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JP7555015B2 - Component crimping device - Google Patents
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JP7555015B2 - Component crimping device - Google Patents

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Description

本発明は、基板に部品を圧着する部品圧着装置及び部品圧着方法に関する。 The present invention relates to a component crimping device and a component crimping method for crimping components onto a substrate.

従来、基板の端部に接着部材として異方性導電部材であるACF(Anisotropic Conductive Film)を貼着し、基板のACFが貼着された部分に駆動回路等の電子部品を圧着する部品圧着装置がある(例えば、特許文献1参照)。 Conventionally, there is a component bonding device that applies anisotropic conductive film (ACF) as an adhesive member to the end of a substrate, and then presses electronic components such as drive circuits onto the portion of the substrate where the ACF is applied (see, for example, Patent Document 1).

特許文献1で開示されている部品圧着装置の一例である部品実装装置は、基板に部品を圧着する際には、基板の端部を下受け部(いわゆるバックアップステージ)で支持する。また、特許文献1に開示されている部品実装装置は、基板の位置を認識するために、下受け部に設けられた切り欠き部(貫通部)を通して基板が有するアライメントマークを下方から撮像し、アライメントマークの位置に基づいて部品を圧着する際の位置合わせを行う。 The component mounting device disclosed in Patent Document 1, which is an example of a component bonding device, supports the edge of the board with a lower support (a so-called backup stage) when bonding a component to the board. In addition, in order to recognize the position of the board, the component mounting device disclosed in Patent Document 1 captures an image of the alignment mark on the board from below through a cutout (through-hole) provided in the lower support, and aligns the component when bonding it based on the position of the alignment mark.

特開2014-045057号公報JP 2014-045057 A

アライメントマークのサイズや配置が異なる複数品種の基板に部品を圧着する部品圧着装置の場合、アライメントマークのサイズや配置によっては、基板の品種によっては上記した貫通部を通して撮像部でアライメントマークを撮像できないときがある。そこで、複数のアライメントマークに対応できるように貫通部のサイズ(開口幅)を大きくすると、基板の端部(特に、上面視における角部)が下受け部に支持されない場合がある。この場合、基板に部品を圧着する際、下受け部によって適切に基板の端部が支持されていないために、部品が適切な位置に圧着されない、つまり、実装ばらつきが生じることがある。 In the case of a component bonding device that bonds components to multiple types of boards with different sizes and arrangements of alignment marks, depending on the size and arrangement of the alignment marks, the imaging unit may not be able to capture an image of the alignment mark through the above-mentioned through-hole depending on the type of board. Therefore, if the size (opening width) of the through-hole is increased to accommodate multiple alignment marks, the edge of the board (especially the corner when viewed from above) may not be supported by the lower support part. In this case, when the component is bonded to the board, the edge of the board is not properly supported by the lower support part, so the component may not be bonded in the appropriate position, which may result in mounting variations.

本発明は、実装ばらつきを抑制できる部品圧着装置等を提供する。 The present invention provides a component crimping device that can suppress mounting variations.

本発明の一態様に係る部品圧着装置は、アライメントマークを有する基板を前記基板の下面側から支持する支持面と、前記支持面を貫通する貫通部と、を有する下受け部と、前記支持面で支持されている前記基板の前記アライメントマークを、前記貫通部を介して撮像する撮像部と、前記撮像部で撮像した前記アライメントマークの位置に基づいて、前記基板が有する圧着対象部位に部品を圧着する圧着ツールと、を備え、前記下受け部は、前記貫通部の開口幅を変更可能に構成される。 A component crimping device according to one aspect of the present invention includes a support section having a support surface that supports a substrate having an alignment mark from the underside of the substrate and a through-hole that penetrates the support surface, an imaging section that images the alignment mark of the substrate supported by the support surface through the through-hole, and a crimping tool that crimps a component onto a crimping target portion of the substrate based on the position of the alignment mark imaged by the imaging section, and the support section is configured to be able to change the opening width of the through-hole.

また、本発明の一態様に係る部品圧着方法は、アライメントマークを有する基板の品種を決定する決定ステップと、前記基板を前記基板の下面側から支持する支持面と、前記支持面を貫通する貫通部と、を有する下受け部における前記貫通部の開口幅を、前記決定ステップで決定した前記品種に基づいて調整する調整ステップと、前記支持面で前記基板を支持する支持ステップと、前記支持面で支持されている前記基板の前記アライメントマークを、前記貫通部を介して撮像する撮像ステップと、前記撮像ステップで撮像した前記アライメントマークの位置に基づいて、前記基板が有する圧着対象部位に部品を圧着する圧着ステップと、を含む。 The component crimping method according to one aspect of the present invention includes a determination step of determining the type of a substrate having an alignment mark, an adjustment step of adjusting the opening width of a through-hole in a lower support part having a support surface that supports the substrate from the underside of the substrate and a through-hole that penetrates the support surface, based on the type determined in the determination step, a support step of supporting the substrate on the support surface, an imaging step of imaging the alignment mark of the substrate supported on the support surface through the through-hole, and a crimping step of crimping a component to a crimping target portion of the substrate based on the position of the alignment mark imaged in the imaging step.

なお、これらの包括的又は具体的な態様は、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラム又はコンピュータ読み取り可能なCD-ROM等の記録媒体で実現されてもよく、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラム及び記録媒体の任意な組み合わせで実現されてもよい。 These comprehensive or specific aspects may be realized as a system, method, integrated circuit, computer program, or computer-readable recording medium such as a CD-ROM, or may be realized as any combination of a system, method, integrated circuit, computer program, and recording medium.

本発明によれば、実装ばらつきを抑制できる部品圧着装置等を提供できる。 The present invention provides a component crimping device that can suppress mounting variations.

図1は、実施の形態に係る部品圧着装置を含む部品実装ラインの概略構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a component mounting line including a component crimping device according to an embodiment. 図2は、実施の形態に係る部品圧着装置を示す概略側面図である。FIG. 2 is a schematic side view showing the component crimping device according to the embodiment. 図3Aは、実施の形態に係る下受け部の一例を示す概略上面図である。FIG. 3A is a schematic top view illustrating an example of a lower support portion according to an embodiment. 図3Bは、実施の形態に係る下受け部の別の一例を示す概略上面図である。FIG. 3B is a schematic top view illustrating another example of the lower support portion according to the embodiment. 図4は、開口幅及びピッチの説明をするための図である。FIG. 4 is a diagram for explaining the opening width and pitch. 図5は、実施の形態に係る第1支持部材を示す概略分解斜視図である。FIG. 5 is a schematic exploded perspective view showing a first support member according to the embodiment. 図6は、実施の形態に係る第1支持部材及び第2支持部材を示す概略斜視図である。FIG. 6 is a schematic perspective view showing a first support member and a second support member according to the embodiment. 図7は、実施の形態に係る部品圧着装置の処理手順を示すフローチャートである。FIG. 7 is a flowchart showing a processing procedure of the component crimping device according to the embodiment.

以下では、本発明の実施の形態に係る部品圧着装置等について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、いずれも本発明の一具体例を示すものである。したがって、以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置及び接続形態、ステップ及びステップの順序等は、一例であり、本発明を限定する趣旨ではない。よって、以下の実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。 The following describes in detail the component crimping device and the like according to the embodiments of the present invention with reference to the drawings. Note that each of the embodiments described below shows a specific example of the present invention. Therefore, the numerical values, shapes, materials, components, the arrangement and connection of the components, steps and the order of steps shown in the following embodiments are merely examples and are not intended to limit the present invention. Therefore, among the components in the following embodiments, components that are not described in the independent claims that show the highest concept of the present invention are described as optional components.

また、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。また、各図において、同じ構成部材については同じ符号を付している。 The figures are schematic diagrams and are not necessarily precise illustrations. In each figure, the same components are given the same reference numerals.

また、本明細書及び図面において、X軸、Y軸、及び、Z軸は、三次元直交座標系の三軸を表している。X軸及びY軸は、互いに直交し、且つ、いずれもZ軸に直交する軸である。また、以下の実施の形態では、Z軸正方向を上方とし、Z軸負方向を下方として記載する場合がある。 In addition, in this specification and the drawings, the X-axis, Y-axis, and Z-axis represent the three axes of a three-dimensional Cartesian coordinate system. The X-axis and Y-axis are mutually orthogonal, and are both orthogonal to the Z-axis. In addition, in the following embodiments, the positive direction of the Z-axis may be described as upward, and the negative direction of the Z-axis may be described as downward.

また、以下で説明する、図3A、図3B、及び、図6に示すアライメントマークには、断面を示すものではないが説明のためにハッチングを付している。 Also, the alignment marks shown in Figures 3A, 3B, and 6, which will be described below, are hatched for the purpose of explanation, although they do not represent cross sections.

(実施の形態)
[部品実装ライン]
まず、実施の形態に係る部品圧着装置を含む部品実装ラインについて説明する。
(Embodiment)
[Component mounting line]
First, a component mounting line including a component crimping device according to an embodiment will be described.

図1は、実施の形態に係る部品圧着装置100を含む部品実装ライン1の概略構成図である。 Figure 1 is a schematic diagram of a component mounting line 1 including a component crimping device 100 according to an embodiment.

部品実装ライン1は、ディスプレイパネル等を生産するための部品実装システムであり、ディスプレイパネル等の基板300に複数の処理を実行する。具体的には、部品実装ライン1は、電極部310が形成された基板300に異方性導電部材であるACF330を貼着し、ACF330を介して基板300と部品340とを熱圧着させるシステムである。電極部310は、例えば、電極により構成されている。 The component mounting line 1 is a component mounting system for producing display panels and the like, and performs multiple processes on a substrate 300 such as a display panel. Specifically, the component mounting line 1 is a system that attaches an anisotropic conductive member, ACF 330, to the substrate 300 on which an electrode section 310 is formed, and thermocompresses the substrate 300 and a component 340 via the ACF 330. The electrode section 310 is, for example, composed of an electrode.

部品340は、例えば、駆動回路等が形成された電子部品であって、TCP(Tape Carrier Package)、FPC(Flexible Printed Circuits)等のフレキシブル部品が例示される。 Component 340 is, for example, an electronic component in which a drive circuit and the like are formed, and examples of such components include flexible components such as TCP (Tape Carrier Package) and FPC (Flexible Printed Circuits).

本実施の形態に係る部品圧着装置100は、ディスプレイパネル等の基板300に複数の処理を施す装置を複数備える部品実装ライン1の1つの装置である。具体的には、部品圧着装置100は、基板300にACF330を介して部品340を載置(より具体的には、仮圧着)する装置である。 The component bonding device 100 according to this embodiment is one of the devices in a component mounting line 1 that includes multiple devices that perform multiple processes on a substrate 300 such as a display panel. Specifically, the component bonding device 100 is a device that places (more specifically, temporarily bonds) a component 340 on the substrate 300 via an ACF 330.

部品実装ライン1は、基板搬入部10と、貼着部20と、部品圧着装置100と、本圧着部40と、基板搬出部50と、基板搬送装置60と、コンピュータ150(図2参照)と、を備える。 The component mounting line 1 includes a board loading section 10, a bonding section 20, a component crimping device 100, a main crimping section 40, a board unloading section 50, a board transport device 60, and a computer 150 (see Figure 2).

なお、図1においては、コンピュータ150の図示を省略している。コンピュータ150は、基板搬入部10、貼着部20、部品圧着装置100、本圧着部40、基板搬出部50、基板搬送装置60等の各装置と制御線等により通信可能に接続されており、各装置の動作、当該動作のタイミング等を制御する。 In FIG. 1, the computer 150 is not shown. The computer 150 is communicatively connected to each device, such as the board loading section 10, the bonding section 20, the component crimping device 100, the main crimping section 40, the board unloading section 50, and the board transport device 60, via control lines or the like, and controls the operation of each device and the timing of the operation.

基板搬入部10は、部品実装ライン1よりも上流側に配置された上流側設備で所定の作業を終えた基板300が搬入される装置である。基板搬入部10は、ステージ11を備える。 The board loading section 10 is a device into which boards 300 that have completed a predetermined operation in an upstream facility located upstream of the component mounting line 1 are loaded. The board loading section 10 includes a stage 11.

ステージ11は、上流側設備から搬出された基板300が載置され、当該基板300を保持するステージである。 Stage 11 is a stage on which the substrate 300 transported from the upstream equipment is placed and which holds the substrate 300.

貼着部20は、基板300が有する電極部310にACF330を貼着する装置である。ACF330は、接着テープの一種であって、異方性導電フィルムをテープ状にした部材である。貼着部20は、ステージ21と、貼着ツール22と、を備える。 The adhesion unit 20 is a device that adheres the ACF 330 to the electrode portion 310 of the substrate 300. The ACF 330 is a type of adhesive tape, and is a tape-like member made of anisotropic conductive film. The adhesion unit 20 includes a stage 21 and an adhesion tool 22.

ステージ21は、基板搬入部10から搬出された基板300が載置され、載置された基板300を保持する可動なステージである。 The stage 21 is a movable stage on which the substrate 300 removed from the substrate loading section 10 is placed and which holds the placed substrate 300.

貼着ツール22は、ステージ21に保持された基板300にACF330を貼着する装置である。例えば、貼着部20は、基板300を保持したステージ21をACF330の貼着が行われる貼着位置に移動させる。また、例えば、貼着部20は、所定のサイズに切断されたACF330を貼着ツール22によって基板300に貼着する。貼着ツール22は、例えば、ACF330を供給する供給部と、ACF330を所定のサイズに切断する切断部と、ACF330を基板300に貼着する貼着ヘッドと、を備える。 The adhesion tool 22 is a device that adheres the ACF 330 to the substrate 300 held on the stage 21. For example, the adhesion unit 20 moves the stage 21 holding the substrate 300 to an adhesion position where the ACF 330 is adhered. Also, for example, the adhesion unit 20 adheres the ACF 330 cut to a predetermined size to the substrate 300 using the adhesion tool 22. The adhesion tool 22 includes, for example, a supply unit that supplies the ACF 330, a cutting unit that cuts the ACF 330 to the predetermined size, and an adhesion head that adheres the ACF 330 to the substrate 300.

部品圧着装置100は、基板300にACF330を介して部品340を載置(仮圧着)する装置である。具体的には、部品圧着装置100は、部品ステージ120(図2参照)に載置された部品340をピックアップして、基板300が有するアライメントマーク320の位置に基づいて圧着ヘッド131(図2参照)の位置合わせをして、ACF330を介して基板300に部品340を載置する。部品圧着装置100の詳細については、後述する。 The component bonding apparatus 100 is an apparatus that places (temporarily bonds) a component 340 on a substrate 300 via an ACF 330. Specifically, the component bonding apparatus 100 picks up a component 340 placed on a component stage 120 (see FIG. 2), aligns a bonding head 131 (see FIG. 2) based on the position of an alignment mark 320 on the substrate 300, and places the component 340 on the substrate 300 via the ACF 330. Details of the component bonding apparatus 100 will be described later.

本圧着部40は、基板300に仮圧着された部品340を熱圧着(本圧着)する装置である。具体的には、本圧着部40は、ACF330と共に部品340を熱圧着(本圧着)して基板300(より具体的には、電極部310)と部品340との電気的な導通を確保する。本圧着部40は、例えば、ステージ41と、圧着ツール42と、を備える。 The final bonding unit 40 is a device that performs thermocompression bonding (final bonding) of the component 340 that has been temporarily bonded to the substrate 300. Specifically, the final bonding unit 40 performs thermocompression bonding (final bonding) of the component 340 together with the ACF 330 to ensure electrical continuity between the substrate 300 (more specifically, the electrode unit 310) and the component 340. The final bonding unit 40 includes, for example, a stage 41 and a bonding tool 42.

ステージ41は、部品圧着装置100から搬出された基板300が載置され、載置された基板300を保持する可動なステージである。 The stage 41 is a movable stage on which the substrate 300 removed from the component crimping device 100 is placed and which holds the placed substrate 300.

圧着ツール42は、ステージ41に保持された基板300に仮圧着された部品340を熱圧着(本圧着)する装置である。例えば、本圧着部40は、基板300を保持したステージ41を部品340の貼着が行われる本圧着位置に移動させる。また、例えば、本圧着部40は、圧着ツール42によってACF330を介して基板300に部品を加熱しながら押し付けて熱圧着する。圧着ツール42は、例えば、圧着ヘッドと、当該圧着ヘッドを加熱するヒータ等の加熱部と、を備える。 The bonding tool 42 is a device that performs thermocompression bonding (main bonding) of the component 340 that has been temporarily bonded to the substrate 300 held on the stage 41. For example, the main bonding unit 40 moves the stage 41 holding the substrate 300 to a main bonding position where the component 340 is attached. Also, for example, the main bonding unit 40 uses the bonding tool 42 to heat and press the component against the substrate 300 via the ACF 330 to perform thermocompression bonding. The bonding tool 42 includes, for example, a bonding head and a heating unit such as a heater that heats the bonding head.

基板搬出部50は、本圧着部40によって部品340が本圧着された基板300を部品実装ライン1の下流に配置された下流側設備へ搬出するための装置である。基板搬出部50は、ステージ51を備える。 The board unloading section 50 is a device for unloading the board 300 to which the components 340 have been fully compressed by the full compression bonding section 40 to downstream equipment located downstream of the component mounting line 1. The board unloading section 50 includes a stage 51.

ステージ51は、本圧着部40から搬出された基板300が載置され、載置された基板300を保持するステージである。ステージ51に保持された基板300は、例えば、基板搬送装置60によってステージ51から取り出されて部品実装ライン1の下流側設備に搬出される。 The stage 51 is a stage on which the substrate 300 removed from the main pressure bonding section 40 is placed and which holds the placed substrate 300. The substrate 300 held on the stage 51 is removed from the stage 51 by, for example, the substrate transport device 60 and is carried out to downstream equipment on the component mounting line 1.

部品実装ライン1では、基板搬入部10、貼着部20、部品圧着装置100、本圧着部40、及び、基板搬出部50は、この順で連結されている。基板搬送装置60は、各装置で処理が終了した基板300を次の工程に搬送する。基板搬送装置60は、例えば、基板300を吸着して保持する吸着ノズルと、当該吸着ノズルを移動させるモータ及びガイドと、を備える。 In the component mounting line 1, the board loading section 10, the bonding section 20, the component crimping device 100, the main crimping section 40, and the board unloading section 50 are connected in this order. The board transport device 60 transports the board 300 that has been processed in each device to the next process. The board transport device 60 includes, for example, a suction nozzle that suctions and holds the board 300, and a motor and guide that move the suction nozzle.

コンピュータ150は、部品圧着装置100を含む部品実装ライン1の各装置の動作を制御する制御装置である。具体的には、コンピュータ150は、例えば、部品実装ライン1が備える、貼着部20、部品圧着装置100、本圧着部40、及び、基板搬送装置60等の各装置と図示しない制御線等により通信可能に接続されており、当該各装置の動作、当該動作のタイミング等を制御する。例えば、コンピュータ150は、貼着部20、部品圧着装置100、及び、本圧着部40を制御することで、各装置に基板300に対して上記した貼着、仮圧着、及び、本圧着等の所定の作業を実行し、基板搬送装置60を制御することで、基板300を部品実装ライン1が備える各装置間で次の工程へ搬送する基板搬送作業を実行する。コンピュータ150は、上流側から下流側への基板300の搬送を、部品実装ライン1が備える各装置間で同期して行う。 The computer 150 is a control device that controls the operation of each device in the component mounting line 1, including the component crimping device 100. Specifically, the computer 150 is communicatively connected to each device, such as the attachment unit 20, the component crimping device 100, the main crimping unit 40, and the board transport device 60, provided in the component mounting line 1, via a control line (not shown) or the like, and controls the operation of each device and the timing of the operation. For example, the computer 150 controls the attachment unit 20, the component crimping device 100, and the main crimping unit 40 to cause each device to perform the above-mentioned predetermined operations such as attachment, temporary crimping, and main crimping on the board 300, and controls the board transport device 60 to perform a board transport operation that transports the board 300 to the next process between each device provided in the component mounting line 1. The computer 150 transports the board 300 from the upstream side to the downstream side in synchronization with each device provided in the component mounting line 1.

コンピュータ150は、例えば、貼着部20、部品圧着装置100、本圧着部40、及び、基板搬送装置60等と通信するための通信インターフェース、プログラムが格納された不揮発性メモリ、プログラムを実行するための一時的な記憶領域である揮発性メモリ、信号の送受信をするための入出力ポート、プログラムを実行するプロセッサ等で実現される。 The computer 150 is realized by, for example, a communication interface for communicating with the bonding unit 20, the component crimping device 100, the main crimping unit 40, and the substrate transport device 60, etc., a non-volatile memory in which a program is stored, a volatile memory which is a temporary storage area for executing the program, an input/output port for sending and receiving signals, a processor for executing the program, etc.

[部品圧着装置]
続いて、部品圧着装置100について詳細に説明する。
[Component crimping device]
Next, the component crimping device 100 will be described in detail.

図2は、実施の形態に係る部品圧着装置100を示す概略側面図である。なお、図2には、コンピュータ150及び圧着ヘッド移動機構132を機能的なブロックとして示している。コンピュータ150は、部品圧着装置100が備える各装置と図示しない制御線等により通信可能に接続されている。 Figure 2 is a schematic side view showing the component crimping device 100 according to an embodiment. Note that in Figure 2, the computer 150 and the crimping head moving mechanism 132 are shown as functional blocks. The computer 150 is communicatively connected to each device of the component crimping device 100 via a control line or the like (not shown).

部品圧着装置100は、アライメントマーク320を有する基板300における圧着対象部位に部品340を圧着する装置である。本実施の形態では、部品圧着装置100は、部品圧着装置100の上流に位置する貼着部20でACF330の基板300への貼り付けがなされた基板300の圧着対象部位であるACF330が貼着されている位置に部品340を仮圧着する。 The component crimping device 100 is a device that crimps a component 340 to a crimping target portion of a substrate 300 having an alignment mark 320. In this embodiment, the component crimping device 100 pre-cracks the component 340 to a position where the ACF 330 is attached, which is the crimping target portion of the substrate 300 where the ACF 330 is attached by an attachment unit 20 located upstream of the component crimping device 100.

部品圧着装置100は、ステージ110と、ステージ移動部111と、部品ステージ120と、圧着ツール130と、撮像部140と、コンピュータ150と、下受け部200と、を備える。 The component crimping device 100 includes a stage 110, a stage moving unit 111, a component stage 120, a crimping tool 130, an imaging unit 140, a computer 150, and a support unit 200.

ステージ110は、基板300が載置されるステージである。例えば、ステージ110には、基板搬送装置60によって貼着部20が備えるステージ21に載置された、ACF330が貼着された基板300が搬送されて載置される。ステージ110には、ACF330が貼着されている基板300の外縁部が上面視でステージ110からはみ出た状態で、基板300が載置される。 The stage 110 is a stage on which the substrate 300 is placed. For example, the substrate 300 to which the ACF 330 is attached is transported and placed on the stage 110 by the substrate transport device 60 and placed on the stage 21 of the attachment unit 20. The substrate 300 is placed on the stage 110 with the outer edge of the substrate 300 to which the ACF 330 is attached extending beyond the stage 110 when viewed from above.

ステージ移動部111は、ステージ110を移動させる駆動装置である。ステージ移動部111は、例えば、ステージ110をX軸方向、Y軸方向、及び、Z軸方向に移動させることができる構成となっている。例えば、ステージ移動部111は、基板搬送装置60によって貼着部20から搬送されてきた基板300をステージ110に載置させることができる位置までステージ110を移動させる。また、例えば、ステージ移動部111は、圧着ヘッド131が部品340を基板300に貼着されているACF330に仮圧着させることができる位置まで基板300を移動させる。 The stage moving unit 111 is a driving device that moves the stage 110. The stage moving unit 111 is configured to be able to move the stage 110 in, for example, the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction. For example, the stage moving unit 111 moves the stage 110 to a position where the substrate 300 transported from the bonding unit 20 by the substrate transport device 60 can be placed on the stage 110. Also, for example, the stage moving unit 111 moves the substrate 300 to a position where the bonding head 131 can temporarily bond the component 340 to the ACF 330 attached to the substrate 300.

ステージ移動部111は、例えば、ステージ110をXY平面で任意に移動可能に構成されているとともにZ軸方向に昇降可能に構成されているコンベアである。 The stage moving unit 111 is, for example, a conveyor that is configured to be able to move the stage 110 arbitrarily in the XY plane and to be able to move up and down in the Z-axis direction.

部品ステージ120は、基板300に圧着される部品340が実装されるステージである。 The component stage 120 is the stage on which the component 340 to be pressure-bonded to the substrate 300 is mounted.

圧着ツール130は、部品ステージ120に載置された部品340をピックアップして基板300に圧着する装置である。具体的には、撮像部140で撮像したアライメントマーク320の位置に基づいて、基板300が有する圧着対象部位に部品340を圧着する。 The bonding tool 130 is a device that picks up the component 340 placed on the component stage 120 and bonds it to the substrate 300. Specifically, the component 340 is bonded to the bonding target portion of the substrate 300 based on the position of the alignment mark 320 captured by the imaging unit 140.

圧着ツール130は、例えば、圧着ヘッド131と、圧着ヘッド移動機構132と、を備える。 The crimping tool 130 includes, for example, a crimping head 131 and a crimping head moving mechanism 132.

圧着ヘッド131は、部品ステージ120に載置された部品340をピックアップし、ピックアップした部品340を、基板300に貼着されたACF330を介して基板300に圧着するヘッドである。圧着ヘッド131は、例えば、真空吸着することにより部品340をピックアップする。 The bonding head 131 is a head that picks up the component 340 placed on the component stage 120 and presses the picked-up component 340 onto the substrate 300 via the ACF 330 attached to the substrate 300. The bonding head 131 picks up the component 340, for example, by vacuum suction.

また、圧着ヘッド131は、電熱線又はペルチェ素子等のヒータを有し、当該ヒータによって、圧着ヘッド131に保持されている部品340は、基板300に仮圧着される前に所定温度まで加熱される。圧着ヘッド131は、当該ヒータによって加熱された状態で、基板300に貼着されたACF330を介して部品340を加熱しながら基板300に押圧する。こうすることで、圧着ヘッド131から生じる熱によってACF330が硬化されながら、基板300には、部品340が仮圧着される。 The bonding head 131 also has a heater such as an electric heating wire or a Peltier element, and the heater heats the component 340 held by the bonding head 131 to a predetermined temperature before the component 340 is pre-bonded to the substrate 300. While being heated by the heater, the bonding head 131 presses the component 340 against the substrate 300 while heating the component 340 via the ACF 330 attached to the substrate 300. In this way, the component 340 is pre-bonded to the substrate 300 while the ACF 330 is hardened by the heat generated by the bonding head 131.

圧着ヘッド131は、例えば、上記したヒータ等の加熱部と、部品340を吸着して保持可能な吸着ノズルとにより実現される。 The bonding head 131 is realized, for example, by a heating unit such as the heater described above and a suction nozzle capable of suctioning and holding the component 340.

なお、圧着ヘッド131による部品340の保持方法は、真空吸着でなくてもよく、特に限定されない。 The method of holding the component 340 by the crimping head 131 does not have to be vacuum suction and is not particularly limited.

圧着ヘッド移動機構132は、圧着ヘッド131を移動させるための装置である。例えば、圧着ヘッド移動機構132は、部品ステージ120に載置された部品340をピックアップできる位置に圧着ヘッド131を移動させる。次に、圧着ヘッド移動機構132は、圧着ヘッド131が部品340をピックアップした後に、基板300が有するアライメントマーク320の位置に基づいて、圧着ヘッド131を移動させて、基板300の圧着対象部位に部品340を圧着させる。アライメントマーク320の位置は、撮像部140によって基板300が撮像されることで認識される。 The bonding head moving mechanism 132 is a device for moving the bonding head 131. For example, the bonding head moving mechanism 132 moves the bonding head 131 to a position where the component 340 placed on the component stage 120 can be picked up. Next, after the bonding head 131 picks up the component 340, the bonding head moving mechanism 132 moves the bonding head 131 based on the position of the alignment mark 320 on the substrate 300, and compresses the component 340 to the bonding target portion of the substrate 300. The position of the alignment mark 320 is recognized by the imaging unit 140 capturing an image of the substrate 300.

圧着ヘッド移動機構132は、例えば、ガイドと、モータとによって実現される。 The crimping head moving mechanism 132 is realized, for example, by a guide and a motor.

撮像部140は、基板300のアライメントマーク320の位置を識別するためのカメラである。撮像部140は、例えば、基板300の下方側から基板300を撮像することで、基板300が有するアライメントマーク320を含む画像を生成する。例えば、コンピュータ150は、撮像部140が生成した画像を画像解析することで、アライメントマーク320の位置を特定し、特定したアライメントマーク320の位置に基づいて、基板300における部品340の圧着対象部位に、圧着ツール130に部品340を圧着させる。 The imaging unit 140 is a camera for identifying the position of the alignment mark 320 on the substrate 300. The imaging unit 140 generates an image including the alignment mark 320 on the substrate 300, for example, by capturing an image of the substrate 300 from the lower side of the substrate 300. For example, the computer 150 identifies the position of the alignment mark 320 by performing image analysis on the image generated by the imaging unit 140, and causes the crimping tool 130 to crimp the component 340 to the crimping target portion of the component 340 on the substrate 300 based on the identified position of the alignment mark 320.

コンピュータ150は、部品圧着装置100が備える各装置を制御するための装置である。具体的には、コンピュータ150は、ステージ移動部111、圧着ツール130、及び、撮像部140と図示しない制御線等により通信可能に接続されており、各装置の動作を制御する。 The computer 150 is a device for controlling each device included in the component crimping device 100. Specifically, the computer 150 is communicatively connected to the stage moving unit 111, the crimping tool 130, and the imaging unit 140 via control lines (not shown) and the like, and controls the operation of each device.

なお、コンピュータ150は、部品圧着装置100が単独で備えてもよいし、部品実装ライン1が備えるコンピュータを利用するものでもかまわない。本実施の形態では、コンピュータ150は、部品実装ライン1が備える部品圧着装置100以外の装置も制御する。コンピュータ150は、制御部151と、記憶部152と、を備える。 The computer 150 may be provided by the component crimping device 100 alone, or may use a computer provided by the component mounting line 1. In this embodiment, the computer 150 also controls devices other than the component crimping device 100 provided by the component mounting line 1. The computer 150 includes a control unit 151 and a memory unit 152.

制御部151は、ステージ移動部111、圧着ツール130、及び、撮像部140の動作を制御する処理部である。 The control unit 151 is a processing unit that controls the operation of the stage movement unit 111, the crimping tool 130, and the imaging unit 140.

例えば、制御部151は、貼着部20で基板300へのACF330の貼着処理が完了したか否かを判定し、完了したと判定した場合、基板搬送装置60を制御することで、ステージ21に載置された基板300をステージ110に搬送させる。また、制御部151は、圧着ヘッド131に部品340を部品ステージ120からピックアップさせるように、圧着ヘッド131及び圧着ヘッド移動機構132の動作を制御する。また、制御部151は、ステージ移動部111を移動させることで、下受け部200に基板300の端部を支持させて、基板300が有するアライメントマーク320を撮像部140に撮像させる。また、制御部151は、撮像部140が生成したアライメントマーク320を含む画像を画像解析することで、アライメントマーク320の位置を特定する。また、制御部151は、特定したアライメントマーク320の位置に基づいて、圧着ヘッド移動機構132を制御することで圧着ヘッド131を移動させて圧着ヘッド131によって部品340を基板300に圧着する。 For example, the control unit 151 determines whether the bonding process of the ACF 330 to the substrate 300 is completed in the bonding unit 20, and when it is determined that the process is completed, the control unit 151 controls the substrate transport device 60 to transport the substrate 300 placed on the stage 21 to the stage 110. The control unit 151 also controls the operation of the bonding head 131 and the bonding head moving mechanism 132 so that the bonding head 131 picks up the component 340 from the component stage 120. The control unit 151 also moves the stage moving unit 111 to make the lower support unit 200 support the end of the substrate 300, and makes the imaging unit 140 capture the alignment mark 320 of the substrate 300. The control unit 151 also performs image analysis on the image including the alignment mark 320 generated by the imaging unit 140 to identify the position of the alignment mark 320. In addition, the control unit 151 controls the bonding head moving mechanism 132 based on the position of the identified alignment mark 320 to move the bonding head 131, causing the bonding head 131 to bond the component 340 to the substrate 300.

制御部151は、例えば、記憶部152に記憶され、部品圧着装置100及び部品実装ライン1が有する各装置を制御するための制御プログラムと、当該制御プログラムを実行するCPU(Central Processing Unit)とにより実現される。 The control unit 151 is realized, for example, by a control program stored in the memory unit 152 for controlling the component crimping device 100 and each device of the component mounting line 1, and a CPU (Central Processing Unit) that executes the control program.

記憶部152は、基板300のサイズ、基板300に実装する部品340の種類、実装位置、実装方向、各装置の動作、当該動作のタイミング、基板300を各装置間で搬送するタイミング等の部品圧着作業に必要な各種データ、制御部151が実行する制御プログラム等を記憶する記憶装置である。 The memory unit 152 is a storage device that stores various data necessary for the component crimping operation, such as the size of the substrate 300, the type of component 340 to be mounted on the substrate 300, the mounting position, the mounting direction, the operation of each device, the timing of the operation, the timing of transporting the substrate 300 between each device, and the control program executed by the control unit 151.

記憶部152は、例えば、ROM(Read Only Memory)、RAM(Random Access Memory)等のメモリにより実現される。 The storage unit 152 is realized by a memory such as a ROM (Read Only Memory) or a RAM (Random Access Memory).

下受け部200は、アライメントマーク320を有する基板300を基板300の下面側から支持する、いわゆるバックアップステージである。具体的には、下受け部200は、圧着ヘッド131が部品340を基板300に圧着する際に、基板300の圧着される部分である部品圧着部位、すなわち、ACF330が貼着されている基板300の外縁部であって、ステージ110から上面視ではみ出た基板300の部分を基板300の裏側(下側)から支持する。 The lower support unit 200 is a so-called backup stage that supports the substrate 300 having the alignment mark 320 from the underside of the substrate 300. Specifically, the lower support unit 200 supports the component crimping portion, which is the portion of the substrate 300 that is crimped when the crimping head 131 crimps the component 340 onto the substrate 300, from the back side (lower side) of the substrate 300, that is, the outer edge of the substrate 300 to which the ACF 330 is attached and that protrudes from the stage 110 when viewed from above.

[下受け部]
続いて、下受け部200の構成について詳細に説明する。
[Lower support part]
Next, the configuration of the lower support part 200 will be described in detail.

図3Aは、実施の形態に係る下受け部200の一例を示す概略上面図である。なお、図3Aにおいては、基板300を破線で示しており、基板300と上面視で重なり且つ基板300の下方に位置する構成要素を実線で示している。 Figure 3A is a schematic top view showing an example of the support part 200 according to the embodiment. In Figure 3A, the substrate 300 is shown with a dashed line, and components that overlap the substrate 300 in a top view and are located below the substrate 300 are shown with a solid line.

下受け部200は、本体部210と、ねじ211と、第1支持部材220と、第2支持部材230と、貫通部240と、隙間部250と、支持面260~263と、を有する。 The lower support portion 200 has a main body portion 210, a screw 211, a first support member 220, a second support member 230, a through portion 240, a gap portion 250, and support surfaces 260 to 263.

本体部210は、第1支持部材220及び第2支持部材230を支持するための支持体である。第1支持部材220及び第2支持部材230は、それぞれ、ねじ211によって本体部210にスライド可能に支持されている。本実施の形態では、第1支持部材220及び第2支持部材230は、それぞれ、X軸方向にスライド可能となっている。 The main body 210 is a support for supporting the first support member 220 and the second support member 230. The first support member 220 and the second support member 230 are each slidably supported on the main body 210 by screws 211. In this embodiment, the first support member 220 and the second support member 230 are each slidable in the X-axis direction.

第1支持部材220及び第2支持部材230は、それぞれ、本体部210にスライド可能に設けられ、基板300を基板300の下面側から支持する部材である。第1支持部材220と第2支持部材230とは、スライド可能な方向(本実施の形態では、X軸方向)に並んで配置されている。また、第1支持部材220と第2支持部材230とは、隙間部250によって離間して配置されている。また、本実施の形態では、第1支持部材220と第2支持部材230とは、上面視した場合にY軸対称な構造となっている。 The first support member 220 and the second support member 230 are each slidably mounted on the main body 210 and support the substrate 300 from the underside of the substrate 300. The first support member 220 and the second support member 230 are arranged side by side in the sliding direction (the X-axis direction in this embodiment). The first support member 220 and the second support member 230 are also arranged apart by a gap 250. In this embodiment, the first support member 220 and the second support member 230 are structured to be symmetrical about the Y-axis when viewed from above.

貫通部240は、基板300を下方から基板300が有するアライメントマーク320を撮像するための貫通孔である。本実施の形態では、貫通部240は、第1支持部材220及び第2支持部材230の両方に設けられている。具体的には、貫通部240は、後述する支持面260~263を貫通するように、下受け部200に設けられている。撮像部140は、支持面260~263で支持されている基板300のアライメントマーク320を、貫通部240を介して撮像する。 The through-hole 240 is a through-hole for imaging the alignment mark 320 of the substrate 300 from below. In this embodiment, the through-hole 240 is provided in both the first support member 220 and the second support member 230. Specifically, the through-hole 240 is provided in the lower support part 200 so as to penetrate the support surfaces 260 to 263 described below. The imaging unit 140 images the alignment mark 320 of the substrate 300 supported by the support surfaces 260 to 263 through the through-hole 240.

貫通部240は、それぞれが支持面を貫通し、互いに間隔をあけて配置される第1貫通部241及び第2貫通部242を含む。具体的に例えば、第1支持部材220は、第1貫通部241を有し、第2支持部材230は、第2貫通部242を有する。より具体的には、第1貫通部241は、支持面260と支持面と261を貫通するように、第1支持部材220に設けられている。また、第2貫通部242は、支持面262と支持面と263を貫通するように、第2支持部材230に設けられている。 The through-holes 240 include a first through-hole 241 and a second through-hole 242 that each penetrate the support surface and are spaced apart from each other. Specifically, for example, the first support member 220 has the first through-hole 241, and the second support member 230 has the second through-hole 242. More specifically, the first through-hole 241 is provided in the first support member 220 so as to penetrate between the support surfaces 260 and 261. The second through-hole 242 is provided in the second support member 230 so as to penetrate between the support surfaces 262 and 263.

隙間部250は、第1支持部材220と第2支持部材230とによって構成された、第1支持部材220と第2支持部材230との間に位置する部分である。 The gap portion 250 is a portion that is formed by the first support member 220 and the second support member 230 and is located between the first support member 220 and the second support member 230.

図3Aに示すように、上面視で矩形の基板300には、例えば、アライメントマーク320が基板300の角部近傍に設けられている。貫通部240は、アライメントマーク320と上面視で重なる位置に配置されている。また、撮像部140は、アライメントマーク320及び貫通部240と上面視で重なる位置に配置されている。これにより、撮像部140は、貫通部240を介して(通して)アライメントマーク320を撮像できる。 As shown in FIG. 3A, for example, an alignment mark 320 is provided near a corner of a rectangular substrate 300 when viewed from above. The through-hole 240 is disposed at a position overlapping the alignment mark 320 when viewed from above. The imaging unit 140 is disposed at a position overlapping the alignment mark 320 and the through-hole 240 when viewed from above. This allows the imaging unit 140 to image the alignment mark 320 through (passing) the through-hole 240.

図3Bは、実施の形態に係る下受け部200の別の一例を示す概略上面図である。 Figure 3B is a schematic top view showing another example of the lower support part 200 according to the embodiment.

ここで、基板300とは異なる基板301に部品340を圧着するとする。例えば、基板301は、基板300とサイズが異なり、アライメントマーク320が基板300と異なる位置に設けられているとする。この場合、図3Aに示す位置に貫通部240が位置していると、撮像部140は、貫通部240を介してアライメントマーク320を撮像できない。そこで、例えば、作業者は、第1支持部材220及び第2支持部材230をスライドさせることで、貫通部240の開口幅及び第1支持部材220及び第2支持部材230のピッチ(隙間部250の幅)を変えることで、貫通部240を介して撮像部140でアライメントマーク320を撮像できるようにする。つまり、下受け部200は、貫通部240の後述する開口幅W1、W2を変更可能に構成される。具体的には、下受け部200は、第1貫通部241及び第2貫通部242それぞれの開口幅W1、W2を変更可能に構成される。より具体的には、下受け部200は、第1貫通部241の開口幅W1と、第2貫通部242の開口幅W2とを、それぞれ独立して変更可能に構成される。さらに、下受け部200は、例えば、第1貫通部241と第2貫通部242との間隔(ピッチW3)を変更可能に構成される。 Here, it is assumed that the component 340 is pressure-bonded to the substrate 301, which is different from the substrate 300. For example, it is assumed that the substrate 301 is different in size from the substrate 300, and the alignment mark 320 is provided at a different position from the substrate 300. In this case, if the through-hole 240 is located at the position shown in FIG. 3A, the imaging unit 140 cannot image the alignment mark 320 through the through-hole 240. Therefore, for example, the worker can change the opening width of the through-hole 240 and the pitch (width of the gap 250) of the first support member 220 and the second support member 230 by sliding the first support member 220 and the second support member 230, so that the alignment mark 320 can be imaged by the imaging unit 140 through the through-hole 240. In other words, the lower support unit 200 is configured to be able to change the opening widths W1 and W2 of the through-hole 240, which will be described later. Specifically, the lower support portion 200 is configured to be able to change the opening widths W1, W2 of the first through portion 241 and the second through portion 242. More specifically, the lower support portion 200 is configured to be able to change the opening width W1 of the first through portion 241 and the opening width W2 of the second through portion 242 independently. Furthermore, the lower support portion 200 is configured to be able to change, for example, the interval (pitch W3) between the first through portion 241 and the second through portion 242.

図4は、開口幅W1、W2及びピッチW3の説明をするための、下受け部200の概略上面図である。 Figure 4 is a schematic top view of the lower support portion 200 to explain the opening widths W1, W2, and pitch W3.

図4に示すように、第1支持部材220は、第1支持体221と、第1支持体221に対してスライド可能に構成される第2支持体222と、を有する。第2支持体222が第1支持体221に対してスライド可能に構成されることで、下受け部200の開口幅が変更可能となっている。具体的には、第2支持体222が第1支持体221に対してスライド可能に構成されることで、貫通部240に含まれる第1貫通部241の開口幅W1が変更可能となっている。 As shown in FIG. 4, the first support member 220 has a first support 221 and a second support 222 configured to be slidable relative to the first support 221. The second support 222 is configured to be slidable relative to the first support 221, which makes it possible to change the opening width of the lower support 200. Specifically, the second support 222 is configured to be slidable relative to the first support 221, which makes it possible to change the opening width W1 of the first penetration portion 241 included in the penetration portion 240.

第1支持体221は、本体部210の上面に載置され、本体部210に対してスライド可能に構成されている。また、第2支持体222は、第1支持体221の上面に載置され、第1支持体221に対してスライド可能に構成されている。 The first support 221 is placed on the upper surface of the main body 210 and is configured to be slidable relative to the main body 210. The second support 222 is placed on the upper surface of the first support 221 and is configured to be slidable relative to the first support 221.

ねじ211は、第1支持体221及び第2支持体222をスライド可能に本体部210に支持するねじである。具体的には、第1支持体221と第2支持体222とは、それぞれ、上面視した場合に少なくとも一部が重なる位置に貫通孔290が設けられている。貫通孔290は、第1支持体221及び第2支持体222がスライドする方向(本実施の形態では、X軸方向)に延在している。ねじ211は、貫通孔290に配置されている。これにより、第1支持体221と第2支持体222とはそれぞれ独立してスライド可能となっている。 The screw 211 supports the first support 221 and the second support 222 on the main body 210 so that they can slide. Specifically, the first support 221 and the second support 222 each have a through hole 290 at a position where they at least partially overlap when viewed from above. The through hole 290 extends in the direction in which the first support 221 and the second support 222 slide (the X-axis direction in this embodiment). The screw 211 is disposed in the through hole 290. This allows the first support 221 and the second support 222 to slide independently of each other.

図5は、実施の形態に係る第1支持部材220を示す概略分解斜視図である。 Figure 5 is a schematic exploded perspective view showing the first support member 220 according to the embodiment.

例えば、貫通孔290は、第1貫通孔291と、第2貫通孔292とを有する。 For example, the through hole 290 has a first through hole 291 and a second through hole 292.

第1貫通孔291は、第1支持体221に設けられた貫通孔である。 The first through hole 291 is a through hole provided in the first support 221.

第2貫通孔292は、第2支持体222に設けられた貫通孔である。 The second through hole 292 is a through hole provided in the second support 222.

第1貫通孔291と第2貫通孔292とは、上面視した場合に少なくとも一部が重なる位置に配置されている。また、ねじ211は、第1貫通孔291及び第2貫通孔292に配置されている。これにより、第1支持体221と第2支持体222とはそれぞれ独立してスライド可能となっている。 The first through hole 291 and the second through hole 292 are arranged in positions where they at least partially overlap when viewed from above. Furthermore, the screw 211 is arranged in the first through hole 291 and the second through hole 292. This allows the first support 221 and the second support 222 to slide independently of each other.

再び図4を参照し、第1貫通部241は、上面視した場合に、第1支持体221と第2支持体222との間に設けられる。つまり、第1貫通部241は、第1支持体221と第2支持体222とによって形成される、第1支持体221と第2支持体222との間の空間部分である。そのため、第1支持体221と第2支持体222とがスライドされることで、第1貫通部241の開口幅W1が変更可能となっている。 Referring again to FIG. 4, the first penetration portion 241 is provided between the first support 221 and the second support 222 when viewed from above. In other words, the first penetration portion 241 is a space portion between the first support 221 and the second support 222, which is formed by the first support 221 and the second support 222. Therefore, the opening width W1 of the first penetration portion 241 can be changed by sliding the first support 221 and the second support 222.

同様に、第2支持部材230は、第1支持体231と、第1支持体231に対してスライド可能に構成される第2支持体232と、を有する。第2支持体232が第1支持体231に対してスライド可能に構成されることで、下受け部200の開口幅が変更可能となっている。具体的には、第2支持体232が第1支持体231に対してスライド可能に構成されることで、貫通部240に含まれる第2貫通部242の開口幅W2が変更可能となっている。 Similarly, the second support member 230 has a first support 231 and a second support 232 configured to be slidable relative to the first support 231. The second support 232 is configured to be slidable relative to the first support 231, so that the opening width of the lower support 200 can be changed. Specifically, the second support 232 is configured to be slidable relative to the first support 231, so that the opening width W2 of the second penetration portion 242 included in the penetration portion 240 can be changed.

第1支持体231は、本体部210の上面に載置されている。また、第2支持体232は、第1支持体231の上面に載置されている。ねじ211は、第1支持体231及び第2支持体232をスライド可能に本体部210に支持する。具体的には、第1支持体231と第2支持体232とは、それぞれ、上面視した場合に少なくとも一部が重なる位置に貫通孔290が設けられている。貫通孔290は、第1支持体231及び第2支持体232がスライドする方向(本実施の形態では、X軸方向)に延在している。ねじ211は、貫通孔290に配置されているこれにより、第1支持体231と第2支持体232とはそれぞれ独立してスライド可能となっている。 The first support 231 is placed on the upper surface of the main body 210. The second support 232 is placed on the upper surface of the first support 231. The screw 211 supports the first support 231 and the second support 232 to the main body 210 so that they can slide. Specifically, the first support 231 and the second support 232 each have a through hole 290 at a position where they at least partially overlap when viewed from above. The through hole 290 extends in the direction in which the first support 231 and the second support 232 slide (in the present embodiment, the X-axis direction). The screw 211 is disposed in the through hole 290, and as a result, the first support 231 and the second support 232 can slide independently of each other.

また、第2貫通部242は、上面視した場合に、第1支持体231と第2支持体232との間に設けられる。つまり、第2貫通部242は、第1支持体231と第2支持体232とによって形成される、第1支持体231と第2支持体232との間の空間部分である。そのため、第1支持体231と第2支持体232とがスライドされることで、第2貫通部242の開口幅W2が変更可能となっている。 The second through-hole 242 is provided between the first support 231 and the second support 232 when viewed from above. In other words, the second through-hole 242 is a space between the first support 231 and the second support 232, which is formed by the first support 231 and the second support 232. Therefore, the opening width W2 of the second through-hole 242 can be changed by sliding the first support 231 and the second support 232.

また、第1支持部材220と第2支持部材230とがスライド可能であることにより、ピッチW3が変更可能となっている。 In addition, the first support member 220 and the second support member 230 are slidable, so that the pitch W3 can be changed.

これにより、下受け部200は、アライメントマーク320の位置、形状等によらず、適切な開口幅W1、W2、及び、ピッチW3にすることができる。 This allows the lower support portion 200 to have appropriate opening widths W1, W2, and pitch W3 regardless of the position, shape, etc. of the alignment mark 320.

図6は、実施の形態に係る第1支持部材220及び第2支持部材230を示す概略斜視図である。 Figure 6 is a schematic perspective view showing the first support member 220 and the second support member 230 according to the embodiment.

下受け部200は、アライメントマーク320を有する基板300を基板300の下面側から支持する支持面260~263を有する。 The lower support portion 200 has support surfaces 260-263 that support the substrate 300 having the alignment mark 320 from the underside of the substrate 300.

例えば、第1支持体221と第2支持体222とは、それぞれ、基板300を支持する支持面260、261を有する。具体的には、第1支持体221は、支持面260を有し、第2支持体222は、支持面261を有する。 For example, the first support 221 and the second support 222 each have a support surface 260, 261 that supports the substrate 300. Specifically, the first support 221 has a support surface 260, and the second support 222 has a support surface 261.

第1支持体221は、上方に突出する第1突出部270を有する。第1突出部270の上面が、支持面260となっている。 The first support 221 has a first protrusion 270 that protrudes upward. The upper surface of the first protrusion 270 forms the support surface 260.

また、第2支持体222は、上方に突出する第2突出部280を有する。第2突出部280の上面が、支持面261となっている。 The second support 222 also has a second protruding portion 280 that protrudes upward. The upper surface of the second protruding portion 280 serves as the support surface 261.

また、支持面260と支持面261とは、面一となっている。 In addition, support surface 260 and support surface 261 are flush with each other.

同様に、第1支持体231と第2支持体232とは、それぞれ、基板300を支持する支持面262、263を有する。 Similarly, the first support 231 and the second support 232 each have a support surface 262, 263 that supports the substrate 300.

具体的には、第1支持体231は、上方に突出する第1突出部271を有する。第1突出部271の上面が、支持面262となっている。 Specifically, the first support 231 has a first protruding portion 271 that protrudes upward. The upper surface of the first protruding portion 271 serves as the support surface 262.

また、第2支持体232は、上方に突出する第2突出部281を有する。第2突出部281の上面が、支持面263となっている。 In addition, the second support 232 has a second protruding portion 281 that protrudes upward. The upper surface of the second protruding portion 281 serves as the support surface 263.

また、第1突出部270と第2突出部280とは、第1支持体221及び第2支持体222がスライドする方向に並んで配置されている。また、支持面262と支持面263とは、面一となっている。より具体的には、支持面260と支持面261と支持面262と支持面263とは、面一となっている。 The first protrusion 270 and the second protrusion 280 are arranged side by side in the direction in which the first support 221 and the second support 222 slide. The support surface 262 and the support surface 263 are flush with each other. More specifically, the support surface 260, the support surface 261, the support surface 262, and the support surface 263 are flush with each other.

[処理手順]
続いて、実施の形態に係る部品圧着装置100の処理手順について詳細に説明する。
[Processing Procedure]
Next, a process procedure of the component crimping device 100 according to the embodiment will be described in detail.

図7は、実施の形態に係る部品圧着装置100の処理手順を示すフローチャートである。 Figure 7 is a flowchart showing the processing steps of the component crimping device 100 according to the embodiment.

まず、アライメントマーク320を有する基板300の品種を決定する(ステップS101)。ここでの品種とは、アライメントマーク320の位置ごとに予め定められた基板300の種別を意味する。 First, the type of substrate 300 having the alignment mark 320 is determined (step S101). The type here means the type of substrate 300 that is predetermined for each position of the alignment mark 320.

次に、決定した基板300の品種に応じてピッチW3を調整する(ステップS102)。具体的には、下受け部200における隙間部250のピッチW3を、ステップS101で決定した基板300の品種に基づいて調整する。 Next, the pitch W3 is adjusted according to the determined type of the substrate 300 (step S102). Specifically, the pitch W3 of the gap 250 in the lower support portion 200 is adjusted based on the type of the substrate 300 determined in step S101.

次に、決定した基板300の品種に応じて、開口幅W1、W2を調整する(ステップS103)。具体的には、下受け部200における貫通部240の開口幅W1、W2を、ステップS101で決定した基板300の品種に基づいて調整する。 Next, the opening widths W1 and W2 are adjusted according to the type of the substrate 300 determined (step S103). Specifically, the opening widths W1 and W2 of the penetration portion 240 in the lower support portion 200 are adjusted based on the type of the substrate 300 determined in step S101.

ステップS102とステップS103とは、実行される順序が逆でもよく、特に限定されない。 The order in which steps S102 and S103 are performed may be reversed, and is not particularly limited.

また、ステップS101~ステップS103は、作業者により実行されてもよいし、制御部151が実行してもよい。例えば、部品圧着装置100は、基板300の品種を識別するための識別部と、識別部による識別結果に基づいて、開口幅W1、W2及びピッチW3を調整するための調整部とを備えてもよい。例えば、識別部は、基板300を撮像することで画像を生成するカメラである。また、例えば、調整部は、第1支持部材220及び第2支持部材230をスライドさせるモータである。例えば、制御部151は、ステージ110に載置された基板300を識別部に撮像させて画像を生成させ、生成された画像を画像解析すること基板300の品種を特定し、特定した品種に基づいて調整部に、開口幅W1、W2及びピッチW3に調整させてもよい。 Steps S101 to S103 may be performed by an operator or by the control unit 151. For example, the component crimping device 100 may include an identification unit for identifying the type of the substrate 300, and an adjustment unit for adjusting the opening widths W1, W2, and pitch W3 based on the identification result by the identification unit. For example, the identification unit is a camera that generates an image by capturing an image of the substrate 300. For example, the adjustment unit is a motor that slides the first support member 220 and the second support member 230. For example, the control unit 151 may cause the identification unit to capture an image of the substrate 300 placed on the stage 110 and generate an image, analyze the generated image to identify the type of the substrate 300, and have the adjustment unit adjust the opening widths W1, W2, and pitch W3 based on the identified type.

次に、制御部151は、基板300への部品340の圧着処理を開始する。 Next, the control unit 151 starts the process of pressing the component 340 onto the substrate 300.

具体的には、基板搬送装置60を制御することで、基板搬入部10に搬入された基板300を貼着部20に搬送し、貼着部20を制御することで、基板300の電極部310にACF330を貼着する(ステップS104)。 Specifically, the substrate 300 loaded into the substrate loading section 10 is transported to the attachment section 20 by controlling the substrate transport device 60, and the attachment section 20 is controlled to attach the ACF 330 to the electrode section 310 of the substrate 300 (step S104).

次に、制御部151は、基板搬送装置60を制御することで、ACF330が貼着された基板300を部品圧着装置100に搬送し、下受け部200の支持面260~263で基板300を基板300の下面側から支持させる(ステップS105)。 Next, the control unit 151 controls the substrate transport device 60 to transport the substrate 300 with the ACF 330 attached to it to the component crimping device 100, and supports the substrate 300 from its underside on the support surfaces 260-263 of the support unit 200 (step S105).

次に、制御部151は、下受け部200に支持されている基板300のアライメントマーク320を、貫通部240を介して撮像部140に撮像させる(ステップS106)。 Next, the control unit 151 causes the imaging unit 140 to capture an image of the alignment mark 320 of the substrate 300 supported by the support unit 200 through the through-hole 240 (step S106).

次に、制御部151は、撮像部140が撮像したアライメントマーク320の位置に基づいて、圧着対象部位に部品340を圧着する(ステップS107)。具体的には、制御部151は、撮像部140が撮像することで生成した画像を画像解析することで、アライメントマーク320の位置を特定し、特定したアライメントマーク320の位置に基づいて、圧着ツール130を制御することで、基板300における圧着対象部位に部品340を圧着する。本実施の形態では、圧着対象部位は、基板300におけるACF330が貼着されている位置である。 Next, the control unit 151 presses the component 340 onto the crimping target portion based on the position of the alignment mark 320 captured by the imaging unit 140 (step S107). Specifically, the control unit 151 identifies the position of the alignment mark 320 by performing image analysis on the image captured by the imaging unit 140, and controls the crimping tool 130 based on the identified position of the alignment mark 320 to crimp the component 340 onto the crimping target portion on the substrate 300. In this embodiment, the crimping target portion is the position on the substrate 300 where the ACF 330 is affixed.

次に、制御部151は、基板搬送装置60を制御することで、部品340が圧着された基板300を本圧着部40に搬送し、搬送した基板300に圧着された部品340と基板300と本圧着する(ステップS108)。 Next, the control unit 151 controls the substrate transport device 60 to transport the substrate 300 with the component 340 bonded thereto to the full bonding unit 40, and performs full bonding between the component 340 bonded to the substrate 300 and the substrate 300 (step S108).

[効果等]
以上説明したように、実施の形態に係る部品圧着装置100は、アライメントマーク320を有する基板300を基板300の下面側から支持する支持面260~263と、支持面260~263を貫通する貫通部240と、を有する下受け部200と、支持面260~263で支持されている基板300のアライメントマーク320を、貫通部240を介して撮像する撮像部140と、撮像部140で撮像したアライメントマーク320の位置に基づいて、基板300が有する圧着対象部位に部品340を圧着する圧着ツール130と、を備える。下受け部200は、貫通部240の開口幅W1、W2を変更可能に構成される。
[Effects, etc.]
As described above, the component crimping device 100 according to the embodiment includes a lower support unit 200 having support surfaces 260-263 that support a substrate 300 having an alignment mark 320 from the lower surface side of the substrate 300, and a through-hole 240 that penetrates the support surfaces 260-263, an imaging unit 140 that images the alignment mark 320 of the substrate 300 supported by the support surfaces 260-263 through the through-hole 240, and a crimping tool 130 that crimps the component 340 to a crimping target portion of the substrate 300 based on the position of the alignment mark 320 imaged by the imaging unit 140. The lower support unit 200 is configured to be able to change the opening widths W1 and W2 of the through-hole 240.

これによれば、開口幅W1、W2が調整されることで、アライメントマーク320のサイズが異なる複数品種の基板300に部品340を圧着する部品圧着装置100の場合であっても、基板300の端部(特に、上面視における角部)が下受け部200に支持されないことを抑制できる。そのため、部品圧着装置100によれば、部品340の圧着位置が所望の位置からずれる実装ばらつきを抑制できる。 By adjusting the opening widths W1 and W2, even in the case of the component bonding device 100 bonding components 340 to multiple types of substrates 300 having different sizes of alignment marks 320, it is possible to prevent the end of the substrate 300 (particularly the corners when viewed from above) from being unsupported by the lower support portion 200. Therefore, the component bonding device 100 can prevent mounting variations in which the bonding position of the component 340 deviates from the desired position.

また、例えば、貫通部240は、それぞれが支持面を貫通し、互いに間隔をあけて配置される第1貫通部241及び第2貫通部242を含む。本実施の形態では、第1貫通部241は、支持面260と支持面と261を貫通するように設けられている。また、本実施の形態では、第2貫通部242は、支持面262と支持面と263を貫通するように設けられている。また、この場合、例えば、下受け部200は、第1貫通部241及び第2貫通部242それぞれの開口幅W1、W2を変更可能に構成される。具体的には、下受け部200は、第1貫通部241の開口幅W1と、第2貫通部242の開口幅W2とを、それぞれ独立して変更可能に構成される。 For example, the through-hole 240 includes a first through-hole 241 and a second through-hole 242 that each penetrate the support surface and are spaced apart from each other. In this embodiment, the first through-hole 241 is provided to penetrate the support surface 260 and the support surface 261. In this embodiment, the second through-hole 242 is provided to penetrate the support surface 262 and the support surface 263. In this case, for example, the lower support portion 200 is configured to be able to change the opening widths W1 and W2 of the first through-hole 241 and the second through-hole 242. Specifically, the lower support portion 200 is configured to be able to change the opening width W1 of the first through-hole 241 and the opening width W2 of the second through-hole 242 independently.

基板300には、例えば、上面視において、下受け部200に下受けされる側の端辺の2つの角部に、アライメントマーク320が設けられるように、アライメントマーク320が複数設けられている場合が多い。そのため、このような構成によれば、アライメントマーク320を複数有する基板においても、複数のアライメントマーク320のそれぞれを、貫通部240を介して基板300の下方から撮像部140で撮像することができる。 In many cases, the substrate 300 has multiple alignment marks 320, for example, at two corners of the edge that is supported by the support part 200 when viewed from above. Therefore, with this configuration, even in a substrate having multiple alignment marks 320, each of the multiple alignment marks 320 can be imaged by the imaging part 140 from below the substrate 300 through the through part 240.

また、例えば、下受け部200は、第1貫通部241と第2貫通部242との間隔(ピッチW3)を変更可能に構成される。 For example, the lower support portion 200 is configured to be able to change the distance (pitch W3) between the first through portion 241 and the second through portion 242.

これによれば、下受け部200に基板300のさらに適切な位置を支持させることができる。 This allows the support portion 200 to support the substrate 300 in a more appropriate position.

また、例えば、下受け部200は、本体部210と、本体部210にスライド可能に設けられる第1支持部材220及び第2支持部材230とを備える。例えば、第1支持部材220は、第1貫通部241を有し、第2支持部材230は、第2貫通部242を有する。 For example, the lower support portion 200 includes a main body portion 210, and a first support member 220 and a second support member 230 that are slidably provided on the main body portion 210. For example, the first support member 220 has a first penetration portion 241, and the second support member 230 has a second penetration portion 242.

これによれば、第1支持部材220と第2支持部材230と個別にスライドさせることで開口幅W1、W2及びピッチW3を簡便に調整できる。 This allows the opening widths W1, W2 and pitch W3 to be easily adjusted by sliding the first support member 220 and the second support member 230 separately.

また、例えば、第1支持部材220は、第1支持体221と、第1支持体221に対してスライド可能に構成されることで、下受け部200が有する貫通部240の開口幅(より具体的には、貫通部240に含まれる第1貫通部241の開口幅W1)を変更可能にする第2支持体222と、を有する。例えば、第1支持体221と第2支持体222とは、それぞれ支持面260、261を有する。具体的には、第1支持体221は、支持面260を有し、第2支持体222は、支持面261を有する。例えば、第1貫通部241は、第1支持体221と第2支持体222との間に設けられる。 For example, the first support member 220 has a first support 221 and a second support 222 that is configured to be slidable relative to the first support 221, thereby making it possible to change the opening width of the through-hole 240 of the lower support 200 (more specifically, the opening width W1 of the first through-hole 241 included in the through-hole 240). For example, the first support 221 and the second support 222 have support surfaces 260 and 261, respectively. Specifically, the first support 221 has the support surface 260, and the second support 222 has the support surface 261. For example, the first through-hole 241 is provided between the first support 221 and the second support 222.

これによれば、第1支持体221と第2支持体222とをスライドさせることで、簡便に開口幅W1を調整できる。 This allows the opening width W1 to be easily adjusted by sliding the first support 221 and the second support 222.

また、例えば、部品圧着装置100は、さらに、第1支持体221及び第2支持体222をスライド可能に本体部210に支持するねじ211を備える。例えば、第1支持体221は、本体部210の上面に載置され、第2支持体222は、第1支持体221の上面に載置される。また、例えば、第1支持体221と第2支持体222とは、それぞれ、上面視した場合に少なくとも一部が重なる位置に貫通孔290が設けられている。例えば、貫通孔290は、第1支持体221及び第2支持体222がスライドする方向に延在しており、ねじ211は、貫通孔290に配置されている。 For example, the component crimping device 100 further includes a screw 211 that slidably supports the first support 221 and the second support 222 on the main body 210. For example, the first support 221 is placed on the upper surface of the main body 210, and the second support 222 is placed on the upper surface of the first support 221. For example, the first support 221 and the second support 222 each have a through hole 290 at a position where they at least partially overlap when viewed from above. For example, the through hole 290 extends in the direction in which the first support 221 and the second support 222 slide, and the screw 211 is disposed in the through hole 290.

これによれば、第1支持体221及び第2支持体222がスライドする構成を簡便な構成で実現できる。 This allows the first support 221 and the second support 222 to slide in a simple configuration.

また、例えば、第1支持体221は、上方に突出する第1突出部270を有し、第2支持体222は、上方に突出する第2突出部280を有する。例えば、第1突出部270と第2突出部280とは、第1支持体221及び第2支持体222がスライドする方向に並んで配置されている。また、例えば、第1突出部270の上面(支持面260)と第2突出部の上面(支持面261)とが基板300を支持する支持面であり、面一となっている。 For example, the first support 221 has a first protruding portion 270 that protrudes upward, and the second support 222 has a second protruding portion 280 that protrudes upward. For example, the first protruding portion 270 and the second protruding portion 280 are arranged side by side in the direction in which the first support 221 and the second support 222 slide. For example, the upper surface (support surface 260) of the first protruding portion 270 and the upper surface (support surface 261) of the second protruding portion are support surfaces that support the substrate 300, and are flush with each other.

これによれば、第1支持体221と第2支持体222とが別部材であってもいずれでも基板300を適切に支持でき且つ開口幅W1を簡便に調整できる構成が実現できる。 This allows a configuration to be realized in which the substrate 300 can be appropriately supported and the opening width W1 can be easily adjusted, even if the first support 221 and the second support 222 are separate members.

また、実施の形態に係る部品圧着方法は、アライメントマーク320を有する基板300の品種を決定する決定ステップ(ステップS101)と、基板300を基板300の下面側から支持する支持面260~263と、支持面260~263を貫通する貫通部240と、を有する下受け部200における貫通部240の開口幅W1、W2を、決定ステップで決定した基板300の品種に基づいて調整する調整ステップ(ステップS103)と、支持面260~263で基板300を支持する支持ステップ(ステップS105)と、支持面260~263で支持されている基板300のアライメントマーク320を、貫通部240を介して撮像する撮像ステップ(ステップS106)と、撮像ステップで撮像したアライメントマーク320の位置に基づいて、基板300が有する圧着対象部位に部品340を圧着する圧着ステップ(ステップS107)と、を含む。 In addition, the component bonding method according to the embodiment includes a determination step (step S101) of determining the type of substrate 300 having alignment mark 320, and an adjustment step (step S102) of adjusting the opening widths W1 and W2 of through-portion 240 in under-receiving portion 200 having support surfaces 260 to 263 that support substrate 300 from the underside of substrate 300 and through-portion 240 that penetrates through support surfaces 260 to 263, based on the type of substrate 300 determined in the determination step. 03), a supporting step (step S105) of supporting the substrate 300 on the supporting surfaces 260 to 263, an imaging step (step S106) of imaging the alignment mark 320 of the substrate 300 supported on the supporting surfaces 260 to 263 through the through-hole 240, and a crimping step (step S107) of crimping the component 340 to the crimping target portion of the substrate 300 based on the position of the alignment mark 320 imaged in the imaging step.

これによれば、部品圧着装置100と同様の効果を奏する。 This provides the same effect as the component crimping device 100.

(その他の実施の形態)
以上、本実施の形態に係る部品圧着装置等について、上記実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。
(Other embodiments)
Although the component crimping device and the like according to the present embodiment have been described above based on the above embodiment, the present invention is not limited to the above embodiment.

例えば、基板300は、透光性を有し、上面にアライメントマーク320を有する。これにより、基板300の下方から撮像部140が撮像してもアライメントマーク320を撮像できる。もちろん、基板300は、下面にアライメントマーク320を有してもよい。この場合、基板300は、透光性を有してもよいし、有さなくてもよい。 For example, the substrate 300 is light-transmitting and has an alignment mark 320 on its upper surface. This allows the alignment mark 320 to be imaged even if the imaging unit 140 captures an image from below the substrate 300. Of course, the substrate 300 may have the alignment mark 320 on its lower surface. In this case, the substrate 300 may or may not be light-transmitting.

また、例えば、上記実施の形態では、コンピュータ150の構成要素の全部又は一部は、専用のハードウェアで構成されてもよく、或いは、各構成要素に適したソフトウェアプログラムを実行することによって実現されてもよい。各構成要素は、CPU(Central Processing Unit)又はプロセッサ等のプログラム実行部が、HDD(Hard Disk Drive)又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現されてもよい。 Also, for example, in the above embodiment, all or some of the components of computer 150 may be configured with dedicated hardware, or may be realized by executing a software program suitable for each component. Each component may be realized by a program execution unit such as a CPU (Central Processing Unit) or a processor reading and executing a software program recorded on a recording medium such as a HDD (Hard Disk Drive) or a semiconductor memory.

また、コンピュータ150の構成要素は、1つ又は複数の電子回路で構成されてもよい。1つ又は複数の電子回路は、それぞれ、汎用的な回路でもよいし、専用の回路でもよい。 Furthermore, the components of computer 150 may be composed of one or more electronic circuits. Each of the one or more electronic circuits may be a general-purpose circuit or a dedicated circuit.

1つ又は複数の電子回路には、例えば、半導体装置、IC(Integrated Circuit)又はLSI(Large Scale Integration)等が含まれてもよい。IC又はLSIは、1つのチップに集積されてもよく、複数のチップに集積されてもよい。ここでは、IC又はLSIと呼んでいるが、集積の度合いによって呼び方が変わり、システムLSI、VLSI(Very Large Scale Integration)、又は、ULSI(Ultra Large Scale Integration)と呼ばれるかもしれない。また、LSIの製造後にプログラムされるFPGA(Field Programmable Gate Array)も同じ目的で使うことができる。 The one or more electronic circuits may include, for example, a semiconductor device, an integrated circuit (IC), or a large scale integration (LSI). The IC or LSI may be integrated into one chip or into multiple chips. Here, we refer to it as an IC or an LSI, but depending on the degree of integration, it may be called a system LSI, a very large scale integration (VLSI), or an ultra large scale integration (ULSI). Also, a field programmable gate array (FPGA) that is programmed after the LSI is manufactured can be used for the same purpose.

その他、各実施の形態に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態や、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で各実施の形態における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本発明に含まれる。 In addition, the present invention also includes forms obtained by applying various modifications to each embodiment that a person skilled in the art may conceive, and forms realized by arbitrarily combining the components and functions of each embodiment within the scope of the spirit of the present invention.

本発明は、ディスプレイパネルを生産する部品実装ライン等が有する、基板に部品を仮圧着させる部品圧着装置に利用可能である。 The present invention can be used in component bonding devices that temporarily bond components to substrates, such as those found on component mounting lines that produce display panels.

1 部品実装ライン
10 基板搬入部
11、21、41、51、110 ステージ
20 貼着部
22 貼着ツール
40 本圧着部
42、130 圧着ツール
50 基板搬出部
60 基板搬送装置
100 部品圧着装置
111 ステージ移動部
120 部品ステージ
131 圧着ヘッド
132 圧着ヘッド移動機構
140 撮像部
150 コンピュータ
151 制御部
152 記憶部
200 下受け部
210 本体部
211 ねじ
220 第1支持部材
221、231 第1支持体
222、232 第2支持体
230 第2支持部材
240 貫通部
241 第1貫通部
242 第2貫通部
250 隙間部
260、261、262、263 支持面
270、271 第1突出部
280、281 第2突出部
290 貫通孔
291 第1貫通孔
292 第2貫通孔
300、301 基板
310 電極部
320 アライメントマーク
330 ACF
340 部品
W1、W2 開口幅
W3 ピッチ
REFERENCE SIGNS LIST 1 Component mounting line 10 Substrate loading section 11, 21, 41, 51, 110 Stage 20 Bonding section 22 Bonding tool 40 Main bonding section 42, 130 Bonding tool 50 Substrate unloading section 60 Substrate transport device 100 Component bonding device 111 Stage moving section 120 Component stage 131 Bonding head 132 Bonding head moving mechanism 140 Imaging section 150 Computer 151 Control section 152 Memory section 200 Under-support section 210 Main body section 211 Screw 220 First support member 221, 231 First support 222, 232 Second support 230 Second support member 240 Penetration section 241 First penetration section 242 Second penetration section 250 Gap section 260, 261, 262, 263 Support surface 270, 271 First protrusion 280, 281 Second protrusion 290 Through hole 291 First through hole 292 Second through hole 300, 301 Substrate 310 Electrode portion 320 Alignment mark 330 ACF
340 Part W1, W2 Opening width W3 Pitch

Claims (5)

アライメントマークを有する基板を前記基板の下面側から支持する支持面と、前記支持面を貫通する貫通部と、を有する下受け部と、
前記支持面で支持されている前記基板の前記アライメントマークを、前記貫通部を介して撮像する撮像部と、
前記撮像部で撮像した前記アライメントマークの位置に基づいて、前記基板が有する圧着対象部位に部品を圧着する圧着ツールと、を備え、
前記貫通部は、それぞれが前記支持面を貫通し、互いに間隔をあけて配置される第1貫通部及び第2貫通部を含み、
前記下受け部は、本体部と、前記本体部にスライド可能に設けられる第1支持部材及び第2支持部材とを備え、
前記第1支持部材は、前記第1貫通部を有し、
前記第2支持部材は、前記第2貫通部を有し、
前記下受け部は、前記第1貫通部及び前記第2貫通部それぞれの開口幅を変更可能に構成される、
部品圧着装置。
a lower support portion having a support surface that supports a substrate having an alignment mark from a lower surface side of the substrate and a through portion that penetrates the support surface;
an imaging unit that images the alignment mark of the substrate supported by the support surface through the through-hole;
a bonding tool that bond a component to a bonding target portion of the substrate based on the position of the alignment mark imaged by the imaging unit,
The through-holes include a first through-hole and a second through-hole, each of which passes through the support surface and is spaced apart from each other;
The lower support portion includes a main body portion, and a first support member and a second support member slidably provided on the main body portion,
The first support member has the first penetrating portion,
The second support member has the second penetrating portion,
The lower receiving portion is configured to be able to change the opening widths of the first through portion and the second through portion.
Component crimping device.
前記下受け部は、前記第1貫通部と前記第2貫通部との前記間隔を変更可能に構成される、
請求項に記載の部品圧着装置。
The lower receiving portion is configured to be able to change the interval between the first through portion and the second through portion.
The component crimping device according to claim 1 .
前記第1支持部材は、第1支持体と、前記第1支持体に対してスライド可能に構成されることで、前記開口幅を変更可能にする第2支持体と、を有し、
前記第1支持体と前記第2支持体とは、それぞれ前記支持面を有し、
前記第1貫通部は、前記第1支持体と前記第2支持体との間に設けられる、
請求項1又は2に記載の部品圧着装置。
The first support member has a first support and a second support configured to be slidable relative to the first support, thereby making the opening width changeable,
the first support and the second support each have a support surface;
The first penetrating portion is provided between the first support and the second support.
3. The component crimping device according to claim 1 or 2 .
さらに、前記第1支持体及び前記第2支持体をスライド可能に本体部に支持するねじを備え、
前記第1支持体は、前記本体部の上面に載置され、
前記第2支持体は、前記第1支持体の上面に載置され、
前記第1支持体と前記第2支持体とは、それぞれ、上面視した場合に少なくとも一部が重なる位置に貫通孔が設けられており、
前記貫通孔は、前記第1支持体及び前記第2支持体がスライドする方向に延在しており、
前記ねじは、前記貫通孔に配置されている、
請求項に記載の部品圧着装置。
a screw for slidably supporting the first support and the second support on a main body portion,
The first support is placed on an upper surface of the main body,
the second support is placed on an upper surface of the first support,
the first support and the second support are each provided with a through hole at a position where they at least partially overlap when viewed from above,
the through hole extends in a direction in which the first support and the second support slide,
The screw is disposed in the through hole.
The component crimping device according to claim 3 .
前記第1支持体は、上方に突出する第1突出部を有し、
前記第2支持体は、上方に突出する第2突出部を有し、
前記第1突出部と前記第2突出部とは、前記第1支持体及び前記第2支持体がスライドする方向に並んで配置され、
前記第1突出部の上面と前記第2突出部の上面とが前記支持面であり、面一となっている、
請求項3又は4に記載の部品圧着装置。
The first support has a first protruding portion that protrudes upward,
The second support has a second protruding portion that protrudes upward,
the first protrusion and the second protrusion are arranged side by side in a direction in which the first support and the second support slide,
The upper surface of the first protrusion and the upper surface of the second protrusion are the support surface and are flush with each other.
5. The component crimping device according to claim 3 or 4 .
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