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JP7736038B2 - Method for manufacturing a resin sheet with a protective film - Google Patents
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JP7736038B2 - Method for manufacturing a resin sheet with a protective film - Google Patents

Method for manufacturing a resin sheet with a protective film

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JP7736038B2 JP2023098449A JP2023098449A JP7736038B2 JP 7736038 B2 JP7736038 B2 JP 7736038B2 JP 2023098449 A JP2023098449 A JP 2023098449A JP 2023098449 A JP2023098449 A JP 2023098449A JP 7736038 B2 JP7736038 B2 JP 7736038B2
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Description

本発明は、保護フィルム付き樹脂シートの製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a resin sheet with a protective film.

プリント配線板、半導体パッケージ基板等の回路基板は、各種電子機器に広く使用されている。回路基板の製造方法としては、内層基板に絶縁層と導体層とを交互に積み重ねるビルドアップ方式による製造方法が知られている。絶縁層は、例えば、支持体上に樹脂組成物層が形成された樹脂シートを使用して製造される。具体的には、樹脂シートを内層基板上にラミネートして樹脂組成物層を形成し、樹脂組成物層を硬化させることにより、絶縁層が形成される(特許文献1)。このような樹脂シートには、保存及び運搬中に樹脂組成物層を保護する観点から、当該樹脂組成物を覆う保護フィルムが設けられることがある。 Circuit boards such as printed wiring boards and semiconductor package substrates are widely used in various electronic devices. A known method for manufacturing circuit boards is the build-up method, in which insulating layers and conductor layers are alternately stacked on an inner layer substrate. The insulating layer is manufactured, for example, using a resin sheet in which a resin composition layer is formed on a support. Specifically, the resin sheet is laminated onto the inner layer substrate to form a resin composition layer, and the resin composition layer is then cured to form the insulating layer (Patent Document 1). Such resin sheets may be provided with a protective film that covers the resin composition to protect the resin composition layer during storage and transportation.

特開2020-23714号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2020-23714

樹脂シートの樹脂組成物層には、異物が混入することがありうる。かかる異物は回路を形成する配線の歩留まり低下の原因となりうる。そこで、従来の樹脂シートの製造方法においては、前記の異物を排除することが行われてきた。例えば、樹脂組成物層を形成するための樹脂ワニスをフィルタを用いて濾過することで、異物を取り除くことが行われていた。 Foreign matter can become mixed into the resin composition layer of a resin sheet. Such foreign matter can reduce the yield of the wiring that forms the circuit. Therefore, in conventional resin sheet manufacturing methods, efforts have been made to remove such foreign matter. For example, foreign matter has been removed by filtering the resin varnish used to form the resin composition layer.

近年、電子機器及び電子部品の小型化のニーズにより、配線の微細化及び高密度化が求められている。配線の微細化及び高密度化が進行すると、従来よりも小さい異物が配線形成の妨げとなりうる。例えば、数十μmレベルの小さい異物が配線形成の妨げとなりうる。ところが、従来の技術では、このように小さい異物を原因とした歩留まりの低下を回避することが難しかった。 In recent years, the need for miniaturization of electronic devices and electronic components has led to demands for finer and denser wiring. As wiring becomes finer and denser, smaller foreign particles than before can interfere with wiring formation. For example, small foreign particles on the order of several tens of microns can interfere with wiring formation. However, with conventional technology, it has been difficult to avoid yield reductions caused by such small foreign particles.

本発明は、前記の課題に鑑みて創案されたもので、異物を排除して配線形成の歩留まりを向上させることが可能な保護フィルム付き樹脂シートの製造方法を提供することを目的とする。 The present invention was devised in light of the above-mentioned problems, and aims to provide a method for manufacturing a resin sheet with a protective film that can eliminate foreign matter and improve the yield of wiring formation.

本発明者は、前記の課題を解決するべく鋭意検討した。その結果、本発明者は、離型層を備える支持体と、硬化性樹脂組成物を含む樹脂組成物層と、保護フィルムと、をこの順に備える、保護フィルム付き樹脂シートの製造方法が、支持体の離型層側の面に特定範囲の粘着力を有する第一除塵ローラーを接触させる工程と、支持体の離型層側の面に樹脂組成物層を形成する工程と、保護フィルムの第一面に特定範囲の粘着力を有する第二除塵ローラーを接触させる工程と、樹脂組成物層と保護フィルムの第一面とを貼り合わせる工程と、を含む場合に、前記の課題を解決できることを見出し、本発明を完成させた。
すなわち、本発明は、下記のものを含む。
The present inventors have conducted extensive research to solve the above-mentioned problems. As a result, the present inventors have found that the above-mentioned problems can be solved when a method for producing a resin sheet with a protective film, which includes, in this order, a support having a release layer, a resin composition layer containing a curable resin composition, and a protective film, includes the steps of contacting a first dust removal roller having an adhesive strength within a specific range with the release layer side of the support, forming a resin composition layer on the release layer side of the support, contacting a second dust removal roller having an adhesive strength within a specific range with the first surface of the protective film, and laminating the resin composition layer and the first surface of the protective film, thereby completing the present invention.
That is, the present invention includes the following.

[1] 離型層を備える支持体と、硬化性樹脂組成物を含む樹脂組成物層と、保護フィルムと、をこの順に備える、保護フィルム付き樹脂シートの製造方法であって;
前記製造方法が、
支持体の離型層側の面に、第一除塵ローラーを接触させる工程と、
支持体の離型層側の面に、樹脂組成物層を形成する工程と、
保護フィルムの第一面に、第二除塵ローラーを接触させる工程と、
樹脂組成物層と保護フィルムの第一面とを貼り合わせる工程と、を含み;
第一除塵ローラーが、2.9N/100mm未満の粘着力を有し、
第二除塵ローラーが、2.9N/100mm未満の粘着力を有する、保護フィルム付き樹脂シートの製造方法。
[2] 支持体の離型層側の面に樹脂組成物層を形成する工程が、液状の硬化性樹脂組成物を塗布することを含む、[1]に記載の保護フィルム付き樹脂シートの製造方法。
[3] 前記製造方法が、支持体の離型層とは反対側の面に、第三除塵ローラーを接触させる工程を含む、[1]又は[2]に記載の保護フィルム付き樹脂シートの製造方法。
[4] 前記製造方法が、保護フィルムの第一面とは反対側の第二面に、第四除塵ローラーを接触させる工程を含む、[1]~[3]のいずれか一項に記載の保護フィルム付き樹脂シートの製造方法。
[5] 硬化性樹脂組成物が、硬化性樹脂及び無機充填材を含む、[1]~[4]のいずれか一項に記載の保護フィルム付き樹脂シートの製造方法。
[1] A method for producing a resin sheet with a protective film, comprising, in this order: a support having a release layer, a resin composition layer containing a curable resin composition, and a protective film;
The manufacturing method comprises:
bringing a first dust removal roller into contact with the release layer side of the support;
forming a resin composition layer on a surface of the support on which the release layer is formed;
contacting a second dust removal roller with the first surface of the protective film;
laminating the resin composition layer and the first surface of the protective film;
The first dust removal roller has an adhesive strength of less than 2.9 N/100 mm2 ;
A method for producing a resin sheet with a protective film, wherein the second dust removal roller has an adhesive strength of less than 2.9 N/100 mm2 .
[2] The method for producing a resin sheet with a protective film according to [1], wherein the step of forming a resin composition layer on the release layer side of the support comprises applying a liquid curable resin composition.
[3] The method for producing a resin sheet with a protective film according to [1] or [2], wherein the production method includes a step of contacting a third dust removal roller with the surface of the support opposite to the release layer.
[4] The method for producing a resin sheet with a protective film according to any one of [1] to [3], wherein the production method includes a step of contacting a fourth dust removal roller with a second surface of the protective film opposite the first surface.
[5] The method for producing a resin sheet with a protective film according to any one of [1] to [4], wherein the curable resin composition contains a curable resin and an inorganic filler.

本発明によれば、異物を排除して配線形成の歩留まりを向上させることが可能な保護フィルム付き樹脂シートの製造方法を提供することができる。 The present invention provides a method for manufacturing a resin sheet with a protective film that can eliminate foreign matter and improve the yield of wiring formation.

図1は、本発明の第一の例に係る積層樹脂シートの製造装置を模式的に示す正面図である。FIG. 1 is a front view schematically showing a laminated resin sheet manufacturing apparatus according to a first embodiment of the present invention. 図2は、本発明の第二の例に係る積層樹脂シートの製造装置を模式的に示す正面図である。FIG. 2 is a front view schematically showing a laminated resin sheet manufacturing apparatus according to a second embodiment of the present invention.

以下、本発明について実施形態及び例示物を示して説明する。ただし、本発明は、下記に示す実施形態及び例示物に限定されるものではなく、特許請求の範囲及びその均等の範囲を逸脱しない範囲において任意に変更して実施されうる。 The present invention will be described below with reference to embodiments and examples. However, the present invention is not limited to the embodiments and examples shown below, and can be modified and implemented as desired without departing from the scope of the claims and their equivalents.

<保護フィルム付き樹脂シートの製造方法の概要>
本発明の一実施形態に係る製造方法では、離型層を備える支持体と、硬化性樹脂組成物を含む樹脂組成物層と、保護フィルムと、をこの順に備える、保護フィルム付き樹脂シートを製造する。以下の説明では、「保護フィルム付き樹脂シート」を「積層樹脂シート」と呼ぶことがある。
<Outline of the method for manufacturing a resin sheet with a protective film>
In a manufacturing method according to one embodiment of the present invention, a resin sheet with a protective film is manufactured, which comprises, in this order, a support having a release layer, a resin composition layer containing a curable resin composition, and a protective film. In the following description, the "resin sheet with a protective film" may be referred to as a "laminated resin sheet."

本実施形態に係る積層樹脂シートの製造方法は、
支持体の離型層側の面に、特定範囲の粘着力を有する第一除塵ローラーを接触させる工程(I)と、
支持体の離型層側の面に、樹脂組成物層を形成する工程(II)と、
保護フィルムの第一面に、特定範囲の粘着力を有する第二除塵ローラーを接触させる工程(III)と、
樹脂組成物層と保護フィルムの第一面とを貼り合わせる工程(IV)と、
を含む。
The method for producing a laminated resin sheet according to this embodiment includes the steps of:
a step (I) of contacting a first dust removal roller having an adhesive strength within a specific range with the release layer side of the support;
Step (II) of forming a resin composition layer on the release layer side of the support;
(III) contacting a second dust removal roller having an adhesive strength within a specific range with the first surface of the protective film;
(IV) a step of bonding the resin composition layer to the first surface of the protective film;
Includes:

また、本実施形態に係る積層樹脂シートの製造方法は、更に
支持体の離型層とは反対側の面に、第三除塵ローラーを接触させる工程(V)
を含むことが好ましく、
保護フィルムの第一面とは反対側の第二面に、第四除塵ローラーを接触させる工程(VI)
を含むことが好ましい。
The method for producing a laminated resin sheet according to the present embodiment further includes a step (V) of bringing a third dust removal roller into contact with the surface of the support opposite to the release layer.
Preferably, the composition comprises
a step (VI) of contacting a fourth dust removal roller with a second surface of the protective film opposite to the first surface;
It is preferred that the compound contains:

本実施形態に係る製造方法によれば、異物を効果的に排除して、配線形成の歩留まりを向上させることが可能な積層樹脂シート(保護フィルム付き樹脂シート)を簡単に製造することができる。 The manufacturing method according to this embodiment makes it possible to easily manufacture a laminated resin sheet (a resin sheet with a protective film) that effectively removes foreign matter and improves the yield of wiring formation.

<工程(I).支持体の離型層側の面の除塵>
本実施形態に係る製造方法は、離型層を備える支持体を用いて、積層樹脂シートを製造する。支持体は、離型層側の面としての離型面と、当該離型面とは反対側の面としての裏面と、を有する。一般に、支持体は離型層を最外層として備えるので、離型層は、支持体の離型面に露出している。このような支持体としては、例えば、基材層と、この基材層上に形成された離型層とを備えるシートを用いうる。
<Step (I): Removal of dust from the release layer side of the support>
The manufacturing method according to this embodiment produces a laminated resin sheet using a support having a release layer. The support has a release surface on the release layer side and a back surface on the opposite side of the release surface. Generally, the support has the release layer as the outermost layer, so that the release layer is exposed on the release surface of the support. For example, a sheet having a base layer and a release layer formed on the base layer can be used as such a support.

本実施形態に係る積層樹脂シートの製造方法は、支持体の離型面(即ち、離型層側の面)に、第一除塵ローラーを接触させる工程(I)を含む。第一除塵ローラーは特定範囲の粘着力を有する。よって、第一除塵ローラーと支持体の離型面とを接触させることにより、離型面に付着した異物を第一除塵ローラーに移動させることができるので、離型面から異物を除去することができる。したがって、積層樹脂シートの製造過程において樹脂組成物層に異物が混入することを抑制できる。ここで樹脂組成物層に異物が「混入」するとは、樹脂組成物層の内部に異物が浸入すること、及び、樹脂組成物層の表面に異物が付着することの両方を包含する。 The method for manufacturing a laminate resin sheet according to this embodiment includes step (I) of contacting a first dust removal roller with the release surface of the support (i.e., the surface on the release layer side). The first dust removal roller has an adhesive strength within a specific range. Therefore, by contacting the first dust removal roller with the release surface of the support, foreign matter adhering to the release surface can be transferred to the first dust removal roller, thereby removing the foreign matter from the release surface. This prevents foreign matter from being mixed into the resin composition layer during the manufacturing process of the laminate resin sheet. Here, "mixing" foreign matter into the resin composition layer includes both the penetration of foreign matter into the resin composition layer and the adhesion of foreign matter to the surface of the resin composition layer.

通常、第一除塵ローラーは粘着面として周面を有し、その周面が特定範囲の粘着力を有する。第一除塵ローラーの粘着力の範囲は、通常2.9N/100mm未満、好ましくは2.7N/100mm以下である。粘着力が前記上限値未満である場合、第一除塵ローラーとの接触によって支持体にしわが発生することを抑制したり、第一除塵ローラーとの接触によって離型層の一部又は全部が支持体から剥離されることを抑制したりできる。下限値は特に限定されないが、支持体の離型面から異物をより効果的に除去し、配線形成の歩留まりを顕著に向上させる観点から、好ましくは0.6N/100mm以上、より好ましくは1.0N/100mm以上である。 Typically, the first dust removal roller has a peripheral surface as an adhesive surface, and this peripheral surface has an adhesive strength within a specific range. The adhesive strength of the first dust removal roller is typically less than 2.9 N/100 mm² , preferably 2.7 N/100 mm² or less. When the adhesive strength is less than the upper limit, it is possible to prevent wrinkles from forming on the support due to contact with the first dust removal roller, and to prevent a part or all of the release layer from peeling off from the support due to contact with the first dust removal roller. The lower limit is not particularly limited, but is preferably 0.6 N/100 mm² or more, more preferably 1.0 N/100 mm² or more , from the viewpoint of more effectively removing foreign matter from the release surface of the support and significantly improving the yield of wiring formation.

前記の粘着力は、粘着力テスター(例えば、一進産業社製「A3―10N」。粘着面に接触する測定部の面は、ステンレス鋼等の金属で形成された平坦面)の測定部を粘着面に押し当て、その測定部を粘着面に対する垂直方向に引き戻して剥がしたときの最大荷重として測定できる。具体的な測定条件は、後述する実施例の<除塵ローラーの粘着力測定方法>に記載の条件を採用しうる。 The adhesive strength can be measured as the maximum load when the measuring part of an adhesive strength tester (for example, the "A3-10N" manufactured by Isshin Sangyo Co., Ltd.; the surface of the measuring part that comes into contact with the adhesive surface is a flat surface made of metal such as stainless steel) is pressed against the adhesive surface and the measuring part is pulled back perpendicular to the adhesive surface to peel it off. Specific measurement conditions can be those described in the "Method for measuring the adhesive strength of a dust removal roller" in the Examples section below.

第一除塵ローラーとしては、例えば、異物に対し粘着性を呈する高分子化合物(シリコン系ゴム、ノンシリコン系ゴムなど)からなる粘着面を有するローラーを用いてよい。第一除塵ローラーのローラー面長は、支持体の幅に応じて設定しうる。また、第一除塵ローラーの径は、支持体の離型面に付着した異物を除去しうる限り特に限定されない。また、第一除塵ローラーは、1個を単独で用いてもよく、2個以上を組み合わせて用いてもよい。 The first dust removal roller may be, for example, a roller with an adhesive surface made of a polymer compound (such as silicone rubber or non-silicone rubber) that exhibits adhesiveness to foreign matter. The roller surface length of the first dust removal roller can be set according to the width of the support. The diameter of the first dust removal roller is not particularly limited as long as it can remove foreign matter adhering to the release surface of the support. The first dust removal roller may be used alone or in combination of two or more.

第一除塵ローラーは、市販品を用いてもよい。第一除塵ローラーとしては、例えば、YanGo社製の高分子ゴム除塵ローラー(RUSシリーズ、HSSシリーズ、LPSシリーズ、SRRシリーズなど)、TEKNEK社製の除塵ローラー、C.M.システムズ社製の除塵ローラー(CTR-Sシリーズ)などが挙げられる。 The first dust removal roller may be a commercially available product. Examples of the first dust removal roller include polymer rubber dust removal rollers manufactured by YanGo (RUS series, HSS series, LPS series, SRR series, etc.), dust removal rollers manufactured by TEKNEK Corporation, and dust removal rollers manufactured by C.M. Systems (CTR-S series).

第一除塵ローラーと支持体とは、適切な範囲の接触圧で接することが好ましい。一例においては、第一除塵ローラーと支持体との接触圧の範囲は、好ましくは0.01MPa~0.1MPa、より好ましくは0.02MPa~0.08MPaである。 The first dust removal roller and the support preferably come into contact with each other at an appropriate contact pressure. In one example, the contact pressure between the first dust removal roller and the support is preferably in the range of 0.01 MPa to 0.1 MPa, and more preferably 0.02 MPa to 0.08 MPa.

第一除塵ローラーと支持体の離型面との接触方法に制限はなく、例えば、固定した支持体の離型面上で第一除塵ローラーを転がすことで、接触を行ってもよい。効率的な異物の除去を行う観点では、第一除塵ローラーの粘着面に接触するように支持体を搬送することで、第一除塵ローラーと支持体の離型面との接触を行うことが好ましい。通常、第一除塵ローラーはその周面に粘着面を有するので、第一除塵ローラーの周面に離型面が接触するように支持体を搬送することが好ましい。第一除塵ローラーは、支持体の離型面との接触時に回転しうる。このとき、第一除塵ローラーは、支持体の搬送に従動して回転してもよく、モータ等の駆動装置から与えられる駆動力によって回転駆動されていてもよい。支持体の搬送方向と第一除塵ローラーの回転方向とは、一般的には、同じである。 There are no limitations on the method of contact between the first dust removal roller and the release surface of the support. For example, contact may be achieved by rolling the first dust removal roller over the release surface of the fixed support. From the perspective of efficient foreign matter removal, it is preferable to contact the first dust removal roller and the release surface of the support by transporting the support so that it contacts the adhesive surface of the first dust removal roller. Since the first dust removal roller typically has an adhesive surface on its circumferential surface, it is preferable to transport the support so that the release surface contacts the circumferential surface of the first dust removal roller. The first dust removal roller may rotate when it comes into contact with the release surface of the support. In this case, the first dust removal roller may rotate in response to the transport of the support, or may be rotated by a driving force applied from a driving device such as a motor. The transport direction of the support and the rotation direction of the first dust removal roller are generally the same.

工程(I)は、必要に応じて、第一除塵ローラーに付着した異物を除去することを含んでいてもよい。第一除塵ローラーに付着した異物を除去することにより、第一除塵ローラーに異物が堆積して第一除塵ローラーの粘着力が低下することを抑制でき、支持体の離型面に付着した異物を長時間安定して効果的に除去することができる。 Step (I) may optionally include removing foreign matter adhering to the first dust removal roller. By removing foreign matter adhering to the first dust removal roller, it is possible to prevent foreign matter from accumulating on the first dust removal roller and reducing the adhesive strength of the first dust removal roller, and it is possible to stably and effectively remove foreign matter adhering to the release surface of the support for an extended period of time.

第一除塵ローラーからの異物の除去方法に制限はない。例えば、第一除塵ローラーから異物を除去するための第一吸着ローラーを第一除塵ローラーに接触させ、第一除塵ローラーに付着した異物を第一吸着ローラーに移すことにより、第一除塵ローラーからの異物の除去を行ってもよい。具体例を挙げると、周面に粘着面を有する第一吸着ローラーを用意し、その第一吸着ローラーの粘着面を第一除塵ローラーの周面に接触させて、第一除塵ローラーからの異物の除去を行ってもよい。第一吸着ローラーは、第一除塵ローラーとの接触時に回転しうる。このとき、第一吸着ローラーは、第一除塵ローラーの回転に従動して回転してもよく、モータ等の駆動装置から与えられる駆動力によって回転駆動されていてもよい。 There are no limitations on the method for removing foreign matter from the first dust removal roller. For example, foreign matter may be removed from the first dust removal roller by contacting a first suction roller for removing foreign matter from the first dust removal roller with the first dust removal roller and transferring the foreign matter adhering to the first suction roller. Specifically, a first suction roller having an adhesive surface on its circumferential surface may be prepared, and the adhesive surface of the first suction roller may be brought into contact with the circumferential surface of the first dust removal roller to remove foreign matter from the first dust removal roller. The first suction roller may rotate when in contact with the first dust removal roller. In this case, the first suction roller may rotate in response to the rotation of the first dust removal roller, or may be driven to rotate by a driving force provided by a driving device such as a motor.

第一吸着ローラーとしては、例えば、周面に塵等の異物を吸着させうる粘着層を備えるローラーを用いうる。第一除塵ローラーからの異物の除去を効果的に行う観点から、第一吸着ローラーの粘着力は、第一除塵ローラーの粘着力よりも大きいことが好ましい。この第一吸着ローラーは、市販品を用いてもよく、例えば、YanGo社製の塵埃転写用粘着テープロール「GaplessTMULT」、「GaplessTMSRR」;TEKNEK社製の粘着ローラーが挙げられる。第一吸着ローラーは、1個を単独で用いてもよく、2個以上を組み合わせて用いてもよい。 The first suction roller may be, for example, a roller provided with an adhesive layer on its peripheral surface that can attract dust and other foreign matter. To effectively remove foreign matter from the first dust removal roller, it is preferable that the adhesive strength of the first suction roller be greater than that of the first dust removal roller. This first suction roller may be a commercially available product, such as the dust transfer adhesive tape rolls "Gapless TMULT" and "Gapless TMSRR" manufactured by YanGo Co., Ltd.; or an adhesive roller manufactured by TEKNEK Co., Ltd. One first suction roller may be used alone, or two or more may be used in combination.

第一除塵ローラーによる支持体の離型面からの異物の除去と、第一吸着ローラーによる第一除塵ローラーからの異物の除去とは、同時に行ってもよく、非同時に行ってもよい。 The removal of foreign matter from the release surface of the support by the first dust removal roller and the removal of foreign matter from the first dust removal roller by the first suction roller may be performed simultaneously or asynchronously.

<工程(II).樹脂組成物層の形成>
本実施形態に係る積層樹脂シートの製造方法は、支持体の離型面(即ち、離型層側の面)に、樹脂組成物層を形成する工程(II)を含む。この工程(II)では、第一除塵ローラーと接触することにより異物を除去された支持体の離型面に、樹脂組成物層を形成する。よって、工程(II)は、工程(I)の後に行われる。この工程(II)により、支持体と、この支持体の離型面に形成された樹脂組成物層とを備える樹脂シートが得られる。
<Step (II): Formation of Resin Composition Layer>
The method for producing a laminated resin sheet according to this embodiment includes step (II) of forming a resin composition layer on the release surface of a support (i.e., the surface on the release layer side). In step (II), a resin composition layer is formed on the release surface of the support from which foreign matter has been removed by contact with a first dust removal roller. Thus, step (II) is performed after step (I). Step (II) provides a resin sheet comprising a support and a resin composition layer formed on the release surface of the support.

樹脂組成物層の形成方法に制限はない。例えば、予め用意した樹脂組成物層を支持体の離型面に積層することで、離型面上に樹脂組成物層を形成してもよい。異物の付着の機会を少なくして配線形成の歩留まりを顕著に高める観点では、液状の硬化性樹脂組成物を支持体の離型面に塗布することを含む方法によって、樹脂組成物層を形成することが好ましい。 There are no limitations on the method for forming the resin composition layer. For example, a resin composition layer may be formed on the release surface of the support by laminating a previously prepared resin composition layer on the release surface. From the perspective of significantly increasing the yield of wiring formation by reducing the chance of foreign matter adhering, it is preferable to form the resin composition layer by a method that includes applying a liquid curable resin composition to the release surface of the support.

例えば、硬化性樹脂組成物が塗布環境において液状である場合、その硬化性樹脂組成物を支持体の離型面に塗布してもよい。また、例えば、硬化性樹脂組成物の不揮発成分及び溶剤を混合して液状の硬化性樹脂組成物を得て、得られた液状の硬化性樹脂組成物を支持体の離型面に塗布してもよい。以下、溶剤を含む液状の硬化性樹脂組成物を「樹脂ワニス」と呼ぶことがある。硬化性樹脂組成物の塗布により、樹脂組成物層を形成できる。 For example, if the curable resin composition is liquid in the application environment, the curable resin composition may be applied to the release surface of the support. Alternatively, for example, the non-volatile components of the curable resin composition and a solvent may be mixed to obtain a liquid curable resin composition, and the resulting liquid curable resin composition may be applied to the release surface of the support. Hereinafter, a liquid curable resin composition containing a solvent may be referred to as a "resin varnish." A resin composition layer can be formed by applying the curable resin composition.

液状の硬化性樹脂組成物の塗布方法に制限はなく、例えば、ダイコーター等の塗布装置を用いて行いうる。 There are no limitations on the method for applying the liquid curable resin composition; for example, it can be applied using an application device such as a die coater.

工程(I)で異物を除去されてから、工程(II)で樹脂組成物層を設けられるまでの間、支持体の離型面は他の部材に接触しない非接触状態であることが好ましい。よって、支持体を所定の搬送路を通るように搬送しながら積層樹脂シートの製造を行う場合、当該搬送路の第一除塵ローラーと塗布装置との間の区間には、支持体の離型面に接触する部材(例えば、搬送ローラー等)を設けないことが好ましい。 From the time foreign matter is removed in step (I) until the time the resin composition layer is provided in step (II), it is preferable that the release surface of the support be in a non-contact state, i.e., not in contact with other members. Therefore, when a laminated resin sheet is produced while transporting the support through a predetermined transport path, it is preferable that no members (e.g., transport rollers) that come into contact with the release surface of the support be provided in the section of the transport path between the first dust removal roller and the coating device.

工程(II)は、必要に応じて、液状の硬化性樹脂組成物の塗布後に乾燥を行うことを含んでいてもよい。通常、溶剤を含む樹脂ワニスを塗布した場合、工程(II)は、塗布後に乾燥を行うことを含む。乾燥により、樹脂組成物層に含まれる溶剤を除去できる。 Step (II) may, if necessary, include drying the liquid curable resin composition after application. Typically, when a resin varnish containing a solvent is applied, step (II) includes drying the applied resin. Drying allows the solvent contained in the resin composition layer to be removed.

乾燥は、例えば、加熱、熱風吹きつけ等の方法により実施してよい。乾燥条件は、特に限定されないが、樹脂組成物層中の溶剤の含有量が通常10質量%以下、好ましくは5質量%以下となるように乾燥させる。溶剤の沸点によっても異なるが、例えば30質量%~60質量%の溶剤を含む樹脂ワニスを塗布した場合、50℃~150℃で3分間~10分間乾燥させてもよい。 Drying may be carried out by, for example, heating or blowing hot air. Drying conditions are not particularly limited, but drying is typically carried out so that the solvent content in the resin composition layer is 10% by mass or less, preferably 5% by mass or less. For example, if a resin varnish containing 30% to 60% by mass of solvent is applied, drying may be carried out at 50°C to 150°C for 3 to 10 minutes, although this varies depending on the boiling point of the solvent.

工程(II)により、支持体の離型面上に、樹脂組成物層を形成できる。この樹脂組成物層は、硬化性樹脂組成物を含み、好ましくは硬化性樹脂組成物のみを含む。樹脂組成物層の厚みは、当該樹脂組成物層を用いて形成される絶縁層の厚みに応じて設定することが好ましい。具体例を挙げると、樹脂組成物層の厚さは、好ましくは200μm以下、より好ましくは70μm以下、特に好ましくは50μm以下である。樹脂組成物層の厚さの下限は、特に限定されないが、5μm以上、10μm以上等でありうる。 By step (II), a resin composition layer can be formed on the release surface of the support. This resin composition layer contains a curable resin composition, and preferably contains only a curable resin composition. The thickness of the resin composition layer is preferably set according to the thickness of the insulating layer formed using the resin composition layer. Specific examples include a thickness of preferably 200 μm or less, more preferably 70 μm or less, and particularly preferably 50 μm or less. The lower limit of the thickness of the resin composition layer is not particularly limited, but can be 5 μm or more, 10 μm or more, etc.

<工程(III).保護フィルムの第一面の除塵>
本実施形態に係る製造方法で使用される保護フィルムは、第一面と、この第一面とは反対側の面としての第二面と、を有する。保護フィルムの第一面が、樹脂組成物層と接合する面に相当する。
<Step (III): Removal of dust from the first surface of the protective film>
The protective film used in the manufacturing method according to this embodiment has a first surface and a second surface opposite to the first surface. The first surface of the protective film corresponds to the surface to be bonded to the resin composition layer.

本実施形態に係る積層樹脂シートの製造方法は、保護フィルムの第一面に、第二除塵ローラーを接触させる工程(III)を含む。第二除塵ローラーは特定範囲の粘着力を有する。よって、第二除塵ローラーと保護フィルムの第一面とを接触させることにより、第一面に付着した異物を第二除塵ローラーに移動させることができるので、第一面から異物を除去することができる。したがって、積層樹脂シートの製造過程において樹脂組成物層に異物が混入することを抑制できる。 The method for manufacturing a laminated resin sheet according to this embodiment includes step (III) of contacting a second dust removal roller with the first surface of the protective film. The second dust removal roller has an adhesive strength within a specific range. Therefore, by contacting the second dust removal roller with the first surface of the protective film, foreign matter adhering to the first surface can be transferred to the second dust removal roller, thereby removing the foreign matter from the first surface. This prevents foreign matter from being mixed into the resin composition layer during the manufacturing process of the laminated resin sheet.

通常、第二除塵ローラーは粘着面として周面を有し、その周面が特定範囲の粘着力を有する。第二除塵ローラーの粘着力の範囲は、通常2.9N/100mm未満、好ましくは2.7N/100mm以下である。粘着力が前記上限値未満である場合、第二除塵ローラーとの接触によって保護フィルムにしわが発生することを抑制できる。下限値は特に限定されないが、保護フィルムの第一面から異物をより効果的に除去し、配線形成の歩留まりを顕著に向上させる観点から、好ましくは0.6N/100mm以上、より好ましくは1.0N/100mm以上である。第二除塵ローラーの粘着力は、第一除塵ローラーの粘着力と同じ方法によって測定できる。 Typically, the second dust removal roller has a peripheral surface serving as an adhesive surface, and this peripheral surface has an adhesive strength within a specific range. The adhesive strength of the second dust removal roller is typically less than 2.9 N/100 mm² , preferably 2.7 N/100 mm² or less. When the adhesive strength is less than the upper limit, the generation of wrinkles in the protective film due to contact with the second dust removal roller can be suppressed. The lower limit is not particularly limited, but is preferably 0.6 N/100 mm² or more, more preferably 1.0 N/100 mm² or more, from the viewpoint of more effectively removing foreign matter from the first surface of the protective film and significantly improving the yield of wiring formation. The adhesive strength of the second dust removal roller can be measured using the same method as the adhesive strength of the first dust removal roller.

第二除塵ローラーとしては、例えば、第一除塵ローラーと同じものを用いうる。第二除塵ローラーのローラー面長は、保護フィルムの幅に応じて設定しうる。また、第二除塵ローラーの径は、保護フィルムの第一面に付着した異物を除去し得る限り特に限定されない。また、第二除塵ローラーは、1個を単独で用いてもよく、2個以上を組み合わせて用いてもよい。 The second dust removal roller may be the same as the first dust removal roller. The roller surface length of the second dust removal roller may be set according to the width of the protective film. The diameter of the second dust removal roller is not particularly limited as long as it can remove foreign matter adhering to the first surface of the protective film. The second dust removal roller may be used alone or in combination of two or more.

第二除塵ローラーと保護フィルムとは、適切な範囲の接触圧で接することが好ましい。一例においては、第二除塵ローラーと保護フィルムとの接触圧の範囲は、第一除塵ローラーと支持体との接触圧の範囲と同じでありうる。 It is preferable that the second dust removal roller and the protective film come into contact with each other at an appropriate range of contact pressure. In one example, the range of contact pressure between the second dust removal roller and the protective film may be the same as the range of contact pressure between the first dust removal roller and the support.

第二除塵ローラーと保護フィルムの第一面との接触方法に制限はなく、例えば、固定した保護フィルムの第一面上で第二除塵ローラーを転がすことで、接触を行ってもよい。効率的な異物の除去を行う観点では、第二除塵ローラーの粘着面に接触するように保護フィルムを搬送することで、第二除塵ローラーと保護フィルムの第一面との接触を行うことが好ましい。通常、第二除塵ローラーはその周面に粘着面を有するので、第二除塵ローラーの周面に第一面が接触するように保護フィルムを搬送することが好ましい。第二除塵ローラーは、保護フィルムの第一面との接触時に回転しうる。このとき、第二除塵ローラーは、保護フィルムの搬送に従動して回転してもよく、モータ等の駆動装置から与えられる駆動力によって回転駆動されていてもよい。保護フィルムの搬送方向と第二除塵ローラーの回転方向とは、一般的には、同じである。 There are no limitations on the method for contacting the second dust removal roller with the first side of the protective film. For example, contact may be achieved by rolling the second dust removal roller over the first side of the fixed protective film. From the perspective of efficient foreign matter removal, it is preferable to contact the first side of the protective film with the second dust removal roller by transporting the protective film so that it contacts the adhesive surface of the second dust removal roller. Since the second dust removal roller typically has an adhesive surface on its circumferential surface, it is preferable to transport the protective film so that its first side contacts the circumferential surface of the second dust removal roller. The second dust removal roller may rotate when it comes into contact with the first side of the protective film. In this case, the second dust removal roller may rotate in response to the transport of the protective film, or may be driven to rotate by a driving force provided by a driving device such as a motor. The transport direction of the protective film and the rotation direction of the second dust removal roller are generally the same.

工程(III)は、必要に応じて、第二除塵ローラーに付着した異物を除去することを含んでいてもよい。第二除塵ローラーに付着した異物を除去することにより、第二除塵ローラーに異物が堆積して第二除塵ローラーの粘着力が低下することを抑制でき、保護フィルムの第一面に付着した異物を長時間安定して効果的に除去することができる。 Step (III) may optionally include removing foreign matter adhering to the second dust removal roller. By removing foreign matter adhering to the second dust removal roller, it is possible to prevent foreign matter from accumulating on the second dust removal roller and reducing the adhesive strength of the second dust removal roller, and it is possible to stably and effectively remove foreign matter adhering to the first surface of the protective film for an extended period of time.

第二除塵ローラーからの異物の除去方法に制限はない。例えば、第二除塵ローラーから異物を除去するための第二吸着ローラーを第二除塵ローラーに接触させて、第二除塵ローラーからの異物の除去を行ってもよい。具体例を挙げると、第一除塵ローラーからの異物の除去と同じく、周面に粘着面を有する第二吸着ローラーの粘着面を第二除塵ローラーの周面に接触させて、第二除塵ローラーからの異物の除去を行ってもよい。第二吸着ローラーの粘着力は、第二除塵ローラーの粘着力よりも大きいことが好ましい。第二吸着ローラーとしては、例えば、第一吸着ローラーと同じものを用いうる。第二除塵ローラーによる保護フィルムの第一面からの異物の除去と、第二吸着ローラーによる第二除塵ローラーからの異物の除去とは、同時に行ってもよく、非同時に行ってもよい。 There are no limitations on the method for removing foreign matter from the second dust removal roller. For example, foreign matter may be removed from the second dust removal roller by contacting a second suction roller for removing foreign matter from the second dust removal roller with the second dust removal roller. Specifically, as with the removal of foreign matter from the first dust removal roller, foreign matter may be removed from the second dust removal roller by contacting the adhesive surface of a second suction roller having an adhesive surface on its circumferential surface with the circumferential surface of the second dust removal roller. The adhesive strength of the second suction roller is preferably greater than that of the second dust removal roller. The second suction roller may be the same as the first suction roller, for example. The removal of foreign matter from the first surface of the protective film by the second dust removal roller and the removal of foreign matter from the second dust removal roller by the second suction roller may be performed simultaneously or asynchronously.

<工程(IV).樹脂組成物層と保護フィルムの第一面との貼合>
本実施形態に係る製造方法は、樹脂組成物層と保護フィルムの第一面とを貼り合わせる工程(IV)を含む。具体的には、工程(II)で得られた樹脂シートと工程(III)で第一面から異物を除去された保護フィルムとを積層することで、樹脂組成物層と保護フィルムの第一面とを貼り合わせる。この工程(IV)により、支持体、樹脂組成物層及び保護フィルムを厚み方向においてこの順に備える積層樹脂シート(保護フィルム付き樹脂シート)が得られる。得られた積層樹脂シートにおいて、通常、樹脂組成物層と保護フィルムとは直に接している。ここで、2つの部材が「直に」接するとは、接する2つの部材の間に他の部材が無いことを表す。
<Step (IV): Bonding the resin composition layer to the first surface of the protective film>
The manufacturing method according to this embodiment includes a step (IV) of bonding a resin composition layer to a first surface of a protective film. Specifically, the resin sheet obtained in step (II) is laminated with the protective film from whose first surface foreign matter has been removed in step (III), thereby bonding the resin composition layer to the first surface of the protective film. This step (IV) results in a laminated resin sheet (resin sheet with protective film) having a support, a resin composition layer, and a protective film in this order in the thickness direction. In the obtained laminated resin sheet, the resin composition layer and the protective film are usually in direct contact. Here, "direct" contact between two members means that there is no other member between the two members in contact.

通常は、対に設けられた適切な押圧部材の間に樹脂シート及び保護フィルムを挟んだ状態で、少なくとも一方の押圧部材を他方の押圧部材の方向に押圧することで、貼り合わせを行う。連続的な積層を可能にして積層樹脂シートの製造効率を高める観点から、押圧部材としては回転可能に設けられた押圧ローラーを用いることが好ましい。このような押圧ローラーとしては、例えば、ゴム製ローラー、金属製ローラー、金属製芯材とゴム製ライニングからなる複合材ローラー、などが挙げられる。 Typically, the resin sheet and protective film are sandwiched between a pair of appropriate pressing members, and at least one pressing member is pressed toward the other pressing member to bond them together. From the perspective of enabling continuous lamination and increasing the manufacturing efficiency of laminated resin sheets, it is preferable to use a rotatable pressing roller as the pressing member. Examples of such pressing rollers include rubber rollers, metal rollers, and composite rollers made of a metal core and a rubber lining.

押圧部材の間の圧着圧力(樹脂シート及び保護フィルムに加えられる圧力)は、積層樹脂シートを製造しうる限り特に限定されず、例えば、0.1MPa~3MPaの範囲にて設定してもよく、好ましくは0.2MPa~2.5MPaの範囲、より好ましくは0.3MPa~2MPaの範囲としてよい。 The pressure applied between the pressing members (the pressure applied to the resin sheet and protective film) is not particularly limited as long as it allows the production of a laminated resin sheet, and may be set, for example, in the range of 0.1 MPa to 3 MPa, preferably in the range of 0.2 MPa to 2.5 MPa, and more preferably in the range of 0.3 MPa to 2 MPa.

貼り合わせ時の温度は、積層樹脂シートを製造しうる限り特に限定されず、常温(25℃程度)であってもよく、加熱条件としてもよい。樹脂シート及び保護フィルムを十分に密着させ得る観点から、加熱条件下で貼り合わせを行うことが好ましく、その温度は、例えば50℃~130℃の範囲、好ましくは60℃~120℃の範囲としてよい。 The temperature during lamination is not particularly limited as long as it allows the production of a laminated resin sheet, and may be room temperature (approximately 25°C) or heated. From the perspective of ensuring sufficient adhesion between the resin sheet and the protective film, lamination is preferably performed under heated conditions, and the temperature may be, for example, in the range of 50°C to 130°C, preferably 60°C to 120°C.

工程(III)で異物を除去されてから、工程(IV)で樹脂組成物層と貼り合わせられるまでの間、保護フィルムの第一面は他の部材に接触しない非接触状態であることが好ましい。よって、保護フィルムを所定の搬送路を通るように搬送しながら積層樹脂シートの製造を行う場合、当該搬送路の第二除塵ローラーと押圧部材との間の区間には、保護フィルムの第一面に接触する部材(例えば、搬送ローラー等)を設けないことが好ましい。 It is preferable that the first surface of the protective film is in a non-contact state with other members from the time foreign matter is removed in step (III) until it is laminated to the resin composition layer in step (IV). Therefore, when the laminated resin sheet is manufactured while transporting the protective film through a predetermined transport path, it is preferable that no member (e.g., a transport roller) that contacts the first surface of the protective film is provided in the section of the transport path between the second dust removal roller and the pressing member.

<工程(V).支持体の離型層とは反対側の面の除塵>
本実施形態に係る積層樹脂シートの製造方法は、支持体の裏面(即ち、離型層とは反対側の面)に、第三除塵ローラーを接触させる工程(V)を含むことが好ましい。第三除塵ローラーは、粘着力を有する。よって、第三除塵ローラーと支持体の裏面とを接触させることにより、裏面から異物を除去することができる。したがって、積層樹脂シートを用いた回路基板の製造過程(特に、内層配線と樹脂シートとの積層過程)において支持体の裏面の異物が樹脂組成物層に混入することを抑制できるから、配線形成の歩留まりを効果的に高めることができる。
<Step (V): Removal of dust from the surface of the support opposite to the release layer>
The method for producing a laminated resin sheet according to this embodiment preferably includes a step (V) of contacting a third dust removal roller with the back surface of the support (i.e., the surface opposite the release layer). The third dust removal roller has adhesive force. Therefore, by contacting the third dust removal roller with the back surface of the support, foreign matter can be removed from the back surface. Therefore, in the process of producing a circuit board using the laminated resin sheet (particularly in the process of laminating the inner layer wiring and the resin sheet), foreign matter on the back surface of the support can be prevented from being mixed into the resin composition layer, thereby effectively increasing the yield of wiring formation.

通常、第三除塵ローラーは粘着面として周面を有し、その周面が粘着力を有する。第三除塵ローラーの粘着力の範囲は、第一除塵ローラーと同様の効果を得る観点から、第一除塵ローラーの粘着力の範囲と同じでありうる。第三除塵ローラーの粘着力は、第一除塵ローラーの粘着力と同じ方法によって測定できる。第三除塵ローラーとしては、例えば、第一除塵ローラーと同じものを用いうる。第三除塵ローラーは、1個を単独で用いてもよく、2個以上を組み合わせて用いてもよい。 Typically, the third dust removal roller has a peripheral surface that serves as an adhesive surface, and this peripheral surface has adhesive force. The range of adhesive force of the third dust removal roller can be the same as the range of adhesive force of the first dust removal roller, from the viewpoint of obtaining the same effect as the first dust removal roller. The adhesive force of the third dust removal roller can be measured using the same method as the adhesive force of the first dust removal roller. The third dust removal roller can be, for example, the same as the first dust removal roller. One third dust removal roller may be used alone, or two or more third dust removal rollers may be used in combination.

第三除塵ローラーと支持体とは、適切な範囲の接触圧で接することが好ましい。一例においては、第三除塵ローラーと支持体との接触圧の範囲は、第一除塵ローラーと支持体との接触圧の範囲と同じでありうる。 It is preferable that the third dust removal roller and the support be in contact with each other at an appropriate range of contact pressure. In one example, the range of contact pressure between the third dust removal roller and the support may be the same as the range of contact pressure between the first dust removal roller and the support.

第三除塵ローラーと支持体の裏面との接触方法に制限はなく、例えば、第一除塵ローラーと支持体の離型面との接触方法と同様の方法を採用してもよい。 There are no restrictions on the method of contact between the third dust removal roller and the back surface of the support; for example, a method similar to the method of contact between the first dust removal roller and the release surface of the support may be used.

工程(V)は、工程(I)の前に行ってもよく、工程(I)の後に行ってもよく、工程(I)と同時に行ってもよい。樹脂組成物層への異物の混入を効果的に抑制する観点では、工程(V)は工程(IV)の前に行うことが好ましく、工程(II)の前に行うことがより好ましい。 Step (V) may be performed before step (I), after step (I), or simultaneously with step (I). From the perspective of effectively preventing foreign matter from being mixed into the resin composition layer, step (V) is preferably performed before step (IV), and more preferably before step (II).

工程(V)は、必要に応じて、第三除塵ローラーに付着した異物を除去することを含んでいてもよい。第三除塵ローラーに付着した異物を除去することにより、第三除塵ローラーに異物が堆積して第三除塵ローラーの粘着力が低下することを抑制でき、支持体の裏面に付着した異物を長時間安定して効果的に除去することができる。 Step (V) may optionally include removing foreign matter adhering to the third dust removal roller. By removing foreign matter adhering to the third dust removal roller, it is possible to prevent foreign matter from accumulating on the third dust removal roller and reducing the adhesive strength of the third dust removal roller, and foreign matter adhering to the back surface of the support can be removed stably and effectively over an extended period of time.

第三除塵ローラーからの異物の除去方法に制限はない。例えば、第三除塵ローラーから異物を除去するための第三吸着ローラーを第三除塵ローラーに接触させて、第三除塵ローラーからの異物の除去を行ってもよい。具体例を挙げると、第一除塵ローラーからの異物の除去と同じく、周面に粘着面を有する第三吸着ローラーの粘着面を第三除塵ローラーの周面に接触させて、第三除塵ローラーからの異物の除去を行ってもよい。第三吸着ローラーの粘着力は、第三除塵ローラーの粘着力よりも大きいことが好ましい。第三吸着ローラーとしては、例えば、第一吸着ローラーと同じものを用いうる。第三除塵ローラーによる支持体の裏面からの異物の除去と、第三吸着ローラーによる第三除塵ローラーからの異物の除去とは、同時に行ってもよく、非同時に行ってもよい。 There are no limitations on the method for removing foreign matter from the third dust removal roller. For example, foreign matter may be removed from the third dust removal roller by contacting a third suction roller for removing foreign matter from the third dust removal roller with the third dust removal roller. Specifically, as with the removal of foreign matter from the first dust removal roller, foreign matter may be removed from the third dust removal roller by contacting the adhesive surface of a third suction roller having an adhesive surface on its circumferential surface with the circumferential surface of the third dust removal roller. The adhesive strength of the third suction roller is preferably greater than that of the third dust removal roller. For example, the third suction roller may be the same as the first suction roller. The removal of foreign matter from the back surface of the support by the third dust removal roller and the removal of foreign matter from the third dust removal roller by the third suction roller may be performed simultaneously or asynchronously.

<工程(VI).保護フィルムの第二面の除塵>
本実施形態に係る積層樹脂シートの製造方法は、保護フィルムの第二面(即ち、第一面とは反対側の面)に、第四除塵ローラーを接触させる工程(VI)を含むことが好ましい。第四除塵ローラーは、粘着力を有する。よって、第四除塵ローラーと保護フィルムの第二面とを接触させることにより、第二面から異物を除去することができる。したがって、積層樹脂シートを用いた回路基板の製造過程(特に、内層配線と樹脂シートとの積層過程)において保護フィルムの第二面の異物が樹脂組成物層に混入することを抑制できるから、配線形成の歩留まりを効果的に高めることができる。
<Step (VI). Removal of dust from the second surface of the protective film>
The method for producing a laminated resin sheet according to this embodiment preferably includes a step (VI) of contacting a fourth dust removal roller with the second surface of the protective film (i.e., the surface opposite to the first surface). The fourth dust removal roller has adhesive properties. Therefore, contacting the fourth dust removal roller with the second surface of the protective film can remove foreign matter from the second surface. Therefore, in the process of producing a circuit board using the laminated resin sheet (particularly in the process of laminating the inner layer wiring and the resin sheet), foreign matter on the second surface of the protective film can be prevented from being mixed into the resin composition layer, thereby effectively increasing the yield of wiring formation.

通常、第四除塵ローラーは粘着面として周面を有し、その周面が粘着力を有する。第四除塵ローラーの粘着力の範囲は、第二除塵ローラーと同様の効果を得る観点から、第二除塵ローラーの粘着力の範囲と同じでありうる。第四除塵ローラーの粘着力は、第一除塵ローラーの粘着力と同じ方法によって測定できる。第四除塵ローラーとしては、例えば、第二除塵ローラーと同じものを用いうる。第四除塵ローラーは、1個を単独で用いてもよく、2個以上を組み合わせて用いてもよい。 Typically, the fourth dust removal roller has a peripheral surface that serves as an adhesive surface, and this peripheral surface has adhesive force. The range of adhesive force of the fourth dust removal roller can be the same as the range of adhesive force of the second dust removal roller, from the viewpoint of obtaining the same effect as the second dust removal roller. The adhesive force of the fourth dust removal roller can be measured using the same method as the adhesive force of the first dust removal roller. The fourth dust removal roller can be, for example, the same as the second dust removal roller. One fourth dust removal roller may be used alone, or two or more fourth dust removal rollers may be used in combination.

第四除塵ローラーと保護フィルムとは、適切な範囲の接触圧で接することが好ましい。一例においては、第四除塵ローラーと保護フィルムとの接触圧の範囲は、第二除塵ローラーと保護フィルムとの接触圧の範囲と同じでありうる。 It is preferable that the fourth dust removal roller and the protective film be in contact with each other at an appropriate range of contact pressure. In one example, the range of contact pressure between the fourth dust removal roller and the protective film may be the same as the range of contact pressure between the second dust removal roller and the protective film.

第四除塵ローラーと保護フィルムの第二面との接触方法に制限はなく、例えば、第二除塵ローラーと保護フィルムの第一面との接触方法と同様の方法を採用してもよい。 There are no restrictions on the method of contact between the fourth dust removal roller and the second surface of the protective film; for example, the same method as the method of contact between the second dust removal roller and the first surface of the protective film may be used.

工程(VI)は、工程(III)の前に行ってもよく、工程(III)の後に行ってもよく、工程(III)と同時に行ってもよい。樹脂組成物層への異物の混入を効果的に抑制する観点では、工程(VI)は工程(IV)の前に行うことが好ましい。 Step (VI) may be performed before step (III), after step (III), or simultaneously with step (III). From the viewpoint of effectively preventing foreign matter from being mixed into the resin composition layer, step (VI) is preferably performed before step (IV).

工程(VI)は、必要に応じて、第四除塵ローラーに付着した異物を除去することを含んでいてもよい。第四除塵ローラーに付着した異物を除去することにより、第四除塵ローラーに異物が堆積して第四除塵ローラーの粘着力が低下することを抑制でき、保護フィルムの第二面に付着した異物を長時間安定して効果的に除去することができる。 Step (VI) may optionally include removing foreign matter adhering to the fourth dust removal roller. By removing foreign matter adhering to the fourth dust removal roller, it is possible to prevent foreign matter from accumulating on the fourth dust removal roller and thereby prevent the adhesive strength of the fourth dust removal roller from decreasing, thereby enabling stable and effective removal of foreign matter adhering to the second surface of the protective film for an extended period of time.

第四除塵ローラーからの異物の除去方法に制限はない。例えば、第四除塵ローラーから異物を除去するための第四吸着ローラーを第四除塵ローラーに接触させて、第四除塵ローラーからの異物の除去を行ってもよい。具体例を挙げると、第一除塵ローラーからの異物の除去と同じく、周面に粘着面を有する第四吸着ローラーの粘着面を第四除塵ローラーの周面に接触させて、第四除塵ローラーからの異物の除去を行ってもよい。第四吸着ローラーの粘着力は、第四除塵ローラーの粘着力よりも大きいことが好ましい。第四吸着ローラーとしては、例えば、第一吸着ローラーと同じものを用いうる。第四除塵ローラーによる保護フィルムの第二面からの異物の除去と、第四吸着ローラーによる第四除塵ローラーからの異物の除去とは、同時に行ってもよく、非同時に行ってもよい。 There are no limitations on the method for removing foreign matter from the fourth dust removal roller. For example, foreign matter may be removed from the fourth dust removal roller by contacting a fourth suction roller for removing foreign matter from the fourth dust removal roller with the fourth dust removal roller. Specifically, as with the removal of foreign matter from the first dust removal roller, foreign matter may be removed from the fourth dust removal roller by contacting the adhesive surface of a fourth suction roller having an adhesive surface on its circumferential surface with the circumferential surface of the fourth dust removal roller. The adhesive strength of the fourth suction roller is preferably greater than that of the fourth dust removal roller. For example, the fourth suction roller may be the same as the first suction roller. The removal of foreign matter from the second surface of the protective film by the fourth dust removal roller and the removal of foreign matter from the fourth dust removal roller by the fourth suction roller may be performed simultaneously or asynchronously.

<積層樹脂シートの製造方法に係るその他の事項>
本実施形態に係る積層樹脂シートの製造方法は、枚葉の支持体及び枚葉の保護フィルムを用いて実施してもよい。枚葉の支持体及び枚葉の保護フィルムを用いる場合、枚葉の積層樹脂シートを製造することができる。
<Other matters related to the manufacturing method of the laminated resin sheet>
The method for producing a laminated resin sheet according to this embodiment may be carried out using a single support and a single protective film. When a single support and a single protective film are used, a single laminated resin sheet can be produced.

積層樹脂シートを効率的に製造する観点では、長尺の支持体及び長尺の保護フィルムを用いて、長尺の積層樹脂シートを製造することが好ましい。ある部材が「長尺」とは、当該部材がロール状に巻き取り可能な程度の長さを有することを表し、例えば、幅に対して10倍以上の長さを有することを表す。長尺の支持体及び長尺の保護フィルムを用いることにより、ロールトゥロール法によって長尺の積層樹脂シートを効率的に製造することが可能である。 From the perspective of efficiently producing laminate resin sheets, it is preferable to produce long laminate resin sheets using a long support and a long protective film. The term "long" for a certain component means that the component has a length that allows it to be wound into a roll, for example, a length that is 10 times or more its width. By using a long support and a long protective film, it is possible to efficiently produce long laminate resin sheets using the roll-to-roll method.

長尺の支持体及び保護フィルムを用いる場合、通常は、それら支持体及び保護フィルムを長尺方向に連続的に搬送しながら上述した工程が行われる。この際、支持体、保護フィルム、樹脂シート及び積層樹脂シートといった各部材の搬送速度は、特に制限はなく、例えば0.1m/分~50m/分の範囲でありうる。 When using a long support and protective film, the above-mentioned process is typically carried out while the support and protective film are continuously transported in the longitudinal direction. In this case, there are no particular restrictions on the transport speed of each component, such as the support, protective film, resin sheet, and laminated resin sheet, and it can be, for example, in the range of 0.1 m/min to 50 m/min.

本実施形態に係る積層樹脂シートの製造方法は、上述した工程に組み合わせて、更に任意の工程を含んでいてもよい。例えば、積層樹脂シートの製造方法は、製造された積層樹脂シートを巻き取って回収する工程を含んでいてもよい。積層樹脂シートを巻き取ることによって当該積層樹脂シートのロールを得て、当該ロールの状態で保存及び運搬することが可能となる。 The method for manufacturing a laminate resin sheet according to this embodiment may include any further steps in combination with the steps described above. For example, the method for manufacturing a laminate resin sheet may include a step of winding and recovering the manufactured laminate resin sheet. By winding the laminate resin sheet, a roll of the laminate resin sheet is obtained, which can be stored and transported in this rolled state.

<製造方法の第一の具体例>
以下、図面を示して本実施形態に係る積層樹脂シートの製造方法の第一の例を説明する。図1は、本発明の第一の例に係る積層樹脂シート50の製造装置1を模式的に示す正面図である。図1に示すように、製造装置1は、基材層11及び離型層12を備える長尺の支持体10上に樹脂組成物層20を形成して長尺の樹脂シート30を得て、その樹脂シート30を長尺の保護フィルム40と積層して積層樹脂シート50を得るように設けられている。
<First specific example of production method>
[0023] Hereinafter, a first example of a method for manufacturing a laminate resin sheet according to the present embodiment will be described with reference to the drawings. Fig. 1 is a front view schematically showing an apparatus 1 for manufacturing a laminate resin sheet 50 according to the first example of the present invention. As shown in Fig. 1, the manufacturing apparatus 1 is configured to form a resin composition layer 20 on a long support 10 including a base material layer 11 and a release layer 12 to obtain a long resin sheet 30, and to laminate the resin sheet 30 with a long protective film 40 to obtain the laminate resin sheet 50.

製造装置1は、支持体10から異物を除去できるように設けられた支持体除塵部100、支持体10の離型面10U上に樹脂組成物層20を形成できるように設けられた層形成部200、保護フィルム40から異物を除去できるように設けられた保護フィルム除塵部300、及び、樹脂シート30の樹脂組成物層20と保護フィルム40の第一面40Dとを貼合できるように設けられたラミネート部400を備える。 The manufacturing apparatus 1 includes a support dust removal unit 100 that is provided to remove foreign matter from the support 10, a layer formation unit 200 that is provided to form a resin composition layer 20 on the release surface 10U of the support 10, a protective film dust removal unit 300 that is provided to remove foreign matter from the protective film 40, and a laminating unit 400 that is provided to bond the resin composition layer 20 of the resin sheet 30 to the first surface 40D of the protective film 40.

支持体除塵部100は、支持体10の搬送方向と同じ回転方向に回転可能に設けられた第一除塵ローラー110及び第三除塵ローラー120を備える。第一除塵ローラー110及び第三除塵ローラー120は、それぞれ、適切な粘着力を有する粘着面をその周面110S及び120Sに有する。また、本例において、第一除塵ローラー110及び第三除塵ローラー120は互いに対向して設けられ、それら第一除塵ローラー110及び第三除塵ローラー120の間を通って支持体10を搬送できるように設けられている。第一除塵ローラー110及び第三除塵ローラー120は、適切な接触圧で第一除塵ローラー110の周面110Sと支持体10の離型面10Uとの接触、並びに、第三除塵ローラー120の周面120Sと支持体10の裏面10Dとの接触ができるように、互いに近づく向きに付勢されている。 The support dust removal unit 100 includes a first dust removal roller 110 and a third dust removal roller 120, which are rotatable in the same direction as the conveyance direction of the support 10. The first dust removal roller 110 and the third dust removal roller 120 have adhesive surfaces with appropriate adhesive strength on their peripheral surfaces 110S and 120S, respectively. In this example, the first dust removal roller 110 and the third dust removal roller 120 are disposed opposite each other so that the support 10 can be conveyed between the first dust removal roller 110 and the third dust removal roller 120. The first dust removal roller 110 and the third dust removal roller 120 are biased toward each other to allow contact with an appropriate contact pressure between the peripheral surface 110S of the first dust removal roller 110 and the release surface 10U of the support 10, and between the peripheral surface 120S of the third dust removal roller 120 and the back surface 10D of the support 10.

層形成部200は、塗工装置210及び乾燥装置220を備える。塗工装置210は、液状の硬化性樹脂組成物21を支持体10の離型面10Uに塗布できるように設けられている。また、乾燥装置220は、支持体10の離型面10Uに形成された樹脂組成物層20を乾燥させて溶剤を除去できるように設けられている。本例では、乾燥装置220として、支持体10が通ることができるように設けられたオーブンを設けた例を示して説明する。 The layer forming section 200 includes a coating device 210 and a drying device 220. The coating device 210 is configured to apply a liquid curable resin composition 21 to the release surface 10U of the support 10. The drying device 220 is configured to dry the resin composition layer 20 formed on the release surface 10U of the support 10 to remove the solvent. In this example, an example is shown in which the drying device 220 is an oven configured so that the support 10 can pass through.

保護フィルム除塵部300は、保護フィルム40の搬送方向と同じ回転方向に回転可能に設けられた第二除塵ローラー310及び第四除塵ローラー320を備える。第二除塵ローラー310及び第四除塵ローラー320は、それぞれ、適切な粘着力を有する粘着面をその周面310S及び320Sに有する。また、本例において、第二除塵ローラー310及び第四除塵ローラー320は互いに対向して設けられ、それら第二除塵ローラー310及び第四除塵ローラー320の間を通って保護フィルム40を搬送できるように設けられている。さらに、第二除塵ローラー310及び第四除塵ローラー320は、適切な接触圧で第二除塵ローラー310の周面310Sと保護フィルム40の第一面40Dとの接触、並びに、第四除塵ローラー320の周面320Sと保護フィルム40の第二面40Uとの接触ができるように、互いに近づく向きに付勢されている。 The protective film dust removal unit 300 includes a second dust removal roller 310 and a fourth dust removal roller 320, which are rotatable in the same direction as the transport direction of the protective film 40. The second dust removal roller 310 and the fourth dust removal roller 320 have adhesive surfaces with appropriate adhesive strength on their peripheral surfaces 310S and 320S, respectively. In this example, the second dust removal roller 310 and the fourth dust removal roller 320 are disposed opposite each other so that the protective film 40 can be transported between them. Furthermore, the second dust removal roller 310 and the fourth dust removal roller 320 are biased toward each other to allow contact between the peripheral surface 310S of the second dust removal roller 310 and the first surface 40D of the protective film 40, and between the peripheral surface 320S of the fourth dust removal roller 320 and the second surface 40U of the protective film 40, with an appropriate contact pressure.

ラミネート部400は、樹脂シート30及び保護フィルム40の搬送方向と同じ回転方向に回転可能に設けられた一対の押圧ローラー410及び420、並びに、それらの押圧ローラー410及び420を収納したチャンバ430を備える。押圧ローラー410及び押圧ローラー420は互いに対向して設けられ、それら押圧ローラー410及び420の間を通って樹脂シート30及び保護フィルム40を搬送できるように設けられている。また、チャンバ430内には、チャンバ430内の温度を適切に調整できるように、図示しないヒーターが設けられている。 The laminating unit 400 includes a pair of pressure rollers 410 and 420 that are rotatable in the same direction as the conveyance direction of the resin sheet 30 and the protective film 40, and a chamber 430 that houses the pressure rollers 410 and 420. The pressure rollers 410 and 420 are arranged opposite each other so that the resin sheet 30 and the protective film 40 can be conveyed between the pressure rollers 410 and 420. A heater (not shown) is also provided within the chamber 430 to appropriately adjust the temperature within the chamber 430.

前記の製造装置1を用いた積層樹脂シート50の製造方法では、支持体10を搬送して支持体除塵部100に供給する。支持体除塵部100に供給された支持体10は、第一除塵ローラー110及び第三除塵ローラー120の間を通るように搬送される。第一除塵ローラー110及び第三除塵ローラー120の間を通る時、第一除塵ローラー110の周面110Sと支持体10の離型面10Uとが接触し、第三除塵ローラー120の周面120Sと支持体10の裏面10Dとが接触する(工程(I)及び(V))。よって、支持体10の離型面10U及び裏面10D上の異物(図示せず)が除去される。その後、支持体10は、層形成部200へと送り出される。 In the method for manufacturing the laminated resin sheet 50 using the manufacturing apparatus 1, the support 10 is transported and supplied to the support dust removal section 100. The support 10 supplied to the support dust removal section 100 is transported so as to pass between the first dust removal roller 110 and the third dust removal roller 120. As the support 10 passes between the first dust removal roller 110 and the third dust removal roller 120, the circumferential surface 110S of the first dust removal roller 110 comes into contact with the release surface 10U of the support 10, and the circumferential surface 120S of the third dust removal roller 120 comes into contact with the back surface 10D of the support 10 (steps (I) and (V)). Thus, foreign matter (not shown) on the release surface 10U and back surface 10D of the support 10 is removed. The support 10 is then sent to the layer formation section 200.

層形成部200に送られた支持体10は、塗工装置210に供給される。塗工装置210は、支持体10の離型面10Uに硬化性樹脂組成物21を塗工して、樹脂組成物層20を形成する(工程(II))。その後、支持体10及び樹脂組成物層20は乾燥装置220へと送られ、その乾燥装置220で樹脂組成物層20の乾燥が行われる。本例では、適切な温度に設定された乾燥装置220としてのオーブンを適切な時間をかけて通過することにより、樹脂組成物層20の乾燥が行われる例を示す。乾燥によって樹脂組成物層20から溶剤が除去されて、支持体10及び樹脂組成物層20を備える樹脂シート30が得られる。この樹脂シート30は、ラミネート部400へと送り出される。 The support 10 sent to the layer forming unit 200 is supplied to the coating device 210. The coating device 210 coats the release surface 10U of the support 10 with a curable resin composition 21 to form a resin composition layer 20 (step (II)). The support 10 and resin composition layer 20 are then sent to the drying device 220, where the resin composition layer 20 is dried. In this example, the resin composition layer 20 is dried by passing it through an oven (drying device 220) set at an appropriate temperature for an appropriate period of time. The solvent is removed from the resin composition layer 20 by drying, resulting in a resin sheet 30 comprising the support 10 and the resin composition layer 20. This resin sheet 30 is then sent to the laminating unit 400.

また、製造装置1を用いた積層樹脂シート50の製造方法では、支持体10とは別に、保護フィルム40を搬送して保護フィルム除塵部300に供給する。保護フィルム除塵部300に供給された保護フィルム40は、第二除塵ローラー310及び第四除塵ローラー320の間を通るように搬送される。第二除塵ローラー310及び第四除塵ローラー320の間を通る時、第二除塵ローラー310の周面310Sと保護フィルム40の第一面40Dとが接触し、第四除塵ローラー320の周面320Sと保護フィルム40の第二面40Uとが接触する(工程(III)及び(VI))。よって、保護フィルム40の第一面40D及び第二面40U上の異物(図示せず)が除去される。その後、保護フィルム40は、ラミネート部400へと送り出される。 In addition, in the method for manufacturing the laminated resin sheet 50 using the manufacturing apparatus 1, the protective film 40 is transported and supplied to the protective film dust removal unit 300 separately from the support 10. The protective film 40 supplied to the protective film dust removal unit 300 is transported so as to pass between the second dust removal roller 310 and the fourth dust removal roller 320. As the protective film 40 passes between the second dust removal roller 310 and the fourth dust removal roller 320, the circumferential surface 310S of the second dust removal roller 310 comes into contact with the first side 40D of the protective film 40, and the circumferential surface 320S of the fourth dust removal roller 320 comes into contact with the second side 40U of the protective film 40 (steps (III) and (VI)). Thus, foreign matter (not shown) on the first side 40D and second side 40U of the protective film 40 is removed. The protective film 40 is then sent to the laminating unit 400.

ラミネート部400へ送られた樹脂シート30及び保護フィルム40は、チャンバ430内に入り、押圧ローラー410及び420の間を通るように搬送される。押圧ローラー410及び420の間を通る時、樹脂シート30の樹脂組成物層20と保護フィルム40の第一面40Dとを対向させた状態で、それら樹脂シート30及び保護フィルム40が押圧ローラー410及び420によって押圧される。よって、樹脂組成物層20と保護フィルム40の第一面40Dとが貼り合わせられるように樹脂シート30及び保護フィルム40の積層が行われて、支持体10、樹脂組成物層20及び保護フィルム40をこの順に備える長尺の積層樹脂シート50が得られる。 The resin sheet 30 and protective film 40 sent to the laminating unit 400 enter the chamber 430 and are transported between pressure rollers 410 and 420. As they pass between the pressure rollers 410 and 420, the resin sheet 30 and protective film 40 are pressed by the pressure rollers 410 and 420 with the resin composition layer 20 of the resin sheet 30 and the first surface 40D of the protective film 40 facing each other. Thus, the resin sheet 30 and the protective film 40 are laminated so that the resin composition layer 20 and the first surface 40D of the protective film 40 are bonded together, resulting in a long laminated resin sheet 50 comprising the support 10, resin composition layer 20, and protective film 40 in this order.

<製造方法の第二の具体例>
以下、図面を示して本実施形態に係る積層樹脂シートの製造方法の第二の例を説明する。図2は、本発明の第二の例に係る積層樹脂シート50の製造装置2を模式的に示す正面図である。図2に示すように、本例に係る製造装置2は、支持体除塵部100及び保護フィルム除塵部300の代わりに支持体除塵部500及び保護フィルム除塵部600を備えること以外は、第一の例に係る製造装置1と同様に設けられている。
<Second specific example of the production method>
A second example of the method for manufacturing a laminate resin sheet according to the present embodiment will now be described with reference to the drawings. Fig. 2 is a front view schematically showing an apparatus 2 for manufacturing a laminate resin sheet 50 according to the second example of the present invention. As shown in Fig. 2, the manufacturing apparatus 2 according to this example is configured in the same manner as the manufacturing apparatus 1 according to the first example, except that it includes a support body dust removing unit 500 and a protective film dust removing unit 600 instead of the support body dust removing unit 100 and the protective film dust removing unit 300.

支持体除塵部500は、第一除塵ローラー510及び第三除塵ローラー520を備える。本例における第一除塵ローラー510及び第三除塵ローラー520は、支持体10の搬送方向において第一除塵ローラー510及び第三除塵ローラー520が異なる位置に設けられていること以外、第一の例に係る第一除塵ローラー110及び第三除塵ローラー120と同様に設けられている。 The support dust removal unit 500 includes a first dust removal roller 510 and a third dust removal roller 520. In this example, the first dust removal roller 510 and the third dust removal roller 520 are arranged in the same manner as the first dust removal roller 110 and the third dust removal roller 120 according to the first example, except that the first dust removal roller 510 and the third dust removal roller 520 are arranged at different positions in the transport direction of the support 10.

第一除塵ローラー510は、当該第一除塵ローラー510の周面510Sに巻き付くように支持体10が搬送されることができるように設けられている。よって、本例において、搬送される支持体10の離型面10Uは、当該支持体10の搬送張力に応じた接触圧で第一除塵ローラー510の周面510Sに接触することが可能である。 The first dust removal roller 510 is arranged so that the support 10 can be transported so that it wraps around the circumferential surface 510S of the first dust removal roller 510. Therefore, in this example, the release surface 10U of the transported support 10 can come into contact with the circumferential surface 510S of the first dust removal roller 510 with a contact pressure that corresponds to the transport tension of the support 10.

また、第三除塵ローラー520は、当該第三除塵ローラー520の周面520Sに巻き付くように支持体10が搬送されることができるように設けられている。よって、本例において、搬送される支持体10の裏面10Dは、当該支持体10の搬送張力に応じた接触圧で第三除塵ローラー520の周面520Sに接触することが可能である。 The third dust removal roller 520 is also arranged so that the support 10 can be transported so that it wraps around the circumferential surface 520S of the third dust removal roller 520. Therefore, in this example, the back surface 10D of the transported support 10 can come into contact with the circumferential surface 520S of the third dust removal roller 520 with a contact pressure that corresponds to the transport tension of the support 10.

保護フィルム除塵部600は、第二除塵ローラー610及び第四除塵ローラー620を備える。本例における第二除塵ローラー610及び第四除塵ローラー620は、保護フィルム40の搬送方向において第二除塵ローラー610及び第四除塵ローラー620が異なる位置に設けられていること以外、第一の例に係る第二除塵ローラー310及び第四除塵ローラー320と同様に設けられている。 The protective film dust removal unit 600 includes a second dust removal roller 610 and a fourth dust removal roller 620. In this example, the second dust removal roller 610 and the fourth dust removal roller 620 are arranged in the same manner as the second dust removal roller 310 and the fourth dust removal roller 320 in the first example, except that the second dust removal roller 610 and the fourth dust removal roller 620 are arranged at different positions in the transport direction of the protective film 40.

第二除塵ローラー610は、当該第二除塵ローラー610の周面610Sに巻き付くように保護フィルム40が搬送されることができるように設けられている。よって、本例において、搬送される保護フィルム40の第一面40Dは、当該保護フィルム40の搬送張力に応じた接触圧で第二除塵ローラー610の周面610Sに接触することが可能である。 The second dust removal roller 610 is arranged so that the protective film 40 can be transported so that it wraps around the circumferential surface 610S of the second dust removal roller 610. Therefore, in this example, the first surface 40D of the transported protective film 40 can come into contact with the circumferential surface 610S of the second dust removal roller 610 with a contact pressure that corresponds to the transport tension of the protective film 40.

また、第四除塵ローラー620は、当該第四除塵ローラー620の周面620Sに巻き付くように保護フィルム40が搬送されることができるように設けられている。よって、本例において、搬送される保護フィルム40の第二面40Uは、当該保護フィルム40の搬送張力に応じた接触圧で第四除塵ローラー620の周面620Sに接触することが可能である。 Furthermore, the fourth dust removal roller 620 is arranged so that the protective film 40 can be transported so that it wraps around the circumferential surface 620S of the fourth dust removal roller 620. Therefore, in this example, the second surface 40U of the transported protective film 40 can come into contact with the circumferential surface 620S of the fourth dust removal roller 620 with a contact pressure that corresponds to the transport tension of the protective film 40.

前記の製造装置2を用いた積層樹脂シート50の製造方法では、支持体10が支持体除塵部500に供給され、第一除塵ローラー510及び第三除塵ローラー520を経由して搬送される。支持体除塵部500に供給された支持体10は、第一除塵ローラー510の周面510Sと接触して搬送されるときに離型面10Uから異物(図示せず)を除去され(工程(I))、第三除塵ローラー520の周面520Sと接触して搬送されるときに裏面10Dから異物(図示せず)を除去される(工程(V))。その後、支持体10は、層形成部200へと送り出される。そして、第一の例と同様に、層形成部200において支持体10の離型面10Uに樹脂組成物層20が形成されて樹脂シート30が得られ(工程(II))、その樹脂シート30は、ラミネート部400へと送り出される。 In the manufacturing method of the laminated resin sheet 50 using the manufacturing apparatus 2, the support 10 is supplied to the support dust removal section 500 and transported via the first dust removal roller 510 and the third dust removal roller 520. The support 10 supplied to the support dust removal section 500 has foreign matter (not shown) removed from the release surface 10U as it is transported in contact with the circumferential surface 510S of the first dust removal roller 510 (step (I)). The support 10 then has foreign matter (not shown) removed from the back surface 10D as it is transported in contact with the circumferential surface 520S of the third dust removal roller 520 (step (V)). The support 10 is then sent to the layer formation section 200. As in the first example, a resin composition layer 20 is formed on the release surface 10U of the support 10 in the layer formation section 200 to obtain a resin sheet 30 (step (II)), and the resin sheet 30 is then sent to the lamination section 400.

また、製造装置2を用いた積層樹脂シート50の製造方法では、保護フィルム40が保護フィルム除塵部600に供給され、第二除塵ローラー610及び第四除塵ローラー620を経由して搬送される。保護フィルム除塵部600に供給された保護フィルム40は、第二除塵ローラー610の周面610Sと接触して搬送されるときに第一面40Dから異物(図示せず)を除去され(工程(III))、第四除塵ローラー620の周面620Sと接触して搬送されるときに第二面40Uから異物(図示せず)を除去される(工程(VI))。その後、保護フィルム40は、ラミネート部400へと送り出される。 In addition, in the method for manufacturing the laminated resin sheet 50 using the manufacturing apparatus 2, the protective film 40 is supplied to the protective film dust removal unit 600 and transported via the second dust removal roller 610 and the fourth dust removal roller 620. When the protective film 40 supplied to the protective film dust removal unit 600 is transported in contact with the circumferential surface 610S of the second dust removal roller 610, foreign matter (not shown) is removed from the first surface 40D (step (III)), and when the protective film 40 is transported in contact with the circumferential surface 620S of the fourth dust removal roller 620, foreign matter (not shown) is removed from the second surface 40U (step (VI)). The protective film 40 is then sent to the laminating unit 400.

ラミネート部400へ送られた樹脂シート30及び保護フィルム40は、第一の例と同様に、チャンバ430内で押圧ローラー410及び420によって樹脂組成物層20と保護フィルム40の第一面40Dとが貼り合わせられるように積層されて、支持体10、樹脂組成物層20及び保護フィルム40をこの順に備える長尺の積層樹脂シート50が得られる。 As in the first example, the resin sheet 30 and protective film 40 sent to the laminating unit 400 are laminated in the chamber 430 by pressure rollers 410 and 420 so that the resin composition layer 20 and the first surface 40D of the protective film 40 are bonded together, resulting in a long laminated resin sheet 50 comprising the support 10, resin composition layer 20, and protective film 40 in this order.

<製造される積層樹脂シート>
上述した製造方法により、積層樹脂シート(保護フィルム付き樹脂シート)を製造することができる。この積層樹脂シートは、支持体の離型面に形成された樹脂組成物層を備える。離型面からは第一除塵ローラーと接触することで異物が除去されているから、当該離型面に付着した異物が樹脂組成物層に混入することを抑制できる。
<Manufactured laminated resin sheet>
The above-described manufacturing method can produce a laminated resin sheet (a resin sheet with a protective film). This laminated resin sheet includes a resin composition layer formed on the release surface of a support. Since foreign matter has been removed from the release surface by contact with the first dust removal roller, it is possible to prevent foreign matter adhering to the release surface from being mixed into the resin composition layer.

また、積層樹脂シートの樹脂組成物層は、保護フィルムの第一面と直に接している。保護フィルムの第一面からは、第二除塵ローラーと接触することで異物が除去されている。よって、当該第一面に付着した異物が樹脂組成物層に混入することを抑制できる。 In addition, the resin composition layer of the laminated resin sheet is in direct contact with the first surface of the protective film. Foreign matter is removed from the first surface of the protective film by contact with the second dust removal roller. This prevents foreign matter adhering to the first surface from being mixed into the resin composition layer.

従来から、支持体の離型面及び保護フィルムの第一面から異物を除去することは提案されていたが、それら従来の技術では、エアブロー等を用いた非接触式の装置を用いて異物を除去することが通常であった。これに対し、本実施形態では、除塵ローラーという接触式の装置を用いて異物の除去を行っているので、異物の除去を効果的に行うことができる。特に、100μm以下(好ましくは、数十μm以下程度)と小さい異物を効果的に除去できる点で、本実施形態に係る方法は優れる。 Conventionally, methods for removing foreign matter from the release surface of a support and the first surface of a protective film have been proposed, but these conventional techniques typically involve the use of non-contact devices such as air blowers to remove the foreign matter. In contrast, in this embodiment, the foreign matter is removed using a contact device called a dust removal roller, which allows for effective removal of the foreign matter. The method of this embodiment is particularly advantageous in that it can effectively remove small foreign matter of 100 μm or less (preferably, several tens of μm or less).

このように樹脂組成物層に異物が混入することを抑制できるから、本実施形態で製造された積層樹脂シートを用いて回路基板の製造を行う場合に、配線形成の歩留まりを高くできる。具体的には、配線間の間隙に異物が浸入して配線間の絶縁性能が意図せず低下することを抑制できる。さらに、異物上に配線層の一部が形成されることによって配線の形状が歪んだり、当該異物上の部分で配線が欠けたりすることを抑制できる。よって、意図した通りに機能できない配線の発生を抑制できるから、高い歩留まりで意図した通りの配線を形成することが可能である。 In this way, the incorporation of foreign matter into the resin composition layer can be suppressed, and when a circuit board is manufactured using the laminated resin sheet manufactured in this embodiment, the yield of wiring formation can be increased. Specifically, it is possible to suppress the intrusion of foreign matter into the gaps between wiring, which would otherwise unintentionally reduce the insulating performance between the wiring. Furthermore, it is possible to suppress distortion of the wiring shape or chipping of the wiring in the portion above the foreign matter, which would otherwise occur when part of the wiring layer is formed on the foreign matter. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of wiring that does not function as intended, making it possible to form the intended wiring with a high yield.

また、本実施形態で使用した除塵ローラーは、適切な範囲の粘着力を有する。よって、過剰な粘着によって支持体及び保護フィルムの搬送を乱すことを抑制できる。したがって、支持体及び保護フィルムにしわが発生することを抑制できるので、良好な搬送性を得ることができる。さらに、特に第一除塵ローラーが適切な範囲の粘着力を有することによれば、支持体の離型層が第一除塵ローラーに固着して支持体から除去されてしまうことを抑制できる。よって、回路基板の製造時に絶縁層からの支持体の剥離を円滑に行うことができる。したがって、回路基板の製造を簡単に行ったり、回路基板の歩留まりを向上させたりすることが可能である。 The dust removal roller used in this embodiment also has an appropriate range of adhesive strength. This prevents excessive adhesion from disrupting the transport of the support and protective film. This prevents wrinkles from forming in the support and protective film, resulting in good transportability. Furthermore, since the first dust removal roller in particular has an appropriate range of adhesive strength, it prevents the release layer of the support from adhering to the first dust removal roller and being removed from the support. This allows the support to be smoothly peeled from the insulating layer during circuit board production. This makes it possible to simplify circuit board production and improve circuit board yields.

第三除塵ローラーで支持体の裏面の異物を除去した場合、当該裏面の異物が樹脂組成物層に混入することを抑制できる。また、第四除塵ローラーで保護フィルムの第二面の異物を除去した場合、当該第二面の異物が樹脂組成物層に混入することを抑制できる。よって、樹脂組成物層への異物の混入を効果的に抑制できるから、配線形成の歩留まりを更に高くすることができる。 When foreign matter on the back surface of the support is removed with the third dust removal roller, the foreign matter on the back surface can be prevented from being mixed into the resin composition layer. Furthermore, when foreign matter on the second surface of the protective film is removed with the fourth dust removal roller, the foreign matter on the second surface can be prevented from being mixed into the resin composition layer. Therefore, the incorporation of foreign matter into the resin composition layer can be effectively prevented, further increasing the yield of wiring formation.

本実施形態に係る積層樹脂シートは、回路基板の形成に好ましく用いることができる。回路基板において、積層樹脂シートは、通常、絶縁層の形成に用いられる。具体的には、樹脂組成物層を硬化させて絶縁層を形成するために積層樹脂シートが好ましく用いられる。樹脂組成物層への異物の混入を抑制できるから、本実施形態に係る積層樹脂シートによれば、絶縁層上に形成される配線の形成の歩留まりを向上させることができる。 The laminate resin sheet according to this embodiment can be preferably used to form a circuit board. In a circuit board, the laminate resin sheet is typically used to form an insulating layer. Specifically, the laminate resin sheet is preferably used to form an insulating layer by curing a resin composition layer. Because the inclusion of foreign matter in the resin composition layer can be suppressed, the laminate resin sheet according to this embodiment can improve the yield of wiring formed on the insulating layer.

特に、一般的なシートから異物を除去する技術と比較して、回路基板の絶縁層形成用の積層樹脂シートにおいて樹脂組成物層への異物の混入を抑制できる本実施形態に係る技術には、下記の通り優れた意義がある。 In particular, compared to techniques for removing foreign matter from general sheets, the technology according to this embodiment, which can prevent foreign matter from being mixed into the resin composition layer in a laminate resin sheet used to form an insulating layer on a circuit board, has the following advantages:

あるシート上に配線層を形成する場合、一般には、そのシートの表面の異物が配線形成の障害となりうる。よって、通常は、そのシートの表面の異物を除去することが試みられる。しかし、絶縁層形成用の樹脂組成物層は、内層基板の表面にある凹凸を間隙なく充填することが求められるから、適切な温度において流動性を有しうる程度に柔軟であること等の特性が要求される。仮に、このように柔軟な樹脂組成物層に接触式の装置を用いて異物の除去を試みると、樹脂組成物層が変形ないし傷付きを生じるおそれがある。よって、樹脂組成物層の表面の異物を、接触式の装置を用いて除去することは、用途を考慮すると、難しい。 When forming a wiring layer on a sheet, foreign matter on the surface of the sheet can generally hinder wiring formation. Therefore, attempts are usually made to remove the foreign matter from the surface of the sheet. However, the resin composition layer used to form the insulating layer is required to fill the irregularities on the surface of the inner layer substrate without leaving any gaps, and therefore must have properties such as being flexible enough to remain fluid at an appropriate temperature. If an attempt were made to remove foreign matter from such a flexible resin composition layer using a contact-type device, the resin composition layer could be deformed or damaged. Therefore, considering the intended use, it is difficult to remove foreign matter from the surface of the resin composition layer using a contact-type device.

また、樹脂組成物層を用いて回路基板の絶縁層を形成する場合には、樹脂組成物層の表面に付着した異物だけでなく、当該樹脂組成物層の内部の異物も配線形成の障害となりうる。具体的には、回路基板を製造する際、通常は、保護フィルムを剥離して現れる樹脂組成物層と内層基板とを積層し、当該内層基板上に樹脂組成物層を形成する。その後、樹脂組成物層を硬化させて絶縁層を得た後、当該絶縁層上に配線を形成する。このとき、内層基板上に設けられた樹脂組成物層には、化学的又は物理的な加工処理が施されうる。加工処理としては、例えば、熱又は光で硬化性樹脂を反応させることによる硬化処理;ドリル、レーザー光等によるホール形成処理;樹脂残渣の除去のためのデスミア処理;配線形成のためのめっき処理;などが挙げられる。これらの加工処理を行うと、樹脂組成物層の内部にあった異物が表面に現れることがある。そして、そのように表面に現れた異物が、配線形成の障害となりうる。 Furthermore, when a resin composition layer is used to form an insulating layer for a circuit board, foreign matter adhering to the surface of the resin composition layer, as well as foreign matter inside the resin composition layer, can hinder wiring formation. Specifically, when manufacturing a circuit board, a resin composition layer, revealed by peeling off a protective film, is typically laminated with an inner layer substrate, and a resin composition layer is formed on the inner layer substrate. The resin composition layer is then cured to obtain an insulating layer, and wiring is then formed on the insulating layer. At this time, the resin composition layer provided on the inner layer substrate can be subjected to chemical or physical processing. Examples of processing include curing treatments that involve reacting a curable resin with heat or light; hole formation treatments using drills or laser light; desmearing to remove resin residue; and plating treatments for wiring formation. When these processing treatments are performed, foreign matter that was inside the resin composition layer can appear on the surface. These foreign matter that appear on the surface can then hinder wiring formation.

従来は、このように樹脂組成物層の内部の異物は、当該樹脂組成物層の原料である樹脂組成物に含まれると考えられていた。しかし、本発明者は、濾過によって樹脂組成物を十分に除去した場合であっても、異物を原因とした配線形成の歩留まりの低下が生じうることを見出した。そして、積層樹脂シートの製造過程においては従来は問題視されていなかった程度に小さい異物が樹脂組成物層に混入することがあり、そのように混入した小さい異物による歩留まりの低下が、配線の微細化及び高密度化によって顕在化したことを見出した。 It was previously thought that such foreign matter inside a resin composition layer was contained in the resin composition that is the raw material for that resin composition layer. However, the present inventors have discovered that even when the resin composition is thoroughly removed by filtration, foreign matter can cause a decrease in the yield of wiring formation. They have also discovered that during the manufacturing process of laminated resin sheets, foreign matter that is so small that it was not previously considered a problem can become mixed into the resin composition layer, and that the decrease in yield caused by such small foreign matter becomes apparent as wiring becomes finer and denser.

これに対し、上述した製造方法で製造される積層樹脂シートによれば、絶縁層形成のために求められる特性を満たす樹脂組成物層を用いながら、配線形成の歩留まりを下げる原因となりうる小さい異物を効果的に排除できる。よって、本実施形態に係る積層樹脂シートによれば、従来の技術では解決が困難であった配線形成の歩留まりの向上が可能であり、したがって、回路基板の絶縁層に好適である。 In contrast, the laminated resin sheet manufactured using the above-described manufacturing method uses a resin composition layer that meets the properties required for forming an insulating layer, while effectively eliminating small foreign objects that could reduce the yield of wiring formation. Therefore, the laminated resin sheet of this embodiment makes it possible to improve the yield of wiring formation, which was difficult to achieve with conventional technology, and is therefore suitable for use as an insulating layer in circuit boards.

<支持体の説明>
以下、本実施形態で使用される支持体について、詳細に説明する。
支持体は、離型層を備える。支持体は、離型層を最外層として備えるので、離型層は支持体の最表面に露出している。そして、その離型層の表面に、樹脂組成物層が形成される。通常、支持体は、基材層を備え、この基材層上に離型層を備える。
<Description of the support>
The support used in this embodiment will be described in detail below.
The support includes a release layer. The support includes the release layer as the outermost layer, so that the release layer is exposed on the outermost surface of the support. A resin composition layer is then formed on the surface of the release layer. Usually, the support includes a base layer, and the release layer is provided on the base layer.

基材層としては、例えば、熱可塑性樹脂フィルム、金属箔、離型紙が挙げられ、熱可塑性樹脂フィルム及び金属箔が好ましい。基材層として熱可塑性樹脂フィルムを使用する場合、基材層が含む熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル、ポリカーボネート(PC)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)等のアクリルポリマー、環状ポリオレフィン、トリアセチルセルロース(TAC)、ポリエーテルサルファイド(PES)、ポリエーテルケトン、ポリイミド等が挙げられる。中でも、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートが好ましく、安価なポリエチレンテレフタレートが特に好ましい。 Examples of the substrate layer include thermoplastic resin film, metal foil, and release paper, with thermoplastic resin film and metal foil being preferred. When a thermoplastic resin film is used as the substrate layer, examples of the thermoplastic resin contained in the substrate layer include polyesters such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN), acrylic polymers such as polycarbonate (PC) and polymethyl methacrylate (PMMA), cyclic polyolefins, triacetyl cellulose (TAC), polyether sulfide (PES), polyether ketone, and polyimide. Among these, polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate are preferred, with inexpensive polyethylene terephthalate being particularly preferred.

基材層として金属箔を使用する場合、金属箔としては、例えば、銅箔、アルミニウム箔等が挙げられ、銅箔が好ましい。銅箔としては、銅の単金属からなる箔を用いてもよく、銅と他の金属(例えば、スズ、クロム、銀、マグネシウム、ニッケル、ジルコニウム、ケイ素、チタン等)との合金からなる箔を用いてもよい。 When a metal foil is used as the substrate layer, examples of the metal foil include copper foil and aluminum foil, with copper foil being preferred. The copper foil may be a foil made of the single metal copper, or a foil made of an alloy of copper and another metal (e.g., tin, chromium, silver, magnesium, nickel, zirconium, silicon, titanium, etc.).

基材層は、離型層側の面に、マット処理、コロナ処理、帯電防止処理等の表面処理を施してあってもよい。 The surface of the base layer facing the release layer may be subjected to a surface treatment such as matte treatment, corona treatment, or antistatic treatment.

基材層の厚さは、特に限定されないが、5μm~75μmの範囲が好ましく、10μm~60μmの範囲がより好ましい。 The thickness of the substrate layer is not particularly limited, but is preferably in the range of 5 μm to 75 μm, and more preferably in the range of 10 μm to 60 μm.

離型層は、支持体の剥離に要する力(ピール強度)を小さくする作用を有する層である。具体的には、剥離層の作用により、樹脂組成物層又はその硬化物である絶縁層に直に接する基材層を剥離するために要する力に比べ、樹脂組成物層又は絶縁層に離型層で接する支持体を剥離するために要する力を、小さくできる。 The release layer acts to reduce the force (peel strength) required to peel the support. Specifically, the release layer acts to reduce the force required to peel the support that is in contact with the resin composition layer or insulating layer via the release layer, compared to the force required to peel the substrate layer that is in direct contact with the resin composition layer or the insulating layer that is its cured product.

離型層は、通常、離型剤から形成される。離型剤としては、例えば、樹脂を用いうる。一般に、離型剤としての樹脂は、離型性を付与することができる成分としての離型性成分を含み、更に必要に応じて離型性成分以外の任意の成分を含みうる。よって、離型層は、一例において、離型性成分を含み、更に必要に応じて任意の成分を含みうる。また、離型層は、別の一例においては、離型剤が含む成分の一部又は全部が重合反応及び架橋反応等の反応によって結合し、当該離型剤が硬化することによって形成されうる。この例においては、離型層は、離型剤に含まれる離型性成分及び任意の成分、並びにそれらの反応生成物(例えば、重合体)からなる群より選択される1以上の成分を含みうる。離型性成分としては、離型層の表面自由エネルギーを低下させたり、離型層の静摩擦係数を低下させたりする機能を発揮できる化合物を用いうる。 The release layer is typically formed from a release agent. Examples of the release agent include resins. Generally, resins used as release agents contain a release component that provides releasability and may further contain optional components other than the release component, as needed. Thus, in one example, the release layer contains the release component and may further contain optional components as needed. In another example, the release layer may be formed by bonding some or all of the components contained in the release agent through a reaction such as a polymerization reaction or a crosslinking reaction, followed by curing the release agent. In this example, the release layer may contain one or more components selected from the group consisting of the release component and optional components contained in the release agent, as well as their reaction products (e.g., polymers). The release component may be a compound that can reduce the surface free energy of the release layer or the static coefficient of friction of the release layer.

離型性成分としては、例えば、長鎖アルキル基含有樹脂、オレフィン樹脂、フッ素化合物、ワックス系化合物などが挙げられる。 Release components include, for example, long-chain alkyl group-containing resins, olefin resins, fluorine compounds, and wax-based compounds.

長鎖アルキル基含有樹脂は、長鎖アルキル基を含有する樹脂を表す。また、長鎖アルキル基とは、炭素原子数が通常12以上、好ましくは16以上のアルキル基を表す。このように長い炭素鎖を分子中に含有す樹脂は、一般に高い疎水性を有するので、高い離型性を発揮できる。長鎖アルキル基の炭素原子数の上限は、例えば、25以下でありうる。長鎖アルキル基含有樹脂の具体例としては、テトラデシルアクリレート、オクタデシルアクリレート等の長鎖アクリルアクリレート;テトラデシルメタクリレート、オクタデシルメタクリレート等の長鎖アクリルメタクリレート;並びに、これらの重合体;などの、長鎖アルキル基を含有する(メタ)アクリル樹脂が挙げられる。用語「(メタ)アクリル樹脂」は、別に断らない限り、(メタ)アクリル化合物及びその重合体を包含する。また、用語「(メタ)アクリル化合物」は、別に断らない限り、アクリロイル基を含有するアクリル化合物、メタクリロイル基を含有するメタクリロイル化合物、及びそれらの組み合わせを包含する。さらに、用語「重合体」には、別に断らない限り、単独重合体及び共重合体がいずれも包含される。 A long-chain alkyl group-containing resin refers to a resin containing a long-chain alkyl group. Furthermore, a long-chain alkyl group typically refers to an alkyl group having 12 or more carbon atoms, preferably 16 or more. Resins containing such long carbon chains in their molecules generally have high hydrophobicity and therefore exhibit excellent mold releasability. The upper limit of the number of carbon atoms in the long-chain alkyl group may be, for example, 25 or less. Specific examples of long-chain alkyl group-containing resins include (meth)acrylic resins containing long-chain alkyl groups, such as long-chain acrylic acrylates such as tetradecyl acrylate and octadecyl acrylate; long-chain acrylic methacrylates such as tetradecyl methacrylate and octadecyl methacrylate; and polymers thereof. The term "(meth)acrylic resin" includes (meth)acrylic compounds and their polymers, unless otherwise specified. The term "(meth)acrylic compound" includes acrylic compounds containing acryloyl groups, methacryloyl compounds containing methacryloyl groups, and combinations thereof, unless otherwise specified. Furthermore, the term "polymer" includes both homopolymers and copolymers, unless otherwise specified.

オレフィン樹脂としては、例えば、プロピレン、1-ブテン、1-ペンテン、1-ヘキセン、4-メチル-1-ペンテン、1-ヘプテン、1-オクテン、1-ノネン、1-デセン、1-ウンデセン、1-ドデセンなどが挙げられる。 Examples of olefin resins include propylene, 1-butene, 1-pentene, 1-hexene, 4-methyl-1-pentene, 1-heptene, 1-octene, 1-nonene, 1-decene, 1-undecene, and 1-dodecene.

フッ素化合物は、分子中にフッ素原子を含有する化合物を表す。フッ素化合物の具体例としては、パーフルオロアルキル基含有化合物、フッ素原子を含有するオレフィン化合物の重合体、フルオロベンゼン等の芳香族フッ素化合物、フッ素原子を含有する(メタ)アクリル樹脂、などが挙げられる。中でも、フッ素原子を含有する(メタ)アクリル樹脂が好ましい。フッ素原子を含有する(メタ)アクリル樹脂としては、例えば、トリフルオロエチルアクリレート等のフルオロアルキルアクリレート;ペンタフルオロフェニルアクリレート等のフルオロアリールアクリレート;トリフルオロエチルメタクリレート等のフルオロアルキルメタクリレート;ペンタフルオロフェニルメタクリレート等のフルオロアリールメタクリレート;並びに、これらの重合体;などが挙げられる。 A fluorine compound refers to a compound that contains fluorine atoms in its molecule. Specific examples of fluorine compounds include perfluoroalkyl group-containing compounds, polymers of olefin compounds that contain fluorine atoms, aromatic fluorine compounds such as fluorobenzene, and (meth)acrylic resins that contain fluorine atoms. Of these, (meth)acrylic resins that contain fluorine atoms are preferred. Examples of (meth)acrylic resins that contain fluorine atoms include fluoroalkyl acrylates such as trifluoroethyl acrylate; fluoroaryl acrylates such as pentafluorophenyl acrylate; fluoroalkyl methacrylates such as trifluoroethyl methacrylate; fluoroaryl methacrylates such as pentafluorophenyl methacrylate; and polymers thereof.

ワックス系化合物としては、例えば、天然ワックス、合成ワックス、及びそれらを組み合わせたワックスが挙げられる。天然ワックスには、植物系ワックス、動物系ワックス、鉱物系ワックス及び石油ワックスが包含される。植物系ワックスとしては、例えば、キャンデリラワックス、カルナウバワックス、ライスワックス、木ロウ、ホホバ油が挙げられる。動物系ワックスとしては、例えば、みつろう、ラノリン、鯨ロウが挙げられる。鉱物系ワックスとしては、例えば、モンタンワックス、オゾケライト、セレシンが挙げられる。石油ワックスとしては、例えば、パラフィンワックス、マイクロクリスタリンワックス、ペトロラタムが挙げられる。合成ワックスとしては、例えば、合成炭化水素、変性ワックス、水素化ワックス、脂肪酸、酸アミド、アミン、イミド、エステル、ケトンが挙げられる。合成炭化水素としては、例えば、フィッシャー・トロプシュワックス(別名サゾワールワックス)、ポリエチレンワックスが挙げられる。また、合成炭化水素には、ポリプロピレン、エチレン・アクリル酸共重合体、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコールとポリプロピレングリコールとのブロック結合体、及び、ポリエチレングリコールとポリプロピレングリコールとのグラフト結合体、からなる群より選ばれるポリマーのうち、低分子量(具体的には粘度平均分子量500以上20000以下)のものが含まれうる。変性ワックスとしては、例えば、モンタンワックス誘導体、パラフィンワックス誘導体、マイクロクリスタリンワックス誘導体が挙げられる。ここでの誘導体とは、精製、酸化、エステル化、ケン化のいずれかの処理、またはそれらの組み合わせによって得られる化合物を表す。水素化ワックスとしては、例えば、硬化ひまし油、および硬化ひまし油誘導体が挙げられる。 Wax-based compounds include, for example, natural waxes, synthetic waxes, and combinations thereof. Natural waxes include vegetable waxes, animal waxes, mineral waxes, and petroleum waxes. Vegetable waxes include, for example, candelilla wax, carnauba wax, rice wax, Japan wax, and jojoba oil. Animal waxes include, for example, beeswax, lanolin, and spermaceti. Mineral waxes include, for example, montan wax, ozokerite, and ceresin. Petroleum waxes include, for example, paraffin wax, microcrystalline wax, and petrolatum. Synthetic waxes include, for example, synthetic hydrocarbons, modified waxes, hydrogenated waxes, fatty acids, acid amides, amines, imides, esters, and ketones. Synthetic hydrocarbons include, for example, Fischer-Tropsch wax (also known as Sazoir wax) and polyethylene wax. Synthetic hydrocarbons may also include low-molecular-weight polymers (specifically, viscosity-average molecular weights of 500 to 20,000) selected from the group consisting of polypropylene, ethylene-acrylic acid copolymer, polyethylene glycol, polypropylene glycol, block conjugates of polyethylene glycol and polypropylene glycol, and graft conjugates of polyethylene glycol and polypropylene glycol. Modified waxes include, for example, montan wax derivatives, paraffin wax derivatives, and microcrystalline wax derivatives. The derivatives referred to here refer to compounds obtained by any of the following processes, or a combination of these: refining, oxidation, esterification, and saponification. Hydrogenated waxes include, for example, hydrogenated castor oil and hydrogenated castor oil derivatives.

離型性成分は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 The release component may be used alone or in combination of two or more types.

離型剤中の離型性成分の量は、離型剤の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは5質量%以上、より好ましくは10質量%以上、更に好ましくは15質量%以上であり、好ましくは90質量%以下、より好ましくは60質量%以下、更に好ましくは40質量%以下である。 The amount of releasable components in the release agent is preferably 5% by mass or more, more preferably 10% by mass or more, and even more preferably 15% by mass or more, relative to 100% by mass of the non-volatile components of the release agent; it is preferably 90% by mass or less, more preferably 60% by mass or less, and even more preferably 40% by mass or less.

また、離型層中の離型性成分の量は、離型層100質量%に対して、好ましくは5質量%以上、より好ましくは10質量%以上、更に好ましくは15質量%以上であり、好ましくは90質量%以下、より好ましくは60質量%以下、特に好ましくは40質量%以下である。 The amount of the release component in the release layer is preferably 5% by mass or more, more preferably 10% by mass or more, and even more preferably 15% by mass or more, relative to 100% by mass of the release layer; it is preferably 90% by mass or less, more preferably 60% by mass or less, and particularly preferably 40% by mass or less.

離型剤が含みうる任意の成分としては、例えば、離型性成分以外の任意の樹脂が挙げられる。任意の樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、メラミン樹脂、オキサゾリン化合物、カルボジイミド化合物、ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、(メタ)アクリル樹脂などが挙げられる。また、任意の樹脂としての(メタ)アクリル樹脂としては、例えば、アクリル酸、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸イソプロピル、アクリル酸n-ブチル、アクリル酸イソブチル、アクリル酸n-ヘキシル、アクリル酸ラウリル、アクリル酸2-エチルヘキシル、アクリル酸2-ヒドロキシエチル、アクリル酸ヒドロキシプロピル、アクリルアミド、N-メチロールアクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド等のアクリル化合物;メタクリル酸、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸イソプロピル、メタクリル酸n-ブチル、メタクリル酸イソブチル、メタクリル酸n-ヘキシル、メタクリル酸ラウリル、メタクリル酸2-ヒドロキシエチル、メタクリル酸ヒドロキシプロピル等のメタクリル化合物;並びに、これらの重合体;などが挙げられる。任意の樹脂は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 Optional components that may be contained in the release agent include, for example, any resin other than the release component. Examples of optional resins include epoxy resins, melamine resins, oxazoline compounds, carbodiimide compounds, polyester resins, urethane resins, and (meth)acrylic resins. Examples of optional (meth)acrylic resins include acrylic compounds such as acrylic acid, methyl acrylate, ethyl acrylate, isopropyl acrylate, n-butyl acrylate, isobutyl acrylate, n-hexyl acrylate, lauryl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, hydroxypropyl acrylate, acrylamide, N-methylolacrylamide, and diacetone acrylamide; methacrylic compounds such as methacrylic acid, methyl methacrylate, ethyl methacrylate, isopropyl methacrylate, n-butyl methacrylate, isobutyl methacrylate, n-hexyl methacrylate, lauryl methacrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, and hydroxypropyl methacrylate; and polymers thereof. Any of the resins may be used alone or in combination of two or more.

離型剤中の任意の樹脂の量は、離型剤の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは10質量%以上、より好ましくは20質量%以上、更に好ましくは40質量%以上であり、好ましくは90質量%以下、より好ましくは85質量%以下、更に好ましくは80質量%以下である。 The amount of any resin in the release agent is preferably 10% by mass or more, more preferably 20% by mass or more, and even more preferably 40% by mass or more, relative to 100% by mass of the non-volatile components of the release agent; it is preferably 90% by mass or less, more preferably 85% by mass or less, and even more preferably 80% by mass or less.

また、離型層中の任意の樹脂の量は、離型層100質量%に対して、好ましくは10質量%以上、より好ましくは20質量%以上、更に好ましくは40質量%以上であり、好ましくは90質量%以下、より好ましくは85質量%以下、更に好ましくは80質量%以下である。 The amount of any resin in the release layer is preferably 10% by weight or more, more preferably 20% by weight or more, and even more preferably 40% by weight or more, relative to 100% by weight of the release layer, and is preferably 90% by weight or less, more preferably 85% by weight or less, and even more preferably 80% by weight or less.

任意の成分の更に別の例としては、易滑剤、無機粒子、有機粒子、界面活性剤、酸化防止剤、熱開始剤などの任意の添加剤が挙げられる。任意の添加剤は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。任意の添加剤の量は、特に制限されないが、例えば、離型性成分及び任意の樹脂の合計100質量%に対して、0.001質量%以上10質量%以下でありうる。 Further examples of optional components include optional additives such as lubricants, inorganic particles, organic particles, surfactants, antioxidants, and thermal initiators. One type of optional additive may be used alone, or two or more types may be used in combination. The amount of optional additive is not particularly limited, but may be, for example, 0.001% by mass or more and 10% by mass or less, relative to 100% by mass of the total of the release component and optional resin.

上述した離型剤としては、例えば、アルキド系離型剤、ポリオレフィン系離型剤、ウレタン系離型剤、メラミン系離型剤、フッ素系離型剤、アクリル系離型剤、及び、シリコン系離型剤などが挙げられる。中でも、絶縁性に優れる絶縁層を備える回路基板を製造する観点では、非シリコン系離型剤が好ましい。更には、異物の除去を特に円滑に行う観点では、アクリル系離型剤が更に好ましい。アクリル系離型剤は、離型性成分及び任意の樹脂の一方又は両方として(メタ)アクリル樹脂を含む離型剤を表す。 Examples of the above-mentioned release agents include alkyd-based release agents, polyolefin-based release agents, urethane-based release agents, melamine-based release agents, fluorine-based release agents, acrylic-based release agents, and silicone-based release agents. Among these, non-silicone-based release agents are preferred from the perspective of producing circuit boards with insulating layers that have excellent insulating properties. Furthermore, acrylic-based release agents are even more preferred from the perspective of particularly smoothly removing foreign matter. An acrylic-based release agent refers to a release agent that contains a (meth)acrylic resin as either or both of the release component and optional resin.

離型層の厚みは、特に制限はないが、好ましくは50nm以上、より好ましくは70nm以上であり、好ましくは400nm以下、より好ましくは200nm以下、特に好ましくは130nm以下である。 There are no particular restrictions on the thickness of the release layer, but it is preferably 50 nm or more, more preferably 70 nm or more, and preferably 400 nm or less, more preferably 200 nm or less, and particularly preferably 130 nm or less.

支持体として、通常、シート状の部材を用いる。支持体は、枚葉のシートであってもよいが、積層樹脂シートの連続的な製造を可能にして製造効率を高める観点から、長尺のシートであることが好ましい。長尺のシートとは、別に断らない限り、ロール状に巻き取り可能な程度の長さを有するシートをいい、例えば、幅に対して10倍以上の長さを有するシートでありうる。 A sheet-like member is usually used as the support. The support may be a single sheet, but from the perspective of enabling continuous production of laminated resin sheets and increasing production efficiency, a long sheet is preferable. Unless otherwise specified, a long sheet refers to a sheet that is long enough to be wound into a roll, and can be, for example, a sheet that is 10 times or more long compared to its width.

支持体の厚さは、特に限定されないが、5μm~75μmの範囲が好ましく、10μm~60μmの範囲がより好ましい。 The thickness of the support is not particularly limited, but is preferably in the range of 5 μm to 75 μm, and more preferably in the range of 10 μm to 60 μm.

支持体は、例えば、基材層の面に離型剤を塗布することを含む方法によって製造できる。離型剤は、上述した離型性成分及び任意の成分といった不揮発成分に組み合わせて、更に溶剤を含んでいてもよい。離型剤が溶剤を含む場合、支持体の製造方法は、離型剤を塗布した後に乾燥することを含むことが好ましい。 The support can be manufactured, for example, by a method that includes applying a release agent to the surface of the base layer. The release agent may further contain a solvent in combination with the non-volatile components, such as the releasable component and optional components, described above. When the release agent contains a solvent, the method for manufacturing the support preferably includes applying the release agent and then drying it.

溶剤としては、溶剤の急激な蒸発を抑制して均一な離型層を形成する観点から、水系溶剤が好ましい。水系溶剤としては、例えば、水;水と、アルコール溶剤、ケトン溶剤、グリコール溶剤等の、水に可溶な有機溶剤との混合溶剤;が挙げられる。溶剤は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。溶剤を使用する場合、塗布性を良好にして均一な離型層を形成する観点から、離型剤の不揮発成分濃度は、好ましくは40質量%以下である。 Aqueous solvents are preferred as the solvent, as they prevent rapid evaporation of the solvent and allow for the formation of a uniform release layer. Examples of aqueous solvents include water; and mixed solvents of water and water-soluble organic solvents such as alcohol solvents, ketone solvents, and glycol solvents. One type of solvent may be used alone, or two or more types may be used in combination. When using a solvent, the concentration of non-volatile components in the release agent is preferably 40% by mass or less, in order to ensure good coatability and the formation of a uniform release layer.

離型剤の塗布方法としては、例えば、ワイヤーバーコート法、リバースコート法、グラビアコート法、ダイコート法、ブレードコート法、ディップコート法、エアーナイフコート法、カーテンコート法、ローラーコート法などが挙げられる。 Examples of methods for applying the release agent include wire bar coating, reverse coating, gravure coating, die coating, blade coating, dip coating, air knife coating, curtain coating, and roller coating.

離型剤の乾燥温度は、特に制限はない。一例においては、80℃以上130℃以下の温度範囲で乾燥を行ってもよい。また、別の一例においては、160℃以上240℃以下の温度範囲で乾燥を行ってもよい。 There are no particular restrictions on the drying temperature of the release agent. In one example, drying may be performed at a temperature range of 80°C or higher and 130°C or lower. In another example, drying may be performed at a temperature range of 160°C or higher and 240°C or lower.

基材層の面に離型剤を塗布し、必要に応じて乾燥を行うことにより、離型剤の不揮発成分を含む層を形成できる。この層を離型層として用いてもよい。また、離型剤の不揮発成分を含む前記の層に硬化処理を施して、離型層を得てもよい。硬化処理としては、例えば、加熱処理、紫外線照射処理などが挙げられる。通常は、前記の硬化処理によって離型剤に含まれる一部又は全部の成分の重合反応及び架橋反応等の反応が進行して、離型剤を硬化させることができるので、離型剤の硬化物からなる離型層を得ることができる。 A layer containing the non-volatile components of the release agent can be formed by applying a release agent to the surface of the substrate layer and drying it as necessary. This layer may be used as the release layer. Alternatively, the layer containing the non-volatile components of the release agent may be cured to obtain the release layer. Examples of curing treatments include heating and ultraviolet irradiation. Typically, the curing treatment promotes polymerization and crosslinking reactions of some or all of the components contained in the release agent, thereby curing the release agent, and a release layer made of the cured product of the release agent can be obtained.

また、支持体の製造方法は、必要に応じて、延伸処理等の任意の処理を含んでいてもよい。 The method for manufacturing the support may also include optional processes such as stretching, if necessary.

<保護フィルムの説明>
以下、本実施形態で使用される保護フィルムについて、詳細に説明する。
保護フィルムは、樹脂組成物層を物理的ダメージから守ったり、ゴミ等の異物付着を抑制したりするために、樹脂組成物層に積層されるフィルムである。通常、回路基板の製造時には保護フィルムは不要となるので、一般に、保護フィルムは樹脂組成物層に剥離可能に積層される。
<Protective film explanation>
The protective film used in this embodiment will be described in detail below.
The protective film is a film laminated on the resin composition layer in order to protect the resin composition layer from physical damage and to suppress adhesion of foreign matter such as dust, etc. Since the protective film is usually not required during the production of a circuit board, the protective film is generally laminated on the resin composition layer in a peelable manner.

保護フィルムとしては、例えば、熱可塑性樹脂フィルム、金属箔が挙げられる。保護フィルムとして熱可塑性樹脂フィルムを使用する場合、保護フィルムが含む熱可塑性樹脂としては、基材層が含む熱可塑性樹脂と同じ例が挙げられる。また、保護フィルムは、延伸処理を施された延伸フィルムであってもよい。また、保護フィルムとして金属箔を使用する場合、当該金属箔としては、基材層の金属箔と同じ例が挙げられる。保護フィルムの市販品としては、例えば、王子エフテックス社製の「MA430」、「MA411」(二軸延伸ポリプロピレンフィルム)等が挙げられる。 Examples of protective films include thermoplastic resin films and metal foils. When a thermoplastic resin film is used as the protective film, the thermoplastic resin contained in the protective film can be the same as the thermoplastic resin contained in the base layer. The protective film can also be a stretched film that has been subjected to a stretching process. When a metal foil is used as the protective film, the metal foil can be the same as the metal foil used in the base layer. Commercially available protective films include "MA430" and "MA411" (biaxially oriented polypropylene films) manufactured by Oji F-Tex Co., Ltd.

保護フィルムの樹脂組成物層と接合する表面(即ち、保護フィルムの第一面)は、特定の範囲の算術平均粗さを有していてもよい。具体的には、保護フィルムの第一面の算術平均粗さは、好ましくは150nm以上、より好ましくは200nm以上、さらに好ましくは250nm以上であり、好ましくは2000nm以下、より好ましくは1500nm以下、さらに好ましくは1200nm以下である。算術平均粗さは、非接触型表面粗さ計を用いて測定することができる。非接触型表面粗さ計の具体例としては、ビーコインスツルメンツ社製の「WYKO NT3300」が挙げられる。算術平均粗さは、例えば、非接触型表面粗さ計を用いてVSIモード、50倍レンズにより測定範囲を121μm×92μmとして測定することができる。 The surface of the protective film that is bonded to the resin composition layer (i.e., the first surface of the protective film) may have an arithmetic mean roughness within a specific range. Specifically, the arithmetic mean roughness of the first surface of the protective film is preferably 150 nm or more, more preferably 200 nm or more, even more preferably 250 nm or more, and preferably 2000 nm or less, more preferably 1500 nm or less, and even more preferably 1200 nm or less. The arithmetic mean roughness can be measured using a non-contact surface roughness meter. A specific example of a non-contact surface roughness meter is the "WYKO NT3300" manufactured by Veeco Instruments. The arithmetic mean roughness can be measured, for example, using a non-contact surface roughness meter in VSI mode with a 50x magnification lens and a measurement range of 121 μm x 92 μm.

保護フィルムは、離型層を備えていてもよい。離型層は、通常、第一面側の最外層として形成されるので、その離型層は保護フィルムの第一面に露出しうる。保護フィルムの離型層としては、支持体の離型層と同じものを用いてもよい。 The protective film may have a release layer. The release layer is usually formed as the outermost layer on the first surface side, so that the release layer can be exposed on the first surface of the protective film. The release layer of the protective film may be the same as the release layer of the support.

保護フィルムの厚さは、好ましくは5μm以上、より好ましくは10μm以上であり、好ましくは75μm以下、より好ましくは50μm以下、さらに好ましくは40μm以下である。離型層を備える保護フィルムを使用する場合、離型層を含む保護フィルムの全体厚さが上記範囲にあることが好適である。 The thickness of the protective film is preferably 5 μm or more, more preferably 10 μm or more, and preferably 75 μm or less, more preferably 50 μm or less, and even more preferably 40 μm or less. When using a protective film with a release layer, it is preferable that the total thickness of the protective film including the release layer be within the above range.

保護フィルムは、枚葉のフィルムであってもよいが、積層樹脂シートの連続的な製造を可能にして製造効率を高める観点から、長尺のフィルムであることが好ましい。長尺のフィルムとは、別に断らない限り、ロール状に巻き取り可能な程度の長さを有するフィルムをいい、例えば、幅に対して10倍以上の長さを有するフィルムでありうる。 The protective film may be a sheet of film, but from the perspective of enabling continuous production of laminated resin sheets and increasing production efficiency, it is preferable that it be a long film. Unless otherwise specified, a long film refers to a film that is long enough to be wound into a roll, and can be, for example, a film that is 10 times or more long compared to its width.

<硬化性樹脂組成物の説明>
以下、本実施形態で使用される硬化性樹脂組成物について、詳細に説明する。
硬化性樹脂組成物は、硬化可能な樹脂組成物であり、通常は、熱及び光の一方又は両方によって硬化できる。この硬化性樹脂組成物としては、(A)硬化性樹脂を含む組成物を用いうる。以下、硬化性樹脂組成物の組成の具体例を説明するが、硬化性樹脂組成物としては下記に例示する以外のものを用いてもよい。
<Description of Curable Resin Composition>
The curable resin composition used in this embodiment will be described in detail below.
The curable resin composition is a curable resin composition, and can usually be cured by one or both of heat and light. As this curable resin composition, a composition containing a curable resin (A) can be used. Specific examples of the composition of the curable resin composition will be described below, but curable resin compositions other than those exemplified below may also be used.

-(A)硬化性樹脂-
硬化性樹脂組成物が含みうる(A)硬化性樹脂は、通常、熱硬化性樹脂及び光硬化性樹脂からなる群より選ばれる。(A)硬化性樹脂としては、熱硬化性樹脂のみを用いてもよく、光硬化性樹脂のみを用いてもよく、熱硬化性樹脂及び光硬化性樹脂を組み合わせて用いてもよい。また、(A)硬化性樹脂は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。
-(A) Curing resin-
The curable resin (A) that can be contained in the curable resin composition is usually selected from the group consisting of thermosetting resins and photocurable resins. As the curable resin (A), only a thermosetting resin may be used, only a photocurable resin may be used, or a combination of a thermosetting resin and a photocurable resin may be used. Furthermore, the curable resin (A) may be used alone or in combination of two or more types.

熱硬化性樹脂としては、熱を加えられた場合に硬化可能な樹脂を用いることができる。熱硬化性樹脂の例としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、活性エステル樹脂、シアネート樹脂、カルボジイミド樹脂、酸無水物樹脂、アミン樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、チオール樹脂、及び、ラジカル重合性樹脂などが挙げられる。熱硬化性樹脂は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 Thermosetting resins can be resins that can be hardened when heat is applied. Examples of thermosetting resins include epoxy resins, phenolic resins, active ester resins, cyanate resins, carbodiimide resins, acid anhydride resins, amine resins, benzoxazine resins, thiol resins, and radical polymerizable resins. One type of thermosetting resin may be used alone, or two or more types may be used in combination.

一例においては、エポキシ樹脂と、そのエポキシ樹脂と反応して硬化性樹脂組成物を硬化させうる樹脂とを組み合わせて用いることが好ましい。エポキシ樹脂と反応して硬化性樹脂組成物を硬化させうる樹脂を、以下「硬化剤」と呼ぶことがある。硬化剤としては、例えば、フェノール樹脂、活性エステル樹脂、シアネート樹脂、カルボジイミド樹脂、酸無水物樹脂、アミン樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、チオール樹脂などが挙げられる。中でも、フェノール樹脂、活性エステル樹脂、シアネート樹脂及びカルボジイミド樹脂が好ましく、フェノール樹脂及び活性エステル樹脂がより好ましい。また、硬化剤は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 In one example, it is preferable to use a combination of an epoxy resin and a resin that can react with the epoxy resin to cure the curable resin composition. Hereinafter, a resin that can react with an epoxy resin to cure the curable resin composition may be referred to as a "curing agent." Examples of curing agents include phenolic resins, active ester resins, cyanate resins, carbodiimide resins, acid anhydride resins, amine resins, benzoxazine resins, and thiol resins. Among these, phenolic resins, active ester resins, cyanate resins, and carbodiimide resins are preferred, with phenolic resins and active ester resins being more preferred. Furthermore, one type of curing agent may be used alone, or two or more types may be used in combination.

エポキシ樹脂は、エポキシ基を有する硬化性樹脂である。エポキシ樹脂としては、例えば、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、tert-ブチル-カテコール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、線状脂肪族エポキシ樹脂、ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、スピロ環含有エポキシ樹脂、シクロヘキサン型エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、トリメチロール型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂、イソシアヌラート型エポキシ樹脂、フェノールフタルイミジン型エポキシ樹脂等が挙げられる。エポキシ樹脂は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 Epoxy resin is a curable resin containing epoxy groups. Examples of epoxy resins include bixylenol type epoxy resins, bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, bisphenol S type epoxy resins, bisphenol AF type epoxy resins, dicyclopentadiene type epoxy resins, trisphenol type epoxy resins, naphthol novolac type epoxy resins, phenol novolac type epoxy resins, tert-butyl-catechol type epoxy resins, naphthalene type epoxy resins, naphthol type epoxy resins, anthracene type epoxy resins, glycidylamine type epoxy resins, glycidyl ester type epoxy resins, cresol novolac type epoxy resins, phenol aralkyl type epoxy resins, biphenyl type epoxy resins, linear aliphatic epoxy resins, epoxy resins having a butadiene structure, alicyclic epoxy resins, heterocyclic epoxy resins, spiro ring-containing epoxy resins, cyclohexane type epoxy resins, cyclohexane dimethanol type epoxy resins, naphthylene ether type epoxy resins, trimethylol type epoxy resins, tetraphenylethane type epoxy resins, isocyanurate type epoxy resins, and phenolphthalimidine type epoxy resins. One type of epoxy resin may be used alone, or two or more types may be used in combination.

エポキシ樹脂は、耐熱性に優れる硬化物を得る観点から、芳香族構造を含有するエポキシ樹脂を含むことが好ましい。芳香族構造とは、一般に芳香族と定義される化学構造であり、多環芳香族及び芳香族複素環をも含む。芳香族構造を含有するエポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、tert-ブチル-カテコール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、ビシキレノール型エポキシ樹脂、芳香族構造を有するグリシジルアミン型エポキシ樹脂、芳香族構造を有するグリシジルエステル型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、芳香族構造を有する線状脂肪族エポキシ樹脂、芳香族構造を有するブタジエン構造を有するエポキシ樹脂、芳香族構造を有する脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、芳香族構造を有するスピロ環含有エポキシ樹脂、芳香族構造を有するシクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、芳香族構造を有するトリメチロール型エポキシ樹脂、芳香族構造を有するテトラフェニルエタン型エポキシ樹脂等が挙げられる。 From the perspective of obtaining a cured product with excellent heat resistance, it is preferable that the epoxy resin contain an aromatic structure. An aromatic structure is a chemical structure generally defined as aromatic, and also includes polycyclic aromatics and aromatic heterocycles. Examples of epoxy resins containing an aromatic structure include bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, bisphenol S type epoxy resins, bisphenol AF type epoxy resins, dicyclopentadiene type epoxy resins, trisphenol type epoxy resins, naphthol novolac type epoxy resins, phenol novolac type epoxy resins, tert-butyl-catechol type epoxy resins, naphthalene type epoxy resins, naphthol type epoxy resins, anthracene type epoxy resins, bisxyleneol type epoxy resins, glycidylamine type epoxy resins having an aromatic structure, glycidyl ester type epoxy resins having an aromatic structure, cresol novolac type epoxy resins, biphenyl type epoxy resins, linear aliphatic epoxy resins having an aromatic structure, epoxy resins having a butadiene structure having an aromatic structure, alicyclic epoxy resins having an aromatic structure, heterocyclic epoxy resins, spiro ring-containing epoxy resins having an aromatic structure, cyclohexanedimethanol type epoxy resins having an aromatic structure, naphthylene ether type epoxy resins, trimethylol type epoxy resins having an aromatic structure, and tetraphenylethane type epoxy resins having an aromatic structure.

(A)硬化性樹脂は、エポキシ樹脂として、1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂を含むことが好ましい。エポキシ樹脂の不揮発成分100質量%に対して、1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂の割合は、好ましくは50質量%以上、より好ましくは60質量%以上、更に好ましくは70質量%以上である。 The (A) curable resin preferably contains an epoxy resin having two or more epoxy groups per molecule. The proportion of epoxy resin having two or more epoxy groups per molecule is preferably 50% by mass or more, more preferably 60% by mass or more, and even more preferably 70% by mass or more, based on 100% by mass of the non-volatile components of the epoxy resin.

エポキシ樹脂には、温度20℃で液状のエポキシ樹脂(以下「液状エポキシ樹脂」ということがある。)と、温度20℃で固体状のエポキシ樹脂(以下「固体状エポキシ樹脂」ということがある。)とがある。硬化性樹脂組成物は、エポキシ樹脂として、液状エポキシ樹脂のみを含んでいてもよく、或いは固体状エポキシ樹脂のみを含んでいてもよく、或いは液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂とを組み合わせて含んでいてもよい。 Epoxy resins include those that are liquid at a temperature of 20°C (hereinafter sometimes referred to as "liquid epoxy resins") and those that are solid at a temperature of 20°C (hereinafter sometimes referred to as "solid epoxy resins"). The curable resin composition may contain only liquid epoxy resins as the epoxy resin, or only solid epoxy resins, or a combination of liquid and solid epoxy resins.

液状エポキシ樹脂としては、1分子中に2個以上のエポキシ基を有する液状エポキシ樹脂が好ましい。 Preferably, the liquid epoxy resin is one having two or more epoxy groups per molecule.

液状エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂、シクロヘキサン型エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、及びブタジエン構造を有するエポキシ樹脂が好ましい。 Preferred liquid epoxy resins are bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, bisphenol AF type epoxy resins, naphthalene type epoxy resins, glycidyl ester type epoxy resins, glycidyl amine type epoxy resins, phenol novolac type epoxy resins, alicyclic epoxy resins with an ester skeleton, cyclohexane type epoxy resins, cyclohexane dimethanol type epoxy resins, and epoxy resins with a butadiene structure.

液状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC社製の「HP4032」、「HP4032D」、「HP4032SS」(ナフタレン型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「828US」、「828EL」、「jER828EL」、「825」、「エピコート828EL」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「jER807」、「1750」(ビスフェノールF型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「jER152」(フェノールノボラック型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「630」、「630LSD」、「604」(グリシジルアミン型エポキシ樹脂);ADEKA社製の「ED-523T」(グリシロール型エポキシ樹脂);ADEKA社製の「EP-3950L」、「EP-3980S」(グリシジルアミン型エポキシ樹脂);ADEKA社製の「EP-4088S」(ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂);日鉄ケミカル&マテリアル社製の「ZX1059」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂とビスフェノールF型エポキシ樹脂の混合品);ナガセケムテックス社製の「EX-721」(グリシジルエステル型エポキシ樹脂);ダイセル社製の「セロキサイド2021P」(エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂);ダイセル社製の「PB-3600」、日本曹達社製の「JP-100」、「JP-200」(ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂);日鉄ケミカル&マテリアル製の「ZX1658」、「ZX1658GS」(液状1,4-グリシジルシクロヘキサン型エポキシ樹脂)等が挙げられる。これらは、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 Specific examples of liquid epoxy resins include DIC's "HP4032," "HP4032D," and "HP4032SS" (naphthalene-type epoxy resins); Mitsubishi Chemical's "828US," "828EL," "jER828EL," "825," and "Epikote 828EL" (bisphenol A-type epoxy resins); Mitsubishi Chemical's "jER807" and "1750" (bisphenol F-type epoxy resins); Mitsubishi Chemical's "jER152" (phenol novolac-type epoxy resin); Mitsubishi Chemical's "630," "630LSD," and "604" (glycidylamine-type epoxy resins); ADEKA's "ED-523T" (glycilol-type epoxy resin); and ADEKA's "EP-3950L" and "EP-3980S." (glycidylamine type epoxy resin); ADEKA Corporation's "EP-4088S" (dicyclopentadiene type epoxy resin); Nippon Steel Chemical & Material Co., Ltd.'s "ZX1059" (a mixture of bisphenol A type epoxy resin and bisphenol F type epoxy resin); Nagase ChemteX Corporation's "EX-721" (glycidyl ester type epoxy resin); Daicel Corporation's "Celloxide 2021P" (alicyclic epoxy resin with an ester skeleton); Daicel Corporation's "PB-3600," Nippon Soda Co., Ltd.'s "JP-100" and "JP-200" (epoxy resins with a butadiene structure); Nippon Steel Chemical & Material's "ZX1658" and "ZX1658GS" (liquid 1,4-glycidylcyclohexane type epoxy resin). These may be used alone or in combination of two or more.

固体状エポキシ樹脂としては、1分子中に3個以上のエポキシ基を有する固体状エポキシ樹脂が好ましく、1分子中に3個以上のエポキシ基を有する芳香族系の固体状エポキシ樹脂がより好ましい。 As a solid epoxy resin, a solid epoxy resin having three or more epoxy groups per molecule is preferred, and an aromatic solid epoxy resin having three or more epoxy groups per molecule is more preferred.

固体状エポキシ樹脂としては、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂、フェノールフタルイミジン型エポキシ樹脂が好ましい。 Preferred solid epoxy resins include bixylenol-type epoxy resins, naphthalene-type epoxy resins, naphthalene-type tetrafunctional epoxy resins, naphthol novolac-type epoxy resins, cresol novolac-type epoxy resins, dicyclopentadiene-type epoxy resins, trisphenol-type epoxy resins, naphthol-type epoxy resins, biphenyl-type epoxy resins, naphthylene ether-type epoxy resins, anthracene-type epoxy resins, bisphenol A-type epoxy resins, bisphenol AF-type epoxy resins, phenol aralkyl-type epoxy resins, tetraphenylethane-type epoxy resins, and phenolphthalimidine-type epoxy resins.

固体状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC社製の「HP4032H」(ナフタレン型エポキシ樹脂);DIC社製の「HP-4700」、「HP-4710」(ナフタレン型4官能エポキシ樹脂);DIC社製の「N-690」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂);DIC社製の「N-695」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂);DIC社製の「HP-7200」、「HP-7200HH」、「HP-7200H」、「HP-7200L」(ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂);DIC社製の「EXA-7311」、「EXA-7311-G3」、「EXA-7311-G4」、「EXA-7311-G4S」、「HP6000」、「HP6000L」(ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂);日本化薬社製の「EPPN-502H」(トリスフェノール型エポキシ樹脂);日本化薬社製の「NC7000L」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂);日本化薬社製の「NC3000H」、「NC3000」、「NC3000L」、「NC3000FH」、「NC3100」(ビフェニル型エポキシ樹脂);日鉄ケミカル&マテリアル社製の「ESN475V」、「ESN4100V」(ナフタレン型エポキシ樹脂);日鉄ケミカル&マテリアル社製の「ESN485」(ナフトール型エポキシ樹脂);日鉄ケミカル&マテリアル社製の「ESN375」(ジヒドロキシナフタレン型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YX4000H」、「YX4000」、「YX4000HK」、「YL7890」(ビキシレノール型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YL6121」(ビフェニル型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YX8800」(アントラセン型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YX7700」(フェノールアラルキル型エポキシ樹脂);大阪ガスケミカル社製の「PG-100」、「CG-500」;三菱ケミカル社製の「YL7760」及び「YX7760」(ビスフェノールAF型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YL7800」(フルオレン型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「jER1010」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「jER1031S」(テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂);日本化薬社製の「WHR991S」(フェノールフタルイミジン型エポキシ樹脂)等が挙げられる。これらは、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 Specific examples of solid epoxy resins include DIC Corporation's "HP4032H" (naphthalene-type epoxy resin); DIC Corporation's "HP-4700" and "HP-4710" (naphthalene-type tetrafunctional epoxy resins); DIC Corporation's "N-690" (cresol novolac-type epoxy resin); DIC Corporation's "N-695" (cresol novolac-type epoxy resin); DIC Corporation's "HP-7200," "HP-7200HH," "HP-7200H," and "HP-7200L" (dicyclopentadiene-type epoxy resins); DIC Corporation's "EXA-7311" and "EXA "EXA-7311-G3", "EXA-7311-G4", "EXA-7311-G4S", "HP6000", "HP6000L" (naphthylene ether type epoxy resin); "EPPN-502H" (trisphenol type epoxy resin) manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.; "NC7000L" (naphthol novolac type epoxy resin) manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.; "NC3000H", "NC3000", "NC3000L", "NC3000FH", "NC3100" (biphenyl type epoxy resin) manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.; "ESN475V", "ESN4 100V (naphthalene-type epoxy resin); Nippon Steel Chemical & Material Co., Ltd.'s "ESN485" (naphthol-type epoxy resin); Nippon Steel Chemical & Material Co., Ltd.'s "ESN375" (dihydroxynaphthalene-type epoxy resin); Mitsubishi Chemical Corporation's "YX4000H", "YX4000", "YX4000HK", and "YL7890" (bixylenol-type epoxy resin); Mitsubishi Chemical Corporation's "YL6121" (biphenyl-type epoxy resin); Mitsubishi Chemical Corporation's "YX8800" (anthracene-type epoxy resin); Mitsubishi Chemical Corporation's "YX7700" (phenol aralkyl type epoxy resin); "PG-100" and "CG-500" manufactured by Osaka Gas Chemicals Co., Ltd.; "YL7760" and "YX7760" (bisphenol AF type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; "YL7800" (fluorene type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; "jER1010" (bisphenol A type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; "jER1031S" (tetraphenylethane type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; and "WHR991S" (phenolphthalimidine type epoxy resin) manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. These may be used alone or in combination of two or more types.

エポキシ樹脂として、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂とを組み合わせて用いる場合、それらの質量比(液状エポキシ樹脂:固体状エポキシ樹脂)は、好ましくは20:1~1:20、より好ましくは15:1~1:15、特に好ましくは10:1~1:10である。 When a liquid epoxy resin and a solid epoxy resin are used in combination as the epoxy resin, the mass ratio between them (liquid epoxy resin:solid epoxy resin) is preferably 20:1 to 1:20, more preferably 15:1 to 1:15, and particularly preferably 10:1 to 1:10.

エポキシ樹脂のエポキシ当量は、好ましくは50g/eq.~5,000g/eq.、より好ましくは60g/eq.~3,000g/eq.、さらに好ましくは80g/eq.~2,000g/eq.、特に好ましくは110g/eq.~1,000g/eq.である。エポキシ当量は、エポキシ基1当量あたりの樹脂の質量を表す。このエポキシ当量は、JIS K7236に従って測定することができる。 The epoxy equivalent of the epoxy resin is preferably 50 g/eq. to 5,000 g/eq., more preferably 60 g/eq. to 3,000 g/eq., even more preferably 80 g/eq. to 2,000 g/eq., and particularly preferably 110 g/eq. to 1,000 g/eq. Epoxy equivalent represents the mass of resin per equivalent of epoxy groups. This epoxy equivalent can be measured in accordance with JIS K7236.

エポキシ樹脂の重量平均分子量(Mw)は、好ましくは100~5,000、より好ましくは250~3,000、さらに好ましくは400~1,500である。樹脂の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により、ポリスチレン換算の値として測定できる。 The weight-average molecular weight (Mw) of the epoxy resin is preferably 100 to 5,000, more preferably 250 to 3,000, and even more preferably 400 to 1,500. The weight-average molecular weight of the resin can be measured as a polystyrene-equivalent value using gel permeation chromatography (GPC).

硬化性樹脂組成物中のエポキシ樹脂の量は、硬化性樹脂組成物中の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは1質量%以上、より好ましくは5質量%以上、更に好ましくは10質量%以上であり、好ましくは60質量%以下、より好ましくは50質量%以下、更に好ましくは40質量%以下である。 The amount of epoxy resin in the curable resin composition is preferably 1% by mass or more, more preferably 5% by mass or more, and even more preferably 10% by mass or more, relative to 100% by mass of non-volatile components in the curable resin composition; it is preferably 60% by mass or less, more preferably 50% by mass or less, and even more preferably 40% by mass or less.

硬化性樹脂組成物中のエポキシ樹脂の量は、硬化性樹脂組成物中の樹脂成分100質量%に対して、好ましくは5質量%以上、より好ましくは10質量%以上、更に好ましくは20質量%以上であり、好ましくは90質量%以下、より好ましくは80質量%以下、更に好ましくは75質量%以下である。硬化性樹脂組成物の樹脂成分とは、別に断らない限り、硬化性樹脂組成物の不揮発成分のうち、後述する(B)無機充填材を除いた成分を表す。 The amount of epoxy resin in the curable resin composition is preferably 5% by mass or more, more preferably 10% by mass or more, even more preferably 20% by mass or more, and preferably 90% by mass or less, more preferably 80% by mass or less, even more preferably 75% by mass or less, based on 100% by mass of the resin components in the curable resin composition. Unless otherwise specified, the resin components of the curable resin composition refer to the non-volatile components of the curable resin composition, excluding the inorganic filler (B) described below.

フェノール樹脂としては、ベンゼン環、ナフタレン環等の芳香環に結合した水酸基を1分子中に1個以上、好ましくは2個以上有する化合物を用いうる。フェノール樹脂は、エポキシ樹脂と組み合わせた場合にエポキシ樹脂と反応して硬化性樹脂組成物を硬化させうるので、「フェノール系硬化剤」ということがある。耐熱性及び耐水性に優れた硬化物を得る観点からは、ノボラック構造を有するフェノール樹脂が好ましい。また、配線との密着性に優れた硬化物を得る観点からは、含窒素フェノール樹脂が好ましく、トリアジン骨格含有フェノール樹脂がより好ましい。中でも、耐熱性、耐水性、及び密着性に高度に優れる硬化物を得る観点から、トリアジン骨格含有フェノールノボラック樹脂が好ましい。フェノール樹脂の具体例としては、例えば、明和化成社製の「MEH-7700」、「MEH-7810」、「MEH-7851」、日本化薬社製の「NHN」、「CBN」、「GPH」、日鉄ケミカル&マテリアル社製の「SN-170」、「SN-180」、「SN-190」、「SN-475」、「SN-485」、「SN-495」、「SN-375」、「SN-395」、DIC社製の「LA-7052」、「LA-7054」、「LA-3018」、「LA-3018-50P」、「LA-1356」、「TD2090」、「TD-2090-60M」等が挙げられる。 Phenolic resins can be compounds containing one or more, preferably two or more, hydroxyl groups bonded to an aromatic ring, such as a benzene ring or a naphthalene ring, per molecule. When combined with an epoxy resin, phenolic resins react with the epoxy resin to cure the curable resin composition, and are therefore sometimes referred to as "phenolic curing agents." Phenolic resins with a novolac structure are preferred for obtaining cured products with excellent heat and water resistance. Furthermore, nitrogen-containing phenolic resins are preferred, and triazine skeleton-containing phenolic resins are more preferred for obtaining cured products with excellent adhesion to wiring. Of these, triazine skeleton-containing phenolic novolac resins are preferred for obtaining cured products with excellent heat resistance, water resistance, and adhesion. Specific examples of phenolic resins include "MEH-7700," "MEH-7810," and "MEH-7851" manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.; "NHN," "CBN," and "GPH" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.; "SN-170," "SN-180," "SN-190," "SN-475," "SN-485," "SN-495," "SN-375," and "SN-395" manufactured by Nippon Steel Chemical & Material Co., Ltd.; and "LA-7052," "LA-7054," "LA-3018," "LA-3018-50P," "LA-1356," "TD2090," and "TD-2090-60M" manufactured by DIC Corporation.

硬化性樹脂組成物中のフェノール樹脂の量は、硬化性樹脂組成物中の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは1質量%以上、更に好ましくは2質量%以上であり、好ましくは30質量%以下、より好ましくは20質量%以下、更に好ましくは10質量%以下である。 The amount of phenolic resin in the curable resin composition is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 1% by mass or more, and even more preferably 2% by mass or more, relative to 100% by mass of non-volatile components in the curable resin composition; it is preferably 30% by mass or less, more preferably 20% by mass or less, and even more preferably 10% by mass or less.

硬化性樹脂組成物中のフェノール樹脂の量は、硬化性樹脂組成物中の樹脂成分100質量%に対して、好ましくは1質量%以上、より好ましくは2質量%以上、更に好ましくは5質量%以上であり、好ましくは50質量%以下、より好ましくは40質量%以下、更に好ましくは30質量%以下である。 The amount of phenolic resin in the curable resin composition is preferably 1% by mass or more, more preferably 2% by mass or more, and even more preferably 5% by mass or more, relative to 100% by mass of the resin components in the curable resin composition; it is preferably 50% by mass or less, more preferably 40% by mass or less, and even more preferably 30% by mass or less.

活性エステル樹脂としては、一般にフェノールエステル類、チオフェノールエステル類、N-ヒドロキシアミンエステル類、複素環ヒドロキシ化合物のエステル類等の、反応活性の高いエステル基を1分子中に2個以上有する化合物が好ましく用いられる。活性エステル樹脂は、エポキシ樹脂と組み合わせた場合にエポキシ樹脂と反応して硬化性樹脂組成物を硬化させうるので、「活性エステル系硬化剤」ということがある。当該活性エステル樹脂は、カルボン酸化合物及び/又はチオカルボン酸化合物とヒドロキシ化合物及び/又はチオール化合物との縮合反応によって得られるものが好ましい。特に耐熱性に優れる硬化物を得る観点から、カルボン酸化合物とヒドロキシ化合物とから得られる活性エステル樹脂が好ましく、カルボン酸化合物とフェノール化合物及び/又はナフトール化合物とから得られる活性エステル樹脂がより好ましい。カルボン酸化合物としては、例えば安息香酸、酢酸、コハク酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸等が挙げられる。フェノール化合物又はナフトール化合物としては、例えば、ハイドロキノン、レゾルシン、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、フェノールフタリン、メチル化ビスフェノールA、メチル化ビスフェノールF、メチル化ビスフェノールS、フェノール、o-クレゾール、m-クレゾール、p-クレゾール、カテコール、α-ナフトール、β-ナフトール、1,5-ジヒドロキシナフタレン、1,6-ジヒドロキシナフタレン、2,6-ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシベンゾフェノン、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、フロログルシン、ベンゼントリオール、ジシクロペンタジエン型ジフェノール化合物、フェノールノボラック等が挙げられる。ここで、「ジシクロペンタジエン型ジフェノール化合物」とは、ジシクロペンタジエン1分子にフェノール2分子が縮合して得られるジフェノール化合物をいう。 Active ester resins are generally compounds containing two or more highly reactive ester groups per molecule, such as phenol esters, thiophenol esters, N-hydroxyamine esters, and esters of heterocyclic hydroxy compounds. Active ester resins are sometimes referred to as "active ester curing agents" because, when combined with epoxy resins, they react with the epoxy resin to cure the curable resin composition. Active ester resins are preferably those obtained by the condensation reaction of a carboxylic acid compound and/or a thiocarboxylic acid compound with a hydroxy compound and/or a thiol compound. From the perspective of obtaining a cured product with excellent heat resistance, activated ester resins obtained from a carboxylic acid compound and a hydroxy compound are preferred, and activated ester resins obtained from a carboxylic acid compound and a phenol compound and/or a naphthol compound are more preferred. Examples of carboxylic acid compounds include benzoic acid, acetic acid, succinic acid, maleic acid, itaconic acid, phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, and pyromellitic acid. Examples of phenol compounds or naphthol compounds include hydroquinone, resorcinol, bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, phenolphthalene, methylated bisphenol A, methylated bisphenol F, methylated bisphenol S, phenol, o-cresol, m-cresol, p-cresol, catechol, α-naphthol, β-naphthol, 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, dihydroxybenzophenone, trihydroxybenzophenone, tetrahydroxybenzophenone, phloroglucin, benzenetriol, dicyclopentadiene-type diphenol compounds, and phenol novolak. Here, "dicyclopentadiene-type diphenol compounds" refer to diphenol compounds obtained by condensing one dicyclopentadiene molecule with two phenol molecules.

具体的には、活性エステル樹脂としては、ジシクロペンタジエン型活性エステル樹脂、ナフタレン構造を含むナフタレン型活性エステル樹脂、フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル樹脂、フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル樹脂が好ましく、中でもジシクロペンタジエン型活性エステル樹脂、及びナフタレン型活性エステル樹脂から選ばれる少なくとも1種であることがより好ましい。ジシクロペンタジエン型活性エステル樹脂としては、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル樹脂が好ましい。 Specific examples of active ester resins include dicyclopentadiene-type active ester resins, naphthalene-type active ester resins containing a naphthalene structure, active ester resins containing an acetylated phenol novolac, and active ester resins containing a benzoylated phenol novolac. Among these, at least one selected from dicyclopentadiene-type active ester resins and naphthalene-type active ester resins is more preferred. As dicyclopentadiene-type active ester resins, active ester resins containing a dicyclopentadiene-type diphenol structure are preferred.

活性エステル樹脂の市販品としては、例えば、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル樹脂として、「EXB9451」、「EXB9460」、「EXB9460S」、「EXB-8000L」、「EXB-8000L-65M」、「EXB-8000L-65TM」、「HPC-8000L-65TM」、「HPC-8000」、「HPC-8000-65T」、「HPC-8000H」、「HPC-8000H-65TM」(DIC社製);ナフタレン構造を含む活性エステル樹脂として「HP-B-8151-62T」、「HP-C-8151-62T」、「EXB-8100L-65T」、「EXB-8150-60T」、「EXB-8150-62T」、「EXB-9416-70BK」、「HPC-8150-60T」、「HPC-8150-62T」、「EXB-8」(DIC社製);りん含有活性エステル樹脂として、「EXB9401」(DIC社製);フェノールノボラックのアセチル化物である活性エステル樹脂として「DC808」(三菱ケミカル社製);フェノールノボラックのベンゾイル化物である活性エステル樹脂として「YLH1026」、「YLH1030」、「YLH1048」(三菱ケミカル社製);スチリル基及びナフタレン構造を含む活性エステル樹脂として「PC1300-02-65MA」(エア・ウォーター社製)等が挙げられる。 Commercially available activated ester resins include, for example, activated ester resins containing a dicyclopentadiene-type diphenol structure such as "EXB9451," "EXB9460," "EXB9460S," "EXB-8000L," "EXB-8000L-65M," "EXB-8000L-65TM," "HPC-8000L-65TM," "HPC-8000," "HPC-8000-65T," "HPC-8000H," and "HPC-8000H-65TM" (manufactured by DIC Corporation); activated ester resins containing a naphthalene structure such as "HP-B-8151-62T," "HP-C-8151-62T," "EXB-8100L-65T," and "EXB-8150-60T"; Examples include "EXB-8150-62T," "EXB-9416-70BK," "HPC-8150-60T," "HPC-8150-62T," and "EXB-8" (manufactured by DIC Corporation); a phosphorus-containing activated ester resin such as "EXB9401" (manufactured by DIC Corporation); an activated ester resin that is an acetylated product of phenol novolac such as "DC808" (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation); activated ester resins that are benzoylated products of phenol novolac such as "YLH1026," "YLH1030," and "YLH1048" (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation); and an activated ester resin containing a styryl group and a naphthalene structure such as "PC1300-02-65MA" (manufactured by Air Water Inc.).

硬化性樹脂組成物中の活性エステル樹脂の量は、硬化性樹脂組成物中の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは1質量%以上、更に好ましくは3質量%以上であり、好ましくは50質量%以下、より好ましくは40質量%以下、更に好ましくは30質量%以下である。 The amount of active ester resin in the curable resin composition is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 1% by mass or more, and even more preferably 3% by mass or more, relative to 100% by mass of non-volatile components in the curable resin composition; it is preferably 50% by mass or less, more preferably 40% by mass or less, and even more preferably 30% by mass or less.

硬化性樹脂組成物中の活性エステル樹脂の量は、硬化性樹脂組成物中の樹脂成分100質量%に対して、好ましくは1質量%以上、より好ましくは2質量%以上、更に好ましくは5質量%以上であり、好ましくは70質量%以下、より好ましくは60質量%以下、更に好ましくは50質量%以下である。 The amount of active ester resin in the curable resin composition is preferably 1% by mass or more, more preferably 2% by mass or more, and even more preferably 5% by mass or more, relative to 100% by mass of the resin components in the curable resin composition; it is preferably 70% by mass or less, more preferably 60% by mass or less, and even more preferably 50% by mass or less.

シアネート樹脂としては、1分子内中に1個以上、好ましくは2個以上のシアネート基を有する化合物を用いうる。シアネート樹脂は、エポキシ樹脂と組み合わせた場合にエポキシ樹脂と反応して硬化性樹脂組成物を硬化させうるので、「シアネート系硬化剤」ということがある。シアネート樹脂としては、例えば、ビスフェノールAジシアネート、ポリフェノールシアネート(オリゴ(3-メチレン-1,5-フェニレンシアネート))、4,4’-メチレンビス(2,6-ジメチルフェニルシアネート)、4,4’-エチリデンジフェニルジシアネート、ヘキサフルオロビスフェノールAジシアネート、2,2-ビス(4-シアネート)フェニルプロパン、1,1-ビス(4-シアネートフェニルメタン)、ビス(4-シアネート-3,5-ジメチルフェニル)メタン、1,3-ビス(4-シアネートフェニル-1-(メチルエチリデン))ベンゼン、ビス(4-シアネートフェニル)チオエーテル、及びビス(4-シアネートフェニル)エーテル等の2官能シアネート樹脂、フェノールノボラック及びクレゾールノボラック等から誘導される多官能シアネート樹脂、これらシアネート樹脂が一部トリアジン化したプレポリマーなどが挙げられる。シアネート樹脂の具体例としては、ロンザジャパン社製の「PT30」及び「PT60」(いずれもフェノールノボラック型多官能シアネート樹脂)、「BA230」、「BA230S75」(ビスフェノールAジシアネートの一部又は全部がトリアジン化され三量体となったプレポリマー)等が挙げられる。 Cyanate resins can be compounds that have one or more, preferably two or more, cyanate groups in one molecule. When combined with epoxy resins, cyanate resins react with the epoxy resin to cure the curable resin composition, and are therefore sometimes called "cyanate-based curing agents." Examples of cyanate resins include bifunctional cyanate resins such as bisphenol A dicyanate, polyphenol cyanate (oligo(3-methylene-1,5-phenylene cyanate)), 4,4'-methylenebis(2,6-dimethylphenyl cyanate), 4,4'-ethylidene diphenyl dicyanate, hexafluorobisphenol A dicyanate, 2,2-bis(4-cyanate)phenylpropane, 1,1-bis(4-cyanatephenylmethane), bis(4-cyanate-3,5-dimethylphenyl)methane, 1,3-bis(4-cyanatephenyl-1-(methylethylidene))benzene, bis(4-cyanatephenyl)thioether, and bis(4-cyanatephenyl)ether; polyfunctional cyanate resins derived from phenol novolac and cresol novolac; and prepolymers in which these cyanate resins are partially converted to triazine. Specific examples of cyanate resins include Lonza Japan's "PT30" and "PT60" (both phenol novolac-type multifunctional cyanate resins), "BA230" and "BA230S75" (prepolymers in which part or all of bisphenol A dicyanate has been triazinated to form a trimer).

カルボジイミド樹脂としては、1分子内中に1個以上、好ましくは2個以上のカルボジイミド構造を有する化合物を用いうる。カルボジイミド樹脂は、エポキシ樹脂と組み合わせた場合にエポキシ樹脂と反応して硬化性樹脂組成物を硬化させうるので、「カルボジイミド系硬化剤」ということがある。カルボジイミド樹脂の具体例としては、テトラメチレン-ビス(t-ブチルカルボジイミド)、シクロヘキサンビス(メチレン-t-ブチルカルボジイミド)等の脂肪族ビスカルボジイミド;フェニレン-ビス(キシリルカルボジイミド)等の芳香族ビスカルボジイミド等のビスカルボジイミド;ポリヘキサメチレンカルボジイミド、ポリトリメチルヘキサメチレンカルボジイミド、ポリシクロヘキシレンカルボジイミド、ポリ(メチレンビスシクロヘキシレンカルボジイミド)、ポリ(イソホロンカルボジイミド)等の脂肪族ポリカルボジイミド;ポリ(フェニレンカルボジイミド)、ポリ(ナフチレンカルボジイミド)、ポリ(トリレンカルボジイミド)、ポリ(メチルジイソプロピルフェニレンカルボジイミド)、ポリ(トリエチルフェニレンカルボジイミド)、ポリ(ジエチルフェニレンカルボジイミド)、ポリ(トリイソプロピルフェニレンカルボジイミド)、ポリ(ジイソプロピルフェニレンカルボジイミド)、ポリ(キシリレンカルボジイミド)、ポリ(テトラメチルキシリレンカルボジイミド)、ポリ(メチレンジフェニレンカルボジイミド)、ポリ[メチレンビス(メチルフェニレン)カルボジイミド]等の芳香族ポリカルボジイミド等のポリカルボジイミドが挙げられる。カルボジイミド樹脂の市販品としては、例えば、日清紡ケミカル社製の「カルボジライトV-02B」、「カルボジライトV-03」、「カルボジライトV-04K」、「カルボジライトV-07」及び「カルボジライトV-09」;ラインケミー社製の「スタバクゾールP」、「スタバクゾールP400」、「ハイカジル510」等が挙げられる。 Carbodiimide resins can be compounds having one or more, preferably two or more, carbodiimide structures in one molecule. When combined with an epoxy resin, carbodiimide resins react with the epoxy resin to cure the curable resin composition, and are therefore sometimes referred to as "carbodiimide-based curing agents." Specific examples of carbodiimide resins include aliphatic biscarbodiimides such as tetramethylene-bis(t-butylcarbodiimide) and cyclohexane-bis(methylene-t-butylcarbodiimide); aromatic biscarbodiimides such as phenylene-bis(xylylcarbodiimide); aliphatic polycarbodiimides such as polyhexamethylenecarbodiimide, polytrimethylhexamethylenecarbodiimide, polycyclohexylenecarbodiimide, poly(methylenebiscyclohexylenecarbodiimide), and poly(isophoronecarbodiimide); and aromatic polycarbodiimides such as poly(phenylenecarbodiimide), poly(naphthalenecarbodiimide). Examples of polycarbodiimides include aromatic polycarbodiimides such as poly(methylenebis(methylphenylene)carbodiimide), poly(tolylenecarbodiimide), poly(methyldiisopropylphenylenecarbodiimide), poly(triethylphenylenecarbodiimide), poly(diethylphenylenecarbodiimide), poly(triisopropylphenylenecarbodiimide), poly(diisopropylphenylenecarbodiimide), poly(xylylenecarbodiimide), poly(tetramethylxylylenecarbodiimide), poly(methylenediphenylenecarbodiimide), and poly[methylenebis(methylphenylene)carbodiimide]. Commercially available carbodiimide resins include, for example, "Carbodilite V-02B," "Carbodilite V-03," "Carbodilite V-04K," "Carbodilite V-07," and "Carbodilite V-09" manufactured by Nisshinbo Chemical Inc.; and "Stavaxol P," "Stavaxol P400," and "Hykasil 510" manufactured by Rhein Chemie.

酸無水物樹脂としては、1分子内中に1個以上、好ましくは2個以上の酸無水物基を有する化合物を用いうる。酸無水物樹脂は、エポキシ基と組み合わせた場合にエポキシ樹脂と反応して硬化性樹脂組成物を硬化させうるので、「酸無水物系硬化剤」ということがある。酸無水物樹脂の具体例としては、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルナジック酸無水物、水素化メチルナジック酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、ドデセニル無水コハク酸、5-(2,5-ジオキソテトラヒドロ-3-フラニル)-3-メチル-3-シクロヘキセン-1,2-ジカルボン酸無水物、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ベンソフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、オキシジフタル酸二無水物、3,3’-4,4’-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,3,3a,4,5,9b-ヘキサヒドロ-5-(テトラヒドロ-2,5-ジオキソ-3-フラニル)-ナフト[1,2-C]フラン-1,3-ジオン、エチレングリコールビス(アンヒドロトリメリテート)、スチレンとマレイン酸とが共重合したスチレン・マレイン酸樹脂などのポリマー型の酸無水物などが挙げられる。酸無水物樹脂の市販品としては、例えば、新日本理化社製の「HNA-100」、「MH-700」、「MTA-15」、「DDSA」、「OSA」;三菱ケミカル社製の「YH-306」、「YH-307」;日立化成社製の「HN-2200」、「HN-5500」;クレイバレイ社製「EF-30」、「EF-40」「EF-60」、「EF-80」等が挙げられる。 Acid anhydride resins can be compounds having one or more, preferably two or more, acid anhydride groups in one molecule. When combined with epoxy groups, acid anhydride resins can react with the epoxy resin to cure the curable resin composition, and are therefore sometimes referred to as "acid anhydride curing agents." Specific examples of acid anhydride resins include phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, methylhexahydrophthalic anhydride, methylnadic anhydride, hydrogenated methylnadic anhydride, trialkyltetrahydrophthalic anhydride, dodecenyl succinic anhydride, 5-(2,5-dioxotetrahydro-3-furanyl)-3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, and benzophenonetetracarboxylic dianhydride. Examples of suitable acid anhydrides include hydrates, biphenyltetracarboxylic dianhydride, naphthalenetetracarboxylic dianhydride, oxydiphthalic dianhydride, 3,3'-4,4'-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 1,3,3a,4,5,9b-hexahydro-5-(tetrahydro-2,5-dioxo-3-furanyl)-naphtho[1,2-C]furan-1,3-dione, ethylene glycol bis(anhydrotrimellitate), and polymeric acid anhydrides such as styrene-maleic acid resins in which styrene and maleic acid are copolymerized. Commercially available acid anhydride resins include, for example, "HNA-100," "MH-700," "MTA-15," "DDSA," and "OSA" manufactured by New Japan Chemical Co., Ltd.; "YH-306" and "YH-307" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; "HN-2200" and "HN-5500" manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.; and "EF-30," "EF-40," "EF-60," and "EF-80" manufactured by Clay Valley.

アミン樹脂としては、1分子内中に1個以上、好ましくは2個以上のアミノ基を有する化合物を用いうる。アミン樹脂は、エポキシ基と組み合わせた場合にエポキシ樹脂と反応して硬化性樹脂組成物を硬化させうるので、「アミン系硬化剤」ということがある。アミン樹脂としては、例えば、脂肪族アミン類、ポリエーテルアミン類、脂環式アミン類、芳香族アミン類等が挙げられ、中でも、芳香族アミン類が好ましい。アミン樹脂は、第1級アミン又は第2級アミンが好ましく、第1級アミンがより好ましい。アミン樹脂の具体例としては、4,4’-メチレンビス(2,6-ジメチルアニリン)、4,4’-ジアミノジフェニルメタン、4,4’-ジアミノジフェニルスルホン、3,3’-ジアミノジフェニルスルホン、m-フェニレンジアミン、m-キシリレンジアミン、ジエチルトルエンジアミン、4,4’-ジアミノジフェニルエーテル、3,3’-ジメチル-4,4’-ジアミノビフェニル、2,2’-ジメチル-4,4’-ジアミノビフェニル、3,3’-ジヒドロキシベンジジン、2,2-ビス(3-アミノ-4-ヒドロキシフェニル)プロパン、3,3-ジメチル-5,5-ジエチル-4,4-ジフェニルメタンジアミン、2,2-ビス(4-アミノフェニル)プロパン、2,2-ビス(4-(4-アミノフェノキシ)フェニル)プロパン、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’-ビス(4-アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス(4-(4-アミノフェノキシ)フェニル)スルホン、ビス(4-(3-アミノフェノキシ)フェニル)スルホン、等が挙げられる。アミン樹脂の市販品としては、例えば、セイカ社製「SEIKACURE-S」;日本化薬社製の「KAYABOND C-200S」、「KAYABOND C-100」、「カヤハードA-A」、「カヤハードA-B」、「カヤハードA-S」;三菱ケミカル社製の「エピキュアW」;住友精化社製「DTDA」等が挙げられる。 Amine resins can be compounds containing one or more, preferably two or more, amino groups in one molecule. When combined with epoxy groups, amine resins react with the epoxy resin to cure the curable resin composition, and are therefore sometimes referred to as "amine-based curing agents." Examples of amine resins include aliphatic amines, polyether amines, alicyclic amines, and aromatic amines, with aromatic amines being preferred. Primary or secondary amines are preferred as amine resins, with primary amines being more preferred. Specific examples of amine resins include 4,4'-methylenebis(2,6-dimethylaniline), 4,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenyl sulfone, 3,3'-diaminodiphenyl sulfone, m-phenylenediamine, m-xylylenediamine, diethyltoluenediamine, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 3,3'-dihydroxybenzidine, and 2,2-bis(3-amino-4-hydroxyphenyl)propanol. Examples of suitable bis(4-aminophenoxy)biphenyl include bis(4-aminophenyl)propane, 3,3-dimethyl-5,5-diethyl-4,4-diphenylmethanediamine, 2,2-bis(4-aminophenyl)propane, 2,2-bis(4-(4-aminophenoxy)phenyl)propane, 1,3-bis(3-aminophenoxy)benzene, 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene, 1,4-bis(4-aminophenoxy)benzene, 4,4'-bis(4-aminophenoxy)biphenyl, bis(4-(4-aminophenoxy)phenyl)sulfone, and bis(4-(3-aminophenoxy)phenyl)sulfone. Commercially available amine resins include, for example, "SEIKACURE-S" manufactured by Seika Corporation; "KAYABOND C-200S," "KAYABOND C-100," "KAYAHARD A-A," "KAYAHARD A-B," and "KAYAHARD A-S" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.; "EPICURE W" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; and "DTDA" manufactured by Sumitomo Seika Chemicals Co., Ltd.

ベンゾオキサジン樹脂は、エポキシ樹脂と組み合わせた場合にエポキシ樹脂と反応して硬化性樹脂組成物を硬化させうるので、「ベンゾオキサジン系硬化剤」ということがある。ベンゾオキサジン樹脂の具体例としては、JFEケミカル社製の「JBZ-OP100D」、「ODA-BOZ」;昭和高分子社製の「HFB2006M」;四国化成工業社製の「P-d」、「F-a」などが挙げられる。 When combined with epoxy resins, benzoxazine resins react with the epoxy resin to cure the curable resin composition, and are therefore sometimes referred to as "benzoxazine-based curing agents." Specific examples of benzoxazine resins include "JBZ-OP100D" and "ODA-BOZ" manufactured by JFE Chemical Corporation; "HFB2006M" manufactured by Showa Highpolymer Co., Ltd.; and "P-d" and "F-a" manufactured by Shikoku Chemicals Corporation.

チオール樹脂は、エポキシ樹脂と組み合わせた場合にエポキシ樹脂と反応して硬化性樹脂組成物を硬化させうるので、「チオール系硬化剤」ということがある。チオール樹脂としては、例えば、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトブチレート)、トリス(3-メルカプトプロピル)イソシアヌレート等が挙げられる。 Thiol resins are sometimes called "thiol-based curing agents" because when combined with epoxy resins, they react with the epoxy resin to cure the curable resin composition. Examples of thiol resins include trimethylolpropane tris(3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis(3-mercaptobutyrate), and tris(3-mercaptopropyl)isocyanurate.

硬化剤の活性基当量は、好ましくは50g/eq.~3000g/eq.、より好ましくは100g/eq.~1000g/eq.、さらに好ましくは100g/eq.~500g/eq.、特に好ましくは100g/eq.~300g/eq.である。活性基当量は、活性基1当量あたりの硬化剤の質量を表す。 The active group equivalent of the curing agent is preferably 50 g/eq. to 3000 g/eq., more preferably 100 g/eq. to 1000 g/eq., even more preferably 100 g/eq. to 500 g/eq., and particularly preferably 100 g/eq. to 300 g/eq. The active group equivalent represents the mass of curing agent per equivalent of active group.

硬化剤の重量平均分子量(Mw)の範囲は、エポキシ樹脂の重量平均分子量の範囲と同じであってもよい。 The weight average molecular weight (Mw) range of the curing agent may be the same as the weight average molecular weight range of the epoxy resin.

エポキシ樹脂のエポキシ基数を1とした場合、硬化剤の活性基数は、好ましくは0.05以上、より好ましくは0.1以上、更に好ましくは0.2以上であり、好ましくは5.0以下、より好ましくは4.0以下、特に好ましくは3.0以下である。「エポキシ樹脂のエポキシ基数」とは、硬化性樹脂組成物中に存在するエポキシ樹脂の不揮発成分の質量をエポキシ当量で割り算した値を全て合計した値を表す。また、「硬化剤の活性基数」とは、硬化性樹脂組成物中に存在する硬化剤の不揮発成分の質量を活性基当量で割り算した値を全て合計した値を表す。 When the number of epoxy groups in the epoxy resin is taken as 1, the number of active groups in the curing agent is preferably 0.05 or more, more preferably 0.1 or more, even more preferably 0.2 or more, and preferably 5.0 or less, more preferably 4.0 or less, and particularly preferably 3.0 or less. The "number of epoxy groups in the epoxy resin" refers to the total value obtained by dividing the mass of the non-volatile components of the epoxy resin present in the curable resin composition by the epoxy equivalent. Furthermore, the "number of active groups in the curing agent" refers to the total value obtained by dividing the mass of the non-volatile components of the curing agent present in the curable resin composition by the active group equivalent.

硬化性樹脂組成物中の硬化剤の量は、硬化性樹脂組成物中の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは1質量%以上、より好ましくは2質量%以上、更に好ましくは5質量%以上であり、好ましくは50質量%以下、より好ましくは40質量%以下、更に好ましくは30質量%以下である。 The amount of curing agent in the curable resin composition is preferably 1% by mass or more, more preferably 2% by mass or more, and even more preferably 5% by mass or more, relative to 100% by mass of non-volatile components in the curable resin composition; it is preferably 50% by mass or less, more preferably 40% by mass or less, and even more preferably 30% by mass or less.

硬化性樹脂組成物中の硬化剤の量は、硬化性樹脂組成物中の樹脂成分100質量%に対して、好ましくは5質量%以上、より好ましくは10質量%以上、更に好ましくは15質量%以上であり、好ましくは90質量%以下、より好ましくは80質量%以下、更に好ましくは70質量%以下である。 The amount of curing agent in the curable resin composition is preferably 5% by mass or more, more preferably 10% by mass or more, and even more preferably 15% by mass or more, relative to 100% by mass of the resin components in the curable resin composition, and is preferably 90% by mass or less, more preferably 80% by mass or less, and even more preferably 70% by mass or less.

ラジカル重合性樹脂としては、エチレン性不飽和結合を有する化合物を用いうる。よって、ラジカル重合性樹脂は、エチレン性不飽和結合を含むラジカル重合性基を有しうる。ラジカル重合性基としては、例えば、ビニル基、アリル基、3-シクロヘキセニル基、3-シクロペンテニル基、2-ビニルフェニル基、3-ビニルフェニル基、4-ビニルフェニル基等の不飽和炭化水素基;アクリロイル基、メタクリロイル基、マレイミド基(2,5-ジヒドロ-2,5-ジオキソ-1H-ピロール-1-イル基)等のα,β-不飽和カルボニル基等が挙げられる。ラジカル重合性樹脂が1分子内中に含むラジカル重合性基の数は、1個でもよいが、2個以上が好ましい。ラジカル重合性樹脂としては、例えば、(メタ)アクリル系ラジカル重合性樹脂、スチレン系ラジカル重合性樹脂、アリル系ラジカル重合性樹脂、マレイミド系ラジカル重合性樹脂などが挙げられる。ラジカル重合性樹脂は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 The radical polymerizable resin may be a compound having an ethylenically unsaturated bond. Therefore, the radical polymerizable resin may have a radical polymerizable group containing an ethylenically unsaturated bond. Examples of radical polymerizable groups include unsaturated hydrocarbon groups such as vinyl, allyl, 3-cyclohexenyl, 3-cyclopentenyl, 2-vinylphenyl, 3-vinylphenyl, and 4-vinylphenyl; and α,β-unsaturated carbonyl groups such as acryloyl, methacryloyl, and maleimide (2,5-dihydro-2,5-dioxo-1H-pyrrol-1-yl) groups. The number of radical polymerizable groups contained in one molecule of the radical polymerizable resin may be one, but preferably two or more. Examples of radical polymerizable resins include (meth)acrylic radical polymerizable resins, styrene radical polymerizable resins, allyl radical polymerizable resins, and maleimide radical polymerizable resins. The radical polymerizable resin may be used alone or in combination of two or more types.

光硬化性樹脂としては、露光された場合に硬化可能な樹脂を用いることができる。光硬化性樹脂の例としては、ラジカル重合性樹脂が挙げられる。光硬化性樹脂は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 The photocurable resin can be a resin that can be cured when exposed to light. Examples of photocurable resins include radical polymerizable resins. One type of photocurable resin may be used alone, or two or more types may be used in combination.

硬化性樹脂組成物中の(A)硬化性樹脂の量は、硬化性樹脂組成物中の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは1質量%以上、より好ましくは5質量%以上、更に好ましくは10質量%以上であり、好ましくは70質量%以下、より好ましくは60質量%以下、特に好ましくは50質量%以下である。 The amount of curable resin (A) in the curable resin composition is preferably 1% by mass or more, more preferably 5% by mass or more, and even more preferably 10% by mass or more, relative to 100% by mass of non-volatile components in the curable resin composition; it is preferably 70% by mass or less, more preferably 60% by mass or less, and particularly preferably 50% by mass or less.

硬化性樹脂組成物中の(A)硬化性樹脂の量は、硬化性樹脂組成物中の樹脂成分100質量%に対して、好ましくは50質量%以上、より好ましくは60質量%以上、更に好ましくは70質量%以上であり、好ましくは97質量%以下、より好ましくは96質量%以下、特に好ましくは95質量%以下である。 The amount of curable resin (A) in the curable resin composition is preferably 50% by mass or more, more preferably 60% by mass or more, and even more preferably 70% by mass or more, relative to 100% by mass of the resin components in the curable resin composition; it is preferably 97% by mass or less, more preferably 96% by mass or less, and particularly preferably 95% by mass or less.

-(B)無機充填材-
硬化性樹脂組成物は、任意の成分として、(B)無機充填材を含んでいてもよい。(B)無機充填材は、通常、粒子の状態で硬化性樹脂組成物に含まれる。
-(B) Inorganic filler-
The curable resin composition may contain an inorganic filler (B) as an optional component. The inorganic filler (B) is usually contained in the curable resin composition in the form of particles.

(B)無機充填材の材料としては、無機化合物を用いる。(B)無機充填材の材料としては、例えば、シリカ、アルミナ、ガラス、コーディエライト、シリコン酸化物、硫酸バリウム、炭酸バリウム、タルク、クレー、雲母粉、酸化亜鉛、ハイドロタルサイト、ベーマイト、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化マンガン、ホウ酸アルミニウム、炭酸ストロンチウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、チタン酸マグネシウム、チタン酸ビスマス、酸化チタン、酸化ジルコニウム、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸バリウム、ジルコン酸バリウム、ジルコン酸カルシウム、リン酸ジルコニウム、及びリン酸タングステン酸ジルコニウム等が挙げられる。これらの中でもシリカ、アルミナが好適であり、シリカが特に好適である。シリカとしては、例えば、無定形シリカ、溶融シリカ、結晶シリカ、合成シリカ、中空シリカ等が挙げられる。また、シリカとしては球形シリカが好ましい。(B)無機充填材は、1種類単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。 (B) An inorganic compound is used as the inorganic filler material. Examples of (B) inorganic filler materials include silica, alumina, glass, cordierite, silicon oxide, barium sulfate, barium carbonate, talc, clay, mica powder, zinc oxide, hydrotalcite, boehmite, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, magnesium oxide, boron nitride, aluminum nitride, manganese nitride, aluminum borate, strontium carbonate, strontium titanate, calcium titanate, magnesium titanate, bismuth titanate, titanium oxide, zirconium oxide, barium titanate, barium titanate zirconate, barium zirconate, calcium zirconate, zirconium phosphate, and zirconium tungstate phosphate. Among these, silica and alumina are preferred, with silica being particularly preferred. Examples of silica include amorphous silica, fused silica, crystalline silica, synthetic silica, and hollow silica. Spherical silica is preferred. (B) The inorganic filler may be used alone or in combination of two or more types.

(B)無機充填材の市販品としては、例えば、日鉄ケミカル&マテリアル社製の「SP60-05」、「SP507-05」;アドマテックス社製の「YC100C」、「YA050C」、「YA050C-MJE」、「YA010C」、「SC2500SQ」、「SO-C4」、「SO-C2」、「SO-C1」;デンカ社製の「UFP-30」、「DAW-03」、「FB-105FD」;トクヤマ社製の「シルフィルNSS-3N」、「シルフィルNSS-4N」、「シルフィルNSS-5N」;太平洋セメント社製の「セルスフィアーズ」、「MGH-005」;日揮触媒化成社製の「エスフェリーク」、「BA-1」などが挙げられる。 (B) Commercially available inorganic fillers include, for example, "SP60-05" and "SP507-05" manufactured by Nippon Steel Chemical & Material Co., Ltd.; "YC100C," "YA050C," "YA050C-MJE," "YA010C," "SC2500SQ," "SO-C4," "SO-C2," and "SO-C1" manufactured by Admatechs Co., Ltd.; "UFP-30," "DAW-03," and "FB-105FD" manufactured by Denka Company, Limited; "Silfil NSS-3N," "Silfil NSS-4N," and "Silfil NSS-5N" manufactured by Tokuyama Corporation; "CellSpheres" and "MGH-005" manufactured by Taiheiyo Cement Corporation; and "Sfereek" and "BA-1" manufactured by JGC Catalysts and Chemicals Co., Ltd.

(B)無機充填材の平均粒径は、好ましくは0.01μm以上、より好ましくは0.05μm以上、更に好ましくは0.1μm以上であり、好ましくは10μm以下、より好ましくは7μm以下、さらに好ましくは5μm以下である。(B)無機充填材の平均粒径は、ミー(Mie)散乱理論に基づくレーザー回折・散乱法により測定することができる。具体的には、レーザー回折散乱式粒径分布測定装置により、無機充填材の粒径分布を体積基準で作成し、そのメディアン径を平均粒径とすることで測定することができる。測定サンプルは、無機充填材100mg、メチルエチルケトン10gをバイアル瓶に秤取り、超音波にて10分間分散させたものを使用することができる。測定サンプルを、レーザー回折式粒径分布測定装置を使用して、使用光源波長を青色及び赤色とし、フローセル方式で無機充填材の体積基準の粒径分布を測定し、得られた粒径分布からメディアン径として平均粒径を算出しうる。レーザー回折式粒径分布測定装置としては、例えば堀場製作所社製「LA-960」等が挙げられる。 (B) The average particle size of the inorganic filler is preferably 0.01 μm or more, more preferably 0.05 μm or more, even more preferably 0.1 μm or more, and preferably 10 μm or less, more preferably 7 μm or less, and even more preferably 5 μm or less. The average particle size of the inorganic filler can be measured using a laser diffraction/scattering method based on Mie scattering theory. Specifically, a volumetric particle size distribution of the inorganic filler is created using a laser diffraction/scattering particle size distribution analyzer, and the median diameter is used as the average particle size. A measurement sample can be prepared by weighing 100 mg of inorganic filler and 10 g of methyl ethyl ketone into a vial and ultrasonically dispersing the sample for 10 minutes. The volumetric particle size distribution of the inorganic filler is measured using a laser diffraction particle size distribution analyzer with blue and red light source wavelengths using a flow cell system, and the average particle size can be calculated as the median diameter from the obtained particle size distribution. An example of a laser diffraction particle size distribution measuring device is the LA-960 manufactured by Horiba, Ltd.

(B)無機充填材の比表面積は、好ましくは1m/g以上、より好ましくは2m/g以上、更に好ましくは3m/g以上であり、好ましくは60m/g以下、より好ましくは50m/g以下、更に好ましくは40m/g以下である。比表面積は、BET法に従って、比表面積測定装置(マウンテック社製Macsorb HM-1210)を使用して試料表面に窒素ガスを吸着させ、BET多点法を用いて比表面積を算出することで測定できる。 The specific surface area of (B) inorganic filler is preferably 1 m 2 /g or more, more preferably 2 m 2 /g or more, even more preferably 3 m 2 /g or more, and preferably 60 m 2 /g or less, more preferably 50 m 2 /g or less, even more preferably 40 m 2 /g or less. The specific surface area can be measured according to the BET method by adsorbing nitrogen gas onto the surface of a sample using a specific surface area measuring device (Macsorb HM-1210 manufactured by Mountech Co., Ltd.) and calculating the specific surface area using the BET multipoint method.

(B)無機充填材は、耐湿性及び分散性を高める観点から、表面処理剤で処理されていることが好ましい。表面処理剤としては、例えば、フッ素含有シランカップリング剤、アミノシラン系カップリング剤、エポキシシラン系カップリング剤、メルカプトシラン系カップリング剤、シラン系カップリング剤、アルコキシシラン、オルガノシラザン化合物、チタネート系カップリング剤等が挙げられる。表面処理剤は、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を任意に組み合わせて用いてもよい。 (B) From the viewpoint of improving moisture resistance and dispersibility, it is preferable that the inorganic filler be treated with a surface treatment agent. Examples of surface treatment agents include fluorine-containing silane coupling agents, aminosilane coupling agents, epoxysilane coupling agents, mercaptosilane coupling agents, silane coupling agents, alkoxysilanes, organosilazane compounds, and titanate coupling agents. One type of surface treatment agent may be used alone, or two or more types may be used in any combination.

表面処理剤の市販品としては、例えば、信越化学工業社製「KBM403」(3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「KBM803」(3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「KBE903」(3-アミノプロピルトリエトキシシラン)、信越化学工業社製「KBM573」(N-フェニル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「SZ-31」(ヘキサメチルジシラザン)、信越化学工業社製「KBM103」(フェニルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「KBM-4803」(長鎖エポキシ型シランカップリング剤)、信越化学工業社製「KBM-7103」(3,3,3-トリフルオロプロピルトリメトキシシラン)等が挙げられる。 Commercially available surface treatment agents include, for example, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.'s "KBM403" (3-glycidoxypropyltrimethoxysilane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.'s "KBM803" (3-mercaptopropyltrimethoxysilane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.'s "KBE903" (3-aminopropyltriethoxysilane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.'s "KBM573" (N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.'s "SZ-31" (hexamethyldisilazane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.'s "KBM103" (phenyltrimethoxysilane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.'s "KBM-4803" (long-chain epoxy-type silane coupling agent), and Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.'s "KBM-7103" (3,3,3-trifluoropropyltrimethoxysilane).

表面処理剤による表面処理の程度は、(B)無機充填材の分散性向上の観点から、特定の範囲に収まることが好ましい。具体的には、無機充填材100質量%は、0.2質量%~5質量%の表面処理剤で表面処理されていることが好ましく、0.2質量%~3質量%の表面処理剤で表面処理されていることがより好ましく、0.3質量%~2質量%の表面処理剤で表面処理されていることがさらに好ましい。 From the perspective of improving the dispersibility of (B) the inorganic filler, it is preferable that the degree of surface treatment with the surface treatment agent falls within a specific range. Specifically, 100% by mass of the inorganic filler is preferably surface-treated with 0.2% to 5% by mass of the surface treatment agent, more preferably with 0.2% to 3% by mass of the surface treatment agent, and even more preferably with 0.3% to 2% by mass of the surface treatment agent.

表面処理剤による表面処理の程度は、無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量によって評価することができる。無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量は、無機充填材の分散性向上の観点から、0.02mg/m以上が好ましく、0.1mg/m以上がより好ましく、0.2mg/m以上がさらに好ましい。一方、硬化性樹脂組成物の溶融粘度の上昇を抑制する観点から、1.0mg/m以下が好ましく、0.8mg/m以下がより好ましく、0.5mg/m以下がさらに好ましい。 The degree of surface treatment with the surface treatment agent can be evaluated by the amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler. From the viewpoint of improving the dispersibility of the inorganic filler, the amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler is preferably 0.02 mg/ m2 or more, more preferably 0.1 mg/ m2 or more, and even more preferably 0.2 mg/m2 or more . On the other hand, from the viewpoint of suppressing an increase in the melt viscosity of the curable resin composition, the amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler is preferably 1.0 mg/ m2 or less, more preferably 0.8 mg/ m2 or less, and even more preferably 0.5 mg/ m2 or less.

(B)無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量は、表面処理後の無機充填材を溶剤(例えば、メチルエチルケトン(MEK))により洗浄処理した後に測定することができる。具体的には、溶剤として十分な量のMEKを表面処理剤で表面処理された無機充填材に加えて、25℃で5分間超音波洗浄する。上澄液を除去し、固形分を乾燥させた後、カーボン分析計を用いて無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量を測定することができる。カーボン分析計としては、堀場製作所社製「EMIA-320V」等を使用することができる。 (B) The amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler can be measured after the surface-treated inorganic filler is washed with a solvent (e.g., methyl ethyl ketone (MEK)). Specifically, a sufficient amount of MEK as a solvent is added to the inorganic filler that has been surface-treated with a surface treatment agent, and ultrasonic cleaning is performed at 25°C for 5 minutes. After removing the supernatant and drying the solids, the amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler can be measured using a carbon analyzer. An example of a carbon analyzer that can be used is the "EMIA-320V" manufactured by Horiba, Ltd.

硬化性樹脂組成物中の(B)無機充填材の量は、硬化性樹脂組成物の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは10質量%以上、より好ましくは30質量%以上、更に好ましくは50質量%以上であり、好ましくは95質量%以下、より好ましくは90質量%以下、更に好ましくは80質量%以下である。 The amount of (B) inorganic filler in the curable resin composition is preferably 10% by mass or more, more preferably 30% by mass or more, and even more preferably 50% by mass or more, relative to 100% by mass of the non-volatile components of the curable resin composition; it is preferably 95% by mass or less, more preferably 90% by mass or less, and even more preferably 80% by mass or less.

-(C)硬化促進剤-
硬化性樹脂組成物は、任意の成分として、(C)硬化促進剤を含んでいてもよい。(C)硬化促進剤は、(A)硬化性樹脂の硬化を促進させる硬化触媒としての機能を有する。
-(C) Curing accelerator-
The curable resin composition may contain, as an optional component, a curing accelerator (C). The curing accelerator (C) functions as a curing catalyst that accelerates the curing of the curable resin (A).

(C)硬化促進剤としては、(A)硬化性樹脂の種類に応じて適切なものを用いうる。例えば、(A)硬化性樹脂がエポキシ樹脂を含む場合、そのエポキシ樹脂の硬化を促進させうる(C)硬化促進剤としては、例えば、リン系硬化促進剤、ウレア系硬化促進剤、グアニジン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、金属系硬化促進剤、アミン系硬化促進剤等が挙げられる。(C)硬化促進剤は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 The (C) curing accelerator may be selected based on the type of (A) curable resin. For example, when the (A) curable resin contains an epoxy resin, examples of (C) curing accelerators that can accelerate the curing of the epoxy resin include phosphorus-based curing accelerators, urea-based curing accelerators, guanidine-based curing accelerators, imidazole-based curing accelerators, metal-based curing accelerators, and amine-based curing accelerators. One type of (C) curing accelerator may be used alone, or two or more types may be used in combination.

リン系硬化促進剤としては、例えば、テトラブチルホスホニウムブロマイド、テトラブチルホスホニウムクロライド、テトラブチルホスホニウムアセテート、テトラブチルホスホニウムデカノエート、テトラブチルホスホニウムラウレート、ビス(テトラブチルホスホニウム)ピロメリテート、テトラブチルホスホニウムハイドロジェンヘキサヒドロフタレート、テトラブチルホスホニウム2,6-ビス[(2-ヒドロキシ-5-メチルフェニル)メチル]-4-メチルフェノラート、ジ-tert-ブチルジメチルホスホニウムテトラフェニルボレート等の脂肪族ホスホニウム塩;メチルトリフェニルホスホニウムブロマイド、エチルトリフェニルホスホニウムブロマイド、プロピルトリフェニルホスホニウムブロマイド、ブチルトリフェニルホスホニウムブロマイド、ベンジルトリフェニルホスホニウムクロライド、テトラフェニルホスホニウムブロマイド、p-トリルトリフェニルホスホニウムテトラ-p-トリルボレート、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、テトラフェニルホスホニウムテトラp-トリルボレート、トリフェニルエチルホスホニウムテトラフェニルボレート、トリス(3-メチルフェニル)エチルホスホニウムテトラフェニルボレート、トリス(2-メトキシフェニル)エチルホスホニウムテトラフェニルボレート、(4-メチルフェニル)トリフェニルホスホニウムチオシアネート、テトラフェニルホスホニウムチオシアネート、ブチルトリフェニルホスホニウムチオシアネート等の芳香族ホスホニウム塩;トリフェニルホスフィン・トリフェニルボラン等の芳香族ホスフィン・ボラン複合体;トリフェニルホスフィン・p-ベンゾキノン付加反応物等の芳香族ホスフィン・キノン付加反応物;トリブチルホスフィン、トリ-tert-ブチルホスフィン、トリオクチルホスフィン、ジ-tert-ブチル(2-ブテニル)ホスフィン、ジ-tert-ブチル(3-メチル-2-ブテニル)ホスフィン、トリシクロヘキシルホスフィン等の脂肪族ホスフィン;ジブチルフェニルホスフィン、ジ-tert-ブチルフェニルホスフィン、メチルジフェニルホスフィン、エチルジフェニルホスフィン、ブチルジフェニルホスフィン、ジフェニルシクロヘキシルホスフィン、トリフェニルホスフィン、トリ-o-トリルホスフィン、トリ-m-トリルホスフィン、トリ-p-トリルホスフィン、トリス(4-エチルフェニル)ホスフィン、トリス(4-プロピルフェニル)ホスフィン、トリス(4-イソプロピルフェニル)ホスフィン、トリス(4-ブチルフェニル)ホスフィン、トリス(4-tert-ブチルフェニル)ホスフィン、トリス(2,4-ジメチルフェニル)ホスフィン、トリス(2,5-ジメチルフェニル)ホスフィン、トリス(2,6-ジメチルフェニル)ホスフィン、トリス(3,5-ジメチルフェニル)ホスフィン、トリス(2,4,6-トリメチルフェニル)ホスフィン、トリス(2,6-ジメチル-4-エトキシフェニル)ホスフィン、トリス(2-メトキシフェニル)ホスフィン、トリス(4-メトキシフェニル)ホスフィン、トリス(4-エトキシフェニル)ホスフィン、トリス(4-tert-ブトキシフェニル)ホスフィン、ジフェニル-2-ピリジルホスフィン、1,2-ビス(ジフェニルホスフィノ)エタン、1,3-ビス(ジフェニルホスフィノ)プロパン、1,4-ビス(ジフェニルホスフィノ)ブタン、1,2-ビス(ジフェニルホスフィノ)アセチレン、2,2’-ビス(ジフェニルホスフィノ)ジフェニルエーテル等の芳香族ホスフィン等が挙げられる。 Examples of phosphorus-based curing accelerators include aliphatic phosphonium salts such as tetrabutylphosphonium bromide, tetrabutylphosphonium chloride, tetrabutylphosphonium acetate, tetrabutylphosphonium decanoate, tetrabutylphosphonium laurate, bis(tetrabutylphosphonium)pyromellitate, tetrabutylphosphonium hydrogenhexahydrophthalate, tetrabutylphosphonium 2,6-bis[(2-hydroxy-5-methylphenyl)methyl]-4-methylphenolate, and di-tert-butyldimethylphosphonium tetraphenylborate; methyltriphenylphosphonium bromide, ethyltriphenylphosphonium bromide, propyltriphenylphosphonium bromide, butyltriphenylphosphonium bromide, benzyltriphenylphosphonium chloride, and tetraphenyl Aromatic phosphonium salts such as phosphonium bromide, p-tolyltriphenylphosphonium tetra-p-tolylborate, tetraphenylphosphonium tetraphenylborate, tetraphenylphosphonium tetra-p-tolylborate, triphenylethylphosphonium tetraphenylborate, tris(3-methylphenyl)ethylphosphonium tetraphenylborate, tris(2-methoxyphenyl)ethylphosphonium tetraphenylborate, (4-methylphenyl)triphenylphosphonium thiocyanate, tetraphenylphosphonium thiocyanate, and butyltriphenylphosphonium thiocyanate; aromatic phosphine-borane complexes such as triphenylphosphine-triphenylborane; aromatic phosphine-quinone addition products such as triphenylphosphine-p-benzoquinone addition products; tributylphosphine, tri- Aliphatic phosphines such as tert-butylphosphine, trioctylphosphine, di-tert-butyl(2-butenyl)phosphine, di-tert-butyl(3-methyl-2-butenyl)phosphine, and tricyclohexylphosphine; dibutylphenylphosphine, di-tert-butylphenylphosphine, methyldiphenylphosphine, ethyldiphenylphosphine, butyldiphenylphosphine, diphenylcyclohexylphosphine, triphenylphosphine, tri-o-tolylphosphine, tri-m-tolylphosphine, tri-p-tolylphosphine, tris(4-ethylphenyl)phosphine, tris(4-propylphenyl)phosphine, tris(4-isopropylphenyl)phosphine, tris(4-butylphenyl)phosphine, tris(4-tert-butylphenyl)phosphine, tris(2,4-dimethylphenyl)phosphine, Examples of aromatic phosphines include tris(2,5-dimethylphenyl)phosphine, tris(2,6-dimethylphenyl)phosphine, tris(3,5-dimethylphenyl)phosphine, tris(2,4,6-trimethylphenyl)phosphine, tris(2,6-dimethyl-4-ethoxyphenyl)phosphine, tris(2-methoxyphenyl)phosphine, tris(4-methoxyphenyl)phosphine, tris(4-ethoxyphenyl)phosphine, tris(4-tert-butoxyphenyl)phosphine, diphenyl-2-pyridylphosphine, 1,2-bis(diphenylphosphino)ethane, 1,3-bis(diphenylphosphino)propane, 1,4-bis(diphenylphosphino)butane, 1,2-bis(diphenylphosphino)acetylene, and 2,2'-bis(diphenylphosphino)diphenyl ether.

ウレア系硬化促進剤としては、例えば、1,1-ジメチル尿素;1,1,3-トリメチル尿素、3-エチル-1,1-ジメチル尿素、3-シクロヘキシル-1,1-ジメチル尿素、3-シクロオクチル-1,1-ジメチル尿素等の脂肪族ジメチルウレア;3-フェニル-1,1-ジメチル尿素、3-(4-クロロフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-(3,4-ジクロロフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-(3-クロロ-4-メチルフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-(2-メチルフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-(4-メチルフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-(3,4-ジメチルフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-(4-イソプロピルフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-(4-メトキシフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-(4-ニトロフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-[4-(4-メトキシフェノキシ)フェニル]-1,1-ジメチル尿素、3-[4-(4-クロロフェノキシ)フェニル]-1,1-ジメチル尿素、3-[3-(トリフルオロメチル)フェニル]-1,1-ジメチル尿素、N,N-(1,4-フェニレン)ビス(N’,N’-ジメチル尿素)、N,N-(4-メチル-1,3-フェニレン)ビス(N’,N’-ジメチル尿素)〔トルエンビスジメチルウレア〕等の芳香族ジメチルウレア等が挙げられる。 Examples of urea-based curing accelerators include aliphatic dimethylureas such as 1,1-dimethylurea, 1,1,3-trimethylurea, 3-ethyl-1,1-dimethylurea, 3-cyclohexyl-1,1-dimethylurea, and 3-cyclooctyl-1,1-dimethylurea; 3-phenyl-1,1-dimethylurea, 3-(4-chlorophenyl)-1,1-dimethylurea, 3-(3,4-dichlorophenyl)-1,1-dimethylurea, 3-(3-chloro-4-methylphenyl)-1,1-dimethylurea, 3-(2-methylphenyl)-1,1-dimethylurea, 3-(4-methylphenyl)-1,1-dimethylurea, and 3-(3,4-dimethylphenyl)-1,1-dimethylurea. Examples of aromatic dimethylureas include toluene bis(dimethylurea), 3-(4-isopropylphenyl)-1,1-dimethylurea, 3-(4-methoxyphenyl)-1,1-dimethylurea, 3-(4-nitrophenyl)-1,1-dimethylurea, 3-[4-(4-methoxyphenoxy)phenyl]-1,1-dimethylurea, 3-[4-(4-chlorophenoxy)phenyl]-1,1-dimethylurea, 3-[3-(trifluoromethyl)phenyl]-1,1-dimethylurea, N,N-(1,4-phenylene)bis(N',N'-dimethylurea), and N,N-(4-methyl-1,3-phenylene)bis(N',N'-dimethylurea) [toluene bisdimethylurea].

グアニジン系硬化促進剤としては、例えば、ジシアンジアミド、1-メチルグアニジン、1-エチルグアニジン、1-シクロヘキシルグアニジン、1-フェニルグアニジン、1-(o-トリル)グアニジン、ジメチルグアニジン、ジフェニルグアニジン、トリメチルグアニジン、テトラメチルグアニジン、ペンタメチルグアニジン、1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エン、7-メチル-1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エン、1-メチルビグアニド、1-エチルビグアニド、1-n-ブチルビグアニド、1-n-オクタデシルビグアニド、1,1-ジメチルビグアニド、1,1-ジエチルビグアニド、1-シクロヘキシルビグアニド、1-アリルビグアニド、1-フェニルビグアニド、1-(o-トリル)ビグアニド等が挙げられる。 Examples of guanidine-based curing accelerators include dicyandiamide, 1-methylguanidine, 1-ethylguanidine, 1-cyclohexylguanidine, 1-phenylguanidine, 1-(o-tolyl)guanidine, dimethylguanidine, diphenylguanidine, trimethylguanidine, tetramethylguanidine, pentamethylguanidine, 1,5,7-triazabicyclo[4.4.0]dec-5-ene, 7-methyl-1,5,7-triazabicyclo[4.4.0]dec-5-ene, 1-methylbiguanide, 1-ethylbiguanide, 1-n-butylbiguanide, 1-n-octadecylbiguanide, 1,1-dimethylbiguanide, 1,1-diethylbiguanide, 1-cyclohexylbiguanide, 1-allylbiguanide, 1-phenylbiguanide, and 1-(o-tolyl)biguanide.

イミダゾール系硬化促進剤としては、例えば、2-メチルイミダゾール、2-ウンデシルイミダゾール、2-ヘプタデシルイミダゾール、1,2-ジメチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、1,2-ジメチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、2-フェニル-4-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-フェニルイミダゾール、1-シアノエチル-2-メチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-ウンデシルイミダゾール、1-シアノエチル-2-エチル-4-メチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾール、1-シアノエチル-2-ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4-ジアミノ-6-[2’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-ウンデシルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-エチル-4’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジンイソシアヌル酸付加物、2-フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2-フェニル-4,5-ジヒドロキシメチルイミダゾール、2-フェニル-4-メチル-5-ヒドロキシメチルイミダゾール、2,3-ジヒドロ-1H-ピロロ[1,2-a]ベンズイミダゾール、1-ドデシル-2-メチル-3-ベンジルイミダゾリウムクロライド、2-メチルイミダゾリン、2-フェニルイミダゾリン等のイミダゾール化合物及びイミダゾール化合物とエポキシ樹脂とのアダクト体が挙げられる。イミダゾール系硬化促進剤の市販品としては、例えば、四国化成工業社製の「1B2PZ」、「2E4MZ」、「2MZA-PW」、「2MZ-OK」、「2MA-OK」、「2MA-OK-PW」、「2PHZ」、「2PHZ-PW」、「Cl1Z」、「Cl1Z-CN」、「Cl1Z-CNS」、「C11Z-A」;三菱ケミカル社製の「P200-H50」等が挙げられる。 Examples of imidazole curing accelerators include 2-methylimidazole, 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, and 1-benzyl-2- Phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimellitate, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimellitate, 2,4-diamino-6-[2'-methylimidazolyl -(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-undecylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-ethyl-4'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct imidazole compounds such as 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, 2,3-dihydro-1H-pyrrolo[1,2-a]benzimidazole, 1-dodecyl-2-methyl-3-benzylimidazolium chloride, 2-methylimidazoline, and 2-phenylimidazoline, as well as adducts of imidazole compounds with epoxy resins. Commercially available imidazole curing accelerators include, for example, "1B2PZ," "2E4MZ," "2MZA-PW," "2MZ-OK," "2MA-OK," "2MA-OK-PW," "2PHZ," "2PHZ-PW," "Cl1Z," "Cl1Z-CN," "Cl1Z-CNS," and "C11Z-A" manufactured by Shikoku Chemicals Corporation; and "P200-H50" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation.

金属系硬化促進剤としては、例えば、コバルト、銅、亜鉛、鉄、ニッケル、マンガン、スズ等の金属の、有機金属錯体又は有機金属塩が挙げられる。有機金属錯体の具体例としては、コバルト(II)アセチルアセトナート、コバルト(III)アセチルアセトナート等の有機コバルト錯体、銅(II)アセチルアセトナート等の有機銅錯体、亜鉛(II)アセチルアセトナート等の有機亜鉛錯体、鉄(III)アセチルアセトナート等の有機鉄錯体、ニッケル(II)アセチルアセトナート等の有機ニッケル錯体、マンガン(II)アセチルアセトナート等の有機マンガン錯体等が挙げられる。有機金属塩としては、例えば、オクチル酸亜鉛、オクチル酸錫、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、ステアリン酸スズ、ステアリン酸亜鉛等が挙げられる。 Metal-based curing accelerators include, for example, organometallic complexes or organometallic salts of metals such as cobalt, copper, zinc, iron, nickel, manganese, and tin. Specific examples of organometallic complexes include organocobalt complexes such as cobalt(II) acetylacetonate and cobalt(III) acetylacetonate, organocopper complexes such as copper(II) acetylacetonate, organozinc complexes such as zinc(II) acetylacetonate, organoiron complexes such as iron(III) acetylacetonate, organonickel complexes such as nickel(II) acetylacetonate, and organomanganese complexes such as manganese(II) acetylacetonate. Examples of organometallic salts include zinc octoate, tin octoate, zinc naphthenate, cobalt naphthenate, tin stearate, and zinc stearate.

アミン系硬化促進剤としては、例えば、トリエチルアミン、トリブチルアミン等のトリアルキルアミン、4-ジメチルアミノピリジン、ベンジルジメチルアミン、2,4,6,-トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール、1,8-ジアザビシクロ(5,4,0)-ウンデセン等が挙げられる。アミン系硬化促進剤としては、市販品を用いてもよく、例えば、味の素ファインテクノ社製の「MY-25」等が挙げられる。 Examples of amine-based curing accelerators include trialkylamines such as triethylamine and tributylamine, 4-dimethylaminopyridine, benzyldimethylamine, 2,4,6-tris(dimethylaminomethyl)phenol, and 1,8-diazabicyclo(5,4,0)-undecene. Commercially available amine-based curing accelerators may also be used, such as "MY-25" manufactured by Ajinomoto Fine-Techno Co., Inc.

硬化性樹脂組成物中の(C)硬化促進剤の量は、硬化性樹脂組成物中の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは0.01質量%以上、より好ましくは0.02質量%以上、更に好ましくは0.05質量%以上であり、好ましくは1.0質量%以下、より好ましくは0.5質量%以下、特に好ましくは0.2質量%以下である。 The amount of (C) curing accelerator in the curable resin composition is preferably 0.01% by mass or more, more preferably 0.02% by mass or more, and even more preferably 0.05% by mass or more, relative to 100% by mass of non-volatile components in the curable resin composition; it is preferably 1.0% by mass or less, more preferably 0.5% by mass or less, and particularly preferably 0.2% by mass or less.

硬化性樹脂組成物中の(C)硬化促進剤の量は、硬化性樹脂組成物中の樹脂成分100質量%に対して、好ましくは0.01質量%以上、より好ましくは0.05質量%以上、更に好ましくは0.10質量%以上であり、好ましくは2.0質量%以下、より好ましくは1.0質量%以下、更に好ましくは0.5質量%以下である。 The amount of curing accelerator (C) in the curable resin composition is preferably 0.01% by mass or more, more preferably 0.05% by mass or more, and even more preferably 0.10% by mass or more, relative to 100% by mass of the resin components in the curable resin composition; it is preferably 2.0% by mass or less, more preferably 1.0% by mass or less, and even more preferably 0.5% by mass or less.

-(D)高分子樹脂-
硬化性樹脂組成物は、任意の成分として、(D)高分子樹脂を含んでいてもよい。(D)高分子樹脂としては、例えば、フェノキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリエステル樹脂等が挙げられる。(D)高分子樹脂は、1種類単独で用いてもよく、又は2種類以上を組み合わせて用いてもよい。
-(D) Polymer resin-
The curable resin composition may contain a polymer resin (D) as an optional component. Examples of the polymer resin (D) include phenoxy resins, polyimide resins, polyvinyl acetal resins, polyolefin resins, polybutadiene resins, polyamideimide resins, polyetherimide resins, polysulfone resins, polyethersulfone resins, polyphenylene ether resins, polycarbonate resins, polyetheretherketone resins, and polyester resins. The polymer resin (D) may be used alone or in combination of two or more.

フェノキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA骨格、ビスフェノールF骨格、ビスフェノールS骨格、ビスフェノールアセトフェノン骨格、ノボラック骨格、ビフェニル骨格、フルオレン骨格、ジシクロペンタジエン骨格、ノルボルネン骨格、ナフタレン骨格、アントラセン骨格、アダマンタン骨格、テルペン骨格、及びトリメチルシクロヘキサン骨格からなる群から選択される1種類以上の骨格を有するフェノキシ樹脂が挙げられる。フェノキシ樹脂の末端は、フェノール性水酸基、エポキシ基等のいずれの官能基でもよい。フェノキシ樹脂の具体例としては、三菱ケミカル社製の「1256」及び「4250」(いずれもビスフェノールA骨格含有フェノキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YX8100」(ビスフェノールS骨格含有フェノキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YX6954」(ビスフェノールアセトフェノン骨格含有フェノキシ樹脂);日鉄ケミカル&マテリアル社製の「FX280」及び「FX293」;三菱ケミカル社製の「YL7500BH30」、「YL7800BH40」、「YX6954BH30」、「YX7553」、「YX7553BH30」、「YL7769BH30」、「YL6794」、「YL7213」、「YL7290」、「YL7482」及び「YL7891BH30」;等が挙げられる。 Examples of phenoxy resins include phenoxy resins having one or more skeletons selected from the group consisting of bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, bisphenolacetophenone, novolac, biphenyl, fluorene, dicyclopentadiene, norbornene, naphthalene, anthracene, adamantane, terpene, and trimethylcyclohexane. The terminals of the phenoxy resins may be any functional group, such as a phenolic hydroxyl group or an epoxy group. Specific examples of phenoxy resins include "1256" and "4250" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation (both phenoxy resins containing a bisphenol A skeleton); "YX8100" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation (phenoxy resin containing a bisphenol S skeleton); "YX6954" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation (phenoxy resin containing a bisphenol acetophenone skeleton); "FX280" and "FX293" manufactured by Nippon Steel Chemical & Material Co., Ltd.; and "YL7500BH30," "YL7800BH40," "YX6954BH30," "YX7553," "YX7553BH30," "YL7769BH30," "YL6794," "YL7213," "YL7290," "YL7482," and "YL7891BH30" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation.

ポリイミド樹脂の具体例としては、信越化学工業社製「SLK-6100」、新日本理化社製の「リカコートSN20」及び「リカコートPN20」等が挙げられる。 Specific examples of polyimide resins include "SLK-6100" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., and "Rikacoat SN20" and "Rikacoat PN20" manufactured by New Japan Chemical Co., Ltd.

ポリビニルアセタール樹脂としては、例えば、ポリビニルホルマール樹脂、ポリビニルブチラール樹脂が挙げられ、ポリビニルブチラール樹脂が好ましい。ポリビニルアセタール樹脂の具体例としては、電気化学工業社製の「電化ブチラール4000-2」、「電化ブチラール5000-A」、「電化ブチラール6000-C」、「電化ブチラール6000-EP」;積水化学工業社製のエスレックBHシリーズ、BXシリーズ(例えばBX-5Z)、KSシリーズ(例えばKS-1)、BLシリーズ、BMシリーズ;等が挙げられる。 Examples of polyvinyl acetal resins include polyvinyl formal resins and polyvinyl butyral resins, with polyvinyl butyral resins being preferred. Specific examples of polyvinyl acetal resins include Denka Butyral 4000-2, Denka Butyral 5000-A, Denka Butyral 6000-C, and Denka Butyral 6000-EP manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd.; and S-LEC BH series, BX series (e.g., BX-5Z), KS series (e.g., KS-1), BL series, and BM series manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd.

ポリオレフィン樹脂としては、例えば低密度ポリエチレン、超低密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、エチレン-酢酸ビニル共重合体、エチレン-アクリル酸エチル共重合体、エチレン-アクリル酸メチル共重合体等のエチレン系共重合樹脂;ポリプロピレン、エチレン-プロピレンブロック共重合体等のポリオレフィン系重合体等が挙げられる。 Examples of polyolefin resins include ethylene copolymer resins such as low-density polyethylene, very low-density polyethylene, high-density polyethylene, ethylene-vinyl acetate copolymer, ethylene-ethyl acrylate copolymer, and ethylene-methyl acrylate copolymer; and polyolefin polymers such as polypropylene and ethylene-propylene block copolymer.

ポリブタジエン樹脂としては、例えば、水素化ポリブタジエン骨格含有樹脂、ヒドロキシ基含有ポリブタジエン樹脂、フェノール性水酸基含有ポリブタジエン樹脂、カルボキシ基含有ポリブタジエン樹脂、酸無水物基含有ポリブタジエン樹脂、エポキシ基含有ポリブタジエン樹脂、イソシアネート基含有ポリブタジエン樹脂、ウレタン基含有ポリブタジエン樹脂、ポリフェニレンエーテル-ポリブタジエン樹脂等が挙げられる。 Examples of polybutadiene resins include hydrogenated polybutadiene skeleton-containing resins, hydroxyl group-containing polybutadiene resins, phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene resins, carboxyl group-containing polybutadiene resins, acid anhydride group-containing polybutadiene resins, epoxy group-containing polybutadiene resins, isocyanate group-containing polybutadiene resins, urethane group-containing polybutadiene resins, and polyphenylene ether-polybutadiene resins.

ポリアミドイミド樹脂の具体例としては、東洋紡社製の「バイロマックスHR11NN」及び「バイロマックスHR16NN」が挙げられる。ポリアミドイミド樹脂の具体例としてはまた、日立化成社製の「KS9100」、「KS9300」(ポリシロキサン骨格含有ポリアミドイミド)等の変性ポリアミドイミドが挙げられる。 Specific examples of polyamide-imide resins include "Vylomax HR11NN" and "Vylomax HR16NN" manufactured by Toyobo Co., Ltd. Specific examples of polyamide-imide resins also include modified polyamide-imides such as "KS9100" and "KS9300" (polysiloxane skeleton-containing polyamide-imides) manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.

ポリエーテルスルホン樹脂の具体例としては、住友化学社製の「PES5003P」等が挙げられる。 Specific examples of polyethersulfone resins include "PES5003P" manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.

ポリスルホン樹脂の具体例としては、ソルベイアドバンストポリマーズ社製のポリスルホン「P1700」、「P3500」等が挙げられる。 Specific examples of polysulfone resins include polysulfones "P1700" and "P3500" manufactured by Solvay Advanced Polymers.

ポリフェニレンエーテル樹脂の具体例としては、SABIC製「NORYL SA90」等が挙げられる。ポリエーテルイミド樹脂の具体例としては、GE社製の「ウルテム」等が挙げられる。 Specific examples of polyphenylene ether resins include "NORYL SA90" manufactured by SABIC. Specific examples of polyetherimide resins include "Ultem" manufactured by GE.

ポリカーボネート樹脂としては、例えば、ヒドロキシ基含有カーボネート樹脂、フェノール性水酸基含有カーボネート樹脂、カルボキシ基含有カーボネート樹脂、酸無水物基含有カーボネート樹脂、イソシアネート基含有カーボネート樹脂、ウレタン基含有カーボネート樹脂等が挙げられる。ポリカーボネート樹脂の具体例としては、三菱瓦斯化学社製の「FPC0220」、旭化成ケミカルズ社製の「T6002」、「T6001」(ポリカーボネートジオール)、クラレ社製の「C-1090」、「C-2090」、「C-3090」(ポリカーボネートジオール)等が挙げられる。ポリエーテルエーテルケトン樹脂の具体例としては、住友化学社製の「スミプロイK」等が挙げられる。 Examples of polycarbonate resins include hydroxyl group-containing carbonate resins, phenolic hydroxyl group-containing carbonate resins, carboxyl group-containing carbonate resins, acid anhydride group-containing carbonate resins, isocyanate group-containing carbonate resins, and urethane group-containing carbonate resins. Specific examples of polycarbonate resins include "FPC0220" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc., "T6002" and "T6001" (polycarbonate diols) manufactured by Asahi Kasei Chemicals Corporation, and "C-1090," "C-2090," and "C-3090" (polycarbonate diols) manufactured by Kuraray Co., Ltd. Specific examples of polyether ether ketone resins include "Sumiploy K" manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.

ポリエステル樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、ポリブチレンナフタレート樹脂、ポリトリメチレンテレフタレート樹脂、ポリトリメチレンナフタレート樹脂、ポリシクロヘキサンジメチルテレフタレート樹脂等が挙げられる。 Examples of polyester resins include polyethylene terephthalate resin, polyethylene naphthalate resin, polybutylene terephthalate resin, polybutylene naphthalate resin, polytrimethylene terephthalate resin, polytrimethylene naphthalate resin, and polycyclohexane dimethyl terephthalate resin.

(D)高分子樹脂は、通常、大きい分子量を有する。具体的には、(D)高分子樹脂の重量平均分子量(Mw)は、好ましくは5,000より大きく、より好ましくは8,000以上、更に好ましくは10,000以上、更に好ましくは20,000以上であり、好ましくは100,000以下、より好ましくは70,000以下、さらに好ましくは60,000以下、更に好ましくは50,000以下である。 The (D) polymer resin typically has a large molecular weight. Specifically, the weight average molecular weight (Mw) of the (D) polymer resin is preferably greater than 5,000, more preferably 8,000 or more, even more preferably 10,000 or more, and even more preferably 20,000 or more; it is preferably 100,000 or less, more preferably 70,000 or less, even more preferably 60,000 or less, and even more preferably 50,000 or less.

硬化性樹脂組成物中の(D)高分子樹脂の量は、硬化性樹脂組成物中の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは0.01質量%以上、より好ましくは0.1質量%以上、更に好ましくは1質量%以上であり、好ましくは20質量%以下、より好ましくは10質量%以下、更に好ましくは5質量%以下である。 The amount of (D) polymer resin in the curable resin composition is preferably 0.01% by mass or more, more preferably 0.1% by mass or more, and even more preferably 1% by mass or more, relative to 100% by mass of non-volatile components in the curable resin composition; it is preferably 20% by mass or less, more preferably 10% by mass or less, and even more preferably 5% by mass or less.

硬化性樹脂組成物中の(D)高分子樹脂の量は、硬化性樹脂組成物中の樹脂成分100質量%に対して、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは1質量%以上、更に好ましくは2質量%以上であり、好ましくは30質量%以下、より好ましくは20質量%以下、更に好ましくは10質量%以下である。 The amount of (D) polymer resin in the curable resin composition is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 1% by mass or more, and even more preferably 2% by mass or more, relative to 100% by mass of the resin components in the curable resin composition; it is preferably 30% by mass or less, more preferably 20% by mass or less, and even more preferably 10% by mass or less.

-(E)任意の添加剤-
硬化性樹脂組成物は、上述した(A)~(D)成分に組み合わせて、更に任意の不揮発成分として、(E)任意の添加剤を含んでいてもよい。(E)任意の添加剤としては、例えば、有機銅化合物、有機亜鉛化合物、有機コバルト化合物等の有機金属化合物;フタロシアニンブルー、フタロシアニングリーン、アイオディングリーン、ジアゾイエロー、クリスタルバイオレット、酸化チタン、カーボンブラック等の着色剤;ハイドロキノン、カテコール、ピロガロール、フェノチアジン等の重合禁止剤;シリコーン系レベリング剤、アクリルポリマー系レベリング剤等のレベリング剤;ベントン、モンモリロナイト等の増粘剤;シリコーン系消泡剤、アクリル系消泡剤、フッ素系消泡剤、ビニル樹脂系消泡剤等の消泡剤;ベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤等の紫外線吸収剤;尿素シラン等の接着性向上剤;トリアゾール系密着性付与剤、テトラゾール系密着性付与剤、トリアジン系密着性付与剤等の密着性付与剤;ヒンダードフェノール系酸化防止剤等の酸化防止剤;スチルベン誘導体等の蛍光増白剤;フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤等の界面活性剤;リン系難燃剤(例えばリン酸エステル化合物、ホスファゼン化合物、ホスフィン酸化合物、赤リン)、窒素系難燃剤(例えば硫酸メラミン)、ハロゲン系難燃剤、無機系難燃剤(例えば三酸化アンチモン)等の難燃剤;リン酸エステル系分散剤、ポリオキシアルキレン系分散剤、アセチレン系分散剤、シリコーン系分散剤、アニオン性分散剤、カチオン性分散剤等の分散剤;ボレート系安定剤、チタネート系安定剤、アルミネート系安定剤、ジルコネート系安定剤、イソシアネート系安定剤、カルボン酸系安定剤、カルボン酸無水物系安定剤等の安定剤;第三級アミン類等の重合開始助剤;ピラリゾン類、アントラセン類、クマリン類、キサントン類、チオキサントン類等の光増感剤;有機粒子;が挙げられる。(E)任意の添加剤は、1種類を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
-(E) Optional Additives-
The curable resin composition may further contain an optional additive (E) as an optional non-volatile component in combination with the above-described components (A) to (D). Examples of the optional additive (E) include organometallic compounds such as organocopper compounds, organozinc compounds, and organocobalt compounds; colorants such as phthalocyanine blue, phthalocyanine green, iodine green, diazo yellow, crystal violet, titanium oxide, and carbon black; polymerization inhibitors such as hydroquinone, catechol, pyrogallol, and phenothiazine; leveling agents such as silicone-based leveling agents and acrylic polymer-based leveling agents; thickeners such as bentone and montmorillonite; antifoaming agents such as silicone-based antifoaming agents, acrylic-based antifoaming agents, fluorine-based antifoaming agents, and vinyl resin-based antifoaming agents; ultraviolet absorbers such as benzotriazole-based ultraviolet absorbers; adhesion improvers such as urea silane; adhesion imparting agents such as triazole-based adhesion imparting agents, tetrazole-based adhesion imparting agents, and triazine-based adhesion imparting agents; and antioxidants such as hindered phenol-based antioxidants. Examples of the additives include: inhibitors; fluorescent brighteners such as stilbene derivatives; surfactants such as fluorine-based surfactants and silicone-based surfactants; flame retardants such as phosphorus-based flame retardants (e.g., phosphate ester compounds, phosphazene compounds, phosphinic acid compounds, and red phosphorus), nitrogen-based flame retardants (e.g., melamine sulfate), halogen-based flame retardants, and inorganic flame retardants (e.g., antimony trioxide); dispersants such as phosphate ester-based dispersants, polyoxyalkylene-based dispersants, acetylene-based dispersants, silicone-based dispersants, anionic dispersants, and cationic dispersants; stabilizers such as borate-based stabilizers, titanate-based stabilizers, aluminate-based stabilizers, zirconate-based stabilizers, isocyanate-based stabilizers, carboxylic acid-based stabilizers, and carboxylic acid anhydride-based stabilizers; polymerization initiation aids such as tertiary amines; photosensitizers such as pyrarizones, anthracenes, coumarins, xanthones, and thioxanthones; and organic particles. (E) The optional additives may be used singly or in combination of two or more.

-(F)溶剤-
硬化性樹脂組成物は、上述した(A)~(E)成分といった不揮発成分に組み合わせて、更に任意の揮発性成分として、(F)溶剤を含んでいてもよい。(F)溶剤としては、通常、有機溶剤を用いる。有機溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶剤;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸イソブチル、酢酸イソアミル、プロピオン酸メチル、プロピオン酸エチル、γ-ブチロラクトン等のエステル系溶剤;テトラヒドロピラン、テトラヒドロフラン、1,4-ジオキサン、ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、ジフェニルエーテル、アニソール等のエーテル系溶剤;メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、エチレングリコール等のアルコール系溶剤;酢酸2-エトキシエチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチルジグリコールアセテート、γ-ブチロラクトン、メトキシプロピオン酸メチル等のエーテルエステル系溶剤;乳酸メチル、乳酸エチル、2-ヒドロキシイソ酪酸メチル等のエステルアルコール系溶剤;2-メトキシプロパノール、2-メトキシエタノール、2-エトキシエタノール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル(ブチルカルビトール)等のエーテルアルコール系溶剤;N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、N-メチル-2-ピロリドン等のアミド系溶剤;ジメチルスルホキシド等のスルホキシド系溶剤;アセトニトリル、プロピオニトリル等のニトリル系溶剤;ヘキサン、シクロペンタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶剤;ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、トリメチルベンゼン等の芳香族炭化水素系溶剤等を挙げることができる。(F)溶剤は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。
-(F) Solvent-
The curable resin composition may further contain a solvent (F) as an optional volatile component in addition to the non-volatile components (A) to (E) described above. An organic solvent is typically used as the solvent (F). Examples of the organic solvent include ketone-based solvents such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, and cyclohexanone; ester-based solvents such as methyl acetate, ethyl acetate, butyl acetate, isobutyl acetate, isoamyl acetate, methyl propionate, ethyl propionate, and γ-butyrolactone; ether-based solvents such as tetrahydropyran, tetrahydrofuran, 1,4-dioxane, diethyl ether, diisopropyl ether, dibutyl ether, diphenyl ether, and anisole; alcohol-based solvents such as methanol, ethanol, propanol, butanol, and ethylene glycol; 2-ethoxyethyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, ethyl diglycol acetate, γ-butyrolactone, and methyl methoxypropionate. ether ester solvents such as methyl lactate, ethyl lactate, methyl 2-hydroxyisobutyrate, and the like; ether alcohol solvents such as 2-methoxypropanol, 2-methoxyethanol, 2-ethoxyethanol, propylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether (butyl carbitol), and the like; amide solvents such as N,N-dimethylformamide, N,N-dimethylacetamide, and N-methyl-2-pyrrolidone, and the like; sulfoxide solvents such as dimethyl sulfoxide, and the like; nitrile solvents such as acetonitrile and propionitrile, and the like; aliphatic hydrocarbon solvents such as hexane, cyclopentane, cyclohexane, and methylcyclohexane, and the like; aromatic hydrocarbon solvents such as benzene, toluene, xylene, ethylbenzene, and trimethylbenzene, and the like. The (F) solvent may be used alone or in combination of two or more.

(F)溶剤の量は、特に限定されるものではないが、硬化性樹脂組成物中の全成分を100質量%とした場合、例えば、60質量%以下、40質量%以下、30質量%以下、20質量%以下、15質量%以下、10質量%以下等でありえ、0質量%であってもよい。 The amount of (F) solvent is not particularly limited, but when all components in the curable resin composition are taken as 100% by mass, it can be, for example, 60% by mass or less, 40% by mass or less, 30% by mass or less, 20% by mass or less, 15% by mass or less, 10% by mass or less, or even 0% by mass.

-硬化性樹脂組成物の製造方法-
硬化性樹脂組成物は、例えば、硬化性樹脂組成物に含まれうる成分を混合することによって、製造することができる。前記の成分は、一部又は全部を同時に混合してもよく、順に混合してもよい。各成分を混合する過程で、温度を適宜設定してもよく、よって、一時的に又は終始にわたって、加熱及び/又は冷却してもよい。また、各成分を混合する過程において、撹拌又は振盪を行ってもよい。
-Method for producing curable resin composition-
The curable resin composition can be produced, for example, by mixing components that can be included in the curable resin composition. The components may be mixed partially or entirely at the same time, or may be mixed sequentially. The temperature may be appropriately set during the process of mixing each component, and thus heating and/or cooling may be performed temporarily or throughout. Furthermore, stirring or shaking may be performed during the process of mixing each component.

-硬化性樹脂組成物の特性-
硬化性樹脂組成物を硬化することにより、硬化物を得ることができる。この硬化物は、好ましくは、回路基板の絶縁層を形成するために用いられる。絶縁層は、硬化性樹脂組成物の硬化物を含み、好ましくは当該硬化物のみを含む。通常、硬化性樹脂組成物に含まれる(F)溶剤等の揮発性成分は、硬化時に与えられる熱によって揮発しうるので、硬化物は、硬化性樹脂組成物の不揮発成分又はその反応生成物を含みうる。
-Characteristics of curable resin composition-
A cured product can be obtained by curing the curable resin composition. This cured product is preferably used to form an insulating layer of a circuit board. The insulating layer contains a cured product of the curable resin composition, and preferably contains only the cured product. Typically, volatile components such as (F) solvent contained in the curable resin composition can volatilize due to heat applied during curing, so the cured product can contain non-volatile components of the curable resin composition or reaction products thereof.

硬化性樹脂組成物の硬化物は、優れた誘電特性を有することが好ましい。具体的には、硬化性樹脂組成物の硬化物は、低い比誘電率を有することが好ましい。一例において、硬化物の比誘電率は、好ましくは5以下、より好ましくは4以下、特に好ましくは3以下である。下限は、特段の制限は無く、例えば、1.5以上、2.0以上などでありうる。 The cured product of the curable resin composition preferably has excellent dielectric properties. Specifically, the cured product of the curable resin composition preferably has a low dielectric constant. In one example, the dielectric constant of the cured product is preferably 5 or less, more preferably 4 or less, and particularly preferably 3 or less. There is no particular lower limit, and it can be, for example, 1.5 or more, 2.0 or more, etc.

また、硬化性樹脂組成物の硬化物は、低い誘電正接を有することが好ましい。一例において、硬化物の誘電正接は、好ましくは0.05以下、より好ましくは0.04以下、特に好ましくは0.03以下である。下限は、特段の制限は無く、例えば、0.001以上、0.002以上などでありうる。 It is also preferable that the cured product of the curable resin composition has a low dielectric dissipation factor. In one example, the dielectric dissipation factor of the cured product is preferably 0.05 or less, more preferably 0.04 or less, and particularly preferably 0.03 or less. There is no particular lower limit, and it can be, for example, 0.001 or more, 0.002 or more, etc.

硬化性樹脂組成物の硬化物の比誘電率及び誘電正接の測定は、空洞共振摂動法により、測定周波数5.8GHz、測定温度23℃の条件で行いうる。硬化性樹脂組成物が熱硬化性を有する場合、前記の比誘電率及び誘電正接は、例えば、硬化性樹脂組成物を180℃、90分の条件で熱硬化させて得られる硬化物を用いて測定できる。また、硬化性樹脂組成物が光硬化性を有する場合、前記の比誘電率及び誘電正接は、硬化性樹脂組成物に1J/cmの紫外線照射を行った後、180℃、90分の条件で加熱して得られる硬化物を用いて測定できる。 The dielectric constant and dielectric loss tangent of the cured product of the curable resin composition can be measured by a cavity resonance perturbation method at a measurement frequency of 5.8 GHz and a measurement temperature of 23°C. When the curable resin composition is thermosetting, the dielectric constant and dielectric loss tangent can be measured, for example, using a cured product obtained by thermally curing the curable resin composition at 180°C for 90 minutes. When the curable resin composition is photocurable, the dielectric constant and dielectric loss tangent can be measured using a cured product obtained by irradiating the curable resin composition with ultraviolet light at 1 J/ cm2 and then heating it at 180°C for 90 minutes.

<積層樹脂シートを用いた回路基板の製造方法の説明>
以下、本実施形態に係る積層樹脂シートの用途の一例として、回路基板の製造方法を説明する。回路基板は、通常、樹脂組成物層を硬化して得られる絶縁層を備える。この回路基板は、例えば、下記(i)~(iii)の工程を含む方法により製造することができる。
(i)積層樹脂シートから保護フィルムを剥離して、樹脂シートを得る工程。
(ii)内層基板上に、樹脂シートを、樹脂組成物層と内層基板とが接合するように、積層する工程。
(iii)樹脂組成物層を硬化して、絶縁層を形成する工程。
<Description of a method for manufacturing a circuit board using a laminated resin sheet>
Hereinafter, a method for producing a circuit board will be described as an example of an application of the laminated resin sheet according to this embodiment. The circuit board typically includes an insulating layer obtained by curing a resin composition layer. This circuit board can be produced, for example, by a method including the following steps (i) to (iii):
(i) A step of peeling off the protective film from the laminated resin sheet to obtain a resin sheet.
(ii) A step of laminating a resin sheet on the inner layer substrate so that the resin composition layer and the inner layer substrate are bonded to each other.
(iii) A step of curing the resin composition layer to form an insulating layer.

本例に係る回路基板の製造方法は、積層樹脂シートから保護フィルムを剥離して、樹脂シートを得る工程(i)を含む。保護フィルムを剥離することにより、樹脂組成物層が露出するので、工程(ii)において樹脂組成物層と内層基板とを接合させることが可能となる。 The method for manufacturing a circuit board according to this example includes step (i) of peeling a protective film from a laminated resin sheet to obtain a resin sheet. Peeling off the protective film exposes the resin composition layer, which makes it possible to bond the resin composition layer to an inner layer substrate in step (ii).

通常は、保護フィルムを樹脂シートに対して相対的に引っ張ることにより、保護フィルムを剥離する。例えば、保護フィルムを固定した状態で樹脂シートを搬送して、保護フィルムを剥がしてもよい。また、例えば、樹脂シートを固定した状態で保護フィルムを引っ張って、保護フィルムを剥がしてもよい。さらに、例えば、保護フィルムを引っ張りながら樹脂シートを搬送して、保護フィルムを剥がしてもよい。 Typically, the protective film is peeled off by pulling it relative to the resin sheet. For example, the resin sheet may be transported with the protective film fixed in place, and the protective film may be peeled off. Alternatively, the resin sheet may be transported with the protective film fixed in place, and the protective film may be peeled off. Furthermore, the resin sheet may be transported while the protective film is being pulled, and the protective film may be peeled off.

通常は、樹脂組成物層の表面に対して特定の角度をなす剥離方向に保護フィルムが相対的に引っ張られて、保護フィルムの剥離が達成される。樹脂組成物層の表面に対して剥離方向がなす角度の範囲は、特段の制限は無い。剥離方向は、例えば、樹脂組成物層の表面に対して平行方向でもよく、垂直方向でもよく、それ以外の方向でもよい。また、剥離を行う温度条件は、特に制限されない。回路基板の製造に要するエネルギーを低減する観点から、通常、保護フィルムの剥離は常温又はそれに近い温度で行われる。 Typically, the protective film is pulled relatively in a peeling direction that forms a specific angle with respect to the surface of the resin composition layer, thereby achieving peeling of the protective film. There are no particular restrictions on the range of angles that the peeling direction forms with respect to the surface of the resin composition layer. The peeling direction may be, for example, parallel to the surface of the resin composition layer, perpendicular to the surface, or in any other direction. Furthermore, there are no particular restrictions on the temperature conditions under which peeling is performed. From the perspective of reducing the energy required to manufacture circuit boards, peeling of the protective film is typically performed at room temperature or a temperature close to room temperature.

本例に係る回路基板の製造方法は、工程(i)の後で、内層基板上に樹脂シートを積層する工程(ii)を含む。この積層は、樹脂組成物層と内層基板とが接合するように行われる。 The method for manufacturing a circuit board according to this example includes, after step (i), step (ii) of laminating a resin sheet on the inner layer substrate. This lamination is performed so that the resin composition layer and the inner layer substrate are bonded together.

工程(ii)で用いられる「内層基板」とは、回路基板の基材となる部材であって、例えば、ガラスエポキシ基板、金属基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、BTレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等が挙げられる。また、該基板は、その片面又は両面に導体層を有していてもよく、この導体層はパターン加工されていてもよい。かかる導体層は、内層配線として機能しうる。基板の片面または両面に導体層(回路)が形成された内層基板は「内層回路基板」ということがある。また回路基板を製造する際に、さらに絶縁層及び/又は導体層が形成されるべき中間製造物も、前記の「内層基板」に含まれる。回路基板が部品内蔵回路板である場合、部品を内蔵した内層基板を使用してもよい。 The "inner layer substrate" used in step (ii) is a component that serves as the base material for the circuit board, and examples include glass epoxy substrates, metal substrates, polyester substrates, polyimide substrates, BT resin substrates, and thermosetting polyphenylene ether substrates. The substrate may also have a conductor layer on one or both sides, and this conductor layer may be patterned. Such a conductor layer can function as inner layer wiring. An inner layer substrate with a conductor layer (circuit) formed on one or both sides of the substrate is sometimes called an "inner layer circuit board." Furthermore, intermediate products on which insulating layers and/or conductor layers are to be formed during the manufacture of a circuit board are also included in the aforementioned "inner layer substrate." When the circuit board is a circuit board with built-in components, an inner layer substrate with built-in components may be used.

内層基板と樹脂シートの積層は、例えば、支持体側から樹脂シートを内層基板に加熱圧着することにより行うことができる。樹脂シートを内層基板に加熱圧着する部材(以下、「加熱圧着部材」ともいう。)としては、例えば、加熱された金属板(SUS鏡板等)又は金属ロール(SUSロール)等が挙げられる。なお、加熱圧着部材を樹脂シートに直接プレスするのではなく、内層基板の表面凹凸に樹脂シートが十分に追随するよう、耐熱ゴム等の弾性材を介してプレスするのが好ましい。 The inner layer substrate and resin sheet can be laminated, for example, by thermocompression bonding the resin sheet to the inner layer substrate from the support side. Examples of the member that thermocompresses the resin sheet to the inner layer substrate (hereinafter also referred to as the "thermocompression member") include a heated metal plate (such as a SUS panel) or a metal roll (SUS roll). It is preferable to press the thermocompression member not directly onto the resin sheet, but rather via an elastic material such as heat-resistant rubber, so that the resin sheet can adequately conform to the surface irregularities of the inner layer substrate.

内層基板と樹脂シートの積層は、真空ラミネート法により実施してよい。真空ラミネート法において、加熱圧着温度は、好ましくは60℃~160℃、より好ましくは80℃~140℃の範囲であり、加熱圧着圧力は、好ましくは0.098MPa~1.77MPa、より好ましくは0.29MPa~1.47MPaの範囲であり、加熱圧着時間は、好ましくは20秒間~400秒間、より好ましくは30秒間~300秒間の範囲である。積層は、好ましくは圧力26.7hPa以下の減圧条件下で実施される。 The lamination of the inner layer substrate and the resin sheet may be carried out by vacuum lamination. In vacuum lamination, the thermocompression temperature is preferably in the range of 60°C to 160°C, more preferably 80°C to 140°C, the thermocompression pressure is preferably in the range of 0.098 MPa to 1.77 MPa, more preferably 0.29 MPa to 1.47 MPa, and the thermocompression time is preferably in the range of 20 seconds to 400 seconds, more preferably 30 seconds to 300 seconds. Lamination is preferably carried out under reduced pressure conditions of 26.7 hPa or less.

積層は、市販の真空ラミネーターによって行うことができる。市販の真空ラミネーターとしては、例えば、名機製作所社製の真空加圧式ラミネーター、ニッコー・マテリアルズ社製のバキュームアップリケーター、バッチ式真空加圧ラミネーター等が挙げられる。 Lamination can be performed using a commercially available vacuum laminator. Examples of commercially available vacuum laminators include the vacuum pressure laminator manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd., the vacuum applicator manufactured by Nikko Materials Co., Ltd., and the batch vacuum pressure laminator.

積層の後に、常圧下(大気圧下)、例えば、加熱圧着部材を支持体側からプレスすることにより、積層された樹脂シートの平滑化処理を行ってもよい。平滑化処理のプレス条件は、上記積層の加熱圧着条件と同様の条件とすることができる。平滑化処理は、市販のラミネーターによって行うことができる。なお、積層と平滑化処理は、上記の市販の真空ラミネーターを用いて連続的に行ってもよい。 After lamination, the laminated resin sheets may be smoothed under normal pressure (atmospheric pressure), for example, by pressing a thermocompression member from the support side. The pressing conditions for the smoothing process may be the same as the thermocompression conditions for lamination described above. The smoothing process may be performed using a commercially available laminator. Note that lamination and smoothing may also be performed consecutively using the commercially available vacuum laminator described above.

本例に係る回路基板の製造方法は、工程(ii)の後で、樹脂組成物層を硬化して、絶縁層を形成する工程(iii)を含む。樹脂組成物層の硬化は、熱硬化、光硬化等のように、硬化性樹脂組成物に適した方法で行いうる。樹脂組成物層の具体的な硬化条件は、回路基板の絶縁層を形成するに際して通常採用される条件を使用してよい。 The method for manufacturing a circuit board according to this example includes, after step (ii), step (iii) of curing the resin composition layer to form an insulating layer. The resin composition layer can be cured by a method suitable for the curable resin composition, such as thermal curing or photocuring. The specific curing conditions for the resin composition layer may be the same as those typically used when forming an insulating layer for a circuit board.

例えば熱硬化性樹脂を含む硬化性樹脂組成物等の、熱硬化性の硬化性樹脂組成物を用いた場合、硬化性樹脂組成物の硬化は、熱硬化として進行しうる。よってこの場合、工程(iii)は、樹脂組成物層を熱硬化させることを含みうる。樹脂組成物層の熱硬化条件は、硬化性樹脂組成物の種類によっても異なりうる。例えば、硬化温度は、好ましくは120℃~240℃、より好ましくは150℃~220℃、さらに好ましくは170℃~210℃である。また、硬化時間は、好ましくは5分間~120分間、より好ましくは10分間~100分間、さらに好ましくは15分間~100分間でありうる。 For example, when a thermosetting curable resin composition, such as a curable resin composition containing a thermosetting resin, is used, curing of the curable resin composition can proceed as thermal curing. Therefore, in this case, step (iii) can include thermally curing the resin composition layer. The thermal curing conditions for the resin composition layer can vary depending on the type of curable resin composition. For example, the curing temperature is preferably 120°C to 240°C, more preferably 150°C to 220°C, and even more preferably 170°C to 210°C. The curing time is preferably 5 to 120 minutes, more preferably 10 to 100 minutes, and even more preferably 15 to 100 minutes.

また、樹脂組成物層を熱硬化させる場合には、回路基板の製造方法は、その熱硬化の前に、樹脂組成物層を硬化温度よりも低い温度にて予備加熱することを含むことが好ましい。例えば、樹脂組成物層を熱硬化させるのに先立ち、通常50℃~150℃、好ましくは60℃~140℃、より好ましくは70℃~130℃の温度にて、樹脂組成物層を通常5分間以上、好ましくは5分間~150分間、より好ましくは15分間~120分間、さらに好ましくは15分間~100分間予備加熱してもよい。 Furthermore, when the resin composition layer is thermally cured, the method for manufacturing a circuit board preferably includes preheating the resin composition layer at a temperature lower than the curing temperature before the thermal curing. For example, prior to thermally curing the resin composition layer, the resin composition layer may be preheated at a temperature typically between 50°C and 150°C, preferably between 60°C and 140°C, and more preferably between 70°C and 130°C for typically 5 minutes or more, preferably between 5 and 150 minutes, more preferably between 15 and 120 minutes, and even more preferably between 15 and 100 minutes.

他方、例えば光硬化性樹脂を含む硬化性樹脂組成物等の、光硬化性の硬化性樹脂組成物を用いた場合、硬化性樹脂組成物の硬化は、光硬化として進行しうる。よってこの場合、工程(iii)は、樹脂組成物層を光硬化させることを含みうる。硬化性樹脂組成物の光硬化条件は、硬化性樹脂組成物の種類によっても異なりうる。例えば、樹脂組成物層に活性光線を照射する露光処理によって、照射部の樹脂組成物層を光硬化させうる。活性光線としては、例えば、紫外線、可視光線、電子線、X線等が挙げられ、特に紫外線が好ましい。紫外線の照射量は、例えば、10mJ/cm~1000mJ/cmである。このとき、支持体を通して露光を行ってもよく、支持体を剥離した後に露光を行ってもよい。 On the other hand, when a photocurable curable resin composition, such as a curable resin composition containing a photocurable resin, is used, curing of the curable resin composition can proceed as photocuring. Therefore, in this case, step (iii) can include photocuring the resin composition layer. The photocuring conditions for the curable resin composition can vary depending on the type of curable resin composition. For example, the resin composition layer in the irradiated area can be photocured by an exposure treatment in which the resin composition layer is irradiated with actinic rays. Examples of actinic rays include ultraviolet rays, visible rays, electron beams, and X-rays, with ultraviolet rays being particularly preferred. The irradiation dose of ultraviolet rays is, for example, 10 mJ/cm 2 to 1000 mJ/cm 2. In this case, exposure may be performed through the support, or after peeling off the support.

露光処理では、パターンを形成されたマスクを通して樹脂組成物層に活性光線を照射してもよい。マスクを用いた露光方法には、マスクをワークに接触させて露光を行う接触露光法と、接触させずに平行光線を使用して露光を行う非接触露光法とがあり、どちらを用いてもよい。 In the exposure process, the resin composition layer may be irradiated with actinic rays through a mask on which a pattern has been formed. Exposure methods using a mask include contact exposure, in which exposure is performed by bringing the mask into contact with the workpiece, and non-contact exposure, in which exposure is performed using parallel light without contact; either method may be used.

工程(iii)は、露光処理の後に、現像処理を行うことを含んでいてもよい。現像処理によれば、光硬化されていない部分(未露光部)を除去して、絶縁層にパターンを形成することができる。現像は、通常、ウェット現像により行う。ウェット現像において、現像液としては、例えば、アルカリ性水溶液、水系現像液、有機溶剤等の、安全かつ安定であり操作性が良好な現像液が用いられる。なかでも、アルカリ水溶液による現像工程が好ましい。現像方法としては、例えば、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッピング等の方法が採用されうる。 Step (iii) may include a development process after the exposure process. The development process removes the non-photocured portions (unexposed portions) to form a pattern in the insulating layer. Development is typically performed by wet development. In wet development, a safe, stable, and easy-to-use developer is used, such as an alkaline aqueous solution, a water-based developer, or an organic solvent. Of these, a development process using an alkaline aqueous solution is preferred. Development methods that can be used include, for example, spraying, swinging immersion, brushing, and scraping.

さらに、樹脂組成物層を光硬化させた場合には、光硬化及び現像の後で、必要に応じて、ポストベーク処理を行ってもよい。ポストベーク処理としては、例えば、高圧水銀ランプによる紫外線照射処理、クリーンオーブンを用いた加熱処理、などが挙げられる。紫外線照射処理は、例えば、0.05J/cm~10J/cm程度の照射量で行いうる。また、加熱処理は、例えば、好ましくは150℃~250℃で20分間~180分間の範囲、より好ましくは160℃~230℃で30分間~120分間の範囲で行いうる。 Furthermore, when the resin composition layer is photocured, a post-baking treatment may be performed after photocuring and development, if necessary. Examples of post-baking treatments include ultraviolet irradiation treatment using a high-pressure mercury lamp and heat treatment using a clean oven. The ultraviolet irradiation treatment may be performed, for example, at an irradiation dose of approximately 0.05 J/cm 2 to 10 J/cm 2. The heat treatment may be performed, for example, at a temperature of preferably 150°C to 250°C for 20 minutes to 180 minutes, more preferably at a temperature of 160°C to 230°C for 30 minutes to 120 minutes.

回路基板の製造方法は、通常、支持体を除去する工程(iv)を含む。支持体の除去は、樹脂組成物層の硬化前に行ってもよいが、樹脂組成物層の硬化後に行うことが好ましい。支持体によって樹脂組成物層が覆われた状態で樹脂組成物層を硬化した場合、硬化工程において樹脂組成物層の表面に異物が付着することを抑制できる。また、樹脂組成物層の硬化後に支持体を除去する場合、支持体を特に容易に除去することができる。 The method for manufacturing a circuit board typically includes a step (iv) of removing the support. Removal of the support may be carried out before the resin composition layer is cured, but is preferably carried out after the resin composition layer is cured. If the resin composition layer is cured while covered with the support, adhesion of foreign matter to the surface of the resin composition layer during the curing step can be suppressed. Furthermore, if the support is removed after the resin composition layer is cured, removal of the support can be particularly easy.

回路基板を製造するに際しては、(v)絶縁層に穴あけする工程、(vi)絶縁層を粗化処理する工程、(vii)配線としての導体層を形成する工程をさらに実施してもよい。これらの工程(v)乃至工程(vii)は、回路基板の製造に用いられる、当業者に公知の各種方法に従って実施してよい。なお、支持体を工程(iii)の後に除去する場合、該支持体の除去は、工程(iii)と工程(v)との間、工程(v)と工程(vi)の間、又は工程(vi)と工程(vii)との間に実施してよい。また、必要に応じて、工程(i)~工程(vii)の絶縁層及び導体層の形成を繰り返して実施し、多層プリント配線板等の多層構造の回路基板を形成してもよい。 When manufacturing a circuit board, the following steps may be further carried out: (v) drilling holes in the insulating layer; (vi) roughening the insulating layer; and (vii) forming a conductor layer as wiring. These steps (v) through (vii) may be carried out according to various methods known to those skilled in the art and used in manufacturing circuit boards. If the support is removed after step (iii), the support may be removed between steps (iii) and (v), between steps (v) and (vi), or between steps (vi) and (vii). Furthermore, if necessary, the formation of insulating layers and conductor layers in steps (i) through (vii) may be repeated to form a multilayer circuit board, such as a multilayer printed wiring board.

工程(v)は、絶縁層に穴あけする工程であり、これにより絶縁層にビアホール、スルーホール等のホールを形成することができる。工程(v)は、絶縁層の形成に使用した硬化性樹脂組成物の組成に応じて、例えば、ドリル加工、レーザー加工、プラズマ加工等の加工方法を使用して実施してよい。ホールの寸法及び形状は、回路基板のデザインに応じて適宜決定してよい。 Step (v) is a step of drilling holes in the insulating layer, thereby forming holes such as via holes and through holes in the insulating layer. Step (v) may be performed using a processing method such as drilling, laser processing, or plasma processing, depending on the composition of the curable resin composition used to form the insulating layer. The dimensions and shape of the holes may be determined appropriately depending on the design of the circuit board.

工程(vi)は、絶縁層を粗化処理する工程である。通常、この工程(vi)において、ホール形成時に生成しうるスミア(樹脂残渣)の除去も行われる。粗化処理の手順、条件は特に限定されず、回路基板の絶縁層を形成するに際して通常使用される公知の手順、条件を採用することができる。例えば、膨潤液による膨潤処理、酸化剤による粗化処理、中和液による中和処理をこの順に実施して絶縁層を粗化処理することができる。 Step (vi) is a step in which the insulating layer is roughened. Typically, step (vi) also involves removing smears (resin residue) that may be generated during hole formation. The roughening procedure and conditions are not particularly limited, and known procedures and conditions commonly used when forming insulating layers for circuit boards can be used. For example, the insulating layer can be roughened by performing a swelling treatment using a swelling liquid, a roughening treatment using an oxidizing agent, and a neutralization treatment using a neutralizing liquid, in that order.

粗化処理に用いる膨潤液としては、例えば、アルカリ溶液、界面活性剤溶液等が挙げられ、好ましくはアルカリ溶液である。該アルカリ溶液としては、水酸化ナトリウム溶液、水酸化カリウム溶液がより好ましい。市販されている膨潤液としては、例えば、アトテックジャパン社製の「スウェリング・ディップ・セキュリガンスP」、「スウェリング・ディップ・セキュリガンスSBU」等が挙げられる。膨潤液による膨潤処理は、例えば、30℃~90℃の膨潤液に絶縁層を1分間~20分間浸漬することにより行うことができる。絶縁層の樹脂の膨潤を適度なレベルに抑える観点から、40℃~80℃の膨潤液に絶縁層を5分間~15分間浸漬させることが好ましい。 Examples of swelling solutions used in the roughening treatment include alkaline solutions and surfactant solutions, with alkaline solutions being preferred. Sodium hydroxide solution and potassium hydroxide solution are more preferred as alkaline solutions. Commercially available swelling solutions include "Swelling Dip Securigans P" and "Swelling Dip Securigans SBU" manufactured by Atotech Japan. Swelling treatment using a swelling solution can be performed, for example, by immersing the insulating layer in a swelling solution at 30°C to 90°C for 1 to 20 minutes. To keep swelling of the resin in the insulating layer to an appropriate level, it is preferable to immerse the insulating layer in a swelling solution at 40°C to 80°C for 5 to 15 minutes.

粗化処理に用いる酸化剤としては、例えば、水酸化ナトリウムの水溶液に過マンガン酸カリウム又は過マンガン酸ナトリウムを溶解したアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。アルカリ性過マンガン酸溶液等の酸化剤による粗化処理は、60℃~100℃に加熱した酸化剤溶液に絶縁層を10分間~30分間浸漬させて行うことが好ましい。また、アルカリ性過マンガン酸溶液における過マンガン酸塩の濃度は、5質量%~10質量%が好ましい。市販されている酸化剤としては、例えば、アトテックジャパン社製の「コンセントレート・コンパクトCP」、「ドージングソリューション・セキュリガンスP」等のアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。 The oxidizing agent used in the roughening treatment can be, for example, an alkaline permanganate solution prepared by dissolving potassium permanganate or sodium permanganate in an aqueous solution of sodium hydroxide. Roughening treatment using an oxidizing agent such as an alkaline permanganate solution is preferably carried out by immersing the insulating layer in an oxidizing agent solution heated to 60°C to 100°C for 10 to 30 minutes. The concentration of permanganate in the alkaline permanganate solution is preferably 5% to 10% by mass. Commercially available oxidizing agents include alkaline permanganate solutions such as "Concentrate Compact CP" and "Dosing Solution Securigance P" manufactured by Atotech Japan.

粗化処理に用いる中和液としては、酸性の水溶液が好ましく、市販品としては、例えば、アトテックジャパン社製の「リダクションソリューション・セキュリガントP」が挙げられる。中和液による処理は、酸化剤による粗化処理がなされた処理面を30℃~80℃の中和液に5分間~30分間浸漬させることにより行うことができる。作業性等の点から、酸化剤による粗化処理がなされた対象物を、40℃~70℃の中和液に5分間~20分間浸漬する方法が好ましい。 The neutralizing solution used for roughening treatment is preferably an acidic aqueous solution, and a commercially available product such as "Reduction Solution Securigant P" manufactured by Atotech Japan is one example. Treatment with a neutralizing solution can be carried out by immersing the surface that has been roughened with an oxidizing agent in a neutralizing solution at 30°C to 80°C for 5 to 30 minutes. From the standpoint of workability, etc., it is preferable to immerse the object that has been roughened with an oxidizing agent in a neutralizing solution at 40°C to 70°C for 5 to 20 minutes.

工程(vii)は、導体層を形成する工程であり、絶縁層上に導体層を形成する。導体層に使用する導体材料は特に限定されない。好適な実施形態では、導体層は、金、白金、パラジウム、銀、銅、アルミニウム、コバルト、クロム、亜鉛、ニッケル、チタン、タングステン、鉄、スズ及びインジウムからなる群から選択される1種以上の金属を含む。導体層は、単金属層であってもよく、合金層であってもよい。合金層としては、例えば、上記の群から選択される2種以上の金属の合金(例えば、ニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金及び銅・チタン合金)から形成された層が挙げられる。中でも、導体層形成の汎用性、コスト、パターニングの容易性等の観点から、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層、又はニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金、銅・チタン合金の合金層が好ましく、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層、又はニッケル・クロム合金の合金層がより好ましく、銅の単金属層が更に好ましい。 Step (vii) is a step of forming a conductor layer, and the conductor layer is formed on the insulating layer. The conductor material used for the conductor layer is not particularly limited. In a preferred embodiment, the conductor layer contains one or more metals selected from the group consisting of gold, platinum, palladium, silver, copper, aluminum, cobalt, chromium, zinc, nickel, titanium, tungsten, iron, tin, and indium. The conductor layer may be a single metal layer or an alloy layer. Examples of alloy layers include layers formed from alloys of two or more metals selected from the above group (e.g., nickel-chromium alloys, copper-nickel alloys, and copper-titanium alloys). Among these, from the standpoint of versatility in forming the conductor layer, cost, ease of patterning, etc., a single metal layer of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver, or copper, or an alloy layer of a nickel-chromium alloy, a copper-nickel alloy, or a copper-titanium alloy, is preferred, a single metal layer of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver, or copper, or an alloy layer of a nickel-chromium alloy is more preferred, and a single metal layer of copper is even more preferred.

導体層は、単層構造を有していてもよく、異なる種類の金属若しくは合金からなる単金属層又は合金層が2層以上積層した複層構造を有していてもよい。導体層が複層構造である場合、絶縁層と接する層は、クロム、亜鉛若しくはチタンの単金属層、又はニッケル・クロム合金の合金層であることが好ましい。 The conductor layer may have a single-layer structure, or a multi-layer structure consisting of two or more single-metal or alloy layers made of different types of metals or alloys. If the conductor layer has a multi-layer structure, the layer in contact with the insulating layer is preferably a single-metal layer of chromium, zinc, or titanium, or a nickel-chromium alloy layer.

通常、導体層には、配線として機能できるように、パターン加工が施される。このとき、導体層の最小ライン/スペース比の範囲は、小さいことが好ましい。導体層の最小ライン/スペース比の範囲は、好ましくは100μm/100μm以下(即ちピッチが200μm以下)、より好ましくは80μm/80μm以下、更に好ましくは50μm/50μm以下、更に好ましくは30μm/30μm以下である。下限は、例えば、0.5μm/0.5μm以上でありうる。ピッチは、導体層の全体にわたって均一でもよく、不均一でもよい。導体層の最小ピッチの範囲は、例えば、200μm以下、160μm以下、100μm以下、又は60μm以下であってもよい。ここで、「ライン」とは、導体層の配線幅を表し、「スペース」とは配線間の間隔を表す。 Typically, the conductor layer is patterned so that it can function as wiring. In this case, it is preferable that the minimum line/space ratio of the conductor layer be small. The minimum line/space ratio of the conductor layer is preferably 100 μm/100 μm or less (i.e., a pitch of 200 μm or less), more preferably 80 μm/80 μm or less, even more preferably 50 μm/50 μm or less, and even more preferably 30 μm/30 μm or less. The lower limit may be, for example, 0.5 μm/0.5 μm or more. The pitch may be uniform or nonuniform throughout the conductor layer. The minimum pitch of the conductor layer may be, for example, 200 μm or less, 160 μm or less, 100 μm or less, or 60 μm or less. Here, "line" refers to the wiring width of the conductor layer, and "space" refers to the distance between the wiring lines.

導体層の厚さは、所望の回路基板のデザインによるが、一般に3μm~35μm、好ましくは5μm~30μmである。 The thickness of the conductor layer depends on the desired circuit board design, but is generally between 3 μm and 35 μm, preferably between 5 μm and 30 μm.

一実施形態において、導体層は、メッキにより形成してよい。例えば、セミアディティブ法、フルアディティブ法等の従来公知の技術により絶縁層の表面にメッキして、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができる。製造の簡便性の観点から、セミアディティブ法が好ましい。以下、導体層をセミアディティブ法により形成する例を示す。 In one embodiment, the conductor layer may be formed by plating. For example, a conductor layer having a desired wiring pattern can be formed by plating the surface of the insulating layer using a conventional technique such as a semi-additive method or a full-additive method. From the perspective of ease of manufacturing, a semi-additive method is preferred. Below is an example of forming a conductor layer using a semi-additive method.

まず、絶縁層の表面に、無電解メッキによりメッキシード層を形成する。次いで、形成されたメッキシード層上に、所望の配線パターンに対応してメッキシード層の一部を露出させるマスクパターンを形成する。露出したメッキシード層上に、電解メッキにより金属層を形成した後、マスクパターンを除去する。その後、不要なメッキシード層をエッチング等により除去して、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができる。 First, a plating seed layer is formed on the surface of the insulating layer by electroless plating. Next, a mask pattern is formed on the formed plating seed layer, exposing a portion of the plating seed layer corresponding to the desired wiring pattern. A metal layer is formed on the exposed plating seed layer by electrolytic plating, and the mask pattern is then removed. Unnecessary plating seed layer is then removed by etching or other methods, forming a conductor layer with the desired wiring pattern.

回路基板の製造方法は、上述した工程に組み合わせて、更に任意の工程を含んでいてもよい。例えば、回路基板の製造方法は、導体層と接合するように半導体チップを設ける工程を含んでいてもよい。具体例を挙げると、半導体チップを備える半導体チップパッケージ用の回路基板を製造する場合に、回路基板の製造方法は、半導体チップを設ける工程を含んでいてもよい。半導体チップは、半導体チップの端子電極と絶縁層上に形成された導体層とが導体接続できる適切な条件を採用できる。例えば、フリップチップ実装において使用される条件を採用できる。また、半導体チップは、絶縁性の接着剤を介して接合してもよく、リフローにより接合してもよい。さらに、必要に応じて、設けた半導体チップをモールドアンダーフィル材で充填してもよい。 The method for manufacturing a circuit board may include any additional steps in addition to the steps described above. For example, the method for manufacturing a circuit board may include a step of providing a semiconductor chip so that it is bonded to the conductor layer. To give a specific example, when manufacturing a circuit board for a semiconductor chip package including a semiconductor chip, the method for manufacturing a circuit board may include a step of providing the semiconductor chip. The semiconductor chip may be bonded under appropriate conditions that allow for conductive connection between the terminal electrodes of the semiconductor chip and the conductor layer formed on the insulating layer. For example, conditions used in flip-chip mounting may be used. The semiconductor chip may also be bonded via an insulating adhesive or by reflow bonding. If necessary, the provided semiconductor chip may be filled with a mold underfill material.

また、回路基板の製造方法は、例えば、封止層を形成する工程、ソルダーレジスト層を形成する工程、製造した回路基板をダイシングして個片化する工程などを含んでいてもよい。 The method for manufacturing a circuit board may also include, for example, a process for forming a sealing layer, a process for forming a solder resist layer, and a process for dicing the manufactured circuit board into individual pieces.

製造される回路基板としては、例えば、プリント配線板及び半導体チップパッケージ等が挙げられる。半導体チップパッケージとしては、例えば、FC-CSP、MIS-BGAパッケージ、ETS-BGAパッケージ、Fan-out型WLP(Wafer Level Package)、Fan-in型WLP、Fan-out型PLP(Panel Level Package)、Fan-in型PLPが挙げられる。これらの半導体チップパッケージにおいては、上述した樹脂組成物層を硬化させた絶縁層により、再配線形成層を形成することが好ましい。ただし、本実施形態に係る積層樹脂シートを用いて製造される回路基板は、ここで例示するものには限られない。 Examples of circuit boards manufactured include printed wiring boards and semiconductor chip packages. Examples of semiconductor chip packages include FC-CSP, MIS-BGA package, ETS-BGA package, fan-out type WLP (Wafer Level Package), fan-in type WLP, fan-out type PLP (Panel Level Package), and fan-in type PLP. In these semiconductor chip packages, it is preferable to form a rewiring formation layer using an insulating layer formed by curing the above-mentioned resin composition layer. However, circuit boards manufactured using the laminated resin sheet according to this embodiment are not limited to those exemplified here.

前記の回路基板は、半導体装置の製造に用いることができる。半導体層は、上述した回路基板を備える。半導体装置としては、例えば、電気製品(例えば、コンピューター、携帯電話、スマートフォン、タブレット型デバイス、ウェラブルデバイス、デジタルカメラ、医療機器、及びテレビ等)及び乗物(例えば、自動二輪車、自動車、電車、船舶及び航空機等)等に供される各種半導体装置が挙げられる。 The circuit board can be used to manufacture semiconductor devices. The semiconductor layer comprises the circuit board described above. Examples of semiconductor devices include various semiconductor devices used in electrical appliances (e.g., computers, mobile phones, smartphones, tablet devices, wearable devices, digital cameras, medical equipment, televisions, etc.) and vehicles (e.g., motorcycles, automobiles, trains, ships, aircraft, etc.).

以下、実施例を示して本発明について具体的に説明する。ただし、本発明は、以下に示す実施例に限定されるものではない。以下の説明において、量を表す「部」及び「%」は、別途明示のない限り、それぞれ「質量部」及び「質量%」を意味する。また、特に指定が無い場合の温度条件及び圧力条件は、室温(25℃)及び大気圧(1atm)であった。 The present invention will be explained in more detail below with reference to examples. However, the present invention is not limited to the examples shown below. In the following explanation, "parts" and "%" representing amounts mean "parts by mass" and "% by mass", respectively, unless otherwise specified. Furthermore, unless otherwise specified, the temperature and pressure conditions were room temperature (25°C) and atmospheric pressure (1 atm).

<除塵ローラーの粘着力測定方法>
以下の実施例及び比較例で使用した除塵ローラーの粘着力は、下記の通りである。ここで、各除塵ローラーの粘着力は、当該除塵ローラー表面あるいは当該除塵ローラーの周面を形成する粘着テープの粘着力を表し、具体的には、以下の測定方法により測定された粘着力を表す。
粘着テープは粘着層が巻外になるようにコア芯に巻き付けて除塵ローラーを得た。除塵ローラーの周面に対して垂直に粘着力テスター(一進産業社製、A3―10N)を設置した。測定部を粘着層に押し当てて引き戻るときの最大荷重(N/100mm)を測定した。測定は3回行い、測定された最大荷重の3回の平均値を粘着力として得た。
・粘着テープ1:ニチバン社製「かりとめNO.207」(粘着力2.3N/100mm
・粘着テープ2:ニチバン社製「シーリングマスキングテープNo.2563」(粘着力2.7N/100mm
・除塵ローラー3:テクノロール社製「クリーンダッシュE」(粘着力3.0N/100mm
・除塵ローラー4:オーディオテクニカ社製「HC-730」(粘着力0.6N/100mm
<Method for measuring adhesive strength of dust removal roller>
The adhesive strength of the dust removal rollers used in the following Examples and Comparative Examples is as follows: Here, the adhesive strength of each dust removal roller refers to the adhesive strength of the adhesive tape forming the surface of the dust removal roller or the circumferential surface of the dust removal roller, and specifically refers to the adhesive strength measured by the following measurement method.
The adhesive tape was wound around a core so that the adhesive layer was on the outside of the roll to obtain a dust removal roller. An adhesive strength tester (Isshin Sangyo Co., Ltd., A3-10N) was placed perpendicular to the peripheral surface of the dust removal roller. The maximum load (N/100 mm2 ) when the measuring part was pressed against the adhesive layer and pulled back was measured. The measurement was performed three times, and the average of the three maximum load measurements was taken as the adhesive strength.
Adhesive tape 1: Nichiban "Karitome No. 207" (adhesive strength 2.3 N/100 mm 2 )
Adhesive tape 2: Nichiban "Sealing Masking Tape No. 2563" (adhesive strength 2.7 N/100 mm 2 )
Dust removal roller 3: Technoroll "Clean Dash E" (adhesive strength 3.0 N/100 mm 2 )
Dust removal roller 4: Audio-Technica "HC-730" (adhesive strength 0.6 N/100 mm 2 )

<実施例1>
(1.アクリル樹脂を含む離型層を備える支持体の製造)
(1-1.アクリル樹脂(A)の製造)
攪拌機、温度計及びコンデンサーを備えた温度調整可能な反応器中に、トルエン500質量部、ステアリルメタクリレート(アルキル鎖の炭素数18)80質量部、メタクリル酸15質量部、2-ヒドロキシエチルメタクリレート5質量部、及びアゾビスイソブチロニトリル1部を、滴下器を用いて反応温度85℃にて4時間で滴下して、重合反応を行った。その後、同温度で2時間熟成して反応を完了させて、アクリル樹脂(A)を得た。このアクリル樹脂(A)を、イソプロピルアルコール5質量%及びn-ブチルセロソルブ5質量%を含む水に溶解させ、離型性成分としてのアクリル樹脂(A)を含む樹脂溶液を得た。
Example 1
(1. Production of a support having a release layer containing an acrylic resin)
(1-1. Production of acrylic resin (A))
Into a temperature-controllable reactor equipped with a stirrer, thermometer, and condenser, 500 parts by mass of toluene, 80 parts by mass of stearyl methacrylate (alkyl chain carbon number 18), 15 parts by mass of methacrylic acid, 5 parts by mass of 2-hydroxyethyl methacrylate, and 1 part of azobisisobutyronitrile were added dropwise using a dropper at a reaction temperature of 85°C over 4 hours to carry out a polymerization reaction. The mixture was then aged at the same temperature for 2 hours to complete the reaction, yielding acrylic resin (A). This acrylic resin (A) was dissolved in water containing 5% by mass of isopropyl alcohol and 5% by mass of n-butyl cellosolve to obtain a resin solution containing acrylic resin (A) as a mold-releasing component.

(1-2.アクリル樹脂(B)の製造)
ステンレス反応容器に、メタクリル酸メチル(a)、メタクリル酸ヒドロキシエチル(b)、芳香族ウレタンアクリレートオリゴマー(ダイセル・オルネクス社製「EBECRYL 220」、アクリロイル基の数が6)(c)を、(a)/(b)/(c)=94/1/5の質量比で仕込んだ。さらに、前記の反応容器に、乳化剤としてドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムを、(a)+(b)+(c)の合計100質量部に対して2質量部を加えて撹拌し、混合液(1)を調製した。
(1-2. Production of acrylic resin (B))
Methyl methacrylate (a), hydroxyethyl methacrylate (b), and an aromatic urethane acrylate oligomer (EBECRYL 220 manufactured by Daicel Allnex Corporation, having 6 acryloyl groups) (c) were charged into a stainless steel reaction vessel in a mass ratio of (a)/(b)/(c) = 94/1/5. Furthermore, 2 parts by mass of sodium dodecylbenzenesulfonate as an emulsifier per 100 parts by mass of the total of (a) + (b) + (c) were added to the reaction vessel and stirred to prepare a mixed solution (1).

次に、攪拌機、環流冷却管、温度計及び滴下ロートを備えた反応装置を用意した。上記混合液(1)を60質量部、イソプロピルアルコール200質量部、及び、重合開始剤として過硫酸カリウム5質量部を反応装置に加え、60℃に加熱して、混合液(2)を調製した。混合液(2)は、60℃の加熱状態のまま20分間保持させた。 Next, a reaction apparatus equipped with a stirrer, reflux condenser, thermometer, and dropping funnel was prepared. 60 parts by mass of the above mixed liquid (1), 200 parts by mass of isopropyl alcohol, and 5 parts by mass of potassium persulfate as a polymerization initiator were added to the reaction apparatus and heated to 60°C to prepare mixed liquid (2). Mixed liquid (2) was maintained at 60°C for 20 minutes.

次に、混合液(1)40質量部、イソプロピルアルコール50質量部、及び過硫酸カリウム5質量部からなる混合液(3)を調製した。滴下ロートを用いて混合液(3)を2時間かけて混合液(2)へ滴下し、混合液(4)を調製した。 Next, a mixed solution (3) consisting of 40 parts by mass of mixed solution (1), 50 parts by mass of isopropyl alcohol, and 5 parts by mass of potassium persulfate was prepared. Mixed solution (3) was added dropwise to mixed solution (2) over a period of 2 hours using a dropping funnel to prepare mixed solution (4).

その後、混合液(4)は、60℃に加熱した状態のまま2時間保持した。得られた混合液(4)を50℃以下に冷却した後、攪拌機及び減圧設備を備えた容器に移した。この容器に、25%アンモニア水60質量部、および純水900質量部を加え、60℃に加熱しながら減圧下にてイソプロピルアルコールおよび未反応モノマーを回収し、純水に分散された任意の樹脂としてのアクリル樹脂(B)を含む組成物を得た。 Then, mixed liquid (4) was heated to 60°C and held for 2 hours. The resulting mixed liquid (4) was cooled to below 50°C and then transferred to a container equipped with a stirrer and pressure reduction equipment. 60 parts by mass of 25% aqueous ammonia and 900 parts by mass of pure water were added to this container, and the isopropyl alcohol and unreacted monomers were recovered under reduced pressure while heating to 60°C, yielding a composition containing acrylic resin (B) as an optional resin dispersed in pure water.

(1-3.離型剤の製造)
アクリル樹脂(A)を含む樹脂溶液とアクリル樹脂(B)を含む組成物とを、アクリル樹脂(A)及びアクリル樹脂(B)の質量比(固形分質量比)で(A)/(B)=20/80となるように混合して、中間組成物を得た。さらに、この中間組成物にフッ素系界面活性剤(互応化学工業社製「プラスコート(登録商標) RY-2」)を、前記の中間組成物全体100質量部に対して0.1質量部になるように添加して、液状のアクリル樹脂組成物としての離型剤を得た。
(1-3. Production of release agent)
An intermediate composition was obtained by mixing a resin solution containing acrylic resin (A) and a composition containing acrylic resin (B) such that the mass ratio (solid content mass ratio) of the acrylic resin (A) to the acrylic resin (B) was (A)/(B) = 20/80. Furthermore, a fluorine-based surfactant ("PLASCOAT (registered trademark) RY-2" manufactured by GOO Chemical Industry Co., Ltd.) was added to this intermediate composition in an amount of 0.1 part by mass per 100 parts by mass of the entire intermediate composition, thereby obtaining a release agent as a liquid acrylic resin composition.

(1-4.支持体の製造)
基材層として、PETフィルム(東レ社製「T60」(厚さ38μm))を用意した。この基材層の片面に、グラビアコーターを用いて離型剤を塗布し、乾燥して、厚み0.1μmの離型層を形成した。以上の操作により、基材層とアクリル樹脂を含む離型層とを備える長尺の支持体を得た。
(1-4. Production of Support)
A PET film ("T60" manufactured by Toray Industries, Inc., thickness 38 μm) was prepared as a substrate layer. A release agent was applied to one side of this substrate layer using a gravure coater and dried to form a release layer with a thickness of 0.1 μm. By the above operations, a long support comprising a substrate layer and a release layer containing an acrylic resin was obtained.

(2.樹脂組成物の調製)
テトラメチルビスフェノール型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製「YX4000H」エポキシ当量194g/eq.)8部、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(日本化薬社製「NC3000L」、エポキシ当量約271g/eq.)10部、ナフタレン型エポキシ樹脂(DIC社製「HP6000L」、エポキシ当量約213g/eq.)2部、2官能エポキシ樹脂(日鉄ケミカル社製「ZX1658GS」、エポキシ当量約133g/eq.)2部、トリアジン骨格及びクレゾールノボラック構造を有するフェノール系硬化剤(DIC社製「LA-3018-50P」、フェノール性水酸基当量約151g/eq.、固形分50%の2-メトキシプロパノール溶液)4部、活性エステル樹脂(DIC社製「HP-C-8151-62T」、活性エステル基当量約238g/eq.、固形分62%のトルエン溶液)6部、フェノキシ樹脂(三菱ケミカル社製「YL7800BH40」、固形分40%のMEKならびにシクロヘキサン溶液)5部、アミノ系シランカップリング剤(信越化学工業社製「KBM573」、N-フェニル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン)で表面処理された無機充填材(平均粒径0.5μm、表面処理量:無機充填材100質量%に対しアミノ系シランカップリング剤0.6質量%)40部、及び、硬化促進剤(4-ジメチルアミノピリジン)の固形部5%のMEK溶液1部を混合して、液状の樹脂組成物としての樹脂ワニスを調製した。
(2. Preparation of Resin Composition)
Tetramethylbisphenol type epoxy resin (Mitsubishi Chemical Corporation "YX4000H", epoxy equivalent 194 g/eq.) 8 parts, biphenylaralkyl type epoxy resin (Nippon Kayaku Co., Ltd. "NC3000L", epoxy equivalent approximately 271 g/eq.) 10 parts, naphthalene type epoxy resin (DIC Corporation "HP6000L", epoxy equivalent approximately 213 g/eq.) 2 parts, bifunctional epoxy resin (Nippon Steel Chemical Co., Ltd. "ZX1658GS", epoxy equivalent approximately 133 g/eq.) 2 parts, phenolic hardener having a triazine skeleton and a cresol novolac structure (DIC Corporation "LA-3018-50P", phenolic hydroxyl group equivalent approximately 151 g/eq., 2-methoxypropanol solution with a solid content of 50%) 4 parts, active ester A resin varnish was prepared as a liquid resin composition by mixing 6 parts of a phenol resin (DIC Corporation "HP-C-8151-62T", active ester group equivalent weight approximately 238 g/eq., toluene solution with a solid content of 62%), 5 parts of a phenoxy resin (Mitsubishi Chemical Corporation "YL7800BH40", MEK and cyclohexane solution with a solid content of 40%), 40 parts of an inorganic filler (average particle size 0.5 μm, surface treatment amount: 0.6% by mass of amino silane coupling agent relative to 100% by mass of inorganic filler) surface-treated with an amino silane coupling agent (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBM573", N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane), and 1 part of an MEK solution with a solid content of 5% of a curing accelerator (4-dimethylaminopyridine).

(3.積層樹脂シートの製造)
以下の操作を、支持体及び保護フィルムを搬送しながら行って、積層樹脂シートを製造した。
(3. Production of laminated resin sheet)
The following operations were carried out while transporting the support and the protective film to produce a laminated resin sheet.

(3-1.異物としての銅粉の支持体への付着)
支持体の両面に、異物として、100μmメッシュの銅粉を意図的に付着させた。
(3-1. Adhesion of copper powder as foreign matter to support body)
Copper powder of 100 μm mesh was intentionally attached to both sides of the support as foreign matter.

(3-2.支持体の除塵)
回転可能に対向して設けられた1対のニップローラーを備えるロールラミネーター(大成ラミネーター社製「VA770」)を用意した。前記1対のニップローラーに粘着テープ1(ニチバン社製「かりとめNO.207」、粘着力2.3N/100mm)を、粘着剤が外側を向くよう固定して、一対の除塵ローラーを用意した。支持体を前記ロールラミネーターに供給し、一対の除塵ローラー間に支持体を通すことで、支持体の両面に除塵ローラーを接触させて、除塵を行った。
(3-2. Dust removal from support)
A roll laminator ("VA770" manufactured by Taisei Laminator Co., Ltd.) equipped with a pair of rotatably opposing nip rollers was prepared. Adhesive tape 1 ("Karitome No. 207" manufactured by Nichiban Co., Ltd., adhesive strength 2.3 N/100 mm 2 ) was fixed to the pair of nip rollers with the adhesive facing outward, to prepare a pair of dust removal rollers. A support was fed into the roll laminator, and the support was passed between the pair of dust removal rollers, bringing the dust removal rollers into contact with both sides of the support to remove dust.

(3-3.樹脂組成物層の形成)
支持体の離型層上に、乾燥後に得られる樹脂組成物層の厚さが18μmになるよう、樹脂ワニスをダイコーターにて均一に塗布し、オーブンで乾燥させて、樹脂シートを得た。樹脂シートは、基材層/離型層/樹脂組成物層の層構成を有していた。
(3-3. Formation of Resin Composition Layer)
The resin varnish was uniformly applied onto the release layer of the support using a die coater so that the thickness of the resin composition layer obtained after drying would be 18 μm, and then dried in an oven to obtain a resin sheet. The resin sheet had a layer structure of a substrate layer/a release layer/a resin composition layer.

(3-4.異物としての銅粉の保護フィルムへの付着)
保護フィルムとして、粗化面(算術平均粗さ250nm)と平滑面とを有するポリプロピレンフィルム(王子エフテックス社製の二軸延伸ポリプロピレンフィルム、製品名「MA411」、厚さ15μm)を用意した。この保護フィルムの両面に、異物として、100μmメッシュの銅粉を意図的に付着させた。
(3-4. Adhesion of copper powder as foreign matter to protective film)
A polypropylene film (Oji F-Tex Co., Ltd., biaxially oriented polypropylene film, product name "MA411," thickness 15 μm) having a roughened surface (arithmetic mean roughness 250 nm) and a smooth surface was prepared as a protective film. Copper powder with a 100 μm mesh was intentionally attached to both sides of this protective film as foreign matter.

(3-5.保護フィルムの除塵)
回転可能に対向して設けられた1対のニップローラーを備えるロールラミネーター(大成ラミネーター社製「VA770」)を用意した。前記1対のニップローラーに粘着テープ1(ニチバン社製「かりとめNO.207」、粘着力2.3N/100mm)を、粘着剤が外側を向くよう固定して、一対の除塵ローラーを用意した。保護フィルムを前記ロールラミネーターに供給し、一対の除塵ローラー間に保護フィルムを通すことで、保護フィルムの両面に除塵ローラーを接触させて、除塵を行った。
(3-5. Dust removal from protective film)
A roll laminator ("VA770" manufactured by Taisei Laminator Co., Ltd.) equipped with a pair of rotatably opposing nip rollers was prepared. Adhesive tape 1 ("Karitome No. 207" manufactured by Nichiban Co., Ltd., adhesive strength 2.3 N/100 mm 2 ) was fixed to the pair of nip rollers with the adhesive facing outward, to prepare a pair of dust removal rollers. A protective film was fed into the roll laminator, and the protective film was passed between the pair of dust removal rollers, bringing the dust removal rollers into contact with both sides of the protective film to remove dust.

(3-6.ラミネート)
樹脂シート及び保護フィルムを、ロールラミネーター(大成ラミネーター社製「VA770」)に供給し、当該ロールラミネーターによってラミネートした。この際、ラミネートは、温度70℃、圧力0.3MPaにて圧着させることにより実施した。ラミネートにより、基材層/離型層/樹脂組成物層/保護フィルムの層構成を有する積層樹脂シートを得た。
(3-6. Lamination)
The resin sheet and the protective film were fed to a roll laminator ("VA770" manufactured by Taisei Laminator Co., Ltd.) and laminated by the roll laminator. The lamination was carried out by pressure bonding at a temperature of 70°C and a pressure of 0.3 MPa. A laminated resin sheet having a layer structure of a substrate layer/a release layer/a resin composition layer/a protective film was obtained by lamination.

(4.評価用回路基板の製造)
(4-1.樹脂シートと内層基板との積層)
内層基板として、銅張積層板(パナソニック電工社製「R1515A」、銅層の厚さ18μm、基板の厚さ0.8mm)を用意した。積層樹脂シートから保護フィルムを剥がして基材層/離型層/樹脂組成物層の層構成を有する樹脂シートを得た後、その樹脂シートを、バッチ式真空加圧ラミネーター(ニッコー・マテリアルズ社製の2ステージビルドアップラミネーター「CVP700」)を用いて、樹脂組成物層が内層基板と接合するように、内層基板の両面にラミネートした。ラミネートは、30秒間減圧して気圧を5hPa以下とし、100℃、圧力0.7MPaにて30秒間圧着させることにより実施した。次いで、100℃、圧力0.55MPaにて60秒間熱プレスを行って、平滑化処理を実施した。
(4. Manufacturing of Evaluation Circuit Board)
(4-1. Lamination of Resin Sheet and Inner Layer Substrate)
A copper-clad laminate (Panasonic Electric Works "R1515A", copper layer thickness 18 μm, substrate thickness 0.8 mm) was prepared as the inner layer substrate. After peeling the protective film from the laminated resin sheet to obtain a resin sheet having a layer structure of a base layer / release layer / resin composition layer, the resin sheet was laminated on both sides of the inner layer substrate using a batch-type vacuum pressure laminator (Nikko Materials Co., Ltd. two-stage build-up laminator "CVP700"). The lamination was performed by reducing the pressure for 30 seconds to 5 hPa or less, and then pressing at 100 ° C. and a pressure of 0.7 MPa for 30 seconds. Next, a heat press was performed at 100 ° C. and a pressure of 0.55 MPa for 60 seconds to perform a smoothing treatment.

(4-2.樹脂組成物層の硬化)
樹脂シートがラミネートされた内層基板を、180℃のオーブンに投入し30分間、加熱した。加熱により樹脂組成物層が熱硬化して、絶縁層が形成された。
(4-2. Curing of Resin Composition Layer)
The inner layer substrate laminated with the resin sheet was placed in an oven at 180° C. and heated for 30 minutes. The resin composition layer was thermally cured by heating, forming an insulating layer.

(4-3.配線の形成)
次いで、以下の手順にしたがって、絶縁層の露出表面プロファイルを利用するセミアディティブ法(SAP)により、導体層としての配線を形成した。
(4-3. Formation of wiring)
Next, wiring as a conductor layer was formed by a semi-additive process (SAP) utilizing the exposed surface profile of the insulating layer according to the following procedure.

(1)支持体の除去:
支持体を剥離して絶縁層を最外層とした。
(1) Removal of the support:
The support was peeled off to leave the insulating layer as the outermost layer.

(2)無電解めっき工程:
支持体を剥離することで露出した絶縁層の表面に、下記1~6の工程を含む無電解めっき工程(アトテックジャパン社製の薬液を使用した銅めっき工程)を行って、無電解銅めっき層を形成した。
(2) Electroless plating process:
The surface of the insulating layer exposed by peeling off the support was subjected to an electroless plating process (a copper plating process using a chemical solution manufactured by Atotech Japan) including the following steps 1 to 6, to form an electroless copper plating layer.

1.アルカリクリーニング(絶縁層の表面の洗浄と電荷調整):
Cleaning Cleaner Securiganth 902(商品名)を用いて、絶縁層の表面を60℃で5分間洗浄した。
1. Alkaline cleaning (cleaning the surface of the insulating layer and adjusting the charge):
The surface of the insulating layer was cleaned using Cleaning Cleaner Securiganth 902 (trade name) at 60° C. for 5 minutes.

2.ソフトエッチング(絶縁層の表面の洗浄):
硫酸酸性ペルオキソ二硫酸ナトリウム水溶液を用いて、絶縁層の表面を、30℃で1分間処理した。
2. Soft etching (cleaning the surface of the insulating layer):
The surface of the insulating layer was treated with an aqueous solution of sodium peroxodisulfate acidified with sulfuric acid at 30° C. for 1 minute.

3.プレディップ(Pd付与のための絶縁層の表面の電荷の調整):
Pre. Dip Neoganth B(商品名)を用い、絶縁層の表面を、室温で1分間処理した。
3. Pre-dip (adjusting the surface charge of the insulating layer for Pd deposition):
The surface of the insulating layer was treated with Pre. Dip Neogant B (trade name) at room temperature for 1 minute.

4.アクティヴェーター付与(絶縁層の表面へのPdの付与):
Activator Neoganth 834(商品名)を用い、絶縁層の表面を、35℃で5分間処理した。
4. Adding an activator (adding Pd to the surface of the insulating layer):
The surface of the insulating layer was treated with Activator Neogant 834 (trade name) at 35° C. for 5 minutes.

5.還元(絶縁層に付与されたPdを還元):
Reducer Neoganth WA(商品名)とReducer Acceralator 810 mod.(商品名)との混合液を用い、絶縁層の表面を、30℃で5分間処理した。
5. Reduction (reducing Pd added to the insulating layer):
The surface of the insulating layer was treated with a mixed solution of Reducer Neogant WA (trade name) and Reducer Accelerator 810 mod. (trade name) at 30° C. for 5 minutes.

6.無電解銅めっき工程(Cuを絶縁層の表面(Pd表面)に析出):
Basic Solution Printganth MSK-DK(商品名)と、Copper solution Printganth MSK(商品名)と、Stabilizer Printganth MSK-DK(商品名)と、Reducer Cu(商品名)との混合液を用いて、絶縁層の表面を、35℃で20分間処理して、無電解銅めっき層を形成した。形成された無電解銅めっき層の厚さは、0.8μmであった。
6. Electroless copper plating process (precipitating Cu on the surface of the insulating layer (Pd surface)):
The surface of the insulating layer was treated with a mixed solution of Basic Solution Printganth MSK-DK (trade name), Copper solution Printganth MSK (trade name), Stabilizer Printganth MSK-DK (trade name), and Reducer Cu (trade name) at 35°C for 20 minutes to form an electroless copper plating layer. The thickness of the formed electroless copper plating layer was 0.8 µm.

(3)めっきレジストの形成、露光及び現像:
無電解めっき層の形成後、めっきレジスト(昭和電工社製のパターン形成用ドライフィルム「RY5115」、厚さ15μm)を、両面の無電解めっき層上に積層した。次いで、配線パターン(詳細は以下に示す。)を形成した15cm角のガラスマスク(露光マスク)を、めっきレジスト上に配置して、ステッパー(ウシオ電機社製の投影露光装置「UX-2240」)により露光した(露光量210mJ)。その後、室温で30分間エージングを行った後に、スプレータイプの現像機を用いて、30℃の1wt%炭酸ナトリウム水溶液を30秒間噴射して、めっきレジストの現像(パターン形成)を行った。
(3) Formation, exposure and development of plating resist:
After the electroless plating layer was formed, plating resist (a 15 μm thick dry film for pattern formation manufactured by Showa Denko K.K., "RY5115") was laminated on both sides of the electroless plating layer. Next, a 15 cm square glass mask (exposure mask) on which a wiring pattern (details will be described below) was formed was placed on the plating resist, and the resist was exposed (exposure dose: 210 mJ) using a stepper (a projection exposure system "UX-2240" manufactured by Ushio Inc.). After aging for 30 minutes at room temperature, the plating resist was developed (pattern formation) by spraying a 1 wt % aqueous solution of sodium carbonate at 30°C for 30 seconds using a spray-type developer.

ガラスマスクの配線パターン:
陽極からの配線と陰極からの配線とが対抗した櫛歯パターン(配線幅25μm、配線間距離25μm、配線長10mm、16ライン)を25個有するガラスマスクを使用した。
Glass mask wiring pattern:
A glass mask having 25 comb-tooth patterns (wiring width 25 μm, spacing 25 μm, wiring length 10 mm, 16 lines) in which wiring from the anode and wiring from the cathode faced each other was used.

(4)電解めっき工程:
次いで、アトテックジャパン社製の薬液を使用して電解銅めっきを行って、8μm~10μmの厚みを有する電解銅めっき層を形成した。この電解銅めっきにより、絶縁層上に、無電解銅めっき層及び電解銅めっき層を備える複層基板を得た。
(4) Electroplating process:
Next, electrolytic copper plating was carried out using a chemical solution manufactured by Atotech Japan, Inc. to form an electrolytic copper-plated layer having a thickness of 8 μm to 10 μm. This electrolytic copper plating yielded a multilayer substrate comprising an electroless copper-plated layer and an electrolytic copper-plated layer on an insulating layer.

(5)めっきレジストの剥離:
得られた複層基板を三菱瓦斯化学社製のプリント基板用レジスト剥離液「R100S」に50℃、120秒、超音波を用いながら浸漬することで、めっきレジストを剥離した。
(5) Stripping of plating resist:
The resulting multilayer substrate was immersed in a resist stripper for printed circuit boards "R100S" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. at 50°C for 120 seconds while using ultrasonic waves, thereby removing the plating resist.

(6)フラッシュエッチング:
続いて、複層基板を、セミアディティブプロセス用の銅シード層エッチング剤「メルストリップSE-300」へ25℃で浸漬することで、不要な部分の無電解銅めっき層を除去して、櫛歯配線を有する評価用回路基板を得た。前記の櫛歯配線は、無電解銅めっき層及び電解銅めっき層を含む導体層によって形成されており、厚み方向から見て、ガラスマスクが有する櫛歯パターンと同じパターン形状を有していた。
(6) Flash Etching:
Next, the multilayer substrate was immersed in a copper seed layer etching agent for semi-additive processes, "Melstrip SE-300," at 25°C to remove unnecessary portions of the electroless copper plating layer, thereby obtaining an evaluation circuit board having comb-tooth wiring. The comb-tooth wiring was formed by a conductor layer including an electroless copper plating layer and an electrolytic copper plating layer, and had the same pattern shape as the comb-tooth pattern of the glass mask when viewed in the thickness direction.

<実施例2>
工程(3-5)における保護フィルムの除塵の際、粘着テープ1の代わりに粘着テープ2(ニチバン社製「シーリングマスキングテープNo.2563」、粘着力2.7N/100mm)を用いたこと以外は実施例1と同様にして、積層樹脂シート及び評価用回路基板の製造を行った。
Example 2
A laminated resin sheet and an evaluation circuit board were manufactured in the same manner as in Example 1, except that adhesive tape 2 (Nichiban Co., Ltd.'s "Sealing Masking Tape No. 2563", adhesive strength 2.7 N/100 mm 2 ) was used instead of adhesive tape 1 when removing dust from the protective film in step (3-5).

<実施例3>
工程(3-2)における支持体の除塵の際、粘着テープ1の代わりに粘着テープ2(ニチバン社製「シーリングマスキングテープNo.2563」、粘着力2.7N/100mm)を用いたこと以外は実施例1と同様にして、積層樹脂シート及び評価用回路基板の製造を行った。
Example 3
A laminated resin sheet and an evaluation circuit board were manufactured in the same manner as in Example 1, except that adhesive tape 2 (Nichiban Co., Ltd.'s "Sealing Masking Tape No. 2563", adhesive strength 2.7 N/100 mm 2 ) was used instead of adhesive tape 1 when removing dust from the support in step (3-2).

<実施例4>
工程(3-2)における支持体の除塵及び工程(3-5)における保護フィルムの除塵の際、粘着テープ1の代わりに粘着テープ2(ニチバン社製「シーリングマスキングテープNo.2563」、粘着力2.7N/100mm)を用いたこと以外は実施例1と同様にして、積層樹脂シート及び評価用回路基板の製造を行った。
Example 4
A laminated resin sheet and an evaluation circuit board were manufactured in the same manner as in Example 1, except that adhesive tape 2 (Nichiban Co., Ltd.'s "Sealing Masking Tape No. 2563", adhesive strength 2.7 N/100 mm 2 ) was used instead of adhesive tape 1 when removing dust from the support in step (3-2) and when removing dust from the protective film in step (3-5).

<実施例5>
工程(3-2)における支持体の除塵及び工程(3-5)における保護フィルムの除塵の際、粘着テープ1をニップローラーに固定して得た除塵ローラーの代わりに除塵ローラー4(オーディオテクニカ社製「HC-730」、粘着力0.6N/100mm)を用いたこと以外は実施例1と同様にして、積層樹脂シート及び評価用回路基板の製造を行った。
Example 5
A laminated resin sheet and an evaluation circuit board were produced in the same manner as in Example 1, except that when removing dust from the support in step (3-2) and the protective film in step (3-5), a dust removal roller 4 ("HC-730" manufactured by Audio-Technica Corporation, adhesive strength 0.6 N/100 mm 2 ) was used instead of the dust removal roller obtained by fixing the adhesive tape 1 to a nip roller.

<実施例6>
工程(3-2)における支持体の除塵において粘着テープ1をニップローラーに固定して得た除塵ローラーの代わりに除塵ローラー4(オーディオテクニカ社製「HC-730」、粘着力0.6N/100mm)を用いたこと、さらに工程(3-5)における保護フィルムの除塵の際、粘着テープ1の代わりに粘着テープ2(ニチバン社製「シーリングマスキングテープNo.2563」、粘着力2.7N/100mm)を用いたこと以外は実施例1と同様にして、積層樹脂シート及び評価用回路基板の製造を行った。
Example 6
A laminated resin sheet and an evaluation circuit board were manufactured in the same manner as in Example 1, except that in the step (3-2) of removing dust from the support, a dust removal roller 4 ("HC-730" manufactured by Audio-Technica Corporation, adhesive strength 0.6 N/100 mm 2 ) was used instead of the dust removal roller obtained by fixing adhesive tape 1 to a nip roller, and in the step (3-5) of removing dust from the protective film, adhesive tape 2 ("Sealing Masking Tape No. 2563" manufactured by Nichiban Co., Ltd., adhesive strength 2.7 N/100 mm 2 ) was used instead of adhesive tape 1.

<比較例1>
工程(3-2)における支持体の除塵の際、粘着テープ1をニップローラーに固定して得た除塵ローラーの代わりに除塵ローラー3(テクノロール社製「クリーンダッシュE」、粘着力3.0N/100mm)を用いたこと以外は実施例1と同様にして、積層樹脂シート及び評価用回路基板の製造を行った。
<Comparative Example 1>
A laminated resin sheet and an evaluation circuit board were produced in the same manner as in Example 1, except that when removing dust from the support in step (3-2), a dust removal roller 3 ("Clean Dash E" manufactured by Technoroll Co., Ltd., adhesive strength 3.0 N/100 mm 2 ) was used instead of the dust removal roller obtained by fixing adhesive tape 1 to a nip roller.

<比較例2>
工程(3-5)における保護フィルムの除塵の際、粘着テープ1をニップローラーに固定して得た除塵ローラーの代わりに除塵ローラー3(テクノロール社製「クリーンダッシュE」、粘着力3.0N/100mm)を用いたこと以外は実施例1と同様にして、積層樹脂シート及び評価用回路基板の製造を行った。
<Comparative Example 2>
A laminated resin sheet and an evaluation circuit board were manufactured in the same manner as in Example 1, except that when removing dust from the protective film in step (3-5), a dust removal roller 3 ("Clean Dash E" manufactured by Technoroll Co., Ltd., adhesive strength 3.0 N/100 mm 2 ) was used instead of the dust removal roller obtained by fixing adhesive tape 1 to a nip roller.

<比較例3>
工程(3-2)における支持体の除塵及び工程(3-5)における保護フィルムの除塵を、送風型除電装置(シシド静電気社製「BF-6MB」)を用いて10秒間処理することによって実施したこと以外は実施例1と同様にして、積層樹脂シート及び評価用回路基板の製造を行った。送風型除電装置による処理は、イオナイザーによって除電を行いながら風力によって異物を除去する非接触型の除電処理である。
<Comparative Example 3>
A laminated resin sheet and an evaluation circuit board were produced in the same manner as in Example 1, except that dust removal from the support in step (3-2) and dust removal from the protective film in step (3-5) were carried out by treatment for 10 seconds using an air-blowing type static eliminator ("BF-6MB" manufactured by Shishido Electrostatic Corporation). The treatment using the air-blowing type static eliminator is a non-contact static elimination treatment in which static elimination is performed using an ionizer while foreign matter is removed by wind force.

<比較例4>
工程(3-2)における支持体の除塵及び工程(3-5)における保護フィルムの除塵を、非接触式超音波クリーナー(ヒューグル社製「USW-102」)を用いて10秒間処理することによって実施したこと以外は実施例1と同様にして、積層樹脂シート及び評価用回路基板の製造を行った。非接触式超音波クリーナーによる処理は、超音波によって異物を除去する非接触型の除電処理である。
<Comparative Example 4>
A laminated resin sheet and an evaluation circuit board were produced in the same manner as in Example 1, except that dust removal from the support in step (3-2) and dust removal from the protective film in step (3-5) were carried out by treating for 10 seconds using a non-contact ultrasonic cleaner ("USW-102" manufactured by Hugle). The treatment using the non-contact ultrasonic cleaner is a non-contact static elimination treatment that removes foreign matter using ultrasonic waves.

<比較例5>
工程(3-2)における支持体の除塵及び工程(3-5)における保護フィルムの除塵を、エアガンを用いて処理することによって実施したこと以外は実施例1と同様にして、積層樹脂シート及び評価用回路基板の製造を行った。エアガンによる処理は、エアガンから噴射されるエアによって異物を除去する非接触型の除電処理である。
Comparative Example 5
A laminated resin sheet and an evaluation circuit board were produced in the same manner as in Example 1, except that dust removal from the support in step (3-2) and dust removal from the protective film in step (3-5) were carried out by treatment using an air gun. The treatment using an air gun is a non-contact static elimination treatment that removes foreign matter by air sprayed from an air gun.

<試験1.支持体の剥離性の評価>
工程(4-3)で支持体を剥離する工程において、絶縁層から支持体を円滑に剥がせる場合を「〇」と評価し、支持体の一部又は全部が絶縁層に固着して支持体を円滑に剥がせない場合を「×」と評価した。支持体を円滑に剥がせないことは、支持体の除塵工程において離型層の一部又は全部が除塵ローラーに付着して失われた結果、支持体の剥離性が低下したことを表す。
<Test 1. Evaluation of releasability of support>
In the step (4-3) of peeling the support, the case where the support could be peeled off smoothly from the insulating layer was evaluated as "Good", and the case where a part or all of the support was stuck to the insulating layer and the support could not be peeled off smoothly was evaluated as "Poor". The fact that the support could not be peeled off smoothly indicates that a part or all of the release layer was lost due to adhesion to the dust removal roller during the dust removal step of the support, resulting in a decrease in the releasability of the support.

<試験2.支持体及び保護フィルムの除塵時の搬送性の評価>
工程(3-2)において除塵ローラーと接触させながら支持体を搬送する時に、支持体にしわが発生するか否かを観察した。また、工程(3-5)において除塵ローラーと接触させながら保護フィルムを搬送する時に、保護フィルムにしわが発生するか否かを観察した。しわが発生しない場合を「〇」と評価し、しわが発生する場合を「×」と評価した。
<Test 2. Evaluation of transportability during dust removal from support and protective film>
In step (3-2), when the support was transported while being in contact with the dust removal roller, it was observed whether wrinkles occurred on the support. Also, in step (3-5), when the protective film was transported while being in contact with the dust removal roller, it was observed whether wrinkles occurred on the protective film. When no wrinkles occurred, it was evaluated as "Good", and when wrinkles occurred, it was evaluated as "Poor".

<試験3.配線形成歩留まりの評価>
評価用回路基板について、櫛歯配線の絶縁抵抗値を抵抗測定器(J-RAS社製「ECM-100」)を用いて測定した。絶縁抵抗値が1×10Ω以上である櫛歯配線の割合が60%以上(すなわち1×10Ω以上である櫛歯配線の数が15以上)の場合に「〇」と評価し、60%未満の場合に「×」と評価した。
<Test 3. Evaluation of wiring formation yield>
The insulation resistance value of the comb-tooth wiring of the evaluation circuit board was measured using a resistance meter ("ECM-100" manufactured by J-RAS Co., Ltd.) When the proportion of comb-tooth wirings having an insulation resistance value of 1 × 10 Ω or more was 60% or more (i.e., the number of comb-tooth wirings having an insulation resistance value of 1 × 10 Ω or more was 15 or more), it was evaluated as "Good", and when it was less than 60%, it was evaluated as "Poor".

<結果>
上述した実施例及び比較例の結果を、下記の表に示す。
<Results>
The results of the above-mentioned Examples and Comparative Examples are shown in the table below.

<検討>
実施例及び比較例から、本発明の製造方法によれば、異物を排除して配線形成の歩留まりを向上させることが可能な積層樹脂シート(保護フィルム付き樹脂シート)を製造できたことが確認された。
<Consideration>
From the examples and comparative examples, it was confirmed that the manufacturing method of the present invention was able to produce a laminated resin sheet (a resin sheet with a protective film) that can eliminate foreign matter and improve the yield of wiring formation.

上述した実施例及び比較例ではアクリル系離型剤を用いた結果を示したが、本発明者は、アクリル系以外の離型剤を用いた場合でも、程度は異なるものの、異物を排除して配線形成の歩留まりを向上させることが可能な積層樹脂シートを製造できることを確認している。 The above examples and comparative examples show results using acrylic release agents, but the inventors have confirmed that even when non-acrylic release agents are used, it is possible to produce laminated resin sheets that can eliminate foreign matter and improve wiring formation yields, although to different degrees.

1 製造装置
2 製造装置
10 支持体
10U 離型面(離型層側の面)
10D 裏面(離型層とは反対側の面)
11 基材層
12 離型層
20 樹脂組成物層
21 硬化性樹脂組成物
30 樹脂シート
40 保護フィルム
40D 第一面
40U 第二面
50 積層樹脂シート(保護フィルム付き樹脂シート)
100 支持体除塵部
110 第一除塵ローラー
110S 周面
120 第三除塵ローラー
120S 周面
200 層形成部
210 塗工装置
220 乾燥装置
300 保護フィルム除塵部
310 第二除塵ローラー
310S 周面
320 第四除塵ローラー
320S 周面
400 ラミネート部
410 押圧ローラー
420 押圧ローラー
430 チャンバ
500 支持体除塵部
510 第一除塵ローラー
510S 周面
520 第三除塵ローラー
520S 周面
600 保護フィルム除塵部
610 第二除塵ローラー
610S 周面
620 第四除塵ローラー
620S 周面
1 Manufacturing apparatus 2 Manufacturing apparatus 10 Support 10U Release surface (surface on the release layer side)
10D Back side (side opposite to the release layer)
REFERENCE SIGNS LIST 11 Base material layer 12 Release layer 20 Resin composition layer 21 Curable resin composition 30 Resin sheet 40 Protective film 40D First surface 40U Second surface 50 Laminated resin sheet (resin sheet with protective film)
REFERENCE SIGNS LIST 100 Support body dust removal section 110 First dust removal roller 110S Peripheral surface 120 Third dust removal roller 120S Peripheral surface 200 Layer forming section 210 Coating device 220 Drying device 300 Protective film dust removal section 310 Second dust removal roller 310S Peripheral surface 320 Fourth dust removal roller 320S Peripheral surface 400 Laminating section 410 Pressing roller 420 Pressing roller 430 Chamber 500 Support body dust removal section 510 First dust removal roller 510S Peripheral surface 520 Third dust removal roller 520S Peripheral surface 600 Protective film dust removal section 610 Second dust removal roller 610S Peripheral surface 620 Fourth dust removal roller 620S Peripheral surface

Claims (7)

持体と、硬化性樹脂組成物を含む樹脂組成物層と、保護フィルムと、をこの順に備える、保護フィルム付き樹脂シートの製造方法であって;
支持体が、基材層と、当該基材層上に形成された離型層と、を備え;
前記製造方法が、
支持体の離型層側の面に、第一除塵ローラーを接触させる工程(I)と、
支持体の離型層側の面に、樹脂組成物層を形成する工程(II)と、
保護フィルムの第一面に、第二除塵ローラーを接触させる工程(III)と、
樹脂組成物層と保護フィルムの第一面とを貼り合わせる工程(IV)と、を含み;
第一除塵ローラーが、2.9N/100mm未満の粘着力を有し、
第二除塵ローラーが、2.9N/100mm未満の粘着力を有する、保護フィルム付き樹脂シートの製造方法。
A method for producing a resin sheet with a protective film, comprising a support , a resin composition layer containing a curable resin composition, and a protective film in this order;
The support includes a base layer and a release layer formed on the base layer;
The manufacturing method comprises:
a step (I) of contacting a first dust removal roller with the release layer side of the support;
Step (II) of forming a resin composition layer on the release layer side of the support;
(III) contacting a second dust removal roller with the first surface of the protective film;
and step (IV) of bonding the resin composition layer to the first surface of the protective film;
The first dust removal roller has an adhesive strength of less than 2.9 N/100 mm2 ;
A method for producing a resin sheet with a protective film, wherein the second dust removal roller has an adhesive strength of less than 2.9 N/100 mm2 .
支持体の離型層側の面に樹脂組成物層を形成する工程(II)が、液状の硬化性樹脂組成物を塗布することを含む、請求項1に記載の保護フィルム付き樹脂シートの製造方法。 The method for producing a resin sheet with a protective film according to claim 1, wherein step (II) of forming a resin composition layer on the release layer side of the support comprises applying a liquid curable resin composition. 前記製造方法が、支持体の離型層とは反対側の面に、第三除塵ローラーを接触させる工程(V)を含む、請求項1に記載の保護フィルム付き樹脂シートの製造方法。 The method for producing a resin sheet with a protective film according to claim 1 , further comprising the step (V) of bringing a third dust removal roller into contact with the surface of the support opposite to the release layer. 前記製造方法が、保護フィルムの第一面とは反対側の第二面に、第四除塵ローラーを接触させる工程(VI)を含む、請求項1に記載の保護フィルム付き樹脂シートの製造方法。 The method for producing a resin sheet with a protective film according to claim 1, further comprising a step (VI) of contacting a second surface of the protective film opposite the first surface with a fourth dust removal roller. 硬化性樹脂組成物が、硬化性樹脂及び無機充填材を含む、請求項1に記載の保護フィルム付き樹脂シートの製造方法。 The method for producing a resin sheet with a protective film according to claim 1, wherein the curable resin composition contains a curable resin and an inorganic filler. 基材層及び保護フィルムが、熱可塑性樹脂フィルムである、請求項1に記載の保護フィルム付き樹脂シートの製造方法。The method for producing a resin sheet with a protective film according to claim 1 , wherein the base material layer and the protective film are thermoplastic resin films. 工程(I)が、第一除塵ローラーに付着した異物を除去することを含み、step (I) includes removing foreign matter adhering to the first dust removal roller;
工程(III)が、第二除塵ローラーに付着した異物を除去することを含む、請求項1に記載の保護フィルム付き樹脂シートの製造方法。The method for producing a resin sheet with a protective film according to claim 1 , wherein step (III) comprises removing foreign matter adhering to the second dust removal roller.
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