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JP7785504B2 - Powder and its manufacturing method - Google Patents
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JP7785504B2 - Powder and its manufacturing method - Google Patents

Powder and its manufacturing method

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JP7785504B2 JP2021176095A JP2021176095A JP7785504B2 JP 7785504 B2 JP7785504 B2 JP 7785504B2 JP 2021176095 A JP2021176095 A JP 2021176095A JP 2021176095 A JP2021176095 A JP 2021176095A JP 7785504 B2 JP7785504 B2 JP 7785504B2
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本開示は、粉末、及びその製造方法に関する。本開示は、より具体的には、炭素、窒素、ホウ素、及び酸素を構成元素として含み、乱層構造窒化ホウ素と同一の結晶構造を有する粒子を含む粉末、及びその製造方法に関する。 This disclosure relates to a powder and a method for producing the same. More specifically, this disclosure relates to a powder containing particles that contain carbon, nitrogen, boron, and oxygen as constituent elements and have the same crystal structure as turbostratic boron nitride, and a method for producing the same.

窒化ホウ素粉末は、潤滑性、高熱伝導性、及び絶縁性等を有しており、固体潤滑材、熱伝導性フィラー、絶縁性フィラー等の用途に幅広く利用されている。近年、電子機器の高性能化等によって上述のような窒化ホウ素には熱伝導性に優れることが求められている。 Boron nitride powder possesses lubricity, high thermal conductivity, and insulating properties, and is widely used as a solid lubricant, thermally conductive filler, insulating filler, and other applications. In recent years, the increasing performance of electronic devices has created a demand for boron nitride with excellent thermal conductivity.

例えば、特許文献1では、樹脂等の絶縁性放熱材の充填材として用いた場合に、上記樹脂等の熱伝導率及び耐電圧(絶縁破壊電圧)を高めることができる六方晶窒化ホウ素粉末及びその製造方法が提案されている。 For example, Patent Document 1 proposes a hexagonal boron nitride powder and a method for producing the same, which, when used as a filler for insulating heat dissipation materials such as resins, can increase the thermal conductivity and withstand voltage (dielectric breakdown voltage) of the resins.

六方晶窒化ホウ素粉末は、例えば、窒素を含む加圧雰囲気下で炭化ホウ素を窒化させ窒化物を得る加圧窒化工程と、上記窒化物をホウ素源等と混合し加熱処理することで、脱炭すると共に結晶化を進行させ、六方晶窒化ホウ素を得る脱炭結晶化工程とを有する製造方法によって製造される(例えば、特許文献2等)。上述の製造方法は、炭化ホウ素を一度窒化させることによって、後の工程における脱炭の性能の改善を図るものとなっている。 Hexagonal boron nitride powder is produced, for example, by a manufacturing method that includes a pressure nitridation process in which boron carbide is nitrided in a pressurized nitrogen-containing atmosphere to obtain a nitride, and a decarburization and crystallization process in which the nitride is mixed with a boron source and heat-treated to decarburize and promote crystallization, thereby obtaining hexagonal boron nitride (see, for example, Patent Document 2). The above-mentioned manufacturing method aims to improve decarburization performance in subsequent processes by nitriding boron carbide once.

特開2019-116401号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2019-116401 国際公開第2019/073690号International Publication No. 2019/073690

しかしながら、現状、上述のような製法において、六方晶窒化ホウ素の収率はそれほど高いとはいえない。 However, at present, the yield of hexagonal boron nitride produced using the above-mentioned production method is not particularly high.

本開示は、六方晶窒化ホウ素の生産性を向上させ得る、炭素、窒素、ホウ素、及び酸素を構成元素として含み、乱層構造窒化ホウ素と同一の結晶構造を有する粒子を含む粉末、及びその製造方法を提供することを目的とする。 The present disclosure aims to provide a powder containing particles that contain carbon, nitrogen, boron, and oxygen as constituent elements and have the same crystal structure as turbostratic boron nitride, which can improve the productivity of hexagonal boron nitride, and a method for producing the powder.

上述の課題に際し、本発明者らが鋭意検討したところ、従前の製造方法では、加圧窒化工程で得られる炭化ホウ素の窒化物を続く工程で脱炭及び結晶化させる方法が採用されているが、当該工程における結晶化の点で六方晶窒化ホウ素の収率が伸びず、改善の余地があることを見出した。そして、炭化ホウ素の窒化物を、酸素に触れやすい環境下で加熱処理し、予め脱炭して、炭素の残量を低減すると共に、上述の窒化物における結晶構造を結晶性が低い状態となるように調整しておくことによって、続く結晶化工程における焼成時間等を短縮化することが可能であり、六方晶窒化ホウ素の生産性を向上させることができるとの知見を得た。また、上述の窒化物における結晶構造について、ラマン分光スペクトルにおける、波数1480cm-1以上1900cm-1以下の範囲におけるピークの最大値とし、波数1000cm-1以上1480cm-1未満の範囲におけるピークの最大値との比を指標として、上記比が所定の範囲内となるように調整された粉末が、六方晶窒化ホウ素の生産性の向上に適した原料粉末とよく対応するとの知見も得た。本開示は、かかる知見に基づくものである。 In order to solve the above-mentioned problems, the present inventors have conducted extensive research and found that, while conventional manufacturing methods employ a method in which boron carbide nitride obtained in a pressure nitriding step is decarburized and crystallized in a subsequent step, the yield of hexagonal boron nitride is not increased in terms of crystallization in this step, and there is room for improvement. The inventors then discovered that by heat-treating boron carbide nitride in an environment where it is likely to come into contact with oxygen, thereby decarburizing it in advance to reduce the amount of residual carbon and adjusting the crystal structure of the nitride to a state of low crystallinity, it is possible to shorten the firing time in the subsequent crystallization step, thereby improving the productivity of hexagonal boron nitride. Furthermore, it has been found that, with regard to the crystal structure of the nitride described above, a powder in which the ratio of the maximum peak in the wavenumber range of 1480 cm −1 or more and 1900 cm −1 or less to the maximum peak in the wavenumber range of 1000 cm −1 or more and less than 1480 cm −1 in the Raman spectroscopy spectrum is used as an index, corresponds well to a raw material powder suitable for improving the productivity of hexagonal boron nitride. The present disclosure is based on this finding.

本開示の一側面は、炭素、窒素、ホウ素、及び酸素を構成元素として含み、乱層構造窒化ホウ素と同一の結晶構造を有する粒子を含む粉末であって、ラマン分光スペクトルにおいて、波数1480cm-1以上1900cm-1以下の範囲におけるピークの最大値をAとし、波数1000cm-1以上1480cm-1未満の範囲におけるピークの最大値をBとしたときに、A/Bの値が1.4以下である、粉末を提供する。 One aspect of the present disclosure provides a powder containing particles having the same crystal structure as turbostratic boron nitride, which contains carbon, nitrogen, boron, and oxygen as constituent elements, and in which, when A is the maximum value of the peak in the wavenumber range of 1480 cm −1 or more and 1900 cm −1 or less, and B is the maximum value of the peak in the wavenumber range of 1000 cm −1 or more and less than 1480 cm −1 , the value A/B is 1.4 or less in a Raman spectrum.

上記炭素、窒素、ホウ素、及び酸素を構成元素として含み、乱層構造窒化ホウ素と同一の結晶構造を有する粒子を含む粉末は、上記A/Bの値が低く抑制されている。乱層構造窒化ホウ素と同一の結晶構造を有する粒子におけるラマン分光スペクトルにおいて、波数1480cm-1以上1900cm-1以下の範囲におけるピークは、主にグラフェン構造に特徴的な炭素原子の面内振動に対応し、結晶性に優れる場合に観測されるピークとなる。一方、波数1000cm-1以上1480cm-1未満の範囲には、グラフェン中の構造の乱れ、欠陥等に対応するピーク、六方晶窒化ホウ素に対応するようなピークが観測される。すなわち、上記A/Bの値が低く抑制されているということは、粉末を構成する粒子における結晶性が高い部分(例えば、原料となる炭化ホウ素等に含まれるグラファイトの残存等)が十分に低減されており、アモルファス分を比較的多く含むことを意味する。これによって、上記粉末は、六方晶窒化ホウ素の生産性を向上させるための製造原料に適したものとなり得る。 A powder containing particles having the same crystal structure as turbostratic boron nitride, which contain carbon, nitrogen, boron, and oxygen as constituent elements, has a low A/B value. In the Raman spectroscopy spectrum of particles having the same crystal structure as turbostratic boron nitride, peaks in the wavenumber range of 1480 cm −1 to 1900 cm −1 correspond mainly to in-plane vibrations of carbon atoms characteristic of the graphene structure, and are peaks observed when the crystallinity is excellent. On the other hand, peaks corresponding to structural disturbances, defects, etc. in graphene, and peaks corresponding to hexagonal boron nitride, are observed in the wavenumber range of 1000 cm −1 to less than 1480 cm −1 . In other words, the low A/B value means that the particles constituting the powder have a sufficiently reduced amount of highly crystalline portions (e.g., residual graphite contained in the raw material boron carbide, etc.), and contain a relatively large amount of amorphous content. This makes the powder suitable as a raw material for manufacturing hexagonal boron nitride to improve productivity.

上記粉末は、炭素の含有量が4.0質量%以下であり、且つ酸素の含有量が5.0質量%以下であってよい。上記粉末における炭素及び酸素の含有量が上述の範囲内であることで、当該粉末を製造原料として用いた場合、除去対象となる炭素及び酸素を予め減じておくことで、続く脱炭及び結晶化工程における助剤の使用量をより低減したり、加熱処理時間をより低減したりすることが可能であり、六方晶窒化ホウ素の生産性をより向上することができる。 The powder may have a carbon content of 4.0% by mass or less and an oxygen content of 5.0% by mass or less. By ensuring that the carbon and oxygen contents of the powder are within the above ranges, when the powder is used as a manufacturing raw material, the amount of auxiliary agents used in the subsequent decarburization and crystallization processes can be reduced in advance, and the heat treatment time can be shortened, thereby further improving the productivity of hexagonal boron nitride.

上記粉末は平均粒径が10~100μmであってよい。当該粉末の粒径によって、六方晶窒化ホウ素の粒径を調整することが可能であり、当該粉末がこのような範囲の平均粒径を有する場合、得られる六方晶窒化ホウ素の充填材としての性能を向上し得る。 The powder may have an average particle size of 10 to 100 μm. The particle size of the hexagonal boron nitride can be adjusted by adjusting the particle size of the powder. When the powder has an average particle size within this range, the performance of the resulting hexagonal boron nitride as a filler can be improved.

本開示の一側面は、炭素、窒素、ホウ素、及び酸素を構成元素として含み、乱層構造窒化ホウ素と同一の結晶構造を有する粒子を含む粉末の製造方法であって、炭化ホウ素粉末を、窒素加圧雰囲気下で1900~2200℃の温度で焼成して焼成物を得る加圧窒化工程と、上記焼成物を、酸素分圧が20%以上である雰囲気下において加熱処理して加熱処理物を得る酸化工程と、を有し、上記酸化工程は、上記焼成物及び上記加熱処理物を含む混合物を撹拌することを含む、製造方法を提供する。 One aspect of the present disclosure provides a method for producing a powder containing particles having the same crystal structure as turbostratic boron nitride, the powder containing carbon, nitrogen, boron, and oxygen as constituent elements. The method comprises a pressure nitriding step in which boron carbide powder is sintered in a pressurized nitrogen atmosphere at a temperature of 1900 to 2200°C to obtain a sintered product, and an oxidation step in which the sintered product is heat-treated in an atmosphere having an oxygen partial pressure of 20% or more to obtain a heat-treated product. The oxidation step includes stirring a mixture containing the sintered product and the heat-treated product.

上記粉末の製造方法は、加圧窒化工程において得られる焼成物を、酸素を含有する雰囲気下で加熱処理する酸化工程を有しており、且つ当該酸化工程において混合物を撹拌する製法となっている。このように、酸化工程の際に混合物を撹拌することによって、上記焼成物又は上記加熱処理物の、酸素との接触面を変化させることができ、上記焼成物又は上記加熱処理物に含まれる炭素等の含有量を十分に低減すると共に、粉末中の高結晶成分(例えば、原料となる炭化ホウ素等に含まれるグラファイトの残存等)を低減し、さらに得られる粉末を構成する粒子における結晶性の向上を抑制することができる。このような操作を含む製法によって、得られる粉末の上記A/Bの値を低下させることができる。 The method for producing the powder described above includes an oxidation step in which the sintered product obtained in the pressure nitriding step is heat-treated in an oxygen-containing atmosphere, and the mixture is stirred during the oxidation step. By stirring the mixture during the oxidation step, the surface area of the sintered product or heat-treated product that comes into contact with oxygen can be changed, sufficiently reducing the carbon content and other components contained in the sintered product or heat-treated product, while also reducing highly crystalline components in the powder (e.g., residual graphite contained in the boron carbide raw material), and further suppressing the improvement of crystallinity in the particles that make up the resulting powder. A production method that includes such operations can reduce the A/B value of the resulting powder.

上記酸化工程における加熱処理の温度が700~1050℃であってよい。 The heat treatment temperature in the oxidation step may be 700 to 1050°C.

上記製造方法において、上記混合物の撹拌は、ロータリーキルンによって行われてもよい。ロータリーキルンを使用して、上記撹拌を行う場合、バッチ処理のように加熱を一旦停止して撹拌を行う方法に比べて、より簡便に上述の粉末を製造することができる。 In the above manufacturing method, the mixture may be stirred using a rotary kiln. When the stirring is performed using a rotary kiln, the powder can be produced more easily than when stirring is performed after temporarily stopping heating, as in batch processing.

本開示によれば、六方晶窒化ホウ素の生産性を向上させ得る、炭素、窒素、ホウ素、及び酸素を構成元素として含み、乱層構造窒化ホウ素と同一の結晶構造を有する粒子を含む粉末、及びその製造方法を提供できる。 The present disclosure provides a powder containing particles that contain carbon, nitrogen, boron, and oxygen as constituent elements and have the same crystal structure as turbostratic boron nitride, which can improve the productivity of hexagonal boron nitride, as well as a method for producing the powder.

以下、本開示の実施形態を説明する。ただし、以下の実施形態は、本開示を説明するための例示であり、本開示を以下の内容に限定する趣旨ではない。 Embodiments of the present disclosure are described below. However, the following embodiments are merely examples for explaining the present disclosure and are not intended to limit the present disclosure to the following content.

本明細書において例示する材料は特に断らない限り、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。組成物中の各成分の含有量は、組成物中の各成分に該当する物質が複数存在する場合には、特に断らない限り、組成物中に存在する当該複数の物質の合計量を意味する。 Unless otherwise specified, the materials exemplified in this specification can be used alone or in combination of two or more. When multiple substances corresponding to each component are present in the composition, the content of each component in the composition refers to the total amount of those multiple substances present in the composition, unless otherwise specified.

本開示に係る粉末の一実施形態は、炭素、窒素、ホウ素、及び酸素を構成元素として含み、乱層構造窒化ホウ素と同一の結晶構造を有する粒子を含む粉末である。上記粉末は上記特定の粒子の集合体であってよく、本開示の趣旨を損ねない範囲で、他の粒子を含んでもよい。上記粒子は、乱層構造窒化ホウ素(t-BN)と同一の結晶構造を有するものであればよく、当該結晶構造には、例えば、乱層構造窒化ホウ素を構成する一部の元素が炭素等に置き換わったような結晶構造、及び窒化ホウ素からなる結晶構造に炭素が固溶したような結晶構造が含まれ得る。上記粒子はまた、炭窒化ホウ素と呼ばれるものの粒子を含んでもよく、炭窒化ホウ素と呼ばれるものの粒子であってもよい。 One embodiment of the powder according to the present disclosure is a powder containing particles that contain carbon, nitrogen, boron, and oxygen as constituent elements and have the same crystal structure as turbostratic boron nitride. The powder may be an aggregate of the specific particles described above, and may also contain other particles as long as it does not detract from the spirit of the present disclosure. The particles may have the same crystal structure as turbostratic boron nitride (t-BN), and this crystal structure may include, for example, a crystal structure in which some of the elements that make up turbostratic boron nitride are replaced by carbon, or a crystal structure in which carbon is dissolved in a crystal structure made of boron nitride. The particles may also contain particles of what is called boron carbonitride, or may be particles of what is called boron carbonitride.

上記粒子において、炭素、窒素、ホウ素、及び酸素の合計量が、粒子を構成する元素の全量を基準として、例えば、95質量%以上であってよい。上記粒子における上述の元素の組成は、例えば、炭素の含有量が0.1~5.0質量%、窒素の含有量が48~56質量%、ホウ素の含有量が37~43質量%、且つ酸素の含有量が0.1~5.5質量%であってよい。 In the above particles, the total amount of carbon, nitrogen, boron, and oxygen may be, for example, 95% by mass or more, based on the total amount of elements constituting the particles. The composition of the above elements in the above particles may be, for example, a carbon content of 0.1 to 5.0% by mass, a nitrogen content of 48 to 56% by mass, a boron content of 37 to 43% by mass, and an oxygen content of 0.1 to 5.5% by mass.

上記粉末は、粉末を構成する粒子の結晶性が調整されている。上記粉末は、ラマン分光スペクトルにおいて、波数1480cm-1以上1900cm-1以下の範囲におけるピークの最大値をAとし、波数1000cm-1以上1480cm-1未満の範囲におけるピークの最大値をBとしたときに、A/Bの値が1.4以下である。波数1480cm-1以上1900cm-1以下の範囲には、グラフェン又はその類似構造に特徴的な炭素原子の面内振動に対応し、結晶性に優れる場合に観測されるピークが属する。グラフェンの場合のピークは、1580cm-1付近にピークが観測される。一方、波数1000cm-1以上1480cm-1未満の範囲には、グラフェン中の構造の乱れ、欠陥等に対応するピーク、及び六方晶窒化ホウ素に対応するようなピークが観測される。 The crystallinity of the particles constituting the powder is adjusted. In the Raman spectroscopy spectrum of the powder, when A denotes the maximum value of the peak in the wavenumber range of 1480 cm −1 or more and 1900 cm −1 or less, and B denotes the maximum value of the peak in the wavenumber range of 1000 cm −1 or more and less than 1480 cm −1 , the value of A/B is 1.4 or less. The wavenumber range of 1480 cm −1 or more and 1900 cm −1 or less includes peaks corresponding to in-plane vibrations of carbon atoms characteristic of graphene or structures similar thereto, and observed in cases of excellent crystallinity. In the case of graphene, a peak is observed around 1580 cm −1 . On the other hand, in the wavenumber range of 1000 cm −1 or more and less than 1480 cm −1 , peaks corresponding to structural disorders, defects, etc. in graphene, and peaks corresponding to hexagonal boron nitride are observed.

上記粉末における上記A/Bの値の上限値は、例えば、1.3以下、1.2以下、1.1以下、又は1.0以下であってよい。上記A/Bの値の上限値が上記範囲内であると、得られる粉末を原料とした際の、焼成時間をより短くすることが可能であり、六方晶窒化ホウ素の生産性を更に向上できる。上記粉末における上記A/Bの値の下限値は、特に限定されるものではないが、例えば、0.3以上、0.4以上、又は0.5以上であってよい。上記A/Bの値の下限値が上記範囲内であると、上記粉末が過度に酸化されることを防ぐことができる。上記粉末における上記A/Bの値は上述の範囲内で調整してよく、例えば、0.3~1.4、0.4~1.3、又は0.5~1.3であってよい。 The upper limit of the A/B ratio in the powder may be, for example, 1.3 or less, 1.2 or less, 1.1 or less, or 1.0 or less. When the upper limit of the A/B ratio is within the above range, it is possible to shorten the firing time when the resulting powder is used as a raw material, thereby further improving the productivity of hexagonal boron nitride. The lower limit of the A/B ratio in the powder is not particularly limited, but may be, for example, 0.3 or more, 0.4 or more, or 0.5 or more. When the lower limit of the A/B ratio is within the above range, it is possible to prevent the powder from being excessively oxidized. The A/B ratio in the powder may be adjusted within the above range, and may be, for example, 0.3 to 1.4, 0.4 to 1.3, or 0.5 to 1.3.

上記粉末におけるA/Bの値は、以下の方法によって測定するものとする。具体的にはまず、断面試料作製装置によって、粉末の断面試料を調製する。次に、得られた断面試料を測定対象として、ラマン分光装置によって、下記測定条件にて測定を行うことでラマンスペクトルを取得する。取得したラマンスペクトルにおいて、波数1480cm-1以上1900cm-1以下の範囲におけるピークの最大値A、及び波数1000cm-1以上1480cm-1未満の範囲におけるピークの最大値Bを特定し、A/Bの値を決定する。測定は、上記断面試料中に観測される粒子の中心部の約10μm角について、1μmステップ(10点×10点)でマッピング測定を実施し、100点分のスペクトルを積算した後、多項式モデルにて蛍光由来のベースラインを補正するようにして行い、ラマンスペクトルを取得するものとする。断面試料作製装置としては、例えば、日本電子株式会社製の「CP-9010」(商品名)等を用いることができる。ラマン分光装置としては、例えば、株式会社堀場製作所製の「ラマン顕微鏡XploRA」(商品名)等を用いることができる。
<ラマン分光の測定条件>
レーザー :532nm(減光フィルタ:10%)
Range :100~4000cm-1
対物レンズ :100倍
グレーティング:1200gr
スリット :100μm
共焦点ホール :100μm
レーザー偏光 :Circular
露光時間 :1秒間
露光回数 :3回
The A/B value of the powder is measured by the following method. Specifically, first, a cross-sectional sample of the powder is prepared using a cross-sectional sample preparation device. Next, the obtained cross-sectional sample is used as the measurement target and a Raman spectrum is obtained by measuring it using a Raman spectrometer under the following measurement conditions. In the obtained Raman spectrum, the maximum value A of the peak in the wavenumber range of 1480 cm −1 to 1900 cm −1 and the maximum value B of the peak in the wavenumber range of 1000 cm −1 to less than 1480 cm −1 are identified, and the A/B value is determined. The measurement is performed by performing mapping measurements in 1 μm steps (10 points x 10 points) on an approximately 10 μm square area at the center of the particle observed in the cross-sectional sample, integrating the spectra for 100 points, and then correcting the baseline derived from fluorescence using a polynomial model to obtain the Raman spectrum. As a cross-sectional sample preparation device, for example, the "CP-9010" (product name) manufactured by JEOL Ltd. can be used. As the Raman spectroscopic device, for example, "Raman Microscope XploRA" (product name) manufactured by Horiba Ltd. can be used.
<Raman spectroscopy measurement conditions>
Laser: 532 nm (neutral density filter: 10%)
Range: 100-4000cm -1
Objective lens: 100x Grating: 1200g
Slit: 100 μm
Confocal hole: 100 μm
Laser polarization: Circular
Exposure time: 1 second Number of exposures: 3

上記粉末は、炭素及び酸素の含有量が低減されたものとなっている。当該粉末を六方晶窒化ホウ素の製造原料として用いた場合、上記粉末において除去対象となる炭素及び酸素を予め減じておくことで、続く脱炭及び結晶化工程における助剤の使用量を低減したり、加熱処理時間を低減したりすることが可能であり、六方晶窒化ホウ素の生産性をより向上することができる。 The above powder has a reduced carbon and oxygen content. When this powder is used as a raw material for producing hexagonal boron nitride, by reducing the carbon and oxygen to be removed in the powder in advance, it is possible to reduce the amount of auxiliary agents used in the subsequent decarburization and crystallization processes and shorten the heat treatment time, thereby further improving the productivity of hexagonal boron nitride.

上記粉末における炭素の含有量の上限値は、粉末全量を基準として、例えば、4.0質量%以下、3.0質量%以下、又は2.0質量%以下であってよい。上記粉末における炭素の含有量の下限値は、粉末全量を基準として、例えば、0.1質量%以上、0.2質量%以上、0.3質量%以上、又は0.5質量%以上であってよい。 The upper limit of the carbon content in the powder may be, for example, 4.0% by mass or less, 3.0% by mass or less, or 2.0% by mass or less, based on the total amount of powder. The lower limit of the carbon content in the powder may be, for example, 0.1% by mass or more, 0.2% by mass or more, 0.3% by mass or more, or 0.5% by mass or more, based on the total amount of powder.

上記粉末における酸素の含有量は、粉末全量を基準として、例えば、5.0質量%以下、4.0質量%以下、3.0質量%以下、又は2.0質量%以下であってよい。であってよい。上記粉末における酸素の含有量の下限値は、粉末全量を基準として、例えば、0.1質量%以上、0.2質量%以上、又は0.3質量%以上であってよい。 The oxygen content in the powder may be, for example, 5.0% by mass or less, 4.0% by mass or less, 3.0% by mass or less, or 2.0% by mass or less, based on the total amount of powder. The lower limit of the oxygen content in the powder may be, for example, 0.1% by mass or more, 0.2% by mass or more, or 0.3% by mass or more, based on the total amount of powder.

上記粉末は、炭素の含有量が4.0質量%以下であり、且つ酸素の含有量が5.0質量%以下であってよい。 The powder may have a carbon content of 4.0% by mass or less and an oxygen content of 5.0% by mass or less.

上記粉末は炭素及び酸素の合計の含有量は、粉末全量を基準として、例えば、5.0質量%以下、3.0質量%以下、又は2.0質量%以下であってよい。上記粉末は炭素及び酸素の合計の含有量の下限値は特に制限されるものではなく、粉末全量を基準として、0質量%であってもよいが、例えば、0.5質量%以上、又は1.0質量%以上であってよい。 The total carbon and oxygen content of the powder may be, for example, 5.0% by mass or less, 3.0% by mass or less, or 2.0% by mass or less, based on the total amount of powder. There is no particular lower limit for the total carbon and oxygen content of the powder, and it may be 0% by mass or less, based on the total amount of powder, but it may be, for example, 0.5% by mass or more, or 1.0% by mass or more.

本明細書において、炭素、窒素、ホウ素、及び酸素の含有量は、それぞれ、以下の方法で測定される値を意味する。炭素の含有量は、炭素/硫黄同時分析装置によって測定される値を意味する。炭素/硫黄同時分析装置としては、例えば、LECO社製、「IR-412型」(商品名)等を使用できる。窒素の含有量は、滴定法によって決定される値を意味する。具体的には、まず、試料を水酸化ナトリウムでアルカリ分解させ、水蒸気蒸留法によって分解液からアンモニアを蒸留して、ホウ酸水溶液に捕集する。この捕集液を対象として、硫酸規定液で滴定することによって、上記試料中の窒素原子の含有量を求めることできる。ホウ素の含有量は、滴定法によって決定される値を意味する。具体的には、まず、試料を白金るつぼで加熱融解し、塩酸で完全溶解させた後、水酸化ナトリウム水溶液で滴定することによって、上記試料中のホウ素原子の含有量を求めることができる。酸素の含有量は酸素/窒素同時分析計によって測定される値を意味する。酸素/窒素同時分析計としては、例えば、株式会社堀場製作所製の「EMGA-910型」(商品名)等を使用できる。 In this specification, the carbon, nitrogen, boron, and oxygen contents refer to values measured by the following methods. The carbon content refers to a value measured using a carbon/sulfur simultaneous analyzer. An example of a carbon/sulfur simultaneous analyzer that can be used is the IR-412 (trade name) manufactured by LECO. The nitrogen content refers to a value determined by titration. Specifically, the sample is first alkaline decomposed with sodium hydroxide, and ammonia is distilled from the decomposition solution using steam distillation and collected in an aqueous boric acid solution. The nitrogen atom content in the sample can be determined by titrating this collected solution with a normal sulfuric acid solution. The boron content refers to a value determined by titration. Specifically, the sample is first heated and melted in a platinum crucible, completely dissolved in hydrochloric acid, and then titrated with an aqueous sodium hydroxide solution to determine the boron atom content in the sample. The oxygen content refers to a value measured using an oxygen/nitrogen simultaneous analyzer. An example of an oxygen/nitrogen simultaneous analyzer that can be used is the "EMGA-910" (product name) manufactured by Horiba Ltd.

上記粉末は、構成する粒子の粒径が調整されたものであってもよい。上記粉末の平均粒径の上限値は、例えば、100μm以下、90μm以下、又は80μm以下であってよい。上記平均粒径の上限値が上記範囲内であると、当該粉末を原料として調製される六方晶窒化ホウ素粉末が膜厚0.2mm程度の薄い放熱部材用にも好適に使用できる。上記粉末の平均粒径の下限値は、例えば、10μm以上、15μm以上、又は20μm以上であってよい。上記平均粒径の下限値が上記範囲内であると、当該粉末を原料として調製される六方晶窒化ホウ素粉末、及び上記六方晶窒化ホウ素粉末を用いて調製される放熱部材が高い放熱性を発揮し得る。上記粉末の平均粒径は上述の範囲内で調整してよく、例えば、10~100μm、15~90μm、又は20~80μmであってよい。 The powder may have an adjusted particle size. The upper limit of the average particle size of the powder may be, for example, 100 μm or less, 90 μm or less, or 80 μm or less. When the upper limit of the average particle size is within the above range, hexagonal boron nitride powder prepared using the powder as a raw material can be suitably used for thin heat dissipation components with a film thickness of approximately 0.2 mm. The lower limit of the average particle size of the powder may be, for example, 10 μm or more, 15 μm or more, or 20 μm or more. When the lower limit of the average particle size is within the above range, the hexagonal boron nitride powder prepared using the powder as a raw material and the heat dissipation components prepared using the hexagonal boron nitride powder can exhibit high heat dissipation properties. The average particle size of the powder may be adjusted within the above range, for example, 10 to 100 μm, 15 to 90 μm, or 20 to 80 μm.

本明細書における平均粒径は、ホモジナイザー処理は行わずに、粉末をそのまま測定対象として、測定して得られる値であり、凝集粒子を含まない一次粒子の平均粒径である。なお、上述の粉末は、通常、凝集粒子を含まない。本明細書における平均粒径はまた、体積基準の累積粒度分布の累積値が50%となる粒子径(メジアン径、d50)である。本明細書における平均粒径は、ISO 13320:2009の記載に準拠し、レーザー回折散乱法粒度分布測定装置を用いて測定する。具体的には、本明細書の実施例に記載の方法で測定する。レーザー回折散乱法粒度分布測定装置としては、例えば、ベックマンコールター社製の「LS-13 320」(装置名)等を使用できる。 The average particle size referred to herein is a value obtained by measuring the powder as is, without homogenization, and is the average particle size of primary particles, excluding agglomerated particles. The powders described above typically do not contain agglomerated particles. The average particle size referred to herein is also the particle size at which the cumulative value of the volume-based cumulative particle size distribution is 50% (median diameter, d50). The average particle size referred to herein is measured using a laser diffraction/scattering particle size distribution analyzer in accordance with ISO 13320:2009. Specifically, it is measured using the method described in the Examples section of this specification. An example of a laser diffraction/scattering particle size distribution analyzer that can be used is the "LS-13 320" (instrument name) manufactured by Beckman Coulter, Inc.

上述の粉末は、例えば、以下のような方法で製造することができる。粉末の製造方法の一実施形態は、炭素、窒素、ホウ素、及び酸素を構成元素として含み、乱層構造窒化ホウ素と同一の結晶構造を有する粒子を含む粉末の製造方法であって、炭化ホウ素粉末を、窒素加圧雰囲気下で1900~2200℃の温度で焼成して焼成物を得る加圧窒化工程と、上記焼成物を、酸素分圧が20%以上である雰囲気下において加熱処理する加熱処理物を得る酸化工程と、を有する。上記酸化工程は、上記焼成物及び上記加熱処理物を含む混合物を撹拌することを含む工程(以下、撹拌酸化工程ともいう)である。 The above-mentioned powder can be produced, for example, by the following method. One embodiment of the powder production method is a method for producing a powder containing particles having the same crystal structure as turbostratic boron nitride, containing carbon, nitrogen, boron, and oxygen as constituent elements, and comprising a pressure nitriding step in which boron carbide powder is fired at a temperature of 1900 to 2200°C in a pressurized nitrogen atmosphere to obtain a fired product, and an oxidation step in which the fired product is heat-treated in an atmosphere with an oxygen partial pressure of 20% or more to obtain a heat-treated product. The oxidation step is a step that includes stirring a mixture containing the fired product and the heat-treated product (hereinafter also referred to as a stirring oxidation step).

加圧窒化工程では、炭化ホウ素粉末を、窒素加圧雰囲気下で1900~2200℃の温度で焼成して焼成物を得る。焼成物には、炭窒化ホウ素(BCN)が含まれ得る。加圧窒化工程における焼成温度の下限値は、1900℃以上であればよく、2000℃以上であってもよい。上記焼成温度の下限値を上記範囲内とすることによって、炭化ホウ素の窒化をより十分に進行させることができる。また、当該焼成温度の上限値は、2200℃以下であればよく、2150℃以下であってもよい。上記焼成温度の上限値を上記範囲内とすることによって、炭窒化ホウ素の結晶性が高まりすぎて、六方晶窒化ホウ素粉末の製造原料として用いた場合に、六方晶窒化ホウ素粉末の製造過程である結晶化工程における生産効率が低下するのを抑制できる。当該焼成温度は上述の範囲内で調整してよく、例えば、1900~2200℃、又は1900~2150℃であってよい。 In the pressure nitriding step, the boron carbide powder is fired at a temperature of 1900 to 2200°C in a pressurized nitrogen atmosphere to obtain a fired product. The fired product may contain boron carbonitride (B 4 CN 4 ). The lower limit of the firing temperature in the pressure nitriding step may be 1900°C or higher, and may be 2000°C or higher. By setting the lower limit of the firing temperature within the above range, the nitriding of boron carbide can be more sufficiently promoted. Furthermore, the upper limit of the firing temperature may be 2200°C or lower, and may be 2150°C or lower. By setting the upper limit of the firing temperature within the above range, it is possible to prevent the crystallinity of boron carbonitride from becoming too high, and thus to prevent a decrease in production efficiency in the crystallization step, which is a manufacturing process for hexagonal boron nitride powder, when the boron carbonitride powder is used as a raw material for manufacturing hexagonal boron nitride powder. The firing temperature may be adjusted within the above range, for example, 1900 to 2200°C or 1900 to 2150°C.

加圧窒化工程における圧力の下限値は、例えば、0.6MPa以上、0.7MPa以上、又は0.8MPa以上であってよい。上記圧力の下限値を上記範囲内とすることによって、炭化ホウ素の窒化をより十分に進行させることができる。加圧窒化工程における圧力の上限値は、例えば、1.0MPa以下、又は0.9MPa以下であってよい。上記圧力の上限値を上記範囲内とすることによって、製造コストの上昇を抑制することができる。当該圧力は上述の範囲内で調整してよく、例えば、0.6~1.0MPaであってよい。 The lower limit of the pressure in the pressure nitriding process may be, for example, 0.6 MPa or more, 0.7 MPa or more, or 0.8 MPa or more. By setting the lower limit of the pressure within the above range, the nitriding of boron carbide can be more fully promoted. The upper limit of the pressure in the pressure nitriding process may be, for example, 1.0 MPa or less, or 0.9 MPa or less. By setting the upper limit of the pressure within the above range, increases in manufacturing costs can be suppressed. The pressure may be adjusted within the above range, for example, between 0.6 and 1.0 MPa.

加圧窒化工程における窒素加圧雰囲気の窒素ガス濃度は、例えば、95.0体積%以上、98.0体積%以上、又は99.9体積%以上であってよい。窒素ガス濃度を上記範囲内とすることで、炭化ホウ素の窒化をより穏和な条件で行うことができる。上記窒素ガス濃度は、標準状態における体積に基づく濃度である。加圧窒化工程における焼成時間は、窒化が十分進む範囲であれば特に限定されず、例えば、6~30時間、又は8~20時間であってもよい。 The nitrogen gas concentration in the pressurized nitrogen atmosphere in the pressure nitriding process may be, for example, 95.0% by volume or more, 98.0% by volume or more, or 99.9% by volume or more. By keeping the nitrogen gas concentration within this range, boron carbide can be nitrided under milder conditions. The above nitrogen gas concentration is based on the volume under standard conditions. The firing time in the pressure nitriding process is not particularly limited as long as it is within a range that allows sufficient nitriding to proceed, and may be, for example, 6 to 30 hours or 8 to 20 hours.

酸化工程では、上記焼成物を、酸素分圧が20%以上である雰囲気下において加熱処理する加熱処理物を得る。酸化工程おいて、焼成物に含まれる炭素分を酸素と結合させ炭酸ガスとして系外に除去することで、脱炭処理を行う。この際、上記焼成物及び上記加熱処理物を含む混合物を撹拌することによって、酸素と接する面を増やし、脱炭処理の効率を向上させると共に、脱炭処理の条件を穏和なものとすることによって、製造コストの上昇を抑制することができる。 In the oxidation process, the fired product is heat-treated in an atmosphere with an oxygen partial pressure of 20% or more to obtain a heat-treated product. In the oxidation process, the carbon contained in the fired product is combined with oxygen and removed from the system as carbon dioxide gas, thereby performing a decarburization process. During this process, stirring the mixture containing the fired product and the heat-treated product increases the surface area in contact with oxygen, improving the efficiency of the decarburization process and, by making the decarburization conditions milder, suppressing increases in manufacturing costs.

酸化工程における加熱処理時の雰囲気(焼成雰囲気)は、酸素分圧が20%以上である雰囲気であり、例えば、空気であってよく、酸素分圧が調整された混合ガスであってもよい。製造コストを低減する観点から、上記焼成雰囲気は空気である。酸化工程は閉鎖系で行ってもよく、開放系で行ってもよいが、上記の焼成雰囲気が維持されるように調整することができる。なお、酸化工程の際に、上述の条件を満たす空気や混合ガスを、例えば、100L/分以下の速度で、流通させるようにしてもよい。酸化工程の際に、上述の条件を満たす空気や混合ガスを、例えば、20L/分以上の速度、又は30L/分以上の速度で、流通させるようにしてもよい。 The atmosphere during the heat treatment in the oxidation step (firing atmosphere) is an atmosphere with an oxygen partial pressure of 20% or more, and may be, for example, air or a mixed gas with an adjusted oxygen partial pressure. From the perspective of reducing production costs, the firing atmosphere is air. The oxidation step may be performed in a closed system or an open system, but adjustments can be made so that the firing atmosphere is maintained. During the oxidation step, air or a mixed gas that meets the above conditions may be circulated at a rate of, for example, 100 L/min or less. During the oxidation step, air or a mixed gas that meets the above conditions may be circulated at a rate of, for example, 20 L/min or more, or 30 L/min or more.

混合ガスを使用する場合の酸素分圧の下限値は、例えば、20%以上、25%以上、又は30%以上であってよい。酸素分圧の下限値が上記範囲内であると、酸化工程における炭素の酸化反応をより促進することができる。混合ガスを使用する場合の酸素分圧の上限値は、例えば、70%以下、60%以下、又は50%以下であってよい。酸素分圧の上限値が上記範囲内であると、上記粉末の過剰な酸化を防ぐことができる。混合ガスを使用する場合の酸素分圧は上述の範囲内で調整してよく、例えば、20~80%、又は25~60%であってよい。なお、本明細書における酸素分圧は、焼成雰囲気を占める混合ガスの標準状態における酸素の分圧を意味し、酸素濃度計によって測定される値を意味する。酸素濃度計としては、例えば、株式会社サカキコーポレーション製の「G1690」(商品名)等を使用できる。 When using a mixed gas, the lower limit of the oxygen partial pressure may be, for example, 20% or more, 25% or more, or 30% or more. A lower limit of the oxygen partial pressure within this range can further promote the carbon oxidation reaction in the oxidation process. When using a mixed gas, the upper limit of the oxygen partial pressure may be, for example, 70% or less, 60% or less, or 50% or less. An upper limit of the oxygen partial pressure within this range can prevent excessive oxidation of the powder. When using a mixed gas, the oxygen partial pressure may be adjusted within the above range, for example, 20-80% or 25-60%. Note that the oxygen partial pressure in this specification refers to the partial pressure of oxygen under standard conditions in the mixed gas occupying the firing atmosphere, as measured by an oxygen concentration meter. An oxygen concentration meter such as the "G1690" (product name) manufactured by Sakaki Corporation can be used.

酸化工程における加熱処理の温度(加熱温度)の上限値は、例えば、1050℃以下、1000℃以下、又は950℃以下であってよい。加熱温度の上限値が上記範囲内であることで、過剰な酸化を防ぐことができる。酸化工程における加熱処理の温度の下限値は、例えば、700℃以上、750℃以上、又は800℃以上であってよい。加熱温度の下限値が上記範囲内であることで、炭素の酸化工程の反応をより促進することができる。酸化工程における加熱温度は上述の範囲内で調整してよく、例えば、700~1050℃、700~1000℃、又は750~950℃であってよい。 The upper limit of the temperature (heating temperature) for the heat treatment in the oxidation step may be, for example, 1050°C or lower, 1000°C or lower, or 950°C or lower. Keeping the upper limit of the heating temperature within the above range can prevent excessive oxidation. The lower limit of the temperature for the heat treatment in the oxidation step may be, for example, 700°C or higher, 750°C or higher, or 800°C or higher. Keeping the lower limit of the heating temperature within the above range can further promote the reaction in the carbon oxidation step. The heating temperature in the oxidation step may be adjusted within the above range, for example, 700 to 1050°C, 700 to 1000°C, or 750 to 950°C.

酸化工程における上記焼成物及び上記加熱処理物を含む混合物の撹拌操作は、酸化工程に亘って、断続的に行われてもよく、連続的に行われてもよい。断続的に行う場合、例えば、加熱処理を撹拌操作のために一旦停止することもできる。 The stirring operation of the mixture containing the fired product and the heat-treated product in the oxidation step may be performed intermittently or continuously throughout the oxidation step. When performed intermittently, for example, the heat treatment may be temporarily stopped for the stirring operation.

酸化工程における上記焼成物及び上記加熱処理物を含む混合物を撹拌する手段は、特に制限されるものではなく、上記混合物の焼成雰囲気に接する面を変えることができるものであればよい。上記手段としては、例えば、手作業で行う方法、機械撹拌機を用いる方法、流動床を用いる方法、及びロータリーキルン等の回転窯を用いる方法などが挙げられる。上記混合物の撹拌は、ロータリーキルンによって行われてもよい。ロータリーキルンを使用することによって、焼成雰囲気との接触面を連続的に変化させつつ、混合物に振動を加えることによって、過剰な結晶性の向上を抑制することができ、さらに炭酸ガス等の脱離を容易にすることができる。 The means for stirring the mixture containing the fired product and the heat-treated product in the oxidation step is not particularly limited, and any means capable of changing the surface of the mixture that comes into contact with the firing atmosphere may be used. Examples of such means include manual stirring, stirring using a mechanical stirrer, stirring using a fluidized bed, and stirring using a rotary kiln such as a rotary kiln. The mixture may also be stirred using a rotary kiln. Using a rotary kiln continuously changes the surface of contact with the firing atmosphere while applying vibration to the mixture, which can suppress excessive crystallinity and also facilitate the desorption of carbon dioxide and other gases.

ロータリーキルンを使用する場合、原料となる上記焼成物をスクリューフィーダー等によって、キルン内に投入し、空気又は上記混合ガスを所定の流速で流し入れ流通雰囲気下で、加熱処理を行うことができる。 When using a rotary kiln, the raw material, the fired material, is fed into the kiln using a screw feeder or the like, and air or the mixed gas is introduced at a predetermined flow rate, allowing the heat treatment to be carried out in a flowing atmosphere.

原料となる上記焼成物のフィード量は、特に限定されるものではないが、例えば、5g/分以上、10g/分以上、20g/分以上、又は100g/分以上であってよい。原料となる上記焼成物のフィード量は、例えば、1000g/分未満、又は800g/分未満であってよい。上記フィード量の上限値が上記範囲内であると、上記焼成物の表面が酸素に触れる機会をより十分に確保することができ、上記粉末を用いた六方晶窒化ホウ素粉末の生産効率をより向上させることができる。原料となる上記焼成物のフィード量はキルン炉の内径と長さとによって調整してよく、例えば、キルン炉の容積の3~15体積%程度のフィード量となるように設定することができる。 The feed rate of the calcined raw material is not particularly limited, but may be, for example, 5 g/min or more, 10 g/min or more, 20 g/min or more, or 100 g/min or more. The feed rate of the calcined raw material may be, for example, less than 1000 g/min or less than 800 g/min. When the upper limit of the feed rate is within the above range, the surface of the calcined raw material can be more fully exposed to oxygen, thereby further improving the production efficiency of hexagonal boron nitride powder using the powder. The feed rate of the calcined raw material may be adjusted by the inner diameter and length of the kiln furnace, and can be set to, for example, approximately 3 to 15 volume % of the volume of the kiln furnace.

空気又は上記混合ガスを流す際の流速の下限値は、例えば、10L/分以上、20L/分以上、30L/分以上、40L/分以上、又は45L/分以上であってよい。流速の下限値を上記範囲内とすることで、酸素の供給を十分なものとしつつ、炭酸ガス等の除去をより容易なものとすることができる。空気又は上記混合ガスを流す際の流速の上限値は、例えば、1000L/分以下、950L/分以下、又は900L/分以下であってよい。流速の上限値を上記範囲内とすることで、酸化工程における炭素の酸化反応をより促進できる。空気又は上記混合ガスを流す際の流速は上述の範囲内で調整してよく、例えば、10~1000L/分、又は20~950L/分であってよい。 The lower limit of the flow rate of air or the mixed gas may be, for example, 10 L/min or more, 20 L/min or more, 30 L/min or more, 40 L/min or more, or 45 L/min or more. By setting the lower limit of the flow rate within the above range, it is possible to ensure a sufficient supply of oxygen while making it easier to remove carbon dioxide and other gases. The upper limit of the flow rate of air or the mixed gas may be, for example, 1000 L/min or less, 950 L/min or less, or 900 L/min or less. Setting the upper limit of the flow rate within the above range can further promote the oxidation reaction of carbon in the oxidation step. The flow rate of air or the mixed gas may be adjusted within the above range, for example, 10 to 1000 L/min, or 20 to 950 L/min.

ロータリーキルンの回転数の下限値は、例えば、0.5rpm以上、0.7rpm以上、又は1.0rpm以上であってよい。上記回転数の下限値を上記範囲内とすることで、滞留時間を調整し、過剰な酸化及び製造コストの上昇を抑制できる。ロータリーキルンの回転数の上限値は、例えば、10rpm以下、9rpm以下、又は8rpm以下であってよい。上記回転数の上限値を上記範囲内とすることで、炭素の酸化工程の反応をより促進することができる。ロータリーキルンの回転数は上述の範囲内で調整してよく、例えば、0.5~10rpm、又は0.7~9rpmであってよい。 The lower limit of the rotation speed of the rotary kiln may be, for example, 0.5 rpm or more, 0.7 rpm or more, or 1.0 rpm or more. By setting the lower limit of the rotation speed within the above range, it is possible to adjust the residence time and prevent excessive oxidation and increases in production costs. The upper limit of the rotation speed of the rotary kiln may be, for example, 10 rpm or less, 9 rpm or less, or 8 rpm or less. By setting the upper limit of the rotation speed within the above range, it is possible to further promote the reaction in the carbon oxidation process. The rotation speed of the rotary kiln may be adjusted within the above range, and may be, for example, 0.5 to 10 rpm, or 0.7 to 9 rpm.

ロータリーキルンの傾斜角は、例えば、加熱処理の温度及び時間、並びにフィード量等に応じて調整することができる。ロータリーキルンの傾斜角は、例えば、0.2~6°、0.3~5°、又は0.5~4°であってよい。 The tilt angle of the rotary kiln can be adjusted depending on, for example, the temperature and time of the heat treatment, the feed amount, etc. The tilt angle of the rotary kiln may be, for example, 0.2 to 6°, 0.3 to 5°, or 0.5 to 4°.

上述のようにして得られる粉末は、六方晶窒化ホウ素粉末の製造原料として好適である。上記粉末は、例えば、ホウ素源等の助剤と混合し原料組成物を調製し、当該原料組成物を加熱処理することによって、窒化ホウ素の一次粒子を生成し、一次粒子が凝集して構成される凝集粒子を含む六方晶窒化ホウ素粉末を得ることができる。すなわち、上記粉末中に含まれる炭素分及び酸素分を炭酸ガス等として脱離し、脱炭化させるとともに、所定の大きさの一次粒子を生成させつつ、これらを凝集させて凝集粒子を含む、六方晶窒化ホウ素粉末を得るための製造原料として上記粉末を使用できる。六方晶窒化ホウ素粉末の製造方法の一例は、上述の粉末と、ホウ素源とを含む原料組成物を加熱して、窒化ホウ素の一次粒子を生成し、上記一次粒子が凝集して構成される凝集粒子を得る工程(以下、結晶化工程ともいう)を有する。 The powder obtained as described above is suitable as a raw material for producing hexagonal boron nitride powder. For example, the powder can be mixed with an auxiliary agent such as a boron source to prepare a raw material composition, and the raw material composition can be heat-treated to produce primary particles of boron nitride, resulting in hexagonal boron nitride powder containing agglomerated particles formed by the aggregation of the primary particles. In other words, the powder can be used as a raw material for producing hexagonal boron nitride powder by desorbing and decarbonizing the carbon and oxygen contained in the powder as carbon dioxide gas or the like, generating primary particles of a predetermined size, which are then agglomerated to produce agglomerated particles. One example of a method for producing hexagonal boron nitride powder includes a step (hereinafter also referred to as a crystallization step) of heating a raw material composition containing the powder and a boron source to produce primary particles of boron nitride and obtain agglomerated particles formed by the aggregation of the primary particles.

ホウ素源としては、ホウ酸、酸化ホウ素、又はこれらの混合物が挙げられる。結晶化工程で加熱する混合物は、公知の添加物を含有してもよい。 Examples of boron sources include boric acid, boron oxide, or a mixture thereof. The mixture heated in the crystallization process may also contain known additives.

原料組成物において、上記粉末とホウ素源との配合割合は、モル比に応じて適切に設定可能である。ホウ素源としてホウ酸及び酸化ホウ素の少なくとも一方を用いる場合には、例えば、上記粉末100質量部に対して、ホウ酸及び酸化ホウ素の合計量が20~300質量部となるようにホウ素源を配合してもよいし、ホウ酸及び酸化ホウ素の合計量が50~250質量部となるようにホウ素源を配合してもよい。 In the raw material composition, the blending ratio of the powder and the boron source can be appropriately set according to the molar ratio. When using at least one of boric acid and boron oxide as the boron source, for example, the boron source may be blended so that the total amount of boric acid and boron oxide is 20 to 300 parts by mass per 100 parts by mass of the powder, or the boron source may be blended so that the total amount of boric acid and boron oxide is 50 to 250 parts by mass per 100 parts by mass of the powder.

結晶化工程において混合物を加熱する加熱温度は、例えば、2000℃以上であってもよく、2100℃以上であってもよい。当該加熱温度の下限値を上記範囲内とすることによって、粒成長を十分に進行させることができる。結晶化工程において混合物を加熱する加熱温度は、例えば、2150℃以下であってよく、2100℃以下であってもよい。当該加熱温度の上限値を上記範囲内とすることによって、六方晶窒化ホウ素粉末の黄色化を抑制ことができる。当該加熱温度は上述の範囲内で調整してよく、例えば、2000~2150℃であってよい。結晶化工程における原料組成物を加熱する加熱温度は、窒化工程における上記粉末の加熱温度よりも低いことが好ましい。 The heating temperature to which the mixture is heated in the crystallization process may be, for example, 2000°C or higher, or 2100°C or higher. By setting the lower limit of the heating temperature within the above range, grain growth can be sufficiently promoted. The heating temperature to which the mixture is heated in the crystallization process may be, for example, 2150°C or lower, or 2100°C or lower. By setting the upper limit of the heating temperature within the above range, yellowing of the hexagonal boron nitride powder can be suppressed. The heating temperature may be adjusted within the above range, and may be, for example, 2000 to 2150°C. The heating temperature to which the raw material composition is heated in the crystallization process is preferably lower than the heating temperature of the powder in the nitriding process.

結晶化工程は、常圧(大気圧)の雰囲気下で加熱してもよく、加圧して大気圧を超える圧力(例えば、50kPa以上)で加熱してもよい。加圧する場合には、例えば、0.5MPa以下であってよく、0.3MPa以下であってもよい。なお、上記圧力は、ゲージ圧を意味する。 The crystallization process may be carried out under normal pressure (atmospheric pressure), or may be carried out under pressure exceeding atmospheric pressure (e.g., 50 kPa or higher). When pressure is applied, the pressure may be, for example, 0.5 MPa or less, or 0.3 MPa or less. Note that the above pressure refers to gauge pressure.

結晶化工程における加熱時間は、0.5時間以上であってよく、1時間以上、又は3時間以上であってもよい。当該加熱時間の下限値を上記範囲内とすることで、粒成長を十分に進行させることができる。結晶化工程における加熱時間は、40時間以下であってよく、30時間以下、20時間以下、又は10時間以下であってよい。当該加熱時間の上限値を上記範囲内とすることで、製造コストの上昇を抑制することができる。当該加熱時間は上述の範囲内で調整してよく、例えば、0.5~40時間であってよく、1~30時間であってもよい。なお、本明細書における焼成時間、加熱時間等は、対象物の周囲環境の温度が所定の温度に到達してから当該温度で維持する時間(保持時間)を意味する。 The heating time in the crystallization process may be 0.5 hours or more, 1 hour or more, or 3 hours or more. By setting the lower limit of the heating time within the above range, grain growth can be sufficiently promoted. The heating time in the crystallization process may be 40 hours or less, 30 hours or less, 20 hours or less, or 10 hours or less. By setting the upper limit of the heating time within the above range, increases in manufacturing costs can be suppressed. The heating time may be adjusted within the above range, for example, 0.5 to 40 hours, or 1 to 30 hours. Note that in this specification, firing time, heating time, etc. refer to the time (retention time) during which the temperature of the environment surrounding the object is maintained at a specified temperature after it has reached that temperature.

六方晶窒化ホウ素粉末の製造方法は、その他の工程を有してもよい。その他の工程としては、例えば、粉砕工程、及び分級工程等が挙げられる。六方晶窒化ホウ素粉末の製造方法では、例えば、結晶化工程の後に、粉砕工程を行ってもよい。粉砕工程においては、一般的な粉砕機又は解砕機を用いることができる。例えば、ボールミル、振動ミル、及びジェットミル等を用いることができる。なお、本明細書における「粉砕」には「解砕」も含むものとする。粉砕及び分級によって、六方晶窒化ホウ素粉末の平均粒径を15~100μmに調整してもよい。 The method for producing hexagonal boron nitride powder may include other processes. Examples of such processes include a pulverization process and a classification process. In the method for producing hexagonal boron nitride powder, for example, a pulverization process may be carried out after the crystallization process. In the pulverization process, a general pulverizer or crusher can be used. For example, a ball mill, a vibration mill, a jet mill, or the like can be used. Note that in this specification, "pulverization" also includes "crushing." The average particle size of the hexagonal boron nitride powder may be adjusted to 15 to 100 μm by pulverization and classification.

以上、本開示の幾つかの実施形態について説明したが、本開示は上記実施形態に何ら限定されるものではない。また、上述した実施形態についての説明内容は、互いに適用することができる。 Although several embodiments of the present disclosure have been described above, the present disclosure is in no way limited to the above-described embodiments. Furthermore, the descriptions of the above-described embodiments can be mutually applied.

以下、本開示について、実施例及び比較例を用いてより詳細に説明する。なお、本開示は以下の実施例に限定されるものではない。 The present disclosure will be described in more detail below using examples and comparative examples. Note that the present disclosure is not limited to the following examples.

(実施例1)
新日本電工株式会社製のオルトホウ酸100質量部と、デンカ株式会社製のアセチレンブラック(商品名:HS100)35質量部とをヘンシェルミキサーを用いて混合した。得られた混合物を、黒鉛製のルツボ中に充填し、アーク炉にて、アルゴン雰囲気で、2200℃にて5時間加熱し、塊状の炭化ホウ素(BC)を含む焼成物を得た(加圧窒化工程)。得られた塊状物を、ジョークラッシャーで粗粉砕して粗粉を得た。この粗粉を、炭化ケイ素製のボール(φ10mm)を有するボールミルによってさらに粉砕して粉砕粉を得た。ボールミルによる粉砕は、回転数20rpmで60分間行った。その後、目開き75μmの振動篩を用いて粉砕粉を分級した。篩下の微粉を、クラッシール分級機で気流分級を行って、10μm以上の粒径を有する粉末状の焼成物を得た。得られた焼成物の炭素量は10.1質量%であり、酸素量は0.2質量%であった。調製した炭化ホウ素粉末を、カーボン式抵抗加熱炉内で、窒素ガス雰囲気下、焼成温度2000℃、且つ圧力0.90MPaの条件で12時間加熱した窒化処理を行った。
Example 1
100 parts by mass of orthoboric acid manufactured by Nippon Denko Co., Ltd. and 35 parts by mass of acetylene black (product name: HS100) manufactured by Denka Co., Ltd. were mixed using a Henschel mixer. The resulting mixture was filled into a graphite crucible and heated in an arc furnace in an argon atmosphere at 2200°C for 5 hours to obtain a fired product containing lumped boron carbide (B 4 C) (pressure nitriding process). The resulting lumps were coarsely crushed using a jaw crusher to obtain a coarse powder. This coarse powder was further crushed using a ball mill with silicon carbide balls (φ10 mm) to obtain a crushed powder. The crushing using the ball mill was performed at a rotation speed of 20 rpm for 60 minutes. The crushed powder was then classified using a vibrating sieve with a mesh size of 75 μm. The fine powder that fell through the sieve was subjected to airflow classification using a Crusseal classifier to obtain a powdered fired product with a particle size of 10 μm or more. The boron carbide powder thus obtained was subjected to a nitriding treatment in a carbon resistance heating furnace under a nitrogen gas atmosphere at a firing temperature of 2000°C and a pressure of 0.90 MPa for 12 hours.

窒化処理した焼成粉末を、ロータリーキルン(内径:100mm、長さ:1900mm)に10g/分のフィード量で投入し、キルン内に空気を45L/分で流通させながら、900℃で加熱処理を行うことで上記焼成物を酸化させ、粉末状の加熱処理物を得た(酸化工程)。当該加熱処理物を実施例1の粉体とした。ロータリーキルンは傾斜角1°、回転数1.0rpmとした。キルン内における焼成物の滞留時間(加熱時間)は90分間であった。得られた粉体の炭素量は1.8質量%であり、酸素量は1.8質量%、ホウ素量は42質量%、窒素量は54質量%であった。得られた粉体の平均粒径は35μmであった。 The nitrided fired powder was fed into a rotary kiln (inner diameter: 100 mm, length: 1900 mm) at a feed rate of 10 g/min. The fired product was oxidized by heat treatment at 900°C while air was circulating through the kiln at 45 L/min, yielding a powdered heat-treated product (oxidation step). This heat-treated product was designated the powder of Example 1. The rotary kiln had an inclination angle of 1° and a rotation speed of 1.0 rpm. The residence time (heating time) of the fired product in the kiln was 90 minutes. The carbon content of the resulting powder was 1.8% by mass, oxygen content 1.8% by mass, boron content 42% by mass, and nitrogen content 54% by mass. The average particle size of the resulting powder was 35 μm.

<粉体の評価>
得られた粉体について、ラマン分光法による測定によって、波数1480cm-1以上1900cm-1以下の範囲におけるピークの最大値A、及び波数1000cm-1以上1480cm-1未満の範囲におけるピークの最大値Bを決定し、その強度比(A/Bの値)を決定した。
<Evaluation of powder>
The obtained powder was measured by Raman spectroscopy to determine the maximum peak value A in the wave number range of 1480 cm −1 or more and 1900 cm −1 or less, and the maximum peak value B in the wave number range of 1000 cm −1 or more and less than 1480 cm −1 , and the intensity ratio (value A/B) was determined.

(実施例2)
実施例1と同様にして調製した焼成物1000gを、アルミナ製のるつぼに充填し、マッフル炉によって、空気雰囲気下で、800℃、1時間、加熱処理を行った。3時間経過後、150℃まで低下させ、るつぼ内に充填された表層の加熱処理物と、るつぼ内部の焼成物との位置が入れ替わるように粉末を撹拌した。その後、さらに抵抗加熱炉によって、空気雰囲気下で、800℃、1時間加熱処理を行った。同様に150℃まで低下させ再度800℃、1時間加熱処理を行うことによって、粉末状の加熱処理物を得た(酸化工程)。当該加熱処理物を実施例2の粉体とした。得られた粉体について、実施例1と同様にして、炭素量、酸素量、及び平均粒径の測定を行った。また得られた粉末について、実施例1と同様にしてラマン分光法による分析を行い、A/Bの値を決定した。結果を表1に示す。
Example 2
1000 g of the fired material prepared in the same manner as in Example 1 was loaded into an alumina crucible and heat-treated in an air atmosphere at 800°C for 1 hour in a muffle furnace. After 3 hours, the temperature was lowered to 150°C, and the powder was stirred so that the heat-treated surface material loaded in the crucible and the fired material inside the crucible were interchanged. Thereafter, the powder was further heat-treated in an air atmosphere at 800°C for 1 hour in a resistance heating furnace. Similarly, the temperature was lowered to 150°C and heat-treated again at 800°C for 1 hour to obtain a powdered heat-treated product (oxidation step). This heat-treated product was designated as the powder of Example 2. The carbon content, oxygen content, and average particle size of the obtained powder were measured in the same manner as in Example 1. The obtained powder was also analyzed by Raman spectroscopy in the same manner as in Example 1 to determine the A/B value. The results are shown in Table 1.

(実施例3)
キルン炉の温度を700℃に変更したこと以外は、実施例1と同様にして、粉体を得た。得られた粉体について、実施例1と同様にして、炭素量、酸素量、及び平均粒径の測定を行った。また得られた粉末について、実施例1と同様にしてラマン分光法による分析を行い、A/Bの値を決定した。結果を表1に示す。
Example 3
Powder was obtained in the same manner as in Example 1, except that the temperature of the kiln furnace was changed to 700°C. The carbon content, oxygen content, and average particle size of the obtained powder were measured in the same manner as in Example 1. The obtained powder was also analyzed by Raman spectroscopy in the same manner as in Example 1, and the A/B value was determined. The results are shown in Table 1.

(実施例4)
キルン炉の温度を1000℃に変更したこと以外は、実施例1と同様にして、粉体を得た。得られた粉体について、実施例1と同様にして、炭素量、酸素量、及び平均粒径の測定を行った。また得られた粉末について、実施例1と同様にしてラマン分光法による分析を行い、A/Bの値を決定した。結果を表1に示す。
Example 4
Powder was obtained in the same manner as in Example 1, except that the kiln temperature was changed to 1000°C. The carbon content, oxygen content, and average particle size of the obtained powder were measured in the same manner as in Example 1. The obtained powder was also analyzed by Raman spectroscopy in the same manner as in Example 1, and the A/B value was determined. The results are shown in Table 1.

(実施例5)
炭化ホウ素の粉砕方法を150分間に強化し、目開き32μm以下の微粉に分級した炭化ホウ素粉末を使用するように変更した以外は、実施例1と同様にして、粉体を得た。得られた粉体について、実施例1と同様にして、炭素量、酸素量、及び平均粒径の測定を行った。また得られた粉末について、実施例1と同様にしてラマン分光法による分析を行い、A/Bの値を決定した。結果を表1に示す。
Example 5
A powder was obtained in the same manner as in Example 1, except that the boron carbide pulverization method was intensified to 150 minutes and boron carbide powder classified into fine powder with an opening size of 32 μm or less was used. The carbon content, oxygen content, and average particle size of the obtained powder were measured in the same manner as in Example 1. The obtained powder was also analyzed by Raman spectroscopy in the same manner as in Example 1, and the A/B value was determined. The results are shown in Table 1.

(実施例6)
炭化ホウ素の粉砕後の調整方法を目開き45μm以上212μm以下篩にて分級した炭化ホウ素粉末を使用するように変更したこと以外は、実施例1と同様にして、粉体を得た。得られた粉体について、実施例1と同様にして、炭素量、酸素量、及び平均粒径の測定を行った。また得られた粉末について、実施例1と同様にしてラマン分光法による分析を行い、A/Bの値を決定した。結果を表1に示す。
Example 6
A powder was obtained in the same manner as in Example 1, except that the method of preparing the boron carbide after pulverization was changed to use boron carbide powder classified using a sieve with a mesh size of 45 μm or more and 212 μm or less. The carbon content, oxygen content, and average particle size of the obtained powder were measured in the same manner as in Example 1. The obtained powder was also analyzed by Raman spectroscopy in the same manner as in Example 1, and the A/B value was determined. The results are shown in Table 1.

(比較例1)
実施例1で得られた粉末状の焼成物(酸化工程前のもの)を比較例1の粉体とした。得られた粉体について、実施例1と同様にして、炭素量、酸素量、及び平均粒径の測定を行った。また得られた粉末について、実施例1と同様にしてラマン分光法による分析を行い、A/Bの値を決定した。結果を表1に示す。
(Comparative Example 1)
The powdered fired product obtained in Example 1 (before the oxidation step) was used as the powder of Comparative Example 1. The carbon content, oxygen content, and average particle size of the obtained powder were measured in the same manner as in Example 1. The obtained powder was also analyzed by Raman spectroscopy in the same manner as in Example 1 to determine the A/B value. The results are shown in Table 1.

<粉体の原料としての性能評価>
実施例1~6及び比較例1で得られた粉体を原料として、六方晶窒化ホウ素粉末の製造を行い生産性の評価を行った。
<Performance evaluation as a powder raw material>
Using the powders obtained in Examples 1 to 6 and Comparative Example 1 as raw materials, hexagonal boron nitride powder was produced and the productivity was evaluated.

上記粉末に対して、ホウ酸を配合し、ヘンシェルミキサーを用いて混合した後、これを窒化ホウ素製のるつぼに2kg充填し、抵抗加熱炉によって、大気圧の圧力条件で、窒素ガス雰囲気下、室温から2000℃まで昇温し2000℃にて、十分に結晶化を進行させ、六方晶窒化ホウ素粉末を調製した。ここで、ホウ酸の配合量は、2000℃の焼成によって得られる六方晶窒化ホウ素粉末の黒鉛化指数が2以下となるような最少量の配合量とした。また、2000℃の温度に保持する時間(焼成時間)、及び、昇温開始から室温に戻るまでのトータルの時間(加熱時間)は、2000℃にて十分に結晶化させるために必要な時間とした。実施例1~6及び比較例1のそれぞれに関して、ホウ酸の配合量、焼成時間及び加熱時間を、表1に示す。 Boric acid was added to the powder and mixed using a Henschel mixer. 2 kg of the mixture was then loaded into a boron nitride crucible and heated from room temperature to 2000°C in a nitrogen gas atmosphere under atmospheric pressure in a resistance heating furnace. At 2000°C, sufficient crystallization was achieved to produce hexagonal boron nitride powder. The amount of boric acid added was the minimum amount necessary to achieve a graphitization index of 2 or less for the hexagonal boron nitride powder obtained by firing at 2000°C. The time required to maintain the temperature at 2000°C (firing time) and the total time required from the start of heating until the temperature returned to room temperature (heating time) were the times required for sufficient crystallization at 2000°C. The amount of boric acid added, firing time, and heating time for Examples 1 to 6 and Comparative Example 1 are shown in Table 1.

上述のようにして六方晶窒化ホウ素粉末を調製した際の、原料となる粉末を基準とした六方晶窒化ホウ素粉末の収率、並びに、製造に要する時間(加熱時間)を考慮した生産効率を評価した。結果を表1に示す。なお、上記生産効率とは、収率を加熱時間で除した値を意味し、表1中では、比較例1を基準とする相対値で記載した。 When hexagonal boron nitride powder was prepared as described above, the yield of the hexagonal boron nitride powder was evaluated based on the raw material powder, as well as the production efficiency, taking into account the time required for production (heating time). The results are shown in Table 1. Note that the production efficiency refers to the value obtained by dividing the yield by the heating time, and is shown in Table 1 as a relative value based on Comparative Example 1.

[六方晶窒化ホウ素粉末の黒鉛化指数]
上述のホウ酸配合量の決定のために用いる六方晶窒化ホウ素粉末の黒鉛化指数は、粉末X線回折法による測定結果から算出した。得られたX線回折スペクトルにおいて、六方晶窒化ホウ素の一次粒子の(100)面、(101)面及び(102)面に対応する各回折ピークの積分強度(すなわち、各回折ピーク)とそのベースラインとで囲まれる面積値(単位は任意)を算出し、それぞれS100、S101、及びS102とした。こうして算出された面積値を用いて、以下の式(1)に基づき、黒鉛化指数を決定した。
GI=(S100+S101)/S102 … 式(1)
[Graphitization index of hexagonal boron nitride powder]
The graphitization index of the hexagonal boron nitride powder used to determine the boric acid content was calculated from the results of measurement by powder X-ray diffraction. In the obtained X-ray diffraction spectrum, the integrated intensities of each diffraction peak corresponding to the (100), (101), and (102) planes of the primary particles of hexagonal boron nitride (i.e., each diffraction peak) and its baseline were calculated (arbitrary units), and these were designated S100, S101, and S102, respectively. Using these calculated areas, the graphitization index was determined based on the following formula (1):
GI=(S100+S101)/S102... Formula (1)

本開示によれば、六方晶窒化ホウ素の生産性を向上させ得る、炭素、窒素及びホウ素を主元素として構成され、乱層構造窒化ホウ素と同一の結晶構造を有する粒子を含む粉末、及びその製造方法を提供できる。 This disclosure provides a powder containing particles composed primarily of carbon, nitrogen, and boron and having the same crystal structure as turbostratic boron nitride, which can improve the productivity of hexagonal boron nitride, as well as a method for producing the powder.

Claims (5)

炭素、窒素、ホウ素、及び酸素を構成元素として含み、乱層構造窒化ホウ素と同一の結晶構造を有する粒子を含む粉末であって、
ラマン分光スペクトルにおいて、波数1480cm-1以上1900cm-1以下の範囲におけるピークの最大値をAとし、波数1000cm-1以上1480cm-1未満の範囲におけるピークの最大値をBとしたときに、A/Bの値が1.4以下である、粉末。
A powder containing particles having the same crystal structure as turbostratic boron nitride, the particles containing carbon, nitrogen, boron, and oxygen as constituent elements,
A powder in which, in a Raman spectroscopy spectrum, the maximum value of a peak in the wavenumber range of 1480 cm −1 or more and 1900 cm −1 or less is defined as A, and the maximum value of a peak in the wavenumber range of 1000 cm −1 or more and less than 1480 cm −1 is defined as B, and the value of A/B is 1.4 or less.
炭素の含有量が4.0質量%以下であり、且つ酸素の含有量が5.0質量%以下である、請求項1に記載の粉末。 The powder described in claim 1, having a carbon content of 4.0% by mass or less and an oxygen content of 5.0% by mass or less. 平均粒径が10~100μmである、請求項1又は2に記載の粉末。 The powder according to claim 1 or 2, having an average particle size of 10 to 100 μm. 炭素、窒素、ホウ素、及び酸素を構成元素として含み、乱層構造窒化ホウ素と同一の結晶構造を有する粒子を含む粉末の製造方法であって、
炭化ホウ素粉末を、窒素加圧雰囲気下で1900~2200℃の温度で焼成して焼成物を得る加圧窒化工程と、
前記焼成物を、酸素分圧が20%以上である雰囲気下において700~1050℃の温度で加熱処理して加熱処理物を得る酸化工程と、を有し、
前記酸化工程は、前記焼成物及び前記加熱処理物を含む混合物を撹拌することを含む、製造方法。
A method for producing a powder containing particles having the same crystal structure as turbostratic boron nitride, the particles containing carbon, nitrogen, boron, and oxygen as constituent elements, comprising:
a pressure nitriding step of sintering the boron carbide powder at a temperature of 1900 to 2200°C in a pressurized nitrogen atmosphere to obtain a sintered product;
an oxidation step of heat-treating the fired product at a temperature of 700 to 1050°C in an atmosphere having an oxygen partial pressure of 20% or more to obtain a heat-treated product;
The oxidation step comprises stirring a mixture containing the fired product and the heat-treated product.
前記混合物の撹拌は、ロータリーキルンによって行われる、請求項4に記載の製造方法。
The method according to claim 4 , wherein the mixture is stirred by a rotary kiln.
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