JP6485636B2 - 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 - Google Patents

Description

本発明は、ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを噴射するインクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置に関する。

液体を噴射する液体噴射ヘッドの代表例としては、インク的を噴射するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。インクジェット式記録ヘッドは、インク滴をノズルから噴射するヘッド本体と、ヘッド本体に固定されて、インクが貯留されたインクカートリッジ等の液体貯留手段からのインクをヘッド本体に供給する流路部材と、を具備するものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。

このようなインクジェット式記録ヘッドを構成する流路部材は、例えば、第２流路部材と第３流路部材とが積層されて構成されており、第２流路部材と第３流路部材との流路の接続部分は、両者を積層する積層方向に第１シール部材を押圧して密封している。一方、第２流路部材と第１流路部材となる液体貯留手段との流路の接続部分は、積層方向に交差する第１の方向及び第２の方向向に第２シール部材を押圧して密封している。

特開２０１５−００３４２１号公報

しかしながら、第２流路部材に対して、第１シール部材を積層方向に押圧して第３流路部材と接続し、第２シール部材を第１の方向及び第２の方向に押圧して液体貯留手段等の第１流路部材と接続する場合、流路部材を構成する各部材の寸法にばらつきが生じると、流路の接続部分に位置ずれが生じて、インクの漏出が発生するという問題がある。

また、第２流路部材に複雑な流路を形成するため、複数の部材が積層して第２流路部材を構成した場合、積層した部材の製造時の寸法ばらつきや積層時の位置ずれなどの誤差によって流路の接続する部分に位置ずれが生じてしまう虞がある。

なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。

本発明はこのような事情に鑑み、流路の接続部分の密封を確実に行って液体の漏出を抑制した液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供することを目的とする。

［態様１］本発明の態様は、第１流路部材に設けられた第１流路と連通する第２流路が設けられた第２流路部材と、前記第２流路部材に設けられた前記第２流路と連通する第３流路が設けられ、前記第２流路部材と積層された第３流路部材と、前記第１流路、前記第２流路及び前記第３流路を介して供給された液体を噴射するノズルと、を備え、前記第１流路と前記第２流路との接続部分は、第１シール部材により密封され、前記第２流路と前記第３流路との接続部分は、第２シール部材により密封され、前記第２流路部材は、前記第３流路部材に対して、当該第２流路部材の積層方向に対して交差する第１の方向及び第２の方向における位置決めを行う第１基板と、前記第３流路部材に対して、当該第２流路部材の前記積層方向の位置決めを行う第２基板と、を有し、前記第１基板は、前記第１シール部材と前記第２シール部材との何れか一方により第１の方向及び第２の方向に押圧され、前記第２基板は、前記第１シール部材と前記第２シール部材との何れか他方により前記積層方向に押圧されることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。

かかる態様では、第１基板を第３流路部材に対して第１の方向及び第２の方向に位置決めすることで、第２流路部材と第１流路部材及び第２流路部材の何れか一方との第１の方向及び第２の方向の位置決めを高精度に行うことができ、第１シール部材及び第２シール部材の何れか一方の第１の方向及び第２の方向の押圧量を適切に調整することができる。また、第２基板を第３流路部材に対して積層方向に位置決めすることで、第２流路部材と第１流路部材及び第２流路部材の他方との積層方向の位置決めを高精度に行うことができ、第１シール部材及び第２シール部材の他方の積層方向の押圧量を適切に調整することができる。

［態様２］態様１の液体噴射ヘッドにおいて、前記第２流路部材は、前記第３流路部材に設けられたねじ穴に螺合するねじにより前記第３流路部材に固定され、前記第２流路と前記第３流路との接続部分よりも前記積層方向の前記第２流路側に前記ねじ穴が設けられていることが好ましい。これによれば、ねじ穴のスペースを確保し易く、小型化を図ることができる。

［態様３］態様１又は２の液体噴射ヘッドにおいて、前記第２流路部材は、前記第１基板と前記第２基板との間にフィルターを有することが好ましい。これによれば、フィルターを有する複雑な流路を容易に形成することができる。

［態様４］態様１〜３の何れかの液体噴射ヘッドにおいて、前記第３流路部材には、前記第１の方向及び前記第２の方向の位置決めに用いられる位置決めピンと、前記積層方向の位置決めに用いられる第１位置決め面と、が設けられ、前記第１基板は、前記位置決めピンに対して前記第１の方向及び前記第２の方向で当接する位置決め孔を有し、前記第２基板は、前記第１位置決め面に対して前記積層方向で当接する第２位置決め面を有することが好ましい。これによれば、位置決めピンと位置決め孔とによって第１の方向及び第２の方向の高精度な位置決めを行わせることができると共に、第１位置決め面と第２位置決め面とによって積層方向の高精度な位置決めを行わせることができる。

［態様５］態様４の液体噴射ヘッドにおいて、前記第２基板は、前記積層方向のうち前記位置決めピンの根元側から先端側に向けて見た場合に、前記第１基板の前記位置決め孔を露出させる露出孔を有することが好ましい。これによれば、露出孔を設けることで、位置決めピンに第２基板が当接して位置決めを阻害するのを抑制することができる。

［態様６］態様１〜５の何れかの液体噴射ヘッドにおいて、前記第１基板と前記第２基板との何れか一方は、互いに前記第１の方向及び前記第２の方向に位置決めを行う基板位置決めピンを有し、前記第１基板と前記第２基板との何れか他方は、前記基板位置決めピンに対して前記第１の方向及び前記第２の方向で当接する基板位置決め孔を有することが好ましい。これによれば、第１基板と第２基板とを第１の方向及び第２の方向に相対的に位置決めして組み立てることができる。また、第１基板と第２基板とで互いの位置決めをできるので、例えば第２流路部材を第１流路部材または第３流路部材に積層する際に、第１基板と第２基板とにより第２流路部材を組み立ててから積層することができる。

［態様７］態様１〜６の何れかの液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。かかる態様では、液体の漏出を抑制した液体噴射装置を実現できる。

［態様８］第１流路部材に設けられた第１流路と連通する第２流路を有する第２流路部材と、前記第２流路部材の前記第２流路と連通する第３流路が設けられた第３流路部材と、前記第１流路、前記第２流路及び前記第３流路を介して供給された液体を噴射するノズルと、を備える液体噴射ヘッドの製造方法であって、第１基板と第２基板とを固定し、前記第２流路部材の前記第２流路を形成する第１工程と、前記第３流路部材に対して第２シール部材を固定する第２工程と、前記第２基板と前記第３流路部材とにより前記第２シール部材を積層方向に押圧して前記第２流路と前記第３流路とを接続部分を前記第２シール部材により密封し、前記第２基板により前記第３流路部材に対する前記積層方向の位置決めを行い、前記第１基板により前記第３流路部材に対する前記積層方向に対して交差する第１の方向及び第２の方向の位置決めを行う第３工程と、前記第１流路部材と前記第１基板とにより第１シール部材を前記第１の方向及び前記第２の方向に押圧して前記第１流路と前記第２流路との接続部分を前記第１シール部材により密封する第４工程と、を備えることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。

かかる態様では、第１基板を第３流路部材に対して第１の方向及び第２の方向に位置決めすることで、第２流路部材と第１流路部材及び第２流路部材の何れか一方との第１の方向及び第２の方向の位置決めを高精度に行うことができ、第１シール部材及び第２シール部材の何れか一方の第１の方向及び第２の方向の押圧量を適切に調整することができる。また、第２基板を第３流路部材に対して積層方向に位置決めすることで、第２流路部材と第１流路部材及び第２流路部材の他方との積層方向の位置決めを高精度に行うことができ、第１シール部材及び第２シール部材の他方の積層方向の押圧量を適切に調整することができる。

記録ヘッドの分解斜視図である。 ヘッド本体の斜視図である。 第２流路部材の分解斜視図である。 第２流路部材の平面図である。 流路部材の要部断面図である。 流路部材の要部断面図である。 第３流路部材の分解斜視図である。 記録ヘッドの要部断面図である。 第２流路部材の製造方法を示す断面図である。 記録ヘッドの要部断面図である。 記録ヘッドの製造方法を示す要部断面図である。 記録ヘッドの製造方法を示す要部断面図である。 記録装置の概略図である。

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２は、ヘッド本体の斜視図である。

図１に示すように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド１（以下、単に記録ヘッド１とも言う）は、ノズルからインク滴を噴射する複数のヘッド本体１０と、複数のヘッド本体１０を保持すると共にヘッド本体１０に液体を供給する液体流路が設けられた流路部材２０と、を具備する。

図２に示すように、ヘッド本体１０は、一方面に液体としてインク滴を噴射するノズル１１が並設されたノズル列が、ノズル１１の並設方向とは交差する方向に２列設けられている。ここで、１つのノズル列において、ノズル１１が並設された方向を第１の方向Ｘと称し、ノズル列の列設方向を第２の方向Ｙと称する。また、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの双方に交差する方向を本実施形態では、第３の方向Ｚと称する。なお、本実施形態では、各方向（Ｘ、Ｙ、Ｚ）の関係を直交とするが、各構成の配置関係が必ずしも直交するものに限定されるものではない。本実施形態では、ヘッド本体１０の第３の方向Ｚの一方面にノズル１１が設けられた液体噴射面となっている。また、本実施形態では、第３の方向Ｚにおいて、ヘッド本体１０のノズル１１が設けられた側をＺ１と称し、ノズル１１とは反対側をＺ２と称する。

また、第３の方向Ｚにおいて、ヘッド本体１０のノズル１１が開口する面とは反対側の面には、インクがヘッド本体１０内に導入される導入孔１２が設けられている。本実施形態では、導入孔１２を第２の方向Ｙに沿って２つ並設し、ヘッド本体１０の図示しない内部において各導入孔１２がノズル列のそれぞれに連通するようにした。

このようなヘッド本体１０の図示しない内部には、ノズル１１に連通すると共に導入孔１２に連通する流路と、流路内のインクに圧力変化を生じさせる圧力発生手段等が設けられている。ヘッド本体１０の内部に設けられる圧力発生手段としては、例えば、電気機械変換機能を呈する圧電材料を有する圧電アクチュエーターの変形によって流路の容積を変化させて流路内のインクに圧力変化を生じさせてノズル１１からインク滴を噴射させるものや、流路内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル１１からインク滴を噴射させるものや、振動板と電極との間に静電気力を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル１１からインク滴を噴射させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。

また、ヘッド本体１０の導入孔１２が開口する面からは、図示しない内部の圧力発生手段に接続された配線基板１３が第３の方向Ｚに突出して設けられている。配線基板１３は、可撓性を有する配線、例えば、フレキシブルケーブル等からなり、第２の方向Ｙに並設された２つの導入孔１２の間に、面方向が第１の方向Ｘ及び第３の方向Ｚを含む方向となるように設けられている。なお、配線基板１３には、半導体素子である駆動回路１４が実装されている。もちろん、配線基板１３は、駆動回路１４が設けられていなくてもよい。

このようなヘッド本体１０は、導入孔１２が開口する面が流路部材２０に固定されて、インクカートリッジやインクタンクなどの液体貯留手段に保持されたインクが流路部材２０を介して供給される。なお、図１に示すように、流路部材２０には、ヘッド本体１０が複数個、本実施形態では、ノズル列の列設方向である第２の方向Ｙに３個並設された列が、第１の方向Ｘに２列設けられている。すなわち、１つの記録ヘッド１には、合計１２列のノズル列が第２の方向Ｙに並設されている。ちなみに、ヘッド本体１０と流路部材２０との固定方法は特に限定されず、例えば、接着剤による接着や、ねじ等による固定であってもよい。ただし、ヘッド本体１０は小型であり、１つの流路部材２０に対して複数、本実施形態では、１２個取り付ける必要があるため、ゴム等の弾性材料からなるシール部材を介して固定するのは困難である。また、ゴム等の弾性材料からなるシール部材を介して固定すると、シール部材の弾性による反発力によってヘッド本体１０に反り等が発生する虞がある。したがって、ヘッド本体１０と流路部材２０とは接着剤により接着するのが好ましい。

また、ヘッド本体１０が固定される流路部材２０は、図１に示すように、複数の第２流路部材３０と、複数の第２流路部材３０が第３の方向ＺのＺ１側に固定される第３流路部材５０と、を具備する。

ここで、第２流路部材３０についてさらに図３〜図６を参照して説明する。なお、図３は、第２流路部材３０の分解斜視図であり、図４は、第２流路部材の平面図であり、図５は、図４のＡ−Ａ′線に準じた流路部材の要部断面図であり、図６は、図４のＢ−Ｂ′線に準じた流路部材の要部断面図である。また、第２流路部材３０の各方向について、記録ヘッドに搭載された際の方向、すなわち、第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ及び第３の方向Ｚに基づいて説明する。

図示するように、第２流路部材３０は、詳しくは後述する第１流路部材が接続される第２流路である接続流路２００が内部に設けられている。

また、第２流路部材３０は、本実施形態では、第１基板３１と、第２基板３２と、第１基板３１及び第２基板３２の間に設けられた中間基板３３とが、第３の方向Ｚに積層して構成されている。なお、第２流路部材３０は、特にこれに限定されるものではなく、少なくとも第１基板３１と第２基板３２とを有するものであればよく、中間基板３３が設けられていなくてもよい。また、中間基板３３が２枚以上設けられていてもよい。ちなみに、第２流路部材３０を構成する各部材は、第２流路部材３０と第３流路部材５０との積層方向である第３の方向Ｚと同じ方向に積層されたものである。本実施形態では、Ｚ２側からＺ１側に向かって第１基板３１、中間基板３３及び第２基板３２が順次積層されている。

第１基板３１は、Ｚ２側に第１流路部材に接続される接続部３４を有する。本実施形態では、接続部３４として、針状に突出したものとした。このような接続部３４の内部には、第１流路部材の第１流路からインクが供給される第１接続流路２０１が設けられている。この第１接続流路２０１の下流側には、接続部３４内の第１接続流路２０１よりも内径が広く拡幅された液体溜まり部２０２を有する。

中間基板３３は、第１基板３１のＺ１側に固定されて、液体溜まり部２０２に連通する第２接続流路２０３を有する。第２接続流路２０３の第１基板３１側の開口部分には、インクに含まれる気泡や異物を除去するためのフィルター３５が設けられており、第１接続流路２０１から供給されたインクはフィルター３５を介して第２接続流路２０３に供給される。なお、第２接続流路２０３は、第１接続流路２０１と後述する第３接続流路２０４との位置に応じて、第１基板３１及び中間基板３３の積層方向である第３の方向Ｚに延びる流路や、第３の方向Ｚに直交する方向、すなわち、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに延びる流路等で構成されていてもよい。

第２基板３２は、中間基板３３のＺ１側に固定されている。また、第２基板３２には、中間基板３３の第２接続流路２０３に連通する第３接続流路２０４が設けられている。すなわち、接続流路２００は、第１接続流路２０１、液体溜まり部２０２、第２接続流路２０３及び第３接続流路２０４を有する。この第３接続流路２０４は、一端が中間基板３３側であるＺ２側に開口して第２接続流路２０３に連通する。また、第３接続流路２０４は、他端が第３流路部材５０側であるＺ１側の面に開口して設けられている。

なお、本実施形態では、１つの第２流路部材３０に４つの接続部３４を設け、１つの第２流路部材３０には４つの独立した接続流路２００が設けられている。ちなみに、１つの第２流路部材３０に設けられた接続流路２００の数は特にこれに限定されず、例えば、１つであっても２つ以上の複数であってもよい。また、接続流路２００は、例えば、接続部３４側からフィルター３５を通過した後、２つ以上に分岐されるようにしてもよい。もちろん、接続流路２００は、フィルター３５よりも上流側で、２つ以上に分岐されていてもよい。さらに、第２基板３２と中間基板３３との境界部分において、流路を第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに延設してもよい。

このような第２流路部材３０は、樹脂材料を成型することで、コストを低減することができる。もちろん、第２流路部材３０の材料は樹脂材料に限定されず、金属材料等で形成してもよく、また、製造方法は成型に限定されるものではない。

また、第２流路部材３０を構成する第１基板３１、第２基板３２及び中間基板３３は、例えば、接着剤や熱溶着等によって第３の方向Ｚに積層されている。本実施形態では、第２基板３２には、中間基板３３及び第１基板３１に向かって、すなわち、第３の方向ＺのＺ２側に向かって突出する基板位置決めピン３６が設けられている。本実施形態では、基板位置決めピン３６は、第２基板３２を第３の方向Ｚから平面視した際に、４つの角部と中央部とのそれぞれに合計５個設けるようにした。また、中間基板３３には、基板位置決めピン３６に対応して基板位置決めピン３６が挿入される中間基板位置決め孔３７が設けられている。また、第１基板３１には、基板位置決めピン３６に対応して基板位置決めピン３６が挿入される基板位置決め孔３８が設けられている。そして、第２基板３２の基板位置決めピン３６を、中間基板３３の中間基板位置決め孔３７に挿入すると共に、第１基板３１の基板位置決め孔３８に挿入することで、第１基板３１、第２基板３２及び中間基板３３は、互いに第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに相対的に位置決めされている。すなわち、第２基板３２の基板位置決めピン３６の外周面に、中間基板３３の中間基板位置決め孔３７の内周面と第１基板３１の基板位置決め孔３８の内周面とが第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに当接することで、第１基板３１、第２基板３２及び中間基板３３は、互いに第１の方向Ｘ及び第２の方向に相対的に位置決めされている。なお、本実施形態では、基板位置決めピン３６を第２基板３２に設けるようにしたが、特にこれに限定されず、基板位置決めピン３６を第１基板３１に設け、第２基板３２に基板位置決め孔３８を設けるようにしてもよい。もちろん、中間基板３３に基板位置決めピン３６を設け、第１基板３１及び第２基板３２の両方に基板位置決め孔３８を設けるようにしてもよい。また、本実施形態では、中間基板位置決め孔３７及び基板位置決め孔３８を第３の方向Ｚに貫通すると共に内周面が周方向に連続する貫通孔で形成したが、特にこれに限定されず、例えば、中間基板位置決め孔３７及び基板位置決め孔３８は、内周面が周方向に亘って連続せずにその一部で外部と連通する、所謂、切り欠き状であってもよい。すなわち、基板位置決め孔３８や中間基板位置決め孔３７は、切り欠きも含むものである。また、基板位置決め孔３８は、本実施形態では、第３の方向Ｚに貫通する貫通孔としたが、特にこれに限定されず、基板位置決め孔３８は、第１基板３１を厚さ方向に貫通しなくてもよい。すなわち、第２流路部材３０の表面に基板位置決めピン３６が露出されなくてもよい。

また、第１基板３１には、第３流路部材５０に設けられた第２流路部材３０である第３の方向ＺのＺ２側に突出して設けられた位置決めピン９４が挿入される位置決め孔３９が設けられている。本実施形態では、位置決め孔３９として、第１位置決め孔３９Ａと、第２位置決め孔３９Ｂとの２つを設け、第１位置決め孔３９Ａを単穴、第２位置決め孔３９Ｂを第１位置決め孔３９Ａに向かって長軸となる長穴とした。なお、位置決め孔３９は、少なくとも２つ設けられていれば、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの位置決めを行うことができる。また、位置決め孔３９は、その開口形状を三角形状や矩形状等で設けることで、１つの位置決め孔３９であっても第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの位置決めを行うことができる。もちろん、位置決め孔３９は、３つ以上設けられていてもよい。ただし、位置決め孔３９をできるだけ離した位置に少なくとも２つ設けることで第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの高精度な位置決めを行うことができる。

また、第２基板３２には、第１基板３１の位置決め孔３９に対応して、第３の方向ＺのＺ１側から見た際に位置決め孔３９を露出する露出孔４０が設けられている。つまり、露出孔４０は、第３の方向ＺのＺ１側から位置決め孔３９を見た場合、すなわち位置決めピン９４の根元側から先端側に向けて見た場合に、第２基板３２が第１基板３１の位置決め孔３９の内周縁部を覆うことなく位置決め孔３９を露出するものである。本実施形態では、露出孔４０として、第２基板３２を厚さ方向に貫通すると共に、内周面が周方向に亘って連続し、位置決め孔３９よりも大きな内径となる貫通孔とした。

なお、露出孔４０は、位置決め孔３９をＺ１側から見た際に周縁部を露出することができるものであればよく、貫通孔に限定されず、内周面が周方向に亘って連続せずにその一部で外部と連通する、所謂、切り欠き状であってもよい。

同様に、中間基板３３には、位置決め孔３９に対応して、第３の方向ＺのＺ１側から見た際に位置決め孔３９を露出する中間露出孔４１が少なくとも２つ設けられている。中間露出孔４１は、第２基板３２の露出孔４０と同じ内径を有する第３の方向Ｚに貫通した貫通孔となっている。もちろん、中間露出孔４１も露出孔４０と同様に、切り欠き状であってもよい。

また、第２基板３２には、第１基板３１側に突出して設けられた凸部４２が少なくとも２つ設けられ、凸部４２の内部には、Ｚ１側に開口する凹部４３が設けられている。凹部４３は、本実施形態では、側面、具体的には第１の方向Ｘにおいても開口して設けられている。このような凹部４３の底面、すなわち、第３流路部材５０に対向する面は、第３流路部材５０に位置決めされる第２位置決め面４４となっている。すなわち、第２位置決め面４４は、凸部４２内に設けられることで、第２基板３２側に設けられている。

ここで、このような第２流路部材３０が固定される第３流路部材５０についてさらに図７及び図８を参照して説明する。なお、図７は、第３流路部材を示す分解斜視図であり、図８は、記録ヘッドの要部断面図である。

図示するように、第３流路部材は、ヘッド本体１０に接するホルダー６０と、ホルダー６０と第２流路部材３０との間に配置されたホルダー上部材７０と、ホルダー上部材７０と第２流路部材３０との間に挟まれた第２シール部材８０と、第２シール部材８０を支持する支持部材９０と、を具備する。

支持部材９０は、第３の方向ＺのＺ２側に第２流路部材３０が固定されると共にＺ１側にホルダー６０が固定されるものである。そして、支持部材９０と第２流路部材３０との間には、第２流路部材３０の接続流路２００と、ホルダー６０及び支持部材９０の間に設けられたホルダー上部材７０の第３流路である管状流路２２０とを接続する第２シール部材８０が設けられている。

ここで第２シール部材８０は、記録ヘッド１に用いられるインク等の液体に対して耐液体性を有し、且つ弾性変形可能な弾性材料、例えば、ゴムやエラストマー等を用いることができる。また、第２シール部材８０は接続流路２００の分岐された出口毎に管状部８１を有する。この管状部８１には、第３の方向Ｚに亘って貫通する貫通孔２１０が設けられている。そして、詳しくは後述するが、管状部８１の貫通孔２１０を介して第２流路部材３０の接続流路２００とホルダー上部材７０の管状流路２２０とは連通される。このような管状部８１は、１つの第２流路部材３０に対して複数個が一体的になるように第２流路部材３０側で板状部分によって連結されている。本実施形態では、１つの第２流路部材３０には、支持部材９０側に開口する接続流路２００の出口が４個設けられているため、４個の管状部８１が一体的に設けられた第２シール部材８０となっている。また、本実施形態では、１つの流路部材２０に第２流路部材３０が３個設けられているため、第２シール部材８０は第２流路部材３０と同じ数である３個設けられている。

このような管状部８１を連続させる板状部分は、管状部８１の周囲に亘って他の領域よりも厚さが薄く形成されている。これにより、第２シール部材８０の一方面を第２流路部材３０の接続流路２００が開口する面に当接させた際に、管状部８１の端面のみを接続流路２００の開口周囲に当接させて、当接する面積を減少させて密封する圧力を高めることができ、インクの漏出を抑制することができる。

なお、管状部８１の貫通孔２１０は、第２流路部材３０の接続流路２００の開口と略同じ内径を有する。また、管状部８１の外径は、接続流路２００の内径よりも大きな外径で形成されている。これにより、第２流路部材３０の接続流路２００が開口する面と、管状部分の貫通孔２１０が開口する端面とを貫通孔２１０の貫通方向である第３の方向Ｚに互いに当接させて、接続流路２００と貫通孔２１０とを連通させることができる。すなわち、接続流路２００と貫通孔２１０とは、第２流路部材３０と第２シール部材８０とを貫通孔２１０の貫通方向である第３の方向Ｚに圧力をかけて密封した状態で接続されている。つまり、第２流路部材３０の第３流路部材５０側に設けられた第１基板３１は、第２シール部材８０により第３の方向Ｚに押圧されることで、第２流路部材３０の第２流路である接続流路２００と第３流路部材５０の第３流路である管状流路２２０とは密封した状態で接続されている。

ここで、第２シール部材８０の管状部８１の端面と第２流路部材３０の接続流路２００が開口する面、すなわち第１基板３１とを第３の方向Ｚに所定の圧力で当接させると、第２シール部材８０の管状部８１は、第３の方向Ｚのヘッド本体１０側に弾性変形する。このため、支持部材９０には、第２シール部材８０の管状部８１を支持する支持部９１が設けられている。この支持部９１は、第２シール部材８０の管状部８１の第２流路部材３０と当接するＺ２側の端面とは反対側のＺ１側の端面に当接して、管状部８１の第３の方向Ｚのホルダー６０側への移動を規制する。このように、支持部材９０の支持部９１によって、第２シール部材８０の管状部８１のヘッド本体１０側の端面を支持することで、第２流路部材３０と第２シール部材８０の管状部８１の第３の方向Ｚへの応力が支持される。すなわち、第２シール部材８０の弾性変形による反発力は、支持部材９０の支持部９１によって支持されるため、第２シール部材８０の反発力がホルダー上部材７０側に印加されることなく、ホルダー６０及びホルダー上部材７０の変形や、ヘッド本体１０の液体噴射面の傾き等を抑制することができる。

なお、支持部９１には、詳しくは後述するホルダー上部材７０の突起部７１が挿通される第１突起部挿通孔９２が設けられている。すなわち、第１突起部挿通孔９２は、ホルダー上部材７０の突起部７１の外形よりも若干大きい内径で、且つ第２シール部材８０の管状部８１の外径よりも若干小さな内径で設けられている。これにより、第１突起部挿通孔９２の開口縁部に第２シール部材８０の管状部８１の端面を当接させることができる。

なお、支持部材９０は、樹脂材料で成型することで、低コストに形成することができる。もちろん、支持部材９０の材料は樹脂材料に限定されず、金属材料等であってもよく、また、製造方法は成型に限定されるものではない。

また、支持部材９０の第２シール部材８０とは反対側には、ホルダー上部材７０が設けられており、ホルダー上部材７０の支持部材９０とは反対側には、ホルダー６０が設けられている。すなわち、ホルダー上部材７０は、ホルダー６０と第２流路部材３０との間、本実施形態では、ホルダー６０と支持部材９０との間に配置されている。

ホルダー上部材７０には、第２シール部材８０側である第３の方向Ｚに向かって突出する突起状の突起部７１が設けられている。この突起部７１の先端面には、管状流路２２０の一端が開口して設けられている。すなわち、突起部７１は、管状に設けられており、突起部７１の内部に管状流路２２０が設けられている。管状流路２２０を有する突起部７１は、ヘッド本体１０の各導入孔１２に対応して、すなわち、１つのヘッド本体１０に対して２つ設けられている。

ここで、ヘッド本体１０の一方の導入孔１２に連通する管状流路２２０は、ヘッド本体１０と第２流路部材３０との積層方向である第３の方向Ｚに沿って直線状、すなわち、ストレートに設けられている。ここで、管状流路２２０が第３の方向Ｚに沿ってストレートに設けられているとは、管状流路２２０内を流れるインクが、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに沿って流れることなく、第３の方向Ｚのみに沿って流れることを言う。また、ヘッド本体１０の他方の導入孔１２に連通する管状流路２２０は、その一部が、ホルダー上部材７０とホルダー６０との間で第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに沿って水平に設けられている。これにより、ヘッド本体１０の２つの導入孔１２に対して、この２つの導入孔１２に連通する２つの接続流路２００を第２流路部材３０に合わせて第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに異なる位置に配置することができる。

このような管状流路２２０が設けられた各突起部７１は、支持部９１の第１突起部挿通孔９２の内径よりも若干小さな外径を有し、支持部９１の第１突起部挿通孔９２内に挿入されている。そして、第１突起部挿通孔９２に挿入された突起部７１の外周には、第２シール部材８０の管状部８１が嵌合することで、管状流路２２０と管状部８１の貫通孔２１０とが接続されている。ここで、貫通孔２１０の内径は、突起部７１の外径よりも若干小さく、第２シール部材８０の管状部８１が内径を広げるように弾性変形することで、貫通孔２１０の内面が突起部７１の外周面に法線方向、すなわち、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに圧力を印加した状態で密着される。つまり、管状流路２２０と貫通孔２１０とは、第２流路部材３０とホルダー６０との積層方向である第３の方向Ｚに対して直交する方向、言い換えると貫通孔２１０の径方向に圧力を印加した状態で管状流路２２０の外側面と貫通孔２１０の内側面とが密接して封止される。

このように、ホルダー上部材７０の管状流路２２０との接続部分を密封する第２シール部材８０は、管状流路２２０とは管状流路２２０の径方向、すなわち、第３の方向Ｚに直交する方向に圧力を印加して密封することで、第２シール部材８０が液体噴射面の面方向に直交する方向、すなわち、第３の方向Ｚに弾性変形してその反発力がヘッド本体１０を押圧するのを抑制することができる。これにより、流路部材２０からのヘッド本体１０の剥離、ヘッド本体１０を構成する第３の方向Ｚに積層された図示しない積層部材の剥離、及び、ヘッド本体１０の液体噴射面に反りが発生するのを抑制して、液体噴射面の反りによりノズル１１から噴射されるインク滴の被噴射媒体への着弾位置ずれを抑制することができる。

一方、第２流路部材３０の接続流路２００との接続部分を密封する第２シール部材８０は、上述のように接続流路２００をインクが流れる方向、つまり、第３の方向Ｚに圧力を印加して密封している。しかしながら、本実施形態では、支持部９１が第２シール部材８０の第２流路部材３０が第２シール部材８０を押圧する領域を第３の方向Ｚに支持するようにしたため、第２流路部材３０が第２シール部材８０を第３の方向Ｚに押圧する圧力は、支持部９１によって支持される。そして、支持部９１を有する支持部材９０は、支持部９１とホルダー６０との間に所定の空間を配した状態で、ホルダー６０とノズル１１とは第３の方向Ｚにおける射影が重ならない領域で固定される。これにより、第２流路部材３０が第２シール部材８０を押圧する圧力によって第２シール部材８０が弾性変形し、第２シール部材８０の弾性変形することによる反発力が支持部９１によって支持され、支持部９１を有する支持部材９０とホルダー６０とを固定する固定領域に分散される。したがって、第２シール部材８０を押圧する圧力が、ヘッド本体１０の特にノズル１１周辺に印加されるのを抑制することができる。この結果、ヘッド本体１０を構成する積層部材の剥離や、流路部材２０とヘッド本体１０との剥離、及び、ヘッド本体１０の液体噴射面の反りによるインク滴の着弾位置ずれなどを抑制することができる。

また、第２流路部材３０と第２シール部材８０との接続を、インクの流れる方向、すなわち、第３の方向Ｚに圧力を印加して行うことで、第２流路部材３０と第２シール部材８０との相対的な位置決めや接続を容易に行うことができる。ちなみに、第２流路部材３０側にも内部に接続流路２００が設けられた管状の突起部を設け、突起部の外周に第２シール部材８０の管状部８１を嵌合させることで接続流路２００と貫通孔２１０とを接続してもよいが、第２流路部材３０側の突起部を同時に第２シール部材８０の管状部８１に挿入しなくてはならず作業性が悪い。特に、第２流路部材３０と第２シール部材８０との接続部分は、支持部材９０等によって隠れてしまうため、目視を行い難く、正確に接続されているか確認ができない場合がある。また、第２流路部材３０に突起部を設けた場合に、第２流路部材３０の突起部の位置と、ホルダー上部材７０の突起部７１に接続された第２シール部材８０の複数の管状部８１との位置に誤差が生じた場合、管状部８１を屈曲させる必要があり、密封不良によるインクの漏出等の不具合が発生する虞がある。本実施形態では、第２流路部材３０と第２シール部材８０とを第３の方向Ｚに当接させて、第３の方向Ｚに圧力をかけて接続流路２００と貫通孔２１０との接続部分を密封することができるので、目視による確認を行わなくても互いの位置決めが容易となる。また、複数の管状部８１に対して各接続流路２００の位置に誤差が生じたとしても、管状部８１を屈曲する方向への力が印加されるのを低減することができ、密封不良によるインクの漏出を抑制することができる。このようなホルダー上部材７０は、樹脂材料で成型することにより低コストで形成することができる。

また、ホルダー上部材７０は、ホルダー６０に接着剤等を介して固定されている。ホルダー６０は、ホルダー上部材７０の管状流路２２０に連通すると共に、ヘッド本体１０の導入孔１２に連通する連通流路２３０が第３の方向Ｚに沿って直線状、すなわち、ストレートに設けられている。これにより、第２流路部材３０の接続流路２００から供給されたインクは、貫通孔２１０、管状流路２２０、及び、連通流路２３０を介してヘッド本体１０の導入孔１２に供給される。

なお、このようなホルダー６０は、樹脂材料を成型することで、低コストで形成することができる。もちろん、ホルダー６０の材料は樹脂材料に限定されず金属材料等であってもよい。また、ホルダー６０の製造方法は、成型に限定されるものではない。

このようなホルダー６０には、１つのヘッド本体１０に接続される２つの連通流路２３０の間に、第３の方向Ｚに貫通する第１配線挿通孔６１が設けられている。また、ホルダー上部材７０には、第１配線挿通孔６１に連通する第２配線挿通孔７２が第３の方向Ｚに貫通して設けられている。ホルダー６０に固定されたヘッド本体１０の配線基板１３は、第１配線挿通孔６１及び第２配線挿通孔７２を介してホルダー上部材７０のホルダー６０とは反対側まで引き出されている。

また、ホルダー上部材７０と第２シール部材８０との間には、ヘッド本体１０の配線基板１３が接続される中継基板１００が設けられている。

中継基板１００には、ホルダー上部材７０の第２配線挿通孔７２に連通して、ヘッド本体１０の配線基板１３が挿通される接続孔１０１が設けられており、接続孔１０１を挿通した配線基板１３は、中継基板１００の第２シール部材８０側の面で当該中継基板１００と電気的に接続されている。このような中継基板１００には、特に図示していないが、配線基板１３に接続される配線や電子部品等が設けられている。また、中継基板１００には、コネクター１０２が設けられており、支持部材９０に設けられた配線接続孔９３を挿通した図示しない外部配線がコネクター１０２に接続される。さらに、中継基板１００には、ホルダー上部材７０の突起部７１が挿通される第２突起部挿通孔１０３が設けられており、突起部７１は、中継基板１００の第２突起部挿通孔１０３及び支持部材９０の第１突起部挿通孔９２を挿通して、第２シール部材８０の貫通孔２１０と接続される。

このような中継基板１００は、本実施形態では、複数のヘッド本体１０に対して１つだけ設けられている。このため、複数のヘッド本体１０の配線基板１３を共通して図示しない外部配線に接続することができ、外部配線との接続を簡略化することができる。もちろん、中継基板１００は、複数設けるようにしてもよい。

このような第３流路部材５０に、第２流路部材３０は固定されている。具体的には、第３流路部材５０を構成する支持部材９０には、第２流路部材３０毎に２つの位置決めピン９４と、２つの突出部９５と、を具備する。

位置決めピン９４は、本実施形態では、Ｚ２側に向かって突出した円柱形状を有し、第２流路部材３０の位置決め孔３９に対応して設けられている。このような位置決めピン９４は、図５に示すように、第２流路部材３０の露出孔４０側から位置決め孔３９に挿入される。これにより、位置決めピン９４と位置決め孔３９とは、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの位置決めが行われる。すなわち、位置決めピン９４の外周面と、位置決め孔３９の内周面とを第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに当接させることで、第３流路部材５０に対して第２流路部材３０の第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの位置決めが行われる。本実施形態では、位置決めピン９４を第１位置決め孔３９Ａに挿入することによって第１位置決め孔３９Ａの第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの位置決めが行われ、位置決めピン９４を第２位置決め孔３９Ｂに挿入することで、第１位置決め孔３９Ａを中心とした回転方向の角度の位置決めが行われる。また、第２流路部材３０の露出孔４０及び中間露出孔４１は、位置決め孔３９よりも大きな内径を有するため、位置決めピン９４と位置決め孔３９との位置決めを阻害することがない。つまり、露出孔４０及び中間露出孔４１を位置決め孔３９と同じ内径で設けた場合、第１基板３１、第２基板３２及び中間基板３３の第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの位置ずれによって位置決め孔３９の周縁部が第２基板３２や中間基板３３によって覆われてしまう虞がある。本実施形態では、露出孔４０及び中間露出孔４１が位置決め孔３９を露出することで、位置決めピン９４と位置決め孔３９とを用いて位置決めを確実に行うことができる。すなわち、第２流路部材３０は、第３流路部材５０に対して第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの位置決めが、第１基板３１によって行われる。このように、第３流路部材５０に対して、各第２流路部材３０の第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの位置決めを行うことで、複数の第２流路部材３０の接続部３４の第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの相対位置を位置決めすることができる。つまり、位置決め孔３９は、接続部３４に対して位置決めされて設けられていればよい。これにより、詳しくは後述する第１流路部材を接続部３４に接続する際に、同時に複数の第１流路部材を接続部３４に高精度に位置決めして接続することができ、インクの漏出を抑制することができる。

一方、支持部材９０に設けられた突出部９５は、本実施形態では、Ｚ２側に向かって突出した円柱形状を有し、第２流路部材３０の凹部４３内に対応して設けられている。突出部９５は、図６に示すように、その先端面が第１位置決め面９６となっており、第２流路部材３０の凹部４３の底面である第２位置決め面４４と第３の方向Ｚにおいて当接することで、第３流路部材５０に対して第２流路部材３０の第３の方向Ｚの位置決めを行っている。すなわち、第２流路部材３０は、第３流路部材５０に対する第３の方向Ｚの位置決めが第２基板３２で行われる。このように第２流路部材３０の第３流路部材５０に対する第３の方向Ｚの位置決めを第３流路部材５０側に設けられた第２基板３２で行うことで、第２基板３２と支持部材９０との間で第２シール部材８０を第３の方向Ｚに押圧する圧力を高精度に調整することができる。ちなみに、第１基板３１に第２位置決め面を設けた場合、第１基板３１、第２基板３２及び中間基板３３の部材の寸法ばらつきや積層時の接着剤の厚さのばらつき等によって、第２基板３２と支持部材９０との間で第２シール部材８０を押圧する圧力にばらつきが生じてしまう。そして、第２シール部材８０を第３の方向Ｚに押圧する圧力が低いと、密封不良によってインクが漏出してしまう虞がある。また、第２シール部材８０を第３の方向Ｚに押圧する圧力が高すぎると、第２シール部材８０に屈曲や歪みが生じてしまい、第２シール部材８０に第１の方向Ｘ及び第の方向Ｙへの応力が印加されてインクが漏出されてしまう虞がある。本実施形態では、第２基板３２と支持部材９０とを第３の方向Ｚで当接させて位置決めして、第２基板３２と支持部材９０との間で第２シール部材８０を第３の方向Ｚに押圧することで、第２シール部材８０に印加する圧力を適切なものに調整することができ、接続流路２００と第２シール部材８０の貫通孔２１０との接続部分のインクの漏出を抑制することができる。また、本実施形態では、第２流路部材３０の接続流路２００と第２シール部材８０の貫通孔２１０とは、第３の方向Ｚに圧力を印加して連通するため、互いに第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの位置に誤差が生じたとしてもインクは漏出し難い。すなわち、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの位置決めは第１基板３１の位置決め孔３９と位置決めピン９４とで行われるが、第１基板３１に対して第２基板３２の第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの位置ずれが生じたとしても、第２流路部材３０の接続流路２００と第３流路部材５０の管状流路２２０との接続部分、すなわち、貫通孔２１０の部分でのインクの漏出は抑制される。

なお、第３流路部材５０の突出部９５には、第１位置決め面９６に開口するねじ穴９７が設けられている。また、第２流路部材３０の凹部４３の底面には、厚さ方向に貫通する固定孔４５が設けられている。そして、第２流路部材３０は、第３流路部材５０の第１位置決め面９６に第２位置決め面４４を第３の方向Ｚで当接させた状態で、ねじ９８を固定孔４５に挿入させてねじ穴９７に螺合させることで、第２流路部材３０は第３流路部材５０に固定される。このように、ねじ穴９７は、突出部９５の先端の第１位置決め面９６に開口するため、第２流路部材３０の接続流路２００と第３流路部材５０の管状流路２２０との接続部分よりも第３の方向Ｚの接続流路２００側にねじ穴９７が設けられていることになる。このようにねじ穴９７を接続流路２００と管状流路２２０との接続部分よりも接続流路２００側に設けることで、ねじ穴９７を設けるスペースを設けるために大型化する必要がなく小型化を図ることができる。つまり、ねじ穴９７を設けるには、ねじ穴９７の強度を保つためにも周囲に厚みが必要となるが、他の開口、例えば、第１突起部挿通孔９２等が設けられていると、他の開口からねじ穴９７を離した位置に配置する必要があり、大型化してしまう。本実施形態では、ねじ穴９７を突出部９５に設けることで、ねじ穴９７の剛性を突出部９５によって維持することができ、小型化を図ることができる。また、第２流路部材３０を第３流路部材５０にねじ９８によって固定することで、第２流路部材３０を第３流路部材５０から容易に着脱することができる。したがって、第２流路部材３０のみを交換することができ、流路部材２０全体を交換するのに比べて歩留まりを向上することができる。また、第２流路部材３０を第３流路部材５０から容易に着脱することができるため、第２流路部材３０の接続流路２００に洗浄液を逆流させて、接続流路２００やフィルター３５上の異物を洗浄する逆洗浄等を容易に行うことができる。

ここで、第２流路部材３０の製造方法について説明する。なお、図９は、第２流路部材の製造方法を示す断面図である。

図９（ａ）に示すように、治具１２０上に第２基板３２を位置決めして保持させる。治具１２０には、第２基板３２の露出孔４０に挿入されるピン１２１が設けられている。治具１２０のピン１２１を露出孔４０に挿入することで、第２基板３２は治具１２０に対して第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに位置決めされる。このように治具１２０に第２基板３２が位置決めされた状態で第２基板３２に接着剤１３０を塗布する。すなわち、第２基板３２を位置決めして保持して接着剤１３０を塗布することで、接着剤１３０を余分な領域に塗布することなく第２基板３２に高精度に塗布することができる。

また、図９（ｂ）に示すように、治具１２０上に中間基板３３を位置決めして保持させる。この治具１２０には、中間基板３３の中間露出孔４１に挿入されるピン１２１が設けられており、ピン１２１を中間露出孔４１に挿入することで、中間基板３３は治具１２０に対して第１の方向Ｘおよび第２の方向Ｙに位置決めされる。このように治具１２０に中間基板３３が位置決めされた状態で中間基板３３に接着剤１３１を塗布する。すなわち、中間基板３３を位置決めして保持して接着剤１３１を塗布することで、接着剤１３１を余分な領域に塗布することなく中間基板３３に高精度に塗布することができる。なお、中間基板３３には、中間基板位置決め孔３７が設けられているため、治具１２０のピン１２１を中間基板位置決め孔３７に挿入して位置決めすることも考えられるが、中間基板位置決め孔３７を、接着剤１３１を塗布する際に保持する治具１２０の位置決めに用いると、ピン１２１の出し入れ時などに中間基板位置決め孔３７に傷や変形が生じる虞がある。そして、中間基板位置決め孔３７に傷や変形が生じると、基板位置決めピン３６を中間基板位置決め孔３７に挿入した際の位置決めが高精度に行えず、第１基板３１と中間基板３３との位置ずれが生じてしまう虞がある。本実施形態では、第１基板３１と中間基板３３との相対的な位置決めに用いず、また、第２流路部材３０と第３流路部材５０との相対的な位置決めに用いられない中間露出孔４１を用いて治具１２０に位置決めすることで、中間露出孔４１に傷や変形が生じても、第１基板３１と中間基板３３との積層時の位置決めや第２流路部材３０と第３流路部材５０との位置決めに影響を及ぼすことがない。

次に、図９（ｃ）に示すように、第２基板３２上に中間基板３３を積層して、第２基板３２と中間基板３３とを接着剤１３０を介して接合する。

そして、図９（ｄ）に示すように、中間基板３３上に第１基板３１を積層して、中間基板３３と第１基板３１とを接着剤１３１を介して接合する。これにより、第１基板３１、第２基板３２及び中間基板３３が積層された第２流路部材３０が形成される。

このように、第２基板３２及び中間基板３３を、露出孔４０及び中間露出孔４１を用いて接着剤１３０、１３１を塗布する治具１２０に位置決めすることで、第１基板３１、第２基板３２及び中間基板３３の相対的な位置決めに影響を及ぼすことなく、高精度に積層することができる。

そして、このような第２流路部材３０には、第１流路部材１４０が接続される。ここで、第１流路部材１４０の一例について図１０を参照して説明する。なお、図１０は、記録ヘッド１の要部断面図及びその拡大図である。

図１０に示すように、第１流路部材１４０は、第２流路部材３０の各接続部３４に対応してそれぞれ設けられている。すなわち、本実施形態では、記録ヘッド１には、１２個の接続部３４が設けられているため、１２個の第１流路部材１４０が接続される。

このような第１流路部材１４０は、保持部材１５０に複数が一体的に保持されている。そして、複数の第１流路部材１４０を保持した保持部材１５０が第３流路部材５０に固定されることで、第１流路部材１４０は第２流路部材３０と接続される。

ここで、第１流路部材１４０は、図１０（ｂ）に示すように、内部に第１流路２４０を具備する。また、第１流路２４０の第２流路部材３０側の開口部分には、第１シール部材１４１が設けられている。第１シール部材１４１は、第２流路部材３０の接続部３４の外径よりも若干小さな内径を有する。そして、接続部３４を第１シール部材１４１に挿入することで、接続部３４の外周が第１シール部材１４１の内周面に法線方向、すなわち、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに圧力を印加した状態で密着される。つまり、接続部３４の内部に設けられた接続流路２００と第１流路２４０とは、第２流路部材３０と第３流路部材５０との積層方向である第３の方向Ｚに対して直交する方向、言い換えると接続流路２００の径方向に圧力を印加した状態で密封されている。

なお、第１流路部材１４０は、第３流路部材５０に対して第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙが位置決めされて固定される。具体的には、本実施形態では、第１流路部材１４０を保持する保持部材１５０が第３流路部材５０に第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに位置決めされた状態で固定されることで、第１流路部材１４０は、第３流路部材５０に対して第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの位置決めが行われる。

そして、第１流路部材１４０を第３流路部材５０に対して第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの位置決めを行うことで、第１流路部材１４０と第２流路部材３０との第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの位置決めが行われる。すなわち、第２流路部材３０は、第１基板３１が第３流路部材５０に対して第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの位置決めが行われており、第１流路部材１４０は、第３流路部材５０に対して第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの位置決めが行われる。これにより、第１流路部材１４０と第２流路部材３０とは、第３流路部材５０を介して第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの位置決めが行われる。このとき、第１流路部材１４０の第１シール部材１４１には、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに位置決めされた第１基板３１に設けられた接続部３４が接続されるため、第１シール部材１４１と接続部３４との第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの位置決めは高精度に行うことができる。ちなみに、第２流路部材３０の第２基板３２が、第３流路部材５０に対して第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの位置決めが行われている場合、接続部３４が設けられた第１基板３１と第２基板３２との位置ずれによって、接続部３４の第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに位置ずれが生じてしまう。このような状態で、接続部３４と第１シール部材１４１を接続すると、第１シール部材１４１に第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙで印加する圧力にばらつきが生じてしまい、インクの漏出が発生する虞がある。本実施形態では、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに押圧する第１シール部材１４１に対して、接続部３４が設けられた第１基板３１を第３流路部材５０に対して第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの位置決めを行うことで、第１シール部材１４１に対して接続部３４を高精度に位置決めすることができ、インクの漏出を抑制することができる。なお、接続部３４の第１シール部材１４１に対する第３の方向Ｚの相対位置、すなわち、挿入位置にずれが生じたとしても、第１シール部材１４１を押圧する方向ではないため、インクの漏出は発生し難い。したがって、第２流路部材３０の第３の方向Ｚの厚さにばらつきが生じたとしてもインクの漏出は抑制することができる。また、本実施形態では、複数の第１流路部材１４０が保持部材１５０によって一体的に保持されている。したがって、複数の第１流路部材１４０の第１シール部材１４１の第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの相対位置と、複数の接続部３４の第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの相対位置とを高精度に位置決めすることで、複数の第１流路部材１４０を複数の接続部３４に同時に接続した際の第１シール部材１４１の押圧量を高精度に調整することができ、インクの漏出を抑制することができる。また、複数の第１流路部材１４０を複数の接続部３４に同時に接続することができるため、接続時の作業を簡略化することができる。

なお、第１流路部材１４０には、インクが貯留されたインクタンク等の液体貯留手段が直接接続されていてもよく、また、液体貯留手段がチューブ等の供給管や他の流路部材などを介して接続されていてもよい。ちなみに、第１流路部材１４０の内部には、下流側の流路が負圧になることで開弁する圧力調整弁が設けられていてもよい。さらに、第１流路部材１４０は、それ自体がインクの貯留されたインクカートリッジ等であってもよい。

以下、本実施形態の記録ヘッド１の製造方法についてさらに図１１及び図１２を参照して説明する。なお、図１１及び図１２は、記録ヘッドの製造方法を示す要部断面図である。

まず、図９に示すように、第１基板３１と第２基板３２と中間基板３３とを固定して接続流路２００を有する第２流路部材３０を形成する（第１工程）。

次に、図８に示すように、ホルダー６０、ホルダー上部材７０、第２シール部材８０及び支持部材９０を組み立てることにより、第３流路部材５０を形成する（第２工程）。

次に、第２流路部材３０を第３流路部材５０に固定する（第３工程）。具体的には、図１１（ａ）に示すように、第３流路部材５０の位置決めピン９４を第２流路部材３０の位置決め孔３９に挿入することで、第２流路部材３０の第３流路部材５０に対する第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの位置決めを行う。

次に、図１１（ｂ）に示すように、第３流路部材５０の突出部９５の第１位置決め面９６を第２流路部材３０の第２位置決め面４４に当接させて、第２流路部材３０の第３流路部材５０に対する第３の方向Ｚの位置決めを行うと共に、ねじ９８を突出部９５のねじ穴９７に螺合させることで、第２流路部材３０を第３流路部材５０に固定する。

次に、図１２に示すように、第２流路部材３０の接続部３４を第１流路部材１４０の第１シール部材１４１に第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに押圧して接続流路２００と第１流路２４０とを接続する（第４工程）。

これにより、第１シール部材１４１の第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの押圧量を高精度に調整することができると共に、第２シール部材８０の第３の方向Ｚの押圧量を高精度に調整することができる。したがって、第１流路部材１４０の第１流路である第１流路２４０と第２流路部材３０の第２流路である接続流路２００との接続部分のインクの漏出を抑制することができると共に、第２流路部材３０の接続流路２００と第３流路部材５０の第３流路である管状流路２２０との接続部分のインクの漏出を抑制することができる。

（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。

例えば、上述した実施形態１では、第１基板３１に位置決め孔３９を設け、第３流路部材５０に位置決めピン９４を設け、第３流路部材５０の位置決めピン９４と第１基板３１の位置決め孔３９とが第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに位置決めされるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、第１基板３１に位置決めピンを設け、第３流路部材５０に第１基板３１の位置決めピンが挿入される位置決め孔を設けるようにしてもよい。この場合であっても、第１基板３１は、第３流路部材５０に対して第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに高精度に位置決めすることができる。

また、上述した実施形態１では、第１流路部材１４０の第１流路２４０と第２流路部材３０の接続流路２００との接続部分を密封する第１シール部材１４１は、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに押圧され、第２流路部材３０の接続流路２００と第３流路部材５０の管状流路２２０との接続部分を密封する第２シール部材８０は、第３の方向Ｚに押圧されるようにしたが、特にこれに限定されない。例えば、第１流路部材１４０の第１流路２４０と第２流路部材３０の接続流路２００との接続部分を密封する第１シール部材１４１は、第３の方向Ｚに押圧され、第２流路部材３０の接続流路２００と第３流路部材５０の管状流路２２０との接続部分を密封する第２シール部材８０は、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに押圧されるようにしてもよい。この場合には、第１基板３１が、第２基板３２に対してＺ１側に積層されるようにすればよい。なお、第２流路部材３０の接続流路２００と、第２シール部材８０の貫通孔２１０との接続部分は、支持部材９０等によって隠れてしまうが、第２基板３２が第３流路部材５０に対して第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの位置決めが行われていれば、目視しなくても第２流路部材３０の接続流路２００と第２シール部材８０の貫通孔２１０とを確実に接続することができ、インクの漏出を抑制することができる。さらに、上述した実施形態１では、第１流路部材１４０から第２流路部材３０を介して第３流路部材５０にインクが流れるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、第３流路部材５０側から第２流路部材３０を介して第１流路部材１４０側にインクが流れるようにしてもよい。

また、上述した実施形態１では、第２流路部材３０と第３流路部材５０との積層方向を第３の方向Ｚとし、第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ及び第３の方向Ｚが互いに直交する方向としたが、特にこれに限定されず、第１の方向Ｘと第２の方向Ｙとが直交する方向であれば、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙは第３の方向Ｚに対して９０度以外の角度で交差する方向であってもよい。

また、上述した実施形態１では、第２流路部材３０を第３流路部材５０にねじ９８によって固定するようにしたが、特にこれに限定されず、クランプ等によって固定するようにしてもよい。ただし、第２流路部材３０を第３流路部材５０に着脱可能に固定することで、第２流路部材３０の接続流路２００を容易に逆洗浄することができる。

さらに、上述した実施形態１では、第２流路部材３０には、フィルター３５が設けられているが、第２流路部材３０は、フィルター３５が設けられたものに限定されるものではなく、フィルター３５は設けられていなくてもよい。なお、フィルター３５は、例えば、第３流路部材５０に設けられていてもよい。

また、第２流路部材３０には、露出孔４０及び中間露出孔４１が設けられているが、特にこれに限定されず、露出孔４０及び中間露出孔４１は設けられていなくてもよい。ただし、露出孔４０及び中間露出孔４１が設けられていない場合であっても、位置決め孔３９は、第３の方向ＺのＺ１側から見た場合に露出されていればよい。

また、上述した実施形態１では、第１基板３１と第２基板３２と中間基板３３とが基板位置決めピン３６、中間基板位置決め孔３７及び基板位置決め孔３８によって互いに第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに位置決めされた構成を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、第１基板３１と第２基板３２と中間基板３３とにマークを設け、マークを視認することで位置決めするようにしてもよく、また、外形基準で相対的に位置決めするようにしてもよく、さらに、画像処理によって位置決めするようにしてもよい。

また、これら上述した実施形態の記録ヘッド１は、インクジェット式記録装置に搭載される。図１３は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。

図１３に示すインクジェット式記録装置Ｉにおいて、記録ヘッド１には、液体貯留手段であるインクタンク等の液体貯留手段２がチューブ等の供給管２ａを介して接続されている。そして、記録ヘッド１は、キャリッジ３に搭載されている。キャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動可能に設けられている。本実施形態では、記録ヘッド１の第２の方向Ｙがキャリッジ３の移動方向となるように配置されている。

そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッド１を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４には搬送手段としての搬送ローラー８が設けられており、紙等の記録媒体である記録シートＳが搬送ローラー８により搬送されるようになっている。なお、記録シートＳを搬送する搬送手段は、搬送ローラーに限られずベルトやドラム等であってもよい。

なお、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、記録ヘッド１がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、記録ヘッド１が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。

なお、上記実施の形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを、また液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド及び液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドや液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用できる。

１ インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、 ２ 液体貯留手段、 １０ ヘッド本体、 １１ ノズル、 １２ 導入孔、 １３ 配線基板、 ２０ 流路部材、 ３０ 第２流路部材、 ３１ 第１基板、 ３２ 第２基板、 ３３ 中間基板、 ３４ 接続部、 ３５ フィルター、 ３６ 基板位置決めピン、 ３７ 中間基板位置決め孔、 ３８ 基板位置決め孔、 ３９ 位置決め孔、 ３９Ａ 第１位置決め孔、 ３９Ｂ 第２位置決め孔、 ４０ 露出孔、 ４１ 中間露出孔、 ４２ 凸部、 ４３ 凹部、 ４４ 第２位置決め面、 ４５ 固定孔、 ５０ 第３流路部材、 ６０ ホルダー、 ７０ ホルダー上部材、 ７１ 突起部、 ８０ 第２シール部材、 ８１ 管状部、 ９０ 支持部材、 ９１ 支持部、 ９２ 第１突起部挿通孔、 １００ 中継基板、 １０３ 第２突起部挿通孔、 １２０ 治具、 １２１ ピン、 １３０、１３１ 接着剤、 １４０ 第１流路部材、 １４１ 第１シール部材、 １５０ 保持部材、 ２００ 接続流路（第２流路）、 ２１０ 貫通孔、 ２２０ 管状流路（第３流路）、 ２３０ 連通流路、 ２４０ 第１流路、 Ｘ 第１の方向、 Ｙ 第２の方向、 Ｚ 第３の方向（積層方向）

Claims (8)

1. 第１流路部材に設けられた第１流路と連通する第２流路が設けられた第２流路部材と、
   前記第２流路部材に設けられた前記第２流路と連通する第３流路が設けられ、前記第２流路部材と積層された第３流路部材と、
   前記第１流路、前記第２流路及び前記第３流路を介して供給された液体を噴射するノズルと、
   を備え、
   前記第１流路と前記第２流路との接続部分は、第１シール部材により密封され、
   前記第２流路と前記第３流路との接続部分は、第２シール部材により密封され、
   前記第２流路部材は、
   前記第３流路部材に対して、当該第２流路部材の積層方向に対して交差する第１の方向及び第２の方向における位置決めを行う第１基板と、
   前記第３流路部材に対して、当該第２流路部材の前記積層方向の位置決めを行う第２基板と、
   を有し、
   前記第１基板は、前記第１シール部材と前記第２シール部材との何れか一方により第１の方向及び第２の方向に押圧され、
   前記第２基板は、前記第１シール部材と前記第２シール部材との何れか他方により前記積層方向に押圧されることを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記第２流路部材は、前記第３流路部材に設けられたねじ穴に螺合するねじにより前記第３流路部材に固定され、
   前記第２流路と前記第３流路との接続部分よりも前記積層方向の前記第２流路側に前記ねじ穴が設けられていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記第２流路部材は、前記第１基板と前記第２基板との間にフィルターを有することを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記第３流路部材には、
   前記第１の方向及び前記第２の方向の位置決めに用いられる位置決めピンと、
   前記積層方向の位置決めに用いられる第１位置決め面と、
   が設けられ、
   前記第１基板は、前記位置決めピンに対して前記第１の方向及び前記第２の方向で当接する位置決め孔を有し、
   前記第２基板は、前記第１位置決め面に対して前記積層方向で当接する第２位置決め面を有することを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
5. 前記第２基板は、前記積層方向のうち前記位置決めピンの根元側から先端側に向けて見た場合に、前記第１基板の前記位置決め孔を露出させる露出孔を有することを特徴とする請求項４記載の液体噴射ヘッド。
6. 前記第１基板と前記第２基板との何れか一方は、互いに前記第１の方向及び前記第２の方向に位置決めを行う基板位置決めピンを有し、
   前記第１基板と前記第２基板との何れか他方は、前記基板位置決めピンに対して前記第１の方向及び前記第２の方向で当接する基板位置決め孔を有することを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
7. 請求項１〜６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
8. 第１流路部材に設けられた第１流路と連通する第２流路を有する第２流路部材と、
   前記第２流路部材の前記第２流路と連通する第３流路が設けられた第３流路部材と、
   前記第１流路、前記第２流路及び前記第３流路を介して供給された液体を噴射するノズルと、
   を備える液体噴射ヘッドの製造方法であって、
   第１基板と第２基板とを固定し、前記第２流路部材の前記第２流路を形成する第１工程と、
   前記第３流路部材に対して第２シール部材を固定する第２工程と、
   前記第２基板と前記第３流路部材とにより前記第２シール部材を積層方向に押圧して前記第２流路と前記第３流路とを接続部分を前記第２シール部材により密封し、前記第２基板により前記第３流路部材に対する前記積層方向の位置決めを行い、前記第１基板により前記第３流路部材に対する前記積層方向に対して交差する第１の方向及び第２の方向の位置決めを行う第３工程と、
   前記第１流路部材と前記第１基板とにより第１シール部材を前記第１の方向及び前記第２の方向に押圧して前記第１流路と前記第２流路との接続部分を前記第１シール部材により密封する第４工程と、
   を備えることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
   

Images