JP7707249B2 - 検査システムおよび検査方法 - Google Patents

Description

この開示は、検査システムおよび検査方法に関する。

従来、塗装品質検査方法が知られている（たとえば、特許文献１参照）。

上記特許文献１には、塗装が完了した塗装物としての車体の塗装品質を検査する塗装品質検査方法が開示されている。この塗装品質検査方法では、まず、テレビカメラにより車体が撮像される。そして、撮像された車体の画像に基づく画像情報が、コンピュータによって解析される。そして、塗装欠陥があるか否かが判断されるとともに、塗装欠陥があると判断された場合、車体のどの位置に塗装欠陥が発生しているかが求められる。そして、プリントアウト用の用紙に描かれた車体の絵に、塗装欠陥の位置が印字される。

特開平０５－１２６７５８号公報

しかしながら、上記特許文献１に記載された塗装品質検査方法では、２次元の画像としての車体の絵に塗装欠陥の位置を印字する構成であるため、実物の車体において平面または曲率が小さい曲面の部分では、車体の絵においても塗装欠陥の位置を精度よく示すことが可能である一方で、実物の車体において曲率が大きい曲面または複雑な曲面の部分では、車体の絵において塗装欠陥の位置を精度よく示すことが困難な場合があるという不都合がある。このような不都合は、塗装欠陥以外の対象を検出する場合、および、車体以外のワークを検査する場合にも同様である。このように、ワークの絵ではワークの曲率が大きい曲面または複雑な曲面の部分において対象の位置を精度よく示すことができない場合があるため、ワークの曲率が大きい曲面または複雑な曲面の部分であっても、対象の位置を精度よく示すことが望まれている。

この開示は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、ワークの曲率が大きい曲面または複雑な曲面の部分であっても、対象の位置を精度よく示すことが可能な検査システムおよび検査方法を提供することである。

この開示の第１の局面による検査システムは、ロボットと、ワークを検査する検査部と、ロボットによりワークに対して検査部を相対的に移動させて、検査部によりワークを検査する際の、ロボットの移動経路を生成する処理と、生成した移動経路に基づいて、検査部によりワークを検査することにより取得される検査画像の検査座標系の座標値を、ワークの座標値を３次元で表すことが可能な３次元座標系の座標値に変換するための座標変換情報を生成する処理と、生成した移動経路に基づいて、ロボットを動作させて、検査部によりワークを検査することにより検査画像を取得する処理と、取得した検査画像内のワークの欠陥を検出する処理と、生成した座標変換情報に基づいて、欠陥の検査座標系の座標値を、３次元座標系の座標値に変換する処理と、変換した欠陥の３次元座標系の座標値に基づいて、欠陥の位置を、実物のワークまたはワークの３次元画像に示す処理と、を行う、処理部と、を備え、座標変換情報は、移動経路に沿った方向のロボットの一定の移動量ごとに、ロボットの移動量と、３次元座標系の座標値とを対応付けた情報であり、処理部は、移動経路に沿って第１距離間隔ごとに３次元座標系の座標値を取得して、座標変換情報を生成する処理を行い、移動経路に沿って第２距離間隔ごとに検査部をワークを検査するように動作させて、検査画像を取得する処理を行い、第１距離間隔は、第２距離間隔よりも大きい。
この開示の第２の局面による検査システムは、ロボットと、ワークを検査する検査部と、ロボットによりワークに対して検査部を相対的に移動させて、検査部によりワークを検査する際の、ロボットの移動経路を生成する処理と、生成した移動経路に基づいて、検査部によりワークを検査することにより取得される検査画像の検査座標系の座標値を、ワークの座標値を３次元で表すことが可能な３次元座標系の座標値に変換するための座標変換情報を生成する処理と、生成した移動経路に基づいて、ロボットを動作させて、検査部によりワークを検査することにより検査画像を取得する処理と、取得した検査画像内のワークの欠陥を検出する処理と、生成した座標変換情報に基づいて、欠陥の検査座標系の座標値を、３次元座標系の座標値に変換する処理と、変換した欠陥の３次元座標系の座標値に基づいて、欠陥の位置を、実物のワークまたはワークの３次元画像に示す処理と、を行う、処理部と、を備え、座標変換情報は、移動経路に沿った方向のロボットの一定の移動量ごとに、移動経路に沿った方向のロボットの移動量と、３次元座標系の座標値とを対応付けた座標変換テーブルであり、処理部は、欠陥の検査座標系の座標値を３次元座標系の座標値に変換する処理において、欠陥の移動経路に沿った方向における検査座標系の座標値に対応する座標変換テーブルのロボットの移動量を取得する処理と、取得した座標変換テーブルのロボットの移動量に対応する座標変換テーブルの３次元座標系の座標値を取得する処理と、取得した座標変換テーブルの３次元座標系の座標値を、欠陥の移動経路に直交する方向における検査座標系の座標値に基づいて修正する処理と、を行う。

この開示の第１および第２の局面による検査システムでは、上記のように、生成した座標変換情報に基づいて、対象の検査座標系の座標値を、３次元座標系の座標値に変換する処理と、変換した対象の３次元座標系の座標値に基づいて、対象の位置を、実物のワークまたはワークの３次元画像に示す処理と、を行う。これにより、対象の位置を、実物のワークまたはワークの３次元画像に示すことができるので、対象の位置をワークの２次元の画像に示す場合と異なり、ワークの曲率が大きい曲面または複雑な曲面の部分であっても、対象の位置を精度よく示すことができる。

この開示の第３の局面による検査方法は、ロボットによりワークに対して検査部を相対的に移動させて、検査部によりワークを検査する際の、ロボットの移動経路を生成することと、生成した移動経路に基づいて、検査部によりワークを検査することにより取得される検査画像の検査座標系の座標値を、ワークの座標値を３次元で表すことが可能な３次元座標系の座標値に変換するための座標変換情報を生成することと、生成した移動経路に基づいて、ロボットを動作させて、検査部によりワークを検査することにより検査画像を取得することと、取得した検査画像内のワークの欠陥を検出することと、生成した座標変換情報に基づいて、欠陥の検査座標系の座標値を、３次元座標系の座標値に変換することと、変換した欠陥の３次元座標系の座標値に基づいて、欠陥の位置を、実物のワークまたはワークの３次元画像に示すことと、を備え、座標変換情報は、移動経路に沿った方向のロボットの一定の移動量ごとに、ロボットの移動量と、３次元座標系の座標値とを対応付けた情報であり、座標変換情報を生成することは、移動経路に沿って第１距離間隔ごとに３次元座標系の座標値を取得して、座標変換情報を生成することを含み、検査画像を取得することは、移動経路に沿って第２距離間隔ごとに検査部をワークを検査するように動作させて、検査画像を取得することを含み、第１距離間隔は、第２距離間隔よりも大きい。
この開示の第４の局面による検査方法は、ロボットによりワークに対して検査部を相対的に移動させて、検査部によりワークを検査する際の、ロボットの移動経路を生成することと、生成した移動経路に基づいて、検査部によりワークを検査することにより取得される検査画像の検査座標系の座標値を、ワークの座標値を３次元で表すことが可能な３次元座標系の座標値に変換するための座標変換情報を生成することと、生成した移動経路に基づいて、ロボットを動作させて、検査部によりワークを検査することにより検査画像を取得することと、取得した検査画像内のワークの欠陥を検出することと、生成した座標変換情報に基づいて、欠陥の検査座標系の座標値を、３次元座標系の座標値に変換することと、変換した欠陥の３次元座標系の座標値に基づいて、欠陥の位置を、実物のワークまたはワークの３次元画像に示すことと、を備え、座標変換情報は、移動経路に沿った方向のロボットの一定の移動量ごとに、移動経路に沿った方向のロボットの移動量と、３次元座標系の座標値とを対応付けた座標変換テーブルであり、欠陥の検査座標系の座標値を、３次元座標系の座標値に変換することは、欠陥の移動経路に沿った方向における検査座標系の座標値に対応する座標変換テーブルのロボットの移動量を取得することと、取得した座標変換テーブルのロボットの移動量に対応する座標変換テーブルの３次元座標系の座標値を取得することと、取得した座標変換テーブルの３次元座標系の座標値を、欠陥の移動経路に直交する方向における検査座標系の座標値に基づいて修正することと、を含む。

この開示の第３および第４の局面による検査方法では、上記のように、ロボットの移動経路に基づいて生成した座標変換情報に基づいて、対象の検査座標系の座標値を、３次元座標系の座標値に変換することと、変換した対象の３次元座標系の座標値に基づいて、対象の位置を、実物のワークまたはワークの３次元画像に示すことと、を行う。これにより、対象の位置を、実物のワークまたはワークの３次元画像に示すことができるので、対象の位置をワークの２次元の画像に示す場合と異なり、ワークの曲率が大きい曲面または複雑な曲面の部分であっても、対象の位置を精度よく示すことが可能な検査方法を提供することができる。

本開示によれば、上記のように、ワークの曲率が大きい曲面または複雑な曲面の部分であっても、対象の位置を精度よく示すことができる。

一実施形態による検査システムを示した図である。 一実施形態による検査システムを示したブロック図である。 一実施形態による検査システムの制御処理を説明するためのフローチャートである。 一実施形態によるロボットの移動経路の生成を説明するための図である。 一実施形態による座標変換情報の生成を説明するための図である。 一実施形態による座標変換情報を説明するための図（１）である。 一実施形態による座標変換情報を説明するための図（２）である。 一実施形態によるワークの検査を説明するための図（１）である。 一実施形態によるワークの検査を説明するための図（２）である。 一実施形態によるワークの検査を説明するための図（３）である。 一実施形態による検査画像を説明するための図である。 一実施形態による座標変換を説明するための図である。 一実施形態によるロボットにより対象の位置を実物のワークに示すことを説明するための図である。 一実施形態による対象の位置をワークの３次元画像に示すことを説明するための図である。 一実施形態による複数の対象を１つの対象として示すことを説明するための図である。 一実施形態の変形例による検査システムを示したブロック図である。

以下、本開示を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。

（検査システムの構成）
図１および図２を参照して、一実施形態による検査システム１００の全体構成について説明する。

図１に示すように、検査システム１００は、ワーク２００の外観を検査する外観検査システムである。ワーク２００は、たとえば、自動車、農業機械、陶器、または、家庭用電気機器に関する製品または部品である。ワーク２００は、特に限定されない。

検査システム１００は、ロボット１０と、検査部２０と、指示部３０と、ロボットコントローラ４０と、画像処理装置５０と、結果表示装置６０とを備えている。

ロボット１０は、ワーク２００に対して検査部２０を相対的に移動させる。ロボット１０は、垂直多関節ロボットである。ロボット１０は、ベース部１１と、ベース部１１に接続されたアーム部１２とを含んでいる。ベース部１１は、床、壁、天井などの設置面に固定される。なお、ベース部１１は、移動可能な台車に取り付けられてもよい。アーム部１２は、複数の関節を有している。複数の関節の各々は、駆動源としてサーボモータを有している。また、アーム部１２の先端は、検査部２０および指示部３０を保持している。ロボット１０は、アーム部１２の複数の関節を駆動することにより、固定されたワーク２００に対して、アーム部１２の先端に保持された検査部２０および指示部３０を移動させる。

検査部２０は、ロボット１０に配置され、ワーク２００を検査する。検査部２０は、撮像部であり、ワーク２００を撮像する。具体的には、検査部２０は、ライン型のカメラであり、ロボット１０によりワーク２００の表面に沿って移動されて、ワーク２００の表面をスキャン撮像する。

指示部３０は、ロボット１０に配置され、検査により取得される後述する対象２０１の位置をワーク２００に示す。指示部３０は、レーザ照射部であり、レーザ光を照射して、対象２０１の位置をワーク２００に示す。

図１および図２に示すように、ロボットコントローラ４０は、ロボット１０の動作を制御する。ロボットコントローラ４０は、処理部４１と、記憶部４２とを含んでいる。処理部４１は、プロセッサを含み、ロボット１０の動作に関する各種の処理を行う。記憶部４２は、不揮発性メモリを含み、後述する座標変換情報７１、７２などを記憶する。

画像処理装置５０は、検査部２０により撮像された画像に対して画像処理を行う。また、画像処理装置５０は、検査部２０による撮像タイミングを制御する。画像処理装置５０は、処理部５１と、記憶部５２とを含んでいる。処理部５１は、プロセッサを含み、検査部２０により撮像された画像、および、検査部２０による撮像タイミングに関する各種の処理を行う。記憶部５２は、不揮発性メモリを含み、後述する検査画像２１などを記憶する。

結果表示装置６０は、ワーク２００の検査結果を表示する。結果表示装置６０は、処理部６１と、記憶部６２と、表示部６３と、操作部６４とを含んでいる。処理部６１は、プロセッサを含み、ワーク２００の検査結果の表示に関する各種の処理を行う。記憶部６２は、不揮発性メモリを含み、座標変換情報７２、ワーク２００の３次元画像などを記憶する。表示部６３は、液晶モニタなどのモニタを含み、ワーク２００の検査結果の画面などを表示する。操作部６４は、マウスおよびキーボードなどの入力装置を含み、ユーザの入力操作を受け付ける。なお、表示部６３および操作部６４は、一体型であってもよい。すなわち、表示部６３および操作部６４は、タッチパネルなどの操作部兼表示部によって構成されてもよい。

（検査システムの制御処理）
図３から図１５を参照して、検査システム１００の制御処理について説明する。

図３および図４に示すように、ステップＳ１において、ロボットコントローラ４０の処理部４１は、ロボット１０によりワーク２００に対して検査部２０を相対的に移動させて、検査部２０によりワーク２００を検査する際の、ロボット１０の移動経路１３を生成する処理を行う。移動経路１３は、ロボット１０のアーム部１２を動作させるための経路であり、ワーク２００を検査するために複数生成される。

たとえば、処理部４１は、ユーザによるアーム部１２の動作の教示を受け付けて、受け付けた教示に基づいて、ロボット１０の移動経路１３を生成する処理を行う。また、たとえば、処理部４１は、ユーザによるアーム部１２の動作の教示によらず、ロボット１０の移動経路１３を自動的に生成する処理を行う。また、処理部４１は、曲面などのワーク２００の表面に沿った移動経路１３を生成する処理を行う。

ここで、本実施形態では、図３および図５～図７に示すように、ステップＳ２において、ロボットコントローラ４０の処理部４１は、生成した移動経路１３に基づいて、座標変換情報７１、７２を生成する処理を行う。座標変換情報７１、７２は、検査部２０によりワーク２００を検査することにより取得される後述する検査画像２１の検査座標系の座標値を、ワーク２００の座標値を３次元で表すことが可能な３次元座標系の座標値に変換する情報である。検査座標系は、互いに直交する２軸の直交座標系であり、３次元座標系は、互いに直交する３軸の直交座標系である。なお、座標変換情報７１、７２を用いた座標変換の詳細については、後述する。

図５に示すように、処理部４１は、移動経路１３に沿って第１距離間隔Ｄ１ごとに３次元座標系の座標値を取得して、座標変換情報７１、７２を生成する処理を行う。この際、処理部４１は、ロボット１０によりワーク２００に対して検査部２０を移動経路１３に沿って実際に移動させて、第１距離間隔Ｄ１ごとに３次元座標系の座標値を取得する処理を行う。また、第１距離間隔Ｄ１は、制御点１４ａの距離間隔である。処理部４１は、第１距離間隔Ｄ１ごとに、制御点１４ａの３次元座標系の座標値を取得する処理を行う。制御点１４ａは、検査部２０が撮像部である場合、検査部２０の撮像の焦点位置に設定される。また、検査部２０の撮像の焦点位置は、ワーク２００の表面の近傍に設定される。制御点１４ａは、３次元座標系の座標値を取得する処理を行うために設けられている。

また、本実施形態では、第１距離間隔Ｄ１は、ワーク２００を検査する際の後述する第２距離間隔Ｄ２よりも大きい。たとえば、第１距離間隔Ｄ１が５ｍｍ程度であり、第２距離間隔Ｄ２が０．１ｍｍ程度である。第１距離間隔Ｄ１および第２距離間隔Ｄ２は、ワーク２００によって異なるため、特に限定されない。第１距離間隔Ｄ１は、後述する対象２０１の位置を示すために必要な精度を確保可能な値に設定される。また、第２距離間隔Ｄ２は、ワーク２００を検査するために必要な精度を確保可能な値に設定される。

なお、便宜上、図５では、１つの移動経路１３のみを図示しているが、処理部４１は、全ての移動経路１３について、３次元座標系の座標値を取得して、座標変換情報７１、７２を生成する処理を行う。

図６および図７に示すように、座標変換情報７１、７２は、移動経路１３に沿った方向のロボット１０の移動量と、３次元座標系の座標値とを対応付けた座標変換テーブルである。図６および図７において、経路番号は移動経路１３の番号を表し、位置番号は制御点１４の番号を表し、移動量は移動経路１３に沿ったロボット１０の制御点１４ａの移動量を表し、座標値は制御点１４ａの３次元座標系の座標値を表している。すなわち、座標変換情報７１、７２では、移動経路１３ごとに、制御点１４ａごとのロボット１０の移動量と、制御点１４ａの３次元座標系の座標値とが対応付けられている。

なお、座標変換情報７１、７２の３次元座標系の座標値は、第１距離間隔Ｄ１ごとに取得した３次元座標系の座標値の取得値のみで構成されてもよいし、第１距離間隔Ｄ１ごとに取得した３次元座標系の座標値の取得値と、取得値から補間した３次元座標系の座標値の補間値とで構成されてもよい。すなわち、５ｍｍ単位で３次元座標系の座標値が取得されて、５ｍｍ単位の座標変換情報７１、７２が生成されてもよいし、１０ｍｍ単位で３次元座標系の座標値が取得されて、取得された３次元座標系の座標値から補間して５ｍｍ単位の座標変換情報７１、７２が生成されてもよい。なお、補間としては、多項式補間および線形補間などが挙げられる。また、線形補間としては、直線補間および円弧補間などが挙げられる。また、座標変換情報７１、７２の移動量は、ロボット１０の実際の移動から求めた移動量であってもよいし、ロボット１０の移動指令から求めた移動量であってもよい。

図６に示すように、座標変換情報７１では、３次元座標系は、ロボット１０に関するロボット座標系である。ロボット座標系は、ベース部１１を基準とする座標系である。座標変換情報７１は、ロボット１０の移動量と、ロボット座標系の座標値とを対応付けた座標変換テーブルである。座標変換情報７１では、座標値として、ロボット座標系において制御点１４ａの位置および姿勢を示す座標値が用いられている。

図７に示すように、座標変換情報７２では、３次元座標系は、ワーク２００に関するワーク座標系である。ワーク座標系は、ワーク２００を基準とする座標系である。座標変換情報７２は、ロボット１０の移動量と、ワーク座標系の座標値とを対応付けた座標変換テーブルである。座標変換情報７２では、座標値として、ワーク座標系において制御点１４ａの位置を示す座標値が用いられている。

たとえば、処理部４１は、ロボット座標系の座標値を取得して、座標変換情報７１を生成するとともに、生成した座標変換情報７１に基づいて、座標変換情報７２を生成する。また、たとえば、処理部４１は、変換行列などの変換情報により、座標変換情報７１のロボット座標系の座標値を、ワーク座標系の座標値に変換することにより、座標変換情報７１から座標変換情報７２を生成する。

また、処理部４１は、座標変換情報７１、７２を記憶部４２に記憶する処理を行うとともに、座標変換情報７２を結果表示装置６０の処理部６１に出力する処理を行う。処理部６１は、座標変換情報７２を記憶部６２に記憶する処理を行う。

図３および図８～図１１に示すように、ステップＳ３において、ロボットコントローラ４０の処理部４１は、移動経路１３に基づいて、ロボット１０を動作させて、検査部２０によりワーク２００を検査する処理を行う。そして、画像処理装置５０の処理部５１は、検査部２０の出力結果に基づいて、検査画像２１を取得する処理を行う。検査画像２１は、検査部２０により撮像したワーク２００の表面の撮像画像である。

図９に示すように、処理部５１は、移動経路１３に沿って第２距離間隔Ｄ２ごとに検査部２０をワーク２００を検査するように動作させて、検査画像２１を取得する処理を行う。具体的には、処理部５１は、第２距離間隔Ｄ２ごとに、検査部２０をワーク２００を撮像するように動作させて、ワーク２００をスキャン撮像する。より具体的には、処理部４１は、第２距離間隔Ｄ２ごとに、パルス信号を処理部５１に出力する処理を行う。処理部５１は、処理部４１からのパルス信号に基づいて、第２距離間隔Ｄ２ごとに、トリガ信号を検査部２０に出力する処理を行う。検査部２０は、トリガ信号に基づいて、第２距離間隔Ｄ２ごとに、ワーク２００を撮像する。なお、第２距離間隔Ｄ２は、制御点１４ｂの距離間隔である。制御点１４ｂは、検査部２０が撮像部である場合、検査部２０の撮像の焦点位置に設定される。また、検査部２０の撮像の焦点位置は、ワーク２００の表面の近傍に設定される。制御点１４ｂは、検査部２０によりワーク２００を撮像する処理を行うために設けられている。

なお、便宜上、図９では、１つの移動経路１３のみを図示しているが、処理部４１は、全ての移動経路１３について、検査部２０によりワーク２００を検査する処理を行う。また、処理部５１は、全ての移動経路１３について、検査画像２１を取得する処理を行う。

また、図１０に示すように、検査部２０の検査範囲２２は、互いに隣り合う移動経路１３同士において、一部がオーバーラップするように設定される。すなわち、ある移動経路１３についての検査部２０の検査範囲２２と、ある移動経路１３と隣り合う移動経路１３についての検査部２０の検査範囲２２とは、一部がオーバーラップしている。これにより、検査漏れが発生することを抑制可能である。なお、検査範囲２２は、移動経路１３に沿ってスキャン撮像した場合の撮像範囲である。

図３および図１１に示すように、ステップＳ４において、画像処理装置５０の処理部５１は、検査画像２１内のワーク２００の対象２０１を検出する処理を行う。処理部５１は、検査画像２１に対して所定の画像処理を行うことにより、検査画像２１内の対象２０１を検出する処理を行う。対象２０１は、たとえば、傷、異物、凹みなどの欠陥である。処理部５１は、全ての検査画像２１について、検査画像２１内の対象２０１を検出する処理を行う。

図１１に示すように、検査画像２１の検査座標系は、移動経路１３に沿った方向をＹ軸方向とし、移動経路１３に直交する方向をＸ軸方向とする、２次元座標系である。処理部５１は、対象２０１の検査座標系の座標値を取得する処理を行う。すなわち、処理部５１は、対象２０１の検査座標系のＸ軸およびＹ軸の座標値を取得する処理を行う。また、処理部５１は、対象２０１を検出した全ての検査画像２１について、対象２０１の検査座標系の座標値を取得する処理を行う。また、処理部５１は、検査画像２１と、検査画像２１に対応する移動経路１３の番号と、対象２０１の検査座標系の座標値とを記憶部５２に記憶する処理を行う。また、処理部５１は、検査画像２１に対応する移動経路１３の番号と、対象２０１の検査座標系の座標値とを、ロボットコントローラ４０の処理部４１と、結果表示装置６０の処理部６１とに出力する処理を行う。

図３および図１２に示すように、ステップＳ５において、ロボットコントローラ４０の処理部４１は、座標変換情報７１に基づいて、対象２０１の検査座標系の座標値を、ロボット座標系の座標値に変換する処理を行う。また、ステップＳ５において、結果表示装置６０の処理部６１は、座標変換情報７２に基づいて、対象２０１の検査座標系の座標値を、３次元座標系の座標値に変換する処理を行う。まず、処理部４１の処理について説明する。

図１２に示すように、処理部４１は、検査画像２１に対応する移動経路１３の番号に基づいて、座標変換情報７１の移動経路１３の番号を特定する処理を行う。そして、処理部４１は、特定した移動経路１３の番号において、対象２０１の移動経路１３に沿ったＹ軸方向における検査座標系の座標値に対応する座標変換情報７１のロボット１０の移動量を取得する処理を行う。この際、処理部４１は、対象２０１のＹ軸方向における検査座標系の座標値に最も近いロボット１０の移動量を、対応するロボット１０の移動量として取得する処理を行う。そして、処理部４１は、取得した座標変換情報７１のロボット１０の移動量に対応する座標変換情報７１のロボット座標系の座標値を取得する処理を行う。これらにより、対象２０１のＹ軸方向における検査座標系の座標値に対応するロボット座標系の座標値が取得される。

一方、取得した座標変換情報７１のロボット座標系の座標値は、対象２０１のＸ軸方向における検査座標系の座標値が反映されておらず、その分のずれを含んでいる。このため、処理部４１は、取得した座標変換情報７１のロボット座標系の座標値を、対象２０１の移動経路１３に直交するＸ軸方向における検査座標系の座標値に基づいて修正する処理を行う。この際、処理部４１は、対象２０１のＸ軸方向における検査座標系の座標値を加算して、座標変換情報７１のロボット座標系の座標値を修正する処理を行う。これらにより、処理部４１は、対象２０１のロボット座標系の座標値を取得する処理を行う。また、処理部４１は、全ての対象２０１について、座標値を変換して、ロボット座標系の座標値を取得する処理を行う。

たとえば、図１２に示す例では、検査画像２１に対応する移動経路１３の番号が２番であり、対象２０１のＸ軸方向における座標値が５．５であり、対象２０１のＹ軸方向における座標値が１５．２である。この場合、処理部４１は、移動経路１３の番号として２番を特定する処理を行う。そして、処理部４１は、特定した２番において、対象２０１のＹ軸方向における座標値１５．２に最も近いロボット１０の移動量として１５を取得する処理を行う。そして、処理部４１は、ロボット１０の移動量１５に対応するロボット座標系の座標値として（ｘｒ、ｙｒ、ｚｒ、ｏｒ、ａｒ、ｔｒ）を取得する処理を行う。そして、処理部４１は、ロボット座標系の座標値（ｘｒ、ｙｒ、ｚｒ、ｏｒ、ａｒ、ｔｒ）に対象２０１のＸ軸方向における座標値５．５を加算して、対象２０１のロボット座標系の座標値を取得する処理を行う。

以上、ロボットコントローラ４０の処理部４１の処理について説明したが、座標変換情報７２を用いる点を除き、結果表示装置６０の処理部６１の処理も同様である。すなわち、処理部６１は、検査画像２１に対応する移動経路１３の番号に基づいて、座標変換情報７２の移動経路１３の番号を特定する処理を行う。そして、処理部６１は、特定した移動経路１３の番号において、対象２０１の移動経路１３に沿ったＹ軸方向における検査座標系の座標値に対応する座標変換情報７２のロボット１０の移動量を取得する処理を行う。この際、処理部６１は、対象２０１のＹ軸方向における検査座標系の座標値に最も近いロボット１０の移動量を、対応するロボット１０の移動量として取得する処理を行う。そして、処理部６１は、取得した座標変換情報７２のロボット１０の移動量に対応する座標変換情報７２のワーク座標系の座標値を取得する処理を行う。これらにより、対象２０１のＹ軸方向における検査座標系の座標値に対応するワーク座標系の座標値が取得される。

一方、取得した座標変換情報７２のワーク座標系の座標値は、対象２０１のＸ軸方向における検査座標系の座標値が反映されておらず、その分のずれを含んでいる。このため、処理部６１は、取得した座標変換情報７２のワーク座標系の座標値を、対象２０１の移動経路１３に直交するＸ軸方向における検査座標系の座標値に基づいて修正する処理を行う。この際、処理部６１は、対象２０１のＸ軸方向における検査座標系の座標値を加算して、座標変換情報７２のワーク座標系の座標値を修正する処理を行う。これらにより、処理部６１は、対象２０１のワーク座標系の座標値を取得する処理を行う。また、処理部６１は、全ての対象２０１について、座標値を変換して、ワーク座標系の座標値を取得する処理を行う。

図３および図１３に示すように、ステップＳ６において、ロボットコントローラ４０の処理部４１は、変換した対象２０１の３次元座標系の座標値に基づいて、実物のワーク２００に対象２０１の位置を示す処理を行う。具体的には、処理部４１は、ロボット座標系の座標値に変換した対象２０１の座標値に基づいて、ロボット１０を動作させて、指示部３０により実物のワーク２００に対象２０１の位置を示す処理を行う。すなわち、処理部４１は、ロボット１０を動作させて、対象２０１の位置を示すことが可能な所定の位置に指示部３０を移動させる処理を行う。そして、処理部４１は、指示部３０を所定の位置に配置した状態で、指示部３０からレーザ光を照射して、実物のワーク２００に対象２０１の位置を示す処理を行う。

図３および図１４に示すように、ステップＳ６において、結果表示装置６０の処理部６１は、変換した対象２０１の３次元座標系の座標値に基づいて、ワーク２００の３次元画像に対象２０１の位置を示す処理を行う。具体的には、処理部６１は、ワーク座標系の座標値に変換した対象２０１の座標値に基づいて、ワーク２００の３次元画像に対象２０１の位置を示す処理を行う。すなわち、処理部６１は、ワーク２００の３次元画像に対象２０１の位置を示す画像を重畳する処理を行う。そして、処理部６１は、対象２０１の位置を示す画像を重畳したワーク２００の３次元画像を表示部６３に表示する処理を行う。なお、対象２０１の位置を示す画像を重畳したワーク２００の３次元画像は、操作部６４を用いたユーザの操作に基づいて、拡大、縮小または回転させることが可能である。

また、本実施形態では、図１５に示すように、処理部４１は、ロボット座標系の座標値に変換した複数の対象２０１の座標値がしきい値範囲内にある場合、複数の対象２０１を１つの対象２０１として、対象２０１の位置を、実物のワーク２００に示す処理を行う。しきい値は、座標値同士が同じ位置を示しているとみなせるか否かを判断するための値である。すなわち、処理部４１は、ロボット座標系の座標値に変換した複数の対象２０１の座標値が同じ位置であるとみなせる場合、実際には１つであるべき複数の対象２０１を１つにまとめて、対象２０１の位置を、実物のワーク２００に示す処理を行う。たとえば、処理部４１は、ある移動経路１３についての検査画像２１から検出した対象２０１と、ある移動経路１３に隣り合う移動経路１３についての検査画像２１から検出した対象２０１との各々の、ロボット座標系の座標値に変換した座標値がしきい値範囲内にある場合、これらの対象２０１を１つの対象２０１として、対象２０１の位置を、実物のワーク２００に示す処理を行う。

（本実施形態の効果）
本実施形態では、上記のように、生成した座標変換情報７１、７２に基づいて、対象２０１の検査座標系の座標値を、３次元座標系の座標値に変換する処理と、変換した対象２０１の３次元座標系の座標値に基づいて、対象２０１の位置を、実物のワーク２００またはワーク２００の３次元画像に示す処理と、を行う。これにより、対象２０１の位置を、実物のワーク２００またはワーク２００の３次元画像に示すことができるので、対象２０１の位置をワーク２００の２次元の画像に示す場合と異なり、ワーク２００の曲率が大きい曲面または複雑な曲面の部分であっても、対象２０１の位置を精度よく示すことができる。

また、対象２０１の位置を、実物のワーク２００またはワーク２００の３次元画像に示す場合、対象２０１の検査座標系の座標値を、３次元座標系の座標値に変換する必要があるが、本実施形態では、ロボット１０の移動経路１３に基づいて生成した座標変換情報７１、７２に基づいて、対象２０１の検査座標系の座標値を、３次元座標系の座標値に変換する処理を行う。これにより、ワーク２００の形状との相関性が高いロボット１０の移動経路１３に基づいて生成した座標変換情報７１、７２を用いるため、対象２０１の検査座標系の座標値を、３次元座標系の座標値に精度よく変換することができる。その結果、精度よく変換した対象２０１の３次元座標系の座標値を用いて、対象２０１の位置を、実物のワーク２００またはワーク２００の３次元画像に精度よく示すことができる。この効果は、複雑な形状のワーク２００を検査する場合に、特に有効である。

また、予め作成した座標変換情報７１、７２を用いることにより、対象２０１の検査座標系の座標値を、３次元座標系の座標値に変換する処理を効率良く行うことができる。

また、本実施形態では、上記のように、処理部４１は、移動経路１３に沿って第１距離間隔Ｄ１ごとに３次元座標系の座標値を取得して、座標変換情報７１、７２を生成する処理を行う。これにより、移動経路１３に沿って３次元座標系の座標を均一に取得して、座標変換情報７１、７２を生成することができるので、座標変換情報７１、７２による座標変換の精度ムラを抑制することができる。

また、本実施形態では、上記のように、処理部５１は、移動経路１３に沿って第２距離間隔Ｄ２ごとに検査部２０をワーク２００を検査するように動作させて、検査画像２１を取得する処理を行い、第１距離間隔Ｄ１は、第２距離間隔Ｄ２よりも大きい。これにより、ワーク２００の検査は細かく行う必要があるが、対象２０１の位置はそれほど細かく示す必要がないことを利用して、座標変換情報７１、７２による座標変換に必要な精度を確保しつつ、座標変換情報７１、７２の情報量を少なくすることができる。

また、本実施形態では、上記のように、座標変換情報７１、７２は、移動経路１３に沿った方向のロボット１０の移動量と、３次元座標系の座標値とを対応付けた座標変換テーブルであり、処理部４１、６１は、対象２０１の検査座標系の座標値を３次元座標系の座標値に変換する処理において、対象２０１の移動経路１３に沿った方向における検査座標系の座標値に対応する座標変換テーブルのロボット１０の移動量を取得する処理と、取得した座標変換テーブルのロボット１０の移動量に対応する座標変換テーブルの３次元座標系の座標値を取得する処理と、取得した座標変換テーブルの３次元座標系の座標値を、対象２０１の移動経路１３に直交する方向における検査座標系の座標値に基づいて修正する処理と、を行う。これにより、移動経路１３に沿った方向のロボット１０の移動量と、対象２０１の移動経路１３に沿った方向における検査座標系の座標値とが対応することを利用して、対象２０１の検査座標系の座標値を３次元座標系の座標値に容易にかつ精度よく変換することができる。

また、本実施形態では、上記のように、検査システム１００は、ロボット１０に配置され、実物のワーク２００に対して対象２０１の位置を示す指示部３０を備え、３次元座標系は、ロボット１０に関するロボット座標系であり、処理部４１は、ロボット座標系の座標値に変換した対象２０１の座標値に基づいて、ロボット１０を動作させて、指示部３０により実物のワーク２００に対象２０１の位置を示す処理を行う。これにより、対象２０１の座標値をロボット座標系の座標値に変換することができるので、ロボット１０を用いて実物のワーク２００に対象２０１の位置を示す場合に、実物のワーク２００における対象２０１の位置を容易に把握することができる。その結果、実物のワーク２００に対象２０１の位置を容易に示すことができる。また、検査を行うロボット１０に指示部３０を配置するため、検査を行うロボット１０とは別個に指示部３０を配置したロボットを設ける必要がない。その結果、構造の複雑化を抑制することができる。

また、本実施形態では、上記のように、３次元座標系は、ワーク２００に関するワーク座標系であり、処理部６１は、ワーク座標系の座標値に変換した対象２０１の座標値に基づいて、ワーク２００の３次元画像に対象２０１の位置を示す処理を行う。これにより、対象２０１の座標値をワーク座標系の座標値に変換することができるので、ワーク２００の３次元画像における対象２０１の位置を容易に把握することができる。その結果、ワーク２００の３次元画像に対象２０１の位置を容易に示すことができる。

また、本実施形態では、上記のように、処理部４１は、ロボット座標系の座標値に変換した複数の対象２０１の座標値がしきい値範囲内にある場合、複数の対象２０１を１つの対象２０１として、対象２０１の位置を、実物のワーク２００に示す処理を行う。これにより、１つの対象２０１が、誤って複数の対象２０１として検出された場合にも、１つの対象２０１が、誤って複数の対象２０１として示されることを回避することができる。この効果は、本実施形態のように、検査部２０の検査範囲２２の一部がオーバーラップしていることから、１つの対象２０１が、異なる検査画像２１から検出され得る構成において、特に有効である。

（変形例）
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本開示の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。

たとえば、上記実施形態では、検査システムが、ワークの外観を検査する外観検査システムである例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、検査システムが、ワークの内部を検査する検査システムであってもよい。この場合、検査部は、ワークの内部に超音波を送信し、ワークの内部において反射した超音波を受信することにより、ワークを検査する超音波探傷部であってもよい。超音波探傷部を用いれば、ワークの内部の欠陥などの対象を検出することが可能である。

また、上記実施形態では、ロボットが垂直多関節ロボットである例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、ロボットが垂直多関節ロボット以外の産業用ロボットであってもよい。

また、上記実施形態では、ロボットが撮像部を移動させることにより、ワークに対して検査部を相対的に移動させる例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、ロボットがワークを移動させることにより、ワークに対して検査部を相対的に移動させてもよい。

また、上記実施形態では、ロボットコントローラの処理部、画像処理装置の処理部、および、結果表示装置の処理部が、分担して、各種の処理を行う例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、処理部の数および構成は、特に限定されない。１つの処理部が、上記実施形態の各種の処理を行ってもよいし、複数の処理部が上記実施形態の各種の処理を行ってもよい。また、記憶部の構成も限定されない。また、ロボットコントローラ、画像処理装置および結果表示装置の構成も限定されない。ロボットコントローラ、画像処理装置および結果表示装置は、一体的な構成であってもよいし、上記実施形態のように別々の構成であってもよい。また、ロボットコントローラ、画像処理装置および結果表示装置が、さらに別れた構成であってもよい。たとえば、結果表示装置を操作するための操作装置が、結果表示装置とは別個に設けられていてもよい。

また、上記実施形態では、ロボットコントローラの処理部が、移動経路を生成する処理と、座標変換情報を生成する処理とを行う例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、図１６に示す変形例のように、検査システム１００が、実機を用いずにシミュレーションにより表示画面上でロボット１０の移動経路１３の生成を行うシミュレーション装置１８０を備えていてもよい。変形例では、シミュレーション装置１８０は、処理部１８１と、記憶部１８２と、表示部１８３とを含んでいる。処理部１８１は、プロセッサを含み、シミュレーションに関する各種の処理を行う。記憶部１８２は、不揮発性メモリを含み、座標変換情報７１、７２などを記憶する。表示部１８３は、液晶モニタなどのモニタを含み、シミュレーション画面などを表示する。

処理部１８１は、ロボット１０、検査部２０、および、ワーク２００の各々の３次元画像を表示部１８３に表示し、シミュレーションにより、ロボット１０の移動経路１３を生成する処理を行う。また、処理部１８１は、生成した移動経路１３に基づいて、座標変換情報７１、７２を生成する処理を行う。処理部１８１は、座標変換情報７１、７２を記憶部１８２に記憶する処理を行う。また、処理部１８１は、座標変換情報７１をロボットコントローラ４０の処理部４１に出力する処理と、座標変換情報７２を結果表示装置６０の処理部６１に出力する処理とを行う。

また、上記実施形態では、対象の位置を、実物のワークに示す処理と、対象の位置を、ワークの３次元画像に示す処理との両方を行う例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、対象の位置を、実物のワークに示す処理と、対象の位置を、ワークの３次元画像に示す処理とのいずれか一方のみを行ってもよい。

また、上記実施形態では、座標変換情報が、座標変換テーブルである例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、座標変換情報が、座標変換式などのテーブル以外の情報であってもよい。

また、上記実施形態では、指示部が、レーザ照射部である例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、対象の位置をワークに示すことが可能であれば、指示部は特に限定されない。たとえば、指示部が、インクを塗布して、対象の位置をワークに示すインク塗布部であってもよい。また、たとえば、指示部が、スタンプを押印して、対象の位置をワークに示すスタンプ押印部であってもよい。また、たとえば、指示部が、塗装を噴射して、対象の位置をワークに示す塗装ガンであってもよい。また、たとえば、指示部が、付箋などの貼付物を貼付して、対象の位置をワークに示す貼付部であってもよい。また、上記実施形態とは異なり、拡張現実を表示する拡張現実表示装置により、対象の位置を実物のワークに示してもよい。拡張現実表示装置は、対象の位置を示す拡張現実画像を表示して、対象の位置をワークに示す。

また、上記実施形態では、指示部が、検査用のロボットに配置される例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、検査用のロボットとは別個に、指示部を配置した指示用のロボットを設けてもよい。指示用のロボットは、対象の位置を実物のワークに示すように動作する。また、検査用のロボットによりワークの検査が行われる場所と、指示用のロボットによりワークの指示が行われる場所とは、別々の離れた場所であってもよい。

また、上記実施形態では、第１距離間隔が、第２距離間隔よりも大きい例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、第１距離間隔が、第２距離間隔以下であってもよい。

本明細書で開示する要素の機能は、開示された機能を実行するよう構成またはプログラムされた汎用プロセッサ、専用プロセッサ、集積回路、ＡＳＩＣ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ Ｓｐｅｃｉｆｉｃ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔｓ）、従来の回路、および／または、それらの組み合わせ、を含む回路または処理回路を使用して実行できる。プロセッサは、トランジスタやその他の回路を含むため、処理回路または回路と見なされる。本開示において、回路、ユニット、または手段は、列挙された機能を実行するハードウェアであるか、または、列挙された機能を実行するようにプログラムされたハードウェアである。ハードウェアは、本明細書に開示されているハードウェアであってもよいし、あるいは、列挙された機能を実行するようにプログラムまたは構成されているその他の既知のハードウェアであってもよい。ハードウェアが回路の一種と考えられるプロセッサである場合、回路、手段、またはユニットはハードウェアとソフトウェアの組み合わせであり、ソフトウェアはハードウェアおよび／またはプロセッサの構成に用いられる。

［態様］
上記した実施形態は、以下の態様の具体例である。

（態様１）
ロボットと、
ワークを検査する検査部と、
前記ロボットにより前記ワークに対して前記検査部を相対的に移動させて、前記検査部により前記ワークを検査する際の、前記ロボットの移動経路を生成する処理と、
生成した前記移動経路に基づいて、前記検査部により前記ワークを検査することにより取得される検査画像の検査座標系の座標値を、前記ワークの座標値を３次元で表すことが可能な３次元座標系の座標値に変換するための座標変換情報を生成する処理と、
生成した前記移動経路に基づいて、前記ロボットを動作させて、前記検査部により前記ワークを検査することにより前記検査画像を取得する処理と、
取得した前記検査画像内の前記ワークの対象を検出する処理と、
生成した前記座標変換情報に基づいて、前記対象の前記検査座標系の座標値を、前記３次元座標系の座標値に変換する処理と、
変換した前記対象の前記３次元座標系の座標値に基づいて、前記対象の位置を、実物の前記ワークまたは前記ワークの３次元画像に示す処理と、
を行う、処理部と、を備える、検査システム。

（態様２）
前記処理部は、前記移動経路に沿って第１距離間隔ごとに前記３次元座標系の座標値を取得して、前記座標変換情報を生成する処理を行う、態様１に記載の検査システム。

（態様３）
前記処理部は、前記移動経路に沿って第２距離間隔ごとに前記検査部を前記ワークを検査するように動作させて、前記検査画像を取得する処理を行い、
前記第１距離間隔は、前記第２距離間隔よりも大きい、態様２に記載の検査システム。

（態様４）
前記座標変換情報は、前記移動経路に沿った方向の前記ロボットの移動量と、前記３次元座標系の座標値とを対応付けた座標変換テーブルであり、
前記処理部は、前記対象の前記検査座標系の座標値を前記３次元座標系の座標値に変換する処理において、
前記対象の前記移動経路に沿った方向における前記検査座標系の座標値に対応する前記座標変換テーブルの前記ロボットの移動量を取得する処理と、
取得した前記座標変換テーブルの前記ロボットの移動量に対応する前記座標変換テーブルの前記３次元座標系の座標値を取得する処理と、
取得した前記座標変換テーブルの前記３次元座標系の座標値を、前記対象の前記移動経路に直交する方向における前記検査座標系の座標値に基づいて修正する処理と、
を行う、態様１～３のいずれか１の態様に記載の検査システム。

（態様５）
前記ロボットに配置され、実物の前記ワークに対して前記対象の位置を示す指示部をさらに備え、
前記３次元座標系は、前記ロボットに関するロボット座標系であり、
前記処理部は、前記ロボット座標系の座標値に変換した前記対象の座標値に基づいて、前記ロボットを動作させて、前記指示部により実物の前記ワークに前記対象の位置を示す処理を行う、態様１～４のいずれか１の態様に記載の検査システム。

（態様６）
前記３次元座標系は、前記ワークに関するワーク座標系であり、
前記処理部は、前記ワーク座標系の座標値に変換した前記対象の座標値に基づいて、前記ワークの３次元画像に前記対象の位置を示す処理を行う、態様１～５のいずれか１の態様に記載の検査システム。

（態様７）
前記３次元座標系は、前記ロボットに関するロボット座標系であり、
前記処理部は、前記ロボット座標系の座標値に変換した複数の前記対象の座標値がしきい値範囲内にある場合、前記複数の対象を１つの前記対象として、前記対象の位置を、実物の前記ワークに示す処理を行う、態様１～６のいずれか１の態様に記載の検査システム。

（態様８）
ロボットによりワークに対して検査部を相対的に移動させて、前記検査部により前記ワークを検査する際の、前記ロボットの移動経路を生成することと、
生成した前記移動経路に基づいて、前記検査部により前記ワークを検査することにより取得される検査画像の検査座標系の座標値を、前記ワークの座標値を３次元で表すことが可能な３次元座標系の座標値に変換するための座標変換情報を生成することと、
生成した前記移動経路に基づいて、前記ロボットを動作させて、前記検査部により前記ワークを検査することにより前記検査画像を取得することと、
取得した前記検査画像内の前記ワークの対象を検出することと、
生成した前記座標変換情報に基づいて、前記対象の前記検査座標系の座標値を、前記３次元座標系の座標値に変換することと、
変換した前記対象の前記３次元座標系の座標値に基づいて、前記対象の位置を、実物の前記ワークまたは前記ワークの３次元画像に示すことと、を備える、検査方法。

１０ ロボット
１３ 移動経路
２０ 検査部
２１ 検査画像
３０ 指示部
４１ 処理部
５１ 処理部
６１ 処理部
７１、７２ 座標変換情報
１００ 検査システム
１８１ 処理部
２００ ワーク
２０１ 対象
Ｄ１ 第１距離間隔
Ｄ２ 第２距離間隔

Claims (10)

1. ロボットと、
   ワークを検査する検査部と、
   前記ロボットにより前記ワークに対して前記検査部を相対的に移動させて、前記検査部により前記ワークを検査する際の、前記ロボットの移動経路を生成する処理と、
   生成した前記移動経路に基づいて、前記検査部により前記ワークを検査することにより取得される検査画像の検査座標系の座標値を、前記ワークの座標値を３次元で表すことが可能な３次元座標系の座標値に変換するための座標変換情報を生成する処理と、
   生成した前記移動経路に基づいて、前記ロボットを動作させて、前記検査部により前記ワークを検査することにより前記検査画像を取得する処理と、
   取得した前記検査画像内の前記ワークの欠陥を検出する処理と、
   生成した前記座標変換情報に基づいて、前記欠陥の前記検査座標系の座標値を、前記３次元座標系の座標値に変換する処理と、
   変換した前記欠陥の前記３次元座標系の座標値に基づいて、前記欠陥の位置を、実物の前記ワークまたは前記ワークの３次元画像に示す処理と、
   を行う、処理部と、を備え、
   前記座標変換情報は、前記移動経路に沿った方向の前記ロボットの一定の移動量ごとに、前記ロボットの移動量と、前記３次元座標系の座標値とを対応付けた情報であり、
   前記処理部は、前記移動経路に沿って第１距離間隔ごとに前記３次元座標系の座標値を取得して、前記座標変換情報を生成する処理を行い、前記移動経路に沿って第２距離間隔ごとに前記検査部を前記ワークを検査するように動作させて、前記検査画像を取得する処理を行い、
   前記第１距離間隔は、前記第２距離間隔よりも大きい、検査システム。
2. ロボットと、
   ワークを検査する検査部と、
   前記ロボットにより前記ワークに対して前記検査部を相対的に移動させて、前記検査部により前記ワークを検査する際の、前記ロボットの移動経路を生成する処理と、
   生成した前記移動経路に基づいて、前記検査部により前記ワークを検査することにより取得される検査画像の検査座標系の座標値を、前記ワークの座標値を３次元で表すことが可能な３次元座標系の座標値に変換するための座標変換情報を生成する処理と、
   生成した前記移動経路に基づいて、前記ロボットを動作させて、前記検査部により前記ワークを検査することにより前記検査画像を取得する処理と、
   取得した前記検査画像内の前記ワークの欠陥を検出する処理と、
   生成した前記座標変換情報に基づいて、前記欠陥の前記検査座標系の座標値を、前記３次元座標系の座標値に変換する処理と、
   変換した前記欠陥の前記３次元座標系の座標値に基づいて、前記欠陥の位置を、実物の前記ワークまたは前記ワークの３次元画像に示す処理と、
   を行う、処理部と、を備え、
   前記座標変換情報は、前記移動経路に沿った方向の前記ロボットの一定の移動量ごとに、前記移動経路に沿った方向の前記ロボットの移動量と、前記３次元座標系の座標値とを対応付けた座標変換テーブルであり、
   前記処理部は、前記欠陥の前記検査座標系の座標値を前記３次元座標系の座標値に変換する処理において、
   前記欠陥の前記移動経路に沿った方向における前記検査座標系の座標値に対応する前記座標変換テーブルの前記ロボットの移動量を取得する処理と、
   取得した前記座標変換テーブルの前記ロボットの移動量に対応する前記座標変換テーブルの前記３次元座標系の座標値を取得する処理と、
   取得した前記座標変換テーブルの前記３次元座標系の座標値を、前記欠陥の前記移動経路に直交する方向における前記検査座標系の座標値に基づいて修正する処理と、
   を行う、検査システム。
3. 前記処理部は、前記移動経路に沿って第１距離間隔ごとに前記３次元座標系の座標値を取得して、前記座標変換情報を生成する処理を行う、請求項２に記載の検査システム。
4. 前記処理部は、前記移動経路に沿って第２距離間隔ごとに前記検査部を前記ワークを検査するように動作させて、前記検査画像を取得する処理を行い、
   前記第１距離間隔は、前記第２距離間隔よりも大きい、請求項３に記載の検査システム。
5. 前記座標変換情報は、前記移動経路に沿った方向の前記ロボットの一定の移動量ごとに、前記移動経路に沿った方向の前記ロボットの移動量と、前記３次元座標系の座標値とを対応付けた座標変換テーブルであり、
   前記処理部は、前記欠陥の前記検査座標系の座標値を前記３次元座標系の座標値に変換する処理において、
   前記欠陥の前記移動経路に沿った方向における前記検査座標系の座標値に対応する前記座標変換テーブルの前記ロボットの移動量を取得する処理と、
   取得した前記座標変換テーブルの前記ロボットの移動量に対応する前記座標変換テーブルの前記３次元座標系の座標値を取得する処理と、
   取得した前記座標変換テーブルの前記３次元座標系の座標値を、前記欠陥の前記移動経路に直交する方向における前記検査座標系の座標値に基づいて修正する処理と、
   を行う、請求項１に記載の検査システム。
6. 前記ロボットに配置され、実物の前記ワークに対して前記欠陥の位置を示す指示部をさらに備え、
   前記３次元座標系は、前記ロボットに関するロボット座標系であり、
   前記処理部は、前記ロボット座標系の座標値に変換した前記欠陥の座標値に基づいて、前記ロボットを動作させて、前記指示部により実物の前記ワークに前記欠陥の位置を示す処理を行う、請求項１または２に記載の検査システム。
7. 前記３次元座標系は、前記ワークに関するワーク座標系であり、
   前記処理部は、前記ワーク座標系の座標値に変換した前記欠陥の座標値に基づいて、前記ワークの３次元画像に前記欠陥の位置を示す処理を行う、請求項１または２に記載の検査システム。
8. 前記３次元座標系は、前記ロボットに関するロボット座標系であり、
   前記処理部は、前記ロボット座標系の座標値に変換した複数の前記欠陥の座標値がしきい値範囲内にある場合、前記複数の欠陥を１つの前記欠陥として、前記欠陥の位置を、実物の前記ワークに示す処理を行う、請求項１または２に記載の検査システム。
9. ロボットによりワークに対して検査部を相対的に移動させて、前記検査部により前記ワークを検査する際の、前記ロボットの移動経路を生成することと、
   生成した前記移動経路に基づいて、前記検査部により前記ワークを検査することにより取得される検査画像の検査座標系の座標値を、前記ワークの座標値を３次元で表すことが可能な３次元座標系の座標値に変換するための座標変換情報を生成することと、
   生成した前記移動経路に基づいて、前記ロボットを動作させて、前記検査部により前記ワークを検査することにより前記検査画像を取得することと、
   取得した前記検査画像内の前記ワークの欠陥を検出することと、
   生成した前記座標変換情報に基づいて、前記欠陥の前記検査座標系の座標値を、前記３次元座標系の座標値に変換することと、
   変換した前記欠陥の前記３次元座標系の座標値に基づいて、前記欠陥の位置を、実物の前記ワークまたは前記ワークの３次元画像に示すことと、を備え、
   前記座標変換情報は、前記移動経路に沿った方向の前記ロボットの一定の移動量ごとに、前記ロボットの移動量と、前記３次元座標系の座標値とを対応付けた情報であり、
   前記座標変換情報を生成することは、前記移動経路に沿って第１距離間隔ごとに前記３次元座標系の座標値を取得して、前記座標変換情報を生成することを含み、
   前記検査画像を取得することは、前記移動経路に沿って第２距離間隔ごとに前記検査部を前記ワークを検査するように動作させて、前記検査画像を取得することを含み、
   前記第１距離間隔は、前記第２距離間隔よりも大きい、検査方法。
10. ロボットによりワークに対して検査部を相対的に移動させて、前記検査部により前記ワークを検査する際の、前記ロボットの移動経路を生成することと、
    生成した前記移動経路に基づいて、前記検査部により前記ワークを検査することにより取得される検査画像の検査座標系の座標値を、前記ワークの座標値を３次元で表すことが可能な３次元座標系の座標値に変換するための座標変換情報を生成することと、
    生成した前記移動経路に基づいて、前記ロボットを動作させて、前記検査部により前記ワークを検査することにより前記検査画像を取得することと、
    取得した前記検査画像内の前記ワークの欠陥を検出することと、
    生成した前記座標変換情報に基づいて、前記欠陥の前記検査座標系の座標値を、前記３次元座標系の座標値に変換することと、
    変換した前記欠陥の前記３次元座標系の座標値に基づいて、前記欠陥の位置を、実物の前記ワークまたは前記ワークの３次元画像に示すことと、を備え、
    前記座標変換情報は、前記移動経路に沿った方向の前記ロボットの一定の移動量ごとに、前記移動経路に沿った方向の前記ロボットの移動量と、前記３次元座標系の座標値とを対応付けた座標変換テーブルであり、
    前記欠陥の前記検査座標系の座標値を、前記３次元座標系の座標値に変換することは、
    前記欠陥の前記移動経路に沿った方向における前記検査座標系の座標値に対応する前記座標変換テーブルの前記ロボットの移動量を取得することと、
    取得した前記座標変換テーブルの前記ロボットの移動量に対応する前記座標変換テーブルの前記３次元座標系の座標値を取得することと、
    取得した前記座標変換テーブルの前記３次元座標系の座標値を、前記欠陥の前記移動経路に直交する方向における前記検査座標系の座標値に基づいて修正することと、
    を含む、検査方法。

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