JPS6028633B2 - 研磨治具 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は物性研究用としての透視検鏡試料や反射検鏡試
料の研磨および半導体の合せ面研磨などに使用される研
磨給具に関するものであって、特に、補助ウェイトの重
量を適切に選択して加工圧を微細に調整する必要のある
脆い研磨試料を確実に研磨するためのものである。

一般に、半導体の合せ面研磨加工や物性研究用試料の研
磨加工には、研磨面が平滑で肩ダレがなく平行度が良い
こと、研磨中に無理な外力および熱が発生しないこと、
特に透視検鏡試料の作成は５０Ａ以下に研磨できる等が
必須条件とされているが、斯る従来の研磨加工にあって
は、研磨盤上に研磨試料を何んら治具等を用いることな
く手作業で圧持して所望厚さに研磨していたために、非
常に脆い研磨試料では研磨中過度の加工圧で破損され、
研磨面の平滑性と肩ダレのない平行度の良いものを得る
ことが困難であるうえ、作業者の精神的肉体的な疲労度
が大きく、しかも微細な研磨肩が目や鼻孔等に飛散して
不慮の事故が誘発されている許りでなく、特に５０一以
下の研磨薄片の作成には高度の研磨技術が必要であり、
このため、作業者は補助ウェイトを適切に選択して加工
圧を微細に調整しながら研磨作業を行っているが、従釆
、研磨拾具と補助ウェイトとはそれぞれ別々に保管され
ていたので、脆い研磨材料を研磨する際、それに必要な
補助ウェイトを見失う場合がしばいまあり、研磨作業に
支障を来たしていた。

本発明は、上記の実情に鑑み、全く新しい着想に基づい
て創案されたものであって、下端面を水平状に形成した
研磨治具基体の軸芯部に、研磨試料に一定の加工圧を付
与させる中空状の分銅筒体を上下方向摺動かつ回転自在
に貴装し、該分銅筒体の下部に上記研磨拾具基体の下端
面と平行状に形成して環状のダムを突成してなる研磨試
料貼着面を有する研磨試料貼着盤を着脱自在に装着し、
上記分銅筒体の中空部を補助ウェイトの格納部としたこ
とにより、研磨作業を行う際には補助ウェイトを適切に
選択して研磨材料の脆弱度合に最も適応した加工圧を付
与し、研磨面の平滑性と肩ダレのない平行度を呈する研
磨加工を簡単かつ容易的確に行うことができるものであ
りながら、研磨作業の終了後は、補助ウェイトを分銅筒
体の中空部に格納して両者を一体的に保管できるように
し、もって次回の研磨作業を支障なく効率的に行うこと
ができる研磨治具を提供しようとするものである。本発
明の構成を図面に示された一実施例について説明すれば
、１は研磨治具基体であって、該研磨治具基体の下端面
ｌａは水平状に形成され、かつ該研磨絵具基体１の藤芯
部には研磨試料ａに−定の加工圧を付与させる中空状の
分銅筒体２が貫入孔ｌｂを介して上下方向摺動かつ回転
自在に貴装され、該分銅筒体２の下端面には下面周縁に
環状のダム３を突成してなる研磨試料貼着面４を有する
研磨試料貼着盤５が螺子部５ａを介して着脱自在に装着
され、該研磨試料貼着盤５の装着時に上記研磨試料貼着
面４が研磨治具基体１の下端面ｌａと平行状になる如く
構成されていると共に、上記分銅筒体２の中空部２ａに
は該分銅筒体２を保管する際、補助ウェイト６，６…・
・・が格納できるようになっている。

また、前記研磨拾臭基体１の下端面ｌａには、研磨試料
貼着面４に蓮適する研磨材と冷却用水の流入通路ｌｃ，
ｌｃ・・・・・・が放射状に刻設され、また前記分銅筒
体２の上面軸芯部には補助ウェイト６，６・…・・を数
層する支持杵７が立設されている。次に、叙上のように
構成した本発明の作用について説明する。

いま「脆い研磨試料ａを研磨するにあたっては、先ず、
研磨試料貼着盤５を分銅筒体２から取外して補助ウェイ
ト６，６・・・・・・を取出し、再び研磨試料貼着盤５
を分銅筒体２に装着する。次いで、予じめ切断機で薄片
に切断された研磨試料ａを研磨試料貼着面４に貼着した
後、分銅筒体２を貴菱した研磨治臭基体１を、微粉末状
の研磨材を水に櫨梓混和した研磨溶液を薄膜状に散布さ
せて水平状に回転または高速微振動する研磨盤ｂに載直
させれば、上記研磨試料貼着面４に貼着された研磨試料
ａは、研磨治臭基体１の轍芯部に上下方向摺動かつ回転
自在に貴装された分銅筒体２から一定の加工圧を被研磨
面全面に均一に受けると同時に、研磨試料貼着面４と研
磨盤ｂ面間に研磨平行度が確実に保持されるうえ、さら
に研磨試料貼着面４の周囲に突成された環状のダム３で
離脱防止作用を受けると共に、研磨治具基体１の下端面
ｌａに放射状に刻設された研磨試料貼着面４に蓮適する
流入通路ｌｃ，ｌｃ・・・・・・・・・から絶えず研磨
溶液が補給されて研磨中不必要な発熱が抑止され、しか
も環状のダム３によって研磨試料ａの加工厚さが確実に
規制されると共に、研磨治具基体１によって研磨肩の飛
散が確実に阻止されながら研磨される。この場合、分銅
筒体２の中空部２ａから取出した補助ウェイト６，６・
・・・・・を支持杵７を介して分銅筒体２の上面に敷遣
し、これを適切に選択しながら加工圧を微細に調整する
ことにより研磨試料ａの加工圧を常に、その脆弱度合に
最も適応した一定の加工圧に設定できるので、研磨作業
を的確に行うことができる。そして、研磨作業の終了後
は、補助ウェイト６，６・・・…を分銅筒体２の中空部
２ａに格納できるので、分銅筒体２の保管にあたって、
従来のように補助ウェイト６，６……を見失うような倶
れは全くなく、したがって、次回の研磨作業に支障を釆
たすことはない。これを要するに本発明は、下端面を水
平状に形成した研磨拾具基体の鞄芯部に、研磨材料に一
定の加工圧を付与させる中空状の分銅筒体を上下方向摺
動かつ回転自在に貴袋し、該分銅筒体の下端開放端には
下面に環状のダムを突成してなる研磨試料貼着面を有す
る研磨試料貼着盤を着脱自在に装着し、該研磨試料貼着
盤の装着時に研磨試料貼着面が上記研磨袷具基体の下端
面と平行状になる如く構成すると共に、上記分銅筒体の
中空部を補助ウェイトの格納部として構成したから、研
磨作業を行う際には、補助ウェイトを適切に選択して研
磨試料の脆弱度合に最も適応した加工圧を均一に付与し
、研磨面の平滑性と肩ダレのない平行度を呈する研磨加
工を簡単かつ容易的確に行うことができる許りでなく、
研磨作業の終了後は、補助ウェイトを分銅節体の中空部
に格納して両者を一体的に保管することができ、従釆の
ように保管中の補助ウェイトを見失うようなことがなく
、次回の研磨作業を支障なく効率よく行うことができる
極めて有用な新規的効果を奏するものである。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明に係る研磨治具の一実施例を示すものであ
って、第１図は全体縦断面、第２図は同上底面図である
。 図中、１は研磨治具基体、ｌａはその下端面、ｌｃはそ
の流入通路、２は分銅筒体、２ａはその中空部、３は環
状のダム、４は研磨試料貼着面、５は研磨謙科貼着盤、
６は補助ウェイト、ａは研磨試料、ｂは研磨盤である。 第１図第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 下端面を水平状に形成した研磨治具基体の軸芯部に
   、研磨材料に一定の加工圧を付与させる中空状の分銅筒
   体を上下方向摺動かつ回転自在に貴装し、該分銅筒体の
   下端開放端には下面に環状のダムを突成してなる研磨試
   料貼着面を有する研磨試料貼着盤を着脱自在に装着し、
   該研磨試料貼着盤の装着時に研磨試料貼着面が上記研磨
   治具基体の下端面と平行状になる如く構成すると共に、
   上記分銅筒体の中空部を補助ウエイトの格納部としたこ
   とを特徴とする研磨治具。