JP7742400B2 - 発光装置、表示装置及び電子機器 - Google Patents
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Description
二次元的に配列された複数の積層構造と、
複数の前記積層構造それぞれに隣接する複数のパッドと、
複数の電極中継部と、
を備え、
前記積層構造は、前記基板上に、順に、第1電極、第1有機層、第2電極、第2有機層、及び第3電極を備えており、
前記第2電極は、前記第1電極及び前記第3電極に対応する共通電極となっており、
前記第1有機層の側壁、前記第2電極の側壁、及び前記第2有機層の側壁を連ねた連設面を少なくとも一部に有する壁面部が形成され、
前記壁面部の少なくとも一部を覆う側壁絶縁層が設けられており、
前記電極中継部は、前記第3電極から前記基板側に延びており、且つ、前記側壁絶縁層上を通って、前記パッドに接続されている、
発光装置である。
二次元的に配列された複数の積層構造と、
複数の前記積層構造それぞれに隣接する複数の第1パッドと、
複数の前記積層構造それぞれに隣接する複数の第2パッドと、
複数の第1電極中継部と、
複数の第2電極中継部と、
を備え、
前記積層構造は、前記基板上に、順に、第1電極、第1有機層、第2電極、第2有機層、第3電極、第4電極、第3有機層、及び第5電極を備え、
前記第2電極は、前記第1電極及び前記第3電極に対応する共通電極となっており、
前記第1有機層の側壁、前記第2電極の側壁、及び前記第2有機層の側壁を連ねた連設面と、少なくとも前記第4電極の側壁及び前記第3有機層の側壁を前記連設面の面方向に沿って並べられた並び面とを、少なくとも一部に有する壁面部が形成され、
前記壁面部には、側壁絶縁層が設けられており、
前記第1電極中継部は、前記第3電極から前記基板側に延びており、
前記第2電極中継部は、前記第4電極から前記基板側に延びており、
前記第1電極中継部と前記第2電極中継部はそれぞれ、前記側壁絶縁層上を通って、前記第1パッドと前記第2パッドに接続されている、
発光装置である。
二次元的に配列された複数の積層構造と、
複数の前記積層構造それぞれに隣接する複数のパッドと、
複数の電極中継部と、
を備え、
前記積層構造は、前記基板上に、順に、第1電極、第1有機層、電荷発生層、第2有機層、及び第2電極を備え、
前記第1有機層の側壁、前記電荷発生層の側壁、及び前記第2有機層の側壁を連ねた連設面を少なくとも一部に有する壁面部が形成され、
前記壁面部には、側壁絶縁層が設けられており、
前記電極中継部は、前記第2電極から前記基板側に延び、且つ、前記側壁絶縁層上を通って、前記パッドに接続されている、
発光装置である。
表示装置である。
電子機器であってもよい。
1.第1の実施形態
2.第2の実施形態
3.第3の実施形態
4.製造方法
5.応用例(電子機器)
[1-1 表示装置の構成]
第1の実施形態に係る表示装置を、図2、図3、図4等を参照しつつ詳細に説明する。表示装置10Aは、有機層としての有機EL層を備えた有機EL素子を上下に形成した積層構造を備える。図3の例では、第1の実施形態に係る表示装置10Aは、複数の積層構造13Aと複数の積層構造13Bを備える。図3は、本開示の第1の実施形態にかかる一実施例である表示装置10Aの一構成例を示す断面図であり、図2のA1-A1線縦断面の状態を示す図である。また、図3は、表示装置10Aにおいて、一つの画素の部分について記載されている。なお、図2は、第1の実施形態にかかる表示装置の画素配列の一例を示す平面図である。図4は、図2のA2-A2線縦断面の状態を示す断面図である。
積層構造13Aには、複数の有機EL素子100が上下に並んで形成されている。また、図3の例では、積層構造13Bについても、複数の有機EL素子100が上下に並んで形成されている。積層構造13Aについては、第1電極15A、有機EL層17R及び第2電極18Aの組み合わせが有機EL素子100Rを形成し、第2電極18A、有機EL層17B及び第3電極21Aの組み合わせが有機EL素子100Bを形成する。積層構造13Bにおいて、第1電極15B、有機EL層17G及び第2電極18Bの組み合わせが有機EL素子100Gを形成し、第2電極18B、有機EL層17W及び第3電極の組み合わせが有機EL素子100Wを形成する。
図3に示す表示装置10Aの例では、1つの画素が、複数の色種に対応した複数のサブ画素の組み合わせで形成されている。この例では、複数の色種として赤色、青色、緑色の3色が定められ、さらに、白色も定められている。サブ画素として、サブ画素101R、サブ画素101G、サブ画素101B、サブ画素101Wの4種が設けられる。サブ画素101R、サブ画素101G、サブ画素101Bは、それぞれ赤色のサブ画素、青色のサブ画素、緑色のサブ画素であり、それぞれ赤色、青色、緑色の表示を行う。サブ画素101Wは、白色のサブ画素であり、輝度を向上させる。図3等に示す表示装置10Aの例では、サブ画素101R、サブ画素101G、サブ画素101B、サブ画素101Wに対応して、有機EL素子100R、有機EL素子100G、有機EL素子100B、有機EL素子100Wが形成される。ただし、図3等の例は、一例であり、表示装置10Aを、複数の色種に対応した複数のサブ画素を有する場合に限定するものではない。色種は1種類でもよいし。また、赤色、緑色、青色の各色種に対応する光(それぞれ赤色光、緑色光、青色光)は、例えば、それぞれ610nmから650nmの範囲、510nmから590nmの範囲、440nmから480nmの波長範囲に主波長を有する光として定めることができる。
駆動基板11は、基板11Aに複数の有機EL素子100を駆動する各種回路を設けている。各種回路としては、有機EL素子100の駆動を制御する駆動回路、複数の有機EL素子100に電力を供給する電源回路(いずれも図示せず)を例示することができる。
駆動基板11の第1の面側には、複数の第1電極15A及び複数の第1電極15Bが設けられている。複数の第1電極15Aは、積層構造13Aのレイアウトに対応して2次元的に配置されている。複数の第1電極15Bは、積層構造13Bのレイアウトに対応して2次元的に配置されている。図3の表示装置10Aでは、図5Aに示すように、画素Sの区画内の所定領域に第1電極15Aと第1電極15Bがパッド14A、14Bの位置をさけてX方向にならんで配置されている。図5Aは、画素Sにおける第1電極15とパッド14の配置領域を示す概略平面図である。図5Bから図5D、図6Aから図6Dについても同様である。
隣接する第1電極15の間には、導電性を有する材料で形成されたパッド14A、14Bが設けられている。パッド14A、14Bは、コンタクトプラグ90に接続されている。また、パッド14A、14Bは、それぞれ第3電極21A、21Bとの間で電気的に接続される。パッド14A、14Bを区別しない場合には、以下パッド14A、14Bをパッド14と総称する。
隣り合う第1電極15の間には、開口部12Aを有する絶縁層12が形成されている。絶縁層12は、後述する層間膜91の面上と第1電極15の第1の面上に形成される。絶縁層12の開口部12Aは、表示装置10Aの平面視上、第1電極15の形成された位置に形成されている。なお、表示装置10Aの平面視上とは、上下方向(Z軸方向)を視線方向とした場合を示すものとする。開口部12Aは、サブ画素101の配置パターンに応じたパターンで形成されており、開口部12Aの1つの区画がサブ画素101の単位区画を定義する。
図3に示すように、第1電極15Aと後述する第2電極18Aの間に、有機EL層17Rが配置される。有機EL層17Rは、第1電極15Aと絶縁層12の上を覆っている。図3の例では、表示装置10Aの平面視上、有機EL層17Rは、サブ画素101Rに応じた範囲に形成されている。また、有機EL層17Rは、図4に示すように隣接する画素S間で分離されずY軸方向に延びるストライプ状に形成されるため、図5Bに示すように、画素Sにおいて、Y軸方向に沿って画素Sの一方端から他方端まで延びる形状に形成されている。なお、図4では、説明の便宜上、後述する充填樹脂層104及び対向基板105の記載を省略している。これは、図7A、図7B、図8、図9、図10、図11、図13、図14及び図19等についても同様である。
表示装置10Aにおいて、複数の第2電極18Aが、それぞれ第1電極15Aの第1の面側に配置されている。第2電極18Aは、第1電極15A及び第3電極21Aに対応する共通電極となっている。また、複数の第2電極18Aが、それぞれ第1電極15Bの第1の面側に配置されている。第2電極18Bは、第1電極15B及び第3電極21Bに対応する共通電極となっている。図3の表示装置10Aの例では、第2電極18Aは、サブ画素101R、101Bの電極となっており、第2電極18Bは、サブ画素101G、101Wの電極となっている。
表示装置10Aにおいて、複数の第3電極21Aが、それぞれ有機EL層17Bの第1の面側に配置されている。また、複数の第3電極21Bが、それぞれ有機EL層17Wの第1の面側に配置されている。第3電極21A、21Bの形状は、図4に示すように隣接する画素S間で分離されるため、図6Cに示すように、画素Sの内側領域に形成されている。
積層構造13A、13Bの少なくとも一部には壁面部25が形成されている。積層構造13Aにおける壁面部25は、有機EL層17Rの側壁67R、第2電極18Aの側壁68A、及び有機EL層17Bの側壁67Bを連ねた連設面27を少なくとも一部に有する部分として定められる。図3の例では、少なくとも、画素Sの領域内でパッド14を挟んで向かい合う積層構造13A、13Bの両方の壁面(側端面)が壁面部25を形成している。
表示装置10Aにおいては、壁面部25の外面上に、側壁絶縁層30が設けられている。積層構造13Aに形成された側壁絶縁層30は、壁面部25の外面上にて、連設面27をなす側壁67Rと側壁68Aと側壁67Bを覆っており、これにより有機EL層17R、第2電極18A及び有機EL層17Bが外部環境下に露出されることが規制される。積層構造13Bに形成された側壁絶縁層30は、側壁67Gと側壁68Bと側壁67Wを覆っており、有機EL層17G、第2電極18B及び有機EL層17Wを外部環境下に露出することを規制する。なお、側壁絶縁層は30、さらに第3電極21Aの側壁71Aや第3電極21Bの側壁71Bを覆うように形成されていてもよい。
第3電極21の上には、保護層32A、32Bが形成されている。保護層32Aは、第3電極21を覆うように設けられ、保護層32Aをさらに覆うように保護層32Bが設けられている。保護層32Aと保護層32Bは、いずれも絶縁材料で形成される。絶縁材料としては、SiO、SiON、SiN、AlO、TiO等が用いられてもよい。この場合、保護層32Aと保護層32Bとして、SiO、SiON、SiN等を含むCVD膜や、AlO、TiO、SiO等を含むALD膜等を例示することができる。そのほかにも、絶縁材料としては、例えば、熱硬化性樹脂などを用いることができる。
図3に示すように、保護層32Bは、側壁絶縁層30を覆っている。保護層32Bのうち側壁絶縁層30を覆う部分が、絶縁補助部34となっている。絶縁補助部34は、側壁絶縁層30による絶縁性を補強する。
保護層32A、32Bには、所定の位置に保護層32A、32Bを貫く接続孔35が形成されている。接続孔35から第3電極21の上面36側が露出している。保護層32A、32Bへの接続孔35の形成は、エッチング法などの方法を適宜用いて実現することができる。
表示装置10Aにおいては、保護層32Bの上面側に、電極中継部として配線38が設けられている。配線38は、第3電極21から駆動基板11側(基板11A側)に延びており、駆動基板11のパッド14に電気的に接続されている。すなわち、配線38は接続孔35内で第3電極21の上面36側に接続されている。そして、配線38は、接続孔35から壁面部25の外面側を通り、パッド14に向かって保護層32Bの表面に沿って延びている。そして配線38と壁面部25との間には側壁絶縁層30が介在している。なお、第3電極21Aは配線38を介してパッド14Aに電気的に接続されており、第3電極21Bは配線38を介してパッド14Bに接続されている。これにより、有機EL層17Bと有機EL層17Wが個々に制御される。
表示装置10Aには、保護層32Bを覆うように充填樹脂層104が形成されてよい。充填樹脂層104は、配線38を保護し、また、保護層32Bの第1の面側を平坦化することができる。充填樹脂層104は、保護層32Bと後述の対向基板105を接着する接着層としての機能を有することができる。充填樹脂層104は、紫外線硬化型樹脂や熱硬化型樹脂等を例示することができる。なお、図示しないが、充填樹脂層104の形成前に、露出した電極を保護する等のために、CVD法やALD法などで保護層を形成してもよい。
対向基板105は、充填樹脂層104上に、駆動基板11に対向させた状態で設けられている。対向基板105は、充填樹脂層104とともに有機EL素子100を封止する。対向基板105は、ガラス等の材料により構成されることが好ましい。なお、充填樹脂層104上にレンズが形成されていてもよい(図示しない)。また、レンズについては、充填樹脂層104を形成する前に形成されてもよい。例えば、充填樹脂層104を形成する前に、樹脂等によって平坦化層を形成し、その平坦化層上にレンズが形成されてもよい。
表示装置10Aには、図7A、図7Bに示すように、発光領域の外側(表示領域PAの外側)に補助電極40が設けられていることが好適である。補助電極40に対しては、第2電極18が電気的に接続される。図4に示すように、第2電極18は、Y軸方向に連続して形成されており、Y軸方向に隣接する画素についての共通する電極として機能する。第2電極18は、駆動基板11の表示領域PA内でのパッド14との接続を避け、長手方向(Y軸方向)側の端部41が表示領域PAの外側または表示領域PAの外周縁部まで形成されて、補助電極40に電気的に直接又は間接的に接続される。
第1有機層と第2電極と第2有機層の端部の位置をずらして形成する場合には、第1有機層と第2電極の重なり合わない部分や第2電極と第2有機層の重なり合わない部分が画素範囲から外れるため、1つの画素を設けるために要請される領域が広がり、表示領域PA中、画素として使用できる面積の割合(開口率)を高めて高輝度化を図る点で改善の余地があった。
第1の実施形態にかかる表示装置は、上記で説明したものに限定されず、例えば以下の各変形例に示すように形成されていてもよい。
(構成)
第1の実施形態にかかる表示装置10Aは、図8に示すように、第1電極15と第2電極18の間に配置される第1有機層と、第2電極18と第3電極21との間に配置される第2有機層が同色の光を出射光とする有機EL層17であってもよい(変形例1)。図8の例では、積層構造13Aに形成される第1有機層と第2有機層としていずれも有機EL層17Bが用いられ、有機EL素子100Bが2段に積み重なった構造が形成される。また、このときそれぞれの有機EL素子100Bがサブ画素101Bに対応する。
変形例1の表示装置10Aは、第1の実施形態で説明した表示装置と同様の効果を得ることができる。
(構成)
第1の実施形態にかかる表示装置10Aは、図9に示すように、積層構造13Aの第3電極21Aと第2電極18Aの間に有機EL層17Bを配置し、積層構造13Bの第3電極21Bと第2電極18Bの間についても有機EL層17Bを配置してもよい(変形例2)。
変形例2の表示装置10Aは、第1の実施形態で説明した表示装置10Aと同様の効果を得ることができる。
(構成)
第1の実施形態の表示装置10Aでは、積層構造13Aと積層構造13Bのそれぞれが1つの画素Sを形成してもよい(変形例3)。この場合、積層構造13Aに配置される有機EL層17の色種の組み合わせと、第2の積層構造に配置される有機EL層17の色種の組み合わせが異なる。
変形例3の表示装置10Aは、第1の実施形態で説明した表示装置10Aと同様の効果を得ることができる。
(構成)
第1の実施形態にかかる表示装置においては、電極中継部として配線38が設けられたが、電極中継部は、配線38に限定されない。電極中継部は、図11に示すように、第3電極21の外縁部72(側壁71に対応する位置)の所定位置から延設された延設部51で形成されてもよい(変形例4)。図11は、第1の実施形態の変形例4にかかる表示装置の一実施例を示す断面図である。
変形例1の表示装置10Aは、第1の実施形態で説明した表示装置10Aと同様の効果を得ることができる。
第1の実施形態にかかる表示装置10Aにおいて、積層構造13A、13Bに配置される有機EL層17の組み合わせは、上記で説明した組み合わせに限られない。第1電極15と第2電極18の間や第3電極21と第2電極18の間には、例えば、黄色に発光する光を出射光とする有機EL層や、近赤外光(NIR)を出射光とする有機EL層が設けられてもよい。黄色に発光する光としては、例えば、570nmから585nmの範囲を主波長とする光を例示することができる。近赤外光としては、例えば800nmから2500nmの範囲を主波長とする光を例示することができる。
第1の実施形態にかかる表示装置は、図3に示すように、絶縁層12を形成しているが、絶縁層12は省略されてもよい(図示しない)。この場合、側壁絶縁層30は、駆動基板11を基端として壁面部25を覆う層とされてよい。この場合、側壁絶縁層30が、絶縁層12としての機能を兼ねることができる。
[2-1 表示装置の構成]
第2実施形態にかかる表示装置10Bについて、図12、図13等を参照して説明を行う。図12は、第2の実施形態にかかる表示装置10Bの画素Sの配置の一実施例を示す平面図であり、図13は、図12のB-B線断面の状態を示す概略断面図である。
積層構造13Cには、複数の有機EL素子200が形成されている。第1電極115、有機EL層117R及び第2電極118の組み合わせが有機EL素子200Rを形成し、第2電極118、有機EL層117B及び第3電極121の組み合わせが有機EL素子200Bを形成する。また、第4電極145、有機EL層117G及び第5電極147の組み合わせが有機EL素子200Gを形成する。
駆動基板111の第1の面側には、複数の第1電極115が設けられている。複数の第1電極115は、積層構造13Cのレイアウトに対応して2次元的に配置されている。図15Aに示すように1つの画素Sあたり、1つの第1電極115が形成されている。また、1つの画素Sにおいてパッド114を避けた領域且つ画素Sの内側の領域に第1電極15が形成される。
駆動基板111の第1の面側には、1つの画素Sに対して2か所の所定の位置に導電性を有するパッド114、114が配置されている。図15Aの例では、パッド114、114の位置は、画素の端縁付近の1か所と隅位置近傍の位置に設けられているが、この配置に限定されるものではない。パッド114、114は、第3電極121、第4電極145に電気的に接続される。
隣り合う第1電極115の間には、開口部112Aを有する絶縁層112が形成されている。開口部112Aは、第1電極115の位置に形成される。
有機EL層117Rは、図13に示すように、第1電極115と第2電極118の間に配置される。有機EL層117Rは、第1電極115の上面側と絶縁層112を覆っている。図13の表示装置10Bの例では、有機EL層117Rは、図13に示すようにサブ画素201Rに応じた範囲に形成されている。図14に示すように、有機EL層117Rは、Y軸方向に連続しており、図15Bに示すように接続孔116を除き、画素S全面に形成されている。
表示装置10Bにおいては、第2電極118が、それぞれ第1電極115の第1の面側に配置されている。第2電極118は、カソードとなっている。第2電極118は、第1電極115と第3電極121の共通電極となっている。第1電極115と第2電極118に電圧が加えられると、第1電極115から有機EL層117Rにホール(正孔)が注入される。第2電極118からは有機EL層117Rに電子が注入される。第2電極118の形状については、図14に示すように、有機EL層117Rは、Y軸方向に連続しており、図15Cに示すように接続孔116を除き、画素S全面に形成されている。
第3電極121は有機EL層117Bの第1の面側に配置されている。第3電極121は、アノードとなっている。第3電極121と第2電極118に電圧が加えられると、第3電極121から有機EL層117Bにホール(正孔)が注入される。第2電極118から有機EL層117Bに電子が注入される。第3電極121の形状は、図14に示すように隣接する画素S間で分離されるため、図15Eに示すように、画素Sにおいて、画素Sの内側の領域に形成されている。また、第3電極121は、図15Bに示すように接続孔116を除く領域に形成される。
表示装置10Bにおいて、第4電極145が、第3電極121の第1の面側に配置されている。第5電極147は、上述したように有機EL層117Gを挟んで第4電極145よりも第1の面側(図13で+Z方向側)に配置されている。
保護層132は、1つの画素Sあたり、図16Aに示すように接続孔116、135の領域を除き、第3電極121上面を覆うように画素Sの内側の領域に設けられている。保護層132は、絶縁性を有する材料で形成される。保護層132は第1の実施形態で説明した保護層32A、32Bと同様の材料で形成されてよい。
積層構造13Cの少なくとも一部には壁面部125が形成されている。壁面部125は、有機EL層117Rの側壁167R、第2電極118の側壁168、及び有機EL層117Bの側壁167Bを連ねた連設面127を少なくとも一部に有する部分である。図13に示す表示装置10Bの例では、壁面部125は、パッド114の接続孔116の周壁部に形成されている。接続孔116は、保護層133の上面から駆動基板111に向かう孔部でありパッド114の上面を露出させる。
表示装置10Bにおいては、壁面部125の外面上に、側壁絶縁層130が設けられている。積層構造13Cに形成された側壁絶縁層130は、壁面部125の連設面127の位置の外面上にて、側壁167Rと側壁168と側壁167Bと側壁171と側壁195と側壁167Gを覆っており、これにより有機EL層117R、第2電極118及び有機EL層117Bが外部環境下に露出されることが規制される。なお、図13の例では、側壁絶縁層130は、さらに第5電極147の側壁197や保護層132、133の側壁を覆うように形成されていることが好ましい。このように形成されていることで、後述の配線148、149が第5電極147等に接触する虞をより確実に抑制することができる。
積層構造13Bには、接続孔135、137、161が形成されている。接続孔135は、保護層133の上面から駆動基板111に向かう孔部であり第3電極121の上面136を露出させる。接続孔137は、保護層133の上面から駆動基板111に向かう孔部であり第4電極145の上面138を露出させる。接続孔161は、保護層133の上面から駆動基板111に向かう孔部であり第5電極147の上面139を露出させる。
側壁絶縁層130は、壁面部125の他、図13の例に示すように、他の立面部150、151、152に形成されていることが好ましい。立面部150、151は、接続孔135、137の内周面部である。
また、側壁絶縁層130は、立面部152に形成されていることが好ましい。立面部152は、溝140に形成された溝周壁部である。溝140は、図12に示すように、画素Sの外周を囲むように形成されており、保護層133の上面から駆動基板111に向かい、第2電極118の上面部を露出させ、第2電極118の少なくとも一部の上面を露出させた露出部141を形成する。溝140は、露出部141を溝の底面とし、露出部141の外端縁を基端として駆動基板111から離れる方向(基板111Aから離れる方向)(+Z方向)に立ち上がる立面部152を形成している。この立面部152の少なくとも一部に側壁絶縁層130が形成される。図13の例では、立面部152の上下方向に沿った全体にわたり側壁絶縁層130が形成されている。
表示装置10Bにおいては、保護層133の上面側に、第1電極中継部として配線148が設けられ、第2電極中継部として配線149が設けられている。配線148は、第3電極121から駆動基板111側に延びており、駆動基板111上のパッド114に電気的に接続されている。
第2の実施形態にかかる表示装置10Bによれば、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
[3-1 表示装置の構成]
第3実施形態にかかる表示装置10Cについて、図17、図18、図19等を参照して説明を行う。図17は、第3の実施形態にかかる表示装置10Cの画素Sの配置の一実施例を示す平面図である。図18は、図17のC1-C1線断面の状態を示す概略断面図である。図19は、図17のC2-C2線断面の状態を示す概略断面図である。
積層構造13Dには、複数の有機EL素子300が形成されている。第1電極215、有機EL層217B及び電荷発生層219の組み合わせが有機EL素子300Bとして機能し、電荷発生層219、有機EL層217Y及び第2電極118の組み合わせが有機EL素子300Yとして機能する。図18に示す積層構造13Dの例では、有機EL素子300Yと有機EL素子300Bの組み合わせで白色の光を形成することができる。サブ画素301Bは、白色の光がカラーフィルタ層303Bを通ることで青色光が形成される。サブ画素301G、301Rでは、それぞれサブ画素301Bと同様にして緑色光、赤色光が形成される。
駆動基板211の第1の面側には、複数の第1電極215が設けられている。複数の第1電極215は、積層構造13Cのレイアウトに対応して2次元的に配置されている。図20Aに示すように、1つの画素Sにおいて、パッド114の位置を避けて、横並びに3つ形成されている。
基板211Aを有する駆動基板211の第1の面側(+Z方向側)には、積層構造13Dごとに所定の位置に導電性を有するパッド214が配置されている。パッド214の位置は、図20Aに示すように、個々のサブ画素301の隅位置近傍に対応する位置に設けられているが、この配置に限定されるものではない。
隣り合う第1電極215の間には、開口部212Aを有する絶縁層212が形成されている。開口部212Aは、第1電極215の位置に形成されている。また、絶縁層212には、パッド214の位置に接続孔216が形成されている。
有機EL層217Bは、図18に示すように、第1電極215と電荷発生層219の間に配置される。有機EL層217Bは、第1電極215の上面側と絶縁層212を覆っている。図18に示すように表示装置10Cの例では、有機EL層217Bは、サブ画素301R、301B、301Gそれぞれに対応した位置に、サブ画素301ごとに互いに分離した状態で形成されている。
表示装置10Bにおいては、電荷発生層219が、それぞれ第1電極215と第2電極218の間に配置されている。電荷発生層219は、電圧を加えられると、ホール(正孔)と電子を生じる。第1電極215と第2電極218に電圧が加えられた際に電荷発生層219で生じた電子は、有機EL層217Bに注入され、電荷発生層219で生じたホール(正孔)が、有機EL層217Yに注入される。電荷発生層219の材料としては、MoO3やV2O5、WO3などの金属酸化物や、強い電子アクセプター性の有機材料等を好適に用いることができる。
表示装置10Bにおいては、第2電極218が、それぞれ第1電極215の第1の面側に配置されている。第2電極218は、カソードとなっている。第1電極215と第2電極218に電圧が加えられると、第2電極218は有機EL層217Yに電子を注入する。
積層構造13Dの少なくとも一部には壁面部225が形成されている。壁面部225は、有機EL層217Bの側壁267B、電荷発生層219の側壁269、及び有機EL層217Yの側壁267Yを連ねた連設面227を少なくとも一部に有するような部分である。向かい合う積層構造13Dの端面のうち、パッド214をはさんで隣り合う端面の部分に壁面部225が形成されている。図18の例では、連設面227の部分において、側壁267Bと側壁269と側壁267Yの位置が上下方向に揃った状態となっており、表示装置10Cの開口率が向上しやすくなる。この観点から、壁面部225の連設面227では、側壁267Bと側壁269と側壁267Yが面一に並ぶことが好ましい。また、連設面227は、さらに第2電極218の側壁268を連ねた状態が形成されていることが好ましい。図18に示す壁面部225の連設面227の例では、下側から上側に向かって、順に、側壁267Bと側壁269と側壁267Yと側壁268が面一に並んでいる。
表示装置10Cにおいては、壁面部225の外面上に、側壁絶縁層230が設けられている。積層構造13Dに形成された側壁絶縁層230は、側壁267Bと側壁269と側壁267Yを覆っており、これにより有機EL層217B、電荷発生層219及び有機EL層217Yが外部環境下に露出されることが規制される。側壁絶縁層230は、さらに第2電極218の側壁268を覆うように形成されていてもよい。
第2電極218の上には、保護層232A、232Bが形成されている。保護層232Aは、第2電極218を覆うように設けられる。そして、その保護層232Aの第1の面側をさらに覆うように保護層232Bが設けられている。
表示装置10Cにおいては、保護層232Bの上面側に、電極中継部として配線238が設けられている。配線238は、第2電極218から基板側である駆動基板211側に延びている。図18の例では、配線238は接続孔235内で第2電極218の上面236側に接続されている。そして、配線238は、接続孔235から壁面部225の外面上を通り、パッド214に向かって保護層232Bの表面に沿って延びている。このとき配線238と壁面部225との間には側壁絶縁層230が介在している。そして配線238は、駆動基板211のパッド214に電気的に接続されている。
保護層232Bと配線238の上に平坦化層307が形成されていてもよい。平坦化層307は、第1の面を平坦化することができる。平坦化層307は、紫外線硬化型樹脂や熱硬化型樹脂等を例示することができる。また、平坦化層307の形成前に、CVDやALD法等で保護膜が形成されてもよい。
平坦化層307の上には、カラーフィルタ層303が設けられる。カラーフィルタ層303は、カラーフィルタ層303は、サブ画素301に応じて設けられてよい。例えば、図18に示す表示装置10Cのカラーフィルタ層303として、サブ画素301R、301G、301Bに応じたカラーフィルタ層303R、303G、303Bが設けられる。以下、カラーフィルタ層303R、303G、303Bを区別しない場合には、カラーフィルタ層303R、303G、303Bをカラーフィルタ層303と総称する。
表示装置10Cには、カラーフィルタ層303を覆うように充填樹脂層304が形成される。充填樹脂層304は、カラーフィルタ層303を保護し、カラーフィルタ層303の第1の面側(+Z方向側)を平坦化することができる。充填樹脂層304は、カラーフィルタ層303と後述の対向基板305を接着する接着層としての機能を有することができる。充填樹脂層304は、紫外線硬化型樹脂や熱硬化型樹脂等を例示することができる。
対向基板305は、充填樹脂層304上に、駆動基板11に対向させた状態で設けられている。対向基板305は、充填樹脂層304とともに有機EL素子300を封止する。対向基板305は、ガラス等の材料により構成されることが好ましい。
第3の実施形態にかかる表示装置によれば、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
第3の実施形態にかかる表示装置は、上記で説明したものに限定されず、例えば以下の各変形例に示すように形成されていてもよい。
第3の実施形態にかかる表示装置10Cにおいては、サブ画素301R、サブ画素301B、サブ画素301Gのそれぞれについて、第1電極215と電荷発生層219の間、電荷発生層219と有機EL層217Bの間に、同色の有機EL層217を配置してもよい。サブ画素301Rにおいては、第1電極215と電荷発生層219の間、電荷発生層219と第2電極218の間に、有機EL層217Rが配置される。サブ画素301Bにおいては、第1電極215と電荷発生層219の間、電荷発生層219と第2電極218の間に、有機EL層217Bが配置される。サブ画素301Gにおいては、第1電極215と電荷発生層219の間、電荷発生層219と第2電極218の間に、有機EL層217Gが配置される。また、この場合、これらの他の構成については、上記に説明した第3の実施形態にかかる表示装置10Cと同様の構成である。なお、変形例1について、カラーフィルタ層303は省略されても設けられていてもよい。
第3の実施形態の変形例1にかかる表示装置10Cにおいては、サブ画素301R、サブ画素301B、サブ画素301Gのそれぞれについて共振器構造が形成されていてもよい。
[4-1 製造方法の第1実施形態]
製造方法の第1実施形態においては、図21に示すように、基板11Aに駆動回路を形成した駆動基板11の第1の面上に、層間膜91及びコンタクトプラグ90が形成される。
(電子機器)
上述の一実施形態に係る表示装置10A、10B、10Cは、種々の電子機器に備えられてもよい。特にビデオカメラや一眼レフカメラの電子ビューファインダまたはヘッドマウント型ディスプレイ等の高解像度が要求され、目の近くで拡大して使用されるものに備えられることが好ましい。
図33Aは、デジタルスチルカメラ310の外観の一例を示す正面図である。図33Bは、デジタルスチルカメラ310の外観の一例を示す背面図である。このデジタルスチルカメラ310は、レンズ交換式一眼レフレックスタイプのものであり、カメラ本体部(カメラボディ)311の正面略中央に交換式の撮影レンズユニット(交換レンズ)312を有し、正面左側に撮影者が把持するためのグリップ部313を有している。
図34は、ヘッドマウントディスプレイ320の外観の一例を示す斜視図である。ヘッドマウントディスプレイ320は、例えば、眼鏡形の表示部321の両側に、使用者の頭部に装着するための耳掛け部322を有している。表示部321としては、上述の一実施形態および変形例に係る表示装置10A、10B、10Cのいずれかを用いることができる。
図35は、テレビジョン装置330の外観の一例を示す斜視図である。このテレビジョン装置330は、例えば、フロントパネル332およびフィルターガラス333を含む映像表示画面部331を有しており、この映像表示画面部331は、上述の一実施形態および変形例に係る表示装置10A、10B、10Cのいずれかにより構成される。
(1)基板と、
積層構造と、
電極中継部と、
を備え、
前記積層構造は、前記基板上に、順に、第1電極、第1有機層、第2電極、第2有機層、及び第3電極を備えており、
前記第2電極は、前記第1電極及び前記第3電極に対応する共通電極となっており、
前記第1有機層の側壁、前記第2電極の側壁、及び前記第2有機層の側壁を連ねた連設面を少なくとも一部に有する壁面部が形成され、
前記壁面部の少なくとも一部を覆う側壁絶縁層が設けられており、
前記電極中継部は、前記第3電極から前記基板側に延びており、且つ、前記側壁絶縁層を介して前記壁面部の外面上を通っている、
発光装置。
(2)前記壁面部の前記連設面では、前記第1有機層の側壁、前記第2電極の側壁、及び前記第2有機層の側壁の位置と、さらに前記第3電極の側壁の位置とが、揃っている、
上記(1)に記載の発光装置。
(3)前記電極中継部は、前記第3電極の上面側に接続されている、
上記(1)又は(2)に記載の発光装置。
(4)前記電極中継部は、前記第3電極の外縁部から延設されている、
上記(1)又は(2)に記載の発光装置。
(5)前記第1電極及び前記第3電極は、アノードであり、
前記第2電極が、カソードである、
上記(1)から(4)のいずれか1つに記載の発光装置。
(6)前記第1電極と前記第3電極は、互いに電気的に分離している、
上記(1)から(5)のいずれか1つに記載の発光装置。
(7)表示領域を有し、
前記基板上には、前記表示領域の外側に補助電極が設けられており、
前記第2電極が、前記補助電極に接続されている、
上記(1)から(6)のいずれか1つに記載の発光装置。
(8)前記側壁絶縁層は、Si、N、O、Al、Ti、Cから選ばれた少なくとも1種類の元素を含む、
上記(1)から(7)のいずれか1つに記載の発光装置。
(9)前記側壁絶縁層は、多層構造を有する、
上記(1)から(8)のいずれか1つに記載の発光装置。
(10)前記側壁絶縁層の平均全体厚みが、5nm以上1μm以下である、
上記(1)から(9)のいずれか1つに記載の発光装置。
(11)前記電極中継部としての第1電極中継部と、
第2電極中継部と、を備え、
前記積層構造は、前記第3電極上に、さらに、順に、第4電極、第3有機層、及び第5電極を備えており、
前記壁面部は、前記第3電極の側壁、前記第4電極の側壁、及び前記第3有機層の側壁を前記連設面の面方向に沿って並べられた並び面を有しており、
前記第2電極中継部は、前記第4電極から前記基板側に延び、且つ、前記側壁絶縁層を介して前記壁面部の外面上を通っている、
上記(1)から(10)のいずれか1つに記載の発光装置。
(12)前記第3電極と前記第4電極は、互いに電気的に分離している、
上記(11)に記載の発光装置。
(13)前記第5電極から前記基板側に延びている第3電極中継部、を備えており、
前記第2電極には、前記第3電極中継部を接続される露出部が形成されており、
前記露出部の端縁を基端として前記基板から離れる方向に立ち上がる立面部が形成されており、
前記側壁絶縁層は、さらに前記立面部の少なくとも一部に形成され、
前記第3電極中継部は、前記側壁絶縁層を介して前記立面部の外面上を通っている、
上記(11)又は(12)に記載の発光装置。
(14)基板と、
積層構造と、
第1電極中継部と、
第2電極中継部と、を備え、
前記積層構造は、前記基板上に、順に、第1電極、第1有機層、第2電極、第2有機層、第3電極、第4電極、第3有機層、及び第5電極を備え、
前記第2電極は、前記第1電極及び前記第3電極に対応する共通電極となっており、
前記第1有機層の側壁、前記第2電極の側壁、及び前記第2有機層の側壁を連ねた連設面と、少なくとも前記第4電極の側壁及び前記第3有機層の側壁を前記連設面の面方向に沿って並べてられた並び面とを、少なくとも一部に有する壁面部が形成され、
前記壁面部には、側壁絶縁層が設けられており、
前記第1電極中継部は、前記第3電極から前記基板側に延びており、
前記第2電極中継部は、前記第4電極から前記基板側に延びており、
前記第1電極中継部と前記第2電極中継部は、前記側壁絶縁層を介して前記壁面部の外面上を通っている、
発光装置。
(15)基板と、
積層構造と、
電極中継部と、を備え、
前記積層構造は、前記基板上に、順に、第1電極、第1有機層、電荷発生層、第2有機層、及び第2電極を備え、
前記第1有機層の側壁、前記電荷発生層の側壁、及び前記第2有機層の側壁を連ねた連設面を少なくとも一部に有する壁面部が形成され、
前記壁面部には、側壁絶縁層が設けられており、
前記電極中継部は、前記第2電極から前記基板側に延び、且つ、前記側壁絶縁層を介して前記壁面部の外面上を通っている、
発光装置。
(16)請求項1に記載の発光装置を備えた、
表示装置。
(17)請求項16に記載の表示装置を備えた、
電子機器。
10B :表示装置
10C :表示装置
11 :駆動基板
14 :パッド
15A :第1電極
15B :第1電極
16 :接続孔
17 :有機EL層
18A :第2電極
18B :第2電極
21A :第3電極
21B :第3電極
25 :壁面部
27 :連設面
30 :側壁絶縁層
38 :配線
40 :補助電極
104 :充填樹脂層
105 :対向基板
116 :接続孔
117 :有機EL層
118 :第2電極
121 :第3電極
125 :壁面部
127 :連設面
130 :側壁絶縁層
145 :第4電極
147 :第5電極
148 :配線
149 :配線
219 :電荷発生層
225 :壁面部
227 :連設面
230 :側壁絶縁層
Claims (17)
- 基板と、
二次元的に配列された複数の積層構造と、
複数の前記積層構造それぞれに隣接する複数のパッドと、
複数の電極中継部と、
を備え、
前記積層構造は、前記基板上に、順に、第1電極、第1有機層、第2電極、第2有機層、及び第3電極を備えており、
前記第2電極は、前記第1電極及び前記第3電極に対応する共通電極となっており、
前記第1有機層の側壁、前記第2電極の側壁、及び前記第2有機層の側壁を連ねた連設面を少なくとも一部に有する壁面部が形成され、
前記壁面部の少なくとも一部を覆う側壁絶縁層が設けられており、
前記電極中継部は、前記第3電極から前記基板側に延びており、且つ、前記側壁絶縁層上を通って、前記パッドに接続されている、
発光装置。 - 前記壁面部の前記連設面では、前記第1有機層の側壁、前記第2電極の側壁、及び前記第2有機層の側壁の位置と、さらに前記第3電極の側壁の位置とが、揃っている、
請求項1に記載の発光装置。 - 前記電極中継部は、前記第3電極の上面側に接続されている、
請求項1に記載の発光装置。 - 前記電極中継部は、前記第3電極の外縁部から延設されている、
請求項1に記載の発光装置。 - 前記第1電極及び前記第3電極は、アノードであり、
前記第2電極が、カソードである、
請求項1に記載の発光装置。 - 前記第1電極と前記第3電極は、互いに電気的に分離している、
請求項1に記載の発光装置。 - 表示領域を有し、
前記基板上には、前記表示領域の外側に補助電極が設けられており、
前記第2電極が、前記補助電極に接続されている、
請求項1に記載の発光装置。 - 前記側壁絶縁層は、Si、N、O、Al、Ti、Cから選ばれた少なくとも1種類の元素を含む、
請求項1に記載の発光装置。 - 前記側壁絶縁層は、多層構造を有する、
請求項1に記載の発光装置。 - 前記側壁絶縁層の平均全体厚みが、5nm以上1μm以下である、
請求項1に記載の発光装置。 - 前記パッドは、第1パッドであり、
前記電極中継部は、第1電極中継部であり、
複数の前記積層構造それぞれに隣接する複数の第2パッドと、
複数の第2電極中継部と、をさらに備え、
前記積層構造は、前記第3電極上に、さらに、順に、第4電極、第3有機層、及び第5電極を備えており、
前記壁面部は、前記第3電極の側壁、前記第4電極の側壁、及び前記第3有機層の側壁を前記連設面の面方向に沿って並べられた並び面を有しており、
前記第2電極中継部は、前記第4電極から前記基板側に延び、且つ、前記側壁絶縁層上を通って、前記第2パッドに接続されている、
請求項1に記載の発光装置。 - 前記第3電極と前記第4電極は、互いに電気的に分離している、
請求項11に記載の発光装置。 - 前記第5電極から前記基板側に延びている第3電極中継部、を備えており、
前記第2電極には、前記第3電極中継部を接続される露出部が形成されており、
前記露出部の端縁を基端として前記基板から離れる方向に立ち上がる立面部が形成されており、
前記側壁絶縁層は、さらに前記立面部の少なくとも一部に形成され、
前記第3電極中継部は、前記側壁絶縁層上を通っている、
請求項11に記載の発光装置。 - 基板と、
二次元的に配列された複数の積層構造と、
複数の前記積層構造それぞれに隣接する複数の第1パッドと、
複数の前記積層構造それぞれに隣接する複数の第2パッドと、
複数の第1電極中継部と、
複数の第2電極中継部と、
を備え、
前記積層構造は、前記基板上に、順に、第1電極、第1有機層、第2電極、第2有機層、第3電極、第4電極、第3有機層、及び第5電極を備え、
前記第2電極は、前記第1電極及び前記第3電極に対応する共通電極となっており、
前記第1有機層の側壁、前記第2電極の側壁、及び前記第2有機層の側壁を連ねた連設面と、少なくとも前記第4電極の側壁及び前記第3有機層の側壁を前記連設面の面方向に沿って並べられた並び面とを、少なくとも一部に有する壁面部が形成され、
前記壁面部には、側壁絶縁層が設けられており、
前記第1電極中継部は、前記第3電極から前記基板側に延びており、
前記第2電極中継部は、前記第4電極から前記基板側に延びており、
前記第1電極中継部と前記第2電極中継部はそれぞれ、前記側壁絶縁層上を通って、前記第1パッドと前記第2パッドに接続されている、
発光装置。 - 基板と、
二次元的に配列された複数の積層構造と、
複数の前記積層構造それぞれに隣接する複数のパッドと、
複数の電極中継部と、
を備え、
前記積層構造は、前記基板上に、順に、第1電極、第1有機層、電荷発生層、第2有機層、及び第2電極を備え、
前記第1有機層の側壁、前記電荷発生層の側壁、及び前記第2有機層の側壁を連ねた連設面を少なくとも一部に有する壁面部が形成され、
前記壁面部には、側壁絶縁層が設けられており、
前記電極中継部は、前記第2電極から前記基板側に延び、且つ、前記側壁絶縁層上を通って、前記パッドに接続されている、
発光装置。 - 請求項1から15のいずれか1つに記載の発光装置を備えた、
表示装置。 - 請求項16に記載の表示装置を備えた、
電子機器。
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