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JP7540241B2 - Electronics - Google Patents
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  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Description

この明細書における開示は、電子装置に関する。 The disclosure in this specification relates to electronic devices.

特許文献1は、リフトオフ現象の発生を低減させることが可能な多層プリント配線板、回路モジュールおよび電子機器を開示している。先行技術文献の記載内容は、この明細書における技術的要素の説明として、参照により援用される。 Patent Document 1 discloses a multilayer printed wiring board, a circuit module, and an electronic device that can reduce the occurrence of the lift-off phenomenon. The contents of the prior art documents are incorporated by reference as explanations of the technical elements in this specification.

特開2004-172329号公報JP 2004-172329 A

先行技術文献の構成では、スルーホールランド部と基板との密着面積を多くすることでリフトオフ現象の発生を低減させている。また、所望の性能のはんだを得る目的で、組成の異なる様々なはんだが開発されている。ここで、剥離が引き起こされる状況は様々であり、同じ電子装置であっても、はんだの性能によって剥離が引き起こされる場合と引き起こされない場合があり得る。このため、剥離が引き起こされやすいはんだに対しては、剥離を防止するための特別な対策を行う必要がある。上述の観点において、または言及されていない他の観点において、電子装置にはさらなる改良が求められている。 In the configuration of the prior art document, the occurrence of lift-off is reduced by increasing the contact area between the through-hole land portion and the substrate. Also, various solders with different compositions have been developed to obtain solder with desired performance. Here, there are various situations in which peeling occurs, and even in the same electronic device, peeling may or may not occur depending on the performance of the solder. For this reason, special measures must be taken to prevent peeling for solder that is prone to peeling. In the above respects, or in other respects not mentioned, further improvements in electronic devices are required.

開示される1つの目的は、多層基板に電子部品が安定して接合された電子装置を提供することにある。 One disclosed objective is to provide an electronic device in which electronic components are stably bonded to a multilayer substrate.

ここに開示された電子装置は、表層をなす絶縁基板である表層基板(20)と内層をなす絶縁基板である内層基板(30)とが互いに板厚方向に重なって設けられている多層基板(10)と、表層基板に設けられている表層ランド(21)と、内層基板に設けられている内層ランド(53、273、353)と、表層基板に実装される電子部品(80)と、電子部品と表層ランドとを接合している接合はんだ(25)と、内層基板を貫通する電流経路である筒状壁部(52、252、352)を有する内層ビアホール(50、250、350)と、表層基板を貫通する電流経路を構成している埋設ビアホール(60、260、360)とを備え、接合はんだは、固液相線幅が13℃以上であり、埋設ビアホールは、少なくとも一部が接合はんだと板厚方向に重なる位置に設けられており、かつ、筒状壁部および筒状壁部で囲まれた部位と板厚方向に重ならない位置に設けられている。 The electronic device disclosed herein includes a multilayer substrate (10) in which a surface substrate (20) which is an insulating substrate forming a surface layer and an inner substrate (30) which is an insulating substrate forming an inner layer are stacked on top of each other in the thickness direction, surface lands (21) provided on the surface substrate, inner lands (53, 273, 353) provided on the inner substrate, electronic components (80) mounted on the surface substrate, joining solder (25) which joins the electronic components and the surface lands, and a solder that penetrates the inner substrate. The solder joint includes an inner layer via hole (50, 250, 350) having a cylindrical wall portion (52, 252, 352) which is a current path, and a buried via hole (60, 260, 360) which constitutes a current path penetrating the surface substrate, the joining solder has a solid-liquid phase width of 13°C or more, and the buried via hole is provided at a position where at least a portion of the buried via hole overlaps with the joining solder in the plate thickness direction, and is provided at a position where it does not overlap with the cylindrical wall portion and the portion surrounded by the cylindrical wall portion in the plate thickness direction .

開示された電子装置によると、埋設ビアホールは、少なくとも一部が接合はんだと板厚方向に重なる位置に設けられている。このため、多層基板表面のうち、膨張しにくい部分に接合はんだを配置することができる。したがって、接合はんだが多層基板表面に生じる段差の影響を受けにくい。よって、接合はんだによる接合を安定させやすい。以上により、多層基板に電子部品が安定して接合された電子装置を提供できる。 According to the disclosed electronic device, the buried via holes are provided in positions where at least a portion of the buried via holes overlaps with the joining solder in the board thickness direction. This allows the joining solder to be placed on the surface of the multilayer board in a portion that is less likely to expand. This means that the joining solder is less susceptible to the effects of steps that occur on the surface of the multilayer board. This makes it easier to stabilize the joining by the joining solder. As a result, it is possible to provide an electronic device in which electronic components are stably joined to the multilayer board.

この明細書における開示された複数の態様は、それぞれの目的を達成するために、互いに異なる技術的手段を採用する。請求の範囲およびこの項に記載した括弧内の符号は、後述する実施形態の部分との対応関係を例示的に示すものであって、技術的範囲を限定することを意図するものではない。この明細書に開示される目的、特徴、および効果は、後続の詳細な説明、および添付の図面を参照することによってより明確になる。 The various aspects disclosed in this specification employ different technical means to achieve their respective objectives. The claims and the reference characters in parentheses in this section are illustrative of the corresponding relationships with the embodiments described below, and are not intended to limit the technical scope. The objectives, features, and advantages disclosed in this specification will become clearer with reference to the detailed description that follows and the accompanying drawings.

電子装置の上面図である。FIG. 2 is a top view of the electronic device. 図1のII-II線における断面を示す断面図である。2 is a cross-sectional view showing a cross section taken along line II-II in FIG. 1. 準備工程での多層基板表面を示す拡大断面図である。4 is an enlarged cross-sectional view showing a surface of a multilayer substrate in a preparation process. FIG. 溶融工程での多層基板表面を示す拡大断面図である。4 is an enlarged cross-sectional view showing the surface of the multilayer substrate in a melting process. FIG. 第2実施形態における電子装置の上面図である。FIG. 13 is a top view of an electronic device according to a second embodiment. 図5のVI-VI線における断面を示す断面図である。6 is a cross-sectional view showing a cross section taken along line VI-VI in FIG. 5. 第3実施形態における電子装置の断面を示す断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view showing a cross section of an electronic device according to a third embodiment.

図面を参照しながら、複数の実施形態を説明する。複数の実施形態において、機能的におよび/または構造的に対応する部分および/または関連付けられる部分には同一の参照符号、または百以上の位が異なる参照符号が付される場合がある。対応する部分および/または関連付けられる部分については、他の実施形態の説明を参照することができる。以下において、互いに直交する3つの方向をX方向、Y方向、Z方向とする。また、Z方向を上下方向と対応させて説明する場合がある。 Several embodiments will be described with reference to the drawings. In several embodiments, functionally and/or structurally corresponding and/or associated parts may be given the same reference symbol or reference symbols differing in the hundredth or higher digit. For corresponding and/or associated parts, the descriptions of other embodiments may be referred to. In the following, the three mutually orthogonal directions are referred to as the X direction, Y direction, and Z direction. In addition, the Z direction may be described as corresponding to the up and down direction.

第1実施形態
図1において、電子装置1は、多層基板10と電子部品80とを備えている。多層基板10は、複数の絶縁基板を重ねて構成されている。多層基板10は、絶縁基板の表面や隣り合う絶縁基板同士の間に層を形成している。絶縁基板の表面の層は、多層基板10における表層であり、絶縁基板同士の間の層は、多層基板10における内層である。まとめると、多層基板10は、2つの表層と複数の内層とを備えている基板である。絶縁基板の板厚方向をZ方向とした場合、X方向とY方向とは、板厚方向に交差する方向である交差方向である。
First embodiment In Fig. 1, an electronic device 1 includes a multilayer substrate 10 and an electronic component 80. The multilayer substrate 10 is configured by stacking a plurality of insulating substrates. The multilayer substrate 10 has layers formed on the surfaces of the insulating substrates and between adjacent insulating substrates. The layers on the surfaces of the insulating substrates are surface layers in the multilayer substrate 10, and the layers between the insulating substrates are internal layers in the multilayer substrate 10. In summary, the multilayer substrate 10 is a substrate having two surface layers and a plurality of internal layers. When the thickness direction of the insulating substrate is the Z direction, the X direction and the Y direction are intersecting directions that intersect with the thickness direction.

多層基板10の表面には、表層ランド21が設けられている。表層ランド21は、X方向に沿う方向を長手方向とする長方形状である。表層ランド21は、銅などの金属材料で構成され、電流経路を構成している。表層ランド21は、互いに離間して2つ設けられている。2つの表層ランド21の並び方向は、X方向に沿う方向である。表層ランド21の形状、数および配置は、上述の例に限られない。表層ランド21は、他の配線部分に接続している。 Surface lands 21 are provided on the surface of the multilayer substrate 10. The surface lands 21 are rectangular with their longitudinal direction along the X direction. The surface lands 21 are made of a metal material such as copper and form a current path. Two surface lands 21 are provided spaced apart from each other. The two surface lands 21 are arranged in the X direction. The shape, number and arrangement of the surface lands 21 are not limited to the above example. The surface lands 21 are connected to other wiring parts.

電子部品80は、本体部81と接続部82とを備えている。本体部81は、電子部品80としての機能を発揮するための部分である。接続部82は、本体部81に通電するための部分である。接続部82は、例えば銅などの金属めっきで構成されている。接続部82は、本体部81の両端に設けられている。ただし、接続部82として機能する接続端子を3本以上備える構成としてもよい。 The electronic component 80 includes a main body 81 and a connection portion 82. The main body 81 is a portion for performing the function of the electronic component 80. The connection portion 82 is a portion for passing electricity through the main body 81. The connection portion 82 is made of a metal plating such as copper. The connection portions 82 are provided on both ends of the main body 81. However, the electronic component 80 may be configured to include three or more connection terminals that function as the connection portions 82.

電子部品80としては、チップ抵抗やチップコンデンサやチップダイオードなどを採用可能である。ここで、電子装置1が備える電子部品80の数は、1つに限られず、複数の電子部品80を採用可能である。複数の電子部品80としては、同一の機能を発揮する部品を採用してもよく、異なる機能を発揮する部品を採用してもよい。 As the electronic component 80, chip resistors, chip capacitors, chip diodes, etc. can be used. Here, the number of electronic components 80 included in the electronic device 1 is not limited to one, and multiple electronic components 80 can be used. As the multiple electronic components 80, components that perform the same function may be used, or components that perform different functions may be used.

電子装置1は、接合はんだ25を備えている。接合はんだ25は、表層ランド21上に設けられている。接合はんだ25は、表層ランド21上を濡れ広がったことで、略長方形状をなしている。接合はんだ25は、表層ランド21と電子部品80の接続部82とを接合している。 The electronic device 1 includes a joint solder 25. The joint solder 25 is provided on the surface land 21. The joint solder 25 wets and spreads over the surface land 21, forming a substantially rectangular shape. The joint solder 25 joins the surface land 21 and the connection portion 82 of the electronic component 80.

接合はんだ25は、表層ランド21と電子部品80との間の電流経路を構成する通電部材である。また、接合はんだ25は、多層基板10と電子部品80とを機械的に接着する接着部材である。電子部品80は、接合はんだ25によって適切に接合されることで実装されている。 The joint solder 25 is a conductive member that forms a current path between the surface land 21 and the electronic component 80. The joint solder 25 is also an adhesive member that mechanically bonds the multilayer substrate 10 and the electronic component 80. The electronic component 80 is mounted by being appropriately joined by the joint solder 25.

接合はんだ25は、ペースト状のリフローはんだである。接合はんだ25のリフロー処理については、後に詳述する。接合はんだ25は、様々なはんだの中でも固液相線幅が大きいはんだである。固液相線幅とは、はんだ全体が固相となる温度を示す固相線と、はんだ全体が液相となる温度を示す液相線との間の温度幅のことである。言い換えると、固液相線幅とは、固相のはんだと液相のはんだとが共存する温度幅のことである。固相のはんだと液相のはんだとが共存している二相共存状態は、半溶融状態とも呼ばれる。固液相線幅は、はんだの組成に応じて固有の値を示す。 The joining solder 25 is a reflow solder in a paste form. The reflow process of the joining solder 25 will be described in detail later. The joining solder 25 is a solder with a large solid-liquid phase width among various solders. The solid-liquid phase width is the temperature width between the solidus line indicating the temperature at which the entire solder becomes solid and the liquidus line indicating the temperature at which the entire solder becomes liquid. In other words, the solid-liquid phase width is the temperature width in which solid and liquid solder coexist. The two-phase coexistence state in which solid and liquid solder coexist is also called a semi-molten state. The solid-liquid phase width shows a specific value depending on the composition of the solder.

接合はんだ25の固相線の温度は、例えば200℃であり、液相線の温度は、例えば225℃である。この場合、接合はんだ25の固液相線幅は、25℃である。一般的なはんだにおいては、固液相線幅は、2℃から10℃程度である。このため、接合はんだ25の固液相線幅は、通常のはんだよりも大きい。 The solidus temperature of the joining solder 25 is, for example, 200°C, and the liquidus temperature is, for example, 225°C. In this case, the solid-liquidus width of the joining solder 25 is 25°C. In general solder, the solid-liquidus width is about 2°C to 10°C. Therefore, the solid-liquidus width of the joining solder 25 is larger than that of normal solder.

一般的に、固液相線幅が小さいはんだほどはんだ全体が素早く凝固するため、安定して接合しやすい。しかしながら、はんだに必要な条件を得る目的ではんだの組成を調整した結果として、固液相線幅が大きくなってしまう場合がある。はんだに必要な条件の一例としては、良好な熱衝撃性能を得ることが挙げられる。はんだに必要な条件の一例としては、所望の融点を得ることが挙げられる。はんだに必要な条件の一例としては、鉛などの特定の材料を含まないことが挙げられる。はんだに必要な条件の一例としては、安価であることが挙げられる。はんだは、用途に応じた様々な条件を踏まえて組成が調整されることとなる。 In general, the smaller the solidus-liquidus line width of a solder, the quicker the entire solder solidifies, and the easier it is to join stably. However, as a result of adjusting the composition of the solder to obtain the conditions required for solder, the solidus-liquidus line width may become larger. One example of the conditions required for solder is to obtain good thermal shock performance. One example of the conditions required for solder is to obtain a desired melting point. One example of the conditions required for solder is to be free of specific materials such as lead. One example of the conditions required for solder is to be inexpensive. The composition of solder is adjusted based on various conditions according to the application.

電子装置1は、内層ビアホール50を備えている。内層ビアホール50は、多層基板10の絶縁基板を貫通する電流経路を構成する部品である。内層ビアホール50は、銅などの金属材料で構成されている。内層ビアホール50は、筒状壁部52と内層ランド53とを備えている。筒状壁部52は、Z方向に沿う方向を軸方向とする円筒形状である。内層ランド53は、Z方向に沿う方向を軸方向とする円環形状である。内層ランド53は、筒状壁部52から筒状壁部52の中心軸から離れる方向に延び出して設けられている。言い換えると、内層ランド53は、内層ビアホール50におけるフランジ状の部分を含むランドをなしている。 The electronic device 1 includes an inner layer via hole 50. The inner layer via hole 50 is a component that constitutes a current path that penetrates the insulating substrate of the multilayer substrate 10. The inner layer via hole 50 is made of a metal material such as copper. The inner layer via hole 50 includes a cylindrical wall portion 52 and an inner layer land 53. The cylindrical wall portion 52 has a cylindrical shape with an axial direction along the Z direction. The inner layer land 53 has an annular shape with an axial direction along the Z direction. The inner layer land 53 is provided by extending from the cylindrical wall portion 52 in a direction away from the central axis of the cylindrical wall portion 52. In other words, the inner layer land 53 forms a land that includes a flange-shaped portion of the inner layer via hole 50.

内層ビアホール50は、少なくとも一部が多層基板10の板厚方向であるZ方向において、接合はんだ25に重なる位置に設けられている。内層ビアホール50は、少なくとも一部が電子部品80の接続部82に対してZ方向に重なる位置に設けられている。まとめると、内層ビアホール50は、接合はんだ25と接続部82との両方に対して、Z方向に重なる位置に設けられている。より詳細には、接合はんだ25において、内層ビアホール50とZ方向に重なっている部分の面積は、内層ビアホール50とZ方向に重なっている部分の面積よりも大きい。また、接続部82において、内層ビアホール50とZ方向に重なっている部分の面積は、内層ビアホール50とZ方向に重なっている部分の面積よりも大きい。 The inner layer via hole 50 is provided at a position where at least a portion overlaps the joining solder 25 in the Z direction, which is the plate thickness direction of the multilayer substrate 10. The inner layer via hole 50 is provided at a position where at least a portion overlaps the connection portion 82 of the electronic component 80 in the Z direction. In summary, the inner layer via hole 50 is provided at a position where it overlaps both the joining solder 25 and the connection portion 82 in the Z direction. More specifically, the area of the portion of the joining solder 25 that overlaps with the inner layer via hole 50 in the Z direction is larger than the area of the portion of the connection portion 82 that overlaps with the inner layer via hole 50 in the Z direction. Also, the area of the portion of the connection portion 82 that overlaps with the inner layer via hole 50 in the Z direction is larger than the area of the portion of the connection portion 82 that overlaps with the inner layer via hole 50 in the Z direction.

電子装置1は、埋設ビアホール60を備えている。埋設ビアホール60は、多層基板10の絶縁基板を貫通する電流経路を構成する部品である。埋設ビアホール60は、銅などの金属材料で構成されている。埋設ビアホール60は、Z方向に沿う方向を軸方向とする円柱形状である。埋設ビアホール60の直径は、筒状壁部52の直径よりも小さい。 The electronic device 1 includes a buried via hole 60. The buried via hole 60 is a component that constitutes a current path that passes through the insulating substrate of the multilayer substrate 10. The buried via hole 60 is made of a metal material such as copper. The buried via hole 60 has a cylindrical shape with its axial direction along the Z direction. The diameter of the buried via hole 60 is smaller than the diameter of the cylindrical wall portion 52.

埋設ビアホール60は、内層ビアホール50の周囲に4つ設けられている。4つの埋設ビアホール60は、内層ランド53とZ方向に重なる位置に設けられている。4つの埋設ビアホール60は、筒状壁部52とZ方向に重ならない位置に設けられている。4つの埋設ビアホール60は、接合はんだ25とZ方向に重なる位置に設けられている。4つの埋設ビアホール60のうちの1つは、接合はんだ25と接続部82との両方とZ方向に重なる位置に設けられている。4つの埋設ビアホール60のうちの2つは、互いにX方向に離間して設けられており、残りの2つは、Y方向に離間して設けられている。4つの埋設ビアホール60は、Z方向から見た場合に、全体で四角形状をなしている。 Four buried via holes 60 are provided around the inner layer via hole 50. The four buried via holes 60 are provided at positions overlapping the inner layer land 53 in the Z direction. The four buried via holes 60 are provided at positions not overlapping the cylindrical wall portion 52 in the Z direction. The four buried via holes 60 are provided at positions overlapping the joining solder 25 in the Z direction. One of the four buried via holes 60 is provided at a position overlapping both the joining solder 25 and the connection portion 82 in the Z direction. Two of the four buried via holes 60 are provided spaced apart from each other in the X direction, and the remaining two are provided spaced apart in the Y direction. The four buried via holes 60 form a square shape as a whole when viewed from the Z direction.

図2において、多層基板10は、表層基板20と内層基板30とを備えている。表層基板20と内層基板30とは、ともにエポキシ樹脂などの樹脂材料で構成された絶縁基板である。表層基板20と内層基板30とは、絶縁基板の板厚方向であるZ方向に沿う方向に互いに重なっている。表層基板20の基板厚さTsは、内層基板30の基板厚さTiよりも小さい。言い換えると、表層基板20は、内層基板30よりも薄い基板である。 In FIG. 2, the multilayer substrate 10 comprises a surface substrate 20 and an inner substrate 30. Both the surface substrate 20 and the inner substrate 30 are insulating substrates made of a resin material such as epoxy resin. The surface substrate 20 and the inner substrate 30 overlap each other in the Z direction, which is the thickness direction of the insulating substrate. The substrate thickness Ts of the surface substrate 20 is smaller than the substrate thickness Ti of the inner substrate 30. In other words, the surface substrate 20 is a thinner substrate than the inner substrate 30.

3枚の内層基板30は、コア基板10cを構成している。ただし、コア基板10cを構成する内層基板30の枚数は、3枚に限られない。2枚の表層基板20は、ビルドアップ基板10bを構成している。ビルドアップ基板10bは、コア基板10cの外側に設けられた基板のことである。多層基板10は、コア基板10cに対してビルドアップ基板10bを形成することで構成されている。 The three inner layer substrates 30 make up the core substrate 10c. However, the number of inner layer substrates 30 that make up the core substrate 10c is not limited to three. The two surface substrates 20 make up the build-up substrate 10b. The build-up substrate 10b is a substrate that is provided on the outside of the core substrate 10c. The multilayer substrate 10 is constructed by forming the build-up substrate 10b on the core substrate 10c.

多層基板10は、電子部品80が実装されている1層目から反対側の6層目までの6つの層を備えている。多層基板10の表層は、1層目と6層目で構成されている。多層基板10の表側が1層目に対応し、多層基板10の裏側が6層目に対応している。多層基板10の内層は、2層目と3層目と4層目と5層目で構成されている。多層基板10の表側に最も近い内層が2層目に対応し、多層基板10の表側から最も遠い内層が5層目に対応している。ただし、多層基板10における層の数は、6層に限られない。多層基板10の各層には、任意の位置に任意の形状のランドを形成可能である。1層目や6層目の表層に設けられているランドは、表層ランド21である。2層目から5層目までの内層に設けられているランドは、内層ランド53である。 The multilayer board 10 has six layers, from the first layer on which the electronic components 80 are mounted to the sixth layer on the opposite side. The surface layers of the multilayer board 10 are composed of the first and sixth layers. The surface side of the multilayer board 10 corresponds to the first layer, and the back side of the multilayer board 10 corresponds to the sixth layer. The inner layers of the multilayer board 10 are composed of the second, third, fourth, and fifth layers. The inner layer closest to the surface side of the multilayer board 10 corresponds to the second layer, and the inner layer farthest from the surface side of the multilayer board 10 corresponds to the fifth layer. However, the number of layers in the multilayer board 10 is not limited to six. Lands of any shape can be formed at any position on each layer of the multilayer board 10. The lands provided on the surface layers of the first and sixth layers are surface lands 21. The lands provided on the inner layers from the second layer to the fifth layer are inner layer lands 53.

多層基板10全体を貫通して表側と裏側の表層ランド21同士を接続するビアホールは、スルーホールビアホールと呼ばれる。表層基板20を貫通して表層ランド21と内層ランド53とを接続するビアホールは、ブラインドビアホールと呼ばれる。内層基板30を貫通して内層ランド53同士を接続するビアホールは、ベリッドビアホールと呼ばれる。内層ランド53を含んで接続しているブラインドビアホールとベリッドビアホールとは、インタースティシャルビアホールあるいは、内層ビアホール50と呼ばれる。内層ビアホール50は、コア基板10cを貫通し、表層基板20については貫通していない。内層ビアホール50は、2層目の内層ランド53と5層目の内層ランド53とを接続している。このため、内層ビアホール50は、ベリッドビアホールと呼ばれるビアホールである。 A via hole that penetrates the entire multilayer substrate 10 and connects the surface lands 21 on the front and back sides is called a through-hole via hole. A via hole that penetrates the surface substrate 20 and connects the surface land 21 and the inner layer land 53 is called a blind via hole. A via hole that penetrates the inner substrate 30 and connects the inner layer lands 53 is called a buried via hole. A blind via hole and a buried via hole that include the inner layer land 53 and connects them are called an interstitial via hole or an inner layer via hole 50. The inner layer via hole 50 penetrates the core substrate 10c but does not penetrate the surface substrate 20. The inner layer via hole 50 connects the inner layer land 53 of the second layer and the inner layer land 53 of the fifth layer. For this reason, the inner layer via hole 50 is a via hole called a buried via hole.

内層ビアホール50のZ方向の長さLhは、表層基板20の基板厚さTsよりも大きい。内層ビアホール50のZ方向の長さLhは、内層基板30の基板厚さTiよりも大きい。内層ビアホール50のZ方向の長さLhは、多層基板10の基板厚さTaよりも小さい。内層ビアホール50のZ方向の長さLhは、多層基板10の基板厚さTaの半分以上である。 The Z-direction length Lh of the inner layer via hole 50 is greater than the substrate thickness Ts of the surface substrate 20. The Z-direction length Lh of the inner layer via hole 50 is greater than the substrate thickness Ti of the inner layer substrate 30. The Z-direction length Lh of the inner layer via hole 50 is less than the substrate thickness Ta of the multilayer substrate 10. The Z-direction length Lh of the inner layer via hole 50 is equal to or greater than half the substrate thickness Ta of the multilayer substrate 10.

内層ビアホール50の内部には、埋設樹脂54が設けられている。埋設樹脂54は、円柱形状である。埋設樹脂54は、円筒形状の筒状壁部52の内部に隙間なく充填されている。 The embedded resin 54 is provided inside the inner layer via hole 50. The embedded resin 54 is cylindrical. The embedded resin 54 fills the inside of the cylindrical wall portion 52 without leaving any gaps.

埋設ビアホール60は、表層基板20を貫通し、コア基板10cについては貫通していない。埋設ビアホール60は、1層目の表層ランド21と2層目の内層ランド53とを接続している。このため、埋設ビアホール60は、ブラインドビアホールと呼ばれるビアホールである。埋設ビアホール60のZ方向の長さは、表層基板20の基板厚さTsよりも小さい。 The buried via hole 60 penetrates the surface substrate 20 but does not penetrate the core substrate 10c. The buried via hole 60 connects the surface land 21 of the first layer and the inner land 53 of the second layer. For this reason, the buried via hole 60 is a via hole called a blind via hole. The length of the buried via hole 60 in the Z direction is smaller than the substrate thickness Ts of the surface substrate 20.

埋設ビアホール60は、レーザなどを用いて表層基板20を貫通するように穴を形成し、穴の内部に銅を配置することで形成することができる。レーザ加工を用いて形成された埋設ビアホール60は、レーザビアホールとも呼ばれる。 The buried via hole 60 can be formed by forming a hole through the surface substrate 20 using a laser or the like and placing copper inside the hole. The buried via hole 60 formed using laser processing is also called a laser via hole.

埋設ビアホール60の内部は、銅などの金属で埋められている。このため、埋設ビアホール60は、内部に埋設樹脂54が設けられている内層ビアホール50に比べて、電流経路が太くなりやすい。さらに、埋設ビアホール60は、内部に埋設樹脂54が設けられている内層ビアホール50に比べて、層間をつなぐ接続強度が高くなりやすい。言い換えると、埋設ビアホール60は、内層ビアホール50よりも強固にランド同士を接続しやすい。 The inside of the buried via hole 60 is filled with a metal such as copper. For this reason, the buried via hole 60 tends to have a thicker current path than the inner layer via hole 50 having the buried resin 54 provided inside. Furthermore, the buried via hole 60 tends to have a higher connection strength between layers than the inner layer via hole 50 having the buried resin 54 provided inside. In other words, the buried via hole 60 tends to connect lands more firmly than the inner layer via hole 50.

接合はんだ25によるリフロー処理について、以下に説明する。リフロー処理には、準備工程と溶融工程と凝固工程とが含まれる。準備工程では、表層ランド21の上にペースト状の接合はんだ25を塗布し、その上に電子部品80を載置する。これにより、接合はんだ25は、表層ランド21と電子部品80の接続部82との両方に接触した状態となる。準備工程における接合はんだ25は、フラックスが揮発する前の状態である。 The reflow process using the joining solder 25 is described below. The reflow process includes a preparation step, a melting step, and a solidification step. In the preparation step, the joining solder 25 in paste form is applied onto the surface land 21, and the electronic component 80 is placed on top of it. This brings the joining solder 25 into contact with both the surface land 21 and the connection portion 82 of the electronic component 80. The joining solder 25 in the preparation step is in a state before the flux volatilizes.

図3は、準備工程での電子装置1の部分断面を示している。ただし、表層ランド21上の接合はんだ25と電子部品80については、図示を省略している。準備工程の状態では、多層基板10の表面全体は、平坦な形状である。より詳細には、多層基板10表面のうち内層ビアホール50の直上の部分とそれ以外の部分とで段差がほとんどない状態である。表層ランド21は、内層ビアホール50の直上の部分を含む平坦な部分に設けられている。準備工程の完了後、溶融工程に進む。 Figure 3 shows a partial cross section of the electronic device 1 in the preparation process. However, the joining solder 25 on the surface land 21 and the electronic component 80 are not shown. In the preparation process, the entire surface of the multilayer substrate 10 is flat. More specifically, there is almost no difference in level between the portion of the surface of the multilayer substrate 10 directly above the inner layer via hole 50 and the other portion. The surface land 21 is provided on the flat portion including the portion directly above the inner layer via hole 50. After the preparation process is completed, the melting process is performed.

溶融工程では、接合はんだ25の液相線の温度を上回る温度まで電子装置1を加熱する。仮に、液相線の温度が225℃であれば、225℃を上回る250℃程度まで加熱する。電子装置1を加熱することで、接合はんだ25が溶融し、表層ランド21や接続部82の表面に濡れ広がる。 In the melting process, the electronic device 1 is heated to a temperature that exceeds the liquidus temperature of the joining solder 25. If the liquidus temperature is 225°C, the electronic device 1 is heated to about 250°C, which is higher than 225°C. By heating the electronic device 1, the joining solder 25 melts and spreads over the surfaces of the surface lands 21 and the connection parts 82.

また、電子装置1を加熱することで、電子装置1を構成している各部品が準備工程の状態に比べて膨張する。ここで、電子装置1は、金属材料部品と樹脂材料部品とを含んで構成されている。また、一般的に金属材料の熱膨張率は、樹脂材料の熱膨張率よりも小さい。このため、電子装置1において、金属材料が使われている部分と樹脂材料が使われている部分との間で、膨張の仕方が異なる。 In addition, by heating the electronic device 1, each component constituting the electronic device 1 expands compared to the state in the preparation process. Here, the electronic device 1 is composed of metal material components and resin material components. Furthermore, the thermal expansion coefficient of metal materials is generally smaller than that of resin materials. For this reason, the parts of the electronic device 1 that use metal materials and the parts that use resin materials expand in different ways.

図4において、準備工程における多層基板10表面の位置を仮想線VLで表示している。多層基板10表面の一部は、仮想線VLを超えて膨出している。また、多層基板10表面の仮想線VLに対する膨出量は、場所によって異なる。多層基板10表面のうち内層ビアホール50の直上に位置する部分は、熱膨張率の小さな内層ビアホール50の影響が大きく、膨出量が小さい。さらに、埋設ビアホール60は、表層ランド21と内層ランド53とを接続している。このため、埋設ビアホール60の周囲においては、膨出量が小さく制限されている。また、埋設ビアホール60同士の間の部分についても、膨出量が小さく制限されることとなる。一方、多層基板10表面のうち内層ビアホール50および埋設ビアホール60から離れた部分は、熱膨張率の大きな多層基板10の影響が大きく、膨出量が大きい。 In FIG. 4, the position of the surface of the multilayer substrate 10 in the preparation process is indicated by the imaginary line VL. A part of the surface of the multilayer substrate 10 bulges beyond the imaginary line VL. The amount of bulging of the surface of the multilayer substrate 10 relative to the imaginary line VL varies depending on the location. The part of the surface of the multilayer substrate 10 located directly above the inner layer via hole 50 is greatly influenced by the inner layer via hole 50, which has a small thermal expansion coefficient, and the amount of bulging is small. Furthermore, the buried via hole 60 connects the surface land 21 and the inner layer land 53. Therefore, the amount of bulging is limited to a small amount around the buried via hole 60. The amount of bulging is also limited to a small amount for the parts between the buried via holes 60. On the other hand, the part of the surface of the multilayer substrate 10 away from the inner layer via hole 50 and the buried via hole 60 is greatly influenced by the multilayer substrate 10, which has a large thermal expansion coefficient, and the amount of bulging is large.

多層基板10表面の膨出量は、内層ビアホール50から離れるほど大きくなる。ただし、多層基板10表面の膨出量は、内層ビアホール50から十分に離れた位置では、ほとんど一定である。言い換えると、内層ビアホール50から十分に離れた位置においては、多層基板10の表面が平坦な形状である。 The amount of bulging of the multilayer substrate 10 surface increases the further away from the inner layer via hole 50. However, the amount of bulging of the multilayer substrate 10 surface is almost constant at a position sufficiently far away from the inner layer via hole 50. In other words, at a position sufficiently far away from the inner layer via hole 50, the surface of the multilayer substrate 10 has a flat shape.

溶融工程の状態では、多層基板10の表面は、部分的に段差が形成されている形状である。より詳細には、多層基板10表面のうち内層ビアホール50の周辺部分は、それ以外の部分よりも凹んでいる状態である。ただし、内層ビアホール50の直上である円形の領域は、全体がほぼ同じ膨出量で周囲よりも凹んでいる。 In the melting process, the surface of the multilayer substrate 10 has a shape in which steps are formed in parts. More specifically, the area of the surface of the multilayer substrate 10 surrounding the inner layer via hole 50 is recessed more than the other areas. However, the circular area directly above the inner layer via hole 50 is recessed more than the surrounding area by approximately the same amount of bulge as a whole.

溶融工程における膨出量の違いは、内層ビアホール50を構成している金属材料の熱膨張率と多層基板10を構成している樹脂材料の熱膨張率との違いに起因している。このため、内層ビアホール50のZ方向の長さLhが、多層基板10の基板厚さTaに近いほど、多層基板10の表面に形成される段差が大きくなる。言い換えると、内層ビアホール50のZ方向の端部から多層基板10表面までの距離が小さいほど、多層基板10の表面に形成される段差が大きくなる。 The difference in the amount of expansion during the melting process is due to the difference in the thermal expansion coefficient between the metal material constituting the inner layer via hole 50 and the resin material constituting the multilayer substrate 10. For this reason, the closer the Z-direction length Lh of the inner layer via hole 50 is to the substrate thickness Ta of the multilayer substrate 10, the larger the step formed on the surface of the multilayer substrate 10. In other words, the smaller the distance from the Z-direction end of the inner layer via hole 50 to the surface of the multilayer substrate 10, the larger the step formed on the surface of the multilayer substrate 10.

また、内層ビアホール50の熱膨張率と多層基板10の熱膨張率の違いが大きいほど、多層基板10の表面に形成される段差が大きくなる。また、溶融工程における温度が高いほど、多層基板10の表面に形成される段差が大きくなる。溶融工程の完了後、凝固工程に進む。 In addition, the greater the difference between the thermal expansion coefficient of the inner layer via hole 50 and the thermal expansion coefficient of the multilayer substrate 10, the greater the step formed on the surface of the multilayer substrate 10. In addition, the higher the temperature in the melting process, the greater the step formed on the surface of the multilayer substrate 10. After the melting process is completed, the solidification process is performed.

凝固工程では、接合はんだ25の固相線の温度を下回る温度まで電子装置1を冷却する。仮に、固相線の温度が200℃であれば、200℃を下回る195℃程度まで加熱を弱めることで電子装置1を冷却する。電子装置1を冷却することで、接合はんだ25が凝固し、表層ランド21や接続部82に濡れ広がった状態で固定される。 In the solidification process, the electronic device 1 is cooled to a temperature below the solidus temperature of the joining solder 25. If the solidus temperature is 200°C, the electronic device 1 is cooled by reducing the heating to about 195°C, which is below 200°C. By cooling the electronic device 1, the joining solder 25 solidifies and is fixed in a state where it has spread wet to the surface lands 21 and the connection parts 82.

また、電子装置1を冷却することで、電子装置1を構成している各部品が溶融工程の状態に比べて収縮した状態となる。ただし、電子装置1を構成している各部品は、準備工程の状態に比べて膨張した状態である。このため、溶融工程の状態に比べて小さい膨出量ではあるが、多層基板10表面に部分的に段差が形成されている状態となる。 In addition, by cooling the electronic device 1, each component constituting the electronic device 1 is in a contracted state compared to the state in the melting process. However, each component constituting the electronic device 1 is in an expanded state compared to the state in the preparation process. Therefore, although the amount of expansion is smaller compared to the state in the melting process, a step is partially formed on the surface of the multilayer substrate 10.

凝固工程においては、接合はんだ25全体が均一な温度であることが好ましいが、実際には、接合はんだ25の部位によって温度に偏りが生じ得る。例えば、接合はんだ25の表面は、接合はんだ25の内部に比べて温度が低くなりやすい。このため、凝固工程が完了するまでの間、接合はんだ25は、温度の低い一部分が固相の状態となり、温度の高い一部分が液相の状態となる半溶融状態が発生し得る。接合はんだ25の量が多いほど、温度に偏りが生じやすく、半溶融状態が発生しやすい。 During the solidification process, it is preferable that the entire joint solder 25 be at a uniform temperature, but in reality, temperature bias may occur depending on the part of the joint solder 25. For example, the surface of the joint solder 25 is likely to have a lower temperature than the inside of the joint solder 25. For this reason, until the solidification process is completed, the joint solder 25 may enter a semi-molten state in which the low-temperature parts are in a solid phase and the high-temperature parts are in a liquid phase. The greater the amount of joint solder 25, the more likely it is that temperature bias will occur and the more likely it is that the semi-molten state will occur.

接合はんだ25には、ある程度の大きさの固液相線幅が存在する。このため、仮に接合はんだ25全体が均一な温度であったとしても、凝固工程が完了するまでの間、接合はんだ25は、半溶融状態となり得る。接合はんだ25の固液相線幅が大きいほど、半溶融状態が発生しやすい。 The joining solder 25 has a certain degree of solid-liquid phase width. Therefore, even if the entire joining solder 25 is at a uniform temperature, the joining solder 25 may be in a semi-molten state until the solidification process is completed. The larger the solid-liquid phase width of the joining solder 25, the more likely it is that the semi-molten state will occur.

凝固工程が完了するまでの間、電子装置1の温度は徐々に低下することとなる。このため、凝固工程が進む間に、多層基板10表面の段差の状態が変化し得る。したがって、接合はんだ25の一部は、温度が高く膨出量が多い状態で凝固し、接合はんだ25の他の一部は、温度が低く膨出量が少ない状態で凝固することとなる。よって、凝固工程の接合はんだ25において、凝固する前の部分が凝固した後の部分に引っ張られるなどして、表層ランド21との適切な接触状態が維持されない場合がある。この場合、接合はんだ25のうち本来であれば表層ランド21に接触した状態で凝固すべき部分が、表層ランド21から離れた状態で凝固してしまうことがある。言い換えると、接合はんだ25による接合が部分的に不適切な状態となり得る。このように、接合はんだ25に接合が不適切な部分が存在すると、接合はんだ25が表層ランド21から剥離してしまう場合がある。 Until the solidification process is completed, the temperature of the electronic device 1 gradually decreases. Therefore, the state of the steps on the surface of the multilayer substrate 10 may change as the solidification process progresses. Therefore, a part of the joint solder 25 solidifies at a high temperature and with a large amount of swelling, and another part of the joint solder 25 solidifies at a low temperature and with a small amount of swelling. Therefore, in the joint solder 25 during the solidification process, the part before solidification may be pulled by the part after solidification, and the appropriate contact state with the surface land 21 may not be maintained. In this case, the part of the joint solder 25 that should be solidified in contact with the surface land 21 may solidify away from the surface land 21. In other words, the joint by the joint solder 25 may be partially inappropriate. In this way, if there is a part of the joint solder 25 where the joint is inappropriate, the joint solder 25 may peel off from the surface land 21.

上述したような接合はんだ25の不適切な接合は、凝固の開始から完了までの間で多層基板10表面の段差の大きさが変化するほど、引き起こされやすい。言い換えると、凝固の開始から完了までの間で多層基板10表面の段差の大きさがほとんど変化しなければ、接合はんだ25の不適切な接合を抑制できる。このため、凝固の開始時点で多層基板10表面の段差が十分に小さい平坦な位置に接合はんだ25を配置することで、接合はんだ25の不適切な接合を抑制することができる。言い換えると、埋設ビアホール60が存在することで膨出量が小さく制限されている位置に接合はんだ25を配置することで、接合はんだ25の不適切な接合を抑制することができる。 The more the magnitude of the step on the surface of the multilayer substrate 10 changes between the start and end of solidification, the more likely the improper bonding of the joint solder 25 described above is to occur. In other words, if the magnitude of the step on the surface of the multilayer substrate 10 changes very little between the start and end of solidification, improper bonding of the joint solder 25 can be suppressed. For this reason, by arranging the joint solder 25 in a flat position where the step on the surface of the multilayer substrate 10 is sufficiently small at the start of solidification, improper bonding of the joint solder 25 can be suppressed. In other words, by arranging the joint solder 25 in a position where the amount of bulging is limited to a small amount by the presence of the buried via hole 60, improper bonding of the joint solder 25 can be suppressed.

固液相線幅が大きいほど、凝固工程で凝固完了までの温度変化が大きくなり、接合はんだ25の不適切な接合が引き起こされやすい。このため、埋設ビアホール60を接合はんだ25とZ方向に重なる位置にすることで接合の精度を高めることは、固液相線幅の大きな接合はんだ25を用いる電子装置1において非常に有用である。 The larger the solid-liquid phase line width, the greater the temperature change during the solidification process until solidification is complete, making it more likely that improper joining of the joining solder 25 will occur. For this reason, improving the joining accuracy by positioning the buried via hole 60 so that it overlaps with the joining solder 25 in the Z direction is very useful in electronic devices 1 that use joining solder 25 with a large solid-liquid phase line width.

凝固工程の完了により、リフロー処理の全工程が完了することとなる。 Once the solidification process is complete, the entire reflow process is complete.

上述した実施形態によると、埋設ビアホール60は、少なくとも一部が接合はんだ25と板厚方向に重なる位置に設けられている。ここで、埋設ビアホール60は、多層基板10のうち接合はんだ25が設けられている部分において、温度変化に起因した膨出量を小さくしている。このため、多層基板10表面のうち、膨張しにくい部分に接合はんだ25を配置することができる。したがって、温度変化に起因して多層基板10表面が膨出して段差が形成された場合であっても、接合はんだ25が多層基板10表面の段差の影響を受けにくい。よって、接合はんだ25による接合を安定させやすい。以上により、多層基板10に電子部品80が安定して接合された電子装置1を提供できる。特に、リフロー処理の凝固工程において、接合はんだ25が多層基板10表面の段差の変化の影響を受けにくい。このため、接合はんだ25の凝固開始から凝固完了までの間、接合はんだ25が表層ランド21に接触した状態を維持しやすい。 According to the above-described embodiment, the embedded via hole 60 is provided at a position where at least a part of it overlaps with the joining solder 25 in the plate thickness direction. Here, the embedded via hole 60 reduces the amount of swelling caused by temperature changes in the part of the multilayer substrate 10 where the joining solder 25 is provided. Therefore, the joining solder 25 can be arranged in a part of the surface of the multilayer substrate 10 that is less likely to expand. Therefore, even if the surface of the multilayer substrate 10 swells due to a temperature change and a step is formed, the joining solder 25 is less likely to be affected by the step on the surface of the multilayer substrate 10. Therefore, it is easy to stabilize the joining by the joining solder 25. As a result, it is possible to provide an electronic device 1 in which the electronic component 80 is stably joined to the multilayer substrate 10. In particular, in the solidification process of the reflow process, the joining solder 25 is less likely to be affected by changes in the step on the surface of the multilayer substrate 10. Therefore, it is easy to maintain the joining solder 25 in contact with the surface land 21 from the start of solidification of the joining solder 25 to the completion of solidification.

接合はんだ25の固液相線幅は、13℃以上である。このため、接合はんだ25は、固液相線幅が13℃未満のはんだに比べて、不適切な接合の結果として剥離が引き起こされやすいはんだである。したがって、剥離が引き起こされやすいはんだに対して特別な剥離対策を行うこととなる。一方、剥離が引き起こされにくいはんだに対しては特別な剥離対策を行う必要がない。よって、電子装置1の設計において、はんだの性能の1つである固液相線幅の大きさの観点から、剥離対策が必要か否かを判断できる。以上により、剥離対策を行う場合と行わない場合とを適切に判断することで、不要な剥離対策により電子装置1が大型化してしまうことを抑制できる。 The solid-liquid phase width of the joining solder 25 is 13°C or more. Therefore, compared to solder with a solid-liquid phase width of less than 13°C, the joining solder 25 is a solder that is more likely to peel off as a result of improper joining. Therefore, special peeling countermeasures are taken for solder that is more likely to peel off. On the other hand, special peeling countermeasures are not necessary for solder that is less likely to peel off. Therefore, in designing the electronic device 1, it is possible to determine whether or not peeling countermeasures are necessary from the perspective of the size of the solid-liquid phase width, which is one of the solder performance characteristics. As described above, by appropriately determining when to take peeling countermeasures and when not to take them, it is possible to prevent the electronic device 1 from becoming larger due to unnecessary peeling countermeasures.

埋設ビアホール60は、筒状壁部52と板厚方向に重ならない位置に設けられている。仮に埋設ビアホール60を筒状壁部52と板厚方向に重なる位置に設けた場合には、内層ビアホール50の板厚方向の長さLhに埋設ビアホール60の板厚方向の長さを加えた長さが熱膨張率の小さな金属材料の長さとなる。この場合、熱膨張率の小さな金属材料で構成されている部分の板厚方向の長さが、多層基板10の基板厚さTaに近くなり、多層基板10表面の段差が大きくなりやすい。したがって、埋設ビアホール60を筒状壁部52と板厚方向に重ならない位置に設けることで、埋設ビアホール60を筒状壁部52と板厚方向に重なる位置に設けた場合に比べて、多層基板10表面の膨出量の違いを小さくして、段差を小さくできる。 The buried via hole 60 is provided at a position where it does not overlap with the cylindrical wall portion 52 in the plate thickness direction. If the buried via hole 60 is provided at a position where it overlaps with the cylindrical wall portion 52 in the plate thickness direction, the length of the buried via hole 60 in the plate thickness direction plus the length of the inner layer via hole 50 in the plate thickness direction Lh is the length of the metal material with a small thermal expansion coefficient. In this case, the length in the plate thickness direction of the part made of the metal material with a small thermal expansion coefficient is close to the board thickness Ta of the multilayer board 10, and the step on the surface of the multilayer board 10 is likely to become large. Therefore, by providing the buried via hole 60 at a position where it does not overlap with the cylindrical wall portion 52 in the plate thickness direction, the difference in the amount of bulging on the surface of the multilayer board 10 can be reduced, and the step can be reduced, compared to when the buried via hole 60 is provided at a position where it overlaps with the cylindrical wall portion 52 in the plate thickness direction.

埋設ビアホール60は、少なくとも一部が電子部品80と接合はんだ25との両方と板厚方向に重なる位置に設けられている。このため、接合はんだ25のうち電子部品80と板厚方向に重なる部分において、多層基板10表面の膨出の影響を低減し、接合を安定させることができる。ここで、接合はんだ25のうち電子部品80と板厚方向に重なる部分は、電子部品80に流れる電流の最短経路をなし得る部分である。言い換えると、接合はんだ25のうち電子部品80と板厚方向に重なる部分は、接合はんだ25の中でも特に安定した接合が求められる部分である。 The buried via hole 60 is provided at a position where at least a portion overlaps both the electronic component 80 and the joining solder 25 in the plate thickness direction. Therefore, in the portion of the joining solder 25 that overlaps with the electronic component 80 in the plate thickness direction, the effect of swelling of the multilayer substrate 10 surface can be reduced, and the joining can be stabilized. Here, the portion of the joining solder 25 that overlaps with the electronic component 80 in the plate thickness direction is a portion that can form the shortest path for the current flowing through the electronic component 80. In other words, the portion of the joining solder 25 that overlaps with the electronic component 80 in the plate thickness direction is the portion of the joining solder 25 that requires a particularly stable joining.

埋設ビアホール60は、複数設けられている。ここで、複数の埋設ビアホール60同士の間の部分についても多層基板10表面の膨出量を小さくできる。このため、埋設ビアホール60を1つしか設けない場合に比べて、より広い範囲において多層基板10表面の膨出量を小さく制限できる。言い換えると、埋設ビアホール60周辺と埋設ビアホール60同士の間の部分とを含む広い範囲において、多層基板10表面の膨出量を小さく制限できる。 A plurality of buried via holes 60 are provided. Here, the amount of bulging of the surface of the multilayer substrate 10 can be reduced even in the areas between the plurality of buried via holes 60. Therefore, the amount of bulging of the surface of the multilayer substrate 10 can be limited to a small amount over a wider range than when only one buried via hole 60 is provided. In other words, the amount of bulging of the surface of the multilayer substrate 10 can be limited to a small amount over a wider range including the periphery of the buried via hole 60 and the areas between the buried via holes 60.

複数の埋設ビアホール60は、表層ランド21の長手方向であるX方向に沿って並んで設けられている。このため、埋設ビアホール60同士の間の部分を表層ランド21の形状に沿って設けることができる。よって、表層ランド21の形状に沿って、多層基板10表面の広い範囲において、膨出量を小さく制限できる。 The buried via holes 60 are arranged side by side along the X direction, which is the longitudinal direction of the surface land 21. Therefore, the portions between the buried via holes 60 can be arranged along the shape of the surface land 21. Therefore, the amount of bulging can be limited to a small amount over a wide area of the surface of the multilayer substrate 10, along the shape of the surface land 21.

埋設ビアホール60は、表層ランド21と内層ランド53とを接続している。このため、埋設ビアホール60が内層ランド53同士を接続する場合に比べて、多層基板10表面の段差が表層ランド21上に設けられている接合はんだ25に与える影響を低減しやすい。 The buried via holes 60 connect the surface lands 21 and the inner lands 53. Therefore, compared to when the buried via holes 60 connect the inner lands 53 to each other, it is easier to reduce the effect that the steps on the surface of the multilayer substrate 10 have on the joining solder 25 provided on the surface lands 21.

埋設ビアホール60の直径は、筒状壁部52の直径よりも小さい。このため、限られたスペース内の適切な位置に埋設ビアホール60を設けやすい。ここで、電子装置1には、限られた多層基板10上に複数の電子部品80を数多く実装することが求められている。したがって、直径の小さな埋設ビアホール60を用いて剥離を抑制する構成は、電子装置1の小型化にとって非常に有用である。 The diameter of the buried via hole 60 is smaller than the diameter of the cylindrical wall portion 52. This makes it easy to provide the buried via hole 60 at an appropriate position within a limited space. Here, the electronic device 1 is required to mount a large number of electronic components 80 on a limited multilayer substrate 10. Therefore, a configuration that uses a buried via hole 60 with a small diameter to suppress peeling is very useful for miniaturizing the electronic device 1.

埋設ビアホール60の内部は、銅などの金属材料で埋められている。このため、埋設ビアホール60の内部が樹脂で埋められている場合に比べて、埋設ビアホール60が表層ランド21と内層ランド53とを強固に接続しやすい。したがって、多層基板10表面の膨出量を小さく制限するという埋設ビアホール60の機能を安定して発揮させやすい。 The inside of the buried via hole 60 is filled with a metal material such as copper. Therefore, compared to when the inside of the buried via hole 60 is filled with resin, the buried via hole 60 is more likely to firmly connect the surface land 21 and the inner land 53. Therefore, it is easier for the buried via hole 60 to stably perform its function of limiting the amount of bulging of the surface of the multilayer substrate 10.

一方の接合はんだ25には、板厚方向に重なる位置に埋設ビアホール60が配置されており、他方の接合はんだ25には、板厚方向に重なる位置に埋設ビアホール60が配置されていない。言い換えると、1つの電子部品80に対して、埋設ビアホール60によって接合を安定させている部分と、埋設ビアホール60によって接合を安定させていない部分とが存在している。このため、全ての接合部分に対して埋設ビアホール60を用いて接合を安定させる場合に比べて、埋設ビアホール60を形成する数を少なくできる。したがって、電子装置1の製造性を高めやすい。 In one of the joining solders 25, a buried via hole 60 is arranged at a position where they overlap in the plate thickness direction, and in the other joining solder 25, a buried via hole 60 is not arranged at a position where they overlap in the plate thickness direction. In other words, for one electronic component 80, there are parts where the joint is stabilized by the buried via hole 60 and parts where the joint is not stabilized by the buried via hole 60. Therefore, the number of buried via holes 60 formed can be reduced compared to when buried via holes 60 are used to stabilize the joints for all joint parts. This makes it easier to improve the manufacturability of the electronic device 1.

1つの接合はんだ25に対して4つの埋設ビアホール60を設ける場合を例に説明を行ったが、埋設ビアホール60の数は上述の例に限られない。例えば、もともと接合はんだ25における剥離が引き起こされにくい場合には、埋設ビアホール60の数を3つ以下としてもよい。あるいは、接合はんだ25における剥離が引き起こされやすい場合には、埋設ビアホール60の数を5つ以上としてもよい。 Although an example has been described in which four buried via holes 60 are provided for one joint solder 25, the number of buried via holes 60 is not limited to the above example. For example, if peeling of the joint solder 25 is not likely to occur in the first place, the number of buried via holes 60 may be three or less. Alternatively, if peeling of the joint solder 25 is likely to occur, the number of buried via holes 60 may be five or more.

第2実施形態
この実施形態は、先行する実施形態を基礎的形態とする変形例である。この実施形態では、埋設ビアホール260が表層ランド21と内層ランド273とを接続している。
Second Embodiment This embodiment is a modification of the preceding embodiment, in which a buried via hole 260 connects the surface land 21 and an inner land 273.

図5において、電子装置1は、内層ランド273を備えている。内層ランド273は、銅などの金属材料で構成されている。内層ランド273は、多層基板10の内層に設けられている。内層ランド273は、2つの表層ランド21とZ方向に重なる位置に設けられている。表層ランド21の形状、数および配置は、上述の例に限られない。 In FIG. 5, the electronic device 1 has an inner layer land 273. The inner layer land 273 is made of a metal material such as copper. The inner layer land 273 is provided on an inner layer of the multilayer substrate 10. The inner layer land 273 is provided at a position overlapping two surface layer lands 21 in the Z direction. The shape, number, and arrangement of the surface layer lands 21 are not limited to the above example.

電子装置1は、埋設ビアホール260を備えている。埋設ビアホール260は、多層基板10の絶縁基板を貫通する電流経路を構成する部品である。埋設ビアホール260は、銅などの金属材料で構成されている。埋設ビアホール260は、Z方向に沿う方向を軸方向とする円柱形状である。埋設ビアホール260の直径は、筒状壁部52の直径よりも小さい。 The electronic device 1 includes a buried via hole 260. The buried via hole 260 is a component that constitutes a current path that penetrates the insulating substrate of the multilayer substrate 10. The buried via hole 260 is made of a metal material such as copper. The buried via hole 260 has a cylindrical shape with its axial direction along the Z direction. The diameter of the buried via hole 260 is smaller than the diameter of the cylindrical wall portion 52.

埋設ビアホール260は、内層ビアホール250の周囲に6つ設けられている。6つの埋設ビアホール260は、内層ランド273とZ方向に重なる位置に設けられている。6つの埋設ビアホール260は、筒状壁部252とZ方向に重ならない位置に設けられている。6つの埋設ビアホール260は、接合はんだ25とZ方向に重なる位置に設けられている。6つの埋設ビアホール260のうちの3つは、接合はんだ25と接続部82との両方とZ方向に重なる位置に設けられている。接合はんだ25と接続部82との両方とZ方向に重なる位置に設けられている3つの埋設ビアホール260は、接続部82の長手方向であるY方向に沿って並んで設けられている。6つの埋設ビアホール260は、Z方向から見た場合に、全体で四角形状をなしている。 Six embedded via holes 260 are provided around the inner layer via hole 250. The six embedded via holes 260 are provided at positions overlapping the inner layer land 273 in the Z direction. The six embedded via holes 260 are provided at positions not overlapping the cylindrical wall portion 252 in the Z direction. The six embedded via holes 260 are provided at positions overlapping the joining solder 25 in the Z direction. Three of the six embedded via holes 260 are provided at positions overlapping both the joining solder 25 and the connection portion 82 in the Z direction. The three embedded via holes 260 provided at positions overlapping both the joining solder 25 and the connection portion 82 in the Z direction are arranged side by side along the Y direction, which is the longitudinal direction of the connection portion 82. The six embedded via holes 260 form a square shape as a whole when viewed from the Z direction.

埋設ビアホール260は、2つの接合はんだ25のそれぞれの直下に6つずつ設けられている。言い換えると、1つの電子部品80に対して、2つの接続部82が設けられている。さらに、1つの接続部82に対して、1つの接合はんだ25と1つの表層ランド21と6つの埋設ビアホール260が設けられている。 Six buried via holes 260 are provided directly below each of the two joining solders 25. In other words, two connection parts 82 are provided for one electronic component 80. Furthermore, one joining solder 25, one surface land 21, and six buried via holes 260 are provided for one connection part 82.

図6において、内層ビアホール250は、3層目と5層目とを接続している。言い換えると、内層ビアホール250の筒状壁部252は、2枚の内層基板30を貫通している。このため、内層ビアホール250は、ベリッドビアホールと呼ばれるビアホールである。 In FIG. 6, the inner layer via hole 250 connects the third layer and the fifth layer. In other words, the cylindrical wall portion 252 of the inner layer via hole 250 penetrates two inner layer substrates 30. For this reason, the inner layer via hole 250 is a via hole called a buried via hole.

内層ランド273は、表層基板20と内層基板30との間に設けられている。内層ランド273は、2層目の平面に沿って流れる電流経路を構成している。内層ランド273と内層ビアホール250との間には、内層基板30が設けられており、互いに絶縁されている。 The inner layer land 273 is provided between the surface substrate 20 and the inner layer substrate 30. The inner layer land 273 forms a current path that flows along the plane of the second layer. The inner layer substrate 30 is provided between the inner layer land 273 and the inner layer via hole 250, and they are insulated from each other.

埋設ビアホール260は、1層目の表層ランド21と2層目の内層ランド273とを接続している。このため、埋設ビアホール260は、ブラインドビアホールと呼ばれるビアホールである。埋設ビアホール260のZ方向の長さは、表層基板20の基板厚さTsよりも小さい。 The buried via hole 260 connects the surface land 21 of the first layer and the inner land 273 of the second layer. For this reason, the buried via hole 260 is a via hole called a blind via hole. The length of the buried via hole 260 in the Z direction is smaller than the substrate thickness Ts of the surface substrate 20.

上述した実施形態によると、四角形状に並んで設けられている6つの埋設ビアホール260によって、接合はんだ25の接合が安定する部分を四角形状に確保することができる。また、2つの接合はんだ25のそれぞれに埋設ビアホール260を配置している。このため、複数の接続部82のそれぞれに対応して接合はんだ25の接合を安定させることができる。 According to the embodiment described above, the six embedded via holes 260 arranged in a square shape ensure that the portion where the joining solder 25 is stable is in a square shape. In addition, an embedded via hole 260 is arranged in each of the two joining solders 25. This makes it possible to stabilize the joining of the joining solder 25 in correspondence with each of the multiple connection parts 82.

3つの埋設ビアホール260は、接合はんだ25と接続部82との両方とZ方向に重なる位置、かつ、Y方向に沿って並んで設けられている。このため、接合はんだ25と接続部82とがZ方向に重なる部分において、埋設ビアホール260によって膨出量を低減しやすい。したがって、電子部品80に流れる電流の最短経路における接合を安定させやすい。 The three embedded via holes 260 are arranged in a line along the Y direction at positions that overlap both the joining solder 25 and the connection portion 82 in the Z direction. Therefore, the embedded via holes 260 tend to reduce the amount of bulging in the area where the joining solder 25 and the connection portion 82 overlap in the Z direction. This makes it easier to stabilize the joint along the shortest path of the current flowing through the electronic component 80.

第3実施形態
この実施形態は、先行する実施形態を基礎的形態とする変形例である。この実施形態では、埋設ビアホール360が内層ランド273と内層ランド353とを接続している。
Third Embodiment This embodiment is a modification of the preceding embodiment, in which a buried via hole 360 connects the inner layer land 273 and the inner layer land 353.

図7において、内層ビアホール350は、筒状壁部352と内層ランド353とを備えている。内層ビアホール350は、3層目と5層目とを接続している。言い換えると、内層ビアホール350の筒状壁部352は、2枚の内層基板30を貫通している。このため、内層ビアホール350は、ベリッドビアホールと呼ばれるビアホールである。 In FIG. 7, the inner layer via hole 350 has a cylindrical wall portion 352 and an inner layer land 353. The inner layer via hole 350 connects the third layer and the fifth layer. In other words, the cylindrical wall portion 352 of the inner layer via hole 350 penetrates two inner layer substrates 30. For this reason, the inner layer via hole 350 is a via hole called a buried via hole.

内層ランド353は、内層基板30同士の間に設けられている。内層ランド353は、3層目の平面に沿って流れる電流経路を構成している。内層ランド353は、内層ビアホール350におけるフランジ状の部分を含むランドをなしている。 The inner layer land 353 is provided between the inner layer substrates 30. The inner layer land 353 forms a current path that flows along the plane of the third layer. The inner layer land 353 forms a land that includes a flange-shaped portion of the inner layer via hole 350.

埋設ビアホール360は、2層目の内層ランド273と3層目の内層ランド353とを接続している。このため、埋設ビアホール360は、ベリッドビアホールと呼ばれるビアホールである。埋設ビアホール360のZ方向の長さは、表層基板20の基板厚さTsよりも大きく、内層基板30の基板厚さTiよりも小さい。 The buried via hole 360 connects the second layer inner land 273 and the third layer inner land 353. For this reason, the buried via hole 360 is a via hole called a buried via hole. The length in the Z direction of the buried via hole 360 is greater than the substrate thickness Ts of the surface substrate 20 and less than the substrate thickness Ti of the inner substrate 30.

上述した実施形態によると、埋設ビアホール360によって、接合はんだ25の接合が安定する部分を確保することができる。また、表層ランド21に接続するように埋設ビアホール360を設ける必要がないため、設計の自由度を高く確保しやすい。 According to the above-described embodiment, the buried via hole 360 can provide a portion where the joining solder 25 is stable. In addition, since there is no need to provide the buried via hole 360 to connect to the surface land 21, it is easy to ensure a high degree of freedom in design.

他の実施形態
この明細書および図面等における開示は、例示された実施形態に制限されない。開示は、例示された実施形態と、それらに基づく当業者による変形態様を包含する。例えば、開示は、実施形態において示された部品および/または要素の組み合わせに限定されない。開示は、多様な組み合わせによって実施可能である。開示は、実施形態に追加可能な追加的な部分をもつことができる。開示は、実施形態の部品および/または要素が省略されたものを包含する。開示は、1つの実施形態と他の実施形態との間における部品および/または要素の置き換え、または組み合わせを包含する。開示される技術的範囲は、実施形態の記載に限定されない。開示されるいくつかの技術的範囲は、請求の範囲の記載によって示され、さらに請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内での全ての変更を含むものと解されるべきである。
Other embodiments The disclosure in this specification and drawings, etc. is not limited to the exemplified embodiments. The disclosure includes the exemplified embodiments and modifications by those skilled in the art based thereon. For example, the disclosure is not limited to the combination of parts and/or elements shown in the embodiments. The disclosure can be implemented by various combinations. The disclosure can have additional parts that can be added to the embodiments. The disclosure includes the omission of parts and/or elements of the embodiments. The disclosure includes the substitution or combination of parts and/or elements between one embodiment and another embodiment. The disclosed technical scope is not limited to the description of the embodiments. Some disclosed technical scopes are indicated by the description of the claims, and should be interpreted as including all modifications within the meaning and scope equivalent to the description of the claims.

明細書および図面等における開示は、請求の範囲の記載によって限定されない。明細書および図面等における開示は、請求の範囲に記載された技術的思想を包含し、さらに請求の範囲に記載された技術的思想より多様で広範な技術的思想に及んでいる。よって、請求の範囲の記載に拘束されることなく、明細書および図面等の開示から、多様な技術的思想を抽出することができる。 The disclosure in the specification and drawings, etc. is not limited by the claims. The disclosure in the specification and drawings, etc. encompasses the technical ideas described in the claims, and extends to more diverse and extensive technical ideas than the technical ideas described in the claims. Therefore, various technical ideas can be extracted from the disclosure in the specification and drawings, etc., without being bound by the claims.

1 電子装置、 10 多層基板、 10b ビルドアップ基板、 10c コア基板、 20 表層基板、 21 表層ランド、 25 接合はんだ、 30 内層基板、 50 内層ビアホール、 52 筒状壁部、 53 内層ランド、 60 埋設ビアホール、 80 電子部品、 81 本体部、 82 接続部、 250 内層ビアホール、 252 筒状壁部、 260 埋設ビアホール、 273 内層ランド、 350 内層ビアホール、 352 筒状壁部、 353 内層ランド、 360 埋設ビアホール 1 Electronic device, 10 Multilayer board, 10b Build-up board, 10c Core board, 20 Surface board, 21 Surface land, 25 Joint solder, 30 Inner board, 50 Inner via hole, 52 Cylindrical wall, 53 Inner land, 60 Buried via hole, 80 Electronic component, 81 Main body, 82 Connection, 250 Inner via hole, 252 Cylindrical wall, 260 Buried via hole, 273 Inner land, 350 Inner via hole, 352 Cylindrical wall, 353 Inner land, 360 Buried via hole

Claims (7)

表層をなす絶縁基板である表層基板(20)と内層をなす前記絶縁基板である内層基板(30)とが互いに板厚方向に重なって設けられている多層基板(10)と、
前記表層基板に設けられている表層ランド(21)と、
前記内層基板に設けられている内層ランド(53、273、353)と、
前記表層基板に実装される電子部品(80)と、
前記電子部品と前記表層ランドとを接合している接合はんだ(25)と、
前記内層基板を貫通する電流経路である筒状壁部(52、252、352)を有する内層ビアホール(50、250、350)と、
前記表層基板を貫通する電流経路を構成している埋設ビアホール(60、260、360)とを備え、
前記接合はんだは、固液相線幅が13℃以上であり、
前記埋設ビアホールは、少なくとも一部が前記接合はんだと前記板厚方向に重なる位置に設けられており、かつ、前記筒状壁部および前記筒状壁部で囲まれた部位と前記板厚方向に重ならない位置に設けられている電子装置。
A multilayer board (10) in which a surface layer substrate (20) which is an insulating substrate forming a surface layer and an inner layer substrate (30) which is an insulating substrate forming an inner layer are overlapped with each other in a board thickness direction;
A surface land (21) provided on the surface substrate;
An inner layer land (53, 273, 353) provided on the inner layer substrate;
An electronic component (80) mounted on the surface substrate;
A joining solder (25) joining the electronic component and the surface land;
an inner layer via hole (50, 250, 350) having a cylindrical wall portion (52, 252, 352) which is a current path passing through the inner layer substrate;
A buried via hole (60, 260, 360) forming a current path penetrating the surface substrate;
The joining solder has a solid-liquid phase width of 13° C. or more,
An electronic device in which the buried via hole is provided in a position where at least a portion of the buried via hole overlaps with the joining solder in the plate thickness direction, and is provided in a position where it does not overlap with the cylindrical wall portion and the portion surrounded by the cylindrical wall portion in the plate thickness direction.
前記埋設ビアホールは、少なくとも一部が前記電子部品と前記接合はんだとの両方と前記板厚方向に重なる位置に設けられている請求項に記載の電子装置。 The electronic device according to claim 1 , wherein the buried via hole is provided at a position where at least a portion of the buried via hole overlaps both the electronic component and the joining solder in the plate thickness direction. 前記埋設ビアホールは、複数設けられている請求項1または請求項に記載の電子装置。 3. The electronic device according to claim 1, wherein a plurality of the buried via holes are provided. 前記埋設ビアホールは、前記内層ビアホールの周囲に複数設けられている請求項に記載の電子装置。 The electronic device according to claim 3 , wherein the buried via hole is provided in a plurality of portions around the inner layer via hole. 前記表層ランドは、長方形状であり、
複数の前記埋設ビアホールは、前記表層ランドの長手方向に沿って並んで設けられている請求項に記載の電子装置。
The surface land has a rectangular shape,
4. The electronic device according to claim 3 , wherein the buried via holes are arranged side by side along the longitudinal direction of the surface land.
前記埋設ビアホールは、前記表層ランドと前記内層ランドとを接続している請求項1から請求項のいずれかに記載の電子装置。 6. The electronic device according to claim 1, wherein the buried via hole connects the surface land and the inner land. 前記埋設ビアホールの直径は、前記筒状壁部の直径よりも小さい請求項1から請求項のいずれかに記載の電子装置。 7. The electronic device according to claim 1, wherein the buried via hole has a diameter smaller than a diameter of the cylindrical wall portion.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005286274A (en) 2004-03-31 2005-10-13 Uchihashi Estec Co Ltd Soldering method
JP2009246316A (en) 2008-04-01 2009-10-22 Kyocera Corp Wiring board
JP2012074557A (en) 2010-09-29 2012-04-12 Toppan Printing Co Ltd Multilayer printed wiring board and manufacturing method therefor, and multilayer build-up wiring board and manufacturing method therefor
JP2015126053A (en) 2013-12-26 2015-07-06 富士通株式会社 Wiring board, wiring board manufacturing method and electronic apparatus

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005286274A (en) 2004-03-31 2005-10-13 Uchihashi Estec Co Ltd Soldering method
JP2009246316A (en) 2008-04-01 2009-10-22 Kyocera Corp Wiring board
JP2012074557A (en) 2010-09-29 2012-04-12 Toppan Printing Co Ltd Multilayer printed wiring board and manufacturing method therefor, and multilayer build-up wiring board and manufacturing method therefor
JP2015126053A (en) 2013-12-26 2015-07-06 富士通株式会社 Wiring board, wiring board manufacturing method and electronic apparatus

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