JP7711938B2 - ドレッシング装置 - Google Patents

Description

本発明は、ワークを研磨する研磨機の定盤に取り付けられた研磨パッドをドレッシングするドレッシング装置に関する発明である。

従来、シリコンウェーハ等のワークを研磨する定盤に取り付けられた研磨パッドのドレッシングを行うドレッシング装置が知られている。従来のドレッシング装置では、例えば、図１３（ａ）、（ｂ）に示すように、上下定盤の間に配置されるドレッサー１００が、上定盤に対向するドレッシング面１０１ａを有する棒状の第１砥石１０１と、下定盤に対向するドレッシング面１０２ａを有する棒状の第２砥石１０２と、備えている。そして、従来のドレッサー１００では、弾性部材（板バネ等）１０３を介して第１、第２砥石１０１、１０２を押圧用の同軸シリンダ１０４でそれぞれ上下定盤に向けて押圧する（例えば、特許文献１参照）。

また、図１３（ａ）、（ｂ）に示す例では、第１砥石１０１と第２砥石１０２とが同一の長さに設定されているが、例えば、図１４（ａ）、（ｂ）に示す変形例のドレッサー２００のように、棒状の第１砥石２０１と第２砥石２０２との長さが異なっているドレッシング装置も存在する。図１４（ａ）、（ｂ）に示す従来のドレッサー２００においても、第１砥石２０１が上定盤に対向するドレッシング面２０１ａを有し、第２砥石２０２が下定盤に対向するドレッシング面２０２ａを有している。そして、ドレッサー２００は、弾性部材（板バネ等）２０３を介して第１砥石２０１を押圧用の第１シリンダ２０４ａで上定盤に向けて押圧し、第２砥石２０２を押圧用の第２シリンダ２０４ｂで下定盤に向けて押圧する。

さらに、従来、ドレッシング面が、ドレッシング中に定盤の内縁側に位置する内側領域部と、ドレッシング中に定盤の外縁側に位置する外側領域部と、内側領域部と外側領域部との間に位置する中間領域部とを有するドレッシング装置が知られている（例えば、特許文献２参照）。ここで、内側領域部は、定盤径方向に所要長さで延びると共に、定盤の内縁に沿う形状に形成されている。外側領域部は、定盤径方向に所要長さで延びると共に、定盤の外縁に沿う形状に形成されている。さらに、中間領域部は、定盤径方向に所要長さで延びると共に、定盤周方向に延びる長さが、内側領域部及び外側領域部の定盤周方向に延びる長さよりも短くなるように設定されている。

特開２０２０－１２４７５０号公報 特許第６５３５５２９号公報

しかしながら、例えば、特許文献１に記載のドレッシング装置では、定盤の外周部及び内周部で研磨パッドの削り量が少なく、定盤の外周部及び内周部と中間部とで、研磨パッドの削り量に差が生じる。そのため、研磨パッドの全面を一様に平坦化することが難しいという問題がある。また、例えば特許文献２に記載のドレッシング装置では、ドレッシング時、定盤の外周縁及び内周縁の近傍位置で研磨パッドを削り過ぎる傾向があり、定盤の外周部及び内周部で研磨パッドの削り量が大きく変動する。

本発明は、上記問題に着目してなされたもので、ドレッシング時に研磨パッドの平坦度を向上させることや、研磨パッドの削り量を均一にさせることができるドレッシング装置を提供することを課題としている。

上記目的を達成するため、本発明は、ワークを研磨する定盤に取り付けられた研磨パッドをドレッシングするドレッサーを備えたドレッシング装置において、前記ドレッサーは、前記研磨パッドに対向するドレッシング面を有し、前記ドレッシング面には、所定のドレッシング力である第１領域と、前記第１領域よりも前記ドレッシング力が低い第２領域と、が設定されている。そして、前記第１領域と前記第２領域とは、定盤周方向に並ぶと共に、前記第１領域が、前記ドレッシング面の前記定盤周方向の一方の端部側に配置されている。さらに、前記第１領域と前記第２領域とを区画する区画線は、定盤径方向の中間部に、両端部よりも前記ドレッシング面の前記定盤周方向の一方の端部に近い位置に設定される中間点を有する。そして、前記ドレッシング面は、前記定盤周方向の一方の端部から、前記定盤周方向の他方の端部に向かって、前記定盤径方向の寸法が次第に長くなる形状を呈し、前記ドレッサーが前記定盤の外周縁に位置するとき、前記定盤径方向の外周側の側部が前記定盤の外周縁の接線方向に沿い、前記ドレッサーが前記定盤の内周縁に位置するとき、前記定盤径方向の内周側の側部が前記定盤の内周縁の接線方向に沿う。また、前記中間点は、前記定盤の内周縁の接線方向に平行であって、前記ドレッシング面の前記定盤径方向の外周側の側部と、前記定盤周方向の一方の端部との交点を通る第１直線と、前記定盤の外周縁の接線方向に平行であって、前記ドレッシング面の前記定盤径方向の内周側の側部と、前記定盤周方向の一方の端部との交点を通る第２直線との交点上に設定される。また、前記定盤の外周縁の接線方向と前記区画線とでなす角と、前記定盤の内周縁の接線方向と前記区画線とでなす角とは、同一の角度に設定され、前記定盤の外周縁の接線方向と前記第１直線とでなす角と、前記定盤の内周縁の接線方向と前記第２直線とでなす角とは、同一の角度に設定される。そして、前記研磨パッドと前記第１領域との前記定盤周方向の接触長さは、前記ドレッサーが前記定盤の外周縁に位置するとき、前記ドレッシング面の前記定盤径方向の外周側の側部から、前記ドレッシング面の前記定盤径方向の内周側の側部に向かうにつれて、次第に低減し、前記ドレッサーが前記定盤の内周縁に位置するとき、前記ドレッシング面の前記定盤径方向の内周側の側部から、前記ドレッシング面の前記定盤径方向の外周側の側部に向かうにつれて、次第に低減することを特徴とする。

本発明のドレッシング装置では、ドレッシング時に研磨パッドの平坦度を向上させることや、研磨パッドの削り量を均一にさせることができる。

実施例１のドレッシング装置及び両面研磨機を模式的に示す説明図である。 実施例１のドレッシング装置及び両面研磨機を模式的に示す平面図である。 実施例１のドレッサーの第１ドレッシング面を示す平面図である。 実施例１のドレッサーの第２ドレッシング面を示す平面図である。 実施例１の第１ドレッシング面に設定された第１領域を示す平面図である。 図５におけるＡ－Ａ断面の拡大図である。 第１領域の形状を示す説明図である。 第１領域の定盤径方向位置における、第１領域と研磨パッドとの定盤周方向の接触長さを示す図である。 （ａ）実施例１のドレッシング装置による研磨パッドの削り量を示す図である。（ｂ）研磨パッドの削り量の測定位置を示す説明図である。 （ａ）第１比較例の第１領域を示す平面図である。（ｂ）第１比較例の第１領域と研磨パッドとの定盤周方向の接触長さを示す図である。（ｃ）第１比較例の第１領域による研磨パッドの削り量を示す図である。 （ａ）第２比較例の第１領域を示す平面図である。（ｂ）第２比較例の第１領域と研磨パッドとの定盤周方向の接触長さを示す図である。（ｃ）第２比較例の第１領域による研磨パッドの削り量を示す図である。 （ａ）第１変形例の第１領域を示す平面図である。（ｂ）第１変形例の第１領域と研磨パッドとの定盤周方向の接触長さを示す図である。（ｃ）第１変形例の第１領域による研磨パッドの削り量を示す図である。 （ａ）従来のドレッシング装置のドレッサーを示す第１の斜視図である。（ｂ）従来のドレッシング装置のドレッサーを示す第２の斜視図である。 （ａ）従来のドレッシング装置のドレッサーの変形例を示す第１の斜視図である。（ｂ）従来のドレッシング装置のドレッサーの変形例を示す第２の斜視図である。

以下、本発明のドレッシング装置を実施するための形態を、図面に示す実施例１に基づいて説明する。

実施例１のドレッシング装置１は、薄板状のワークの表裏両面を研磨する両面研磨機１０の上定盤１１に取り付けられた研磨パッド１１ａと、両面研磨機１０の下定盤１２に取り付けられた研磨パッド１２ａとを同時にドレッシングする両面研磨機用のドレッシング装置である。なお、ドレッシングとは、研磨パッド１１ａ、１２ａの表面を研削や粗化などをして、研磨パッド１１ａ、１２ａのスラリーの保持性を回復させ、両面研磨機１０の研磨能力を維持させることをいう。研磨パッド１１ａ、１２ａの表面は、ドレッシングを行うことで一様に平坦化される、もしくは研磨パッドの削り量を均一にさせることが望ましい。

ドレッシング時、ドレッシング装置１は、上下定盤１１、１２の間にドレッサー３を入れる。また、両面研磨機１０は、ドレッサー３を上定盤１１と下定盤１２で挟んだ状態で、回転軸１３によって上定盤１１を第１の方向（例えば反時計回り方向、以下「上定盤回転方向ＣＣＷ」という）に回転させ、下定盤１２を第１の方向に対して逆向きの第２の方向（例えば時計回り方向、以下「下定盤回転方向ＣＷ」という）に回転させる。これにより、研磨パッド１１ａ、１２ａとドレッサー３とが摺接し、研磨パッド１１ａ、１２ａがドレッシングされる。また、上定盤１１及び下定盤１２は、いずれも中心に回転軸１３が取り付けられたドーナツ円盤形状を呈しており、ドレッシング中、ドレッサー３は、上下定盤１１、１２の外周縁１４と内周縁１５との間を移動する。

ドレッシング装置１は、図１及び図２に示すように、アーム部材２と、アーム部材２の先端部２ｂに設けられたドレッサー３と、アーム部材２を回動する駆動機構４と、駆動機構４を制御する制御部（図示せず）とを備えている。

アーム部材２は、両面研磨機１０の近傍に配置された駆動機構４に基部２ａが保持され、駆動機構４から水平方向に延びたパイプ部材である。アーム部材２は、駆動機構４によって基部２ａを中心に回動し、先端部２ｂを上下定盤１１、１２の間に進退可能に進入させる。すなわち、アーム部材２の先端部２ｂは、図２に示すように、基部２ａを中心にした円弧状の軌道２ｃに沿って移動する。そして、アーム部材２は、ドレッシング中に上下定盤１１、１２の間で回動させられ、ドレッサー３を軌道２ｃに沿って移動させる。また、アーム部材２は、ドレッシング時以外は上下定盤１１、１２の間からドレッサー３を退避させる位置に回動させられる。

ドレッサー３は、ドレッシング部材３ａと、洗浄水噴射機構３ｂとを有している。ドレッシング部材３ａは、研磨パッド１１ａ、１２ａをドレッシングする機能を有する。ドレッシング部材３ａは、ドレッシング時に上定盤１１に対向する平坦な第１ドレッシング面３１（図３参照）と、ドレッシング時に下定盤１２に対向する平坦な第２ドレッシング面３２（図４参照）とを有している。第１ドレッシング面３１及び第２ドレッシング面３２には、それぞれ砥粒が電着され、粒度の番手が任意に設定されている。第１ドレッシング面３１及び第２ドレッシング面３２に電着される砥粒は、ダイヤモンドやＣＢＮ砥粒等が使用可能である。なお、図３及び図４に示す第１ドレッシング面３１及び第２ドレッシング面３２に設けられた複数の円形の穴３ｃは、任意に形成されるネジ穴である。

洗浄水噴射機構３ｂは、ドレッシング時に高圧の洗浄水を噴射する機能を有する。洗浄水噴射機構３ｂは、第１ドレッシング面３１の側方に設けられた一対の第１噴射口３８（図３参照）と、第２ドレッシング面３２の側方に設けられた三カ所の第２噴射口３９（図４参照）と、ドレッシング部材３ａを貫通し、第１噴射口３８及び第２噴射口３９に連通する洗浄水通路（不図示）等とを有している。なお、洗浄水は、アーム部材２の内部を介して供給される。ここで、第１噴射口３８は、第１ドレッシング面３１よりも、上定盤回転方向ＣＣＷの上流側に位置している。また、第２噴射口３９は、第２ドレッシング面３２よりも、下定盤回転方向ＣＷの上流側に位置している。さらに、第１、第２噴射口３８、３９は、いずれもドレッシング時に研磨パッド１１ａ、１２ａに接触しない高さに設定されている。

第１ドレッシング面３１は、図５に示すように、上下定盤１１、１２の周方向である定盤周方向Ｘ（図２～図５参照）の一方の端部３１ａから、定盤周方向Ｘの他方の端部３１ｂに向かって、上下定盤１１、１２の径方向である定盤径方向Ｙ（定盤周方向Ｘに直交する方向。図２～図５参照）の寸法Ｗが次第に長くなる形状を呈している。これにより、図２に示すように、第１ドレッシング面３１は、定盤径方向Ｙの一方の側部３１ｃ（外周側の側部）が、ドレッシング中にドレッサー３が上下定盤１１、１２の外周縁１４に位置したとき、外周縁１４の接線方向Ｌαに沿う。また、第１ドレッシング面３１は、定盤径方向Ｙの他方の側部３１ｄ（内周側の側部）が、ドレッシング中にドレッサー３が上下定盤１１、１２の内周縁１５に位置したとき、内周縁１５の接線方向Ｌβに沿う。さらに、第１ドレッシング面３１の定盤周方向Ｘの両端部３１ａ、３１ｂは、略平行に延びている。このため、第１ドレッシング面３１は、平面視で略台形形状を呈している。

ここで、「ドレッサー３が上下定盤１１、１２の外周縁１４に位置したとき」とは、ドレッサー３が上下定盤１１、１２の最外周まで移動した状態である。また、「ドレッサー３が上下定盤１１、１２の内周縁１５に位置したとき」とは、ドレッサー３が上下定盤１１、１２の最内周まで移動した状態である。

なお、第１ドレッシング面３１は、定盤周方向Ｘの一方の端部３１ａ及び定盤周方向Ｘの他方の端部３１ｂの双方に、研磨パッド１１ａとの接触力を低減するため、いずれも大きなＲ加工が施されている。

また、第１ドレッシング面３１には、第１領域３３と、第２領域３４と、が設定されている。第１領域３３は、比較的大きい粒径の砥粒が電着され、例えば＃５０～３２５等の比較的低い番手の粒度（粗い粒度）に設定されている。第２領域３４は、第１領域３３よりも小さい粒径の砥粒が電着され、例えば＃３２５～３０００等の第１領域３３よりも高い番手の粒度（細かい粒度）に設定されている。なお、第１領域３３と第２領域３４とは、図６に示すように、面一に設定されている。つまり、第１領域３３から研磨パッド１１ａまでの距離と第２領域３４から研磨パッド１１ａまでの距離は同一になる。

そして、第１領域３３と第２領域３４とは、定盤周方向Ｘに沿って並んで配置されている。ここで、第１領域３３が定盤周方向Ｘの一方の端部３１ａ側に配置され、第２領域３４が定盤周方向Ｘの他方の端部３１ｂ側に配置されている。第１領域３３と第２領域３４とは、区画線３５によって区画されている。

区画線３５は、図５に示すように、第１隅角部３５ａと第２隅角部３５ｂと第３隅角部３５ｃ（中間点）とをつなぐ直線によって構成される。ここで、第１隅角部３５ａは、第１ドレッシング面３１の定盤径方向Ｙの一方の側部３１ｃに設定された点である。第２隅角部３５ｂは、第１ドレッシング面３１の定盤径方向Ｙの他方の側部３１ｄに設定された点である。第３隅角部３５ｃは、第１ドレッシング面３１の定盤径方向Ｙの中間部に設定された点である。そして、第３隅角部３５ｃは、定盤径方向Ｙの両側部３１ｃ、３１ｄに位置する第１、第２隅角部３５ａ、３５ｂよりも、第１ドレッシング面３１の定盤周方向Ｘの一方の端部３１ａに近い位置に設定されている。

これにより、第１領域３３は、第２領域３４との境界位置において、定盤径方向Ｙの両端部にそれぞれ先鋭部３６が形成される。そして、第２領域３４は、二つの先鋭部３６の間に位置する。

なお、実施例１では、先鋭部３６にＲ加工が施されている。そのため、実施例１では、第１隅角部３５ａ及び第２隅角部３５ｂは、先鋭部３６にＲ加工が施されていないと仮定したときの仮想上の定盤径方向Ｙの両側部３１ｃ、３１ｄ、つまり各側部３１ｃ、３１ｄに沿った直線上に設定されている。

また、第３隅角部３５ｃは、図７に模式的に示すように、第１ドレッシング面３１上に設定される第１直線Ｌ１と第２直線Ｌ２との交点上に設定される。ここで、第１直線Ｌ１は、上下定盤１１、１２の内周縁１５の接線方向Ｌβに平行であって、第１ドレッシング面３１に設定された第４隅角部３５ｄを通る直線である。第４隅角部３５ｄは、第１ドレッシング面３１の定盤径方向Ｙの一方の側部３１ｃと、定盤周方向Ｘの一方の端部３１ａとの交点である。また、第２直線Ｌ２は、上下定盤１１、１２の外周縁１４の接線方向Ｌαに平行であって、第１ドレッシング面３１に設定された第５隅角部３５ｅを通る直線である。第５隅角部３５ｅは、第１ドレッシング面３１の定盤径方向Ｙの他方の側部３１ｄと、定盤周方向Ｘの一方の端部３１ａとの交点である。

さらに、第１領域３３では、接線方向Ｌαと区画線３５とでなす角（第１隅角部３５ａの内角）θ１と、接線方向Ｌβと区画線３５とでなす角（第２隅角部３５ｂの内角）θ２と、が同じ角度に設定されている。また、接線方向Ｌαと第１直線Ｌ１とでなす角θ３と、接線方向Ｌβと第２直線Ｌ２とでなす角θ４とが、同じ角度に設定されている。

また、実施例１では、外周縁１４の接線方向Ｌαと内周縁１５の接線方向Ｌβとでなす角θ５も、角θ３、θ４と同一角度に設定されている。なお、角θ５は、アーム部材２の長さ、又は上下定盤１１、１２の半径の大きさに応じて設定され、例えばゼロ°よりも大きく、１００°程度までの角度に設定される。

そして、第１直線Ｌ１と第２直線Ｌ２との交点上に第３隅角部３５ｃを設定すると共に、θ１とθ２、θ３とθ４をそれぞれ同じ角度に設定することで、ドレッサー３が上下定盤１１、１２の外周縁１４に位置しているとき、図８に示すように、第１領域３３と研磨パッド１１ａとの定盤周方向の接触長さは、第１ドレッシング面３１の定盤径方向Ｙの一方の側部３１ｃ（上下定盤１１、１２の外周縁１４側の側部）から、定盤径方向Ｙの他方の側部３１ｄ（上下定盤１１、１２の内周縁１５側の側部）に向かうにつれて、次第に低減する。なお、図８に示す定盤周方向の接触長さは、穴３ｃは考慮していない。

さらに、図８において、Ｘ軸とＹ軸及び第１領域３３と研磨パッド１１ａとの定盤周方向の接触長さを示す線とで囲まれた領域（斜線を付した領域）は、第１領域３３と研磨パッド１１ａとの接触面積を示している。ドレッサー３が上下定盤１１、１２の外周縁１４に位置しているとき、第１領域３３と研磨パッド１１ａとの接触面積は、図８から分かるように、上下定盤１１、１２の最外周から徐々に小さくなり、横軸を定盤径方向Ｙとして図示したときにほぼ三角形状を呈する。

また、ドレッサー３が上下定盤１１、１２の内周縁１５に位置しているときには、図示しないが、第１領域３３と研磨パッド１１ａとの定盤周方向Ｘの接触長さは、第１ドレッシング面３１の定盤径方向Ｙの他方の側部３１ｄ（上下定盤１１、１２の内周縁１５側の側部）から、定盤径方向Ｙの一方の側部３１ｃ（上下定盤１１、１２の外周縁１４側の側部）に向かうにつれて、次第に低減する。

つまり、第１領域３３と研磨パッド１１ａとの定盤周方向Ｘの接触長さは、ドレッサー３が上下定盤１１、１２の外周縁１４に位置したときと、ドレッサー３が上下定盤１１、１２の内周縁１５に位置したときとのいずれにおいても、定盤縁部（外周縁１４或いは内周縁１５）側から定盤内部（上下定盤１１、１２の定盤径方向Ｙの中間部）側に向かって次第に低減する。

また、θ１、θ２、θ３、θ４は、同じ角度に設定されてもよい。その場合、ドレッサー３が上下定盤１１、１２の外周縁１４に位置しているとき、第１領域３３と研磨パッド１１ａとの定盤周方向Ｘの接触長さは、第１ドレッシング面３１の定盤径方向Ｙの一方の側部３１ｃ（上下定盤１１、１２の外周縁１４側の側部）から、定盤径方向Ｙの他方の側部３１ｄ（上下定盤１１、１２の内周縁１５側の側部）に向かうにつれて、一定の低減率で低減、もしくは次第に低減する。また、ドレッサー３が上下定盤１１、１２の内周縁１５に位置しているときは、第１領域３３と研磨パッド１１ａとの定盤周方向Ｘの接触長さは、第１ドレッシング面３１の定盤径方向Ｙの他方の側部３１ｄ（上下定盤１１、１２の内周縁１５側の側部）から、定盤径方向Ｙの一方の側部３１ｃ（上下定盤１１、１２の外周縁１４側の側部）に向かうにつれて、一定の低減率で低減、もしくは次第に低減する。

さらに、第１ドレッシング面３１には、溝部３７が形成されている。溝部３７は、第１ドレッシング面３１に形成されたへこみであり、ドレッサー３の側方に開放している。溝部３７は、ドレッシング実施時に供給される洗浄水等の流体が流動可能な幅及び深さに設定されている。

また、実施例１の溝部３７は、第１溝部３７ａと、第２溝部３７ｂと、第３溝部３７ｃとを有している。

第１溝部３７ａは、区画線３５に沿って延びている。第１溝部３７ａによって、第１領域３３と第２領域３４とは分割される。

第２溝部３７ｂは、定盤周方向Ｘに沿って延びている。第２溝部３７ｂは、第１ドレッシング面３１の定盤径方向Ｙの中心位置を通る。また、第２溝部３７ｂは、定盤周方向Ｘの一方の端部３１ａから定盤周方向Ｘの他方の端部３１ｂに至るまで形成され、第１領域３３及び第２領域３４に形成されている。

第３溝部３７ｃは、第１ドレッシング面３１の定盤径方向Ｙの中心位置から、定盤径方向Ｙの側部３１ｃ、３１ｄに向かって、上定盤１１の回転に対して下流方向に倣う向きに延びている。なお、「上定盤１１の回転に対して下流方向に倣う向き」とは、溝部３７に流れ込んだ流体を上定盤回転方向ＣＣＷの下流側に流す向きである。また、第３溝部３７ｃは、第１領域３３のみに形成されている。

第２ドレッシング面３２は、第１ドレッシング面３１の反対側に位置し、図４に示すように、第１ドレッシング面３１と同様の形状を呈しているため、詳細な説明を省略する。

また、第２ドレッシング面３２にも、所定番手の粒度（例えば＃５０～３２５等）に設定された第１領域３３と、第１領域３３よりも高い番手の粒度（例えば＃３２５～３０００等）に設定された第２領域３４と、が設定されている。第２ドレッシング面３２に設定された第１領域３３及び第２領域３４と、第１ドレッシング面３１に設定された第１領域３３及び第２領域３４とは、同一の形状であるため、詳細な説明を省略する。

さらに、第２ドレッシング面３２にも、第１溝部３７ａ、第２溝部３７ｂ、第３溝部３７ｃを有する溝部３７が形成されている。ここで、第１溝部３７ａ及び第２溝部３７ｂの形状は、第１ドレッシング面３１に形成された第１溝部３７ａ及び第２溝部３７ｂと同様であるため、詳細な説明を省略する。

一方、第２ドレッシング面３２に形成された第３溝部３７ｃは、第２ドレッシング面３２の定盤径方向Ｙの中心位置から、定盤径方向Ｙの側部３２ｃ、３２ｄに向かって、下定盤１２の回転に対して下流方向に倣う向きに延びている。なお、「下定盤１２の回転に対して下流方向に倣う向き」とは、溝部３７に流れ込んだ流体を下定盤回転方向ＣＷの下流側に流す向きである。ここで、上定盤回転方向ＣＣＷと下定盤回転方向ＣＷとは逆向きになっている。そのため、図４に示すように、第２ドレッシング面３２に形成された第３溝部３７ｃは、第１ドレッシング面３１に形成された第３溝部３７ｃとは異なる方向に延びている。

以下、実施例１のドレッシング装置１の作用を説明する。

実施例１のドレッシング装置１は、両面研磨機１０の研磨パッド１１ａ、１２ａをドレッシングするとき、図示しない制御部により各部を制御し、まず、駆動機構４によってアーム部材２を回動させる。そして、駆動機構４は、アーム部材２の先端部２ｂに設けられたドレッサー３を上定盤１１と下定盤１２の間に入れる。

次に、両面研磨機１０は、上定盤１１と下定盤１２の間の隙間高さを予め設定した所定の高さに設定する。これにより、ドレッサー３が上下定盤１１、１２によって挟まれ、第１ドレッシング面３１が上定盤１１の研磨パッド１１ａに接触し、第２ドレッシング面３２が下定盤１２の研磨パッド１２ａに接触する。

そして、両面研磨機１０は、第１、第２ドレッシング面３１、３２がそれぞれ研磨パッド１１ａ、１２ａに接触した状態で、回転軸１３を中心にして上定盤１１及び下定盤１２を互いに逆方向に回転させる。このとき、ドレッシング装置１は、駆動機構４を駆動してアーム部材２をさらに回動させる。この結果、ドレッシング装置１は、ドレッサー３を軌道２ｃに沿って上下定盤１１、１２の外周縁１４側から内周縁１５側へと移動させながら、研磨パッド１１ａ、１２ａとドレッサー３とを摺接させ、研磨パッド１１ａ、１２ａをドレッシングする。

ここで、実施例１のドレッシング装置１では、第１ドレッシング面３１が、定盤周方向Ｘの一方の端部３１ａから、定盤周方向Ｘの他方の端部３１ｂに向かって、定盤径方向Ｙの寸法Ｗが次第に長くなる形状を呈している。そして、実施例１のドレッシング装置１は、第１ドレッシング面３１に、所定番手の粒度である第１領域３３と、第１領域３３よりも粒度の番手が高い第２領域３４とが設定されている。また、第１領域３３と第２領域３４とは、定盤周方向Ｘに並ぶと共に、第１領域３３が、定盤周方向Ｘの一方の端部３１ａ側に配置されている。さらに、第１領域３３と第２領域３４とを区画する区画線３５は、定盤径方向Ｙの中間部に、定盤径方向Ｙの両端部（第１隅角部３５ａ、第２隅角部３５ｂ）よりも定盤周方向Ｘの一方の端部３１ａに近い位置に設定される第３隅角部３５ｃを有する。

これにより、第２領域３４よりも粒度の番手が低い（目が粗い）ために、第２領域３４よりもドレッシング力が高くなっている第１領域３３と、研磨パッド１１ａとの定盤周方向Ｘの接触長さを、ドレッサー３が上下定盤１１、１２の外周縁１４に位置しているときと、ドレッサー３が上下定盤１１、１２の内周縁１５に位置しているときとのいずれにおいても、定盤縁部（外周縁１４或いは内周縁１５）側から定盤内部（上下定盤１１、１２の定盤径方向Ｙの中間部）側に向かって次第に低減させることができる（例えば図８参照）。これにより、図９（ａ）に示すように、上定盤１１の外周部（外周縁１４の近傍位置）及び内周部（内周縁１５の近傍位置）における研磨パッド１１ａの削り量と、上定盤１１の径方向の中間部における研磨パッド１１ａの削り量との差を、ドレッサー３をオーバーハングさせることなく小さくすることができる。この結果、実施例１のドレッシング装置１は、研磨パッド１１ａの平坦度を向上させることができる。

また、実施例１のドレッシング装置１では、粒度の番手によるドレッシング力を用いているが、砥粒の密度、材質、配置等によって得られるドレッシング力を用いてもよい。すなわち、ドレッシング装置１は、粒度の番手を調整することで、ドレッシング力の大きさを異ならせているが、砥粒の密度、材質、配置等を調整してドレッシング力の大きさを変更してもよい。

なお、「オーバーハング」とは、上定盤１１の外周縁１４及び内周縁１５に対し、ドレッサー３の一部を定盤外側にはみ出させた状態でドレッシングすることである。ドレッサー３をオーバーハングさせる場合、上下定盤１１、１２の外周部や内周部で研磨パッド１１ａ、１２ａを所望の状態にドレッシングすることが可能となる。しかしながら、この場合、ドレッサー３の位置調整が複雑になったり、インターナルギヤやサンギヤ等の構造物とドレッサー３との干渉が起こったりする等、制御が難しい。そのため、ドレッサー３のオーバーハングは行わない方が好ましい。

また、図９（ａ）に示す研磨パッド１１ａの削り量は、図９（ｂ）に示す測定線ＬＳに沿って測定した値である。さらに、図９（ａ）に示す研磨パッド１１ａの削り量は、ドレッシング時、第１ドレッシング面３１が上定盤１１の外周縁１４に接したときと、第１ドレッシング面３１が内周縁１５に接したときに、ドレッサー３の軌道２ｃに沿った移動を所定時間（例えば１０秒間）停止させた場合の値である。

また、例えば、図１０（ａ）に示す第１比較例のように、平面視で長方形状を呈する第１領域３３Ｘを有するドレッサーの場合、ドレッサーが上下定盤１１、１２の外周縁１４又は内周縁１５に位置するとき、アーム部材２の回動によりドレッシング面が外周縁１４や内周縁１５に対して斜め方向に接触する。このため、例えば、第１比較例のドレッサーが上下定盤１１、１２の外周縁１４に位置するとき、第１領域３３Ｘと研磨パッド１１ａとの定盤周方向Ｘの接触長さは、図１０（ｂ）に示すように、定盤径方向Ｙの一方の側部３１ｃから、定盤径方向Ｙの他方の側部３１ｄに向かって低減し続けることがない。また、図１０（ｂ）において斜線を付して示された第１領域３３Ｘと研磨パッド１１ａとの接触面積は、横軸を定盤径方向Ｙとして図示したときに台形形状を呈する。

このため、図１０（ｃ）に示すように、実施例１と比べると上定盤１１の外周部及び内周部において、研磨パッド１１ａの削り量が少なくなる。一方、上定盤１１の径方向の中間部では、実施例１と比べると、研磨パッド１１ａの削り量が多くなる。そのため、上定盤１１の外周部及び内周部の研磨パッド１１ａの削り量と、上定盤１１の中間部の研磨パッド１１ａの削り量との差が実施例１よりも大きくなり、研磨パッド１１ａの平坦度を向上させることができない。

また、例えば、図１１（ａ）に示す第２比較例のように、平面視で二つの三角形の頂点が繋がっている形状を呈する第１領域３３Ｙを有するドレッサーの場合、例えば、第２比較例のドレッサーが上下定盤１１、１２の外周縁１４に位置するとき、第１領域３３Ｙと研磨パッド１１ａとの定盤周方向Ｘの接触長さは、図１１（ｂ）に示すように、定盤径方向Ｙの一方の側部３１ｃから、定盤径方向Ｙの他方の側部３１ｄに向かって次第に低減することはなく、途中で増加して再び低減する。なお、図１１（ｂ）において斜線を付して示された第１領域３３Ｙと研磨パッド１１ａとの接触面積は、横軸を定盤径方向Ｙとして図示したときに二つの三角形を並べた形となる。

このため、図１１（ｃ）に示すように、研磨パッド１１ａの削り量の増加が、上定盤１１の外周部及び内周部において大きく変動し、いわゆる段差Ｄを生じる。そのため、研磨パッド１１ａの平坦度を向上させることができない。

さらに、実施例１のドレッシング装置１では、第１ドレッシング面３１に第１領域３３よりも粒度の番手が高く（目が細かい）、ドレッシング力が第１領域３３よりも低い第２領域３４が設定されている。ここで、第２領域３４は、第１領域３３に対して定盤周方向Ｘに沿って並んで配置されている。これにより、第１溝部３７ａの縁部に作用する衝撃力を抑制し、第１領域３３の周縁のうち、区画線３５に沿った部分、つまり先鋭部３６を保護することができる。

また、第２領域３４によって先鋭部３６の周囲を保護することで、先鋭部３６における砥粒の剥離を抑制することができる。さらに、第２領域３４によって研磨パッド１１ａを押さえることができ、先鋭部３６が研磨パッド１１ａに引っ掛かりにくくなって、研磨パッド１１ａの損傷を防止することができる。

また、例えば、第２領域３４がドレッシング力を有さない平坦な金属面等で形成された場合、第１領域３３によって粗化された研磨パッド１１ａの目を第２領域３４が潰してしまうおそれがある。そのため、第２領域３４を金属面等のドレッシング力を有さない面とすることは望ましくない。これに対し、実施例１のドレッシング装置１では、第２領域３４に第１領域３３よりも低いドレッシング力を持たせることで、研磨パッド１１ａを積極的に粗化することはないものの、第１領域３３によって粗化された研磨パッド１１ａの目を潰してしまうことを防止できる。

さらに、第２領域３４は、ドレッシング力が第１領域３３よりも低ければよいため、砥粒以外にも、比較的柔らかいブラシや番手の高い砥石、セラミックス等の表面を粗面化加工したもの等、ドレッシング力を有する材質で形成されていてもよい。

また、実施例１のドレッシング装置１では、区画線３５上に設定された第３隅角部３５ｃが、上定盤１１の内周縁１５の接線方向Ｌβに平行な第１直線Ｌ１と、上定盤１１の外周縁１４の接線方向Ｌαに平行な第２直線Ｌ２との交点上に設定されている。さらに、接線方向Ｌαと区画線３５とでなす角θ１と、接線方向Ｌβと区画線３５とでなす角θ２とが、同じ角度に設定され、接線方向Ｌαと第１直線Ｌ１とでなす角θ３と、接線方向Ｌβと第２直線Ｌ２とでなす角θ４とが、同じ角度に設定されている。

これにより、実施例１のドレッシング装置１は、図８に示すように、第１領域３３と研磨パッド１１ａとの定盤周方向Ｘの接触長さを、ドレッサー３が上下定盤１１、１２の外周縁１４に位置しているときと、ドレッサー３が上下定盤１１、１２の内周縁１５に位置しているときとのいずれにおいても、定盤縁部（外周縁１４或いは内周縁１５）側から定盤内部（上下定盤１１、１２の定盤径方向Ｙの中間部）側に向かって次第に低減させることができる。この結果、図９（ａ）に示すように、上定盤１１の外周部及び内周部と中間部とで、研磨パッド１１ａの削り量の変動を抑制し、研磨パッド１１ａの平坦度を高めることができる。

なお、例えば、図１２（ａ）に示す第１変形例の第１領域３３Ａのように、角θ１及びθ２が、角θ３及びθ４より著しく小さい角度に設定された場合では、図１２（ｂ）に示すように、ドレッサー３が上下定盤１１、１２の外周縁１４に位置しているとき、側部３１ｃから側部３１ｄに向かう途中位置（中間位置）で、第１領域３３Ａと研磨パッド１１ａとの定盤周方向Ｘの接触長さの低減率が大きく変化する。また、図示しないが、ドレッサー３が上下定盤１１、１２の内周縁１５に位置しているときには、側部３１ｄから側部３１ｃに向かう途中位置（中間位置）で、第１領域３３Ａと研磨パッド１１ａとの定盤周方向Ｘの接触長さの低減率が大きく変化する。さらに、図１２（ｂ）において斜線を付して示す第１領域３３と研磨パッド１１ａとの接触面積は、横軸を定盤径方向Ｙとして図示した際、三角形を呈することはない。

しかしながら、このような場合であっても図１２（ｃ）に示すように、上定盤１１の外周部及び内周部と、径方向の中間部とで、研磨パッド１１ａの削り量の変動を抑制し、研磨パッド１１ａの平坦度を高めることができる。

ただし、第４隅角部３５ｄと第５隅角部３５ｅを結んだ直線から第３隅角部３５ｃまでの最短距離Ｂは、第１隅角部３５ａと第２隅角部３５ｂを結んだ直線から第３隅角部３５ｃまでの最短距離Ａの１０％以上の長さであることが望ましい。これ以上距離Ｂが短くなると、第１領域３３Ａの面積が狭くなり、ドレッシング装置１のドレッシング機能が低下して実用性に乏しくなる。

また、実施例１のドレッシング装置１では、第１ドレッシング面３１に、ドレッシングの実施時に供給される洗浄水（流体）が流動可能であって、ドレッサー３の側方に開放した溝部３７が形成されている。

これにより、実施例１のドレッシング装置１は、溝部３７を流れる洗浄水によって、ドレッシングによって生じた研磨パッド１１ａの研削屑や、研磨パッド１１ａに付着した付着物や副生成物等を第１ドレッシング面３１と研磨パッド１１ａとの間から排出することができる。

特に、実施例１では、溝部３７が、区画線３５に沿った第１溝部３７ａを有している。これにより、第１領域３３と第２領域３４との間に隙間を開けることができ、研削屑の排出性能を高めることができる。このため、ドレッサー３の目詰まりを抑制することができる。

また、実施例１では、溝部３７が、定盤周方向Ｘに沿った第２溝部３７ｂを有している。これにより、定盤周方向Ｘに沿って流れる洗浄水の排出性能を向上し、研削屑の排出性能を高めることができる。このため、ドレッサー３の目詰まりを抑制することができる。

さらに、実施例１では、溝部３７が、第１ドレッシング面３１の定盤径方向Ｙの中心位置から定盤径方向Ｙの両側部３１ｃ、３１ｄに向かって、上定盤１１の回転に対して下流方向に倣う向きに延びる第３溝部３７ｃを有している。これにより、研削屑の排出性能を高め、ドレッサー３の目詰まりを抑制することができる。

さらに、実施例１のドレッシング装置１では、第１ドレッシング面３１が、定盤周方向Ｘの一方の端部３１ａ及び定盤周方向Ｘの他方の端部３１ｂの双方にＲ加工が施されている。これにより、第１ドレッシング面３１の両端部３１ａ、３１ｂと研磨パッド１１ａと間で抵抗を少なくすることができる。このため、第１ドレッシング面３１が研磨パッド１１ａに引っ掛かることを抑制し、研磨パッド１１ａや砥粒へのダメージを抑えることができる。

なお、実施例１のドレッシング装置１では、第２ドレッシング面３２においても、第１ドレッシング面３１と同様の作用効果を得ることができる。すなわち、実施例１のドレッシング装置１は、ドレッサー３が上下定盤１１、１２の外周縁１４に位置しているとき、第１領域３３と研磨パッド１２ａとの定盤周方向Ｘの接触長さを、第２ドレッシング面３２の定盤径方向Ｙの一方の側部３２ｃから、定盤径方向Ｙの他方の側部３２ｄに向かって、次第に低減させることができる。また、ドレッサー３が上下定盤１１、１２の内周縁１５に位置しているとき、第１領域３３と研磨パッド１２ａとの定盤周方向Ｘの接触長さを、第２ドレッシング面３２の定盤径方向Ｙの他方の側部３２ｄから、定盤径方向Ｙの一方の側部３１ｃに向かうにつれて、次第に低減させることができる。

これにより、下定盤１２の外周部（外周縁１４の近傍位置）及び内周部（内周縁１５の近傍位置）における研磨パッド１２ａの削り量と、下定盤１２の径方向の中間部における研磨パッド１２ａの削り量との差を小さくでき、研磨パッド１２ａの平坦度を向上させることができる。

さらに、実施例１のドレッシング装置１では、第２ドレッシング面３２における第１領域３３の砥粒の剥離を抑制すると共に、第２ドレッシング面３２における先鋭部３６の研磨パッド１２ａへの引っ掛かりを抑え、研磨パッド１２ａの損傷を防止することができる。

以上、本発明のドレッシング装置を実施例１に基づいて説明してきたが、具体的な構成については、この実施例に限られるものではなく、特許請求の範囲の各請求項に係る発明の要旨を逸脱しない限り、設計の変更や追加等は許容される。

実施例１では、溝部３７が、第１溝部３７ａと第２溝部３７ｂと第３溝部３７ｃとを有する例が示された。しかしながら、溝部３７は、第１～第３溝部３７ａ～３７ｃのいずれかを有していればよい。また、溝部３７は、第１ドレッシング面３１及び第２ドレッシング面３２に必ずしも形成されていなくてもよい。また、溝部３７の大きさ（幅及び深さ）は任意に設定することができる。さらに、第２溝部３７ｂ及び第３溝部３７ｃの数や、これらが形成される位置についても、任意に設定することができる。

また、実施例１では、ドレッシング装置１が、第１ドレッシング面３１と第２ドレッシング面３２とを有するドレッサー３を備え、両面研磨機１０の上定盤１１と下定盤１２とを同時にドレッシングすることができる例が示された。しかしながら、ドレッサー３はこれに限らない。ドレッサー３は、例えば、上定盤１１の研磨パッド１１ａに対向する第１ドレッシング面３１のみを有するドレッサー３や、下定盤１２の研磨パッド１２ａに対向する第２ドレッシング面３２のみを有するドレッサー３であってもよい。この場合、第１、第２ドレッシング面３１、３２の形状を上定盤回転方向ＣＣＷや下定盤回転方向ＣＷに応じた最適な形状とすることが可能となる。

実施例１では、第１ドレッシング面３１が、定盤周方向Ｘの一方の端部３１ａから、定盤周方向Ｘの他方の端部３１ｂに向かって、定盤径方向Ｙの寸法Ｗが次第に長くなる形状を呈している例が示された。しかしながら、例えば、定盤径方向Ｙに沿って上下定盤１１、１２の間にドレッサー３を入れる場合では、ドレッサー３が上下定盤１１、１２の外周縁１４に接したときの外周縁１４の接線方向Ｌαと、ドレッサー３が上下定盤１１、１２の内周縁１５に接したときの内周縁１５の接線方向Ｌβとが平行になる。

そのため、第１ドレッシング面は、定盤周方向Ｘの一方の端部３１ａから定盤周方向Ｘの他方の端部３１ｂまでの定盤径方向Ｙの寸法Ｗが、一定であってもよい。

また、実施例１のドレッシング装置１では、区画線３５が、第１隅角部３５ａと第３隅角部３５ｃ（中間点）とをつなぐ直線と、第２隅角部３５ｂと第３隅角部３５ｃ（中間点）とをつなぐ直線によって構成されている。しかしながら、区画線３５の形状はこれに限らず、例えば、第３隅角部３５ｃを頂点とする円弧によって構成されてもよいし、第１隅角部３５ａと第３隅角部３５ｃ（中間点）とをつなぐ階段状に折れ曲がった折れ線と、第２隅角部３５ｂと第３隅角部３５ｃ（中間点）とをつなぐ階段状に折れ曲がった折れ線とで構成されてもよい。

また、実施例１のドレッシング装置１では、第１ドレッシング面３１の定盤周方向Ｘの一方の端部３１ａ及び定盤周方向Ｘの他方の端部３１ｂの双方に、大きなＲ加工が施された例が示された。しかしながら、第１ドレッシング面３１の形状はこれに限らない。第１ドレッシング面３１は、定盤周方向Ｘの一方の端部３１ａ又は定盤周方向Ｘの他方の端部３１ｂのいずれか一方にＲ加工が施されてもよいし、端部３１ａ、３１ｂのいずれにもＲ加工が施されなくてもよい。

さらに、実施例１のドレッシング装置１では、研磨パッド１１ａ、１２ａの平坦度を向上させる例が示された。しかしながら、第３隅角部３５ｃ（中間点）の位置を制御することにより、側部３１ｃから側部３１ｄに向かって第１領域３３と研磨パッド１１ａ、１２ａとの定盤周方向Ｘの接触長さが低減する際の低減の仕方や、側部３１ｄから側部３１ｃに向かって第１領域３３と研磨パッド１１ａ、１２ａとの定盤周方向Ｘの接触長さが低減する際の低減の仕方を制御することが可能である。つまり、研磨パッド１１ａ、１２ａの外周部及び内周部を、意図的にタチ（外周部及び内周部の削り量が少ない状態）やダレ（外周部及び内周部の削り量が多い状態）等の形状に制御することも可能となる。

また、実施例１のドレッシング装置１は、実際にドレッシングを行った後の研磨パッド１１ａ、１２ａの外周部及び内周部の形状から、第１領域３３と研磨パッド１１ａ、１２ａとの接触面積の形状（Ｘ軸とＹ軸及び第１領域３３と研磨パッド１１ａとの定盤周方向Ｘの接触長さを示す線とで囲まれた領域の形状）を適切に設定し、設定した接触面積の形状に基づいて第１領域３３の形状（第３隅角部３５ｃの位置）を設計することも可能である。これにより、研磨パッド１１ａ、１２ａの形状を細かく制御することができる。

さらに、実施例１のドレッシング装置１では、ドレッサー３が洗浄水噴射機構３ｂを有する例が示されたが、必ずしも洗浄水はドレッサー３から噴出可能でなくてもよい。すなわち、ドレッサー３が洗浄水噴射機構３ｂを有していなくてもよい。

また、ドレッシング装置１を具備した両面研磨機１０は、ドレッシング時に上定盤１１を固定させる機構を持つことがある。その場合、上定盤１１を所定の高さまで上昇させた位置に、上定盤１１を吊下げた状態で固定する機構（以下、「上定盤吊部固定機構」という）によって、上定盤１１が固定された状態で、ドレッシングを行ってもよい。

上定盤吊部固定機構は、上定盤１１及び上定盤１１に設けられた上定盤吊部を吊下げた状態で支持する装置フレームに設けられる。上定盤吊部固定機構は、上定盤１１の上下方向の位置（高さ）や振れを制止することができる。なお、上定盤吊部固定機構は、例えば、係止・解除する駆動が可能なＵ字状や円柱状、爪状などの装置フレームに設けられた係止部材が、上定盤吊部に設けられた被係止部材に係止されて装置フレームと上定盤吊部とを固定する機構や、逆に、係止・解除する駆動が可能な係止部材を上定盤吊部に設け、被係止部材を装置フレームに設けた機構など、任意の構造及び形状とすることができる。係止部材を係止・解除する際の駆動方向は、水平方向のほか、被係止部に対して係止が可能であれば、その他の方向でもよい。なお、上定盤吊部固定機構は、本発明のオートドレッシング技術に限らず、他の形態の定盤ドレッサー及びパッドドレッサーによるドレッシング、並びにあらゆる定盤のメンテナンス作業にも適用することができる。

１ ドレッシング装置
２ アーム部材
３ ドレッサー
３ａ ドレッシング部材
３１ 第１ドレッシング面
３１ａ 定盤周方向の一方の端部
３１ｂ 定盤周方向の他方の端部
３１ｃ 定盤径方向の一方の側部（定盤径方向の外周側の側部）
３１ｄ 定盤径方向の他方の側部（定盤径方向の内周側の側部）
３２ 第２ドレッシング面
３３ 第１領域
３４ 第２領域
３５ 区画線
３５ａ 第１隅角部
３５ｂ 第２隅角部
３５ｃ 第３隅角部（中間点）
３５ｄ 第４隅角部
３５ｅ 第５隅角部
３６ 先鋭部
３７ 溝部
３７ａ 第１溝部
３７ｂ 第２溝部
３７ｃ 第３溝部
１０ 両面研磨機
１１ 上定盤
１１ａ 研磨パッド
１２ 下定盤
１２ａ 研磨パッド
１３ 回転軸
１４ 外周縁
１５ 内周縁
Ｘ 定盤周方向
Ｙ 定盤径方向
Ｌα 外周縁の接線方向
Ｌβ 内周縁の接線方向

Claims (6)

1. ワークを研磨する定盤に取り付けられた研磨パッドをドレッシングするドレッサーを備えたドレッシング装置において、
   前記ドレッサーは、前記研磨パッドに対向するドレッシング面を有し、
   前記ドレッシング面には、所定のドレッシング力である第１領域と、前記第１領域よりも前記ドレッシング力が低い第２領域と、が設定され、
   前記第１領域と前記第２領域とは、定盤周方向に並ぶと共に、前記第１領域が、前記ドレッシング面の前記定盤周方向の一方の端部側に配置され、
   前記第１領域と前記第２領域とを区画する区画線は、定盤径方向の中間部に、両端部よりも前記定盤周方向の一方の端部に近い位置に設定される中間点を有し、
   前記ドレッシング面は、前記定盤周方向の一方の端部から、前記定盤周方向の他方の端部に向かって、前記定盤径方向の寸法が次第に長くなる形状を呈し、前記ドレッサーが前記定盤の外周縁に位置するとき、前記定盤径方向の外周側の側部が前記定盤の外周縁の接線方向に沿い、前記ドレッサーが前記定盤の内周縁に位置するとき、前記定盤径方向の内周側の側部が前記定盤の内周縁の接線方向に沿い、
   前記中間点は、前記定盤の内周縁の接線方向に平行であって、前記ドレッシング面の前記定盤径方向の外周側の側部と、前記定盤周方向の一方の端部との交点を通る第１直線と、前記定盤の外周縁の接線方向に平行であって、前記ドレッシング面の前記定盤径方向の内周側の側部と、前記定盤周方向の一方の端部との交点を通る第２直線との交点上に設定され、
   前記定盤の外周縁の接線方向と前記区画線とでなす角と、前記定盤の内周縁の接線方向と前記区画線とでなす角とは、同一の角度に設定され、前記定盤の外周縁の接線方向と前記第１直線とでなす角と、前記定盤の内周縁の接線方向と前記第２直線とでなす角とは、同一の角度に設定され、
   前記研磨パッドと前記第１領域との前記定盤周方向の接触長さは、前記ドレッサーが前記定盤の外周縁に位置するとき、前記ドレッシング面の前記定盤径方向の外周側の側部から、前記ドレッシング面の前記定盤径方向の内周側の側部に向かうにつれて、次第に低減し、前記ドレッサーが前記定盤の内周縁に位置するとき、前記ドレッシング面の前記定盤径方向の内周側の側部から、前記ドレッシング面の前記定盤径方向の外周側の側部に向かうにつれて、次第に低減する
   ことを特徴とするドレッシング装置。
2. 請求項１に記載されたドレッシング装置において、
   前記ドレッシング面には、前記ドレッシングの実施時に供給される流体が流動可能であって、前記ドレッサーの側方に開放した溝部が形成されている
   ことを特徴とするドレッシング装置。
3. 請求項２に記載されたドレッシング装置において、
   前記溝部は、前記区画線に沿った第１溝部を有する
   ことを特徴とするドレッシング装置。
4. 請求項２又は３に記載されたドレッシング装置において、
   前記溝部は、前記定盤周方向に沿った第２溝部を有する
   ことを特徴とするドレッシング装置。
5. 請求項２から請求項４のいずれか一項に記載されたドレッシング装置において、
   前記溝部は、前記ドレッシング面の前記定盤径方向の中心位置から前記定盤径方向の側
   部に向かって、前記定盤の回転に対して下流方向に倣う向きに延びる第３溝部を有する
   ことを特徴とするドレッシング装置。
6. 請求項１から請求項５のいずれか一項に記載されたドレッシング装置において、
   前記ドレッシング面は、前記定盤周方向の一方の端部又は前記定盤周方向の他方の端部
   の少なくとも一方にＲ加工が施されている
   ことを特徴とするドレッシング装置。