JP7620861B2 - Parts mounting equipment - Google Patents
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Description
本開示は、部品搭載装置に関する。 This disclosure relates to a component mounting device.
吸着ノズルから真空吸引する真空吸引系の異常の有無を簡便な方法で検出することができる電子部品実装装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。この電子部品実装装置は、吸着ノズルによって電子部品を真空吸着によりピックアップして基板に実装する。電子部品実装装置は、真空吸引回路をオンオフする真空バルブの異常を検出する際に、移載ヘッドの吸着ノズル装着状態を異常検出用の特定条件に設定した状態で、真空吸引源を駆動して真空吸引しながら真空吸引回路に介設された流量センサによって流量の経時的変化を示す流量パターンを求め、この流量パターンに基づいて真空吸引系の真空バルブの異常の有無を判定する。これにより、真空バルブを取り外すことなく簡便な方法で真空バルブの異常の有無を検出することができる。 An electronic component mounting device has been proposed that can easily detect the presence or absence of an abnormality in the vacuum suction system that sucks the electronic component from the suction nozzle (see, for example, Patent Document 1). This electronic component mounting device picks up electronic components by vacuum suction with a suction nozzle and mounts them on a board. When detecting an abnormality in the vacuum valve that turns the vacuum suction circuit on and off, the electronic component mounting device sets the suction nozzle mounting state of the transfer head to a specific condition for abnormality detection, drives the vacuum suction source to perform vacuum suction, and obtains a flow rate pattern that indicates the change in flow rate over time using a flow rate sensor interposed in the vacuum suction circuit, and determines the presence or absence of an abnormality in the vacuum valve of the vacuum suction system based on this flow rate pattern. This makes it possible to easily detect the presence or absence of an abnormality in the vacuum valve without removing the vacuum valve.
特許文献1では、装着部に吸着ノズルが装着されていないなどの特定条件でのメンテナンス時にヘッド診断を実行する真空吸引系の異常検出機能はある。しかし、特許文献1の構成では、真空吸引系において発生頻度が低い異常は検出することが困難である。そのため、例えばメンテナンス時ではない自動運転時には、実装不良あるいは吸着・装着エラー等の結果により間接的に真空吸引系の不具合を発見するしかなく、真空吸引系の不具合を直接的に調べる術はなかった。このため、稀に発生する真空異常による吸着不具合などは検出することが困難であった。そして、真空ポンプ異常、ノズルフィルタつまり等、真空吸引系の異常検出が遅延すれば、吸着エラーあるいは部品落下等の生じる確率が高まり、実装品質が確保しにくくなる可能性がある。
In
本開示は、上述した従来の状況に鑑みて案出され、真空吸引系の異常を直接的かつ早期に発見し、部品の実装品質を確保できる部品搭載装置を提供することを目的とする。 The present disclosure was devised in consideration of the above-mentioned conventional situation, and aims to provide a component mounting device that can directly and early detect abnormalities in the vacuum suction system and ensure the mounting quality of components.
本開示は、搭載ヘッドに備えた吸着ノズルの真空吸着により部品供給部からピックアップされた部品を基板に搭載する部品搭載装置であって、前記吸着ノズルの先端部に設けられたノズル開口と真空経路を通じて接続された負圧源と、前記部品搭載装置の自動運転時に前記真空経路の流量を少なくとも取得する流量取得部と、前記流量取得部が取得した前記自動運転時における前記流量の一定時間分の経時的変化に基づき前記部品を吸着するための真空吸引系の状態を判定する判定部と、前記流量の閾値と、前記制御部が前記真空バルブを開く時点を始点とする第1の時間とを記憶する記憶部と、前記真空経路上に設けられた真空バルブと、前記真空バルブの開閉を少なくとも制御する制御部と、を備え、前記判定部は、前記第1の時間内に前記流量の最大値が前記流量の閾値を超えない場合に前記真空吸引系が異常であると判定する、部品搭載装置を提供する。 The present disclosure provides a component mounting device that mounts components picked up from a component supply unit onto a substrate by vacuum suction of a suction nozzle provided on a mounting head, the component mounting device comprising: a negative pressure source connected to a nozzle opening provided at the tip of the suction nozzle through a vacuum path; a flow rate acquisition unit that acquires at least a flow rate of the vacuum path during automatic operation of the component mounting device; a judgment unit that judges a state of a vacuum suction system for suctioning the components based on a change over time in the flow rate during automatic operation acquired by the flow rate acquisition unit for a certain period of time; a memory unit that stores a threshold value of the flow rate and a first time starting from the time when the control unit opens the vacuum valve; a vacuum valve provided on the vacuum path; and a control unit that controls at least the opening and closing of the vacuum valve , wherein the judgment unit judges that the vacuum suction system is abnormal if the maximum value of the flow rate does not exceed the flow rate threshold within the first time .
本開示によれば、部品搭載装置において、真空吸引系の異常を直接的かつ早期に発見でき、部品の実装品質を確保できる。 According to the present disclosure, abnormalities in the vacuum suction system of a component mounting device can be detected directly and early, ensuring the quality of component mounting.
以下、適宜図面を参照しながら、本開示に係る部品搭載装置を具体的に開示した実施の形態を詳細に説明する。但し、必要以上に詳細な説明は省略する場合がある。例えば、既によく知られた事項の詳細説明や実質的に同一の構成に対する重複説明を省略する場合がある。これは、以下の説明が不必要に冗長になることを避け、当業者の理解を容易にするためである。なお、添付図面および以下の説明は、当業者が本開示を十分に理解するために提供されるものであり、これらにより特許請求の範囲に記載の主題を限定することは意図されていない。 Below, with reference to the drawings as appropriate, an embodiment specifically disclosing the component mounting device according to the present disclosure will be described in detail. However, more detailed explanation than necessary may be omitted. For example, detailed explanation of already well-known matters or duplicate explanation of substantially identical configurations may be omitted. This is to avoid the following explanation becoming unnecessarily redundant and to facilitate understanding by those skilled in the art. Note that the attached drawings and the following explanation are provided to enable those skilled in the art to fully understand the present disclosure, and are not intended to limit the subject matter described in the claims.
図1は、実施の形態1に係る部品搭載装置11の概略構成を模式的に示す平面図である。なお、方向を示す矢印が記された図において、X軸は左右方向、Y軸は前後方向、Z軸は上下方向を示す。X軸およびY軸は直交して水平面に含まれる。Z軸は沿直面に含まれる。
Figure 1 is a plan view showing a schematic configuration of a
実施の形態1に係る部品搭載装置11は、基台13の上面に、基板搬送部15がX方向に配設される。基板搬送部15は上流側装置から受け渡された基板17を搬送して、部品実装機構による実装作業位置に位置決めして保持する。基板搬送部15の両側方には、部品供給部19が配置される。部品供給部19には、複数のテープフィーダ21が並設して装着される。テープフィーダ21は、部品23(図5参照)を保持したキャリアテープをピッチ送りすることにより、部品実装機構を構成する搭載ヘッド25への供給位置に部品23を位置させる。
In the
基台13の上面におけるX方向の一端部には、Y軸ビーム27がY方向に沿って水平に配設される。Y軸ビーム27には1対のX軸ビーム29がY方向にスライド自在に装着される。X軸ビーム29はY軸ビーム27が備えたリニア駆動機構によりY方向に駆動される。それぞれのX軸ビーム29には、搭載ヘッド25がX方向にスライド自在に装着される。搭載ヘッド25は、複数のノズルユニット31を備え、X軸ビーム29が備えたリニア駆動機構によりX方向に駆動される。
A Y-
Y軸ビーム27、X軸ビーム29、搭載ヘッド25を駆動することにより、搭載ヘッド25は、ノズルユニット31に設けられた吸着ノズル33(図2参照)によってそれぞれの部品供給部19に配置されたテープフィーダ21から部品23を真空吸着して取り出し(つまりピックアップし)、基板17の上方に移動して部品23を基板17の実装位置に搭載する。上述した構成において、Y軸ビーム27、X軸ビーム29は、搭載ヘッド25を水平方向(X方向、Y方向)に移動させるヘッド移動機構35を構成する。また、Y軸ビーム27、X軸ビーム29、搭載ヘッド25は、部品実装機構を構成する。
By driving the Y-
基台13には、基板搬送部15とそれぞれの部品供給部19との間で、部品認識カメラ37が配設される。部品認識カメラ37は、部品供給部19から部品23を取り出した搭載ヘッド25が部品認識カメラ37の上方を移動することにより、搭載ヘッド25に装着された吸着ノズル33に保持状態の部品23を撮像する。
搭載ヘッド25が取り付けられた結合プレート39には、X軸ビーム29の下面側に位置して、搭載ヘッド25と一体的に移動する基板認識カメラ41が撮像方向を下向きにした姿勢で配設される。基板認識カメラ41は、搭載ヘッド25を基板搬送部15に保持された基板17の上方に移動させることにより、基板17の位置認識マーク(図示略)などを撮像できる。また、基板認識カメラ41は、部品実装後に基板17の上方に移動して基板17に搭載された部品23を撮像できる。
The
部品認識カメラ37、基板認識カメラ41によって取得された撮像データは、認識処理される。これにより、部品搭載装置11では、搭載ヘッド25において吸着ノズル33に保持された状態の部品23の位置ずれや、基板搬送部15に保持された基板17の位置ずれを検出することができる。部品実装機構による部品実装動作においては、これらの位置ずれを加味して搭載ヘッド25の位置が補正される。
The image data acquired by the
図2は、図1に示す搭載ヘッド25の斜視図である。搭載ヘッド25は結合プレート39を介してX軸ビーム29に装着される。搭載ヘッド25は複数(図2の例では12個)のノズルユニット31を2行6列で並設した構成となっている。それぞれのノズルユニット31は、ノズル駆動部43からノズル軸45を下方に延出させた構成となっており、ノズル軸45の下端部に結合されたノズル装着部47には、吸着ノズル33が着脱自在に装着される。それぞれのノズル駆動部43は、ノズル軸45と結合された昇降軸(図示略)をリニアモータにより昇降させるノズル昇降機構(図示略)を備えている。ノズル駆動部43を駆動することにより、ノズル装着部47に装着された吸着ノズル33は個別に昇降する。
Figure 2 is a perspective view of the
吸着ノズル33は、真空吸引する部品23のサイズ、形状に応じて複数の種類が用意されている。例えば、大きなサイズの部品23には、吸着ノズル33の下端部の吸着保持面49(図5参照)が大きな吸着ノズル33が使用される。また、搭載ヘッド25は、装着する吸着ノズル33の種類に応じて複数の種類が用意されている。例えば、大きな部品23を吸着する大きな吸着ノズル33を装着する場合は、大きなノズルユニット31を備える搭載ヘッド25が使用される。
吸着ノズル33は、部品23を吸着する側の先端部に、ノズル開口51が形成されている。吸着ノズル33は、ノズル開口51の周囲に、部品23と当接する当接部材であるゴムパッド(図示略)が装着される。
The
図3は、空圧発生源53に接続される吸着ノズル33の真空圧とブロー圧を切り替える空気圧回路図である。ノズル軸45は、ノズル装着部47を挿通して吸着ノズル33に連通している。ノズル軸45を貫通して設けられた吸引孔(図示略)は、流量取得部の一例としての流量センサ55を介して真空バルブ57の出力ポートA1に接続される出力経路59(図5参照)に接続される。出力経路59は、流量センサ55を介して真空バルブ57と吸着ノズル33を接続する吸引・エアブロー回路となる。流量センサ55は、流量センサ55から吸着ノズル33の方向(矢印s)に流れ出る正方向(サプライ方向)と、吸着ノズル33から流量センサ55の方向(矢印v)に流れ込む負方向(バキューム方向)の、正逆2方向の空気の流量を計測する。
Figure 3 is an air pressure circuit diagram that switches between the vacuum pressure and blow pressure of the
真空バルブ57は、2つの入力ポートR1,P1と、1つの出力ポートA1とを有する。真空バルブ57は、電磁弁とリターンスプリングにより作動する3ポート2位置のノーマルオープンの方向切換弁となる。真空バルブ57は、通常、非通電でつながる入力ポートR1と出力ポートA1とが真空圧となる。真空バルブ57は、外部からの選択信号により、入力ポートR1から出力ポートA1への経路を開通させた状態と、入力ポートP1から出力ポートA1への経路を開通させた状態とを切り換える。真空バルブ57では、入力ポートR1は負圧源である真空ポンプ61に、入力ポートP2はブローバルブ63の出力ポートA2に、出力ポートA1は流量センサ55に通じる出力経路59にそれぞれ接続される。真空ポンプ61は、負の圧力(真空)を発生させる。
The
出力経路59は、流量センサ55を介して真空バルブ57と吸着ノズル33を接続する吸引・エアブロー回路となる。この出力経路59は、真空経路65に含まれる。真空経路65は、先端に吸着ノズル33を接続した出力経路59と、真空バルブ57の出力ポートA1と入力ポートR1と、入力ポートR1から真空バルブ57までを接続している。従って、真空ポンプ61は、この真空経路65を通じて、吸着ノズル33の先端部に設けられたノズル開口51と接続されている。また、真空経路65は、それぞれの真空バルブ57の入力ポートR1を並列に接続する負圧分岐管路67が接続される。
The
流量センサ55は、部品搭載装置11の自動運転時において部品23をピックアップするための真空経路65の流量を少なくとも取得する。流量センサ55は、例えば流量を8ビットの分解能で検知する。つまり、流量センサ55は、真空経路65の計測流量の値を、8ビット(つまり、2の8乗に相当する256階調)で示される値の流量計測信号として取得することができる。このようにして、256階調で示される計測流量値の流量計測信号として取得された流量センサ55の計測結果は、後述のノズル制御部97(図6参照)が備える判定部101(図6参照)に入力される。
The
ブローバルブ63は、2つの入力ポートR2,P2と1つの出力ポートA2とを有する。ブローバルブ63は、電磁弁とリターンスプリングにより作動する3ポート2位置のノーマルオープンの方向切換弁となる。つまり、ブローバルブ63は、上述した真空バルブ57と同一構造となる。ブローバルブ63は、通常、非通電でつながる入力ポートR2と出力ポートA2とが大気圧となる。ブローバルブ63は、外部からの選択信号により、入力ポートR2から出力ポートA2への経路を開通させた状態と、入力ポートP2から出力ポートA2への経路を開通させた状態とを切り換える。ブローバルブ63では、入力ポートP2はエア供給源69に、入力ポートR2は大気供給源71(図6参照)に、出力ポートA2は真空バルブ57の入力ポートP1に、それぞれ接続される。エア供給源69は、正圧空気を供給する。大気供給源71は、大気圧の空気を供給する。なお、大気供給源71は、ブローバルブ63の入力ポートR2を開放状態にすることによっても実現することができる。
The
本明細書において、空圧発生源53は、真空ポンプ61と、エア供給源69とを総称する意で用いている。
In this specification, the
部品搭載装置11では、真空バルブ57およびブローバルブ63にノーマルオープンの方向切換弁を用いることにより、電源遮断時に吸着ノズル33の真空が維持される対策(所謂フェイルセーフ)が採られている。これにより、部品搭載装置11では、不意の電電遮断時においても部品23を吸着したままとし、部品23の落下が防止できる。
The
ブローバルブ63の入力ポートP2には、清掃バルブ73の出力ポートA3が接続される。清掃バルブ73は、2つの入力ポートR3,P3と、1つの出力ポートA3とを有する。清掃バルブ73は、電磁弁とリターンスプリングにより作動する3ポート2位置のノーマルオープンの方向切換弁となる。つまり、清掃バルブ73は、上述した真空バルブ57と同一構造となる。清掃バルブ73は、通常、非通電でつながる入力ポートR3と出力ポートA3とがブロー圧となる。清掃バルブ73では、入力ポートR3は、真空破壊減圧弁75を介してエア供給源69に接続される。真空破壊減圧弁75は、エア供給源69から送られる圧縮空気を減圧して所定の真空破壊圧に調整する。清掃バルブ73の入力ポートP3は、清掃ブロー減圧弁77を介してエア供給源69に接続される。清掃ブロー減圧弁77は、エア供給源69から送られる圧縮空気を減圧して所定の清掃ブロー圧に調整する。
The input port P2 of the
真空破壊減圧弁75は、例えば0.01MPa(10kPa)の真空破壊減圧に設定される。清掃ブロー減圧弁77は、例えば0.14MPa(140kPa)の清掃ブロー圧に設定される。
The vacuum break
図4は、吸着ノズル33の状態と各バルブの動作との関係の一例を示す相関図である。吸着ノズル33は、真空バルブ57、ブローバルブ63、清掃バルブ73がON・OFF制御されることにより、吸着・装着が制御される。真空バルブ57とブローバルブ63は、搭載ヘッド25側で制御される。清掃バルブ73は、装置本体(つまり部品搭載装置11の本体)側で制御される。吸着ノズル33は、真空時、真空バルブ57がOFF制御される。吸着ノズル33は、大気開放時、真空バルブ57がON、ブローバルブ63がOFF制御される。吸着ノズル33は、真空破壊時、真空バルブ57がON、ブローバルブ63がON、清掃バルブ73がOFF制御される。吸着ノズル33は、清掃ブロー時、真空バルブ57がON、ブローバルブ63がON、清掃バルブ73がON制御される。吸着ノズル33は、吸着時、大気開放から真空となる。吸着ノズル33は、装着時、真空破壊から大気開放となる。
Figure 4 is a correlation diagram showing an example of the relationship between the state of the
搭載ヘッド25には複数(図例では12個)の吸着ノズル33が設けられる。搭載ヘッド25には、それぞれの吸着ノズル33に応じて真空バルブ57およびブローバルブ63が設けられている。また、部品搭載装置11は、基台13を支持する架台79に、空圧発生源53(真空ポンプ61およびエア供給源69)と、清掃バルブ73と、真空破壊減圧弁75と、清掃ブロー減圧弁77とが設けられている。それぞれの真空バルブ57の入力ポートR1は、負圧分岐管路67により真空ポンプ61に接続される。それぞれのブローバルブ63の入力ポートP2は、正圧分岐管路81により清掃バルブ73の出力ポートA3に接続されている。実施の形態1では、吸着ノズル33が12個である12ノズルヘッドの場合を例示しているが、3ノズルヘッド、16ノズルヘッドの場合も基本的な空圧回路は同様に構成される。なお、実施の形態1の部品搭載装置11では、清掃ブロー減圧弁77の出力ポートが、他ビームへと分配接続されている。
The mounting
図5は、図3に示す真空吸引系83の要部拡大図である。部品搭載装置11では、真空経路65に、例えば吸着ノズル33、流量センサ55、真空バルブ57、フィルタ85、配管継ぎ手(図示略)等の空圧回路構成要素が介装されている。真空経路65と、空圧回路構成要素と、真空ポンプ61とは、真空吸引系83を構成する。フィルタ85は、例えば吸着ノズル側の流量センサ55の接続口、流量センサ側の真空バルブ57の接続口、真空バルブ57の入口等に介装される。また、フィルタ85は、例えば空気に含まれるダスト、油分、水分等の不純物を取り除き、空圧回路の信頼性を高める。真空吸引系83には、この他、水蒸気を除去するエアドライヤ、給油を行うリブリケータ等の調質機器が取り付けられていてもよい。
Figure 5 is an enlarged view of the main part of the
図6は、図1に示す部品搭載装置11の制御系の構成を示すブロック図である。部品搭載装置11は、制御部(例えば装置制御部87)、記憶部(例えば装置記憶部89)、基板搬送部15、部品供給部19、搭載ヘッド25、ヘッド移動機構35、部品認識カメラ37、基板認識カメラ41、真空ポンプ61、エア供給源69、大気供給源71、入力部91、表示部93、報知手段(例えば報知部95)を備えている。搭載ヘッド25は、ノズル駆動部43、ノズル制御部97を備えている。ノズル制御部97は、バルブ制御部99、判定部101、判断手段(例えば吸着判断部103)、解析部105、バルブ記憶部107を備える。ノズル制御部97には、流量センサ55、真空バルブ57、ブローバルブ63、清掃バルブ73が接続される。
Figure 6 is a block diagram showing the configuration of the control system of the
装置制御部87は、CPU(Central Processing Unit)等のプロセッサを用いて構成された演算処理装置であり、内部処理機能として実装制御部109、異常処理部111を備えている。装置記憶部89は、例えばHDD(Hard Disk Drive)を用いて構成された記憶装置であり、実装データ113、バルブ制御データ115、判定制御データ117などを記憶する。実装データ113には、基板17における部品23の実装位置、実装される部品23の種類(部品名)などの情報が含まれる。
The
また、装置記憶部89は、吸着エラーチェックタイミング、流量の閾値である判定値Ft(図7参照)等を判定制御データ117に記憶する。判定部101は、空気の流量Fがこの判定値Ftを超えない場合(F<Ft)、真空吸引系83が異常であると判定する。
The
また、装置記憶部89は、制御部(例えば装置制御部87)が真空バルブ57を開く時点を始点t0(図7参照)とする第1の時間Tα(図7参照)を判定制御データ117に記憶する。判定部101は、第1の時間Tα内に流量の最大値Vmax(図7参照)が流量の判定値Ftを超えない場合(Vmax<Ft)、真空吸引系83が異常であると判定する。なお、判定値Ftとの比較に使用される計測値は最大値Vmaxに限定されなくてよい。
The
さらに、装置記憶部89は、制御部が真空バルブ57を開く時点を始点t0として第1の時間Tαよりも短い第2の時間Tβ(図7参照)をさらに判定制御データ117に記憶する。判定部101は、第2の時間Tβから第1の時間Tαまでの間に流量の最大値Vmaxが流量の判定値Ftを超えない場合(Vmax<Ft)、真空吸引系83が異常であると判定する。
The
実装制御部109は、実装データ113に基づいて、基板搬送部15、部品供給部19、搭載ヘッド25、ノズル駆動部43、ヘッド移動機構35を制御して、吸着ノズル33による基板17への部品23の実装を制御する。装置制御部87は、実装制御部109により真空経路上に設けられた真空バルブ57の開閉を少なくとも制御する。
The mounting
バルブ制御データ115には、吸着ノズル33が真空吸着した部品23を基板17に搭載する際に、バルブ制御部99が真空バルブ57、ブローバルブ63、清掃バルブ73を切り換えるタイミング情報などが記憶されている。判定制御データ117には、ノズル制御部97の判定部101により流量センサ55の計測結果を判定するタイミング情報、計測した空気の流量が正常であるか否かを判定するための閾値である判定値Ftなどが記憶されている。
The
バルブ制御データ115のタイミング情報、判定制御データ117のタイミング情報、判定値Ftは、搭載ヘッド25の種類(ノズルユニット31の数など)、搭載ヘッド25の装着される吸着ノズル33の種類に応じた値が、実験あるいは経験に基づいて予め決定されている。そして、部品搭載装置11に装着される搭載ヘッド25の種類、ノズルユニット31に装着される吸着ノズル33の種類など、部品搭載装置11の構成に対応する各種データが、バルブ制御データ115、判定制御データ117からノズル制御部97が備えるバルブ記憶部107に転送されて予め記憶される。
The timing information of the
真空バルブ57、ブローバルブ63および清掃バルブ73は、ノズル制御部97が備えるバルブ制御部99に接続されている。流量センサ55の計測結果は、ノズル制御部97が備える判定部101に入力される。ノズル制御部97が備えるバルブ記憶部107には、バルブ制御部99によって真空バルブ57とブローバルブ63と清掃バルブ73の状態を切り換えるタイミング情報、判定部101によって流量センサ55が計測した空気の流量が正常であるか否かを判定するタイミング情報と判定値Ftが記憶されている。ノズル制御部97は搭載ヘッド25に配設されており、搭載ヘッド25を結合プレート39に取り付けた状態で、装置制御部87と接続される。
The
バルブ制御部99が真空バルブ57を制御して、入力ポートR1から出力ポートA1への経路を開通させた状態にすると、真空ポンプ61が流量センサ55を介して吸着ノズル33と連通し、吸着ノズル33は下端部の吸着保持面49に開口するノズル開口51から真空吸引する。すなわち、真空ポンプ61は、吸着ノズル33から真空吸引する真空吸引手段となる。
When the
吸着保持面49に部品23が当接している状態で吸着ノズル33から真空吸引すると、吸着ノズル33によって部品23が真空吸着される。この時、流量センサ55が計測する空気の流量Fは、ほぼゼロとなる。吸着保持面49に部品23が当接していない状態で吸着ノズル33から真空吸引すると、吸着ノズル33より外気(空気)が吸引される。
When vacuum suction is performed from the
バルブ制御部99が真空バルブ57を制御して入力ポートP1から出力ポートA1への経路を開通させ、ブローバルブ63を制御して入力ポートP2から出力ポートA2への経路を開通させた状態にすると、エア供給源69が流量センサ55を介して吸着ノズル33と連通し、吸着ノズル33から正圧空気が吐出される。すなわち、エア供給源69は、吸着ノズル33から正圧空気を吐出させるエアブロー手段となる。この時、流量センサ55によって、正の空気の流量Fが計測される。
When the
バルブ制御部99が真空バルブ57を制御して入力ポートP1から出力ポートA1への経路を開通させ、ブローバルブ63を制御して入力ポートR2から出力ポートA2への経路を開通させた状態にすると、大気供給源71が流量センサ55を介して吸着ノズル33と連通し、吸着ノズル33が大気圧となる。この時、流量センサ55が計測する空気の流量Fは、ほぼゼロとなる。
When the
このように、真空バルブ57とブローバルブ63は、真空ポンプ61とエア供給源69と大気供給源71とを選択的に吸着ノズル33に接続させる切換手段となる。そして、流量センサ55は、この切換手段(真空バルブ57、ブローバルブ63、清掃バルブ73)と吸着ノズル33とを接続する吸引・エアブロー回路に介設され、吸引・エアブロー回路を通過する空気の流量Fを正逆2方向で計測する。
In this way, the
判定部101は比較器を含んで構成されており、流量センサ55が計測した空気の流量Fとバルブ記憶部107が記憶する判定値Ftを比較して、空気の流量Fが判定値Ftを超えたか、超えていないかを判定する。つまり、判定部101は、流量センサ55が取得した流量に基づき部品23を吸着するための真空吸引系83の状態を判定することができる。判定部101が判定するタイミングは、バルブ記憶部107が記憶するタイミング情報に基づいて、バルブ制御部99によって制御される。判定部101による判定結果は、バルブ制御部99を介して装置制御部87に送信される。部品搭載装置11は、判定部101に基づき真空吸引系83が異常であると判定された場合には、異常である旨を報知部95に報知する。
The
吸着判断部103は、吸着ノズル33が部品23を吸着した後の空気の流量Fをさらに取得する。吸着判断部103は、この部品23を吸着した後の空気の流量Fに基づき吸着ノズル33に部品23が吸着されたか否かを判断する。
The
解析部105は、判定部101によって真空吸引系83が異常であると判定された場合に、真空吸引系83の異常の原因を流量に基づき解析する。解析部105は、正常な真空吸引系83における流量パターンを、基準流量パターンa(図7参照)として対比用の基準に設定することができる。解析部105は、この基準流量パターンaと、自動運転時に取得した流量に基づき作成した計測流量パターンとを比較することにより、異常の原因を解析することが可能となる。
When the
報知部95は、判定部101によって真空吸引系83が異常であると判定された場合に、真空吸引系83が異常であることを少なくとも報知する。報知部95は、例えば報知灯、フラッシュランプ、ブザーなどの他、装置の表示部93に表示させる報知画面とすることができる。なお、「少なくとも報知」とは、不良有無の判定に加え、上記した解析部105により解析した異常の推定原因を表示部93へ同時に表示させてもよい意である。
The
図7は、吸着時のノズル軌跡イメージと流量検出時の流量波形イメージを表した説明図である。部品搭載装置11は、バルブ記憶部107が記憶するタイミング情報のうち、吸着エラーチェックタイミングのときに流量センサ55が流量データを取得する。この流量データは、直交する時間軸および流量軸を座標係とした平面上に描かれる波形(流量パターン)として表すことができる。部品搭載装置11では、正常な真空吸引系83における流量パターンが、基準流量パターンaとして対比用の基準に設定可能となっている。なお、基準流量パターンaは、一例であり、これに限定されない。
Figure 7 is an explanatory diagram showing an image of the nozzle trajectory during suction and an image of the flow rate waveform when the flow rate is detected. In the
次に、実施の形態1に係る真空吸引系83の異常を判定する具体的な手順を説明する。図8は、真空異常の判定方法を示すフローチャートである。図8に示す処理は、例えば、主に部品搭載装置11のノズル制御部97による制御の下で実行される。
Next, a specific procedure for determining an abnormality in the
図8において、部品搭載装置11は、真空吸引系83における真空異常を判定処理するには、先ず、部品吸着時の流量データを流量センサ55で取得、すなわちチェックする(St1)。
In FIG. 8, to determine whether there is a vacuum abnormality in the
具体的には、ノズル制御部97は、現在の吸着時が、バルブ記憶部107に記憶されている吸着エラーチェックタイミングであるか否かを判定する(St2)。吸着エラーチェックタイミングでない場合には(St2、NO)、流量センサ55は、ノズル制御部97の制御の下で流量データの取得を継続する。吸着エラーチェックタイミングであれば(St2、YES)、流量センサ55は、ノズル制御部97の制御の下で流量データの取得を止める(St2)。
Specifically, the
次いで、吸着エラーチェックタイミングで取得した図7に示す流量最大値(最大値Vmax)が、閾値(判定値Ft)を超えているか否か(最大値Vmax>判定値Ft)が判定部101により判断される(St3)。
Next, the
最大値Vmaxが判定値Ftを超えていないときは(St3、NO)、判定部101が真空吸引系83の異常と判断し(St4)、真空吸引系83における真空異常の判定処理を終了する。この不良である旨の判定結果は報知部95に出力され、報知部95により報知される。
When the maximum value Vmax does not exceed the judgment value Ft (St3, NO), the
一方、最大値Vmaxが図7に示す判定値Ftを超えているときは(St3、YES)、最大値Vmaxの取得時間が図7に示す所定時間(第1の時間Tα)内であるか否かが判定部101により判断される(St5)。最大値Vmaxの取得時間が所定時間(第1の時間Tα)内であるときは(St5、YES)、判定部101が真空吸引系83の正常と判断し(St6)、真空吸引系83における真空異常の判定処理を終了する。
On the other hand, when the maximum value Vmax exceeds the judgment value Ft shown in Fig. 7 (St3, YES), the
一方、最大値Vmaxの取得時間が所定時間(第1の時間Tα)以上であるときは(St5、NO)、判定部101が真空吸引系83の異常と判断し(St4)、真空吸引系83における真空異常の判定処理を終了する。この時、同様にして、この不良である旨の判定結果は報知部95に出力され、報知部95により報知される。
On the other hand, when the time taken to acquire the maximum value Vmax is equal to or longer than the predetermined time (first time Tα) (St5, NO), the
次に、実施の形態1に係る部品搭載装置11の作用を説明する。
Next, the operation of the
部品搭載装置11は、搭載ヘッド25に備えた吸着ノズル33の真空吸着により部品供給部19からピックアップされた部品23を基板17に搭載する。部品搭載装置11は、吸着ノズル33の先端部に設けられたノズル開口51と真空経路65を通じて接続された負圧源と、部品搭載装置11の自動運転時において部品23をピックアップするための真空経路65の流量を少なくとも取得する流量取得部と、流量取得部が取得した流量に基づき部品23を吸着するための真空吸引系83の状態を判定する判定部101と、を備える。
The
部品搭載装置11では、搭載ヘッド25に、部品23をピックアップするための吸着ノズル33が設けられる。吸着ノズル33は、部品23を真空吸着によりピックアップする。吸着ノズル33の先端部には、部品23を真空吸着するためのノズル開口51が開口している。ノズル開口51は、真空経路65を通じて負圧源(真空ポンプ61)に接続される。
In the
真空吸引系83の真空経路65には、流量取得部の一例としての流量センサ55が介装される。部品搭載装置11では、ピックアップした部品23を基板17に搭載して部品搭載済み基板を実際に製造する自動運転時において、この流量センサ55により、真空経路65における空気の流量が少なくとも取得される。「流量が少なくとも取得」とは、流量の最大値のみを正常か否かの判定基準に限定しない意である。すなわち、部品搭載装置11では、部品23を吸着する前の流量が、予め設定した判定値(判定値Ft)を超えていれば正常であると判定される場合もある。
A
部品搭載装置11は、判定部101を有する。この判定部101は、流量センサ55が取得した流量に基づき、部品23を吸着するための真空吸引系83の状態を判定する。真空吸引系83の真空経路65には、一定の体積(容積)があるため、ノズル開口51が開放されていても、部品吸着によりノズル開口51が塞がれていても、真空吸引系83が正常な場合、真空の立ち上がり時に流量が発生する。つまり、真空吸引系83が正常な場合、真空の立ち上がり時の流量は、吸着ノズル33の装着有無、部品23の吸着有無にほぼ関係なく、一定値以上に増加する。この流量の経時的変化は、流量パターンとして表すことができる(図7参照の基準流量パターンa参照)。部品搭載装置11では、真空吸引系83の流量パターンに、一定の遷移を辿る範囲が存在する。真空吸引系83が正常な場合の流量パターンは、この一定の範囲に、適正な立ち上がり部Qp(図7参照)を有する。これにより、部品搭載装置11では、真空経路65の空気流量と、真空吸引系83の吸着動作とに関連づけが可能となる。
The
部品搭載装置11は、この流量パターンのうち、一定の範囲を比較対象として用いる。この流量パターンの一定の範囲は、吸着ノズル33の先端部がどうであれ(部品吸着の有無にかかわらず)、ある程度の流量が発生する。
The
部品搭載装置11では、自動運転時における毎吸着時に、真空経路65の空気流量が流量センサ55により検出され、一定時間内に流量が適正に応答していない場合は、判定部101により異常と判定される。
In the
これにより、部品搭載装置11は、真空吸引系83における吸着動作が常時監視されることになり、真空異常が即時に検出可能となる。部品搭載装置11では、自動運転中における部品吸着全動作の真空状態が、真空経路65に介装された流量センサ55により取得(監視)されるので、真空吸引系83のいずれかの空圧回路構成要素に、正常なピックアップを阻害する異常が発生すれば、即座に判定が得られることになる。
As a result, the
このように、部品搭載装置11では、自動運転時における常時監視が可能となるので、従来検出が困難であった発生頻度が低い異常の検出も早期に発見可能となる。つまり、自動運転時における真空吸引系83の不具合が、直接的に発見可能となる。その結果、稀に発生する真空異常による吸着不具合なども検出が可能となる。
In this way, the
そして、真空ポンプ異常、ノズルフィルタつまり等、真空吸引系83の異常が遅延することなく検出できるようになるので、吸着エラーや部品落下等が生じにくくなる。そのため、部品搭載装置11は、従来装置に比べ、真空吸引系83の異常を早期に発見でき、常に良好な実装品質が確保できるようになる。
Furthermore, since abnormalities in the
また、部品搭載装置11において、流量取得部は、吸着ノズル33が部品23を吸着した後の流量をさらに取得する。判定部(例えば吸着判断部103)は、部品23を吸着した後の流量に基づき吸着ノズル33に部品23が吸着されたか否かを判定する。
In addition, in the
この部品搭載装置11では、吸着ノズル33が部品23を吸着した「後」の流量が、流量センサ55によりさらに取得される。吸着ノズル33に接続される真空経路65の流量は、吸着開始前の真空の立ち上がり時に流量が発生するが、吸着した後にはノズル開口51が塞がれるので、流量が急峻に減少する。部品搭載装置11では、このときの流量が吸着判断部103により判断されることにより、部品23が吸着されたか否かの真空吸着状態(吸着情報)が取得可能となる。
In this
上述したように、部品搭載装置11では、真空の立ち上がり時に、吸着ノズル33の装着有無、部品23の吸着有無にほぼ関係なく、空気の流量が一定値以上に増加する。このときの流量パターンは、真空吸引系83の異常を判定するのには好適となるが、部品23の吸着有無を判定するのに適さない。このため、部品搭載装置11では、真空立ち上がり以降に続く、部品23を吸着した後の流量が参照されることにより、より高精度な部品吸着の有無も続けて判断できるようになされている。
As described above, in the
また、部品搭載装置11は、流量の閾値を記憶する記憶部(例えば装置記憶部89)をさらに備える。判定部101は、流量が閾値を超えない場合に真空吸引系83が異常であると判定する。
The
この部品搭載装置11では、流量の閾値が、記憶部(例えば装置記憶部89)に記憶される。部品搭載装置11では、真空の立ち上がり時の流量が、吸着ノズル33の装着有無、部品23の吸着有無にほぼ関係なく、一定値以上に上昇し、所定のピーク値(最大値Vmax)まで増加する。部品搭載装置11では、一定値以上に上昇する流量のうち、この一定値を閾値である判定値Ftとしている。部品搭載装置11では、流量センサ55により取得された流量が、この判定値Ftを超えない場合に、真空吸引系83が異常であることが判定部101により判定可能となる。
In this
また、部品搭載装置11は、真空経路上に設けられた真空バルブ57と、真空バルブ57の開閉を少なくとも制御する制御部(例えばバルブ制御部99)と、をさらに備え、記憶部には、制御部(例えばバルブ制御部99)が真空バルブ57を開く時点を始点とする第1の時間が記憶され、判定部101は、第1の時間内に流量の最大値が流量の閾値を超えない場合に真空吸引系83が異常であると判定する。
The
この部品搭載装置11では、搭載ヘッド25が、部品23を吸着ノズル33により真空吸着するために、真空経路65を開閉するための真空バルブ57を備える。流量センサ55は、ノズル開口51とこの真空バルブ57との間に介装される。真空経路65では、部品吸着によりノズル開口51が塞がれていても真空の立ち上がり時に流量が発生する。この流量は、流量センサ55により計測される。この流量は、真空バルブ57を開く時点を始点(t0)とする第1の時間Tαまでの間で経時的に変化する上記の流量パターン(基準流量パターンa)を有する。この基準流量パターンaは、閾値である判定値Ftよりも上昇するピーク値(最大値Vmax)を有する。従って、部品搭載装置11では、第1の時間Tα内に、流量センサ55により取得された流量の最大値Vmaxが、判定値Ftを超えない場合に、真空吸引系83の異常が判定部101により判定可能となる。
In this
また、部品搭載装置11は、記憶部(例えば装置記憶部89)には、制御部(例えばバルブ制御部99)が真空バルブ57を開く時点を始点として第1の時間Tαよりも短い第2の時間がさらに記憶され、判定部101は、第2の時間から第1の時間Tαまでの間に流量の最大値が流量の閾値を超えない場合に真空吸引系83が異常であると判定する。
In addition, the
この部品搭載装置11では、記憶部(例えば装置記憶部89)に、真空バルブ57を開く時点を始点(t0)とした第1の時間Tαよりも短い第2の時間Tβがさらに記憶される。つまり、第1の時間Tαの終端(tα)は、始点から第2の時間Tβの終端(tβ)が経過した後に到来する。従って、部品搭載装置11では、第2の時間Tαから第1の時間Tβまでの間(すなわち、(tα-tβ))に流量の最大値Vmaxが判定値Ftを超えない場合に、真空吸引系83の異常が判定部101により判定可能となる。
In this
また、部品搭載装置11は、判定部101によって真空吸引系83が異常であると判定された場合に、真空吸引系83の異常の原因を流量に基づき解析する解析部105をさらに備える。
In addition, the
この部品搭載装置11では、真空吸引系83の異常を解析する解析部105が備えられる。部品搭載装置11では、真空バルブ57を開く時点を始点t0とする第1の時間Tαまでの間に、流量が経時的に変化する流量パターンを有する。この流量パターンは、同一構造を有する部品搭載装置11においてはほぼ同じとなる。従って、部品搭載装置11では、正常な真空吸引系83における流量パターンを、基準流量パターンaとして対比用の基準に設定することが可能となる。
This
基準流量パターンaは、例えば第1の時間Tα、第2の時間Tβ、最大値Vmax、判定値Ft等をパラメータとして定義できる。そして、この基準流量パターンaは、直交する時間軸および流量軸を座標係とした平面上に描かれる波形として表すことができる。 The reference flow pattern a can be defined, for example, with parameters such as the first time Tα, the second time Tβ, the maximum value Vmax, and the judgment value Ft. This reference flow pattern a can be expressed as a waveform drawn on a plane with the orthogonal time axis and flow axis as the coordinate system.
部品搭載装置11では、この基準流量パターンaに対し、自動運転時に取得した流量に基づき計測流量パターンを作成する。解析部105では、これら基準流量パターンaと計測流量パターンとが比較されることにより、異常の原因が解析される。
The
すなわち、解析部105は、例えば図7に示す計測流量パターンbが、流量を検出せずに直線となれば、真空バルブ57または真空ポンプ61の故障(動作していない)と推定できる。
That is, for example, if the measured flow rate pattern b shown in FIG. 7 is a straight line without detecting any flow rate, the
図7に示す計測流量パターンcが、第1の時間Tα内に判定値Ftを超えることができなければ、真空ポンプ61の不良(真空圧が上がらない)または真空バルブ57の不良(ゴミ詰まり)と推定する。
If the measured flow rate pattern c shown in FIG. 7 does not exceed the judgment value Ft within the first time Tα, it is assumed that the
図7に示す計測流量パターンdが、第1の時間Tα内に判定値Ftを超えず、一定の流量で推移すれば、真空ポンプ61のフィルタ詰まり、真空ポンプ61の不良(真空圧が上がらない)または真空バルブ57の不良(ゴミ詰まり)と推定できる。
If the measured flow rate pattern d shown in FIG. 7 does not exceed the judgment value Ft within the first time Tα and remains at a constant flow rate, it can be assumed that the filter of the
図7に示す計測流量パターンeが、判定値Ftを超えても、第1の時間Tαの経過後(遅れTβ’)であれば、真空バルブ57の応答遅れと推定する。
Even if the measured flow rate pattern e shown in FIG. 7 exceeds the judgment value Ft, if it is after the first time Tα has elapsed (delay Tβ'), it is assumed that this is due to a response delay in the
なお、解析部105は、到達流量、収束流量、到達時間、収束時間を、正否判定のパラメータとして用いる他、流量パターンからどのようなパラメータを抽出するかは任意である。解析部105は、この他、流量の変化率や流量積分値など、対象に応じて各種のパラメータを定義して判定に用いることが可能となる。
The
また、部品搭載装置11は、判定部101によって真空吸引系83が異常であると判定された場合に、真空吸引系83が異常であることを少なくとも報知する報知部95を備える。
The
この部品搭載装置11では、自動運転中の部品吸着全動作の真空状態が真空経路65に介装された流量センサ55で監視される。判定部101が真空吸引系83を不良と判定した場合、不良である旨が報知部95により報知される。報知部95は、例えば報知灯、フラッシュランプ、ブザーなどの他、装置の表示部93に表示させる報知画面とすることができ、真空吸引系83の異常を作業者に報知する。これにより、異常が発生すれば即時に部品搭載装置11を停止させ、実装不良や吸着・装着エラー等の発生を未然に抑制できる。
In this
従って、実施の形態1に係る部品搭載装置11によれば、真空吸引系83の異常を直接的かつ早期に発見でき、部品の実装品質を確保できる。
Therefore, with the
以上、図面を参照しながら各種の実施の形態について説明したが、本開示はかかる例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例、修正例、置換例、付加例、削除例、均等例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本開示の技術的範囲に属するものと了解される。また、発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した各種の実施の形態における各構成要素を任意に組み合わせてもよい。 Although various embodiments have been described above with reference to the drawings, it goes without saying that the present disclosure is not limited to such examples. It is clear that a person skilled in the art can conceive of various modifications, amendments, substitutions, additions, deletions, and equivalents within the scope of the claims, and it is understood that these also naturally fall within the technical scope of the present disclosure. Furthermore, the components in the various embodiments described above may be combined in any manner as long as it does not deviate from the spirit of the invention.
本開示は、真空吸引系の異常を直接的かつ早期に発見し、部品の実装品質を確保できる部品搭載装置として有用である。 This disclosure is useful as a component mounting device that can directly and early detect abnormalities in the vacuum suction system and ensure component mounting quality.
11 部品搭載装置
17 基板
19 部品供給部
23 部品
25 搭載ヘッド
33 吸着ノズル
51 ノズル開口
55 流量センサ
57 真空バルブ
59 出力経路
61 真空ポンプ
65 真空経路
83 真空吸引系
87 装置制御部
89 装置記憶部
95 報知部
101 判定部
103 吸着判断部
105 解析部
REFERENCE SIGNS
Claims (5)
前記吸着ノズルの先端部に設けられたノズル開口と真空経路を通じて接続された負圧源と、
前記部品搭載装置の自動運転時に前記真空経路の流量を少なくとも取得する流量取得部と、
前記流量取得部が取得した前記自動運転時における前記流量の一定時間分の経時的変化に基づき前記部品を吸着するための前記真空経路を含む真空吸引系の状態を判定する判定部と、
前記真空経路上に設けられた真空バルブと、
前記真空バルブの開閉を少なくとも制御する制御部と、
前記流量の閾値と、前記制御部が前記真空バルブを開く時点を始点とする第1の時間とを記憶する記憶部と、を備え、
前記判定部は、前記第1の時間内に前記流量の最大値が前記流量の閾値を超えない場合に前記真空吸引系が異常であると判定する、
部品搭載装置。 A component mounting device that mounts components picked up from a component supply unit onto a substrate by vacuum suction of a suction nozzle provided on a mounting head,
a negative pressure source connected to a nozzle opening provided at a tip of the suction nozzle through a vacuum path;
a flow rate acquisition unit that acquires at least a flow rate of the vacuum path during automatic operation of the component mounting device;
a determination unit that determines a state of a vacuum suction system including the vacuum path for suctioning the component based on a change over time of the flow rate during the automatic operation acquired by the flow rate acquisition unit; and
a vacuum valve provided on the vacuum path;
A control unit that at least controls the opening and closing of the vacuum valve;
a storage unit that stores the flow rate threshold value and a first time period starting from a time point when the control unit opens the vacuum valve ,
the determination unit determines that the vacuum suction system is abnormal if the maximum value of the flow rate does not exceed the flow rate threshold within the first time period .
Parts mounting device.
前記吸着ノズルの先端部に設けられたノズル開口と真空経路を通じて接続された負圧源と、
前記部品搭載装置の自動運転時に前記真空経路の流量を少なくとも取得する流量取得部と、
前記流量取得部が取得した前記自動運転時における前記流量の一定時間分の経時的変化に基づき前記部品を吸着するための前記真空経路を含む真空吸引系の状態を判定する判定部と、
前記判定部によって前記真空吸引系が異常であると判定された場合に、前記真空吸引系の異常の原因を前記流量に基づき解析する解析部と、を備える、
部品搭載装置。 A component mounting device that mounts components picked up from a component supply unit onto a substrate by vacuum suction of a suction nozzle provided on a mounting head,
a negative pressure source connected to a nozzle opening provided at a tip of the suction nozzle through a vacuum path;
a flow rate acquisition unit that acquires at least a flow rate of the vacuum path during automatic operation of the component mounting device;
a determination unit that determines a state of a vacuum suction system including the vacuum path for suctioning the component based on a change over time of the flow rate during the automatic operation acquired by the flow rate acquisition unit; and
and an analysis unit that analyzes a cause of the abnormality in the vacuum suction system based on the flow rate when the determination unit determines that the vacuum suction system is abnormal .
Parts mounting device.
前記判定部は、前記部品を吸着した後の前記流量に基づき前記吸着ノズルに前記部品が吸着されたか否かを判定する、
請求項1に記載の部品搭載装置。 the flow rate acquisition unit further acquires the flow rate after the suction nozzle has picked up the component,
the determining unit determines whether or not the component has been picked up by the suction nozzle based on the flow rate after the component has been picked up.
The component mounting device according to claim 1.
前記判定部は、前記第2の時間から前記第1の時間までの間に前記流量の最大値が前記流量の閾値を超えない場合に前記真空吸引系が異常であると判定する、
請求項1に記載の部品搭載装置。 The storage unit further stores a second time period that is shorter than the first time period, the second time period being determined from a time point when the control unit opens the vacuum valve;
the determination unit determines that the vacuum suction system is abnormal if the maximum value of the flow rate does not exceed the flow rate threshold value during the period from the second time to the first time.
The component mounting device according to claim 1 .
請求項1~4のうちいずれか一項に記載の部品搭載装置。 and a notification unit that at least notifies the user that the vacuum suction system is abnormal when the determination unit determines that the vacuum suction system is abnormal.
The component mounting device according to any one of claims 1 to 4 .
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