JP6672991B2 - 縮合硬化性樹脂組成物及び半導体装置 - Google Patents
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Description
で示される基であり、Xは独立に水素原子又は炭素数1〜6の非置換一価炭化水素基であり、aは0〜500の整数であり、bは0〜5,000の整数であり、cは0〜500の整数であり、dは0〜500の整数であり、eは1〜500の整数であり、fは2〜100の整数であり、a+b+c+d+eは1〜5,001の整数である。]
で示される水酸基及び/又はアルコキシ基を分子内に少なくとも2個有するシルフェニレン骨格含有有機ケイ素化合物100質量部と、(B)下記一般式(3)
で示される水素原子と水酸基及び/又はアルコキシ基とを同一ケイ素原子上に有する有機ケイ素化合物0.1〜200質量部を含み、縮合触媒を含まない縮合硬化性樹脂組成物、及び、(C)下記一般式(4)
で示される水素原子と水酸基及び/又はアルコキシ基とを同一ケイ素原子上に有するシルフェニレン骨格含有有機ケイ素化合物を含み、縮合触媒を含まない縮合硬化性樹脂組成物が、良好な硬化速度を有し、硬さ、耐クラック性、耐熱性、耐光性を兼ね備える硬化物が得られることを見出し、本発明をなすに至った。
〔1〕
(A)下記一般式(1)で示される水酸基及び/又はアルコキシ基を分子内に少なくとも2個有するシルフェニレン骨格含有有機ケイ素化合物100質量部と、
で示される基であり、Xは独立に水素原子又は炭素数1〜6の非置換一価炭化水素基であり、aは0〜500の整数であり、bは0〜5,000の整数であり、cは0〜500の整数であり、dは0〜500の整数であり、eは1〜500の整数であり、fは2〜100の整数であり、a+b+c+d+eは1〜5,001の整数である。]
(B)下記一般式(3)で示される水素原子と水酸基及び/又はアルコキシ基とを同一ケイ素原子上に有する有機ケイ素化合物0.1〜200質量部
を含み、縮合触媒を含まないことを特徴とする縮合硬化性樹脂組成物。
〔2〕
(C)下記一般式(4)で示される水素原子と水酸基及び/又はアルコキシ基とを同一ケイ素原子上に有するシルフェニレン骨格含有有機ケイ素化合物を含み、縮合触媒を含まないことを特徴とする縮合硬化性樹脂組成物。
で示される基であり、Xは独立に水素原子又は炭素数1〜6の非置換一価炭化水素基であり、R4 は炭素数1〜12の非置換一価炭化水素基である。a”は0〜500の整数であり、b”は0〜5,000の整数であり、c”は0〜500の整数であり、d”は0〜500の整数であり、e”は1〜500の整数であり、f”は0〜100の整数であり、g”は2〜100の整数であり、kは0又は1であり、a”+b”+c”+d”+e”+g”は3〜5,003の整数である。]
〔3〕
更に、(D)アセトキシ基、ケトオキシム基及びアルケノキシ基から選ばれる加水分解可能な基を1分子中に少なくとも2個有する有機ケイ素化合物又はその部分加水分解物を(A)成分と(B)成分の合計100質量部又は(C)成分100質量部に対して0.1〜30質量部含む〔1〕又は〔2〕に記載の縮合硬化性樹脂組成物。
〔4〕
更に、(E)下記一般式(6)で示される水酸基及び/又はアルコキシ基を分子内に少なくとも2個有する有機ケイ素化合物を(A)成分と(B)成分の合計100質量部又は(C)成分100質量部に対して5〜500質量部含む〔1〕〜〔3〕のいずれかに記載の縮合硬化性樹脂組成物。
〔5〕
〔1〕〜〔4〕のいずれかに記載の縮合硬化性樹脂組成物の硬化物で封止された半導体装置。
本発明の実施形態は大きく2つに分けることができ、実施形態の1つは(A)成分と(B)成分を必須成分とするものであり、別の1つは(C)成分を必須成分とするものである。以下、順に説明する。
[(A)水酸基及び/又はアルコキシ基を分子内に少なくとも2個有するシルフェニレン骨格含有有機ケイ素化合物]
本発明の(A)成分は、下記一般式(1)で示される水酸基及び/又はアルコキシ基を分子内に少なくとも2個有するシルフェニレン骨格含有有機ケイ素化合物である。
で示される基であり、Xは独立に水素原子又は炭素数1〜6の非置換一価炭化水素基であり、aは0〜500の整数であり、bは0〜5,000の整数であり、cは0〜500の整数であり、dは0〜500の整数であり、eは1〜500の整数であり、fは2〜100の整数であり、a+b+c+d+eは1〜5,001の整数である。]
R2は独立に炭素数1〜12の非置換一価炭化水素基であり、上記R1で例示した具体例が同様に例示され、メチル基もしくはフェニル基が好ましい。
Xは独立に水素原子又は炭素数1〜6の非置換一価炭化水素基であり、水素原子、もしくはメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシル基等のアルキル基、シクロヘキシル基等のシクロアルキル基などの炭素数1〜6の一価脂肪族飽和炭化水素基、フェニル基などが挙げられ、メチル基、エチル基が好ましい。
上記式(2)において、nは0〜3の整数であり、好ましくは0又は1であり、更に好ましくは1である。
で示される加水分解性基又は水酸基を有するシルフェニレン骨格含有有機ケイ素化合物と任意の加水分解性シラン又は加水分解性シロキサンとを公知の方法により共(加水分解)縮合することによって得ることができる。また、YがOX(Xは上記と同じ)のものであれば(A)成分としてそのまま用いることもできる。
本発明の(B)成分は、下記一般式(3)で示される水素原子と水酸基及び/又はアルコキシ基とを同一ケイ素原子上に有する有機ケイ素化合物である。
R4 は炭素数1〜12の非置換一価炭化水素基であり、炭素数1〜12の非置換一価炭化水素基としては、上記式(1)のR1で例示したものと同様のものを例示することができ、Xは上記式(1)のXと同じであり、同様のものを例示することができる。
(B)成分は、1種を単独で用いても、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
[(C)水素原子と水酸基及び/又はアルコキシ基とを同一ケイ素原子上に有するシルフェニレン骨格含有有機ケイ素化合物]
本発明の(C)成分は、下記一般式(4)で示される水素原子と水酸基及び/又はアルコキシ基とを同一ケイ素原子上に有するシルフェニレン骨格含有有機ケイ素化合物である。
a”は0〜500の整数であり、好ましくは0〜250の整数であり、更に好ましくは0〜100の整数である。b”は0〜5,000の整数であり、好ましくは0〜2,500の整数であり、更に好ましくは0〜1,000の整数である。c”は0〜500の整数であり、好ましくは0〜250の整数であり、更に好ましくは0〜100の整数である。d”は0〜500の整数であり、好ましくは0〜250の整数であり、更に好ましくは0〜100の整数である。e”は1〜500の整数であり、好ましくは1〜250の整数であり、更に好ましくは1〜100の整数である。f”は0〜100の整数であり、好ましくは0〜75の整数であり、更に好ましくは0〜50の整数である。g”は2〜100の整数であり、好ましくは2〜75の整数であり、更に好ましくは2〜50の整数である。kは上記と同じで0又は1であり、好ましくは0である。a”+b”+c”+d”+e”+g”は3〜5,003の整数であり、好ましくは3〜4,000の整数であり、更に好ましくは3〜2,500の整数である。
(C)成分は、1種を単独で用いても、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
また、上記(A)成分と(B)成分とを部分的に反応させたものを用いることもできる。この場合、(A)成分と(B)成分との反応物は、(A)成分と(B)成分を目的とする(C)成分が得られる任意の量で混合し、50〜200℃にて0.5〜72時間加熱することによって得ることができる。この時、反応性を調整する目的で任意の溶媒を用いてもよい。
(D)成分は、アセトキシ基、ケトオキシム基及びアルケノキシ基から選ばれる加水分解可能な基を1分子中に少なくとも2個有する有機ケイ素化合物又はその部分加水分解物である。
上記加水分解可能な基は、1分子中に少なくとも2個有することが好ましく、更には3個有することが好ましい。
(E)成分は、下記一般式(6)で示される水酸基及び/又はアルコキシ基を分子内に少なくとも2個有する有機ケイ素化合物である。なお、(E)成分は、シルフェニレン骨格を含まず、水素原子と水酸基及び/又はアルコキシ基とを同一ケイ素原子上に有することのない点で、上記(A)〜(C)成分と相違するものである。
a'''は0〜500の整数であり、好ましくは0〜250の整数であり、更に好ましくは0〜100の整数である。b'''は0〜5,000の整数であり、好ましくは0〜2,500の整数であり、更に好ましくは0〜1,000の整数である。c'''は0〜500の整数であり、好ましくは0〜250の整数であり、更に好ましくは0〜100の整数である。d'''は0〜500の整数であり、好ましくは0〜250の整数であり、更に好ましくは0〜100の整数である。f'''は2〜100の整数であり、好ましくは2〜75の整数であり、更に好ましくは2〜50の整数である。1≦b'''+c'''+d'''≦5,000であり、好ましくは5≦b'''+c'''+d'''≦2,500であり、更に好ましくは10≦b'''+c'''+d'''≦1,000である。
蛍光体は、特に制限されるものでなく、従来公知の蛍光体を使用すればよい。例えば、半導体素子、特に窒化物系半導体を発光層とする半導体発光ダイオードからの光を吸収し、異なる波長の光に波長変換するものであることが好ましい。このような蛍光体としては、例えば、Eu、Ce等のランタノイド系元素で主に賦活される窒化物系蛍光体・酸窒化物系蛍光体、Eu等のランタノイド系、Mn等の遷移金属系の元素により主に賦活されるアルカリ土類金属ハロゲンアパタイト蛍光体、アルカリ土類金属ホウ酸ハロゲン蛍光体、アルカリ土類金属アルミン酸塩蛍光体、アルカリ土類金属ケイ酸塩蛍光体、アルカリ土類金属硫化物蛍光体、アルカリ土類金属チオガレート蛍光体、アルカリ土類金属窒化ケイ素蛍光体、ゲルマン酸塩蛍光体、又は、Ce等のランタノイド系元素で主に賦活される希土類アルミン酸塩蛍光体、希土類ケイ酸塩蛍光体又はEu等のランタノイド系元素で主に賦活される有機及び有機錯体蛍光体、Ca−Al−Si−O−N系オキシ窒化物ガラス蛍光体等から選ばれる1種以上であることが好ましい。
Eu、Ce等のランタノイド系元素で主に賦活される酸窒化物系蛍光体としては、MSi2O2N2:Eu(Mは、Sr、Ca、Ba、Mg、Znから選ばれる少なくとも1種である。)が挙げられる。
Eu等のランタノイド系、Mn等の遷移金属系の元素により主に賦活されるアルカリ土類金属ハロゲンアパタイト蛍光体としては、M5(PO4)3X’:R’(Mは、Sr、Ca、Ba、Mg、Znから選ばれる少なくとも1種である。X’は、F、Cl、Br、Iから選ばれる少なくとも1種である。R’は、Eu、Mn、Eu及びMnのいずれか1以上である。)が挙げられる。
アルカリ土類金属アルミン酸塩蛍光体としては、SrAl2O4:R’、Sr4Al14O25:R’、CaAl2O4:R’、BaMg2Al16O27:R’、BaMg2Al16O12:R’、及びBaMgAl10O17:R’(R’は、Eu、Mn、Eu及びMnのいずれか1以上である。)が挙げられる。
アルカリ土類金属硫化物蛍光体としては、La2O2S:Eu、Y2O2S:Eu、及びGd2O2S:Euなどが挙げられる。
Ce等のランタノイド系元素で主に賦活される希土類アルミン酸塩蛍光体としては、Y3Al5O12:Ce、(Y0.8Gd0.2)3Al5O12:Ce、Y3(Al0.8Ga0.2)5O12:Ce、及び(Y,Gd)3(Al,Ga)5O12の組成式で表されるYAG系蛍光体が挙げられる。また、Yの一部もしくは全部をTb、Lu等で置換したTb3Al5O12:Ce、Lu3Al5O12:Ceなどもある。
上記蛍光体は、所望に応じてEuに代えて、又は、Euに加えてTb、Cu、Ag、Au、Cr、Nd、Dy、Co、Ni、Tiから選択される1種以上を含有させることができる。
また、上記蛍光体以外の蛍光体であって、同様の性能、効果を有する蛍光体を使用することもできる。
無機充填材としては、例えば、シリカ、ヒュームドシリカ、ヒュームド二酸化チタン、アルミナ、炭酸カルシウム、ケイ酸カルシウム、二酸化チタン、酸化第二鉄、及び酸化亜鉛等を挙げることができる。これらは、1種単独で又は2種以上を併せて使用することができる。
本発明の縮合硬化性樹脂組成物は、接着性を付与するため、必要に応じて接着助剤を含有してよい。接着助剤としては、例えば、1分子中にケイ素原子に結合した水素原子、アルケニル基、アルコキシ基から選ばれる官能性基を少なくとも2種とエポキシ基を有するオルガノシロキサンオリゴマーが挙げられる。該オルガノシロキサンオリゴマーは、ケイ素原子数4〜50個であることが好ましく、より好ましくは4〜20個である。なお、この接着助剤は、シルフェニレン骨格を含まず、水素原子と水酸基及び/又はアルコキシ基とを同一ケイ素原子上に有することがなく、更にエポキシ基を必須とする点で、上記成分と相違するものである。
本発明の縮合硬化性樹脂組成物には、上記成分のほかに、その他の添加剤を配合することができる。その他の添加剤としては、例えば、ラジカル禁止剤、難燃剤、界面活性剤、光安定剤、増粘剤、可塑剤、酸化防止剤、熱安定剤、導電性付与剤、帯電防止剤、放射線遮断剤、核剤、リン系過酸化物分解剤、滑剤、顔料、金属不活性化剤、物性調整剤、有機溶剤等が挙げられる。これらの任意成分は、1種を単独で用いても2種以上を併用してもよい。
(Me3SiO0.5)4(PhSiO1.5)16Z’3(O0.5H)4
(A−2)下記式で表される分岐状シルフェニレン骨格含有有機ケイ素化合物(信越化学工業株式会社製)
(Me3SiO0.5)4(PhSiO1.5)16Z3(O0.5H)4
(A−3)下記式で表される分岐状シルフェニレン骨格含有有機ケイ素化合物(信越化学工業株式会社製)
(Me3SiO0.5)30(SiO2)45Z’5(O0.5R)6 R=H又はiPr
(A−4)下記式で表される分岐状シルフェニレン骨格含有有機ケイ素化合物(信越化学工業株式会社製)
(Me3SiO0.5)180(SiO2)180Z’40(O0.5R)60 R=H又はEt
(A−5)下記式で表される分岐状シルフェニレン骨格含有有機ケイ素化合物(信越化学工業株式会社製)
(Me3SiO0.5)30(Me2SiO)30(MeSiO1.5)190Z'20(O0.5R)50 R=H又はMe
(A−6)下記式で表される直鎖状シルフェニレン骨格含有有機ケイ素化合物(信越化学工業株式会社製)
MeO0.5−Z”−O0.5Me
(A−7)下記式で表される直鎖状シルフェニレン骨格含有有機ケイ素化合物(信越化学工業株式会社製)
HO0.5−(PhMeSiO)28Z2−O0.5H
(A−8)下記式で表される直鎖状シルフェニレン骨格含有有機ケイ素化合物(信越化学工業株式会社製)
HO0.5−(PhMeSiO)28Z’2−O0.5H
(A−9)下記式で表される直鎖状シルフェニレン骨格含有有機ケイ素化合物(信越化学工業株式会社製)
RO0.5−(Me2SiO)300Z’45−O0.5R R=H又はMe
(A−10)下記式で表される直鎖状シルフェニレン骨格含有有機ケイ素化合物(信越化学工業株式会社製)
RO0.5−(Me2SiO)1980Z’495−O0.5R R=H又はMe
(HSi(OEt)2O0.5)2(Ph2SiO)
(B−2)下記式で表される水素原子とアルコキシ基を同一ケイ素原子上に有する有機ケイ素化合物(信越化学工業株式会社製)
(HSi(OMe)2O0.5)2(Me(OMe)SiO)3
(B−3)下記式で表される水素原子とアルコキシ基を同一ケイ素原子上に有する有機ケイ素化合物(信越化学工業株式会社製)
(HSi(OMe)2O0.5)2(Me2SiO)1980
(B−4)下記式で表される水素原子とアルコキシ基を同一ケイ素原子上に有する有機ケイ素化合物(信越化学工業株式会社製)
(HSi(OMe)2O0.5)4(Me3SiO0.5)4(PhSiO1.5)16
(B−5)下記式で表される水素原子とアルコキシ基を同一ケイ素原子上に有する有機ケイ素化合物(信越化学工業株式会社製)
10Lのフラスコ中で上記(A−1)3,414g(1mol)と上記(B−1)1,274g(3.5mol)をトルエン1,500gに均一溶解させ、100℃で6時間、縮合反応を行った。次いで、トルエンを減圧留去し、下記化合物を得た。
(Me3SiO0.5)4(PhSiO1.5)18(O0.5H)4
(E−2)下記式で表される分岐状有機ケイ素化合物(信越化学工業株式会社製)
(Me3SiO0.5)30(SiO2)45(O0.5R)4 R=H又はiPr
(E−3)下記式で表される直鎖状有機ケイ素化合物(信越化学工業株式会社製)
HO−(PhMeSiO)30−H
(E−4)下記式で表される直鎖状有機ケイ素化合物(信越化学工業株式会社製)
RO−(Me2SiO)300−R R=H又はMe
(E−5)下記式で表される直鎖状有機ケイ素化合物(信越化学工業株式会社製)
RO−(Me2SiO)25000−R R=H又はMe
上記各成分を表1,2に記載の配合量で混合し、縮合硬化性樹脂組成物を調製した。実施例及び比較例で調製した縮合硬化性樹脂組成物について、以下に示す試験を行った。
JIS Z 8803:2011に準じ、B型粘度計を用いて23℃での縮合硬化性樹脂組成物の粘度を測定した。結果を表3,4に記載する。
50mm径×10mm厚のアルミシャーレに調製した縮合硬化性樹脂組成物を流し込み、60℃×1時間、100℃×1時間、次いで150℃×4時間の順でステップキュアして硬化物を得た。該硬化物の硬さ(Shore DもしくはType A)をJIS K 6253−3:2012に準拠して測定した。結果を表3,4に記載する。
150mm×200mm×2mm厚の凹型テフロン(登録商標)金型に縮合硬化性樹脂組成物を流し込み、60℃×1時間、100℃×1時間、次いで150℃×8時間の順でステップキュアしてサンプルを作製した。JIS K 6251:2010に準拠して、EZ TEST(EZ−L、株式会社島津製作所製)を用いて、試験速度500mm/min、つかみ具間距離80mm、及び標点間距離40mmの条件でサンプルの引張強さと切断時伸びを測定した。結果を表3,4に記載する。
Tiger3528パッケージ(信越化学工業株式会社製)に縮合硬化性樹脂組成物をディスペンスし、60℃×1時間、100℃×1時間、次いで150℃×8時間の順でステップキュアし、硬化物でパッケージを封止した試験体を製造した。該試験体の20個について、−55℃〜165℃、1,000回のサーマルサイクル試験(TCT)を行い、封止物にクラックが生じた試験体の数を計測した。結果を表3,4に記載する。
50mm×20mm×1mm厚のスライドガラス2枚の間に凹型の1mm厚テフロン(登録商標)スペーサーを挟み、それらを固定した後、縮合硬化性樹脂組成物を流し込み、60℃×1時間、100℃×1時間、次いで150℃×8時間の順でステップキュアしてサンプルを作製した。得られたサンプルの450nmにおける光透過率を分光光度計U−4100(株式会社日立ハイテクノロジーズ製)にて測定した。結果を表3,4に記載する。
上記試験(5)で作製したサンプルを180℃にて1,000時間放置した後、450nmにおける光透過率を分光光度計U−4100(株式会社日立ハイテクノロジーズ製)にて測定した。結果を表3,4に記載する。
上記試験(5)で作製したサンプルに、温度調節機能付きレーザー照射装置(光源:日亜化学株式会社製UV−LED、オーブン:ESPEC STH−120、検出器:ADVANTEST R8240)を用いて、100℃にて440nmのレーザー光(出力:250mW/mm2)を1,000時間照射した。初期(0時間)の440nmにおける透過率を100%として、レーザーを1,000時間照射した後の透過率との比較を行った。結果を表3,4に記載する。
Claims (5)
- (A)下記一般式(1)で示される水酸基及び/又はアルコキシ基を分子内に少なくとも2個有するシルフェニレン骨格含有有機ケイ素化合物100質量部と、
[式中、R1は独立に炭素数1〜12の非置換一価炭化水素基であり、R2は独立に炭素数1〜12の非置換一価炭化水素基であり、Zは独立に下記一般式(2)
(式中、R3は独立に炭素数1〜12の非置換一価炭化水素基であり、nは0〜3の整数である。)
で示される基であり、Xは独立に水素原子又は炭素数1〜6の非置換一価炭化水素基であり、aは0〜500の整数であり、bは0〜5,000の整数であり、cは0〜500の整数であり、dは0〜500の整数であり、eは1〜500の整数であり、fは2〜100の整数であり、a+b+c+d+eは1〜5,001の整数である。]
(B)下記一般式(3)で示される水素原子と水酸基及び/又はアルコキシ基とを同一ケイ素原子上に有する有機ケイ素化合物0.1〜200質量部
(式中、R1、R2、Z、Xは上記と同じであり、R4 は炭素数1〜12の非置換一価炭化水素基である。a’は0〜500の整数であり、b’は0〜5,000の整数であり、c’は0〜500の整数であり、d’は0〜500の整数であり、e’は0〜500の整数であり、f’は0〜100の整数であり、g’は2〜100の整数であり、kは0又は1であり、a’+b’+c’+d’+e’+g’は2〜5,002の整数である。)
を含み、縮合触媒を含まないことを特徴とする縮合硬化性樹脂組成物。 - (C)下記一般式(4)で示される水素原子と水酸基及び/又はアルコキシ基とを同一ケイ素原子上に有するシルフェニレン骨格含有有機ケイ素化合物を含み、縮合触媒を含まないことを特徴とする縮合硬化性樹脂組成物。
[式中、R1は独立に炭素数1〜12の非置換一価炭化水素基であり、R2は独立に炭素数1〜12の非置換一価炭化水素基であり、Zは独立に下記一般式(2)
(式中、R3は独立に炭素数1〜12の非置換一価炭化水素基であり、nは0〜3の整数である。)
で示される基であり、Xは独立に水素原子又は炭素数1〜6の非置換一価炭化水素基であり、R4 は炭素数1〜12の非置換一価炭化水素基である。a”は0〜500の整数であり、b”は0〜5,000の整数であり、c”は0〜500の整数であり、d”は0〜500の整数であり、e”は1〜500の整数であり、f”は0〜100の整数であり、g”は2〜100の整数であり、kは0又は1であり、a”+b”+c”+d”+e”+g”は3〜5,003の整数である。] - 更に、(D)アセトキシ基、ケトオキシム基及びアルケノキシ基から選ばれる加水分解可能な基を1分子中に少なくとも2個有する有機ケイ素化合物又はその部分加水分解物を(A)成分と(B)成分の合計100質量部又は(C)成分100質量部に対して0.1〜30質量部含む請求項1又は2に記載の縮合硬化性樹脂組成物。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の縮合硬化性樹脂組成物の硬化物で封止された半導体装置。
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