JP7233860B2

JP7233860B2 - 加工装置

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Publication number: JP7233860B2
Application number: JP2018119882A
Authority: JP
Inventors: 敦史高木
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2018-06-25
Filing date: 2018-06-25
Publication date: 2023-03-07
Anticipated expiration: 2038-06-25
Also published as: JP2020003854A

Description

本発明は、加工装置に関する。

半導体ウエーハや光デバイスウエーハなどの製品を加工装置により量産する現場では、１台の加工装置で作成された加工条件データを複製して、複数の他の加工装置に展開することによって、１台の加工装置で作成された加工条件データを複数の加工装置で転用することがある（例えば特許文献１参照）。

特開２０１７－０９１４４１号公報

加工条件データを転用する際、コピー先の加工装置で加工条件データを確認せずにそのまま使用すると、加工処理が適切に実行されない場合がある。例えば、コピー元の加工装置の機種とコピー先の加工装置の機種とが異なり、使用する光源に個体差がある場合、コピー元の加工装置と同じ光量設定では、コピー先の加工装置においてアライメントが出来ずにアライメントエラーが起こる場合がある。

また、コピー元の加工装置に搭載されているソフトウェアとコピー先の加工装置に搭載されているソフトウェアとが違う場合、或いはコピー先の加工装置に新たな部品が設置されている場合などには、再度、オペレータによる加工条件の設定が必要となることがある。しかしながら、コピー先の加工装置でコピーした加工条件データを確認せずにそのまま使用してしまうと、加工条件として予め決められた規定値が設定されてしまい、加工処理が適切に実行されない場合がある。加工処理が適切に実行されないと、製品の加工品質が低下するおそれがある。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、加工条件データの転用を原因とした製品の加工品質の低下を防止できる加工装置を提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、加工手段と、加工条件データに基づいて該加工手段を制御する制御部と、タッチパネルと、を少なくとも備える加工装置であって、該タッチパネルは、該加工装置に登録された該加工条件データのファイル名を一覧にして画面上に表示する一覧表示部と、該一覧表示部に表示された任意の該ファイル名をオペレータがタッチすることで個別の加工条件データを画面上に表示する加工条件データ表示部と、を含む表示手段と、該加工条件データ表示部の各項目への入力を可能にする入力手段と、を備え、該制御部は、該一覧表示部に、他の加工装置からコピーされた該加工条件データのファイル名を識別可能に表示させることを特徴とする。

本発明の構成によれば、オペレータが他の加工装置からコピーされた加工条件データを容易に認識できるので、加工条件データの転用を原因とした製品の加工品質の低下を防止できる。

本発明において、該制御部は、該加工条件データ表示部の各項目の内、加工装置毎に調整が必要な要注意項目を識別可能に表示してもよい。本発明の構成によれば、加工条件データの中で、加工装置毎に調整が必要な要注意項目をオペレータに容易に認識させることができるので、加工条件として設定された設定値の適否などをオペレータに再度確認させる意識を芽生えさせることができ、加工条件データの転用を原因とした製品の加工品質の低下を防止できる。

本発明において、該制御部は、他の加工装置からコピーされたコピー元の該加工条件データ表示部に存在する項目と、コピー先の装置である自装置の該加工条件データ表示部に存在する項目との差分を認識し、該加工条件データ表示部に、該コピー先の装置である自装置にのみ存在する項目を識別可能に表示してもよい。本発明の構成によれば、加工条件データの中で、コピー先の装置である自装置にのみ存在する項目をオペレータに容易に認識させることができるので、加工条件として設定すべき項目をオペレータが見落としてしまうことを防止でき、加工条件データの転用を原因とした製品の加工品質の低下を防止できる。

本発明によれば、加工条件データの転用を原因とした製品の加工品質の低下を防止できる。

図１は、実施形態に係る加工装置の外観構成を模式的に示す斜視図である。図２は、実施形態に係る加工装置の外観構成を模式的に示す斜視図である。図３は、実施形態に係る加工装置の機能構成の一例を模式的に示す図である。図４は、実施形態に係るタッチパネルに表示される画面の構成例を示す図である。図５は、実施形態に係るタッチパネルに表示される画面の構成例を示す図である。図６は、実施形態に係るタッチパネルに表示される画面の構成例を示す図である。図７は、実施形態に係るタッチパネルに表示される画面の構成例を示す図である。図８は、実施形態に係る加工装置により実行される処理の一例を示す図である。図９は、実施形態に係る加工装置により実行される処理の一例を示す図である。

以下、図面を参照しつつ、本発明の実施形態を詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

図１及び図２は、実施形態に係る加工装置１の外観構成を模式的に示す斜視図である。図３は、実施形態に係る加工装置１の機能構成の一例を模式的に示す図である。

加工装置１は、箱状の筐体を有する。加工装置１は、加工手段１０と、タッチパネル２０と、制御ユニット１００とを備える。加工装置１は、加工手段１０により、チャックテーブル（図示せず）に保持される被加工物を加工する。被加工物は、例えば、半導体ウエーハ、或いは光デバイスウエーハである。被加工物は、例えば、裏面に貼着される粘着シートを介して、被加工物を取り囲む環状のフレームに支持された状態で、チャックテーブル上に載置される。

加工手段１０は、チャックテーブルに保持された被加工物を加工する。加工手段１０は、例えば、切削手段であり、切削ブレードを有する。加工手段１０は、回転する切削ブレードによって、被加工物に対して切削加工を施す。加工装置１は、例えば、加工装置１の筐体に対してチャックテーブルをＸ軸方向に相対移動させるＸ軸移動手段（図示せず）を有する。また、加工装置１は、加工装置１の筐体に対して加工手段１０をＹ軸方向に相対移動させるＹ軸移動手段（図示せず）と、加工装置１の筐体に対して加工手段１０をＺ軸方向に相対移動させるＺ軸移動手段（図示せず）とを有する。加工装置１は、これらの各移動手段によって、チャックテーブルと加工手段１０とを相対移動させることにより、チャックテーブルに保持された被加工物を加工する。

タッチパネル２０は、表示面を外側に向けた状態で加工装置１に設置される。タッチパネル２０は、表示手段２１及び入力手段２２を有する。

表示手段２１は、加工装置１の操作等に関する各種画面を表示する。各種画面は、被加工物の加工条件データの一覧を表示する画面、及び加工条件データを個別に設定する設定画面などを含む。被加工物の加工条件データの一覧を表示する画面は、被加工物の加工条件データの一覧を表示する一覧表示部を含む。一覧表示部は、加工装置１に登録された加工条件データのファイル名を一覧にして画面上に表示する。加工条件データを個別に設定する画面は、加工条件データの複数の設定項目が個別に表示される加工条件データ表示部を含む。加工条件データ表示部は、一覧表示部に表示された任意のファイル名をオペレータがタッチすることで個別の加工条件データを加工条件データの設定画面上に表示する。

表示手段２１は、液晶ディスプレイ（LCD：Liquid Crystal Display）、有機ＥＬディスプレイ（OELD：Organic Electro-Luminescence Display）、又は無機ＥＬディスプレイ（IELD：Inorganic Electro-Luminescence Display）等の表示デバイスにより構成できる。

入力手段２２は、表示手段２１に表示された操作画面に対するオペレータの操作に従って、被加工物の加工条件を加工装置１に入力する。入力手段２２は、例えば、加工条件データを設定する際に表示手段２１に表示される設定画面において、加工条件データ表示部に表示される各項目に対し、オペレータにより設定される設定値を入力する。

入力手段２２は、タッチスクリーン等の入力デバイスを含んで構成できる。入力手段２２がタッチスクリーンで構成される場合、入力手段２２は、オペレータの指、ペン、又はスタイラスペン等の接触又は近接を検出できる。タッチスクリーンの検出方式は、静電容量方式、抵抗膜方式、表面弾性波方式、赤外線方式、及び荷重検出方式等の任意の方式でよい。

タッチパネル２０は、入力手段２２の検出結果に従って、表示手段２１にソフトウェアキーボードなどのユーザインタフェース等を表示できる。タッチパネル２０は、例えば、設定画面の加工条件データ表示部の項目に対する操作を検出すると、項目に対応するプルダウンメニューやソフトウェアキーボードなどを表示できる。

通信ユニット３０は、通信ネットワークを介して、各種データの送受信を行うための通信機能を提供できる。加工装置１は、通信ユニット３０を介して通信可能な状態で接続されている他の加工装置との間で、相互にデータのやり取りを実現できる。加工装置１が他の加工装置との間でやり取りするデータには、加工条件データが含まれてよい。通信ネットワークは、例えば、被加工物を量産する現場内及び事業所内の通信回線、公衆通信回線、及び専用通信回線等を含む。

コネクタ４０は、外部記憶装置などの他の装置と物理的に接続するための接続機能を提供できる。加工装置１は、コネクタ４０を介して接続される外部記憶装置から加工条件データを読み出すことができる。コネクタ４０は、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）、ＨＤＭＩ（登録商標）（High-Definition Multimedia Interface）などの汎用的な端子を含む。

制御ユニット１００は、加工装置１の各種動作及び各種処理を制御する。制御ユニット１００は、記憶部１０１及び制御部１０２を有する。

記憶部１０１は、制御ユニット１００により実行される各種処理を実現するためのプログラム及びデータを記憶できる。記憶部１０１は、制御プログラム１０１ａ、システムデータ１０１ｂ、加工条件データ１０１ｃ、及び要注意項目データ１０１ｄを記憶する。

制御プログラム１０１ａは、加工手段１０による加工処理を制御するための機能を提供できる。制御プログラム１０１ａは、タッチパネル２０の動作を制御するための機能を提供できる。制御プログラム１０１ａは、通信ユニット３０を介した通信を制御するための機能を提供できる。制御プログラム１０１ａは、コネクタ４０を介した接続を制御するための機能を提供できる。

システムデータ１０１ｂは、加工装置１のシステム構成に関するデータである。システムデータ１０１ｂは、タッチパネル２０に表示される各種操作画面の画面構成に関するデータを含む。タッチパネル２０に表示される各種画面は、加工装置１において動作するプログラムの種類やバージョンに応じた画面構成を備える。タッチパネル２０に表示される設定画面は、加工装置１の装置構成（加工装置１に設置される部品や種類など）に対応する設定項目を含んで構成される。

加工条件データ１０１ｃは、加工処理に関わる基本的な条件に関する複数のデータである。加工条件データ１０１ｃは、加工装置１においてオペレータにより作成された加工条件データ、及び他の加工装置１において作成された加工条件データの複製物（コピー）を含む。加工条件データ１０１ｃは、例えば、所定のディレクトリに保存される。以下の説明において、加工条件データ１０１ｃを「加工条件データ」と単に表記する場合がある。

要注意項目データ１０１ｄは、加工条件のうち、装置毎に調整が必要な項目として注意すべき項目を示すデータである。要注意項目としては、「光量」が要注意項目として例示される。「光量」には、例えば、落射及び射光が含まれる。

制御部１０２は、記憶部１０１にプログラムを読み出して、プログラムに記述された命令を実行することにより、実施形態に係る加工装置１の各種処理を実現できる。制御部１０２は、制御プログラム１０１ａを実行することにより、加工手段１０による加工処理を実現できる。制御部１０２は、制御プログラム１０１ａを実行することにより、タッチパネル２０における各種画面表示、及びタッチパネル２０を介した加工装置１への加工条件の設定入力を実現できる。

図４から図７は、実施形態に係るタッチパネル２０に表示される画面の構成例を示す図である。

図４に示すように、制御部１０２は、タッチパネル２０にメニュー画面２１０を表示できる（Ｓ１１）。メニュー画面２１０には、加工装置１のメンテナンス、操作、設定などを実行するための複数のメニューボタン２１１ａ～２１１ｆが表示される。

制御部１０２は、メニュー画面２１０において、メニューボタン２１２ｃを選択するオペレータの操作が検出されると（Ｓ１１）、加工条件データリスト画面２２０をタッチパネル２０に表示する（Ｓ１２）。加工条件データリスト画面２２０は、ディレクトリ表示部２２１と、一覧表示部２２２と、データ番号表示部２２３と、ＥＮＴＥＲボタン２２４ａと、ＥＸＩＴボタン２２４ｂとを含む。

ディレクトリ表示部２２１には、加工条件データが保存されるディレクトリの一覧が表示される。一覧表示部２２２には、ディレクトリに保存されている加工条件データの一覧が表示される。データ番号表示部２２３には、選択中の加工条件データに一意に割り当てられるデータ番号が表示される。ＥＮＴＥＲボタン２２４ａには、タッチパネル２０に表示中の画面に対応する各種操作の実行機能が割り当てられている。例えば、加工条件データリスト画面２２０がタッチパネル２０に表示中であるときにＥＮＴＥＲボタン２２４ａに割り当てられる機能の１つとして、一覧表示部２２２において選択された加工条件データの設定画面を表示させる機能が含まれる。ＥＸＩＴボタン２２４ｂは、図４に例示するメニュー画面２１０をタッチパネル２０に再表示させる機能などが割り当てられる。加工条件データリスト画面２２０に設けられる一覧表示部２２２は、タッチパネル２０が備える一覧表示部として機能する。

制御部１０２は、図５に示すように、加工条件データリスト画面２２０において、ディレクトリ名が「rist_sample1」のディレクトリを選択するオペレータの操作が検出されると（Ｓ２１）、オペレータにより選択された「rist_sample1」のディレクトリに保存されている加工条件データの一覧を一覧表示部２２２に表示する（Ｓ２２）。一覧表示部２２２には、画像２２２ａ～２２２ｄに例示するように、「１１０」などの数字で構成されたデータ番号、及び「Data_sample1」などの文字列で構成されたファイル名で、加工条件データの情報が表示される。データ番号は、加工条件データの保存時に、加工装置１において自動的に割り当てられた一意な数字が表示されてよい。ファイル名は、加工条件データの保存時に、オペレータにより設定されたファイル名が表示されてよい。

また、加工条件データの一覧を一覧表示部２２２に表示する際、制御部１０２は、オペレータにより選択された「rist_sample1」のディレクトリに保存されている加工条件データの中に、他の加工装置からコピーした加工条件データが含まれる場合、他の加工装置からコピーした加工条件データを、それ以外の加工条件データとは識別可能な状態にして一覧表示部２２２に表示させる。

例えば、「データ番号：１３０」で「ファイル名：Data_sample3」の加工条件データが他の加工装置からコピーした加工条件データである場合、一覧表示部２２２に表示される加工条件データのうち、図５に例示するように、「データ番号：１３０」で「ファイル名：Data_sample3」の加工条件データに対応する画像２２２ｃの表示領域を、画像２２２ａ、画像２２２ｂ、及び画像２２２ｄの各表示領域とは異なる表示態様（表示色やテクスチャ）で表示する。これにより、加工条件データリスト画面２２０を操作するオペレータに、「データ番号：１３０」で「ファイル名：Data_sample3」の加工条件データが、他の加工装置からコピーした加工条件データであることを一見して認識させることができる。

一覧表示部２２２において、他の加工装置からコピーした加工条件データを、それ以外の加工条件データとは識別可能な状態にして表示する方法は、データ番号及びファイル名を表示する表示領域の表示色の変更、テクスチャの付与、表示領域に表示されるファイル名の文字の色、フォント及びスタイルなどの変更、表示領域への図形等のオブジェクトの表示などの方法を含んでよい。

なお、制御部１０２は、オペレータにより選択された「rist_sample1」のディレクトリに保存されている加工条件データの中に、他の加工装置からコピーした加工条件データが含まれていない場合には、選択されたディレクトリに保存されている加工条件データを相互に同じ表示態様（表示色やテクスチャ）で、特段の区別なく表示させる。

図６に示すように、制御部１０２は、加工条件データリスト画面２２０において、「データ番号：１３０」で、「ファイル名：Data_sample3」の加工条件データに対応する画像２２２ｃを選択するオペレータの操作が検出されると（Ｓ３１）、データ番号表示部２２３に、選択中の加工条件データのデータ番号「１３０」を表示する（Ｓ３２）。続いて、制御部１０２は、ＥＮＴＥＲボタン２２４ａに対する操作が検出されると（Ｓ３２）、選択中の加工条件データ（データ番号：「１３０」、ファイル名：「Data_sample3」）の設定画面２３０をタッチパネル２０に表示する（Ｓ３３）。

制御部１０２は、設定画面２３０を表示する際、システムデータ１０１ｂに基づいて、加工装置１の装置構成（加工装置１に設置される設置される部品や種類）に対応した全ての項目を含む加工条件データ表示部２３１を備えた設定画面２３０を表示させる。制御部１０２は、選択された加工条件データ（データ番号：「１３０」、ファイル名：「Data_sample3」）に含まれる各設定値（ｅｘ１～ｅｘ２２など）を、対応するそれぞれの項目に展開した状態（入力された状態）で設定画面２３０を表示させる。加工条件データ表示部２３１は、タッチパネル２０が備える加工条件データ表示部として機能する。

また、制御部１０２は、他の加工装置からコピーした加工条件データを展開して設定画面２３０を表示する際、要注意項目データ１０１ｅに基づいて、設定画面２３０に含まれる各項目のうち、装置毎に調整が必要な設定項目として注意すべき要注意項目を、特に注意を要さないその他の項目とは識別可能な状態にして設定画面２３０の加工条件データ表示部２３１に表示させる。制御部１０２は、設定画面２３０に含まれる各項目のうち、設定項目「光量１」及び設定項目「光量２」が要注意項目に設定されている場合、図６に例示するように、設定項目「光量１」及び設定項目「光量２」に対応する入力領域のそれぞれを取り囲む太い枠線２３３，２３４を表示する。これにより、設定画面２３０を操作するオペレータに、設定項目「光量１」及び設定項目「光量２」が要注意項目であることを一見して認識させることができる。

加工条件データ表示部２３１において、要注意項目をその他の項目とは識別可能な状態となるように強調表示させる方法は、要注意項目となる設定項目に対応する入力領域を所定の太さの枠線で取り囲む方法の他、要注意項目となる設定項目に対応する入力領域の表示色の変更、要注意項目となる設定項目に対応する入力領域に対する網掛けなどのテクスチャの付与など、任意の方法を含んでよい。

さらに、制御部１０２は、他の加工装置からコピーした加工条件データを設定画面２３０に展開して表示する場合、加工条件データのコピー元である他の加工装置において設定画面が表示されたときに設定画面上の加工条件データ表示部に存在する項目と、コピー先である自装置（加工装置１）の設定画面２３０上の加工条件データ表示部２３１に存在する項目との差分を認識する。そして、制御部１０２は、認識結果に基づいて、コピー先である自装置（加工装置１）の設定画面２３０における加工条件データ表示部２３１にだけ存在する項目を差分項目として抽出し、その他の項目とは識別可能な状態にして加工条件データ表示部２３１に表示させる。制御部１０２は、自装置（加工装置１）の設定画面２３０上の加工条件データ表示部２３１に存在する各項目は、システムデータ１０１ｂにより特定できる。一方、制御部１０２は、他の加工装置からコピーした加工条件データに含まれる各設定値に基づいて、他の加工装置で加工条件データの設定画面が表示されたときに設定画面上の加工条件データ表示部に存在する項目を特定できる。例えば、他の加工装置からコピーした加工条件データの中に、カット方法を規定する設定値が含まれる場合、設定画面上にカット方法を規定する項目が設定画面上の加工条件データ表示部に存在することを特定できる。制御部１０２は、設定画面２３０の加工条件データ表示部２３１に含まれる各項目のうち、設定項目「Ｚ２（スペック長・ダウン量）」が差分項目となる場合、図６に例示するように、設定項目「Ｚ２（スペック長・ダウン量）」に対応する入力領域を取り囲む太い枠線２３４を表示する。これにより、設定画面２３０を操作するオペレータに、設定項目「Ｚ２（スペック長・ダウン量）」が差分項目であることを一見して認識させることができる。

設定画面２３０上の加工条件データ表示部２３１において、差分項目をその他の項目とは識別可能な状態となるように強調表示させる方法は、差分項目となる設定項目に対応する入力領域を所定の太さの枠線で取り囲む方法の他、差分項目となる設定項目に対応する入力領域の表示色の変更、差分項目となる設定項目に対応する入力領域に対する網掛けなどのテクスチャの付与など、任意の方法を含んでよい。

なお、制御部１０２は、図７に例示するように、加工条件データリスト画面２２０において、「データ番号：１２０」で、「ファイル名：Data_sample2」の加工条件データに対応する画像２２２ｂを選択するオペレータの操作が検出されると（Ｓ４１）、データ番号表示部２２３に、選択中の加工条件データのデータ番号「１２０」を表示する（Ｓ４２）。続いて、制御部１０２は、ＥＮＴＥＲボタン２２４ａに対する操作が検出されると（Ｓ４２）、選択中の加工条件データ（データ番号：「１２０」、ファイル名：「Data_sample2」）の設定画面２４０をタッチパネル２０に表示する（Ｓ４３）。制御部１０２は、設定画面２４０を表示する際、システムデータ１０１ｂに基づいて、加工装置１の構成に対応した全ての項目を含む加工条件データ表示部２３１を備えた設定画面２４０を表示させる。制御部１０２は、選択された加工条件データ（データ番号：「１２０」、ファイル名：「Data_sample2」）に含まれる各設定値を、対応するそれぞれの項目に展開した状態で設定画面２３０を表示させる。

ここで、図７に例示する設定画面２４０は、図６に例示する設定画面２３０と同様に、設定項目「光量１」及び設定項目「光量２」に対応する入力領域のそれぞれを取り囲む太い枠線２４２，２４３を表示することにより、要注意項目をその他の項目とは識別可能な状態にして加工条件データ表示部２３１に表示させる。一方、図７に例示する設定画面２４０は、他の加工装置からコピーした加工条件データが展開されるものではないので、図６において差分項目として例示した設定項目「Ｚ２（スペック長・ダウン量）」に対する強調表示は含まれない。なお、他の加工装置からコピーした加工条件データが展開される場合であっても、差分項目がなければ、同様に、差分項目である設定項目への強調表示は含まれない。

図８及び図９は、実施形態に係る加工装置１により実行される処理の一例を示す図である。図８及び図９に示す処理は、制御部１０２が、記憶部１０１に記憶されている制御プログラム１０１ａを実行することにより実現される。図８及び図９に示す処理は、加工装置１の起動中、繰り返し実行されてよい。図８及び図９は、加工条件データリスト画面２２０が表示されてから、オペレータの操作に応じて加工条件データの設定画面２３０などが表示されるまでの処理の流れを例示する。

図８に示すように、制御部１０２は、加工条件データリスト画面２２０を表示させるメニューボタンを選択するオペレータの操作を検出すると、加工条件データリスト画面２２０をタッチパネル２０に表示させる（ステップＳ１０１）。加工条件データリスト画面２２０を表示させるメニューボタンは、例えば、図４に例示するメニューボタン２１１ｃに対応する。

制御部１０２は、加工条件データリスト画面２２０に対するオペレータの操作が検出されたかを判定する（ステップＳ１０２）。

制御部１０２は、判定の結果、オペレータの操作が検出されない場合（ステップＳ１０２，Ｎｏ）、ステップＳ１０２の判定を繰り返す。

一方、制御部１０２は、判定の結果、オペレータの操作が検出されると（ステップＳ１０２，Ｙｅｓ）、検出されたオペレータの操作がディレクトリの選択する操作であることを条件として、ステップＳ１０３の判定に進む。すなわち、制御部１０２は、オペレータにより選択されたディレクトリに保存されている加工条件データの中に、他の加工装置からコピーした加工条件データが含まれるかを判定する（ステップＳ１０３）。

制御部１０２は、判定の結果、選択されたディレクトリに保存されている加工条件データの中に、他の加工装置からコピーした加工条件データが含まれる場合（ステップＳ１０３，Ｙｅｓ）、他の加工装置からコピーした加工条件データを、その他の加工条件データとは識別可能な状態（図５参照）とした加工条件データの一覧を、加工条件データリスト画面２２０の一覧表示部２２２に表示させて（ステップＳ１０４）、上述したステップＳ１０２の判定に戻る。

一方、制御部１０２は、判定の結果、選択されたディレクトリに保存されている加工条件データの中に、他の加工装置からコピーした加工条件データが含まれない場合（ステップＳ１０３，Ｎｏ）、ステップＳ１０２で選択されたディレクトリに保存されている加工条件データの一覧を、加工条件データリスト画面２２０の一覧表示部２２２にそのまま表示させて（ステップＳ１０５）、上述したステップＳ１０２の判定に戻る。制御部１０２は、ステップＳ１０３で選択されたディレクトリに保存されている加工条件データを相互に同じ表示方法で、特段の区別なく表示させる。

上述したステップＳ１０２に戻り、制御部１０２は、判定の結果、オペレータの操作が検出されると（ステップＳ１０２，Ｙｅｓ）、オペレータの操作がＥＮＴＥＲボタン２２４ａに対する操作であることを条件として、ステップＳ１０６の判定に進む。すなわち、制御部１０２は、ＥＮＴＥＲボタン２２４ａに対する操作の前に、設定画面２３０に展開する加工条件データとして、他の加工装置からコピーしたデータが選択されているかを判定する（ステップＳ１０６）。

制御部１０２は、判定の結果、他の加工装置からコピーしたデータが選択されている場合（ステップＳ１０６，Ｙｅｓ）、差分項目があるかを判定する（ステップＳ１０７）。すなわち、制御部１０２は、他の加工装置において加工条件データの設定画面が表示されたときに設定画面上の加工条件データ表示部に存在する項目と、コピー先である自装置（加工装置１）の設定画面２３０における加工条件データ表示部２３１に存在する項目との差分を認識して、コピー先である自装置（加工装置１）の設定画面２３０における加工条件データ表示部２３１にだけ存在する項目である差分項目があるかを判定する。

制御部１０２は、判定の結果、差分項目がある場合（ステップＳ１０７，Ｙｅｓ）、要注意項目及び差分項目を、その他の項目とは識別可能な状態にした設定画面２３０をタッチパネル２０に表示させて（ステップＳ１０８）、図８及び図９に示す処理を終了する。

一方、制御部１０２は、判定の結果、差分項目がない場合（ステップＳ１０７，Ｎｏ）、要注意項目を、その他の項目とは識別可能な状態にした設定画面２３０をタッチパネル２０に表示させて（ステップＳ１０９）、図８及び図９に示す処理を終了する。

上述したステップ１０６に戻り、制御部１０２は、判定の結果、他の加工装置からコピーしたデータが選択されていない場合（ステップＳ１０６，Ｎｏ）、上述したステップＳ１０９の処理手順に移る。

ステップＳ１０２に戻り、制御部１０２は、判定の結果、オペレータの操作が検出されると（ステップＳ１０２，Ｙｅｓ）、オペレータの操作がＥＸＩＴボタン２２４ｂに対する操作であることを条件として、タッチパネル２０にメニュー画面２１０を再表示させ、メニュー画面２１０に戻って（ステップＳ１１０）、図８及び図９に示す処理を終了する。

上述してきたように、実施形態に係る加工装置１は、他の加工装置からコピーした加工条件データの一覧を加工条件データリスト画面２２０に表示する際、他の加工装置からコピーした加工条件データを、その他の加工条件データとは異なる表示態様で識別可能な状態で表示する。このため、実施形態によれば、加工装置１のオペレータは、加工条件データリスト画面２２０において、他の加工装置からコピーした加工条件データを容易に確認できる。この結果、実施形態によれば、加工条件データの転用を原因とした製品の加工品質の低下を防止できる。

また、実施形態に係る加工装置１は、加工条件データの設定画面２３０を表示する際、要注意項目データ１０１ｅに基づいて、設定画面２３０に含まれる各項目のうち、装置毎に調整が必要な項目として注意すべき要注意項目を、その他の項目とは識別可能な状態で表示する。このため、実施形態によれば、加工条件データの中で、加工装置毎に調整が必要な要注意項目をオペレータに容易に認識させることができるので、加工条件として設定された設定値の適否などをオペレータに再度確認させる意識を芽生えさせることができる。この結果、実施形態によれば、加工条件データの転用を原因とした製品の加工品質の低下を防止できる。

また、実施形態に係る加工装置１は、他の加工装置からコピーした加工条件データを設定画面２３０に展開して表示する場合、加工条件データのコピー元である他の加工装置に表示される設定画面上の加工条件データ表示部に存在する項目と、コピー先である自装置（加工装置１）の設定画面２３０上の加工条件データ表示部２３１に存在する項目との差分を認識して、コピー先である自装置（加工装置１）の設定画面２３０における加工条件データ表示部２３１にだけ存在する項目である差分項目を、他の項目とは識別可能な状態で表示する。このため、実施形態によれば、加工条件データの中で、コピー先の装置である自装置にのみ存在する項目をオペレータに容易に認識させることができるので、加工条件として設定すべき項目をオペレータが見落としてしまうことを防止できる。この結果、実施形態によれば、加工条件データの転用を原因とした製品の加工品質の低下を防止できる。

（実施形態の変形例）
本発明に係る加工装置１は、上述した実施形態に限定されるものではない。すなわち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、上述した実施形態において、加工装置１は、設定画面２３０に対するオペレータの操作が検出されたときに、設定画面２３０に含まれる要注意項目及び差分項目に対する強調表示（項目の枠線の太さの変更、項目の入力領域の表示色の変更、項目に対する網掛けなどのテクスチャの付与）を終了させて、他の項目と同じ表示に戻してもよい。例えば、加工装置１は、設定画面２３０に表示されるＥＮＴＥＲボタンに対する操作、あるいは設定画面２３０に対して入力されるダブルタップやロングタッチなどの特定のタッチジェスチャなどを検出して、強調表示を終了させることができる。

また、上述した実施形態において、加工装置１は、要注意項目に対する強調表示については、要注意項目に対するオペレータの調整または設定などが行われることにより強調表示が終了される仕様としてもよい。

加工装置１は、制御部１０２として機能する演算処理装置、及び記憶部１０１として機能する記憶装置を含む。演算処理装置は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）マイクロプロセッサ、マイクロコンピュータ、ＤＳＰ、システムＬＳＩ（Large Scale Integration）などのプロセッサにより実装できる。記憶装置は、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、フラッシュメモリ、ＥＰＲＯＭ（Erasable Programmable Read Only Memory）、ＥＥＰＲＯＭ（登録商標）（Electrically Erasable Programmable Read Only Memory）などの不揮発性または揮発性の半導体メモリ、磁気ディスク、フレキシブルディスク、光ディスク、コンパクトディスク、ミニディスク、またはＤＶＤ（Digital Versatile Disc）などを含んでよい。

記憶装置は、実施形態に係る加工装置１の処理を実現するコンピュータプログラム及びコンピュータプログラムによる処理に用いられるデータを記憶する。記憶装置が記憶するコンピュータプログラムは、加工手段１０による加工処理を制御するための機能、タッチパネル２０の動作を制御するための機能、及び通信ユニット３０を介した通信を制御するための機能を提供する制御プログラム１０１ａを含む。記憶装置が記憶するデータは、システムデータ１０１ｂ、加工条件データ１０１ｃ、及び要注意項目データ１０１ｄを含む。コンピュータプログラムは、コンピュータで実行可能な、データ処理を行うための複数の命令を含むコンピュータ読取り可能かつ非遷移的な（non-transitory）記録媒体に記録されたコンピュータプログラムプロダクトであるともいえる。記憶装置は、演算処理装置がコンピュータプログラムに記述された命令を実行する際の一時的な作業領域として利用されてもよい。

演算処理装置が記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムを読み出して、コンピュータプログラムに記述された命令を実行することにより、実施形態に係る加工装置１の処理（図４～図９など）が実現される。

演算処理装置は、専用のハードウェアで実現されてもよい。この場合、演算処理装置は、単一回路、複合回路、プログラム化したプロセッサ、並列プログラム化したプロセッサ、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）、ＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）又はこれらを組み合わせたものを含んでよい。

１加工装置
１０加工手段
２０タッチパネル
３０通信ユニット
４０コネクタ
１００制御ユニット
１０１記憶部
１０１ａ制御プログラム
１０１ｂシステムデータ
１０１ｃ加工条件データ
１０１ｄ要注意項目データ
１０２制御部

Claims

加工手段と、
加工条件データに基づいて該加工手段を制御する制御部と、
タッチパネルと、を少なくとも備える加工装置であって、
該タッチパネルは、
該加工装置に登録された該加工条件データのファイル名を一覧にして画面上に表示する一覧表示部と、
該一覧表示部に表示された任意の該ファイル名をオペレータがタッチすることで個別の加工条件データを画面上に表示する加工条件データ表示部と、
を含む表示手段と、
該加工条件データ表示部の各項目への入力を可能にする入力手段と、
を備え、
該制御部は、
該一覧表示部に、他の加工装置からコピーされた該加工条件データのファイル名を識別可能に表示させることを特徴とする加工装置。
該制御部は、
該加工条件データ表示部の各項目の内、加工装置毎に調整が必要な要注意項目を識別可能に表示することを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
該制御部は、
他の加工装置からコピーされたコピー元の該加工条件データ表示部に存在する項目と、コピー先の装置である自装置の該加工条件データ表示部に存在する項目との差分を認識し、
該加工条件データ表示部に、該コピー先の装置である自装置にのみ存在する項目を識別可能に表示することを特徴とする請求項１に記載の加工装置。