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JP6977755B2 - Multilayer ceramic capacitors - Google Patents
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JP6977755B2 - Multilayer ceramic capacitors - Google Patents

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Description

この発明は、積層セラミックコンデンサに関する。 The present invention relates to a monolithic ceramic capacitor.

近年、大容量で、かつ小型の積層セラミックコンデンサが求められている。このような積層セラミックコンデンサは、たとえば、内層用セラミック層(誘電体セラミック層)と内部電極とが交互に積み重ねられ、その上面と下面とに外層用セラミック層が配設されて、直方体状に形成されたセラミック素体を有し、そのセラミック素体の両端面に外部電極が形成されている。このセラミック素体の両側面には、外部電極との接続を防止するために、サイドマージン部が形成されている。 In recent years, there has been a demand for a multilayer ceramic capacitor having a large capacity and a small size. In such a laminated ceramic capacitor, for example, ceramic layers for inner layers (dielectric ceramic layers) and internal electrodes are alternately stacked, and ceramic layers for outer layers are arranged on the upper surface and the lower surface thereof to form a rectangular shape. It has a ceramic element body, and external electrodes are formed on both end faces of the ceramic element body. Side margin portions are formed on both side surfaces of the ceramic element body in order to prevent connection with external electrodes.

上述したような積層セラミックコンデンサの製造方法として、特許文献1に記載の製造方法が開示されている。すなわち、この積層セラミックコンデンサの製造方法は、内部電極となる導電膜が表面に形成された複数のセラミックグリーンシートが積層され、マザー積層体が形成され、そのマザー積層体を切断するにあたり、外部電極が形成されない側面において導電膜が露出するように切断される。そして、その両側面に対して、サイドマージン部となるセラミックスラリーが塗布されることよって、ばらつきの少ない均一なサイドマージン部を形成するとしている。 As a method for manufacturing a monolithic ceramic capacitor as described above, the manufacturing method described in Patent Document 1 is disclosed. That is, in this method of manufacturing a laminated ceramic capacitor, a plurality of ceramic green sheets having a conductive film formed on the surface as an internal electrode are laminated to form a mother laminated body, and an external electrode is used to cut the mother laminated body. Is cut so that the conductive film is exposed on the side surface where the film is not formed. Then, the ceramic slurry serving as the side margin portion is applied to both side surfaces thereof to form a uniform side margin portion with little variation.

特開昭61−248413号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 61-248413

しかしながら、特許文献1に記載される積層セラミックコンデンサの製造方法では、サイドマージン部の形成に用いられるセラミックスラリーは、内層用セラミック層を形成するために用いられるセラミックスラリーと同じ誘電体セラミック材料により構成されている。この積層セラミックコンデンサの製造方法の焼成工程において、内層用セラミック層を形成する条件で焼成すると、サイドマージン部の内部において空隙部が増加するため、この空隙部を介してサイドマージン部からの水分の浸入を防ぐことができず、積層セラミックコンデンサの信頼性が低下するといった問題があった。 However, in the method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor described in Patent Document 1, the ceramic slurry used for forming the side margin portion is made of the same dielectric ceramic material as the ceramic slurry used for forming the ceramic layer for the inner layer. Has been done. In the firing step of the method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor, when firing is performed under the condition of forming a ceramic layer for an inner layer, voids increase inside the side margin portion, so that moisture from the side margin portion passes through the gap portion. There was a problem that the penetration could not be prevented and the reliability of the monolithic ceramic capacitor was lowered.

それ故に、この発明の主たる目的は、サイドマージン部を有する積層体チップをより緻密に焼結することができ、信頼性を向上させた積層セラミックコンデンサを提供することである。 Therefore, a main object of the present invention is to provide a laminated ceramic capacitor capable of more precisely sintering a laminated chip having a side margin portion and having improved reliability.

この発明にかかる積層セラミックコンデンサは、積層された複数の誘電体層と複数の内部電極を含む積層体と、内部電極に電気的に接続された外部電極とを備えた積層セラミックコンデンサであって、積層体は、積層方向において相対する第1の主面および第2の主面、積層方向と直交する幅方向において相対する第1の側面および第2の側面、並びに積層方向および幅方向と直交する長さ方向において相対する第1の端面および第2の端面を含む直方体状に形成され、複数の内部電極は、第1の端面に露出する第1の内部電極と、第1の内部電極と誘電体層を介して対向するように第2の端面に露出する第2の内部電極とを含み、複数の外部電極は、第1の端面を覆うように形成され、且つ第1の内部電極に電気的に接続された第1の外部電極と、第2の端面を覆うように形成され、且つ第2の内部電極に接続された第2の外部電極とを含み、幅方向において複数の誘電体層を挟むようにして配置されたサイドマージン部を備え、サイドマージン部には積層方向に沿って伸びる界面を備え、界面から第1または第2の側面までの距離が5μm以上20μm以下となる、積層セラミックコンデンサである。
また、この発明にかかる積層セラミックコンデンサは、積層された複数の誘電体層と複数の内部電極を含む積層体と、内部電極に電気的に接続された外部電極とを備えた積層セラミックコンデンサであって、積層体は、積層方向において相対する第1の主面および第2の主面、積層方向と直交する幅方向において相対する第1の側面および第2の側面、並びに積層方向および幅方向と直交する長さ方向において相対する第1の端面および第2の端面を含む直方体状に形成され、複数の内部電極は、第1の端面に露出する第1の内部電極と、第1の内部電極と誘電体層を介して対向するように第2の端面に露出する第2の内部電極とを含み、複数の外部電極は、第1の端面を覆うように形成され、且つ第1の内部電極に電気的に接続された第1の外部電極と、第2の端面を覆うように形成され、且つ第2の内部電極に接続された第2の外部電極とを含み、幅方向において複数の誘電体層を挟むようにして配置されたサイドマージン部を備え、サイドマージン部には積層方向に沿って伸びる界面を備え、サイドマージン部は、Siを含む、積層セラミックコンデンサである。
The laminated ceramic capacitor according to the present invention is a laminated ceramic capacitor including a laminated body including a plurality of laminated dielectric layers and a plurality of internal electrodes, and an external electrode electrically connected to the internal electrode. The laminated body is orthogonal to the first main surface and the second main surface facing each other in the stacking direction, the first side surface and the second side surface facing each other in the width direction orthogonal to the stacking direction, and the stacking direction and the width direction. Formed in a rectangular shape including the first end face and the second end face facing each other in the length direction, the plurality of internal electrodes are an dielectric of the first internal electrode exposed to the first end face and the first internal electrode. A plurality of external electrodes are formed to cover the first end face and include electricity to the first internal electrode, including a second internal electrode exposed to the second end face so as to face each other through the body layer. A plurality of dielectric layers in the width direction, including a first external electrode connected to the surface and a second external electrode formed so as to cover the second end face and connected to the second internal electrode. A monolithic ceramic capacitor having a side margin portion arranged so as to sandwich the surface, a side margin portion having an interface extending along the stacking direction, and a distance from the interface to the first or second side surface of 5 μm or more and 20 μm or less. Is.
Further, the laminated ceramic capacitor according to the present invention is a laminated ceramic capacitor including a laminated body including a plurality of laminated dielectric layers and a plurality of internal electrodes, and an external electrode electrically connected to the internal electrode. The laminated body includes a first main surface and a second main surface facing each other in the stacking direction, a first side surface and a second side surface facing each other in a width direction orthogonal to the stacking direction, and a stacking direction and a width direction. Formed in a rectangular shape including the first end face and the second end face facing each other in the orthogonal length direction, the plurality of internal electrodes are the first internal electrode exposed to the first end face and the first internal electrode. And a second internal electrode exposed to the second end face so as to face each other through the dielectric layer, the plurality of external electrodes are formed so as to cover the first end face, and the first internal electrode. A plurality of dielectrics in the width direction, including a first external electrode electrically connected to the second external electrode and a second external electrode formed so as to cover the second end face and connected to the second internal electrode. The side margin portion is provided with a side margin portion arranged so as to sandwich the body layer, the side margin portion is provided with an interface extending along the stacking direction, and the side margin portion is a laminated ceramic capacitor containing Si.

この発明にかかる積層セラミックコンデンサによれば、幅方向において複数の誘電体層を挟むようにして配置されたサイドマージン部を備え、サイドマージン部には積層方向に沿って伸びる界面を備え、界面から第1または第2の側面までの距離が5μm以上20μm以下となるので、この界面により積層セラミックコンデンサにかかる応力を緩和することができる。したがって、信頼性を向上させた積層セラミックコンデンサを提供することができる。 According to the multilayer ceramic capacitor according to the present invention, a side margin portion arranged so as to sandwich a plurality of dielectric layers in the width direction is provided, and the side margin portion is provided with an interface extending along the stacking direction, and is first from the interface. Alternatively, since the distance to the second side surface is 5 μm or more and 20 μm or less, the stress applied to the multilayer ceramic capacitor can be relaxed by this interface. Therefore, it is possible to provide a monolithic ceramic capacitor with improved reliability.

この発明によれば、サイドマージン部を有する積層体チップをより緻密に焼結することができ、信頼性を向上させた積層セラミックコンデンサを提供することができる。 According to the present invention, a laminated chip having a side margin portion can be sintered more precisely, and a laminated ceramic capacitor with improved reliability can be provided.

この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明を実施するための形態の説明から一層明らかとなろう。 The above-mentioned object, other object, feature and advantage of the present invention will be further clarified from the description of the embodiment for carrying out the following invention with reference to the drawings.

この発明にかかる積層セラミックコンデンサの外観の一例を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows an example of the appearance of the multilayer ceramic capacitor which concerns on this invention. 図1のA−A線における断面を示す断面図解図である。It is sectional drawing which shows the cross section in line AA of FIG. 図1のB−B線における断面を示す断面図解図である。It is sectional drawing which shows the cross section in line BB of FIG. 積層セラミックコンデンサの製造方法を説明するための説明図であって、(a)は、セラミックグリーンシートに導電膜を形成した状態を模式的に示した斜視図であり、(b)は、導電膜が形成されたセラミックグリーンシートを積み重ねる状態を模式的に示した斜視図である。It is explanatory drawing for demonstrating the manufacturing method of a laminated ceramic capacitor, (a) is the perspective view which showed the state which formed the conductive film on the ceramic green sheet schematically, (b) is the conductive film. It is a perspective view schematically showing the state of stacking the ceramic green sheets in which is formed. 図4に示した積層セラミックコンデンサの製造方法において製造される積層体チップの外観の一例を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows an example of the appearance of the laminated body chip manufactured by the manufacturing method of the laminated ceramic capacitor shown in FIG.

本発明にかかる積層セラミックコンデンサの一例について説明する。図1は、セラミック素体と外部電極とにより構成された積層セラミックコンデンサの外観の一例である積層セラミックコンデンサの概略斜視図を示し、図2は、図1のA−A線における断面を示す断面図解図を示す。また、図3は、図1のB−B線における断面を示す断面図解図を示す。 An example of the multilayer ceramic capacitor according to the present invention will be described. FIG. 1 shows a schematic perspective view of a laminated ceramic capacitor which is an example of the appearance of a laminated ceramic capacitor composed of a ceramic element and an external electrode, and FIG. 2 shows a cross section showing a cross section taken along the line AA of FIG. An illustrated diagram is shown. Further, FIG. 3 shows a cross-sectional schematic diagram showing a cross section taken along the line BB of FIG. 1.

この実施の形態にかかる積層セラミックコンデンサ10は、概略、セラミック素体12と、セラミック素体12の両端面にそれぞれ形成された外部電極40,42とから構成される。 The multilayer ceramic capacitor 10 according to this embodiment is roughly composed of a ceramic element 12 and external electrodes 40 and 42 formed on both end faces of the ceramic element 12, respectively.

本発明にかかる積層セラミックコンデンサ10の大きさは、長さ(L)方向の寸法、幅(W)方向の寸法、積層(T)方向の寸法が、たとえば、1.6mm×0.8mm×0.8mm、1.0mm×0.5mm×0.5mm、0.6mm×0.3mm×0.3mm、0.4mm×0.2mm×0.2mmの組み合わせがある。 The size of the multilayer ceramic capacitor 10 according to the present invention has dimensions in the length (L) direction, dimensions in the width (W) direction, and dimensions in the laminated (T) direction, for example, 1.6 mm × 0.8 mm × 0. There are combinations of 0.8 mm, 1.0 mm × 0.5 mm × 0.5 mm, 0.6 mm × 0.3 mm × 0.3 mm, 0.4 mm × 0.2 mm × 0.2 mm.

セラミック素体12は、直方体状に形成され、幅(W)方向および積層(T)方向に沿って延びる第1の端面13および第2の端面14と、長さ(L)方向および積層(T)方向に沿って延びる第1の側面15および第2の側面16と、長さ(L)方向および幅(W)方向に沿って延びる第1の主面17および第2の主面18とを有する。また、セラミック素体12において、第1の端面13および第2の端面14は、互いに対向し、第1の側面15および第2の側面16は互いに対向し、第1の主面17および第2の主面18は互いに対向する。また、第1の側面15および第2の側面16は、第1の端面13および第2の端面14に直交し、第1の主面17および第2の主面18は、第1の端面13および第1の側面16に直交する。さらに、セラミック素体12のコーナー部および稜部は、丸みが形成されていることが好ましい。 The ceramic element body 12 is formed in a rectangular parallelepiped shape, and has a first end face 13 and a second end face 14 extending along a width (W) direction and a stacking (T) direction, and a length (L) direction and a stacking (T) direction. ) The first side surface 15 and the second side surface 16 extending along the direction, and the first main surface 17 and the second main surface 18 extending along the length (L) direction and the width (W) direction. Have. Further, in the ceramic body 12, the first end surface 13 and the second end surface 14 face each other, the first side surface 15 and the second side surface 16 face each other, and the first main surface 17 and the second surface 17 and the second side surface 16 face each other. The main surfaces 18 of the above face each other. Further, the first side surface 15 and the second side surface 16 are orthogonal to the first end surface 13 and the second end surface 14, and the first main surface 17 and the second main surface 18 are the first end surface 13. And orthogonal to the first side surface 16. Further, it is preferable that the corners and ridges of the ceramic element 12 are rounded.

セラミック素体12は、複数の内層用セラミック層(誘電体セラミック層)20および複数の内層用セラミック層20同士の界面に配設された複数の第1の内部電極22および第2の内部電極24により構成される内層部26と、内層部26を積層(T)方向に挟むように外層用セラミック層が配設された外層部28,30と、内層部26および外層部28,30を幅(W)方向に挟むようにサイドマージン用のセラミック層が配設されたサイドマージン部32,34とで構成されている。換言すると、内層部26は、最も第1の主面17側あるいは第2の主面18側に配置された第1および第2の内部電極22,24に挟まれた領域である。また、サイドマージン部32,34は、セラミック素体12を積層(T)方向からみて、第1の内部電極22および第2の内部電極24が存在しない領域である。 The ceramic element 12 includes a plurality of first internal electrodes 22 and a second internal electrode 24 disposed at the interface between the plurality of inner layer ceramic layers (dielectric ceramic layers) 20 and the plurality of inner layer ceramic layers 20. The inner layer portion 26 composed of the inner layer portion 26, the outer layer portions 28, 30 in which the ceramic layer for the outer layer is arranged so as to sandwich the inner layer portion 26 in the laminated (T) direction, and the inner layer portion 26 and the outer layer portion 28, 30 are widened. It is composed of side margin portions 32 and 34 in which a ceramic layer for side margins is arranged so as to be sandwiched in the W) direction. In other words, the inner layer portion 26 is a region sandwiched between the first and second internal electrodes 22 and 24 arranged on the first main surface 17 side or the second main surface 18 side. Further, the side margin portions 32 and 34 are regions where the first internal electrode 22 and the second internal electrode 24 do not exist when the ceramic element 12 is viewed from the laminated (T) direction.

内層用セラミック層20は、たとえば、Ba,Tiを含有するペロブスカイト型化合物を主成分とし、ペロブスカイト構造を備える誘電体セラミック粒子からなる。また、これらの主成分に添加剤として、Si、Mg、Baのうちの少なくとも1種が加えられており、セラミック粒子間にそれらの添加剤が存在している。焼成後の内層用セラミック層20の厚みは、0.3μm以上10μm以下であることが好ましい。 The ceramic layer 20 for the inner layer is made of, for example, a dielectric ceramic particle containing a perovskite-type compound containing Ba and Ti as a main component and having a perovskite structure. Further, at least one of Si, Mg, and Ba is added to these main components as an additive, and these additives are present between the ceramic particles. The thickness of the ceramic layer 20 for the inner layer after firing is preferably 0.3 μm or more and 10 μm or less.

上下に配設された外層部28,30は、それぞれ、内層用セラミック層20と同じ誘電体セラミック材料が用いられている。なお、外層部28,30は、内層用セラミック層20と異なる誘電体セラミック材料で構成されていてもよい。焼成後の外層部28,30の厚みは、15μm以上40μm以下であることが好ましい。 The outer layer portions 28 and 30 arranged above and below are each made of the same dielectric ceramic material as the inner layer ceramic layer 20. The outer layer portions 28 and 30 may be made of a dielectric ceramic material different from that of the inner layer ceramic layer 20. The thickness of the outer layer portions 28 and 30 after firing is preferably 15 μm or more and 40 μm or less.

第1の内部電極22と第2の内部電極24とは、厚み方向において、内層用セラミック層20を介して対向している。この第1の内部電極22と第2の内部電極24とが、内層用セラミック層20を介して対向している部分に静電容量が形成されている。 The first internal electrode 22 and the second internal electrode 24 face each other via the inner layer ceramic layer 20 in the thickness direction. Capacitance is formed in a portion where the first internal electrode 22 and the second internal electrode 24 face each other with the inner layer ceramic layer 20 interposed therebetween.

第1の内部電極22の左側端部は、セラミック素体12の第1の端面13に引き出されて外部電極40に電気的に接続されている。第2の内部電極24の右側端部は、セラミック素体12の第2の端面14に引き出されて外部電極42に電気的に接続されている。 The left end portion of the first internal electrode 22 is drawn out to the first end surface 13 of the ceramic element body 12 and is electrically connected to the external electrode 40. The right end of the second internal electrode 24 is drawn out to the second end surface 14 of the ceramic element 12 and electrically connected to the external electrode 42.

第1および第2の内部電極22,24は、たとえば、Ni、Cuなどからなる。第1および第2の内部電極22,24の厚みは0.3μm以上2.0μm以下であることが好ましい。 The first and second internal electrodes 22 and 24 are made of, for example, Ni, Cu, or the like. The thickness of the first and second internal electrodes 22 and 24 is preferably 0.3 μm or more and 2.0 μm or less.

サイドマージン部32,34は、セラミック素体12の側面側に位置するアウター部32a,34aおよび第1および第2の内部電極22,24側に位置するインナー部32b,34bを含む2層構造である。また、サイドマージン部32,34は、たとえば、BaTiO3などの主成分からなるペロブスカイト構造を備える誘電体セラミック材料からなる。また、これらの主成分に添加剤として、Si、Mg、Baのうちの少なくとも1種が加えられており、セラミック粒子間にそれらの添加剤が存在している。焼成後のサイドマージン部32,34の厚みは、5μm以上40μm以下であることが好ましい。特に、20μm以下で、本発明が有効に働く。また、好ましくは、インナー部32b,34bはアウター部32a,34aより厚みが薄く、具体的には、アウター部32a,34aの厚みは、5μm以上20μm以下が好ましく、インナー部32b,34bの厚みは、0.1μm以上20μm以下が好ましい。なお、アウター部32a,34aとインナー部32b,34bにおける焼結性の違いにより、光学顕微鏡を用いることで、サイドマージン部32,34が2層構造であることは容易に把握できる。また、サイドマージン部32,34は、アウター部32a,34a、インナー部32b,34bの2層だけでなく、複数層であってもよい。 The side margin portions 32 and 34 have a two-layer structure including outer portions 32a and 34a located on the side surface side of the ceramic element 12 and inner portions 32b and 34b located on the first and second internal electrodes 22 and 24 sides. be. Further, the side margin portions 32 and 34 are made of a dielectric ceramic material having a perovskite structure composed of a main component such as BaTiO 3 and the like. Further, at least one of Si, Mg, and Ba is added to these main components as an additive, and these additives are present between the ceramic particles. The thickness of the side margin portions 32 and 34 after firing is preferably 5 μm or more and 40 μm or less. In particular, the present invention works effectively at 20 μm or less. Further, preferably, the inner portions 32b and 34b are thinner than the outer portions 32a and 34a, specifically, the thickness of the outer portions 32a and 34a is preferably 5 μm or more and 20 μm or less, and the thickness of the inner portions 32b and 34b is , 0.1 μm or more and 20 μm or less is preferable. Due to the difference in sinterability between the outer portions 32a and 34a and the inner portions 32b and 34b, it can be easily understood that the side margin portions 32 and 34 have a two-layer structure by using an optical microscope. Further, the side margin portions 32 and 34 may have a plurality of layers as well as two layers of the outer portions 32a and 34a and the inner portions 32b and 34b.

なお、外層部28,30の厚さ、あるいはサイドマージン部32,34の厚さは、セラミック素体12を積層(T)方向および幅(W)方向からなる面に対して垂直になる方向へ長さが約1/2になるように研磨し、内部電極端部(セラミック誘電体が拡散している端部も含む)から外側に向かう長さを10層おきに測定し、その平均値から求められる。 The thickness of the outer layer portions 28 and 30 or the thickness of the side margin portions 32 and 34 is in the direction perpendicular to the surface formed by the laminated (T) direction and the width (W) direction of the ceramic element body 12. Polish to a length of about 1/2, measure the length from the end of the internal electrode (including the end where the ceramic dielectric is diffused) to the outside every 10 layers, and use the average value. Desired.

また、サイドマージン部32,34において、インナー部32bからアウター部32aおよびインナー部34bからアウター部34aに向かって、空隙部が減少している。
このように、サイドマージン部32,34が形成された積層体チップを焼結させるときに、セラミック素体12における内部電極が備えられる内層部を焼結させるための条件であっても、このサイドマージン部32,34の内側から外側に向かって、空隙部を少なくすることができるため、サイドマージン部32,34からセラミック素体12の内側に向かって、水分の浸入が抑制されることから、積層セラミックコンデンサの耐湿性を向上させることができる。したがって、信頼性を向上させた積層セラミックコンデンサを提供することができる。
ここで、空隙部とは、空間もしくはガラスが埋まっている箇所と混在している状況である。空隙部の数は、30μm×30μmの範囲を倍率5000でSEMにより撮像し、カウントすることで確認できる。
Further, in the side margin portions 32 and 34, the gaps are reduced from the inner portion 32b toward the outer portion 32a and from the inner portion 34b toward the outer portion 34a.
As described above, when the laminated body chip on which the side margin portions 32 and 34 are formed is sintered, even if the condition is for sintering the inner layer portion provided with the internal electrode in the ceramic element body 12, this side Since the gaps can be reduced from the inside to the outside of the margin portions 32 and 34, the infiltration of water from the side margin portions 32 and 34 toward the inside of the ceramic element 12 is suppressed. The moisture resistance of the monolithic ceramic capacitor can be improved. Therefore, it is possible to provide a monolithic ceramic capacitor with improved reliability.
Here, the void portion is a situation in which the space or the portion where the glass is buried is mixed. The number of voids can be confirmed by imaging a range of 30 μm × 30 μm with an SEM at a magnification of 5000 and counting.

また、サイドマージン部32,34のインナー部32b,34bにおけるセラミック粒子の粒径であるグレインサイズは、アウター部32a,34aにおけるグレインサイズに比べて小さくなっており、緻密性が増している。特に、サイドマージン部32,34近傍の第1および第2の内部電極22,24の端部において、グレインサイズがアウター部32a,34aにおけるグレインサイズより小さくなっている。 Further, the grain size, which is the particle size of the ceramic particles in the inner portions 32b, 34b of the side margin portions 32, 34, is smaller than the grain size in the outer portions 32a, 34a, and the fineness is increased. In particular, at the ends of the first and second internal electrodes 22 and 24 near the side margin portions 32 and 34, the grain size is smaller than the grain size of the outer portions 32a and 34a.

この空隙部は、サイドマージン部32,34の厚さの測定時と同様にセラミック素体12を研磨し、積層セラミックコンデンサ10の外形寸法が、たとえば、0.6mm×0.3mm×0.3mmの場合、倍率5000倍でSEM撮影し、空隙部と見られる点を数えることで観測することができる。
また、倍率20000〜50000倍でSEM撮影し、撮像範囲のグレインを選択しその大きさの平均(たとえば、50個)を算出することで、アウター部32a,34aおよびインナー部32b,34bにおけるグレインサイズの大きさの違いを把握することができる。
In this gap portion, the ceramic element 12 is polished in the same manner as when measuring the thickness of the side margin portions 32 and 34, and the external dimensions of the laminated ceramic capacitor 10 are, for example, 0.6 mm × 0.3 mm × 0.3 mm. In the case of, it can be observed by taking an SEM image at a magnification of 5000 times and counting the points that are considered to be voids.
Further, by taking an SEM image at a magnification of 20000 to 50,000 times, selecting grains in the imaging range, and calculating the average of the sizes (for example, 50 pieces), the grain sizes in the outer portions 32a and 34a and the inner portions 32b and 34b are calculated. It is possible to grasp the difference in the size of.

また、内層部26の内層用セラミック層20と、サイドマージン部32,34のアウター部32a,34aおよびインナー部32b,34bのセラミック粒子間における添加材であるBaの量は、
内層部20の内層用セラミック層20<アウター部32a,34a<インナー部32b,34b、
である。
このように、このサイドマージン部が内部電極側のインナー部と側面側のアウター部との2層に形成され、インナー部のBa含有量がアウター部のBaの含有量より多いことが好ましい。こうすることで、サイドマージン部を有する積層セラミックコンデンサの信頼性を向上させることができる。
すなわち、セラミック素体12のサイドマージン部の内側から外側に向かって、セラミック誘電体からなるセラミック粒子間のBaの含有量が減少している。そのため、サイドマージン部32,34が形成された積層体チップを焼結させるときに、セラミック素体12における内部電極が備えられる内層部を焼結させるための条件であっても、サイドマージン部32,34の外側の領域における誘電体セラミック粒子の粒成長を促進させることで、より緻密に焼結することができるため、サイドマージン部の外側を構成する誘電体セラミック層における空隙部を少なくすることができることから、サイドマージン部32,34からセラミック素体12の内側に向かって水分の侵入を防ぐことができる。
なお、このようなサイドマージン部32,34のセラミック粒子間における添加剤であるBaの含有量が異なる。なお、Baの含有量の違いは、TEM分析により見出すことができる。
Further, the amount of Ba which is an additive between the ceramic layer 20 for the inner layer of the inner layer portion 26 and the ceramic particles of the outer portions 32a and 34a and the inner portions 32b and 34b of the side margin portions 32 and 34 is determined.
Ceramic layer 20 for inner layer of inner layer portion 20 <outer portion 32a, 34a <inner portion 32b, 34b,
Is.
As described above, it is preferable that the side margin portion is formed in two layers of the inner portion on the internal electrode side and the outer portion on the side surface side, and the Ba content of the inner portion is higher than the Ba content of the outer portion. By doing so, the reliability of the monolithic ceramic capacitor having the side margin portion can be improved.
That is, the Ba content between the ceramic particles made of the ceramic dielectric decreases from the inside to the outside of the side margin portion of the ceramic element 12. Therefore, when the laminated chip on which the side margin portions 32 and 34 are formed is sintered, the side margin portion 32 is provided even under the condition for sintering the inner layer portion provided with the internal electrode in the ceramic element body 12. , 34 By promoting the grain growth of the dielectric ceramic particles in the outer region, it is possible to sinter more precisely, so that the voids in the dielectric ceramic layer constituting the outer side of the side margin portion are reduced. Therefore, it is possible to prevent the intrusion of moisture from the side margin portions 32 and 34 toward the inside of the ceramic element 12.
The content of Ba, which is an additive, is different between the ceramic particles of the side margin portions 32 and 34. The difference in Ba content can be found by TEM analysis.

サイドマージン部32,34のアウター部32a,34aおよびインナー部32b,34bにおけるBaの含有量は、Ti:1molに対するモル比が、センター値で、
アウター部32a,34aは、Ba:1.000より大きく1.020未満、
インナー部32b,34bは、Ba:1.020より大きく1.040未満、
となるように調合していることが好ましい。こうすることで、サイドマージン部を有する積層セラミックコンデンサの信頼性を向上させることができる。
The Ba content in the outer portions 32a, 34a and the inner portions 32b, 34b of the side margin portions 32, 34 is such that the molar ratio to Ti: 1 mol is the center value.
The outer portions 32a and 34a are larger than Ba: 1.000 and less than 1.020.
The inner portions 32b and 34b are larger than Ba: 1.020 and less than 1.040.
It is preferable that the mixture is prepared so as to be. By doing so, the reliability of the monolithic ceramic capacitor having the side margin portion can be improved.

また、サイドマージン部32,34側からセラミック素体12を研磨し、アウター部32a,34aおよびインナー部32b,34bの部分を研磨したそれぞれの粉を酸により溶解し、ICP発光分光分析を行うことで、アウター部32a,34aおよびインナー部32b,34bにおいて、上記のモル比となっていることを確認することができる。 Further, the ceramic element 12 is polished from the side margin portions 32 and 34, and the respective powders obtained by polishing the outer portions 32a and 34a and the inner portions 32b and 34b are dissolved by an acid to perform ICP emission spectroscopic analysis. It can be confirmed that the outer portions 32a and 34a and the inner portions 32b and 34b have the above-mentioned molar ratio.

さらに、これらの範囲において、アウター部32a,34aに対して、インナー部32b,34bのセラミック粒子間のBaの含有量が100%を超えて140%未満多く添加されることが好ましい。こうすることで、サイドマージン部を有する積層セラミックコンデンサの信頼性を向上させることができる。 Further, in these ranges, it is preferable that the Ba content between the ceramic particles of the inner portions 32b and 34b is more than 100% and less than 140% more than that of the outer portions 32a and 34a. By doing so, the reliability of the monolithic ceramic capacitor having the side margin portion can be improved.

外部電極40,42は、焼付けにより形成されるCuを含む電極層40a,42aと、その電極層40a,42aの表面に形成されるはんだ食われを防止するためにNiを含む第1のめっき層40b,42bと、第1のめっき層40b,42bの表面に形成されるSnを含む第2のめっき層40c,42cと、により構成された3重構造である。 The external electrodes 40 and 42 are the electrode layers 40a and 42a containing Cu formed by baking, and the first plating layer containing Ni to prevent solder eating formed on the surfaces of the electrode layers 40a and 42a. It is a triple structure composed of 40b, 42b and second plating layers 40c, 42c containing Sn formed on the surface of the first plating layers 40b, 42b.

図1に示す積層セラミックコンデンサ10では、サイドマージン部32,34の内側から外側に向かって空隙部が減少している。すなわち、図1に示す積層セラミックコンデンサでは、サイドマージン部32,34のインナー部32b,34bに比べてアウター部32a,34aにおける空隙部が少なくなっていることから、空隙部を介してサイドマージン部32,34からセラミック素体12の内側に向かう水分の侵入が抑制され、積層セラミックコンデンサ10の耐湿性を向上させることができる。 In the multilayer ceramic capacitor 10 shown in FIG. 1, the gaps decrease from the inside to the outside of the side margin portions 32 and 34. That is, in the multilayer ceramic capacitor shown in FIG. 1, since the gaps in the outer portions 32a and 34a are smaller than those in the inner portions 32b and 34b of the side margin portions 32 and 34, the side margin portions are interposed through the gap portions. The intrusion of moisture from 32 and 34 toward the inside of the ceramic element 12 is suppressed, and the moisture resistance of the multilayer ceramic capacitor 10 can be improved.

また、図1に示す積層セラミックコンデンサ10では、サイドマージン部32,34のインナー部32b,34bからアウター部32a,34a(すなわち、サイドマージン部32,34の内側から外側)に向かってセラミック粒子間のBaが減少している。また、インナー部32b,34bから、インナー部32b,34bと第1および第2の内部電極22,24の端部との間における内層用セラミック層20にBaが拡散することで、第1および第2の内部電極22,24のサイドマージン部32,34の近傍において、Baの量が多くなっている。したがって、第1および第2の内部電極22,24の端部におけるセラミック粒子の粒成長を抑制することができ、内部電極間の信頼性を向上させることができる。 Further, in the multilayer ceramic capacitor 10 shown in FIG. 1, between the ceramic particles from the inner portions 32b, 34b of the side margin portions 32, 34 toward the outer portions 32a, 34a (that is, from the inside to the outside of the side margin portions 32, 34). Ba is decreasing. Further, Ba is diffused from the inner portions 32b and 34b to the inner layer ceramic layer 20 between the inner portions 32b and 34b and the ends of the first and second internal electrodes 22 and 24, so that the first and second parts are diffused. The amount of Ba is large in the vicinity of the side margin portions 32 and 34 of the internal electrodes 22 and 24 of 2. Therefore, the grain growth of the ceramic particles at the ends of the first and second internal electrodes 22 and 24 can be suppressed, and the reliability between the internal electrodes can be improved.

一方、図1に示す積層セラミックコンデンサ10では、サイドマージン部32,34のアウター部32a,34aにおいてBaが少ないため、セラミック粒子の粒成長が促進され、より緻密に焼結させることができる。したがって、外部からの水分の侵入に対して強くなる。 On the other hand, in the multilayer ceramic capacitor 10 shown in FIG. 1, since the outer portions 32a and 34a of the side margin portions 32 and 34 have less Ba, the grain growth of the ceramic particles is promoted and more precise sintering can be performed. Therefore, it becomes strong against the invasion of moisture from the outside.

次に、積層セラミックコンデンサの製造方法について説明する。図4は、積層セラミックコンデンサの製造方法を説明するための説明図であって、(a)は、セラミックグリーンシートに導電膜を形成した状態を模式的に示した斜視図であり、(b)は、導電膜が形成されたセラミックグリーンシートを積み重ねる状態を模式的に示した斜視図である。図5は、図4に示した積層セラミックコンデンサの製造方法において製造される積層体チップの概観の一例を示す概略斜視図である。以下、詳細に説明する。 Next, a method for manufacturing a monolithic ceramic capacitor will be described. 4A and 4B are explanatory views for explaining a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor, and FIG. 4A is a perspective view schematically showing a state in which a conductive film is formed on a ceramic green sheet, and FIG. 4B is a perspective view. Is a perspective view schematically showing a state in which ceramic green sheets on which a conductive film is formed are stacked. FIG. 5 is a schematic perspective view showing an example of an overview of the laminated body chips manufactured by the method for manufacturing the laminated ceramic capacitor shown in FIG. 4. Hereinafter, it will be described in detail.

(1)セラミック素体の形成
まず、誘電体セラミック材料として、BaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物が準備される。この誘電体セラミック材料から得られた誘電体粉末に、添加剤として、Si、Mg、Baのうちの少なくとも1種、有機バインダ、有機溶剤、可塑剤および分散剤を所定の割合で混合し、セラミックスラリーが作製される。このセラミックスラリーは、樹脂フィルム(図示せず)上にセラミックグリーンシート50a(50b)として複数枚、成形される。セラミックグリーンシート50a(50b)の成形は、たとえば、ダイコータ、グラビアコータ、マイクログラビアコータ等を用いて行われる。
(1) Formation of Ceramic Element First, a perovskite-type compound containing Ba and Ti is prepared as a dielectric ceramic material. At least one of Si, Mg, and Ba, an organic binder, an organic solvent, a plasticizer, and a dispersant are mixed in a predetermined ratio with the dielectric powder obtained from this dielectric ceramic material as an additive, and the ceramics are used. A rally is made. A plurality of ceramic green sheets 50a (50b) are formed on a resin film (not shown) of this ceramic slurry. The ceramic green sheet 50a (50b) is formed by using, for example, a die coater, a gravure coater, a microgravure coater, or the like.

次に、図4(a)に示すように、セラミックグリーンシート50a(50b)の表面に、内部電極用導電性ペーストをX方向にストライプ形状に印刷し、乾燥することにより、内部電極22(24)となる導電膜52a(52b)が形成される。印刷方法は、スクリーン印刷、インクジェット印刷、グラビア印刷など各種の方法が用いられる。導電膜52a(52b)の厚みは、1.5μm以下が好ましい。 Next, as shown in FIG. 4A, the conductive paste for the internal electrode is printed on the surface of the ceramic green sheet 50a (50b) in a striped shape in the X direction and dried to obtain the internal electrode 22 (24). ), The conductive film 52a (52b) is formed. As a printing method, various methods such as screen printing, inkjet printing, and gravure printing are used. The thickness of the conductive film 52a (52b) is preferably 1.5 μm or less.

続いて、図4(b)に示すように、導電膜52a,52bが印刷された複数枚のセラミックグリーンシート50a,50bが、導電膜52a,52bの印刷する方向(X方向)とは垂直な方向(導電膜52a,52bの幅方向:Y方向)にずらされ、積み重ねられる。さらに、このように積層された内層部26となるセラミックグリーンシート50a,50bの上面および下面に、必要に応じて、外層部28,30となる導電膜が形成されていないセラミックグリーンシートが所定枚数積み重ねられ、マザー積層体が得られる。 Subsequently, as shown in FIG. 4B, the plurality of ceramic green sheets 50a and 50b on which the conductive films 52a and 52b are printed are perpendicular to the printing direction (X direction) of the conductive films 52a and 52b. They are shifted in the direction (width direction of the conductive films 52a and 52b: Y direction) and stacked. Further, a predetermined number of ceramic green sheets are formed on the upper and lower surfaces of the ceramic green sheets 50a and 50b which are the inner layer portions 26 laminated in this way, and if necessary, the conductive film which is the outer layer portions 28 and 30 is not formed. Stacked to obtain a mother laminate.

次に、得られたマザー積層体はプレスされる。マザー積層体をプレスする方法は、剛体プレス、静水圧プレスなどの方法が用いられる。 Next, the obtained mother laminate is pressed. As a method of pressing the mother laminated body, a method such as a rigid body press or a hydrostatic pressure press is used.

続いて、プレスされたマザー積層体がチップ形状にカットされ、図5に示されるような積層体チップ60が得られる。マザー積層体をカットする方法は、押切り、ダイシング、レーザなどの各種方法が用いられる。 Subsequently, the pressed mother laminate is cut into a chip shape, and the laminate chip 60 as shown in FIG. 5 is obtained. As a method for cutting the mother laminate, various methods such as push-cutting, dicing, and laser are used.

以上の工程を経ることで、積層体チップ60の両端面である一方端面は、セラミックグリーンシート50aの導電膜52aのみが露出しており、他方端面は、セラミックグリーンシート50bの導電膜52bのみが露出されている面となる。
また、積層体チップ60の両側面には、セラミックグリーンシート50aの導電膜52aおよびセラミックグリーンシート50bの導電膜52bのそれぞれが露出している面となる。
Through the above steps, only the conductive film 52a of the ceramic green sheet 50a is exposed on one end surface, which is both end faces of the laminated chip 60, and only the conductive film 52b of the ceramic green sheet 50b is exposed on the other end surface. It will be an exposed surface.
Further, on both side surfaces of the laminated chip 60, the conductive films 52a of the ceramic green sheet 50a and the conductive films 52b of the ceramic green sheet 50b are exposed.

(2)サイドマージン部の形成
次に、サイドマージン部32,34となるサイドマージン用セラミックグリーンシートが準備される。以下、より詳細に説明する。
(2) Formation of Side Margins Next, side margin ceramic green sheets to be side margins 32 and 34 are prepared. Hereinafter, a more detailed description will be given.

まず、誘電体セラミック材料として、BaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物が準備される。この誘電体セラミック材料から得られた誘電体粉末に、添加剤として、Si、Mg、Baのうちの少なくとも1種、バインダ樹脂、有機溶剤、可塑剤および分散剤を所定の割合で混合し、セラミックスラリーが作製される。 First, a perovskite-type compound containing Ba and Ti is prepared as a dielectric ceramic material. At least one of Si, Mg, and Ba, a binder resin, an organic solvent, a plasticizer, and a dispersant are mixed in a predetermined ratio with the dielectric powder obtained from this dielectric ceramic material as an additive, and the ceramics are used. A rally is made.

ここで、サイドマージン部32,34のアウター部32a,34aとなるセラミックスラリーは、Baのモル比がTi:1molに対してBa:1.000より大きく1.020未満に調整される。また、サイドマージン部32,34のインナー部32b,34bとなるセラミックスラリーは、Baのモル比がTi:1molに対してBa:1.020より大きく1.040未満に調整される。 Here, in the ceramic slurry serving as the outer portions 32a and 34a of the side margin portions 32 and 34, the molar ratio of Ba is adjusted to be larger than Ba: 1.000 and less than 1.020 with respect to Ti: 1 mol. Further, in the ceramic slurry serving as the inner portions 32b and 34b of the side margin portions 32 and 34, the molar ratio of Ba is adjusted to be larger than Ba: 1.020 and less than 1.040 with respect to Ti: 1 mol.

また、サイドマージン部32,34のアウター部32a,34aとなるセラミックスラリーに含まれるポリ塩化ビニル(PVC)の量は、サイドマージン部32,34のインナー部32b,34bとなるセラミックスラリーに含まれるポリ塩化ビニル(PVC)の量よりも多く含まれる。 Further, the amount of polyvinyl chloride (PVC) contained in the ceramic slurry serving as the outer portions 32a and 34a of the side margin portions 32 and 34 is included in the ceramic slurry serving as the inner portions 32b and 34b of the side margin portions 32 and 34. It contains more than the amount of polyvinyl chloride (PVC).

さらに、サイドマージン部32,34のインナー部32b,34bとなるセラミックスラリーに含まれる溶剤は、アウター部用セラミックグリーンシートに対するシートアタックを防止するため、適宜最適な溶剤が選択される。また、このインナー部用セラミックグリーンシートは、積層体チップ60と接着するための役割を有している。 Further, as the solvent contained in the ceramic slurry serving as the inner portions 32b and 34b of the side margin portions 32 and 34, the optimum solvent is appropriately selected in order to prevent the sheet from attacking the ceramic green sheet for the outer portion. Further, the ceramic green sheet for the inner portion has a role of adhering to the laminated body chip 60.

そして、樹脂フィルム上に、サイドマージン部32,34のアウター部32a,34aとなる作製されたセラミックスラリーを塗布し、乾燥して、アウター部用セラミックグリーンシートが作製される。 Then, the ceramic slurry produced to be the outer portions 32a and 34a of the side margin portions 32 and 34 is applied onto the resin film and dried to produce a ceramic green sheet for the outer portion.

次に、アウター部用セラミックグリーンシートの表面に、サイドマージン部32,34のインナー部32b,34bとなる作製されたセラミックスラリーを塗布し、乾燥して、インナー部用セラミックグリーンシートが形成され、その結果、2層構造のサイドマージン用セラミックグリーンシートが作製される。 Next, the ceramic slurry prepared to be the inner portions 32b and 34b of the side margin portions 32 and 34 is applied to the surface of the ceramic green sheet for the outer portion and dried to form the ceramic green sheet for the inner portion. As a result, a ceramic green sheet for a side margin having a two-layer structure is produced.

ここで、インナー部用セラミックグリーンシートの厚みは、アウター部用セラミックグリーンシートの厚みよりも薄くして形成される。たとえば、アウター部用セラミックグリーンシートの厚みは、焼成後の厚みが5μm以上20μm以下となるように形成され、インナー部用セラミックグリーンシートの厚みは、焼成後の厚みが0.1μm以上20μm以下となるように形成される。アウター部用セラミックグリーンシートの方がインナー部用セラミックグリーンシートより厚い方が好ましい。また、アウター部32a,34aとインナー部32b,34bとの間には界面が存在し、この界面により積層セラミックコンデンサ10にかかる応力を緩和することができる。 Here, the thickness of the ceramic green sheet for the inner portion is formed to be thinner than the thickness of the ceramic green sheet for the outer portion. For example, the thickness of the ceramic green sheet for the outer part is formed so that the thickness after firing is 5 μm or more and 20 μm or less, and the thickness of the ceramic green sheet for the inner part is 0.1 μm or more and 20 μm or less after firing. Is formed to be. It is preferable that the ceramic green sheet for the outer portion is thicker than the ceramic green sheet for the inner portion. Further, there is an interface between the outer portions 32a and 34a and the inner portions 32b and 34b, and the stress applied to the multilayer ceramic capacitor 10 can be relaxed by this interface.

なお、上述の2層構造のサイドマージン用セラミックグリーンシートは、アウター部用セラミックグリーンシートの表面にインナー部用セラミックグリーンシートを印刷することで作製されたが、アウター部用セラミックグリーンシートとインナー部用セラミックグリーンシートをそれぞれ予め形成しておき、その後、それぞれを貼り合せることで2層構造としたサイドマージン用セラミックグリーンシートを作製してもよい。 The ceramic green sheet for the side margin having the above-mentioned two-layer structure was produced by printing the ceramic green sheet for the inner part on the surface of the ceramic green sheet for the outer part. Ceramic green sheets for side margins may be produced by forming each of them in advance and then laminating each of them to form a ceramic green sheet for side margin having a two-layer structure.

次に、樹脂フィルムから、サイドマージン用セラミックグリーンシートが剥離される。 Next, the side margin ceramic green sheet is peeled off from the resin film.

続いて、剥離されたサイドマージン用セラミックグリーンシートにおけるインナー部用セラミックグリーンシートに向かって、積層体チップ60の導電膜52a,52bが露出している一方側面あるいは他方側面をそれぞれ押し付けて打ち抜くことで、サイドマージン部32,34となる層が形成される。このとき、積層体チップ60の側面には、予め、接着剤となる有機溶剤を塗布しておくことが好ましい。 Subsequently, one side surface or the other side surface where the conductive films 52a and 52b of the laminated chip 60 are exposed is pressed against the ceramic green sheet for the inner portion of the peeled ceramic green sheet for the side margin and punched out. , A layer serving as the side margin portions 32 and 34 is formed. At this time, it is preferable to apply an organic solvent as an adhesive to the side surface of the laminated chip 60 in advance.

次に、そして、サイドマージン部32,34となる層が形成された積層体チップ60は、窒素雰囲気中、所定の条件で脱脂処理された後、窒素−水素−水蒸気混合雰囲気中、所定の温度で焼成され、焼結したセラミック素体12とされる。 Next, the laminated chip 60 on which the layers to be the side margin portions 32 and 34 are formed is degreased under predetermined conditions in a nitrogen atmosphere, and then has a predetermined temperature in a nitrogen-hydrogen-steam mixed atmosphere. The ceramic body 12 is fired and sintered.

次に、焼結したセラミック素体12の両端部に、それぞれ、Cuを主成分とする外部電極ペーストが塗布されて焼き付けられ、第1および第2の内部電極22,24に電気的に接続された電極層40a,42aが形成される。さらに、電極層40a,42aの表面に、Niめっきによる第1のめっき層40b,42bが形成され、第1のめっき層40b,42bの表面にSnめっきによる第2のめっき層40c,42cが形成され、外部電極40,42が形成される。 Next, an external electrode paste containing Cu as a main component is applied to both ends of the sintered ceramic body 12, and the paste is baked and electrically connected to the first and second internal electrodes 22 and 24, respectively. The electrode layers 40a and 42a are formed. Further, the first plating layers 40b and 42b by Ni plating are formed on the surfaces of the electrode layers 40a and 42a, and the second plating layers 40c and 42c by Sn plating are formed on the surfaces of the first plating layers 40b and 42b. The external electrodes 40 and 42 are formed.

上述のようにして、図1に示す積層セラミックコンデンサ10が製造される。 As described above, the monolithic ceramic capacitor 10 shown in FIG. 1 is manufactured.

なお、サイドマージン部32,34の形成は、積層体チップ60の導電膜52a,52bが露出している両側面に、サイドマージン用のセラミックスラリーの塗布によっても形成することができる。 The side margin portions 32 and 34 can also be formed by applying a ceramic slurry for the side margin on both side surfaces of the laminated chip 60 where the conductive films 52a and 52b are exposed.

すなわち、積層体チップ60の導電膜52a,52bが露出している両側面に、インナー部32b,34bとなるセラミックスラリーが塗布され、乾燥させ、さらに、アウター部32a,34aとなるセラミックスラリーが塗布される。 That is, the ceramic slurries to be the inner portions 32b and 34b are applied to both side surfaces of the laminated chip 60 where the conductive films 52a and 52b are exposed, dried, and further coated with the ceramic slurries to be the outer portions 32a and 34a. Will be done.

この場合、インナー部32b,34bとなるセラミックスラリーの厚み、あるいはアウター部32a,34aとなるセラミックスラリーの厚みの調整は、それぞれのセラミックスラリーに含まれる樹脂の量を調整することで行うことができる。 In this case, the thickness of the ceramic slurries of the inner portions 32b and 34b or the thickness of the ceramic slurries of the outer portions 32a and 34a can be adjusted by adjusting the amount of the resin contained in each of the ceramic slurries. ..

また、サイドマージン部32,34の形成は、積層体チップ60の両端面を樹脂などでマスクした上で、この積層体チップ60を丸ごとインナー部32b,34bとなるセラミックスラリー内にディッピングし、乾燥させ、さらに、アウター部32a,34aとなるセラミックスラリー内にディッピングすることで形成してもよい。この場合、外層部28,30も覆うように、サイドマージン部32,34として2層構造に形成される。 Further, to form the side margin portions 32 and 34, after masking both end surfaces of the laminated body chip 60 with a resin or the like, the laminated body chip 60 is completely dipped into the ceramic slurry to be the inner portions 32b and 34b and dried. Further, it may be formed by dipping in the ceramic slurry which becomes the outer portions 32a and 34a. In this case, the side margin portions 32 and 34 are formed in a two-layer structure so as to cover the outer layer portions 28 and 30 as well.

(実験例)
1.実施例および比較例
実験例では、以下に示す実施例および比較例の積層セラミックコンデンサの各試料が製造され、積層セラミックコンデンサの耐湿負荷試験による評価が行われた。
(Experimental example)
1. 1. Examples and Comparative Examples In the experimental examples, each sample of the multilayer ceramic capacitors of Examples and Comparative Examples shown below was manufactured and evaluated by a moisture resistance load test of the multilayer ceramic capacitors.

(実施例)
実施例では、上述の方法で図1に示す積層セラミックコンデンサ10を製造した。この場合、積層セラミックコンデンサ10の外形寸法を長さ0.6mm、幅0.3mm、高さ0.3mmとした。実施例では、サイドマージン部32,34における添加剤であるBaについて、Ti:1molに対するBaのモル比は、アウター部32a,34aが1.020とし、インナー部32b,34bが1.028とした。また、サイドマージン部32,34の厚みは20μmとし、アウター部32a,34aの厚みを16μmとし、インナー部32b,34bの厚みを4μmとした。また、内層用セラミック層20の厚みは、1層あたり0.83μmとし、第1および第2の内部電極22,24の1層あたりの厚みは、0.40μmとし、外層部28および外層部30の厚みは、それぞれ25μmとした。なお、厚みの数値は、全て焼成後の数値である。また、内層用セラミック層20の積層枚数は、280層とした。
(Example)
In the embodiment, the monolithic ceramic capacitor 10 shown in FIG. 1 was manufactured by the above method. In this case, the external dimensions of the monolithic ceramic capacitor 10 are 0.6 mm in length, 0.3 mm in width, and 0.3 mm in height. In the examples, with respect to Ba as an additive in the side margin portions 32 and 34, the molar ratio of Ba to Ti: 1 mol was 1.020 for the outer portions 32a and 34a and 1.028 for the inner portions 32b and 34b. .. The thickness of the side margin portions 32 and 34 was 20 μm, the thickness of the outer portions 32a and 34a was 16 μm, and the thickness of the inner portions 32b and 34b was 4 μm. The thickness of the ceramic layer 20 for the inner layer is 0.83 μm per layer, and the thickness of the first and second internal electrodes 22 and 24 per layer is 0.40 μm, and the outer layer portion 28 and the outer layer portion 30 are set. The thickness of each was 25 μm. The thickness values are all values after firing. The number of layers of the ceramic layer 20 for the inner layer was 280.

(比較例)
比較例では、サイドマージン部の添加材であるBaについて、Ti:1molに対するBaのモル比を一様に1.020とした以外は、実施例と同じ条件で積層セラミックコンデンサを製造した。
(Comparative example)
In the comparative example, a monolithic ceramic capacitor was manufactured under the same conditions as in the examples except that the molar ratio of Ba to Ti: 1 mol was uniformly set to 1.020 for Ba, which is an additive for the side margin portion.

(耐湿負荷試験)
実施例および比較例の各試料に対して、耐湿負荷試験を行った。耐湿負荷試験の条件は、相対湿度95%、温度40度とし、定格電圧6.3Vを印加して行った。そして、各試料の絶縁抵抗値を測定し、1.0×106[Ω]以内の絶縁抵抗の劣化が起きた場合を不良と判定した。この耐湿負荷試験には、実施例および比較例の試料それぞれ36個ずつ準備した。
(Moisture resistance load test)
Moisture resistance load tests were performed on each sample of Examples and Comparative Examples. The conditions of the moisture resistance load test were a relative humidity of 95% and a temperature of 40 degrees, and a rated voltage of 6.3 V was applied. Then, the insulation resistance value of each sample was measured, and when the insulation resistance deteriorated within 1.0 × 10 6 [Ω], it was determined to be defective. For this moisture resistance load test, 36 samples of each of Examples and Comparative Examples were prepared.

耐湿負荷試験の結果、比較例の積層セラミックコンデンサでは、不良と判定された試料数は、36個中36個であった。 As a result of the moisture resistance load test, in the laminated ceramic capacitor of the comparative example, the number of samples judged to be defective was 36 out of 36.

一方、実施例の積層セラミックコンデンサでは、不良と判定された試料数は、36個中0個であった。
したがって、実施例ではすべての試料で、信頼性の高い積層セラミックコンデンサを得ることができた。
On the other hand, in the multilayer ceramic capacitor of the example, the number of samples determined to be defective was 0 out of 36.
Therefore, in all the samples in the examples, a highly reliable multilayer ceramic capacitor could be obtained.

なお、この発明は、前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々に変形される。また、セラミック電子部品のセラミック層の厚み、層数、対向電極面積および外形寸法は、これに限定されるものではない。 The present invention is not limited to the above embodiment, and is variously modified within the scope of the gist thereof. Further, the thickness, the number of layers, the area of the counter electrode, and the external dimensions of the ceramic layer of the ceramic electronic component are not limited thereto.

10 積層セラミックコンデンサ
12 セラミック素体
13 第1の端面
14 第2の端面
15 第1の側面
16 第2の側面
17 第1の主面
18 第2の主面
20 内層用セラミック層
22 第1の内部電極
24 第2の内部電極
26 内層部
28、30 外層部
32、34 サイドマージン部
32a、34a アウター部
32b、34b インナー部
40、42 外部電極
40a、42a 電極層
40b、42b 第1のめっき層
40c、42c 第2のめっき層
50a、50b セラミックグリーンシート
52a、52b 導電膜
60 積層体チップ
10 Multilayer ceramic capacitor 12 Ceramic element 13 First end surface 14 Second end surface 15 First side surface 16 Second side surface 17 First main surface 18 Second main surface 20 Inner layer ceramic layer 22 First interior Electrode 24 Second internal electrode 26 Inner layer 28, 30 Outer layer 32, 34 Side margin 32a, 34a Outer 32b, 34b Inner 40, 42 External electrode 40a, 42a Electrode layer 40b, 42b First plating layer 40c , 42c Second Plating Layer 50a, 50b Ceramic Green Sheet 52a, 52b Conductive 60 Laminated Chip

Claims (11)

積層された複数の誘電体層と複数の内部電極とを含む積層体と、
前記内部電極に電気的に接続された外部電極とを備えた積層セラミックコンデンサであって、
前記積層体は、積層方向において相対する第1の主面および第2の主面、積層方向と直交する幅方向において相対する第1の側面および第2の側面、並びに積層方向および幅方向と直交する長さ方向において相対する第1の端面および第2の端面を含む直方体状に形成され、
前記複数の内部電極は、前記第1の端面に露出する第1の内部電極と、前記第1の内部電極と誘電体層を介して対向するように前記第2の端面に露出する第2の内部電極とを含み、
前記複数の外部電極は、前記第1の端面を覆うように形成され、且つ前記第1の内部電極に電気的に接続された第1の外部電極と、前記第2の端面を覆うように形成され、且つ前記第2の内部電極に接続された第2の外部電極とを含み、
前記幅方向において前記複数の誘電体層を挟むようにして配置されたサイドマージン部を備え、
前記サイドマージン部には積層方向に沿って延びる界面を備えた、積層セラミックコンデンサ。
A laminated body including a plurality of laminated dielectric layers and a plurality of internal electrodes,
A monolithic ceramic capacitor with an external electrode electrically connected to the internal electrode.
The laminated body has a first main surface and a second main surface facing each other in the stacking direction, a first side surface and a second side surface facing each other in a width direction orthogonal to the stacking direction, and orthogonal to the stacking direction and the width direction. It is formed in a rectangular parallelepiped shape including a first end face and a second end face facing each other in the length direction to be formed.
The plurality of internal electrodes are exposed to the first internal electrode exposed to the first end surface and the second end surface so as to face the first internal electrode via a dielectric layer. Including internal electrodes
The plurality of external electrodes are formed so as to cover the first end face, and are formed so as to cover the first external electrode electrically connected to the first internal electrode and the second end face. And includes a second external electrode connected to the second internal electrode.
A side margin portion arranged so as to sandwich the plurality of dielectric layers in the width direction is provided.
A monolithic ceramic capacitor having an interface extending along the laminating direction in the side margin portion.
積層された複数の誘電体層と複数の内部電極とを含む積層体と、
前記内部電極に電気的に接続された外部電極とを備えた積層セラミックコンデンサであって、
前記積層体は、積層方向において相対する第1の主面および第2の主面、積層方向と直交する幅方向において相対する第1の側面および第2の側面、並びに積層方向および幅方向と直交する長さ方向において相対する第1の端面および第2の端面を含む直方体状に形成され、
前記複数の内部電極は、前記第1の端面に露出する第1の内部電極と、前記第1の内部電極と誘電体層を介して対向するように前記第2の端面に露出する第2の内部電極とを含み、
前記複数の外部電極は、前記第1の端面を覆うように形成され、且つ前記第1の内部電極に電気的に接続された第1の外部電極と、前記第2の端面を覆うように形成され、且つ前記第2の内部電極に接続された第2の外部電極とを含み、
前記積層体は、複数の前記誘電体層および前記複数の誘電体層同士の界面に配設された複数の前記第1の内部電極および前記第2の内部電極により構成される内層部と、
前記内層部を積層方向に挟むように配設された外層部とを含み、
前記幅方向において前記外層部および露出する前記複数の内部電極を挟むようにして配置されたサイドマージン部を備え、
前記サイドマージン部には積層方向に沿って伸びる界面を備え、
前記サイドマージン部は、Siを含む、積層セラミックコンデンサ。
A laminated body including a plurality of laminated dielectric layers and a plurality of internal electrodes,
A monolithic ceramic capacitor with an external electrode electrically connected to the internal electrode.
The laminated body has a first main surface and a second main surface facing each other in the stacking direction, a first side surface and a second side surface facing each other in a width direction orthogonal to the stacking direction, and orthogonal to the stacking direction and the width direction. It is formed in a rectangular parallelepiped shape including a first end face and a second end face facing each other in the length direction to be formed.
The plurality of internal electrodes are exposed to the first internal electrode exposed to the first end surface and the second end surface so as to face the first internal electrode via a dielectric layer. Including internal electrodes
The plurality of external electrodes are formed so as to cover the first end face, and are formed so as to cover the first external electrode electrically connected to the first internal electrode and the second end face. And includes a second external electrode connected to the second internal electrode.
The laminated body includes a plurality of the dielectric layers and an inner layer portion composed of a plurality of the first internal electrodes and a plurality of the second internal electrodes arranged at the interface between the plurality of dielectric layers.
Including the outer layer portion arranged so as to sandwich the inner layer portion in the stacking direction.
And a said outer layer portion and side margin portions disposed so as to sandwich the plurality of internal electrodes exposed in the width direction,
The side margin portion is provided with an interface extending along the stacking direction.
The side margin portion is a monolithic ceramic capacitor containing Si.
前記誘電体層の厚みは、0.3μm以上10μm以下である、請求項1または請求項2に記載の積層セラミックコンデンサ。 The multilayer ceramic capacitor according to claim 1 or 2, wherein the thickness of the dielectric layer is 0.3 μm or more and 10 μm or less. 前記内部電極の厚みは、0.3μm以上2.0μm以下である、請求項1または請求項2に記載の積層セラミックコンデンサ。 The multilayer ceramic capacitor according to claim 1 or 2, wherein the thickness of the internal electrode is 0.3 μm or more and 2.0 μm or less. 前記サイドマージン部は、前記内部電極のための導電膜が露出する前記積層体の両側面にセラミックスラリー、またはセラミックグリーンシートが付着されることで形成される、請求項1または請求項2に記載の積層セラミックコンデンサ。 The first or second aspect of the present invention, wherein the side margin portion is formed by adhering a ceramic slurry or a ceramic green sheet to both side surfaces of the laminate in which the conductive film for the internal electrode is exposed. Multilayer ceramic capacitors. 前記積層体は、複数の前記誘電体層および前記複数の誘電体層同士の界面に配設された複数の前記第1の内部電極および前記第2の内部電極により構成される内層部と、
前記内層部を積層方向に挟むように配設された外層部と、
を含む、請求項1に記載の積層セラミックコンデンサ。
The laminated body includes a plurality of the dielectric layers and an inner layer portion composed of a plurality of the first internal electrodes and a plurality of the second internal electrodes arranged at the interface between the plurality of dielectric layers.
An outer layer portion arranged so as to sandwich the inner layer portion in the stacking direction, and an outer layer portion.
The monolithic ceramic capacitor according to claim 1.
前記外層部の厚みは、15μm以上である、請求項2または請求項6に記載の積層セラミックコンデンサ。 The multilayer ceramic capacitor according to claim 2 or 6, wherein the thickness of the outer layer portion is 15 μm or more. 前記外層部の厚みは、40μm以下である、請求項2または請求項6に記載の積層セラミックコンデンサ。 The multilayer ceramic capacitor according to claim 2 or 6, wherein the thickness of the outer layer portion is 40 μm or less. 前記外層部は、前記内層部を構成する誘電体層と同じ誘電体セラミック材料で構成されている、請求項2または請求項6に記載の積層セラミックコンデンサ。 The multilayer ceramic capacitor according to claim 2 or 6, wherein the outer layer portion is made of the same dielectric ceramic material as the dielectric layer constituting the inner layer portion. 前記外層部は、前記内層部を構成する誘電体層と異なる誘電体セラミック材料で構成されている、請求項2または請求項6に記載の積層セラミックコンデンサ。 The multilayer ceramic capacitor according to claim 2 or 6, wherein the outer layer portion is made of a dielectric ceramic material different from the dielectric layer constituting the inner layer portion. 前記サイドマージン部は、前記積層体の内部電極側のインナー部と側面側のアウター部との2層により構成され、前記インナー部におけるグレインサイズは前記アウター部におけるグレインサイズより小さい、請求項1ないし請求項10のいずれかに記載の積層セラミックコンデンサ。 The side margin portion is composed of two layers, an inner portion on the inner electrode side and an outer portion on the side surface side of the laminated body, and the grain size in the inner portion is smaller than the grain size in the outer portion, claim 1 to 1. The monolithic ceramic capacitor according to any one of claims 10.
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