三角関数を有する式である。例えば、一の微小辺集合に対応する仮想辺と、当該一の微小辺集合が有する一の微小辺との間の角度を、θとする。また、当該仮想辺に対する仮想辺補正量を、ｄとする。このような場合、当該算出式は、「ｄｃｏｓθ」である。当該算出式による微小辺補正量の算出の様子は、例えば、図３である。

また、上記算出式は、例えば、直角（９０°）に対する微小辺角度の割合に基づく係数を有する式である。例えば、上記と同様に、一の微小辺集合に対応する仮想辺と、当該一の微小辺集合が有する一の微小辺との間の角度を、θとする。また、上記と同様に、当該仮想辺に対する仮想辺補正量を、ｄとする。このような場合、当該算出式は、「ｄ｛１−（θ／９０）｝」である。また、当該算出式は、例えば、「ｄ（θ／９０）」であってもよい。

また、折返辺に対しては、通常、２本の仮想辺が対応する。従って、折返辺に対しては、通常、２つの微小辺補正量が算出される。この場合、微小辺補正量算出部１５は、折返辺に対して算出した２つの微小辺補正量の平均を、当該折返辺に対する微小辺補正量として算出する。当該平均は、通常、単純平均である。また、当該平均は、例えば、加重平均であってもよい。また、当該加重平均に用いる重みは、例えば、折返辺上の点である仮想辺の端点により分割される折返辺の長さの割合である。つまり、折返辺の長さが１０であるとする。また、仮想辺の端点により分割された折返辺の長さが、それぞれ、４と６であるとする。このような場合、微小辺補正量算出部１５は、「０．４」と「０．６」を加重平均の重みに用いる。

なお、例えば、仮想辺取得部１３は、取得した仮想辺を、微小辺集合取得部１２が取得した微小辺集合であり、仮想辺の取得に用いた微小辺集合に対応付ける。また、仮想辺補正量算出部１４は、例えば、取得した仮想辺補正量を、仮想辺取得部１３が取得した仮想辺であり、当該仮想辺補正量の取得に用いた仮想辺に対応付ける。これにより、微小辺集合と、仮想辺と、仮想辺補正量との対応情報が構成される。そして、微小辺補正量算出部１５は、例えば、当該対応情報を用いて、２以上の微小辺補正量を算出する。

出力部１６は、２以上の微小辺補正量を出力する。当該出力は、通常、外部の装置への送信、記録媒体への蓄積、他のプログラムへの引渡しなどである。また、当該出力は、例えば、ディスプレイへの表示、プロジェクターを用いた投影、プリンタでの印字などであってもよい。また、出力部１６が出力する２以上の微小辺補正量は、微小辺補正量算出部１５が算出した微小辺補正量である。

また、出力部１６は、ディスプレイやスピーカーなどの出力デバイスを含むと考えてもよいし、含まないと考えてもよい。出力部１６は、出力デバイスのドライバソフトまたは、出力デバイスのドライバソフトと出力デバイスなどで実現され得る。

なお、微小辺集合取得部１２、仮想辺取得部１３、仮想辺補正量算出部１４、微小辺補正量算出部１５は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。また、微小辺集合取得部１２などの処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。なお、微小辺集合取得部１２などは、ハードウェア（専用回路）で実現されてもよい。

次に、パターン補正量算出装置１の全体動作について、フローチャートを用いて説明する。なお、所定の情報におけるｉ番目の情報は、「情報［ｉ］」と記載するものとする。図４は、パターン補正量算出装置１の全体動作を示すフローチャートである。

（ステップＳ４０１）微小辺集合取得部１２は、受付部１１がパターン情報を受け付けたか否かを判断する。受け付けた場合は、ステップＳ４０２に進み、そうでない場合は、ステップＳ４０１に戻る。

（ステップＳ４０２）微小辺集合取得部１２は、ステップＳ４０１で受け付けたパターン情報を用いて、パターン図形から微小辺集合を取得する。

（ステップＳ４０３）仮想辺取得部１３は、ステップＳ４０２で１以上の微小辺集合が取得できたか否かを判断する。取得できた場合は、ステップＳ４０４に進み、そうでない場合は、ステップＳ４０１に戻る。

（ステップＳ４０４）仮想辺取得部１３は、カウンタｉに１をセットする。ここで、ステップＳ４０２において、微小辺集合取得部１２は、ｐ個の微小辺集合を取得したものとする。

（ステップＳ４０５）仮想辺取得部１３は、微小辺集合［ｉ］に対する１以上の仮想辺を取得する。そして、仮想辺取得部１３は、当該取得した１以上の仮想辺を、当該微小辺集合［ｉ］に対応付ける。

（ステップＳ４０６）仮想辺補正量算出部１４は、カウンタｊに１をセットする。ここで、ステップＳ４０５において、仮想辺取得部１３は、微小辺集合［ｉ］に対してｑ個の仮想辺を取得したものとする。

（ステップＳ４０７）仮想辺補正量算出部１４は、微小辺集合［ｉ］に対応する仮想辺［ｊ］に対する仮想辺補正量を算出する。そして、仮想辺補正量算出部１４は、当該算出した仮想辺補正量を、当該仮想辺［ｊ］に対応付ける。

（ステップＳ４０８）微小辺補正量算出部１５は、カウンタｋに１をセットする。ここで、微小辺集合［ｉ］は、ｒ個の微小辺を有するものとする。

（ステップＳ４０９）微小辺補正量算出部１５は、微小辺集合［ｉ］が有する微小辺［ｋ］と、微小辺集合［ｉ］に対応する仮想辺［ｊ］との間の角度である微小辺角度を算出する。

（ステップＳ４１０）微小辺補正量算出部１５は、仮想辺［ｊ］に対応する仮想辺補正量と、ステップＳ４０９で算出した微小辺角度とを用いて、微小辺集合［ｉ］が有する微小辺［ｋ］に対する微小辺補正量を算出する。

（ステップＳ４１１）微小辺補正量算出部１５は、ｋがｒであるか否かを判断する。ｒである場合は、ステップＳ４１３に進み、そうでない場合は、ステップＳ４１２に進む。

（ステップＳ４１２）微小辺補正量算出部１５は、ｋを１インクリメントする。そして、ステップＳ４０９に戻る。

（ステップＳ４１３）仮想辺補正量算出部１４は、ｊがｑであるか否かを判断する。ｑである場合は、ステップＳ４１５に進み、そうでない場合は、ステップＳ４１４に進む。

（ステップＳ４１４）仮想辺補正量算出部１４は、ｊを１インクリメントする。そして、ステップＳ４０７に戻る。

（ステップＳ４１５）仮想辺取得部１３は、ｉがｐであるか否かを判断する。ｐである場合は、ステップＳ４１７に進み、そうでない場合は、ステップＳ４１６に進む。

（ステップＳ４１６）仮想辺取得部１３は、ｉを１インクリメントする。そして、ステップＳ４０５に進む。

（ステップＳ４１７）出力部１６は、ステップＳ４１０で取得した２以上の仮想辺補正量を出力する。

なお、図４のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理を終了してもよい。

また、図４のフローチャートのステップＳ４０２の微小辺集合の取得処理について説明するフローチャートは、例えば、図５である。なお、図５において、パターン図形は、ｍ個の辺を有するものとする。言い換えると、パターン情報は、ｍ個の辺を示す情報を有するものとする。

（ステップＳ５０１）微小辺集合取得部１２は、変数ｇｉｄに０をセットする。当該ｇｉｄは、例えば、微小辺集合を識別する情報である。

（ステップＳ５０２）微小辺集合取得部１２は、カウンタｉに１をセットする。

（ステップＳ５０３）微小辺集合取得部１２は、パターン情報が有する辺［ｉ］を示す情報を用いて、パターン図形が有する辺［ｉ］の長さを算出する。

（ステップＳ５０４）微小辺集合取得部１２は、ステップＳ５０３で算出した辺［ｉ］の長さが微小辺条件を満たすか否かを判断する。満たす場合は、ステップＳ５０５に進み、そうでない場合は、ステップＳ５０６に進む。

（ステップＳ５０５）微小辺集合取得部１２は、配列ｂｕｆｆ［］に辺［ｉ］を追加する。具体的に、微小辺集合取得部１２は、辺［ｉ］を示す情報をｂｕｆｆ［］に追加する。そして、ステップＳ５１１に進む。

（ステップＳ５０６）微小辺集合取得部１２は、ｂｕｆｆ［］のサイズを取得し、変数ｓｉｚｅにセットする。

（ステップＳ５０７）微小辺集合取得部１２は、ｓｉｚｅが２以上であるか否かを判断する。２以上である場合は、ステップＳ５０８に進み、そうでない場合は、ステップＳ５１０に進む。

（ステップＳ５０８）微小辺集合取得部１２は、ｇｉｄを１インクリメントする。

（ステップＳ５０９）微小辺集合取得部１２は、配列の要素ｍｅｇ［ｇｉｄ］にｂｕｆｆ［］をセットする。ここで、配列ｍｅｇ［］は、微小辺集合を格納する配列である。

（ステップＳ５１０）微小辺集合取得部１２は、ｂｕｆｆ［］を初期化する。

（ステップＳ５１１）微小辺集合取得部１２は、ｉがｍであるか否かを判断する。ｍである場合は、上位処理にリターンし、そうでない場合は、ステップＳ５１２に進む。

（ステップＳ５１２）微小辺集合取得部１２は、ｉを１インクリメントする。そして、ステップＳ５０３に戻る。

また、図４のフローチャートのステップＳ４０５の仮想辺の取得処理を示すフローチャートは、例えば、図６である。なお、図６は、一の微小辺集合に対して１以上の仮想辺を取得する処理を示すフローチャートである。

（ステップＳ６０１）仮想辺取得部１３は、変数ｐ１に始端辺上の点をセットする。始端辺とは、微小辺集合が有する最初の辺（端辺）である。また、具体的に、仮想辺取得部１３は、始端辺上の点を示す座標を変数ｐ１にセットする。

（ステップＳ６０２）仮想辺取得部１３は、変数ｐ２に終端辺上の点をセットする。終端辺とは、微小辺集合が有する最後の辺（端辺）である。また、具体的に、仮想辺取得部１３は、終端辺上の点を示す座標を変数ｐ２にセットする。

（ステップＳ６０３）仮想辺取得部１３は、微小辺集合が折返しを有するか否かを判断する。折返しを有する場合は、ステップＳ６０５に進み、そうでない場合は、ステップＳ６０４に進む。

（ステップＳ６０４）仮想辺取得部１３は、ｐ１とｐ２とを結ぶ線分を取得する。これにより、仮想辺が取得される。そして、上位処理にリターンする。

（ステップＳ６０５）仮想辺取得部１３は、カウンタｉに１をセットする。ここで、微小辺集合は、ｍ個の折返しを有するものとする。言い換えると、微小辺集合は、ｍ個の折返辺を有するものとする。

（ステップＳ６０６）仮想辺取得部１３は、配列の要素ｒｐ［ｉ］に折返辺［ｉ］上の点をセットする。具体的に、仮想辺取得部１３は、折返辺［ｉ］上の点を示す座標を配列の要素ｒｐ［ｉ］にセットする。

（ステップＳ６０７）仮想辺取得部１３は、ｉがｍであるか否かを判断する。ｍである場合は、ステップＳ６０９に進み、そうでない場合は、ステップＳ６０８に進む。

（ステップＳ６０８）仮想辺取得部１３は、ｉを１インクリメントする。そして、ステップＳ６０６に戻る。

（ステップＳ６０９）仮想辺取得部１３は、ｐ１とｒｐ［１］とを結ぶ線分を取得する。これにより、仮想辺が取得される。

（ステップＳ６１０）仮想辺取得部１３は、ｒｐ［ｍ］とｐ２とを結ぶ線分を取得する。これにより、仮想辺が取得される。

（ステップＳ６１１）仮想辺取得部１３は、カウンタｉに１をセットする。

（ステップＳ６１２）仮想辺取得部１３は、ｒｐ［ｉ］とｒｐ［ｉ＋１］とを結ぶ線分を取得する。これにより、仮想辺が取得される。

（ステップＳ６１３）仮想辺取得部１３は、ｉがｍ−１であるか否かを判断する。ｍ−１である場合は、上位処理にリターンし、そうでない場合は、ステップＳ６１４に進む。

（ステップＳ６１４）仮想辺取得部１３は、ｉを１インクリメントする。そして、ステップＳ６１２に戻る。

なお、上記で説明したパターン補正量算出装置１の全体動作は、あくまで一例である。つまり、パターン補正量算出装置１の全体動作は、上記の説明に限定されるものではない。

（具体例）
次に、パターン補正量算出装置１の動作の具体例について説明する。

（例１）
本例において、折返しを有さない一の微小辺集合に対して２以上の微小辺補正量を算出する例などについて説明する。

まず、受付部１１は、パターン情報を受け付ける。当該パターン情報は、例えば、図７である。図７において、パターン情報は、レコードを一意に特定するためのＩＤと、パターン図形の辺を示す座標対（項目名：頂点１、頂点２）とを有する。また、当該パターン情報が示すパターン図形は、例えば、図８である。なお、図８のパターン図形は、便宜的なものであり、当該パターン図形は、図７のパターン情報が実際に示す図形とは異なる。

次に、微小辺集合取得部１２は、図７のパターン情報を用いて、パターン図形から微小辺集合を取得する。具体的に、微小辺集合取得部１２は、図７のパターン情報から、微小辺集合を示す１以上の微小辺集合情報を取得する。当該微小辺集合情報は、例えば、図９である。図９において、微小辺集合情報は、レコードを一意に特定するためのＩＤと、微小辺集合が有する微小辺を示す座標対（項目名：頂点１、頂点２）とを有する。また、当該微小辺集合情報には、微小辺集合を識別するための情報（項目名：集合ＩＤ）が対応付いている。つまり、図９において、同一の集合ＩＤが対応付いている座標対が示す微小辺は、同一の微小辺集合に含まれる。また、図９において、集合ＩＤ「００４」が対応付いている微小辺集合情報が示す微小辺集合は、例えば、図１０である。なお、図１０の微小辺集合は、便宜的なものであり、当該微小辺集合は、当該微小辺集合情報が実際に示す微小辺集合とは異なる。

次に、仮想辺取得部１３は、図１０の微小辺集合に対して、仮想辺を取得する。具体的に、仮想辺取得部１３は、例えば、当該微小辺集合の端点を示す２つの座標を、図９の微小辺集合情報から取得する。そして、仮想辺取得部１３は、取得した２つの座標を用いて、当該２つの座標を結ぶ線分を示す式を算出する。そして、仮想辺取得部１３は、例えば、予め決められた間隔ごとのｘ座標を当該式に代入し、ｙ座標を算出する。そして、仮想辺取得部１３は、仮想辺を構成する２以上の点の座標を算出する。当該算出した２以上の座標は、仮想辺情報である。また、このようにして算出された仮想辺情報が示す仮想辺は、例えば、図１１である。そして、仮想辺取得部１３は、例えば、算出した仮想辺情報を、図９の微小辺集合情報に対応付ける。当該仮想辺情報の算出結果は、例えば、図１２である。図１２において、仮想辺情報は、「項目名：仮想辺」である。

次に、仮想辺補正量算出部１４は、算出した仮想辺情報を用いて、図１１の仮想辺に対する仮想辺補正量を算出する。このとき、仮想辺補正量算出部１４は、例えば、当該仮想辺の中点を評価点とし、仮想辺補正量を算出する。また、このとき、仮想辺補正量算出部１４は、例えば、パターン図形から取得した微小辺集合が、当該仮想辺に置き換わったものと仮定して、当該仮想辺に対する仮想辺補正量を算出する。そして、仮想辺補正量算出部１４は、算出した仮想辺補正量を、図１２の情報に対応付ける。当該仮想辺補正量の算出結果は、例えば、図１３である。

次に、微小辺補正量算出部１５は、算出した仮想辺補正量を用いて、図１０の各仮想辺に対する仮想辺補正量を算出する。このとき、微小辺補正量算出部１５は、図１３の各レコードが有する座標対と仮想辺情報とを用いて、当該座標対が示す微小辺と、当該仮想辺情報が示す仮想辺との間の角度を算出する。例えば、当該微小辺と当該仮想辺とが交差する場合、微小辺補正量算出部１５は、当該交差により構成される２つの角のうち、小さい方の角の角度を算出する。また、例えば、当該微小辺と当該仮想辺とが交差しない場合、微小辺補正量算出部１５は、例えば、当該微小辺を当該微小辺に沿って延長し、当該延長した辺と当該仮想辺との交差により構成される２つの角のうち、小さい方の角の角度を算出する。そして、微小辺補正量算出部１５は、図１３の各レコードが有する仮想辺補正量と、算出した角度である微小辺角度とを用いて、微小辺補正量を算出する。そして、微小辺補正量算出部１５は、算出した微小辺補正量を、図１３の情報に対応付ける。当該微小辺補正量の算出結果は、例えば、図１４である。

次に、出力部１６は、図１４の微小辺補正量を出力する。このとき、出力部１６は、例えば、当該微小辺補正量により補正される微小辺を識別する情報（図１４におけるＩＤ）を対応付けて、微小辺補正量を出力する。

（例２）
本例において、１つの折返しを有する一の微小辺集合に対して２以上の微小辺補正量を算出する例などについて説明する。なお、微小辺集合を取得する例など、例１で説明済みの例などについては、適宜、説明を省略する。

まず、微小辺集合取得部１２が、微小辺集合を取得したとする。当該微小辺集合は、図１５であるものとする。前述のとおり、図１５の微小辺集合は、１つの折返しを有する。

次に、仮想辺取得部１３は、図１５の微小辺集合に対して、仮想辺を取得する。具体的に、仮想辺取得部１３は、例えば、当該微小辺集合の端点を示す２つの座標を、取得済みの微小辺集合情報から取得する。当該２つの座標のうち、始点を示す座標を、始点座標、終点を示す座標を、終点座標とする。また、仮想辺取得部１３は、例えば、当該微小辺集合が有する折返辺を示す座標対を、取得済みの微小辺集合情報から取得する。そして、仮想辺取得部１３は、当該座標対を用いて、当該折返辺の中点を示す座標を算出する。当該算出した座標を、中点座標とする。

次に、仮想辺取得部１３は、始点座標と中点座標とを用いて、当該２つの座標を結ぶ線分を示す式を算出する。そして、仮想辺取得部１３は、当該算出した式を用いて、仮想辺を構成する２以上の点の座標を算出する。次に、仮想辺取得部１３は、中点座標と終点座標とを用いて、当該２つの座標を結ぶ線分を示す式を算出する。そして、仮想辺取得部１３は、当該算出した式を用いて、仮想辺を構成する２以上の点の座標を算出する。

以上のようにして算出された仮想辺情報が示す仮想辺は、例えば、図１６である。

（例３）
本例において、２つの折返しを有する一の微小辺集合に対して２以上の微小辺補正量を算出する例などについて説明する。なお、微小辺集合を取得する例など、例１で説明済みの例などについては、適宜、説明を省略する。

まず、微小辺集合取得部１２が、微小辺集合を取得したとする。当該微小辺集合は、図１７であるものとする。前述のとおり、図１７の微小辺集合は、２つの折返しを有する。

次に、仮想辺取得部１３は、図１７の微小辺集合に対して、仮想辺を取得する。具体的に、仮想辺取得部１３は、例えば、当該微小辺集合の端点を示す２つの座標を、取得済みの微小辺集合情報から取得する。当該２つの座標のうち、始点を示す座標を、始点座標、終点を示す座標を、終点座標とする。また、仮想辺取得部１３は、例えば、当該微小辺集合が有する２つの各折返辺を示す座標対を、取得済みの微小辺集合情報から取得する。そして、仮想辺取得部１３は、当該２つの座標対を用いて、当該２つの各折返辺の中点を示す座標を算出する。当該算出した２つの座標を、微小辺の接続の順に、それぞれ、第一中点座標、第二中点座標とする。

次に、仮想辺取得部１３は、始点座標と第一中点座標とを用いて、当該２つの座標を結ぶ線分を示す式を算出する。そして、仮想辺取得部１３は、当該算出した式を用いて、仮想辺を構成する２以上の点の座標を算出する。次に、仮想辺取得部１３は、第一中点座標と第二中点座標とを用いて、当該２つの座標を結ぶ線分を示す式を算出する。そして、仮想辺取得部１３は、当該算出した式を用いて、仮想辺を構成する２以上の点の座標を算出する。次に、仮想辺取得部１３は、第二中点座標と中点座標とを用いて、当該２つの座標を結ぶ線分を示す式を算出する。そして、仮想辺取得部１３は、当該算出した式を用いて、仮想辺を構成する２以上の点の座標を算出する。

以上のようにして算出された仮想辺情報が示す仮想辺は、例えば、図１８である。

以上、本実施の形態によるパターン補正量算出装置１によれば、連続する２以上の各微小辺に対する適切な補正量を算出することができる。また、この結果、パターン図形の形状くずれを起こすことなく、パターン図形を補正することができる。

なお、本実施の形態におけるパターン補正量算出装置１は、例えば、パターン図形の補正を行ってもよい。当該パターン図形の補正を行うパターン補正量算出装置１を、パターン補正装置２とすると、パターン補正装置２は、例えば、受付部１１、微小辺集合取得部１２、仮想辺取得部１３、仮想辺補正量算出部１４、微小辺補正量算出部１５、補正部１７を備える。補正部１７は、例えば、受付部１１が受け付けたパターン情報を用いて、パターン図形が有する３以上の辺のうち、微小辺集合以外の各辺に対する補正量を算出する。そして、補正部１７は、例えば、当該算出した補正量と、微小辺補正量算出部１５が算出した２以上の微小辺補正量とを用いて、パターン図形を補正する。パターン図形を補正するとは、パターン情報を用いて、補正後のパターン図形を示す情報を取得することである。なお、上記微小辺集合以外の各辺に対する補正量を算出する方法や手順などは、公知であるので、詳細な説明を省略する。また、補正部１７は、例えば、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。また、補正部１７などの処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。なお、補正部１７などは、ハードウェア（専用回路）で実現されてもよい。また、パターン補正装置２のブロック図は、例えば、図１９である。

また、上記パターン補正装置２は、例えば、補正後のパターン図形の描画を行ってもよい。当該補正後のパターン図形の描画を行うパターン補正装置２を、パターン描画装置３とすると、パターン描画装置３は、例えば、上記パターン補正装置２が備える各部に加え、描画部１８を備える。描画部１８は、例えば、補正部１７が取得した補正後のパターン図形を示す情報を用いて、当該情報が示す補正後のパターン図形を描画する。また、当該描画の対象は、問わない。当該描画の対象は、例えば、フォトマスクや、ウェハーなどである。また、描画部１８は、通常、電界放出型や、ショットキー型、熱電子型などの電子銃や、電子レンズ、高さ検出器などから実現され得る。また、描画部１８の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。また、パターン描画装置３のブロック図は、例えば、図２０である。

また、上記実施の形態におけるパターン補正量算出装置は、例えば、スタンドアロンの装置であってもよいし、サーバ・クライアントシステムにおけるサーバ装置であってもよい。

また、上記実施の形態において、各処理または各機能は、単一の装置または単一のシステムによって集中処理されることによって実現されてもよいし、あるいは、複数の装置または複数のシステムによって分散処理されることによって実現されてもよい。

また、上記実施の形態において、各構成要素は専用のハードウェアにより構成されてもよいし、あるいは、ソフトウェアにより実現可能な構成要素については、プログラムを実行することによって実現されてもよい。例えば、ハードディスクや半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェア・プログラムをＣＰＵ等のプログラム実行部が読み出して実行することによって、各構成要素が実現され得る。

また、上記実施の形態におけるパターン補正量算出装置を実現するソフトウェアは、例えば、以下のようなプログラムである。つまり、このプログラムは、コンピュータを、電子ビーム描画装置に描画させる図形であるパターン図形を示す情報であるパターン情報を受け付ける受付部、前記パターン情報を用いて、前記パターン情報が示すパターン図形の輪郭線を構成する連続する２以上の辺の集合であり、予め決められた条件を満たすほど小さい辺である微小辺の集合である微小辺集合を取得する微小辺集合取得部、前記微小辺集合が有する２以上の微小辺を近似する辺である仮想辺を取得する仮想辺取得部、前記仮想辺に対する補正量である仮想辺補正量を算出する仮想辺補正量算出部、前記仮想辺補正量を用いて、前記仮想辺に対応する微小辺集合が有する２以上の各微小辺に対する補正量である２以上の微小辺補正量を算出する微小辺補正量算出部、前記２以上の微小辺補正量を出力する出力部として機能させるためのプログラムである。

なお、上記プログラムにおいて、上記プログラムが実現する機能には、ハードウェアでしか実現できない機能は含まれない。

また、上記プログラムは、サーバなどからダウンロードされることによって実行されてもよいし、所定の記録媒体（例えば、ＣＤ−ＲＯＭなどの光ディスクや磁気ディスク、半導体メモリなど）に記録されたプログラムが読み出されることによって実行されてもよい。また、このプログラムは、プログラムプロダクトを構成するプログラムとして用いられてもよい。

また、上記プログラムを実行するコンピュータは、単数であってもよいし、複数であってもよい。つまり、集中処理を行ってもよいし、あるいは分散処理を行ってもよい。

また、図２１は、前述のプログラムを実行して、前述の実施の形態のパターン補正量算出装置等を実現するコンピュータシステム９の概観図である。前述の実施の形態は、コンピュータハードウェア、およびその上で実行されるコンピュータプログラムで実現され得る。

図２１において、コンピュータシステム９は、ＣＤ−ＲＯＭドライブ９０１１を含むコンピュータ９０１と、キーボード９０２と、マウス９０３と、モニタ９０４とを備える。

図２２は、コンピュータシステム９のブロック図である。図２２において、コンピュータ９０１は、ＣＤ−ＲＯＭドライブ９０１１に加えて、ＭＰＵ９０１３と、ブートアッププログラム等のプログラムを記憶するためのＲＯＭ９０１４と、ＭＰＵ９０１３に接続され、アプリケーションプログラムの命令を一時的に記憶するとともに一時記憶空間を提供するためのＲＡＭ９０１５と、アプリケーションプログラム、システムプログラム、およびデータを記憶するためのハードディスク９０１５と、ＣＤ−ＲＯＭドライブ９０１１、ＭＰＵ９０１２等を相互に接続するバス９０１６とを備える。ここでは図示しないが、コンピュータ９０１は、さらに、ＬＡＮへの接続を提供するネットワークカードを備えていてもよい。

コンピュータシステム９に、前述の実施の形態のパターン補正量算出装置等の機能を実行させるプログラムは、ＣＤ−ＲＯＭ９１０１に記憶されて、ＣＤ−ＲＯＭドライブ９０１１に挿入され、さらにハードディスク９０１５に転送されてもよい。これに代えて、プログラムは、図示しないネットワークを介してコンピュータ９０１に送信され、ハードディスク９０１５に記憶されてもよい。プログラムは実行の際にＲＡＭ９０１４にロードされる。プログラムは、ＣＤ−ＲＯＭ９１０１またはネットワークから直接、ロードされてもよい。

プログラムは、コンピュータ９０１に、前述の実施の形態のパターン補正量算出装置等の機能を実行させるオペレーティングシステム（ＯＳ）、またはサードパーティープログラム等は、必ずしも含まなくてもよい。プログラムは、制御された態様で適切な機能（モジュール）を呼び出し、所望の結果が得られるようにする命令の部分のみを含んでいればよい。コンピュータシステム９がどのように動作するかは周知であり、詳細な説明は省略する。

また、本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。

以上のように、本発明にかかるパターン補正量算出装置は、連続する２以上の各微小辺に対する適切な補正量を算出することができるという効果を有し、半導体設計装置、電子ビーム描画装置等として有用である。

１ パターン補正量算出装置
１１ 受付部
１２ 微小辺集合取得部
１３ 仮想辺取得部
１４ 仮想辺補正量算出部
１５ 微小辺補正量算出部
１６ 出力部

Claims (11)

1. 電子ビーム描画装置に描画させる図形であるパターン図形を示す情報であるパターン情報を受け付ける受付部と、
   前記パターン情報を用いて、前記パターン情報が示すパターン図形の輪郭線を構成する連続する２以上の辺の集合であり、予め決められた条件を満たすほど小さい辺である微小辺の集合である微小辺集合を取得する微小辺集合取得部と、
   前記微小辺集合が有する２以上の微小辺を近似する辺である仮想辺を取得する仮想辺取得部と、
   前記仮想辺に対する補正量であり、前記仮想辺全体の位置の変更に関する情報である仮想辺補正量を算出する仮想辺補正量算出部と、
   前記仮想辺補正量を用いて、前記仮想辺に対応する微小辺集合が有する２以上の各微小辺に対する補正量であり、前記仮想辺補正量に応じた補正量であり、各微小辺全体の位置の変更に関する情報である２以上の微小辺補正量を算出する微小辺補正量算出部と、
   前記２以上の微小辺補正量を出力する出力部とを備えるパターン補正量算出装置。
2. 前記仮想辺取得部は、
   前記微小辺集合が有する２つの各端辺上の点を結ぶ線分を仮想辺として取得する請求項１記載のパターン補正量算出装置。
3. 前記仮想辺取得部は、
   前記微小辺集合が、１以上の折返しを有する場合に、当該折返しに対応する１以上の各辺上の点と、当該微小辺集合が有する２つの各端辺上の点とを順に結ぶ２以上の線分を仮想辺として取得する請求項１または請求項２記載のパターン補正量算出装置。
4. 前記端辺上の点は、当該端辺の端点である請求項２または請求項３記載のパターン補正量算出装置。
5. 前記折返しに対応する辺上の点は、当該折返しに対応する辺の中点である請求項３記載のパターン補正量算出装置。
6. 前記微小辺補正量算出部は、
   前記仮想辺補正量と、前記仮想辺に対する前記微小辺集合が有する２以上の各微小辺の角度とを用いて、前記２以上の微小辺補正量を算出する請求項１から請求項５いずれか一項に記載のパターン補正量算出装置。
7. 前記微小辺補正量算出部は、
   三角関数を用いて、前記仮想辺補正量を、前記仮想辺に対する前記微小辺集合が有する２以上の各微小辺の角度の成分に分解することにより、前記２以上の微小辺補正量を算出する請求項６記載のパターン補正量算出装置。
8. 前記微小辺は、１００ナノメートル以下の長さの辺である請求項１から請求項７いずれか一項に記載のパターン補正量算出装置。
9. 前記パターン図形を構成する２以上の辺は、隣接する２つの辺が直角を構成する辺である請求項１から請求項８いずれか一項に記載のパターン補正量算出装置。
10. 受付部と、微小辺集合取得部と、仮想辺取得部と、仮想辺補正量算出部と、微小辺補正量算出部と、出力部とを用いて行われるパターン補正量算出方法であって、
    前記受付部が、
    電子ビーム描画装置に描画させる図形であるパターン図形を示す情報であるパターン情報を受け付ける受付ステップと、
    前記微小辺集合取得部が、
    前記パターン情報を用いて、前記パターン情報が示すパターン図形の輪郭線を構成する連続する２以上の辺の集合であり、予め決められた条件を満たすほど小さい辺である微小辺の集合である微小辺集合を取得する微小辺集合取得ステップと、
    前記仮想辺取得部が、
    前記微小辺集合が有する２以上の微小辺を近似する辺である仮想辺を取得する仮想辺取得ステップと、
    前記仮想辺補正量算出部が、
    前記仮想辺に対する補正量であり、前記仮想辺全体の位置の変更に関する情報である仮想辺補正量を算出する仮想辺補正量算出ステップと、
    前記微小辺補正量算出部が、
    前記仮想辺補正量を用いて、前記仮想辺に対応する微小辺集合が有する２以上の各微小辺に対する補正量であり、前記仮想辺補正量に応じた補正量であり、各微小辺全体の位置の変更に関する情報である２以上の微小辺補正量を算出する微小辺補正量算出ステップと、
    前記出力部が、
    前記２以上の微小辺補正量を出力する出力ステップとを備えるパターン補正量算出方法。
11. コンピュータを、
    電子ビーム描画装置に描画させる図形であるパターン図形を示す情報であるパターン情報を受け付ける受付部、
    前記パターン情報を用いて、前記パターン情報が示すパターン図形の輪郭線を構成する連続する２以上の辺の集合であり、予め決められた条件を満たすほど小さい辺である微小辺の集合である微小辺集合を取得する微小辺集合取得部、
    前記微小辺集合が有する２以上の微小辺を近似する辺である仮想辺を取得する仮想辺取得部、
    前記仮想辺に対する補正量であり、前記仮想辺全体の位置の変更に関する情報である仮想辺補正量を算出する仮想辺補正量算出部、
    前記仮想辺補正量を用いて、前記仮想辺に対応する微小辺集合が有する２以上の各微小辺に対する補正量であり、前記仮想辺補正量に応じた補正量であり、各微小辺全体の位置の変更に関する情報である２以上の微小辺補正量を算出する微小辺補正量算出部、
    前記２以上の微小辺補正量を出力する出力部として機能させるためのプログラム。

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