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JP7649983B2 - Component mounting device and component mounting method - Google Patents
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JP7649983B2 - Component mounting device and component mounting method - Google Patents

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Description

本開示は、部品装着装置、及び、部品装着方法に関する。 This disclosure relates to a component mounting device and a component mounting method.

半導体などの基板製造工場には、複数の実装基板製造ラインが設けられ、実装基板製造ラインのそれぞれには、複数の部品装着装置が配置される。部品装着装置のそれぞれは、基板においてクリーム半田が印刷された位置に電子部品等の部品を装着する。近年、基板製造工場の生産性を高めるため、この部品装着装置についても稼働効率の向上が要求されている。 In a semiconductor or other circuit board manufacturing factory, multiple mounting board production lines are installed, and multiple component mounting devices are arranged on each mounting board production line. Each component mounting device mounts electronic components or other components at the position on the circuit board where cream solder has been printed. In recent years, in order to increase the productivity of circuit board manufacturing factories, there has been a demand for improving the operating efficiency of these component mounting devices as well.

従来、移動ヘッドにノズル及びマークが備えられており、カメラによってノズルに保持された部品とマークとを撮像し、撮像された画像を解析してマークと部品との相対的な位置及び向きのずれを算出し、当該算出した位置及び向きのずれに基づいてノズルと部品との相対的な位置及び向きのずれを補正する部品装着装置が知られている。また、特許文献1には、部品とマークとを鮮明に撮像できるように、カメラが焦点を結ぶ平面上に部品とマークとの両方を位置させる構成が開示されている。 Conventionally, there is known a component mounting device in which a moving head is equipped with a nozzle and a mark, a camera captures an image of the component and the mark held by the nozzle, the captured image is analyzed to calculate the relative position and orientation deviation between the mark and the component, and the relative position and orientation deviation between the nozzle and the component is corrected based on the calculated position and orientation deviation. Patent Document 1 also discloses a configuration in which both the component and the mark are positioned on a plane on which the camera focuses so that the component and the mark can be clearly captured.

特開2005-222976号公報JP 2005-222976 A

しかしながら、特許文献1に開示される構成は、ノズルに保持可能な部品のサイズは、ノズルと部品の相対的な向きのずれを補正するために当該部品を回転させた際に、当該部品がマークに衝突しないサイズに限られる。マークをノズルの下端よりも上方に配置した場合、補正のために部品を回転させた際に当該部品がマークと衝突してしまうことを回避できるものの、カメラが焦点を結ぶ平面よりも上方にマークが位置することとなるため、部品とマークの両方を鮮明に撮像することが難しい。 However, in the configuration disclosed in Patent Document 1, the size of the part that can be held by the nozzle is limited to a size that will not collide with the mark when the part is rotated to correct the misalignment of the relative orientation between the nozzle and the part. If the mark is positioned above the bottom end of the nozzle, it is possible to prevent the part from colliding with the mark when the part is rotated for correction, but since the mark is positioned above the plane on which the camera focuses, it is difficult to clearly capture an image of both the part and the mark.

本開示の目的は、マークをノズルの下端よりも上方に配置し、かつ、部品とマークの両方を鮮明に撮像することができる部品装着装置及び部品装着方法を提供することにある。 The objective of this disclosure is to provide a component mounting device and a component mounting method that can position the mark above the bottom end of the nozzle and capture clear images of both the component and the mark.

本開示の一態様に係る部品装着装置は、部品を保持して、前記部品を装着する基板に向けて移動するノズルと、前記ノズルに隣接して固定され、前記ノズルの下端よりも上方に位置し、前記ノズルと共に移動するマークと、前記ノズルが保持する前記部品を第1の波長の光にて照らす第1照明部と、前記マークを前記第1の波長と異なる第2の波長の光にて照らす第2照明部と、前記第1の波長の光にて照らされた前記部品、及び、前記第2の波長の光にて照らされた前記マークを下方から撮像する撮像部と、前記撮像部によって撮像された画像に含まれる前記部品と前記マークとの位置関係に基づいて、前記ノズルに対する前記部品の位置及び向きのずれを補正する制御部と、を備える。 A component mounting device according to one aspect of the present disclosure includes a nozzle that holds a component and moves toward a board on which the component is to be mounted; a mark that is fixed adjacent to the nozzle, located above a lower end of the nozzle, and moves with the nozzle; a first illumination unit that illuminates the component held by the nozzle with light of a first wavelength; a second illumination unit that illuminates the mark with light of a second wavelength different from the first wavelength; an imaging unit that images the component illuminated with the light of the first wavelength and the mark illuminated with the light of the second wavelength from below; and a control unit that corrects a positional and directional deviation of the component relative to the nozzle based on a positional relationship between the component and the mark included in an image captured by the imaging unit.

本開示の一態様に係る部品装着方法は、ノズルに保持された部品を第1の波長の光にて照らし、前記ノズルに隣接して固定され、前記ノズルの下端よりも上方に位置し、前記ノズルと共に移動するマークを前記第1の波長と異なる第2の波長の光にて照らし、前記第1の波長の光にて照らされた前記部品、及び、前記第2の波長の光にて照らされた前記マークを下方から撮像し、撮像された画像に含まれる前記部品と前記マークとの位置関係に基づいて、前記ノズルに対する前記部品の位置及び向きのずれを補正する。 A component mounting method according to one aspect of the present disclosure includes illuminating a component held by a nozzle with light of a first wavelength, illuminating a mark that is fixed adjacent to the nozzle, is located above the lower end of the nozzle, and moves with the nozzle with light of a second wavelength different from the first wavelength, capturing images of the component illuminated with the light of the first wavelength and the mark illuminated with the light of the second wavelength from below, and correcting a positional and directional deviation of the component relative to the nozzle based on the positional relationship between the component and the mark contained in the captured image.

なお、これらの包括的又は具体的な態様は、システム、装置、方法、集積回路、コンピュータプログラム又は記録媒体で実現されてもよく、システム、装置、方法、集積回路、コンピュータプログラム及び記録媒体の任意な組み合わせで実現されてもよい。 These comprehensive or specific aspects may be realized by a system, device, method, integrated circuit, computer program, or recording medium, or by any combination of a system, device, method, integrated circuit, computer program, and recording medium.

本開示によれば、マークをノズルの下端よりも上方に配置し、かつ、部品とマークの両方を鮮明に撮像することができる。 According to the present disclosure, the mark can be positioned above the bottom end of the nozzle, and both the part and the mark can be clearly imaged.

本実施の形態に係る部品装着装置の機械的構成を例示する上面図FIG. 2 is a top view illustrating a mechanical configuration of the component mounting device according to the embodiment; 図1に示す部品装着装置の機械的構成を例示する側面図FIG. 2 is a side view illustrating a mechanical configuration of the component mounting apparatus shown in FIG. 図2に示す移動ヘッド及び部品保持ノズルの動作を例示する斜視図FIG. 3 is a perspective view illustrating the operation of the moving head and the component holding nozzle shown in FIG. 図2に示す部品認識カメラ及びヘッドユニットの機械的構成を例示する側面図FIG. 3 is a side view illustrating a mechanical configuration of the component recognition camera and the head unit illustrated in FIG. 図4に示す照明ユニット部の機械的構成を例示する斜視図FIG. 5 is a perspective view illustrating a mechanical configuration of the lighting unit shown in FIG. 本実施の形態に係る第1の波長と第2の波長を例示するテーブル1 is a table illustrating a first wavelength and a second wavelength according to an embodiment of the present invention; 部品と基準マークとの位置関係を説明するための図FIG. 1 is a diagram for explaining the positional relationship between a component and a reference mark. 図1に示す部品装着装置の制御部の機能的構成を例示するブロック図FIG. 2 is a block diagram illustrating a functional configuration of a control unit of the component mounting apparatus shown in FIG. 本実施の形態に係る部品装着処理を例示するフローチャート1 is a flowchart illustrating a component mounting process according to an embodiment of the present invention.

以下、図面を適宜参照して、本開示の実施の形態について、詳細に説明する。ただし、必要以上に詳細な説明は省略する場合がある。例えば、すでによく知られた事項の詳細説明及び実質的に同一の構成に対する重複説明を省略する場合がある。これは、以下の説明が不必要に冗長になるのを避け、当業者の理解を容易にするためである。なお、添付図面及び以下の説明は、当業者が本開示を十分に理解するために提供されるのであって、これらにより特許請求の記載の主題を限定することは意図されていない。 Below, the embodiments of the present disclosure will be described in detail with reference to the drawings as appropriate. However, more detailed explanation than necessary may be omitted. For example, detailed explanation of already well-known matters and duplicate explanation of substantially identical configurations may be omitted. This is to avoid the following explanation becoming unnecessarily redundant and to facilitate understanding by those skilled in the art. Note that the attached drawings and the following explanation are provided to enable those skilled in the art to fully understand the present disclosure, and are not intended to limit the subject matter described in the claims.

例えば、実施の形態でいう「部」又は「装置」とは単にハードウェアによって機械的に実現される物理的構成に限らず、その構成が有する機能をプログラムなどのソフトウェアにより実現されるものも含む。また、1つの構成が有する機能が2つ以上の物理的構成により実現されても、又は2つ以上の構成の機能が例えば1つの物理的構成によって実現されていてもかまわない。 For example, the term "part" or "device" in the embodiments is not limited to a physical configuration that is mechanically realized by hardware, but also includes configurations whose functions are realized by software such as a program. Also, the functions of one configuration may be realized by two or more physical configurations, or the functions of two or more configurations may be realized by, for example, one physical configuration.

(本実施の形態)
<部品装着装置の機械的構成>
図1は、本実施の形態に係る部品装着装置1の機械的構成を例示する上面図である。図2は、図1に示す部品装着装置1の機械的構成を例示する側面図である。
(Present embodiment)
<Mechanical configuration of the component mounting device>
Fig. 1 is a top view illustrating the mechanical configuration of a component mounting apparatus 1 according to the present embodiment, Fig. 2 is a side view illustrating the mechanical configuration of the component mounting apparatus 1 shown in Fig. 1.

なお、説明の便宜上、部品装着装置1が設置される床面から高さ方向に延びる軸をZ軸とする。Z軸に対して垂直(つまり床面に平行)かつ部品装着装置1の正面(図1の紙面の下側)から部品装着装置1の裏面(図1の紙面の上側)に向かう軸をY軸とする。Y軸及びZ軸に対して垂直な軸をX軸とする。また、説明の便宜上、Z軸の正方向を「上」、Z軸の負方向を「下」、Y軸の正方向を「前」、Y軸の負方向を「後」、X軸の正方向を「右」、Y軸の負方向を「左」と称する場合がある。なお、これらの方向に係る表現は、説明の便宜上用いられるものであって、当該構造の実使用時における姿勢を限定する意図ではない。 For ease of explanation, the axis extending in the height direction from the floor surface on which the component mounting device 1 is installed is referred to as the Z axis. The axis perpendicular to the Z axis (i.e., parallel to the floor surface) and extending from the front of the component mounting device 1 (the lower side of the paper in FIG. 1) to the rear side of the component mounting device 1 (the upper side of the paper in FIG. 1) is referred to as the Y axis. The axis perpendicular to the Y axis and the Z axis is referred to as the X axis. For ease of explanation, the positive direction of the Z axis may be referred to as "up", the negative direction of the Z axis as "down", the positive direction of the Y axis as "front", the negative direction of the Y axis as "rear", the positive direction of the X axis as "right", and the negative direction of the Y axis as "left". These directional expressions are used for ease of explanation and are not intended to limit the position of the structure during actual use.

部品装着装置1は、基板Wに各種の部品Pを取り付けて製造するための実装基板製造ラインに1つ又は複数配置される。部品装着装置1は、実装基板製造ラインの上流から搬送される基板Wに部品Pを所定の位置及び姿勢で装着する。 One or more component mounting devices 1 are arranged on a mounting board production line for mounting and manufacturing various components P on a board W. The component mounting device 1 mounts the components P in a predetermined position and orientation on the board W transported from upstream of the mounting board production line.

図1及び図2に示すように、部品装着装置1は、本体機構部10(部品実装部の一例)、及び、制御部40を含んで構成される。本体機構部10は、主に各部機構の動作によって基板Wに、部品P(例えば、IC(Integrated Circuit)、トランジスタ又はコンデンサといった電子部品、リード部品、チップ部品及び/又はBGA(Ball Grid Array)部品)などを実装する。制御部40は、本体機構部10の動作を制御する。 As shown in Figures 1 and 2, the component mounting device 1 is configured to include a main body mechanism unit 10 (an example of a component mounting unit) and a control unit 40. The main body mechanism unit 10 mounts components P (e.g., electronic components such as ICs (Integrated Circuits), transistors or capacitors, lead components, chip components, and/or BGA (Ball Grid Array) components) on a board W mainly through the operation of each component mechanism. The control unit 40 controls the operation of the main body mechanism unit 10.

本体機構部10は、基台12などから構成される実装機本体11と、実装機本体11に対し移動可能に構成されるヘッドユニット23と、を備える。制御部40は、部品装着装置1の基台12(下述参照)の内部に収納されており、実装機本体11及びヘッドユニット23といった各種の機構を制御する。 The main body mechanism section 10 includes a mounting machine main body 11 that is composed of a base 12 and the like, and a head unit 23 that is configured to be movable relative to the mounting machine main body 11. The control section 40 is housed inside the base 12 (see below) of the component mounting device 1, and controls various mechanisms such as the mounting machine main body 11 and the head unit 23.

実装機本体11の基台12の中央部には、図1に示すX方向(基板Wの搬送方向)に沿って基板搬送機構13が配設される。基板搬送機構13は、X方向に沿って延設される一対のコンベア部14を備える。基板搬送機構13は、その一対のコンベア部14の上に載置される基板Wを搬送し、所定の装着作業位置で位置決めして保持する。 A board transport mechanism 13 is disposed in the center of the base 12 of the mounting machine main body 11 along the X direction (the transport direction of the board W) shown in FIG. 1. The board transport mechanism 13 includes a pair of conveyor units 14 extending along the X direction. The board transport mechanism 13 transports the board W placed on the pair of conveyor units 14, and positions and holds it at a predetermined mounting position.

基板搬送機構13の前後の両側には、前後一対の部品供給機構15のそれぞれが、対向して配設される。この一対の部品供給機構15のそれぞれは、スロット17が設けられているフィーダベース16を備える。スロット17には、パーツフィーダとして複数のテープフィーダ18が並列に装着される。 A pair of component supply mechanisms 15 are arranged facing each other on both the front and rear sides of the board transport mechanism 13. Each of the pair of component supply mechanisms 15 has a feeder base 16 in which a slot 17 is provided. A number of tape feeders 18 are attached in parallel to the slot 17 as part feeders.

また、部品装着装置1は、フィーダカート19をさらに備える。フィーダカート19は、その下側に複数の車輪が配設される台車部20と、台車部20の上側に配設される複数のリールストック部(不図示)と、を含んで構成される。複数のリールストック部のそれぞれには、リール21が収容される。リール21のそれぞれから、部品Pが収容されるキャリアテープ22が引き出されて部品供給機構15のテープフィーダ18に部品Pが供給される。部品供給機構15のテープフィーダ18は、キャリアテープ22をテープ送り方向にピッチ送りすることにより、部品Pを供給する。下述するヘッドユニット23の移動ヘッド26に装着された部品保持ノズル27は、テープフィーダ18によって供給された部品Pをピックアップ(例えば吸着保持)する。部品保持ノズル27が部品Pをピックアップする位置を、部品取出位置と称する場合がある。なお、図2では移動ヘッド26及び部品保持ノズル27が1つしか描かれてないが、移動ヘッド26及び部品保持ノズル27は、複数存在してよく、例えば図7A及び図7Bに示すように、複数列及び/又は複数行に並んで配列されてよい。 The component mounting device 1 further includes a feeder cart 19. The feeder cart 19 includes a carriage section 20 with a plurality of wheels disposed on its underside, and a plurality of reel stock sections (not shown) disposed on the upper side of the carriage section 20. A reel 21 is accommodated in each of the plurality of reel stock sections. A carrier tape 22 containing a component P is pulled out from each of the reels 21, and the component P is supplied to the tape feeder 18 of the component supply mechanism 15. The tape feeder 18 of the component supply mechanism 15 supplies the component P by pitch-feeding the carrier tape 22 in the tape feed direction. A component holding nozzle 27 attached to a moving head 26 of a head unit 23 described below picks up (e.g., holds by suction) the component P supplied by the tape feeder 18. The position where the component holding nozzle 27 picks up the component P may be referred to as a component removal position. Although only one moving head 26 and one component holding nozzle 27 are shown in FIG. 2, there may be multiple moving heads 26 and multiple component holding nozzles 27, and they may be arranged in multiple columns and/or multiple rows, for example, as shown in FIG. 7A and FIG. 7B.

ヘッドユニット23は、基台12の上方に配設されており、部品供給機構15と基板Wとが配置される装着作業位置及び部品取出位置とに亘って移動可能に構成される。具体的には、ヘッドユニット23は、基板Wの表面と略平行する平面上で互いに直交配置されるX軸テーブル機構25及びY軸テーブル機構24とによってX方向及びY方向に沿って直動移動可能である。 The head unit 23 is disposed above the base 12 and is configured to be movable between a mounting position where the component supply mechanism 15 and the substrate W are disposed, and a component removal position. Specifically, the head unit 23 is capable of linear movement along the X and Y directions by an X-axis table mechanism 25 and a Y-axis table mechanism 24 that are disposed orthogonal to each other on a plane substantially parallel to the surface of the substrate W.

基台12の上面には、Y軸テーブル機構24がY方向に沿って配設される。また、前後一対のX軸テーブル機構25がX方向に沿って配設されており、Y方向に沿ってスライド移動可能にY軸テーブル機構24のそれぞれに取り付けられる。また、前後一対のX軸テーブル機構25のそれぞれの先端部には、移動ヘッド26がX方向に沿ってスライド移動可能に取り付けられる。すなわち、ヘッドユニット23に移動ヘッド26が搭載されており、移動ヘッド26はX軸テーブル機構25及びY軸テーブル機構24によって互いに独立に移動可能に設けられる。これにより、移動ヘッド26は基板Wの表面と略平行する平面上、つまり水平面(XY平面)において任意に位置決めされる。なお、X軸テーブル機構25及びY軸テーブル機構24はいずれもリニアガイド駆動機構により構成される。 On the upper surface of the base 12, a Y-axis table mechanism 24 is disposed along the Y direction. A pair of front and rear X-axis table mechanisms 25 are disposed along the X direction and are attached to each of the Y-axis table mechanisms 24 so as to be slidable along the Y direction. A moving head 26 is attached to the tip of each of the pair of front and rear X-axis table mechanisms 25 so as to be slidable along the X direction. That is, the moving head 26 is mounted on the head unit 23, and the moving head 26 is provided so as to be movable independently of each other by the X-axis table mechanism 25 and the Y-axis table mechanism 24. As a result, the moving head 26 is arbitrarily positioned on a plane approximately parallel to the surface of the substrate W, that is, on the horizontal plane (XY plane). Both the X-axis table mechanism 25 and the Y-axis table mechanism 24 are configured with linear guide drive mechanisms.

前後一対の部品供給機構15と基板搬送機構13との間には、撮像部の一例である部品認識カメラ28が配設される。移動ヘッド26に装着された部品保持ノズル27(下述参照)は、部品供給機構15から部品Pを取り出して吸着保持した状態で、部品認識カメラ28の上方を移動して通過する。このとき、部品認識カメラ28は、その通過する部品保持ノズル27に吸着保持された部品Pを、所定のタイミングにて照明を当てつつ1又は複数回撮像する。 A component recognition camera 28, which is an example of an imaging unit, is disposed between the pair of front and rear component supply mechanisms 15 and the board transport mechanism 13. A component holding nozzle 27 (see below) attached to the moving head 26 moves and passes above the component recognition camera 28 while taking out a component P from the component supply mechanism 15 and holding it by suction. At this time, the component recognition camera 28 takes an image of the component P held by the component holding nozzle 27 that it passes over, one or more times, while illuminating it at a predetermined timing.

また、前後一対の部品供給機構15と基板搬送機構13との間には、ノズルホルダ38及び廃棄ボックス37がさらに配設される。ノズルホルダ38は、移動ヘッド26の部品保持ノズル27を保持対象の部品Pに対応して複数種類収納する。移動ヘッド26をノズルホルダ38にアクセスさせて所定のノズル交換動作を実行させることにより、移動ヘッド26には、保持対象に適した部品保持ノズル27(下述)が装着される。廃棄ボックス37は箱状に形成されて内部空間を有し、その内部空間には、部品認識カメラ28によって撮像結果を認識した結果、不良と判定された部品Pなどが廃棄される。 In addition, a nozzle holder 38 and a waste box 37 are further disposed between the pair of front and rear component supply mechanisms 15 and the board transport mechanism 13. The nozzle holder 38 stores multiple types of component holding nozzles 27 of the moving head 26 corresponding to the components P to be held. By having the moving head 26 access the nozzle holder 38 and performing a predetermined nozzle replacement operation, a component holding nozzle 27 (described below) suitable for the object to be held is attached to the moving head 26. The waste box 37 is formed in a box shape and has an internal space, in which components P determined to be defective as a result of the image captured by the component recognition camera 28 are discarded.

<移動ヘッドの構成及び動作>
次に、図3を参照しながら、移動ヘッド26及び部品保持ノズル27の構成及びその動作について説明する。図3は、図2に示す移動ヘッド26及び部品保持ノズル27の動作を例示する斜視図である。
<Configuration and Operation of Moving Head>
Next, the configuration and operation of the moving head 26 and the component holding nozzle 27 will be described with reference to Fig. 3. Fig. 3 is a perspective view illustrating the operation of the moving head 26 and the component holding nozzle 27 shown in Fig. 2.

ここでは、図3を参照しながら、1つの移動ヘッド26及び部品保持ノズル27に着目して説明する。しかし、移動ヘッド26及び部品保持ノズル27は、複数存在してよく、複数列及び/又は複数行に並んで配列されてよい。また、図3は、後述する照明部及びそれに関連するもの(例えば反射板)、並びに、マーク筒60についての描写を省略している。 Here, the description will be given with reference to FIG. 3, focusing on one moving head 26 and component holding nozzle 27. However, there may be multiple moving heads 26 and component holding nozzles 27, and they may be arranged in multiple columns and/or multiple rows. Also, FIG. 3 omits depiction of the illumination unit and related parts (e.g., reflectors) and mark tube 60, which will be described later.

部品保持ノズル27は、例えば空気圧を利用して、部品供給機構15のテープフィーダ18から部品Pを真空吸着して保持し個別に昇降する。また、移動ヘッド26は、部品保持ノズル27のそれぞれを個別に昇降させるZ軸昇降機構(不図示)と、部品保持ノズル27のそれぞれをノズル軸を中心に個別に回転させるθ軸回転機構(不図示)と、を備える。Y軸テーブル機構24及びX軸テーブル機構25が駆動することにより、移動ヘッド26は、水平面(XY平面)において任意に位置決めされる。この移動により、移動ヘッド26は、部品供給機構15のテープフィーダ18の部品取出位置から部品Pを部品保持ノズル27によって吸着して取り出す。 The component holding nozzles 27 use, for example, air pressure to vacuum-suck and hold the components P from the tape feeder 18 of the component supply mechanism 15, and raise and lower them individually. The moving head 26 also includes a Z-axis lifting mechanism (not shown) that raises and lowers each of the component holding nozzles 27 individually, and a θ-axis rotation mechanism (not shown) that rotates each of the component holding nozzles 27 individually about the nozzle axis. The Y-axis table mechanism 24 and the X-axis table mechanism 25 are driven to position the moving head 26 arbitrarily in the horizontal plane (XY plane). With this movement, the moving head 26 uses the component holding nozzles 27 to suck and pick up the components P from the component pick-up position of the tape feeder 18 of the component supply mechanism 15.

部品認識カメラ28は、部品Pを保持した部品保持ノズル27が基板Wの位置に移動する途中において、当該部品Pを下方から撮像する。制御部40は、この部品認識カメラ28によって撮像された画像を解析して、当該部品Pを認識する。加えて、制御部40は、部品保持ノズル27に保持された部品Pの、当該部品保持ノズル27に対する相対的な位置及び向きを算出する。部品Pの部品保持ノズル27に対する相対的な位置及び向きは、部品保持ノズル27が正確に部品Pを保持した場合の位置及び向きを基準とする。以下、部品Pの部品保持ノズル27に対する相対的な位置及び向きの大きさを、部品Pの位置及び向きのずれ量と称する場合がある。部品Pの位置のずれ量は、XY平面におけるX方向及びY方向の移動量として表現されてよい。部品Pの向きのずれ量は、XY平面における回転角度として表現されてよい。 The component recognition camera 28 captures an image of the component P from below while the component holding nozzle 27 holding the component P is moving to the position of the board W. The control unit 40 analyzes the image captured by the component recognition camera 28 to recognize the component P. In addition, the control unit 40 calculates the position and orientation of the component P held by the component holding nozzle 27 relative to the component holding nozzle 27. The position and orientation of the component P relative to the component holding nozzle 27 are based on the position and orientation when the component holding nozzle 27 accurately holds the component P. Hereinafter, the magnitude of the position and orientation of the component P relative to the component holding nozzle 27 may be referred to as the deviation amount of the position and orientation of the component P. The deviation amount of the position of the component P may be expressed as the amount of movement in the X and Y directions on the XY plane. The deviation amount of the orientation of the component P may be expressed as a rotation angle on the XY plane.

移動ヘッド26には、X軸テーブル機構25の下面側に配設され、当該移動ヘッド26と一体に移動する基板認識カメラ36(図1及び図2参照)が固設される。移動ヘッド26が移動することにより、基板認識カメラ36は、基板搬送機構13によって位置決めされた基板Wの上方を通過し基板Wを撮像する。この撮像結果(撮像情報)が同様に認識処理されることにより、基板Wの位置及び姿勢が検出される。 A board recognition camera 36 (see Figures 1 and 2) is fixed to the moving head 26. The board recognition camera 36 is disposed on the underside of the X-axis table mechanism 25 and moves integrally with the moving head 26. As the moving head 26 moves, the board recognition camera 36 passes above the board W positioned by the board transport mechanism 13 and images the board W. The image capture result (image capture information) is similarly processed for recognition, thereby detecting the position and orientation of the board W.

基板Wの位置の検出の結果、制御部40は、移動ヘッド26の部品保持ノズル27を、当該部品保持ノズル27が保持する部品Pの装着点に移動させ、当該部品Pを当該装着点に装着姿勢にて装着する。装着点は、基板W上における部品Pが装着されるべき位置を示す。装着姿勢は、部品Pが当該装着点に装着される際の姿勢(例えば向き)を示す。このとき、移動ヘッド26は、上述した部品Pの位置及び向きのずれ量を補正するように、XY移動及び軸回転を行った上で、部品Pを装着点に装着する。これにより、部品保持ノズル27と部品Pとの相対的なずれが補正され、部品Pは、装着点に正確に装着される。 As a result of detecting the position of the board W, the control unit 40 moves the component holding nozzle 27 of the moving head 26 to the mounting point of the component P held by the component holding nozzle 27, and mounts the component P at the mounting point in a mounting attitude. The mounting point indicates the position on the board W where the component P should be mounted. The mounting attitude indicates the attitude (e.g., orientation) of the component P when it is mounted at the mounting point. At this time, the moving head 26 performs XY movement and axial rotation to correct the amount of deviation in the position and orientation of the component P described above, and then mounts the component P at the mounting point. This corrects the relative deviation between the component holding nozzle 27 and the component P, and the component P is accurately mounted at the mounting point.

上記の移動及び装着の動作は、複数の部品保持ノズル27のそれぞれに保持される部品Pが、すべて基板Wに装着されるまで繰り替えされてよい。このようにして、部品Pは、部品取出位置から装着作業位置までの間を、移動ヘッド26の部品保持ノズル27によって保持されて移動され、そして最終的に基板W上に装着される。 The above movement and mounting operations may be repeated until all of the components P held by each of the multiple component holding nozzles 27 have been mounted on the board W. In this manner, the components P are held and moved by the component holding nozzles 27 of the moving head 26 between the component removal position and the mounting operation position, and are finally mounted on the board W.

部品装着装置1は、基板W上の複数の装着点での装着がすべて完了するまで、移動ヘッド26の部品保持ノズル27による複数の部品Pの取出、装着、及び、部品取出位置への戻り移動の一連の作業を繰り返し実行する。この作業の繰り返しにより、順次搬送される基板Wのそれぞれに多数の部品Pが順次装着される。そして、装着後、部品Pが全部装着された基板Wは、下流工程に搬送される。このように、実装機本体11とヘッドユニット23とは協調して動作しており、この協調動作は、制御部40の指示によって実行される。 The component mounting device 1 repeatedly performs a series of operations, such as removing and mounting multiple components P using the component holding nozzle 27 of the moving head 26, and then moving back to the component removal position, until mounting is completed at all of the multiple mounting points on the board W. By repeating this operation, a large number of components P are sequentially mounted on each of the boards W that are transported in sequence. Then, after mounting, the boards W on which all of the components P have been mounted are transported to a downstream process. In this way, the mounting machine main body 11 and the head unit 23 operate in coordination, and this coordinated operation is executed under the instructions of the control unit 40.

また、本実施の形態では、部品Pの部品取出位置における取出から装着作業位置における部品Pの装着までの行きの移動と、その後の部品取出位置への戻りの移動とからなる一連の作業単位を「1ターン」の作業単位と称する場合がある。そして、その1ターンにおける部品取出位置から装着作業位置までの行きの移動を、以下単に「1ターンにおける行きの移動」と称する場合がある。 In addition, in this embodiment, a series of work units consisting of the movement from the removal of component P at the component removal position to the mounting work position of component P, and the subsequent return movement to the component removal position, may be referred to as a "one turn" work unit. The movement from the component removal position to the mounting work position in one turn may be referred to simply as "the movement in one turn" below.

<部品認識カメラの構成>
次に、図4及び図5を参照しながら、部品認識カメラ28の構成について説明する。図4は、図2に示す部品認識カメラ28及びヘッドユニット23の機械的構成を例示する側面図である。図5は、図4に示す照明ユニット部31の機械的構成を例示する斜視図である。
<Component Recognition Camera Configuration>
Next, the configuration of the component recognition camera 28 will be described with reference to Fig. 4 and Fig. 5. Fig. 4 is a side view illustrating the mechanical configuration of the component recognition camera 28 and the head unit 23 shown in Fig. 2. Fig. 5 is a perspective view illustrating the mechanical configuration of the lighting unit section 31 shown in Fig. 4.

図4に示すように、部品認識カメラ28は、撮像センサ部29及び照明ユニット部31を備える。 As shown in FIG. 4, the part recognition camera 28 includes an image sensor unit 29 and an illumination unit unit 31.

撮像センサ部29は、光軸が垂直方向(Z方向)に沿うように配設され、部品認識カメラ28の上方を移動する部品Pを下から撮像する。撮像センサ部29は、略筒状の筐体30と、筐体30に内蔵されるレンズ71及び撮像素子72とを備える。レンズ71は1つであってもよいし、複数であってもよい。撮像素子72は、CCD(Charge Coupled Device)又はCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)により構成されてよい。撮像センサ部29は、シャッタ機能を有し、制御部40の撮像処理部47(下述参照)の指令に従って所定のタイミングで露光し、撮像を行う。撮像センサ部29は、撮像素子72によって撮像された結果(撮像画像)を、制御部40に送信する。なお、撮像センサ部29及びヘッドユニット23について、後により詳しく説明する。 The imaging sensor unit 29 is disposed so that its optical axis is aligned along the vertical direction (Z direction) and captures an image of the component P moving above the component recognition camera 28 from below. The imaging sensor unit 29 includes a substantially cylindrical housing 30 and a lens 71 and an imaging element 72 built into the housing 30. There may be one lens 71 or multiple lenses 71. The imaging element 72 may be configured with a CCD (Charge Coupled Device) or a CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor). The imaging sensor unit 29 has a shutter function and performs exposure and imaging at a predetermined timing according to a command from an imaging processing unit 47 (see below) of the control unit 40. The imaging sensor unit 29 transmits the result of imaging by the imaging element 72 (image) to the control unit 40. The imaging sensor unit 29 and the head unit 23 will be described in more detail later.

部品認識カメラ28は、スキャン撮像方式に従って撮像可能であり、エリアセンサを用いたROI(Region Of Interest)機能を有してよい。部品認識カメラ28は、ROI機能により、撮像センサ部29に対して複数のROI(例えば2つのROI)を設定し、ROIを連続的に切り替えて撮像を行ってもよい。 The part recognition camera 28 can capture images according to a scan imaging method and may have a region of interest (ROI) function using an area sensor. The part recognition camera 28 may set multiple ROIs (e.g., two ROIs) on the imaging sensor unit 29 using the ROI function and capture images by continuously switching between the ROIs.

照明ユニット部31は、箱状の筐体32、複数の反射照明部33、複数の透過照明部34、複数の側方照明部35、及び、同軸照明部39を備える。なお、反射照明部33は、斜方照明部、部品照明部、又は、第1照明部と称されてもよい。反射照明部33、透過照明部34、側方照明部35、及び、同軸照明部39は、筐体32の内部に配置される。照明ユニット部31の筐体32は、撮像センサ部29の筐体30の上側に積み重ねた状態で連結して配置される。 The lighting unit section 31 includes a box-shaped housing 32, multiple reflective lighting sections 33, multiple transmitted lighting sections 34, multiple side lighting sections 35, and a coaxial lighting section 39. The reflective lighting section 33 may be referred to as an oblique lighting section, a component lighting section, or a first lighting section. The reflective lighting section 33, the transmitted lighting section 34, the side lighting section 35, and the coaxial lighting section 39 are disposed inside the housing 32. The housing 32 of the lighting unit section 31 is disposed in a connected state in a stacked state on top of the housing 30 of the image sensor section 29.

図5に示すように、複数の側方照明部35は、水平方向に沿って円環状に配置される。また、複数の反射照明部33は、側方照明部35よりも下方、かつ、複数の側方照明部35によって構成される円環の内側において、中央に空間が形成されるように、当該中央を囲んで配置される。また、複数の透過照明部34は、反射照明部33と側方照明部35との間に配置される。また、同軸照明部39及び反射板Cは、反射照明部33よりも下方に配置される。 As shown in FIG. 5, the multiple side illumination units 35 are arranged in a circular ring shape along the horizontal direction. The multiple reflective illumination units 33 are arranged below the side illumination units 35 and around the center inside the ring formed by the multiple side illumination units 35 so that a space is formed in the center. The multiple transmitted illumination units 34 are arranged between the reflective illumination units 33 and the side illumination units 35. The coaxial illumination unit 39 and the reflector C are arranged below the reflective illumination units 33.

反射照明部33は、照明ユニット部31の筐体32の底壁32p(つまりXY平面、水平面)に対し略平行に配置される。反射照明部33は、照射方向が撮像センサ部29の光軸に沿うように設けられる。反射照明部33は、発光すると、略垂直方向(Z方向)に沿って光を照射する。部品保持ノズル27に保持される部品Pと反射照明部33との間に、透過ガラス(図示しない)が水平方向に沿って配置されてよい。 The reflective illumination section 33 is disposed approximately parallel to the bottom wall 32p (i.e., the XY plane, horizontal plane) of the housing 32 of the illumination unit section 31. The reflective illumination section 33 is disposed so that the irradiation direction is along the optical axis of the imaging sensor section 29. When emitting light, the reflective illumination section 33 irradiates light along an approximately vertical direction (Z direction). A transparent glass (not shown) may be disposed along the horizontal direction between the component P held by the component holding nozzle 27 and the reflective illumination section 33.

反射照明部33は、部品保持ノズル27に保持された部品Pが部品認識カメラ28の上方を移動しているタイミングt1にて発光する。これにより、部品保持ノズル27に保持された部品Pの下面は、反射照明部33から照射され、透過ガラスを通過した光によって、照らされる。このタイミングt1に対応して、撮像センサ部29は、その部品Pを撮像する。 The reflective illumination unit 33 emits light at a timing t1 when the component P held by the component holding nozzle 27 is moving above the component recognition camera 28. As a result, the underside of the component P held by the component holding nozzle 27 is illuminated by the light irradiated from the reflective illumination unit 33 and transmitted through the transparent glass. In response to this timing t1, the imaging sensor unit 29 captures an image of the component P.

なお、複数の反射照明部33は、反射照明チャネルを構成してよい。制御部40は、反射照明チャネルの単位で発光制御を行ってよい。 The multiple reflective lighting units 33 may constitute a reflective lighting channel. The control unit 40 may control the light emission in units of reflective lighting channels.

透過照明部34は、筐体32の底壁32p及び側壁32q(つまりZ方向)に対し斜めに配置される。透過照明部34は、照射方向が撮像センサ部29の光軸に対し斜めになるように設けられる。反射照明部33と透過照明部34との間に、遮蔽板Bが配置される。遮蔽板Bは、透過照明部34と同様に、筐体32の底壁32p及び側壁32qの両方に対し斜めになるように配置される。 The transmitted illumination unit 34 is disposed at an angle to the bottom wall 32p and side wall 32q (i.e., the Z direction) of the housing 32. The transmitted illumination unit 34 is provided so that the irradiation direction is oblique to the optical axis of the image sensor unit 29. A shielding plate B is disposed between the reflective illumination unit 33 and the transmitted illumination unit 34. Similar to the transmitted illumination unit 34, the shielding plate B is disposed so as to be oblique to both the bottom wall 32p and side wall 32q of the housing 32.

透過照明部34は、発光すると、垂直方向(Z方向)及び水平方向(XY平面)に対して斜めに光を照射する。透過照明部34は、部品保持ノズル27に保持された部品Pが部品認識カメラ28の上方を移動しているタイミングt2にて発光する。これにより、部品保持ノズル27に保持された部品Pは、透過照明部34から照射され移動ヘッド26の反射板にて反射された光によって照らされる。このタイミングt2に対応して、撮像センサ部29は、その部品Pを撮像する。 When the transillumination unit 34 emits light, it irradiates the light obliquely in the vertical direction (Z direction) and the horizontal direction (XY plane). The transillumination unit 34 emits light at a timing t2 when the component P held by the component holding nozzle 27 is moving above the component recognition camera 28. As a result, the component P held by the component holding nozzle 27 is illuminated by the light emitted from the transillumination unit 34 and reflected by the reflector of the moving head 26. In response to this timing t2, the imaging sensor unit 29 captures an image of the component P.

なお、複数の透過照明部34は、透過照明チャネルを構成してよい。制御部40は、透過照明チャネルの単位で発光制御を行ってよい。 The multiple transillumination units 34 may constitute a transillumination channel. The control unit 40 may control the light emission on a per-translumination channel basis.

側方照明部35は、照明ユニット部31の筐体32の側壁32qに対し略平行に配置される。側方照明部35は、照射方向が撮像センサ部29の光軸に対し垂直になるように設けられる。また、側方照明部35は、反射照明部33及び透過照明部34よりも上方に配置される。側方照明部35は、発光すると、水平面に沿って光を照射する。 The side illumination section 35 is disposed approximately parallel to the side wall 32q of the housing 32 of the illumination unit section 31. The side illumination section 35 is disposed so that the illumination direction is perpendicular to the optical axis of the image sensor section 29. The side illumination section 35 is also disposed above the reflective illumination section 33 and the transmitted illumination section 34. When the side illumination section 35 emits light, it irradiates light along a horizontal plane.

側方照明部35は、部品保持ノズル27に保持された部品Pが部品認識カメラ28の上方を移動しているタイミングt3にて発光する。これにより、部品保持ノズル27に保持された部品Pの側方は、側方照明部35から照射された光によって照らされる。このタイミングt3に対応して、撮像センサ部29は、その部品Pを撮像する。 The side illumination unit 35 emits light at time t3 when the component P held by the component holding nozzle 27 is moving above the component recognition camera 28. As a result, the side of the component P held by the component holding nozzle 27 is illuminated by the light emitted from the side illumination unit 35. In response to this time t3, the imaging sensor unit 29 captures an image of the component P.

同軸照明部39は、照明ユニット部31の筐体32の側壁32qに対し略平行に配置される。同軸照明部39は、照射方向が撮像センサ部29の光軸に対し垂直になるように設けられる。同軸照明部39は、反射照明部33の下方に配置される。同軸照明部39は、発光すると、水平面に沿って光を照射する。また、部品認識カメラ28に含まれる反射板C(例えばミラー)は、同軸照明部39からXY平面に沿った方向に離間した位置に配設される。同軸照明部39から照射された光は、反射板Cにて上方に反射され、反射板Cの上方を照らす。 The coaxial lighting section 39 is disposed approximately parallel to the side wall 32q of the housing 32 of the lighting unit section 31. The coaxial lighting section 39 is disposed so that the irradiation direction is perpendicular to the optical axis of the imaging sensor section 29. The coaxial lighting section 39 is disposed below the reflective lighting section 33. When the coaxial lighting section 39 emits light, it irradiates light along a horizontal plane. In addition, a reflector C (e.g., a mirror) included in the part recognition camera 28 is disposed at a position spaced apart from the coaxial lighting section 39 in a direction along the XY plane. The light irradiated from the coaxial lighting section 39 is reflected upward by the reflector C and illuminates the area above the reflector C.

同軸照明部39は、部品保持ノズル27に保持された部品Pが部品認識カメラ28の上方を移動しているタイミングt4にて発光する。これにより、部品保持ノズル27に保持された部品Pの下部は、同軸照明部39から照射され、反射板Cにて上方に反射され、複数の反射照明部33に囲まれた中央の空間及び透過ガラスを通過した光によって照らされる。このタイミングt4に対応して、撮像センサ部29は、その部品Pを撮像する。 The coaxial lighting unit 39 emits light at timing t4 when the component P held by the component holding nozzle 27 is moving above the component recognition camera 28. As a result, the lower part of the component P held by the component holding nozzle 27 is illuminated by light that is irradiated from the coaxial lighting unit 39, reflected upward by the reflector C, and passes through the central space surrounded by the multiple reflective lighting units 33 and the transparent glass. In response to this timing t4, the imaging sensor unit 29 captures an image of the component P.

なお、同軸照明部39は、同軸照明チャネルを構成してよい。制御部40は、同軸照明チャネルの単位で発光制御を行ってよい。 The coaxial lighting unit 39 may constitute a coaxial lighting channel. The control unit 40 may control the light emission on a coaxial lighting channel basis.

なお、各照明部33、34、35、39の発光タイミングt1~t4は、1ターンにおける行きの移動の時間内における複数の撮像タイミングのうちのいずれかのタイミングであってよい。また、各照明部33、34、35、39の発光タイミングは重複してもよい。例えば、複数の照明部33、34、35、39の少なくとも2つが同時に発光し、部品Pを照らしてもよい。 The light emission timings t1 to t4 of each of the lighting units 33, 34, 35, and 39 may be any of a number of image capture timings within the time of the forward movement in one turn. The light emission timings of each of the lighting units 33, 34, 35, and 39 may overlap. For example, at least two of the multiple lighting units 33, 34, 35, and 39 may emit light simultaneously to illuminate the component P.

<撮像センサ部及びヘッドユニットの詳細>
次に、図4~図7を参照して、本実施の形態に係る撮像センサ部29及びヘッドユニット23について詳細に説明する。図6は、本実施の形態に係る第1の波長と第2の波長を例示するテーブルである。図7は、部品Pと基準マーク61との位置関係を説明するための図である。
<Details of the image sensor and head unit>
Next, the imaging sensor section 29 and the head unit 23 according to the present embodiment will be described in detail with reference to Figures 4 to 7. Figure 6 is a table illustrating the first wavelength and the second wavelength according to the present embodiment. Figure 7 is a diagram for explaining the positional relationship between the component P and the reference mark 61.

図4に示すように、ヘッドユニット23は、下方に延出する移動ヘッド26と、下方に延出する筒状のマーク筒60とを備える。移動ヘッド26には部品保持ノズル27が装着される。マーク筒60は、移動ヘッド26から所定の距離だけ離れた位置に、移動ヘッド26に隣接して備えられる。マーク筒60の下面には、半透明の基準マーク61が設けられる。 As shown in FIG. 4, the head unit 23 includes a moving head 26 that extends downward, and a cylindrical marking tube 60 that also extends downward. A component holding nozzle 27 is attached to the moving head 26. The marking tube 60 is provided adjacent to the moving head 26 at a position a predetermined distance away from the moving head 26. A translucent reference mark 61 is provided on the underside of the marking tube 60.

基準マーク61は、部品認識カメラ28によって部品Pを認識して、部品保持ノズル27に対する部品Pの位置及び向きのずれ量を算出する際に用いられる。例えば、部品認識カメラ28は、部品P及び基準マーク61を含む画像を撮像する。制御部40は、撮像された画像を解析して、部品P及び基準マーク61を認識し、当該基準マーク61に対する部品Pの相対的な位置及び向きのずれ量を算出する。そして、制御部40は、この算出したずれ量を用いて、上記したように、部品保持ノズル27に対する部品Pの位置及び向きのずれ量を算出する。 The reference mark 61 is used when the component recognition camera 28 recognizes the component P and calculates the amount of deviation in the position and orientation of the component P relative to the component holding nozzle 27. For example, the component recognition camera 28 captures an image including the component P and the reference mark 61. The control unit 40 analyzes the captured image to recognize the component P and the reference mark 61, and calculates the amount of deviation in the relative position and orientation of the component P with respect to the reference mark 61. The control unit 40 then uses this calculated amount of deviation to calculate the amount of deviation in the position and orientation of the component P with respect to the component holding nozzle 27, as described above.

基準マーク61(つまりマーク筒60の下面)は、部品保持ノズル27の下端より上方に位置する。これにより、図7の(b)に示すように、部品保持ノズル27が、部品Pを装着する際に、部品Pの向きのずれ量を補正するために軸回転した場合(つまり部品Pの向きを回転させた場合)に、部品Pがマーク筒60に衝突しない。よって、本実施の形態によれば、部品Pの向きを回転させた場合に基準マーク61と干渉するようなサイズの部品Pも、取り扱うことができるようになる。なお、図7の(a)に示すように、部品認識カメラ28が部品P及び基準マーク61を撮像する時点では、部品Pは回転される前であるので、部品Pは基準マーク61に干渉しない。よって、部品認識カメラ28は、部品P及び基準マーク61の両方を撮像することができる。 The reference mark 61 (i.e., the lower surface of the mark tube 60) is located above the lower end of the component holding nozzle 27. As a result, as shown in FIG. 7B, when the component holding nozzle 27 rotates on its axis to correct the amount of deviation in the orientation of the component P when mounting the component P (i.e., when the orientation of the component P is rotated), the component P does not collide with the mark tube 60. Therefore, according to this embodiment, it is possible to handle a component P of a size that would interfere with the reference mark 61 if the orientation of the component P is rotated. Note that, as shown in FIG. 7A, when the component recognition camera 28 images the component P and the reference mark 61, the component P has not yet been rotated, so the component P does not interfere with the reference mark 61. Therefore, the component recognition camera 28 can image both the component P and the reference mark 61.

基準マーク61が部品保持ノズル27の下端より上方に位置する構成を採用することにより、図4に示すように、レンズ71から基準マーク61までの距離が、レンズ71から部品Pまでの距離より遠くなる。そのため、部品P及び基準マーク61の両方を鮮明に撮像するための構成が求められる。本実施の形態に係る部品装着装置1は、これを実現するための構成を備える。以下、詳しく説明する。 By adopting a configuration in which the reference mark 61 is positioned above the lower end of the component holding nozzle 27, as shown in FIG. 4, the distance from the lens 71 to the reference mark 61 becomes greater than the distance from the lens 71 to the component P. Therefore, a configuration is required to clearly capture images of both the component P and the reference mark 61. The component mounting device 1 according to this embodiment has a configuration to achieve this. This will be explained in detail below.

反射照明部33は、部品に向けて、第1の波長の光101を照射する。マーク筒60の内部にはマーク照明部62が備えられる。マーク照明部62は、第2照明部と読み替えられてもよい。マーク照明部62は、基準マーク61に向けて(つまり下方に向けて)、第2の波長の光102を照射する。第1の波長と第2の波長とは異なる波長である。 The reflective illumination unit 33 irradiates light 101 of a first wavelength toward the component. A mark illumination unit 62 is provided inside the mark tube 60. The mark illumination unit 62 may be interpreted as a second illumination unit. The mark illumination unit 62 irradiates light 102 of a second wavelength toward the reference mark 61 (i.e., downward). The first wavelength and the second wavelength are different wavelengths.

レンズ71は、第1の波長と第2の波長とによって焦点位置がずれるような、色収差の特性を有するレンズ71であってよい。例えば、レンズ71は、第1の波長では、部品Pの位置が焦点位置となり、第2の波長では、基準マーク61の位置が焦点位置となるレンズ71であってよい。これにより、撮像素子72は、部品Pと基準マーク61の両方を鮮明に撮像することができる。 Lens 71 may be a lens 71 having chromatic aberration characteristics such that the focal position shifts depending on the first wavelength and the second wavelength. For example, lens 71 may be a lens 71 in which the position of component P is the focal position at the first wavelength, and the position of reference mark 61 is the focal position at the second wavelength. This allows image sensor 72 to clearly capture images of both component P and reference mark 61.

あるいは、レンズ71は、所定の色収差の特性を有するレンズであってよい。この場合、第1の波長は、当該レンズ71において部品Pの位置が焦点位置となる波長であり、第2の波長は、当該レンズ71において基準マーク61の位置が焦点位置となる波長であってよい。これにより、撮像素子72は、部品Pと基準マーク61の両方を鮮明に撮像することができる。 Alternatively, the lens 71 may be a lens having a predetermined chromatic aberration characteristic. In this case, the first wavelength may be a wavelength at which the position of the component P is the focal position of the lens 71, and the second wavelength may be a wavelength at which the position of the reference mark 61 is the focal position of the lens 71. This allows the imaging element 72 to clearly capture images of both the component P and the reference mark 61.

すなわち、本実施の形態に係る部品装着装置は、部品保持ノズル27に保持された部品Pと撮像マークの両方が撮像素子72において鮮明に結像するような、第1の波長、第2の波長及びレンズ71の組み合わせによって構成されてよい。 In other words, the component mounting device according to this embodiment may be configured with a combination of the first wavelength, the second wavelength, and the lens 71 such that both the component P held by the component holding nozzle 27 and the image mark are clearly imaged on the image sensor 72.

第2の波長は、第1の波長より短くてよい。この場合、例えば、図6に示すように、第1の波長は600nm~900nmの範囲内であり、第2の波長は400nm~550nmの範囲内であってよい。 The second wavelength may be shorter than the first wavelength. In this case, for example, as shown in FIG. 6, the first wavelength may be in the range of 600 nm to 900 nm, and the second wavelength may be in the range of 400 nm to 550 nm.

上述した構成によれば、部品Pの向きを回転させた場合に基準マーク61と干渉するようなサイズの部品Pを取り扱うことができると共に、部品Pと基準マーク61の両方を鮮明に撮像することができる。 The above-described configuration makes it possible to handle components P of a size that would interfere with the reference mark 61 if the orientation of the component P were rotated, and to capture clear images of both the component P and the reference mark 61.

<部品装着装置のソフトウェア構成>
次に、図8を参照しながら、部品装着装置1の制御部40のソフトウェア構成(機能的構成)について説明する。図8は、図1に示す部品装着装置1の制御部40の機能的構成を例示するブロック図である。
<Software Configuration of Component Mounting Device>
Next, a software configuration (functional configuration) of the control unit 40 of the component mounting device 1 will be described with reference to Fig. 8. Fig. 8 is a block diagram illustrating an example of the functional configuration of the control unit 40 of the component mounting device 1 shown in Fig. 1.

部品装着装置1の制御部40は、ROM(Read Only Memory)及びRAM(Random Access Memory)に代表される記憶装置と、CPU(Central Processing Unit)に代表される演算装置とを備える汎用のコンピュータにより構成されてよい。演算装置は、記憶装置に保持されるコンピュータプログラムを読み出して実行することにより、図8に示すソフトウェア構成(機能的構成)を実現する。すなわち、図8の制御部40内に図示する各ブロックは、ソフトウェアにより実現される機能を表す。ただし、ブロックとして表現される機能の少なくとも一部は、ソフトウェアに限られず、「装置」の物理的構成(ハードウェア)によって実現されてもよい。 The control unit 40 of the component mounting device 1 may be configured by a general-purpose computer equipped with a storage device represented by a ROM (Read Only Memory) and a RAM (Random Access Memory), and a calculation device represented by a CPU (Central Processing Unit). The calculation device realizes the software configuration (functional configuration) shown in FIG. 8 by reading and executing a computer program stored in the storage device. That is, each block shown in the control unit 40 in FIG. 8 represents a function realized by software. However, at least a part of the functions represented as blocks is not limited to software, and may be realized by the physical configuration (hardware) of the "device".

制御部40は、記憶部41と、機構駆動部46と、撮像処理部47と、を含んで構成される。機構駆動部46は、本体機構部10の駆動を制御する。例えば、機構駆動部46は、基板搬送機構13、部品供給機構15及びヘッドユニット23の駆動を制御し、基板搬送機構13、部品供給機構15及びヘッドユニット23を協調動作させる。 The control unit 40 includes a memory unit 41, a mechanism drive unit 46, and an image processing unit 47. The mechanism drive unit 46 controls the drive of the main body mechanism unit 10. For example, the mechanism drive unit 46 controls the drive of the board transport mechanism 13, the component supply mechanism 15, and the head unit 23, and causes the board transport mechanism 13, the component supply mechanism 15, and the head unit 23 to operate in a coordinated manner.

記憶部41は、実装情報42と、部品情報43と、撮像タイミング情報45と、を少なくとも保持する。実装情報42は、基板Wのそれぞれに実装されるべき部品Pの種類、及びその基板W上の部品Pの取付位置及び取付姿勢(例えば向き)などの情報を含む。部品情報43は、部品Pの種類毎の外形、及び、電極の有無又はその本数などの情報を含んでよい。 The storage unit 41 holds at least mounting information 42, component information 43, and imaging timing information 45. The mounting information 42 includes information such as the type of component P to be mounted on each board W, and the mounting position and mounting attitude (e.g., orientation) of the component P on the board W. The component information 43 may include information such as the external shape of each type of component P, and the presence or absence of electrodes or the number of electrodes.

撮像タイミング情報45は、照明チャネルの発光タイミングを示す情報、及び、部品Pの撮像タイミングを示す情報を含んでよい。撮像タイミングの回数は、複数回であってもよい。撮像タイミングは、シャッタタイミングと読み替えられてもよい。また、発光タイミングの回数は、複数回であってもよい。例えば、撮像タイミング情報45は、1ターンにおける行きの移動内での照明チャネルの発光タイミングを示す情報及び撮像センサ部29の撮像タイミングを示す情報を含んでよい。 The imaging timing information 45 may include information indicating the light emission timing of the lighting channel and information indicating the imaging timing of the component P. The number of imaging timings may be multiple. The imaging timing may be interpreted as shutter timing. The number of light emission timings may be multiple. For example, the imaging timing information 45 may include information indicating the light emission timing of the lighting channel during the forward movement in one turn and information indicating the imaging timing of the imaging sensor unit 29.

撮像処理部47は、カメラ制御部48及び部品認識部50を含む。 The imaging processing unit 47 includes a camera control unit 48 and a part recognition unit 50.

カメラ制御部48は、撮像センサ部29の撮像と、その撮像タイミングにおける照明ユニット部31の発光とを制御する。例えば、カメラ制御部48は、記憶部41の撮像タイミング情報45を読み込む。そして、カメラ制御部48は、撮像タイミング情報45が示す各撮像タイミングにて、照明チャネルを発光させ、撮像センサ部29に部品Pの画像を撮像させる。 The camera control unit 48 controls the imaging of the imaging sensor unit 29 and the light emission of the lighting unit 31 at the imaging timing. For example, the camera control unit 48 reads the imaging timing information 45 from the memory unit 41. Then, the camera control unit 48 causes the lighting channel to emit light at each imaging timing indicated by the imaging timing information 45, and causes the imaging sensor unit 29 to capture an image of the component P.

部品認識部50は、撮像センサ部29が撮像した画像に基づいて、当該画像に含まれる部品Pの特徴を認識する。部品Pの特徴は、部品Pの位置、部品Pの姿勢、部品Pの極性、部品Pの3次元形状、部品Pの外形、及び、部品Pに付加された文字等の少なくとも1つを含んでよい。移動ヘッド26及び部品保持ノズル27は、部品認識部50による認識結果に基づいて、部品Pを基板Wの装着点に装着する。 The component recognition unit 50 recognizes the characteristics of the component P contained in the image captured by the image capture sensor unit 29 based on the image. The characteristics of the component P may include at least one of the position of the component P, the attitude of the component P, the polarity of the component P, the three-dimensional shape of the component P, the external shape of the component P, and characters added to the component P. The moving head 26 and the component holding nozzle 27 mount the component P at the mounting point on the board W based on the recognition result by the component recognition unit 50.

なお、基板認識カメラ36の撮像情報も撮像処理部47に送信されてよい。撮像処理部47は、部品認識部50と同様、その撮像情報(画像)から基板Wの位置及び姿勢を認識し、その認識結果を機構駆動部46に送信してよい。 The imaging information of the board recognition camera 36 may also be transmitted to the imaging processing unit 47. The imaging processing unit 47, like the component recognition unit 50, may recognize the position and posture of the board W from the imaging information (image) and transmit the recognition result to the mechanism driving unit 46.

<動作フロー>
次に、図9を参照して、部品装着装置1による部品装着処理の一例を説明する。図9は、本実施の形態に係る部品装着処理を例示するフローチャートである。部品装着装置1は、生産開始が指示された場合、以下の処理を開始する。
<Operation flow>
Next, an example of a component mounting process performed by the component mounting device 1 will be described with reference to Fig. 9. Fig. 9 is a flow chart illustrating the component mounting process according to the present embodiment. When an instruction to start production is received, the component mounting device 1 starts the following process.

S101として、制御部40は、部品装着装置1の経時変化補正処理のタイミングであるか否かを判定する。経時変化補正処理は、発熱等による装置の歪みを補正するために行われる処理である。例えば、経時変化補正処理は、初期の状態の装置を部品認識カメラ28で撮像し、その撮像画像を記憶しておき、現在の状態の装置を部品認識カメラ28で撮像し、初期状態の装置の撮像画像と現在の状態の装置の撮像画像とを比較し、その経時変化に基づいて補正を行う。S101の処理は、この経時変化補正処理において部品認識カメラ28が撮像した画像を利用してよい。経時変化補正処理のタイミングである場合(S101:YES)、S102として、制御部40は、経時変化補正処理にて部品認識カメラ28が撮像した画像を用いて、基準マーク61のXY平面上の位置を測定する。以下、XY平面上の位置を、XY位置と称する。この場合、制御部40は、ヘッドユニット23及び基準マーク61をX軸の正方向に低速(例えば600mm/sec)で移動させながら、部品認識カメラ28の上方を通過させることにより、基準マーク61のXY位置を測定してよい。これにより、より正確に基準マーク61のXY位置を測定できる。 In S101, the control unit 40 determines whether it is time to perform a correction process for the change over time of the component mounting device 1. The correction process for the change over time is a process performed to correct distortion of the device due to heat generation or the like. For example, the correction process for the change over time involves capturing an image of the device in an initial state with the component recognition camera 28, storing the captured image, capturing an image of the device in a current state with the component recognition camera 28, comparing the captured image of the device in the initial state with the captured image of the device in the current state, and performing correction based on the change over time. The process of S101 may use the image captured by the component recognition camera 28 in this correction process for the change over time. If it is time to perform the correction process for the change over time (S101: YES), in S102, the control unit 40 measures the position of the reference mark 61 on the XY plane using the image captured by the component recognition camera 28 in the correction process for the change over time. Hereinafter, the position on the XY plane is referred to as the XY position. In this case, the control unit 40 may measure the XY position of the reference mark 61 by moving the head unit 23 and the reference mark 61 in the positive direction of the X axis at a low speed (e.g., 600 mm/sec) while passing them above the component recognition camera 28. This allows the XY position of the reference mark 61 to be measured more accurately.

経時変化補正処理のタイミングでない場合(S101:NO)、S103として、部品保持ノズル27は、部品取出位置にて部品Pを吸着して保持する。そして、部品保持ノズル27は、部品認識カメラ28の上方を通過する。 If it is not time to perform the time-dependent change correction process (S101: NO), then in S103, the component holding nozzle 27 picks up and holds the component P at the component removal position. Then, the component holding nozzle 27 passes above the component recognition camera 28.

S104として、部品認識カメラ28は、上方を通過する部品保持ノズル27に保持された部品Pと、部品保持ノズル27に隣接する基準マーク61とを撮像する。このとき、上述した通り、反射照明部33は、保持された部品Pに第1の波長の光101を照射し、マーク照明部62は、基準マーク61に第2の波長の光102を照射する。これにより、撮像センサ部29は、部品と基準マーク61の両方を鮮明に撮像できる。 In step S104, the component recognition camera 28 captures an image of the component P held by the component holding nozzle 27 passing above, and the reference mark 61 adjacent to the component holding nozzle 27. At this time, as described above, the reflective illumination unit 33 irradiates the held component P with light 101 of the first wavelength, and the mark illumination unit 62 irradiates the reference mark 61 with light 102 of the second wavelength. This allows the image sensor unit 29 to clearly capture an image of both the component and the reference mark 61.

S105として、制御部40は、S104にて撮像された画像を解析して、基準マーク61のXY位置を認識すると共に、部品PのXY位置及び向きを認識する。 In S105, the control unit 40 analyzes the image captured in S104 to recognize the XY position of the reference mark 61, as well as the XY position and orientation of the part P.

S106として、制御部40は、S105にて認識した基準マーク61と部品Pの相対的な位置関係に基づいて、部品Pの第1段階のXY位置及び向きを測定する。このように、基準マーク61を用いて部品Pの第1段階のXY位置及び向きを測定することにより、例えばS104の撮像時にヘッドユニット23が揺れたとしても、基準マーク61に対する部品Pの相対的な位置は変わらないので、制御部40は、部品Pの第1段階のXY位置及び向きを精度良く測定できる。 In S106, the control unit 40 measures the first-stage XY position and orientation of the component P based on the relative positional relationship between the reference mark 61 and the component P recognized in S105. By measuring the first-stage XY position and orientation of the component P using the reference mark 61 in this way, even if the head unit 23 shakes during imaging in S104, for example, the relative position of the component P with respect to the reference mark 61 does not change, and the control unit 40 can accurately measure the first-stage XY position and orientation of the component P.

加えて、制御部40は、S106にて測定した基準マーク61のXY位置とS101にて測定した基準マーク61のXY位置との間のずれを考慮し、部品Pの第1段階のXY位置から、より正確な部品PのXY位置を示す第2段階のXY位置を算出する。例えば、制御部40は、以下の式1により、部品Pの第2段階のXY位置を算出する。 In addition, the control unit 40 takes into account the deviation between the XY position of the reference mark 61 measured in S106 and the XY position of the reference mark 61 measured in S101, and calculates the second-stage XY position indicating a more accurate XY position of the part P from the first-stage XY position of the part P. For example, the control unit 40 calculates the second-stage XY position of the part P using the following formula 1.

部品Pの第2段階のXY位置=部品Pの第1段階のXY位置-(S105にて認識した基準マーク61のXY位置-S101にて測定した基準マーク61のXY位置)
…(式1)
XY position of part P in the second stage=XY position of part P in the first stage−(XY position of reference mark 61 recognized in S105−XY position of reference mark 61 measured in S101)
... (Equation 1)

画像には部品Pと基準マーク61の両方が鮮明に撮像されているので、制御部40は、部品Pの第1段階のXY位置及び第2段階のXY位置、並びに、部品Pの向きを精度良く算出できる。なお、式1にて算出した部品Pの第2段階のXY位置は、上述した、部品保持ノズル27に対する部品Pの位置のずれ量に対応してよい。 Because both the component P and the reference mark 61 are clearly captured in the image, the control unit 40 can accurately calculate the first-stage XY position of the component P, the second-stage XY position of the component P, and the orientation of the component P. Note that the second-stage XY position of the component P calculated using Equation 1 may correspond to the amount of deviation in the position of the component P relative to the component holding nozzle 27, as described above.

S107として、部品保持ノズル27は、部品Pを基板Wに装着する。このとき、部品保持ノズル27は、S106にて算出された部品Pの位置及び向きのずれ量を補正するように、移動及び軸回転した後、部品Pを基板Wに装着してよい。上述の通り、マーク筒60の下面は、部品保持ノズル27の下端よりも上方に位置するので、当該S107にて、部品保持ノズル27が補正のために部品Pの向きを回転させたとしても、部品Pはマーク筒60に衝突しない。よって、部品装着装置1は、部品Pの向きを回転させた場合に基準マーク61と干渉するようなサイズの部品Pも取り扱うことができる。 In S107, the component holding nozzle 27 mounts the component P on the board W. At this time, the component holding nozzle 27 may move and rotate about its axis so as to correct the amount of deviation in the position and orientation of the component P calculated in S106, and then mount the component P on the board W. As described above, the lower surface of the mark tube 60 is located above the lower end of the component holding nozzle 27, so that even if the component holding nozzle 27 rotates the orientation of the component P for correction in S107, the component P will not collide with the mark tube 60. Therefore, the component mounting device 1 can also handle a component P of a size that would interfere with the reference mark 61 if the orientation of the component P was rotated.

S108として、制御部40は、生産終了であるか否かを判定する。制御部40は、生産終了でないと判定した場合(S108:NO)、S101の処理に戻り、生産終了であると判定した場合(S108:YES)、本処理を終了する。 In S108, the control unit 40 determines whether production has ended. If the control unit 40 determines that production has not ended (S108: NO), the process returns to S101. If the control unit 40 determines that production has ended (S108: YES), the process ends.

なお、上述した基準マーク61に対する部品Pの相対的な位置及び向きを測定する処理は、部品保持ノズル27が部品認識カメラ28の上方を、XY平面において斜めに通過するスキャン(以下、斜めスキャンという)を行う場合に実施され、部品保持ノズル27が部品認識カメラ28の上を、XY平面においてX方向に通過するスキャン(以下、直線スキャンという)を行う場合には実施されなくてよい。ヘッドユニット23は、斜めスキャンを行う場合に揺れやすく、直線スキャンを行う場合にはあまり揺れないからである。 The process of measuring the relative position and orientation of component P with respect to reference mark 61 described above is performed when the component holding nozzle 27 performs a scan in which it passes diagonally above the component recognition camera 28 in the XY plane (hereinafter referred to as a diagonal scan), but does not have to be performed when the component holding nozzle 27 performs a scan in which it passes above the component recognition camera 28 in the X direction in the XY plane (hereinafter referred to as a linear scan). This is because the head unit 23 is prone to shaking when performing a diagonal scan, but does not shake much when performing a linear scan.

以上、添付図面を参照しながら実施の形態について説明したが、本開示はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例、修正例、置換例、付加例、削除例、均等例に想到し得ることは明らかであり、それらについても本開示の技術的範囲に属すると了解される。また、発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した実施の形態における各構成要素を任意に組み合わせてもよい。 Although the embodiments have been described above with reference to the attached drawings, the present disclosure is not limited to such examples. It is clear that a person skilled in the art can conceive of various modifications, corrections, substitutions, additions, deletions, and equivalents within the scope of the claims, and it is understood that these also fall within the technical scope of the present disclosure. Furthermore, the components in the above-described embodiments may be combined in any manner as long as it does not deviate from the spirit of the invention.

本開示の技術は、部品を基板に装着する装置に有用である。 The technology disclosed herein is useful for devices that mount components on substrates.

1 部品装着装置
10 本体機構部
11 実装機本体
12 基台
13 基板搬送機構
14 コンベア部
15 部品供給機構
16 フィーダベース
17 スロット
18 テープフィーダ
19 フィーダカート
20 台車部
21 リール
22 キャリアテープ
23 ヘッドユニット
24 Y軸テーブル機構
25 X軸テーブル機構
26 移動ヘッド
27 部品保持ノズル
28 部品認識カメラ
29 撮像センサ部
31 照明ユニット部
32 筐体
33 反射照明部
34 透過照明部
35 側方照明部
36 基板認識カメラ
37 廃棄ボックス
38 ノズルホルダ
39 同軸照明部
40 制御部
41 記憶部
42 実装情報
43 部品情報
45 撮像タイミング情報
46 機構駆動部
47 撮像処理部
48 カメラ制御部
50 部品認識部
60 マーク筒
61 基準マーク
62 マーク照明部
71 レンズ
72 撮像素子
101 第1の波長の光
102 第2の波長の光
B 遮蔽板
C 反射板
P 部品
W 基板
LIST OF SYMBOLS 1 Component mounting device 10 Main mechanism section 11 Mounting machine main body 12 Base 13 Board transport mechanism 14 Conveyor section 15 Component supply mechanism 16 Feeder base 17 Slot 18 Tape feeder 19 Feeder cart 20 Cart section 21 Reel 22 Carrier tape 23 Head unit 24 Y-axis table mechanism 25 X-axis table mechanism 26 Moving head 27 Component holding nozzle 28 Component recognition camera 29 Imaging sensor section 31 Illumination unit section 32 Housing 33 Reflection illumination section 34 Transmitted illumination section 35 Side illumination section 36 Board recognition camera 37 Disposal box 38 Nozzle holder 39 Coaxial illumination section 40 Control section 41 Memory section 42 Mounting information 43 Component information 45 Imaging timing information 46 Mechanism driving section 47 Imaging processing section 48 Camera control unit 50 Component recognition unit 60 Mark tube 61 Reference mark 62 Mark illumination unit 71 Lens 72 Image pickup element 101 Light of first wavelength 102 Light of second wavelength B Shielding plate C Reflecting plate P Component W Substrate

Claims (5)

部品を保持して、前記部品を装着する基板に向けて移動するノズルと、
前記ノズルに隣接して固定され、前記ノズルの下端よりも上方に位置し、前記ノズルと共に移動するマークと、
前記ノズルが保持する前記部品を第1の波長の光にて照らす第1照明部と、
前記マークを前記第1の波長と異なる第2の波長の光にて照らす第2照明部と、
前記第1の波長の光にて照らされた前記部品、及び、前記第2の波長の光にて照らされた前記マークを下方から撮像する撮像部と、
前記撮像部によって撮像された画像に含まれる前記部品と前記マークとの位置関係に基づいて、前記ノズルに対する前記部品の位置及び向きのずれを補正する制御部と、を備え、
前記撮像部は、前記第1の波長及び前記第2の波長において焦点位置が異なる色収差特性を有するレンズを含む、
部品装着装置。
a nozzle that holds a component and moves toward a board on which the component is to be mounted;
a mark fixed adjacent to the nozzle, positioned above a lower end of the nozzle, and moving with the nozzle;
a first illumination unit that illuminates the component held by the nozzle with light of a first wavelength;
a second illumination unit that illuminates the mark with light having a second wavelength different from the first wavelength;
an imaging unit that images, from below, the component illuminated with the light of the first wavelength and the mark illuminated with the light of the second wavelength;
a control unit that corrects a deviation in position and orientation of the component with respect to the nozzle based on a positional relationship between the component and the mark included in an image captured by the imaging unit ,
the imaging unit includes a lens having chromatic aberration characteristics in which focal positions are different at the first wavelength and the second wavelength,
Parts mounting device.
前記第1の波長は、前記レンズにおいて、前記ノズルに保持された前記部品の位置が前記焦点位置となる波長であり、
前記第2の波長は、前記レンズにおいて、前記マークの位置が前記焦点位置となる波長である、
請求項に記載の部品装着装置。
the first wavelength is a wavelength at which the position of the component held by the nozzle is the focal position of the lens;
the second wavelength is a wavelength at which the position of the mark is the focal position in the lens;
2. The component mounting apparatus according to claim 1 .
前記第2の波長は、前記第1の波長より短い、
請求項1又は2に記載の部品装着装置。
The second wavelength is shorter than the first wavelength.
3. The component mounting device according to claim 1 or 2 .
前記第1の波長は、600nmから900nmの範囲内であり、
前記第2の波長は、400nmから550nmの範囲内である、
請求項に記載の部品装着装置。
the first wavelength is in the range of 600 nm to 900 nm;
The second wavelength is in the range of 400 nm to 550 nm.
4. The component mounting apparatus according to claim 3 .
ノズルに保持された部品を第1の波長の光にて照らし、
前記ノズルに隣接して固定され、前記ノズルの下端よりも上方に位置し、前記ノズルと共に移動するマークを前記第1の波長と異なる第2の波長の光にて照らし、
前記第1の波長の光にて照らされた前記部品、及び、前記第2の波長の光にて照らされた前記マークを、前記第1の波長及び前記第2の波長において焦点位置が異なる色収差特性を有するレンズを含む撮像部で下方から撮像し、
撮像された画像に含まれる前記部品と前記マークとの位置関係に基づいて、前記ノズルに対する前記部品の位置及び向きのずれを補正する、
部品装着方法。
illuminating a part held by the nozzle with light of a first wavelength;
a mark fixed adjacent to the nozzle, located above a lower end of the nozzle, and moving together with the nozzle is illuminated with light of a second wavelength different from the first wavelength;
The component illuminated with the light of the first wavelength and the mark illuminated with the light of the second wavelength are imaged from below by an image capturing unit including a lens having chromatic aberration characteristics in which focal positions differ at the first wavelength and the second wavelength ;
correcting a position and orientation deviation of the component with respect to the nozzle based on a positional relationship between the component and the mark included in the captured image;
How to install parts.
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