JPS6028632B2 - 研磨治具 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、物性研究用としての透視検鏡試料や反射検鏡
試料の研磨および半導体の合せ面研磨などに使用される
研磨治具に関するものである。

一般に、半導体の合せ面研磨加工や物性研究用試料の研
磨加工には、研磨面が平滑で肩ダしがなく平行度が良い
こと、研磨中に無理な外力および熱が発生しないこと、
特に透視検鏡試料の作成は５０山以下に研磨できる等が
必須条件とされているが、斯る従来の研磨加工にあって
は、研磨盤上に研磨試料を何んら拾具等を用いることな
く手作業で圧持して所望厚さに研磨していたため、研磨
面が平滑で肩ダレがなく平行度の良いものを得ることが
困難であるうえ、作業者の精神的肉体的な疲労度が大き
く、しかも、微細な研磨肩が目や鼻孔等に飛散して不慮
の事故が誘発されている許りでなく、殊に５０ム以下の
研磨薄片の作成には高度の研磨技術が必要であり、作業
者の間では、研磨作業の安全性を維持しながら前記の必
須条件を満足できる研磨治臭の実現が夙に望まれていた
。本発明は上記のような実情に鑑み、全く新しい着想に
基づいて創案されたものであって、下端面を水平状に形
成した研磨治具基体の鞠芯部に、研磨試料に一定の加工
圧を付与させる分銅筒体を上下方向摺動かつ回転自在に
貫装すると共に、該分銅筒体の下部に上記研磨拾具基体
の下端面と平行状に形成して環状のダムを突成してなる
研磨試料貼着面に研磨試料を貼着し、これを水平状に回
転または高速微振動する研磨盤に載置させて研磨するよ
うにした研磨治具において、前記分銅筒体の上面軸芯部
に補助分銅筒体を着脱自在に支持する支持村を立設し、
該補助分銅筒体の着脱により研磨試料の物性に対応して
常に最適の加工圧と研磨平行度を保持して研磨すべく構
成したことにより、研磨試料の硬度如何にかかわりなく
、しかも熟練した高度の研磨技術を全く必要とすること
なく、研磨作業の安全性を維持しながら、研磨面の平滑
性と肩ダレのない平行度を呈すると共に、その組成に悪
影響を及ぼすことのない研磨加工を簡単かつ容易的確に
行うことができる研磨治具を提供しようとするものであ
る。本発明の構成を図面に示された一実施例について説
明すれば「 １１ま研磨治具基体であって、該研磨治具
基体１の下端面ｌａは水平状に形成されくかつ該研磨治
具基体１の軸芯部には研磨試料ａに一定の加工圧を付与
させる分銅筒体２が貫入孔ｌｂを介して上下方向摺動か
つ回転自在に賢装され、該分銅筒体２の下端面には下面
周縁に環状のダム３を突成してなる研磨試料貼着面４を
有する研磨試料貼着盤５が一体的に形成され、かつ上記
研磨試料貼着面４と研磨沿具基体１の下端面ｌａとが平
行状に形成されていると共に「前記研磨治具基体１の下
端面ｌａには研磨説料貼着面４に蓮適する研磨材と冷却
用水の流入通路ｌｃ，ｌｃ…・・……・・・・が放射状
に刻設され、さらに前記分銅筒体２の上面軸芯部には通
数個の基準重量に構成されている補助分銅筒体６，６・
・……・・…・・を研磨試料ｌａの硬度に従って任意教
層する支持粁７が立設されている。

また、前記実施例における研磨試料ａの研磨試料貼着面
４への貼着は、研磨試料鮎着面４を鏡面‐状態となし〜
その表面張力によって研磨試料を、何んら接着剤等を使
用せずに貼着させてもよく、環状のダム３の成形は切削
や腐食加工等による研磨試料貼着面４領域の切除による
か「 また、鍍金加工等による研磨試料貼着面４領域に
対する肉盛のいずれでもよいが、鍍金加工等の肉盛の方
が再成形が容易であって、しかもダム３の調製を簡単か
つ容易的確にできることは明らかであろう。

次に叙上のように構成した本発明の作用について説明す
る。予じめ切断機で薄片に切断された研磨試料ａを研磨
試料鮎着面４に貼着した後、分銅筒体２を研磨俗臭基体
１の鯛芯部に貫通孔ｌｂを介して上下方向摺動かつ回転
自在に貴装し「該分銅筒体２を貴装した研磨拾具基体１
を微粉末状の研磨材を水に鷹梓混和した研磨溶液を薄膜
状に散布させて水平状に回転または高速微振動する研磨
盤ｂに載遣させれば、上記研磨試料鮎着面４に貼着され
た研磨試料ａは、研磨拾臭基体１の軸芯部に上下振動か
つ回転自在に貴装された、分銅筒体２から一定の加工圧
を被研磨面全面に均一に受けると同時に、研磨試料貼着
面４と研磨盤ｂ面間に研磨平行度が確実に保持されるう
え、さらに研磨試料貼着面４の周囲に突成された環状の
ダム３で離脱防止作用を受けると共に、研磨治具基体１
の下端面ｌａに放射状に刻設された研磨試料貼着面４に
蓮適する流入通路ｌｃ，ｌｃ・・・・・・・・…・・・
・から絶えず研磨溶液が補給されて研磨中不必要な発熱
が抑止されながら研磨され、しかもその研磨作業時には
、環状のダム３によって研磨試料ａの加工厚さが確実に
規定されると共に、研磨治臭基体１によって研磨肩の飛
散が確実に阻止されるので、常に熟練した高度の研磨技
術を全く必要とすることなく、研磨作業の安全性を維持
しながら、研磨試料ａに一定の加工圧と正確な研磨平行
度による研磨面の平滑性と肩ダレのない平行度を有し、
かつその組成に悪影響を及ぼすことのない研磨加工を行
うことができる。ところで、上記のような研磨加工にお
いて「研磨試料ａの硬度に比して分銅筒体の重量が軽量
であるときには、分銅筒体２の上面に支持杵７を介して
補助分銅筒体６，６・・・・・・・…・・・・・を複数
個教層することにより、常に研磨試料ａの硬度に対応し
た最適の加工圧で研磨作業をより迅速ならしめることが
で−きる。これを要するに、本発明は、下端面を水平状
に形成した研磨拾具基体の軸芯部に、研磨試料に一定の
加工圧を付与させる分銅筒体を上下方向楢動かっ回転自
在に貴装し、該分銅筒体の下端面には下面に環状のダム
を突成してなる研磨試料貼着面を有する研磨試料貼着盤
を一体的に形成し、かつ上記研磨試料貼着面と研磨治臭
基体の下端面とを平行状に形成すると共に、前記研磨治
具基体の下端面には研磨試料貼着面に運通する研磨材と
冷却用水の流入通路を放射状に刻設せしめてなる研磨俗
臭において、前記分銅筒体の上面軸芯部に補助分銅筒体
を着脱自在に支持する支持村を立設し「該補助分銅筒体
の着脱により研磨試料の物性に対応して常に最適の加工
圧と正確な研磨平行度を保持して研磨すべく構成したか
ら、研磨試料の硬度如何にかかわりなく、しかも熟練し
た高度の研磨技術を全く必要とすることなく、研磨試料
の物性に適応した加工圧と正確な平行度による研磨面の
平滑性と肩ダレのない平行度を呈し、かつその組成に悪
影響を及ぼすことのない研磨加工を行うことができ、特
に、５０山以下の透視検鏡試料を簡単かつ容易的確に製
作することができる等極めて有用な新規的効果を奏する
ものである。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明に係る研磨袷具の一実施例を示すものであ
って、第１図は全体縦断面、第２図は同上底面図である
。 図中、１は研磨治具基体、ｌａはその下端面、ｌｃはそ
の流入通路、２は分銅筒体、３は環状のダム、４は研磨
試料貼着面、５は研磨試料貼着盤、７は支持杵、ａは研
磨試料、ｂは研磨盤である。 第１図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 下端面を水平状に形成した研磨治具基体の軸芯部に
   、研磨試料に一定の加工圧を付与させる分銅筒体を上下
   方向摺動かつ回転自在に貫装し、該分銅筒体の下端面に
   は下面に環状のダムを突成してなる研磨試料貼着面を有
   する研磨試料貼着盤を一体的に形成し、かつ上記研磨試
   料貼着面と研磨治具基体の下端面とを平行状に形成する
   と共に、前記研磨治具基体の下端面には研磨試料貼着面
   に連通する研磨材と冷却用水の流入通路を放射状に刻設
   せしめてなる研磨治具において、前記分銅筒体の上面軸
   芯部に補助分銅筒体を着脱自在に支持する支持杆を立設
   し、該補助分銅筒体の着脱により研磨試料の物性に対応
   して常に最適の加工圧と正確な研磨平行度を保持して研
   磨すべく構成したことを特徴とする研磨治具。