Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JPS5921174B2 - How to manufacture carrier tape - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JPS5921174B2 - How to manufacture carrier tape - Google Patents

How to manufacture carrier tape

Info

Publication number
JPS5921174B2
JPS5921174B2 JP11364776A JP11364776A JPS5921174B2 JP S5921174 B2 JPS5921174 B2 JP S5921174B2 JP 11364776 A JP11364776 A JP 11364776A JP 11364776 A JP11364776 A JP 11364776A JP S5921174 B2 JPS5921174 B2 JP S5921174B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tape
carrier
carrier tape
opening
bonding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP11364776A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS5339865A (en
Inventor
生夫 富田
栄一 伊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP11364776A priority Critical patent/JPS5921174B2/en
Publication of JPS5339865A publication Critical patent/JPS5339865A/en
Publication of JPS5921174B2 publication Critical patent/JPS5921174B2/en
Expired legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Wire Bonding (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はキャリヤテープの製造方法の改良に関するもの
である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to an improvement in a method for manufacturing a carrier tape.

従来、半導体素子の電極パターンに対応するリードフィ
ンガを連続形成したキャリヤテープを用いて半導体素子
をアルミナセラミック等の基板上に実装する方式が屡々
用いられており、ワイヤボンディング方式に比べてボン
デイングエ数を低減することが可能で多量生産に適して
いる。
Conventionally, a method is often used in which a semiconductor device is mounted on a substrate such as alumina ceramic using a carrier tape on which lead fingers corresponding to the electrode pattern of the semiconductor device are continuously formed. This makes it suitable for mass production.

ところが、この場合、キャリヤテープの製造には大がか
りな装置を必要とするため少量生産にはコスト高になる
という欠点があり、かつリードフィンガにボンディング
用突起がついたキャリヤテープの製造には装置、歩留り
の点で問題があつた。
However, in this case, manufacturing the carrier tape requires large-scale equipment, which increases the cost for small-scale production.In addition, manufacturing the carrier tape with bonding protrusions on the lead fingers requires equipment, There was a problem with yield.

本発明は上述の問題を解決するためのもので、低コスト
で少量生産を行うことができ、しかもリードフインガヘ
の突起形成を容易に行うことのできるキャリヤテープの
製造方法を提供することを目的としている。次に図面に
関連して本発明の実施例を説明する。
The present invention is intended to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a carrier tape that can be produced in small quantities at low cost and that can easily form protrusions on lead fingers. It is said that Embodiments of the invention will now be described with reference to the drawings.

第1図において、1はマトリックスシートで、該マトリ
ックスシート1には多数のキヤリヤユニ゛ント2がマト
リックス状に形成されている。キャリヤユニット2は第
2図に詳細を示すように、ポリイミド膜絶縁体皮膜3上
に設けられた銅等の良導電性金属箔の枠体4内に半導体
素子の電極パターンに対応するリードフィンガ5を片持
状に一体に突設して形成されている。リードフィンガ5
は枠体4と同材料よりなる。枠体4には第1の位置合せ
穴6がポリイミド膜3を貫通して設けられており、また
リードフィンガ5の先端部はポリイミド膜3の開口部T
内に突出している。このように、キャリヤユニット2は
高密度に形成されるが、第3図に示すように各キャリヤ
ユニット列間の枠体4’を共通化すれば更に高密度化を
はかることができる。
In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a matrix sheet, on which a large number of carrier units 2 are formed in a matrix shape. As shown in detail in FIG. 2, the carrier unit 2 has lead fingers 5 corresponding to the electrode pattern of the semiconductor element in a frame 4 made of a highly conductive metal foil such as copper provided on a polyimide film insulating film 3. It is formed by integrally protruding in a cantilevered manner. lead finger 5
is made of the same material as the frame 4. A first alignment hole 6 is provided in the frame 4 to pass through the polyimide film 3, and the tip of the lead finger 5 fits into the opening T of the polyimide film 3.
protrudes inward. In this way, the carrier units 2 are formed at a high density, but the density can be further increased by making the frame 4' common between each carrier unit row, as shown in FIG.

上述のような構成のマトリックスシートはシート状のた
め取扱いが容易で、従来の薄膜製造装置を用いて容易に
製造することができる。
The matrix sheet having the above-mentioned structure is easy to handle because it is in sheet form, and can be easily manufactured using a conventional thin film manufacturing apparatus.

このマトリックスシート上に形成されたキャリヤユニッ
トを塔載してキャリヤテープを形成するためのボンディ
ング用テープ8を第4図に示す。
FIG. 4 shows a bonding tape 8 for forming a carrier tape by mounting a carrier unit formed on this matrix sheet.

図中、9はテープ送り用スプロケツトと係合する穴、1
0はマトリツクスシートの位置合せ穴6に対応する第2
の位置合せ穴、11はポリイミド膜3の開口部7に対応
するボンデイング用の開口部である。キヤリヤテープ形
成は次のようにして行われる。
In the figure, 9 is a hole that engages with the tape feeding sprocket, 1
0 is the second hole corresponding to the alignment hole 6 of the matrix sheet.
The alignment hole 11 is a bonding opening corresponding to the opening 7 of the polyimide film 3. Carrier tape formation is performed as follows.

すなわち、まずマトリツクスシート1を例えば第1図ま
たは第3図に鎖線で示す位置でプレス等により切断して
4個連続したキヤリヤユニツト2を取出し、このキヤリ
ヤユニツト2を第5図及び第6図に示すようにテープ8
の裏面に両面テープ等により取外し可能(テープの再使
用を可能にするため)に接着してキヤリヤテープ12を
形成するが、この場合位置合せ穴6,10を合せて位置
決めすることによつてスプロケツト用の穴9に対するキ
ヤリヤユニツト2の位置精度を容易に出すことができる
。このとき、開口部7,11は一致する。このようにし
て形成されたキヤリヤテープ12に従来のテープ用ボン
デイング装置を用いて半導体素子を実装することができ
る。
That is, first, the matrix sheet 1 is cut using a press or the like at the position shown by the chain line in FIG. 1 or FIG. 3, and four consecutive carrier units 2 are taken out. Like tape 8
A carrier tape 12 is formed by adhering it removably (to enable reuse of the tape) with double-sided tape or the like to the back side of the sprocket. The positional accuracy of the carrier unit 2 relative to the hole 9 can be easily achieved. At this time, the openings 7 and 11 coincide. A semiconductor element can be mounted on the carrier tape 12 thus formed using a conventional tape bonding apparatus.

ボンデイングは開口部11を利用して行う。この場合の
半導体素子のボンデイングは、図示を省略するが、テー
プ8の穴9と係合するトラクタによりキヤリヤテープ1
2を移動させて連続的に行うことができる。なお、上述
の説明ではボンデイング用突起付の半導体素子用のキヤ
リヤユニツトの例について述べたが、本発明は突起なし
の半導体素子にも適用できる。その場合は、リードフイ
ンガに半導体素子ボンデイング用の突起をメツキ等によ
り形成しておく。以上述べたように、本発明によれば、
取扱いの容易なシート状をなし従来の薄膜製造等により
容易にリードフインガを形成できるマトリツクスシート
よりキヤリヤユニツトを必要数だけ切出し、該キヤリヤ
ユニツトを第1,第2の位置合せ穴を利用してボンデイ
ング用テープに正確に位置決めして接着してキヤリヤテ
ープを構成するようになつているため、低コストで多種
少量生産を行うことができ、しかもリードフインガにボ
ンデイング用突起を形成することも容易である。
Bonding is performed using the opening 11. Although not shown in the drawings, bonding of the semiconductor element in this case is carried out by using a tractor that engages with a hole 9 of the tape 8 on the carrier tape 1.
2 can be moved continuously. In the above description, an example of a carrier unit for a semiconductor element with a bonding protrusion has been described, but the present invention can also be applied to a semiconductor element without a protrusion. In that case, a protrusion for semiconductor element bonding is formed on the lead finger by plating or the like. As described above, according to the present invention,
The required number of carrier units are cut out from a matrix sheet that is in the form of an easy-to-handle sheet and from which lead fingers can be easily formed by conventional thin film manufacturing, etc., and the carrier units are used for bonding using the first and second alignment holes. Since the carrier tape is constructed by accurately positioning and adhering to the tape, it is possible to produce a wide variety of products in small quantities at low cost, and it is also easy to form bonding protrusions on the lead fingers.

また、テープとキヤリヤユニツトの接着を取外し可能な
方法で行うようにすればテープの再使用が可能である。
Further, if the tape and the carrier unit are bonded by a removable method, the tape can be reused.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

図面は本発明に係るテープキヤリヤの製造方法の実施例
を示すもので、第1図はマトリツクスシートの平面概要
図、第2図はキヤリヤユニツトの平面図、第3図はキヤ
リヤユニツトの他の形成例を示す平面図、第4図はテー
プの平面図、第5図はキヤリヤテープの平面図、第6図
は同側面図である。 図中、1はマトリツクスシート、2はキヤリヤユニツト
、3はポリイミド膜(絶縁体皮膜)、5はリードフイン
ガ、6,10は第1,第2の位置合せ穴、7,11は開
口部、8はテープ、9は穴、12はキヤリヤテープであ
る。
The drawings show an embodiment of the method for manufacturing a tape carrier according to the present invention, in which Fig. 1 is a schematic plan view of a matrix sheet, Fig. 2 is a plan view of a carrier unit, and Fig. 3 shows another example of forming a carrier unit. 4 is a plan view of the tape, FIG. 5 is a plan view of the carrier tape, and FIG. 6 is a side view of the same. In the figure, 1 is a matrix sheet, 2 is a carrier unit, 3 is a polyimide film (insulator film), 5 is a lead finger, 6 and 10 are first and second alignment holes, 7 and 11 are openings, and 8 is a tape, 9 is a hole, and 12 is a carrier tape.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 半導体素子の電極パターンに対応するリードフィン
ガを該リードフィンガの先端部を突出させる開口部7を
有する絶縁体皮膜3上に設けてなり該開口部7の周辺部
に第1の位置合せ穴6を有する多数のキャリヤユニット
をマトリックス状に連続させて形成されるマトリックス
シートより所定数のキャリヤユニットを切出し、該キャ
リヤユニットを前記第1の位置合せ穴6に対応する第2
の位置合せ穴10と前記開口部7に対応する開口部11
とを有するテープボンディング用のテープに第1、第2
の位置合せ穴6、10を合せることによつて位置決めし
て接着することを特徴とするキャリヤテープの製造方法
1 A lead finger corresponding to the electrode pattern of a semiconductor element is provided on an insulating film 3 having an opening 7 through which the tip of the lead finger protrudes, and a first alignment hole 6 is provided around the opening 7. A predetermined number of carrier units are cut out from a matrix sheet formed by consecutively forming a matrix of a large number of carrier units having
alignment hole 10 and an opening 11 corresponding to the opening 7
and a first and a second tape for tape bonding.
A method for producing a carrier tape, which comprises positioning and bonding by aligning positioning holes 6 and 10 of the carrier tape.
JP11364776A 1976-09-24 1976-09-24 How to manufacture carrier tape Expired JPS5921174B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11364776A JPS5921174B2 (en) 1976-09-24 1976-09-24 How to manufacture carrier tape

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11364776A JPS5921174B2 (en) 1976-09-24 1976-09-24 How to manufacture carrier tape

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5339865A JPS5339865A (en) 1978-04-12
JPS5921174B2 true JPS5921174B2 (en) 1984-05-18

Family

ID=14617544

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11364776A Expired JPS5921174B2 (en) 1976-09-24 1976-09-24 How to manufacture carrier tape

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5921174B2 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5633498A (en) * 1979-08-25 1981-04-03 Toyo Sash Kk Coloring method for anodic oxidation coating of aluminum or aluminum alloy
US4980219A (en) * 1988-04-06 1990-12-25 Casio Computer Co., Ltd. Carrier tape for bonding IC devices and method of using the same

Also Published As

Publication number Publication date
JPS5339865A (en) 1978-04-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3968563A (en) Precision registration system for leads
JPS5826828B2 (en) Manufacturing method of tape carrier
US5281556A (en) Process for manufacturing a multi-layer lead frame having a ground plane and a power supply plane
US5032542A (en) Method of mass-producing integrated circuit devices using strip lead frame
JPS5921174B2 (en) How to manufacture carrier tape
JP2585643B2 (en) Mass production method of metal base circuit board
JPH03120747A (en) Film material for manufacturing film carrier and manufacture of the carrier
JPS5988859A (en) Manufacture of carrier tape
JP3528506B2 (en) Manufacturing method of electronic components
JPH0564859B2 (en)
JPH0332268B2 (en)
JP2505827B2 (en) Film carrier manufacturing method
JPS6329414B2 (en)
JPH0529395A (en) TAB tape manufacturing method
JPS5868959A (en) Film carrier
JPS61265852A (en) Carrier tape
JPS6152977B2 (en)
JPS62188345A (en) Manufacture of hybrid integrated circuit
JPH03132061A (en) Mass production of integrated circuits
JPH03131047A (en) Tab tape
JP2004011000A (en) Plating structure and manufacturing method thereof
JPS6220694B2 (en)
JPH0564853B2 (en)
JPS62156894A (en) Manufacture of network electronic parts
JP3198822B2 (en) External electrode forming method for surface mount electronic components