JP6938212B2

JP6938212B2 - 加工方法

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Description

本発明は、板状物にシートを貼着する加工方法に関する。

シートに貼着され、かつ分割起点が形成された板状物であるウエーハ（例えば、特許文献１参照）は、エキスパンド装置でシートがエキスパンドされて、個々のデバイスへと分割される。また、切削加工によりハーフカットされた後に裏面が研削加工される所謂ＤＢＧ（Dicing Before Grinding）加工によりデバイスに分割されたウエーハには、ＤＡＦ（Die Attach Film）が貼着される。前述したウエーハに貼着されたＤＡＦは、エキスパンド装置により分割されたり（例えば、特許文献２参照）、レーザー光線の照射により分断されたりしている（例えば、特許文献３参照）。また、前述したシートは、ウエーハに貼着される際に、貼着装置（例えば、特許文献４参照）のテープ貼着ローラの転動方向と平行なテンションが生成される。

特許第３４０８８０５号公報特開２００７−０２７５６２号公報特開２００５−１１６７３９号公報特開２０１５−０８２６４２号公報

前述したシートは、テンションが生成されていると、テンションの方向に収縮する力が加わるために、このテンションの方向ではエキスパンドされにくくなる。このために、テンションが生成されたシートは、全方向に一様にエキスパンドされても、方向によって実際にエキスパンドされる量（伸びる量）に差が生じてしまう。シートは、方向によってエキスパンドされる量に差が生じると、方向によっては充分なデバイス間隔が形成できなかったり、デバイスに分割ができなかったり等の問題が生じる。

また、ＤＢＧ加工後のウエーハにＤＡＦを貼着した場合は、ＤＡＦに貼着装置のテープ貼着ローラの転動方向と平行なテンションが生成されるので、テンションによって個々に分割されたデバイスの配置がずれる所謂ダイシフトが大きく発生する。ウエーハは、ダイシフトが大きく発生すると、ＤＡＦが分断される際のレーザー光線の照射時に加工ラインへ追従してレーザー光線を照射するのに時間がかかり、生産性が低下するという問題がある。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、デバイス間の間隔の不均一を抑制できる加工方法を提供することである。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工方法は、交差する複数のストリートで区画された各領域にそれぞれデバイスが形成された表面を有する板状物にシートを貼着し、該板状物を該ストリートに沿って切断して個々のデバイスに分割する加工方法であって、直線に沿って移動されるローラでシートを開口を有した環状フレーム及び板状物に押し付けて、板状物にシートを貼着するとともに環状フレームに板状物が貼着された該シートを装着して、該環状フレームと、該環状フレームの該開口内に収容された板状物と、板状物に貼着された該シートと、からなる板状物ユニットを形成するシート貼着ステップと、該シート貼着ステップを実施した後、該シート貼着ステップで該シートに生成されたテンションを緩和するテンション緩和ステップと、板状物の内部にストリートに沿った破断起点を形成するステップと、該シートを面方向に拡張して該板状物に外力を付与し、該板状物を該破断起点に沿って個々のデバイスに分割するエキスパンドステップと、を備え、該テンション緩和ステップでは、該シート貼着ステップを実施してから２４時間以上でかつ７２時間以下の間隔を設けることで該板状物ユニット経時的変化によって該シートに生成されたテンションが緩和され、該テンション緩和ステップを該エキスパンドステップ前に実施することを特徴とする。

本発明の加工方法は、交差する複数のストリートで区画された各領域にそれぞれデバイスが形成された表面を有する板状物にシートを貼着し、該板状物を該ストリートに沿って切断して個々のデバイスに分割する加工方法であって、直線に沿って移動されるローラでシートを開口を有した環状フレーム及び板状物に押し付けて、板状物にシートを貼着するとともに環状フレームに板状物が貼着された該シートを装着して、該環状フレームと、該環状フレームの該開口内に収容された板状物と、板状物に貼着された該シートと、からなる板状物ユニットを形成するシート貼着ステップと、該シート貼着ステップを実施した後、該シート貼着ステップで該シートに生成されたテンションを緩和するテンション緩和ステップと、板状物の内部にストリートに沿った破断起点を形成するステップと、該シートを面方向に拡張して該板状物に外力を付与し、該板状物を該破断起点に沿って個々のデバイスに分割するエキスパンドステップと、を備え、該テンション緩和ステップは、該シートの該板状物ユニットの板状物の外周縁と該環状フレームの内周縁の間に露出した領域を加熱することで実施され、該テンション緩和ステップを該エキスパンドステップ前に実施することを特徴とする。

本発明の加工方法は、交差する複数のストリートで区画された各領域にそれぞれデバイスが形成された表面を有する板状物にシートを貼着し、該板状物を該ストリートに沿って切断して個々のデバイスに分割する加工方法であって、直線に沿って移動されるローラでシートを開口を有した環状フレーム及び板状物に押し付けて、板状物にシートを貼着するとともに環状フレームに板状物が貼着された該シートを装着して、該環状フレームと、該環状フレームの該開口内に収容された板状物と、板状物に貼着された該シートと、からなる板状物ユニットを形成するシート貼着ステップと、該シート貼着ステップを実施した後、該シート貼着ステップで該シートに生成されたテンションを緩和するテンション緩和ステップと、板状物の内部にストリートに沿った破断起点を形成するステップと、該シートを面方向に拡張して該板状物に外力を付与し、該板状物を該破断起点に沿って個々のデバイスに分割するエキスパンドステップと、を備え、該テンション緩和ステップは、該板状物ユニット全体を加熱することで実施され、該テンション緩和ステップを該エキスパンドステップ前に実施することを特徴とする。

本発明の加工方法は、交差する複数のストリートで区画された各領域にそれぞれデバイスが形成された表面を有する板状物にシートを貼着し、該板状物を該ストリートに沿って切断して個々のデバイスに分割する加工方法であって、直線に沿って移動されるローラでシートを開口を有した環状フレーム及び板状物に押し付けて、板状物にシートを貼着するとともに環状フレームに板状物が貼着された該シートを装着して、該環状フレームと、該環状フレームの該開口内に収容された板状物と、板状物に貼着された該シートと、からなる板状物ユニットを形成するシート貼着ステップと、該シート貼着ステップを実施した後、該シート貼着ステップで該シートに生成されたテンションを緩和するテンション緩和ステップと、板状物の内部にストリートに沿った破断起点を形成するステップと、該シートを面方向に拡張して該板状物に外力を付与し、該板状物を該破断起点に沿って個々のデバイスに分割するエキスパンドステップと、を備え、該テンション緩和ステップは、該シートの該板状物ユニットの板状物の外周縁と該環状フレームの内周縁の間に露出した領域のうちの該ローラの移動方向の両端部を加熱することで実施され、該テンション緩和ステップを該エキスパンドステップ前に実施することを特徴とする。

本願発明の加工方法は、デバイス間の間隔の不均一を抑制できるという効果を奏する。

図１は、実施形態１に係るシート貼着方法である加工方法の加工対象の板状物の一例を示す斜視図である。図２は、実施形態１に係るシート貼着方法である加工方法の流れを示すフローチャートである。図３は、図２に示された加工方法のシート貼着ステップを示す側断面図である。図４は、図２に示された加工方法のシート貼着ステップ後の板状物等の斜視図である。図５は、図２に示された加工方法のテンション緩和ステップを示す側断面図である。図６は、図２に示された加工方法のテンション緩和ステップにおいてシートの加熱される部分を示す平面図である。図７は、図２に示された加工方法の改質層形成ステップを示す側断面図である。図８は、図２に示された加工方法のエキスパンドステップで用いられるエキスパンド装置の構成例を示す斜視図である。図９は、図２に示された加工方法のエキスパンドステップにおいて板状物をエキスパンド装置に保持した状態の側断面図である。図１０は、図２に示された加工方法のエキスパンドステップにおいて板状物に貼着されたシートをエキスパンドした状態を示す側断面である。図１１は、実施形態２に係るシート貼着方法である加工方法の流れを示すフローチャートである。図１２は、実施形態３に係るシート貼着方法である加工方法の流れを示すフローチャートである。図１３は、図１２に示された加工方法の表面保護テープ貼着ステップを示す斜視図である。図１４は、図１２に示された加工方法の改質層形成ステップを示す側断面図である。図１５は、実施形態４に係るシート貼着方法である加工方法の流れを示すフローチャートである。図１６は、図１５に示された加工方法のＤＢＧ加工ステップの分割溝を形成する工程を示す斜視図である。図１７は、図１５に示された加工方法のＤＢＧ加工ステップの保護部材を貼着する工程を示す斜視図である。図１８は、図１５に示された加工方法のＤＢＧ加工ステップの板状物の裏面を研削する工程を示す斜視図である。図１９は、図１５に示された加工方法のシート貼着ステップを示す側断面図である。図２０は、図１５に示された加工方法のＤＡＦカットテップを示す側断面図である。図２１は、実施形態１から実施形態４の変形例１に係るシート貼着方法のテンション緩和ステップを示す側断面図である。図２２は、実施形態１から実施形態４の変形例２に係るシート貼着方法のテンション緩和ステップを示す側断面図である。図２３は、実施形態１から実施形態４の変形例３に係るシート貼着方法のテンション緩和ステップにおいて、シートの加熱される部分を示す平面図である。図２４は、実施形態１の効果を確認した際の測定位置を示す板状物ユニットの平面図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係るシート貼着方法を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係るシート貼着方法である加工方法の加工対象の板状物の一例を示す斜視図である。

実施形態１に係るシート貼着方法は、図１に示す板状物２００の加工方法である。実施形態１では、板状物２００は、シリコン、サファイア、又はガリウムヒ素などを基板とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハである。板状物２００は、図１に示すように、交差する複数のストリート２０１で区画された各領域にそれぞれデバイス２０２が形成された表面２０３を有する。また、板状物２００は、結晶方位を示すノッチ２０４が設けられている。また、本発明では、板状物２００は、結晶方位を示すオリエンテーションフラットが設けられても良い。また、本発明では、板状物２００は、半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等の各種の加工が施される被加工物に限らず、例えば、ガラス板やセラミック板等の板状の物であれば如何なるものであっても良い。

図２は、実施形態１に係るシート貼着方法である加工方法の流れを示すフローチャートである。図３は、図２に示された加工方法のシート貼着ステップを示す側断面図である。図４は、図２に示された加工方法のシート貼着ステップ後の板状物等の斜視図である。図５は、図２に示された加工方法のテンション緩和ステップを示す側断面図である。図６は、図２に示された加工方法のテンション緩和ステップにおいてシートの加熱される部分を示す平面図である。図７は、図２に示された加工方法の改質層形成ステップを示す側断面図である。図８は、図２に示された加工方法のエキスパンドステップで用いられるエキスパンド装置の構成例を示す斜視図である。図９は、図２に示された加工方法のエキスパンドステップにおいて板状物をエキスパンド装置に保持した状態の側断面図である。図１０は、図２に示された加工方法のエキスパンドステップにおいて板状物に貼着されたシートをエキスパンドした状態を示す側断面である。

実施形態１に係るシート貼着方法である加工方法は、図１に示す板状物２００に図３に示すシート１００を貼着する方法である。また、実施形態１において、加工方法は、板状物２００をストリート２０１に沿って切断して、個々のデバイス２０２に分割する方法でもある。加工方法は、図２に示すように、シート貼着ステップＳＴ１と、テンション緩和ステップＳＴ２と、改質層形成ステップＳＴ３と、エキスパンドステップＳＴ４とを備える。

シート貼着ステップＳＴ１は、板状物２００にシート１００を貼着するとともに、開口１０１を有した環状フレーム１０２に板状物２００が貼着されたシート１００を装着して、図４に示す板状物ユニット３００を形成するステップである。板状物ユニット３００は、図４に示すように、環状フレーム１０２と、シート１００と、板状物２００とを備える。

環状フレーム１０２は、内側に開口１０１を有するリング状に形成されている。シート１００は、外周部が環状フレーム１０２に貼着され、中央部が板状物２００の表面２０３の裏側の裏面２０５に貼着されている。シート１００は、図３に示すように、合成樹脂により構成された基材層１０３と、基材層１０３上に配設され板状物２００の裏面２０５に貼着する糊層１０４とからなるベースシート１０５からなる。実施形態１において、基材層１０３は、ＰＯ（Polyolefin）、又はＰＶＣ（Polyvinyl Chloride）により構成されるが、基材層１０３を構成する合成樹脂は、これらに限定されない。板状物２００は、裏面２０５にシート１００の中央部が貼着されていることにより、環状フレーム１０２の開口１０１内に収容されている。

シート貼着ステップＳＴ１では、図３に示す貼着装置１０のオペレータが、貼着装置１０のポーラス状の吸引保持部１１上に板状物２００の表面２０３を載置し、図示しないフレーム保持部上に環状フレーム１０２を載置する。シート貼着ステップＳＴ１では、オペレータが貼着装置１０を作動させて、貼着装置１０が真空ポンプなどにより構成された吸引源１２の吸引力を開閉弁１３を介して吸引保持部１１に作用させて、板状物２００を吸引保持部１１上に吸引保持する。

シート貼着ステップＳＴ１では、貼着装置１０が、送り出し装置を駆動して、糊層１０４が板状物２００の裏面２０５及び環状フレーム１０２に対向する状態で、シート１００を板状物２００及び環状フレーム１０２上に送り出す。シート貼着ステップＳＴ１では、貼着装置１０が、図３に示すように、テープ貼着ローラ１４を図中の左右方向である矢印（以下、移動方向と記す）４００に沿って移動させながらテープ貼着ローラ１４でシート１００を環状フレーム１０２及び板状物２００の裏面２０５に押し付けて、シート１００を環状フレーム１０２及び板状物２００の裏面２０５に貼着する。なお、実施形態１において、テープ貼着ローラ１４の長手方向は、テープ貼着ローラ１４の移動方向４００に対して直交している。テープ貼着ローラ１４の移動方向４００は、図３に示すように、直線である。

シート貼着ステップＳＴ１では、貼着装置１０が、図示しないテープカッタを用いて、環状フレーム１０２及び板状物２００の裏面２０５に貼着されたシート１００を環状フレーム１０２に対応した円形に切断する。シート貼着ステップＳＴ１は、こうして、板状物ユニット３００を形成する。シート１００は、直線である移動方向４００に沿って移動されるテープ貼着ローラ１４により環状フレーム１０２及び板状物２００に押し付けられて貼着されているので、貼着される際に、移動方向４００に沿って板状物２００から環状フレーム１０２に向かう方向の張力であるテンション４０１（図３及び図５等に矢印で示す）が生成される。即ち、シート１００は、貼着されるときに、引っ張られた状態で貼られてしまう。このために、板状物ユニット３００は、シート１００に貼着される際に生成されるテンション４０１と反対方向（即ち、環状フレーム１０２から板状物２００に向かう方向）の応力がかかる。板状物ユニット３００は、テンション４０１の方向に対して収縮する方向に応力がかかるので、シート１００が拡張されにくくなり、エキスパンドステップＳＴ４においてデバイス２０２間隔が広がりにくくなる。シート貼着ステップＳＴ１では、貼着装置１０がシート１００を切断した後には、吸引保持部１１の板状物２００の吸引保持を停止して、オペレータが板状物ユニット３００を貼着装置１０から取り外して、テンション緩和ステップＳＴ２に進む。

テンション緩和ステップＳＴ２は、シート貼着ステップＳＴ１を実施した後、シート貼着ステップＳＴ１でシート１００に生成されたテンション４０１を緩和するステップである。テンション緩和ステップＳＴ２は、図５に示すように、オペレータが板状物ユニット３００を円環状の加熱ユニット２０と対向させる。加熱ユニット２０は、図６に平行斜線で示すシート１００の環状フレーム１０２の内周と板状物２００の外周との間の領域１０６と同形状に形成されている。領域１０６は、板状物ユニット３００の板状物２００の外周縁と環状フレーム１０２の内周縁との間に露出したシート１００の一部分である。実施形態１において、加熱ユニット２０は、常温よりも高温の温風を吹き出す温風ヒータであるが、温風ヒータに限定されずに、赤外線ヒータ又はランプ等でも良い。また、実施形態１において、加熱ユニット２０は、図８に示すエキスパンド装置４０を構成しているが、本発明では、これに限定されない。

テンション緩和ステップＳＴ２では、環状フレーム１０２を図８に示すエキスパンド装置４０のクランプ部４１に挟み込んで固定して、図６に平行鎖線で示す領域１０６と加熱ユニット２０とを対向させた後、図５に示すように、加熱ユニット２０から温風２１をシート１００の領域１０６に吹き付ける。テンション緩和ステップＳＴ２は、シート１００の領域１０６を５０℃以上でかつ９０℃以下となるまで予め定められた所定時間（例えば、３０秒）、加熱することで実施される。シート１００の領域１０６は、加熱されると、内部に生成されたテンション４０１が弱められる。また、実施形態１において、テンション緩和ステップＳＴ２では、加熱ユニット２０が、板状物２００の表面２０３側からシート１００を加熱するが、本発明では、板状物２００の裏面２０５側からシート１００を加熱しても良い。

なお、所定時間及びシート１００の領域１０６の温度は、充分にシート１００を軟化させることができて、テンション４０１の緩和を促進する時間及び温度（緩和する温度）であるのが望ましく、エキスパンドステップＳＴ４において、シート１００を拡張した際に、互いに隣り合うデバイス２０２間の間隔のテンション４０１と平行な方向とテンション４０１に直交する方向との差が極力小さくなる時間及び温度であるのが望ましい。また、所定時間及びシート１００の領域１０６の温度は、互いに隣り合うデバイス２０２同士を分割でき、かつデバイス２０２間の間隔が図示しないピックアップ装置により分割後のデバイス２０２をシート１００からピックアップできる（取り外すことができる）間隔となる時間及び温度であれば良い。テンション緩和ステップＳＴ２では、シート１００の領域１０６の加熱が終了すると、改質層形成ステップＳＴ３に進む。

改質層形成ステップＳＴ３は、図７に示すように、板状物２００のストリート２０１に沿って、板状物２００に対して透過性を有する波長のレーザー光線３０を照射し、板状物２００の内部にストリート２０１に沿った破断起点となる改質層２０６を形成するステップである。なお、改質層２０６とは、密度、屈折率、機械的強度やその他の物理的特性が周囲のそれとは異なる状態になった領域のことを意味し、溶融処理領域、クラック領域、絶縁破壊領域、屈折率変化領域、及びこれらの領域が混在した領域等を例示できる。

改質層形成ステップＳＴ３では、オペレータ等が、板状物２００にレーザー光線３０を照射するレーザー加工装置３１のチャックテーブル３２のポーラス状の保持面３３上に、図７に示すように、板状物２００の表面２０３を載置する。実施形態１において、改質層形成ステップＳＴ３では、板状物２００の表面２０３が直接チャックテーブル３２の保持面３３と接触して損傷する事を防ぐため、オペレータ等が、チャックテーブル３２のポーラス状の保持面３３と板状物２００との間に樹脂製のポーラスシートを介在させても良い。なお、図７は、樹脂製のポーラスシートを省略している。次に、レーザー加工装置３１が、図示しない真空吸引経路を介してチャックテーブル３２に接続された真空吸引源により、保持面３３を吸引して、板状物２００をチャックテーブル３２の保持面３３で吸引保持する。また、レーザー加工装置３１が、チャックテーブル３２の周囲でかつ保持面３３よりも低い位置に設けられたクランプ部３４を図示しないエアーアクチュエータにより駆動して、クランプ部３４で環状フレーム１０２を挟み込んで固定する。

そして、改質層形成ステップＳＴ３では、レーザー加工装置３１が、図示しない撮像ユニットが取得した画像に基づいて、板状物２００のアライメントを遂行する。その後、改質層形成ステップＳＴ３では、レーザー加工装置３１が、チャックテーブル３２とレーザー光線照射ユニット３５とを相対的に移動させながら、図７に示すように、板状物２００に対して透過性を有する波長のレーザー光線３０を板状物２００の内部に集光点を合わせて裏面２０５側からストリート２０１に沿って照射する。これにより、レーザー加工装置３１が、ストリート２０１に沿った改質層２０６を板状物２００の内部に形成する。改質層形成ステップＳＴ３では、全てのストリート２０１に沿って板状物２００の内部に改質層２０６を形成すると、エキスパンドステップＳＴ４に進む。

エキスパンドステップＳＴ４は、改質層形成ステップＳＴ３を実施した後、板状物２００に外力を付与し、板状物２００を改質層２０６に沿って個々のデバイス２０２に分割するステップである。実施形態１において、エキスパンドステップＳＴ４は、シート１００を面方向に拡張して外力を付与する。具体的には、オペレータが板状物ユニット３００を図８に示すエキスパンド装置４０に搬送し、図９に示すように、環状フレーム１０２をエキスパンド装置４０のクランプ部４１に挟み込んで固定する。このとき、図１０に示すように、エキスパンド装置４０の円筒状の拡張ドラム４２をシート１００の領域１０６に当接させておく。拡張ドラム４２は、環状フレーム１０２の内径より小さく板状物２００の外径より大きい内径および外径を有している。

エキスパンドステップＳＴ４では、図１０に示すように、エキスパンド装置４０がクランプ部４１を下降させる。すると、シート１００が拡張ドラム４２に当接しているために、シート１００が面方向に拡張される。エキスパンドステップＳＴ４では、シート１００の拡張の結果、シート１００には放射状に引張力が作用する。このように板状物２００の裏面２０５に貼着されたシート１００に放射状に引張力が作用すると、板状物２００は、ストリート２０１に沿って改質層２０６が形成されているので、ストリート２０１に沿って形成された改質層２０６を基点として、板状物２００が個々のデバイス２０２に分割されるとともに、デバイス２０２間が広がり、デバイス２０２間に間隔が形成される。個々に分割されたデバイス２０２は、ピックアップ装置によりシート１００から取り外される。

このように、実施形態１に係るシート貼着方法である加工方法の加工対象の板状物２００は、改質層形成ステップＳＴ３において分割起点である改質層２０６が形成されて、エキスパンドステップＳＴ４において改質層２０６を起点に個々のデバイス２０２に分割される半導体ウエーハ又は光デバイスウエーハである。

以上説明したように、実施形態１に係るシート貼着方法である加工方法は、シート貼着ステップＳＴ１を実施した後にシート１００に生成されたテンション４０１を緩和するテンション緩和ステップＳＴ２を実施するので、シート１００にかかるテンション４０１と反対方向の応力を緩和することができる。その結果、シート貼着方法である加工方法は、シート１００が拡張されにくくなることを抑制でき、エキスパンドステップＳＴ４におけるシート１００の伸びる量の不均一を抑制することができる。よって、シート貼着方法である加工方法は、デバイス２０２に分割後のデバイス２０２間の間隔の不均一を抑制できる。

また、実施形態１に係るシート貼着方法である加工方法は、シート貼着ステップＳＴ１を実施した後にシート１００にテンション４０１が一番かかる箇所が、シート１００の図６中に平行斜線で示す領域１０６である。実施形態１に係るシート貼着方法である加工方法は、テンション緩和ステップＳＴ２において、シート１００の領域１０６を加熱するので、シート１００のテンション４０１を全周に亘って緩和することができる。また、実施形態１に係るシート貼着方法である加工方法は、テンション緩和ステップＳＴ２において、少なくともシート１００の領域１０６のみを加熱すれば、エキスパンドステップＳＴ４後にデバイス２０２間隔の不均一を抑制することができる。

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係るシート貼着方法を図面に基いて説明する。図１１は、実施形態２に係るシート貼着方法である加工方法の流れを示すフローチャートである。図１１は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態２に係るシート貼着方法である加工方法は、テンション緩和ステップＳＴ２と改質層形成ステップＳＴ３とを実施する順番が実施形態１と異なること以外、実施形態１に係るシート貼着方法である加工方法と同じである。即ち、実施形態２に係るシート貼着方法である加工方法は、図１１に示すように、シート貼着ステップＳＴ１と、改質層形成ステップＳＴ３と、テンション緩和ステップＳＴ２と、エキスパンドステップＳＴ４とを順に実施する。

実施形態２に係るシート貼着方法である加工方法は、シート貼着ステップＳＴ１を実施した後にシート１００に生成されたテンション４０１を緩和するテンション緩和ステップＳＴ２を実施するので、実施形態１と同様に、デバイス２０２に分割後のデバイス２０２間の間隔の不均一を抑制できる。

〔実施形態３〕
本発明の実施形態３に係るシート貼着方法を図面に基いて説明する。図１２は、実施形態３に係るシート貼着方法である加工方法の流れを示すフローチャートである。図１３は、図１２に示された加工方法の表面保護テープ貼着ステップを示す斜視図である。図１４は、図１２に示された加工方法の改質層形成ステップを示す側断面図である。図１２から図１４は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態３に係るシート貼着方法である加工方法は、図１２に示すように、表面保護テープ貼着ステップＳＴ５と、改質層形成ステップＳＴ３−３と、シート貼着ステップＳＴ１と、テンション緩和ステップＳＴ２と、エキスパンドステップＳＴ４とを順に実施する。

表面保護テープ貼着ステップＳＴ５は、図１３に示すように、板状物２００の表面２０３に表面保護テープ２１０を貼着するステップである。実施形態３において、表面保護テープ２１０は、板状物２００と同形状に形成されている。

改質層形成ステップＳＴ３−３は、実施形態１と同様に、板状物２００のストリート２０１に沿って、板状物２００に対して透過性を有する波長のレーザー光線３０を照射し、板状物２００の内部にストリート２０１に沿った破断起点となる改質層２０６を形成するステップである。

改質層形成ステップＳＴ３−３では、オペレータ等が、図１４に示すように、レーザー加工装置３１のチャックテーブル３２のポーラス状の保持面３３に表面保護テープ２１０を介して板状物２００の表面２０３を載置し、レーザー加工装置３１が板状物２００をチャックテーブル３２の保持面３３で吸引保持する。そして、改質層形成ステップＳＴ３−３では、実施形態１と同様に、レーザー加工装置３１がアライメントを遂行した後、チャックテーブル３２とレーザー光線照射ユニット３５とをストリート２０１に沿って相対的に移動させながら、板状物２００に対して透過性を有する波長のレーザー光線３０を板状物２００の内部に集光点を合わせて照射して、ストリート２０１に沿った改質層２０６を板状物２００の内部に形成する。

その後、シート貼着ステップＳＴ１を実施した後、表面保護テープ２１０を剥がし、次いでテンション緩和ステップＳＴ２とエキスパンドステップＳＴ４とを順に実施する。シート貼着ステップＳＴ１とテンション緩和ステップＳＴ２とエキスパンドステップＳＴ４は、実施形態１に係るシート貼着方法である加工方法と同様に実施する。

実施形態３に係るシート貼着方法である加工方法は、シート貼着ステップＳＴ１を実施した後にシート１００に生成されたテンション４０１を緩和するテンション緩和ステップＳＴ２を実施するので、実施形態１と同様に、デバイス２０２に分割後のデバイス２０２間の間隔の不均一を抑制できる。

〔実施形態４〕
本発明の実施形態４に係るシート貼着方法を図面に基いて説明する。図１５は、実施形態４に係るシート貼着方法である加工方法の流れを示すフローチャートである。図１６は、図１５に示された加工方法のＤＢＧ加工ステップの分割溝を形成する工程を示す斜視図である。図１７は、図１５に示された加工方法のＤＢＧ加工ステップの保護部材を貼着する工程を示す斜視図である。図１８は、図１５に示された加工方法のＤＢＧ加工ステップの板状物の裏面を研削する工程を示す斜視図である。図１９は、図１５に示された加工方法のシート貼着ステップを示す側断面図である。図２０は、図１５に示された加工方法のＤＡＦカットテップを示す側断面図である。図１５から図２０は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態４に係るシート貼着方法である加工方法は、図１５に示すように、ＤＢＧ加工ステップＳＴ６と、シート貼着ステップＳＴ１−４と、テンション緩和ステップＳＴ２と、ＤＡＦカットステップＳＴ７とを順に実施する。

ＤＢＧ加工ステップＳＴ６は、板状物２００にＤＢＧ（Dicing Before Grinding）加工を施して、板状物２００を個々のデバイス２０２に分割するステップである。ＤＢＧ加工ステップＳＴ６では、先ず板状物２００の表面２０３に形成されたストリート２０１に沿って所定深さ（各デバイス２０２の仕上がり厚さに相当する深さ）の分割溝２１１を形成する工程を実施する。分割溝２１１を形成する工程では、図１６に示すように、切削装置５０が図示しないチャックテーブルに板状物２００の裏面２０５を吸引保持し、切削ブレード５１を回転しつつチャックテーブルを切削送りすることによって、ストリート２０１に沿って分割溝２１１を形成する。

ＤＢＧ加工ステップＳＴ６は、全てのストリート２０１に分割溝２１１を形成すると、保護部材２１２を貼着する工程を実施する。保護部材２１２を貼着する工程では、図１７に示すように、板状物２００のストリート２０１に分割溝２１１が形成された表面２０３に研削用の保護部材２１２を貼着する。なお、実施形態１において、保護部材２１２は、厚さが１５０μｍのポリオレフィンシートであるが、これに限定されない。

ＤＢＧ加工ステップＳＴ６は、板状物２００の表面２０３に保護部材２１２を貼着すると、板状物２００の裏面２０５を研削する工程を実施する。板状物２００の裏面２０５を研削する工程では、図１８に示すように、研削装置６０がチャックテーブル６１に保護部材２１２を介して板状物２００の表面２０３を吸引保持し、チャックテーブル６１を軸心回りに回転させつつ研削ユニット６２の研削砥石６３を軸心回りに回転させて板状物２００の裏面２０５に接触させて研削する。板状物２００の裏面２０５を研削する工程では、研削装置６０は、図１８に示すように、分割溝２１１が裏面２０５に表出するまで研削する。このように分割溝２１１が裏面２０５に表出するまで研削することによって、板状物２００は、個々のデバイス２０２に分割される。

実施形態４に係るシート貼着方法である加工方法のシート貼着ステップＳＴ１−４は、ベースシート１０５と、ベースシート１０５の糊層１０４上に配設されたダイアタッチシート１１０とからなるシート１００を貼着するステップである。ダイアタッチシート１１０は、デバイス２０２を実装又は積層するのに用いる特殊粘着フィルムである。ダイアタッチシート１１０は、ベースシート１０５上の板状物２００に対応する位置に配設されている。シート貼着ステップＳＴ１−４では、保護部材２１２を介して板状物２００を実施形態１と同様の貼着装置１０の吸引保持部１１に吸引保持し、図１９に示すように、シート１００のダイアタッチシート１１０をデバイス２０２に分割された板状物２００に貼着し、シート１００のベースシート１０５の糊層１０４を環状フレーム１０２に貼着する。シート貼着ステップＳＴ１−４では、その後、保護部材２１２を剥がす。実施形態４において、シート貼着ステップＳＴ１−４後の板状物ユニット３００は、シート１００に生成されたテンション４０１によって個々に分割されたデバイス２０２の配置が僅かにずれるダイシフトと呼ばれる現象が発生してしまう。

テンション緩和ステップＳＴ２は、実施形態１に係るシート貼着方法である加工方法と同様に実施する。テンション緩和ステップＳＴ２後の板状物ユニット３００は、実施形態１と同様に、シート１００に生成されたテンション４０１がテンション緩和ステップＳＴ２前よりも緩和されているので、デバイス２０２の配置のズレ（即ちダイシフト）がシート貼着ステップＳＴ１−４直後よりも縮小（抑制）されている。

ＤＡＦカットステップＳＴ７は、ベースシート１０５が吸収しないがダイアタッチシート１１０が吸収する波長の図２０に示すレーザー光線７０を分割溝２１１に沿って板状物ユニット３００に照射して、ダイアタッチシート１１０を分割するステップである。ＤＡＦカットステップＳＴ７では、まず、オペレータ等が板状物２００の表面２０３から保護部材２１２を剥がし、板状物２００にレーザー光線７０を照射するレーザー加工装置７１のチャックテーブル７２のポーラス状の保持面７３上に、図２０に示すように、板状物２００の裏面２０５を載置する。次に、レーザー加工装置７１が、図示しない真空吸引経路を介してチャックテーブル７２に接続された真空吸引源により、保持面７３を吸引して、板状物２００をチャックテーブル７２の保持面７３で吸引保持する。また、レーザー加工装置７１が、チャックテーブル７２の周囲でかつ保持面７３よりも低い位置に設けられたクランプ部７４を図示しないエアーアクチュエータにより駆動して、クランプ部７４で環状フレーム１０２を挟み込んで固定する。

そして、レーザー加工装置７１は、図示しない撮像ユニットが取得した画像に基づいて、板状物２００のアライメントを遂行する。その後、レーザー加工装置７１は、チャックテーブル７２とレーザー光線照射ユニット７５とを相対的に移動させながら、図２０に示すように、レーザー光線７０を分割溝２１１を通してダイアタッチシート１１０に照射する。これにより、ダイアタッチシート１１０が分割溝２１１に沿って分割される。全ての分割溝２１１に沿ってダイアタッチシート１１０が分割されると、ダイアタッチシート１１０は、個々に分割されたデバイス２０２とともにピックアップ装置によりベースシート１０５から取り外される。

このように、実施形態４に係るシート貼着方法である加工方法の加工対象の板状物２００は、ＤＢＧ加工ステップＳＴ６において個々のデバイス２０２に分割された後にＤＡＦカットステップＳＴ７においてダイアタッチシート１１０が分割溝２１１に沿って分割される半導体ウエーハ又は光デバイスウエーハである。しかしながら、本発明では、板状物２００は、ＤＢＧ加工ステップＳＴ６において個々のデバイス２０２に分割された後、ＤＡＦカットステップＳＴ７の代わりに実施形態１等のエキスパンドステップＳＴ４が実施されて、エキスパンドステップＳＴ４においてダイアタッチシート１１０が分割溝２１１に沿って分割される半導体ウエーハ又は光デバイスウエーハでも良い。また、本発明では、板状物２００は、ＤＢＧ加工ステップＳＴ６において個々のデバイス２０２に分割された後、シート貼着ステップＳＴ１−４において実施形態１と同様にダイアタッチシート１１０を備えないベースシート１０５のみで構成されるシート１００が貼着され、ＤＡＦカットステップＳＴ７の代わりに実施形態１等のエキスパンドステップＳＴ４が実施されて、デバイス２０２間の間隔が広げられる半導体ウエーハ又は光デバイスウエーハでも良い。

以上説明したように、実施形態４に係るシート貼着方法である加工方法は、シート貼着ステップＳＴ１−４を実施した後にシート１００に生成されたテンション４０１を緩和するテンション緩和ステップＳＴ２を実施するので、テンション緩和ステップＳＴ２前よりもテンション緩和ステップＳＴ２後のダイシフトを抑制することができる。ダイシフトが大きいと、ダイシフトに追従させて加工するために加工速度を上げることが困難となる。よって、シート貼着方法である加工方法は、ＤＡＦカットステップＳＴ７の加工時間を抑制でき、デバイス２０２の生産性が低下することを抑制することができる。

また、実施形態４に係るシート貼着方法である加工方法は、シート１００がベースシート１０５とダイアタッチシート１１０とからなるので、分割後のデバイス２０２にダイアタッチシート１１０が貼着されているので、デバイス２０２を速やかに実装することができる。

〔変形例１〕
本発明の実施形態１から実施形態４の変形例１に係るシート貼着方法を図面に基いて説明する。図２１は、実施形態１から実施形態４の変形例１に係るシート貼着方法のテンション緩和ステップを示す側断面図である。図２１は、実施形態１から実施形態４と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

変形例１に係るシート貼着方法である加工方法は、テンション緩和ステップＳＴ２において、図２１に示すように、板状物ユニット３００を内部が常温よりも高温（例えば６０℃）に加熱される恒温槽８０内に所定時間（例えば、１分）収容して、板状物ユニット３００全体を加熱して、シート１００に生成されたテンション４０１を緩和する。こうして、変形例１では、テンション緩和ステップＳＴ２は、板状物ユニット３００全体を加熱することで実施される。変形例１において、恒温槽８０は、工業用オーブンであるがこれに限定されない。また、所定時間及び恒温槽８０の温度は、シート１００が５０℃から９０℃になるように加熱される時間及び温度であり、シート１００に生成されたテンション４０１を弱める時間及び温度（緩和する温度）である。所定時間及び恒温槽８０の温度は、エキスパンドステップＳＴ４において、シート１００を拡張した際に、互いに隣り合うデバイス２０２間の間隔のテンション４０１と平行な方向とテンション４０１に直交する方向との差が極力小さくなる時間及び温度又は実施形態４に係る加工方法のシート貼着ステップＳＴ１−４後のダイシフトを抑制できる時間及び温度であるのが望ましい。また、所定時間及びシート１００の領域１０６の温度は、互いに隣り合うデバイス２０２同士を分割でき、かつデバイス２０２間の間隔が図示しないピックアップ装置により分割後のデバイス２０２をシート１００からピックアップできる（取り外すことができる）間隔となる時間及び温度又は実施形態４に係る加工方法のＤＡＦカットステップＳＴ７のアライメントの所要時間を抑制できる時間及び温度であれば良い。

以上説明したように、変形例１に係るシート貼着方法である加工方法は、シート貼着ステップＳＴ１を実施した後にシート１００に生成されたテンション４０１を緩和するテンション緩和ステップＳＴ２を実施するので、デバイス２０２に分割後のデバイス２０２間の間隔の不均一を抑制できる又はデバイス２０２の生産性が低下することを抑制することができるという効果を奏する。

また、変形例１に係るシート貼着方法である加工方法は、テンション緩和ステップＳＴ２において、板状物ユニット３００全体を加熱するので、シート１００に生成されたテンション４０１を確実に緩和することができる。

〔変形例２〕
本発明の実施形態１から実施形態４の変形例２に係るシート貼着方法を図面に基いて説明する。図２２は、実施形態１から実施形態４の変形例２に係るシート貼着方法のテンション緩和ステップを示す側断面図である。図２２は、実施形態１から実施形態４と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

変形例２に係るシート貼着方法である加工方法は、テンション緩和ステップＳＴ２では、図２２示すように、シート貼着ステップＳＴ１を実施してから一定の時間間隔を設けることである。変形例２に係るシート貼着方法である加工方法は、テンション緩和ステップＳＴ２では、シート貼着ステップＳＴ１を実施してから一定の時間間隔を設けることで、板状物ユニット３００の経時的変化によってシート１００に生成されたテンション４０１が緩和される。なお、一定の時間は、例えば、２４時間以上でかつ７２時間以下であるのが望ましく、シート１００に生成されたテンション４０１を弱める時間であり、エキスパンドステップＳＴ４において、シート１００を拡張した際に、互いに隣り合うデバイス２０２間の間隔のテンション４０１と平行な方向とテンション４０１に直交する方向との差が極力小さくなる時間又は実施形態４に係る加工方法のシート貼着ステップＳＴ１−４後のダイシフトを抑制できる時間であるのが望ましい。なお、一定の時間が２４時間未満であると、テンション４０１を緩和させることが困難であり、一定の時間が７２時間を超えると、シート１００が板状物２００に固着して後に剥がれにくくなる。

また、一定の時間は、互いに隣り合うデバイス２０２同士を分割でき、かつデバイス２０２間の間隔が図示しないピックアップ装置により分割後のデバイス２０２をシート１００からピックアップできる（取り外すことができる）間隔となる時間又は実施形態４に係る加工方法のＤＡＦカットステップＳＴ７のアライメントの所要時間を抑制できる時間であれば良い。

以上説明したように、変形例２に係るシート貼着方法である加工方法は、シート貼着ステップＳＴ１を実施した後にシート１００に生成されたテンション４０１を緩和するテンション緩和ステップＳＴ２を実施するので、デバイス２０２に分割後のデバイス２０２間の間隔の不均一を抑制できる又はデバイス２０２の生産性が低下することを抑制することができるという効果を奏する。

また、変形例２に係るシート貼着方法である加工方法は、テンション緩和ステップＳＴ２では、シート貼着ステップＳＴ１を実施してから一定の時間間隔を設けるので、板状物ユニット３００の経時的変化によってシート１００に生成されたテンション４０１を確実に緩和することができる。

〔変形例３〕
本発明の実施形態１から実施形態４の変形例３に係るシート貼着方法を図面に基いて説明する。図２３は、実施形態１から実施形態４の変形例３に係るシート貼着方法のテンション緩和ステップにおいて、シートの加熱される部分を示す平面図である。図２３は、実施形態１から実施形態４と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

変形例３に係るシート貼着方法である加工方法は、テンション緩和ステップＳＴ２では、図２３に示すように、加熱ユニット２０がシート１００の領域１０６のうちの図２３中の平行斜線で示すテンション４０１の方向の両端部１０７，１０８を加熱し、両端部１０７，１０８のテンション４０１を緩和する。

以上説明したように、変形例３に係るシート貼着方法である加工方法は、シート貼着ステップＳＴ１を実施した後にシート１００に生成されたテンション４０１を緩和するテンション緩和ステップＳＴ２を実施するので、デバイス２０２に分割後のデバイス２０２間の間隔の不均一を抑制できる又はデバイス２０２の生産性が低下することを抑制することができるという効果を奏する。

また、変形例３のシート貼着方法である加工方法は、テンション緩和ステップＳＴ２において、シート１００の領域１０６の両端部１０７，１０８を加熱して、これら両端部１０７，１０８のテンション４０１を緩和するので、デバイス２０２に分割後のデバイス２０２間の間隔の不均一を抑制できる又はデバイス２０２の生産性が低下することを抑制することができるという効果を奏する。

次に、本発明の発明者は、前述した実施形態１の効果を確認した。結果を以下の表１に示す。なお、図２４は、実施形態１の効果を確認した際の測定位置を示す板状物ユニットの平面図である。

表１は、比較例１、比較例２、本発明品１及び本発明品２のエキスパンドステップＳＴ４後のデバイス２０２間の間隔の不均一を測定した結果を示す。比較例１及び本発明品１とは、同じシート１００を用いた。比較例２及び本発明品２とは、同じでかつ比較例１及び本発明品１と異なるシート１００を用いた。即ち、比較例１及び本発明品１のシート１００は、基材層１０３と糊層１０４とが同じ種類、同じ厚みの同一のシートである。比較例２及び本発明品２のシート１００は、基材層１０３と糊層１０４とが同じ種類、同じ厚みの同一のシートである。

比較例１及び比較例２は、板状物ユニット３００に対して実施形態１に係る加工方法のうちのテンション緩和ステップＳＴ２を実施しない従来の加工方法を実施した。本発明品１及び本発明品２は、板状物ユニット３００に対して実施形態１に係る加工方法を実施し、本発明品１は、板状物ユニット３００を変形例１の内部が６０℃に加熱された図２１に示す恒温槽８０に１分間収容して、テンション緩和ステップＳＴ２を実施した。本発明品２は、板状物ユニット３００のシート１００の領域１０６に加熱ユニット２０から２２０℃の温風２１を３０秒間吹き付けて、領域１０６を常温から９０℃まで加熱して、テンション緩和ステップＳＴ２を実施した。

また、表１は、図２４の測定位置Ｉ、測定位置ＩＩ、測定位置ＩＩＩ、測定位置ＩＶ及び測定位置ＶそれぞれのエキスパンドステップＳＴ４後の図２４のα方向のデバイス２０２間の間隔と、β方向のデバイス２０２間の間隔との割合を示している。表１は、割合として、α方向のデバイス２０２間の間隔とβ方向のデバイス２０２間の間隔とのうち間隔が大きな方に対する間隔が小さな方の割合をパーセントで示している。なお、測定位置Ｉは、ノッチ２０４の近傍であり、測定位置ＩＩは、測定位置Ｉの板状物２００の中心を挟んだ反対側の位置であり、測定位置ＩＩＩは、板状物２００の中心を含んだ中央である。測定位置ＩＶは、板状物２００の外周縁の図２４中の左側の位置であり、測定位置Ｖは、測定位置ＩＶの板状物２００の中心を挟んだ反対側の図２４中の右側の位置である。

表１によれば、比較例１よりも本発明品１が、測定位置Ｉ，ＩＩ，ＩＩＩ，ＩＶ，Ｖのうちの殆どにおいて、表１中の数値が向上し、デバイス２０２に分割後のデバイス２０２間の間隔の不均一が抑制されていることが明らかとなった。表１によれば、比較例２よりも本発明品２が、測定位置Ｉ，ＩＩ，ＩＩＩ，ＩＶ，Ｖのうちの殆どにおいて、表１中の数値が向上し、デバイス２０２に分割後のデバイス２０２間の間隔の不均一が抑制されていることが明らかとなった。よって、表１によれば、実施形態１に係る加工方法は、シート貼着ステップＳＴ１を実施した後にシート１００に生成されたテンション４０１を緩和するテンション緩和ステップＳＴ２を実施することにより、デバイス２０２に分割後のデバイス２０２間の間隔の不均一を抑制できることが明らかとなった。

なお、本発明は、上記実施形態及び変形例に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。

１００シート
１０１開口
１０２環状フレーム
１０５ベースシート
１０６領域
１１０ダイアタッチシート
２００板状物
３００板状物ユニット
４０１テンション
ＳＴ１，ＳＴ１−４シート貼着ステップ
ＳＴ２テンション緩和ステップ

Claims

交差する複数のストリートで区画された各領域にそれぞれデバイスが形成された表面を有する板状物にシートを貼着し、該板状物を該ストリートに沿って切断して個々のデバイスに分割する加工方法であって、
直線に沿って移動されるローラでシートを開口を有した環状フレーム及び板状物に押し付けて、板状物にシートを貼着するとともに環状フレームに板状物が貼着された該シートを装着して、該環状フレームと、該環状フレームの該開口内に収容された板状物と、板状物に貼着された該シートと、からなる板状物ユニットを形成するシート貼着ステップと、
該シート貼着ステップを実施した後、該シート貼着ステップで該シートに生成されたテンションを緩和するテンション緩和ステップと、
板状物の内部にストリートに沿った破断起点を形成するステップと、
該シートを面方向に拡張して該板状物に外力を付与し、該板状物を該破断起点に沿って個々のデバイスに分割するエキスパンドステップと、
を備え、
該テンション緩和ステップでは、該シート貼着ステップを実施してから２４時間以上でかつ７２時間以下の間隔を設けることで該板状物ユニットの経時的変化によって該シートに生成されたテンションが緩和され、
該テンション緩和ステップを該エキスパンドステップ前に実施する、加工方法。
交差する複数のストリートで区画された各領域にそれぞれデバイスが形成された表面を有する板状物にシートを貼着し、該板状物を該ストリートに沿って切断して個々のデバイスに分割する加工方法であって、
直線に沿って移動されるローラでシートを開口を有した環状フレーム及び板状物に押し付けて、板状物にシートを貼着するとともに環状フレームに板状物が貼着された該シートを装着して、該環状フレームと、該環状フレームの該開口内に収容された板状物と、板状物に貼着された該シートと、からなる板状物ユニットを形成するシート貼着ステップと、
該シート貼着ステップを実施した後、該シート貼着ステップで該シートに生成されたテンションを緩和するテンション緩和ステップと、
板状物の内部にストリートに沿った破断起点を形成するステップと、
該シートを面方向に拡張して該板状物に外力を付与し、該板状物を該破断起点に沿って個々のデバイスに分割するエキスパンドステップと、
を備え、
該テンション緩和ステップは、該シートの該板状物ユニットの板状物の外周縁と該環状フレームの内周縁の間に露出した領域を加熱することで実施され、
該テンション緩和ステップを該エキスパンドステップ前に実施する、加工方法。
交差する複数のストリートで区画された各領域にそれぞれデバイスが形成された表面を有する板状物にシートを貼着し、該板状物を該ストリートに沿って切断して個々のデバイスに分割する加工方法であって、
直線に沿って移動されるローラでシートを開口を有した環状フレーム及び板状物に押し付けて、板状物にシートを貼着するとともに環状フレームに板状物が貼着された該シートを装着して、該環状フレームと、該環状フレームの該開口内に収容された板状物と、板状物に貼着された該シートと、からなる板状物ユニットを形成するシート貼着ステップと、
該シート貼着ステップを実施した後、該シート貼着ステップで該シートに生成されたテンションを緩和するテンション緩和ステップと、
板状物の内部にストリートに沿った破断起点を形成するステップと、
該シートを面方向に拡張して該板状物に外力を付与し、該板状物を該破断起点に沿って個々のデバイスに分割するエキスパンドステップと、
を備え、
該テンション緩和ステップは、該板状物ユニット全体を加熱することで実施され、
該テンション緩和ステップを該エキスパンドステップ前に実施する、加工方法。
交差する複数のストリートで区画された各領域にそれぞれデバイスが形成された表面を有する板状物にシートを貼着し、該板状物を該ストリートに沿って切断して個々のデバイスに分割する加工方法であって、
直線に沿って移動されるローラでシートを開口を有した環状フレーム及び板状物に押し付けて、板状物にシートを貼着するとともに環状フレームに板状物が貼着された該シートを装着して、該環状フレームと、該環状フレームの該開口内に収容された板状物と、板状物に貼着された該シートと、からなる板状物ユニットを形成するシート貼着ステップと、
該シート貼着ステップを実施した後、該シート貼着ステップで該シートに生成されたテンションを緩和するテンション緩和ステップと、
板状物の内部にストリートに沿った破断起点を形成するステップと、
該シートを面方向に拡張して該板状物に外力を付与し、該板状物を該破断起点に沿って個々のデバイスに分割するエキスパンドステップと、
を備え、
該テンション緩和ステップは、該シートの該板状物ユニットの板状物の外周縁と該環状フレームの内周縁の間に露出した領域のうちの該ローラの移動方向の両端部を加熱することで実施され、
該テンション緩和ステップを該エキスパンドステップ前に実施する、加工方法。