JPS6144951B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6144951B2 JPS6144951B2 JP12981579A JP12981579A JPS6144951B2 JP S6144951 B2 JPS6144951 B2 JP S6144951B2 JP 12981579 A JP12981579 A JP 12981579A JP 12981579 A JP12981579 A JP 12981579A JP S6144951 B2 JPS6144951 B2 JP S6144951B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- titanium oxide
- coating
- carbonyl group
- compound
- thin film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
- Chemically Coating (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
- Manufacturing Of Electric Cables (AREA)
Description
本発明はアルキルチタネートから酸化チタンを
形成せしめる方法に関し、更に詳しくは例えばア
ルキルチタネート溶液を基板上に塗布し、加熱処
理して溶媒除去及び架橋化反応を起こさせて酸化
チタン膜を形成せしめる方法に関する。
酸化チタン薄膜は高屈折率誘電体層として透明
導電性被膜あるいは選択光透過性被膜の重要な構
成要素である。従来これらの酸化チタン薄膜層を
形成する方法として、例えば真空蒸着法、カソー
ドスパツタリング法等が用いられて来た。
しかし、これらの方法は均一厚さの薄膜を形成
することが困難な点、更には生産性が低い点等の
欠点があつた。これらの欠点を改良すべくアルキ
ルチタネートを溶解した溶液を塗工し、加熱処理
等により酸化チタン薄膜層を得ようとする試みが
提案されているが、アルキルチタネートの水に対
する安定性が悪い為に、アルキルチタネートの塗
布工程において均一透明な塗布層を得ることが困
難であり、目的とする良好な酸化チタン薄膜を形
成することが困難であつた。
従つて、水に対する不安定性と操作性の改善の
為にアルキルチタネートを錯塩に変換して、安定
な塗布溶液を得る方法も試みられている。例えば
アルキルチタネートにアセチルアセトン或いはア
セト酢酸エチルを添加する方法等である。このよ
うにチタン化合物の錯塩を形成すると、塗布液は
安定化されて塗工自体の操作性は改善されるが、
塗工後に塗布層を加熱処理することにより形成せ
しめられた酸化チタン薄膜は完全には目的の酸化
チタン成分に変換せず、錯塩形成の為に用いた有
機化合物および原料アルキルチタネートのアルキ
ルオキシ成分が残存し、充分に満足できる酸化チ
タン薄膜層を形成せしめ得ないという欠点があ
る。
本発明はアルキルチタネートを塗布し、酸化チ
タン薄膜を形成せしめる方法において、アルキル
チタネートの塗工工程においては水分に対し安定
であり、加熱処理工程においては速やかに酸化チ
タン薄膜が形成される方法について鋭意研究し、
これらの目的に適う新規な方法を見出した。
即ち、本発明はアルキルチタネート又はその溶
液に、カルボニル基を有する有機化合物を添加
し、これを加熱して溶媒の除去及び/又は架橋化
反応を起させて透明酸化チタン膜を形成せしめる
ことを特徴とする透明酸化チタン膜の製造方法で
ある。
本発明の方法により調製した塗布液は水分に対
し安定であり、ガラス板,フイルム,金属板等の
表面に、空気中,室温において容易に均一層に塗
布することが可能である。更に、塗布された基板
を、例えば熱風乾燥器中で加熱処理することによ
り速やかに目的の酸化チタン薄膜を形成せしめう
るという特徴を持つものである。更に、調製する
塗布液の濃度および塗布液量を調節することによ
り、生成する酸化チタン薄膜の厚さを容易に制御
できる特徴を持つものである。
本発明において使用されるアルキルチタネート
は、一般式TilOnRo(但し、Rはアルキル基,
l,m,nは正の整数)で表わされる。
上記の一般式で表わされるアルキルチタネート
のうちm=3l+1,n=2l+2,l=1〜40のも
のが塗工の容易さから好ましく用いられる。
lの値は、単一でなく分布を持つていても差支
えないが、特にlの値の分布が25以下に最大値を
有するアルキルチタネートは塗工操作において好
ましい。
上記の一般式において、Rは炭素原子数1〜20
のものが好ましい。特に炭素原子数が2〜15のア
ルキル基を有するものが被膜形成操作の点から望
ましい。
該アルキルチタネートは、カルボニル基を有す
る有機化合物と反応してチタン原子の一部が錯体
のチタンとなり、溶液として成型物の表面に塗布
されると、分解反応とそれに続く縮合反応により
大部分が網目構造を有する酸化チタンになると考
えられる。
本発明に用いられるアルキルチタネートとして
は、例えば、テトラブチルチタネート,テトラエ
チルチタネート,テトラプロピルチタネート,テ
トラステアリルチタネート及びこれらの縮合物等
が挙げられる。
本発明方法の如く、カルボニル基を有する有機
化合物により変性されたアルキルチタネート溶液
を使用することにより塗布工程における塗布液を
安定させ、均一透明な塗膜を形成させることがで
きるようになる。また、上記の成形物表面に塗布
した後に熱処理して、酸化チタン薄膜を形成させ
るが、本発明によるカルボニル基を有する有機化
合物の処理によるアルキルチタネートからの酸化
チタン薄膜は充分な網状の酸化チタンを形成す
る。この結果、原料アルキルチタネートおよび使
用するカルボニル基を有する有機化合物成分から
起因する有機物が非常に少い特徴がある。
本発明において使用されるカルボニル基を有す
る有機化合物としては、アルデヒド,ケトン及び
エステルが挙げられる。これらの化合物は分子内
にカルボニル基を1個だけ有するもの及び複数
個、好ましくは2個有するものいずれでもよい。
しかしながらカルボニル基を複数個有する場合、
各々のカルボニル炭素が1.3の位置にあり、それ
らのカルボニル炭素が活性水素を有する炭素原子
で結合されている場合には、アルキルチタネート
と非常に安定な錯体を形成し、塗工液自体として
は安定であつても、透明酸化チタン膜化する際に
困難を生じ、結局得られた膜中に多大の有機物が
残存するようになる。
したがつて、本発明の如く適度な安定度の錯体
を形成せしめるカルボニル含有化合物(即ちカル
ボニル基を1個有する化合物であるか、或いは2
ケのカルボニル基を結ぶ結合手が、直接結合であ
るか、活性水素を有さない炭素原子であるもの)
が、すべての点において良好となる。
本発明においてカルボニル基とは、水酸基(―
OH)に直結したカルボニル基即ちカルボン酸基
(―COOH)は含まないものであり、上記の如く
アルデヒド,ケトン及びエステルが挙げられる。
これらの化合物は塗工操作においては容易に蒸
発せず、塗工後の加熱処理による酸化チタン薄膜
形成においては容易に蒸発除去される化合物が望
ましい。特に、これらの化合物の沸点は50℃乃至
200℃のが望ましい。200℃以上になると、形成さ
れた酸化チタン薄膜中の有機物含量が多くの場合
高くなる。
例えば、好ましいアルデヒド化合物としてアセ
トアルデヒド,プロピルアルデヒド,ブチルアル
デヒド等が挙げられる。また、ケトン化合物とし
ては、アセトン,メチルエチルケトン,ジエチル
ケトン,メチルプロピルケトン,エチルプロピル
ケトン,メチルブチルケトン,シクロペンタノ
ン,シクロヘキサノン等が挙げられる。
エステル化合物としては、蟻酸メチル,蟻酸エ
チル,蟻酸プロピル,酢酸メチル,酢酸エチル,
酢酸プロピル,酢酸ブチル,プロピオン酸メチ
ル,プロピオン酸エチル,酪酸メチル,酪酸エチ
ル,蓚酸ジエチル,コハク酸ジメチル等が挙げら
れる。
本発明におけるこれらのカルボニル含有化合物
の使用量は、アルキルチタネートのチタン原子に
対しカルボニル基当量が0.05〜3.0の範囲が好ま
しく、特に0.1〜1.0の範囲が望ましい。この範囲
の下限以下ではカルボニル化合物による処理の効
果が小さく、この範囲の上限を超える場合には、
塗布溶液が白濁したりあるいは塗布溶液の保存安
定性が低い。また形成される酸化チタン膜が充分
な架橋(網目)構造をとらない場合が多い。
本発明の被膜形成において適用できる溶剤とし
ては、塗布用のチタン化合物を充分に溶解し、且
つ塗布しようとする成型物の表面に対し親和性を
有し、塗布し易く、しかも塗布後に乾燥し易い溶
剤が好ましい。このような溶剤としてはヘキサ
ン,ヘプタン,シクロヘキサン,メチルシクロヘ
キサン,ベンゼン,トルエン,キシレン,メタノ
ール,エタノール,イソプロピルアルコール,プ
ロピルアルコール,ブタノール,シクロヘキサノ
ール,テトラヒドロフラン,ジオキサン,メチル
セロソルブ等が挙げられる。これらの溶剤は、単
独で用いてもよく、又、2種以上を混合して用い
ることもできる。
本発明における塗布後の調整は、アルキルチタ
ネートに所定の割合のカルボニル基を有する有機
化合物を添加し、これに所定量の溶媒を加えるこ
とによつて行い得る。この際、塗布チタン溶液の
濃度は最終的に形成される酸化チタン薄膜の厚
さ、塗布方法、塗布する成形物等により適宜選択
することができる。例えば、数百オングストロー
ム以下の膜厚の酸化チタン薄膜層を均一に設ける
には、特に1〜7.5重量%に濃度を調整すると良
い。この溶液を成型物の表面に塗布する場合、例
えば浸漬法,噴霧法,コーテングマシンを用いる
方法等が使用される。溶液は塗布すると同時又は
後に、加熱処理することにより目的の酸化チタン
薄膜層を得ることができる。この加熱処理は50〜
220℃の温度で、10秒〜1時間程度である。
本発明の方法による酸化チタン薄膜形成の効果
は次の通りである。
1 塗布チタン溶液が水分に対し安定となり、ポ
ツトライフが長くなる。
2 塗布液が安定になつた結果、塗工工程での厳
しい管理が必要でなくなる。
3 形成される酸化チタン薄膜は性能の良い網状
構造を持つた透明度の高いものである。
以下、実施例を挙げて説明する。
実施例 1〜4
下記T4はT10のアルキルチタネートと、カルボ
ニル基を有する下表の有機化合物とを混合反応さ
せ、これに当初のアルキルチタネートの割合が3
重量%になるように下表の溶剤を用いて塗布液を
得た。
これを光透過率86%で厚さ75μmのポリエチレ
ンテレフタレートフイルム及びアルミ箔状に数ミ
クロンの厚さにバーコーターを用いて塗布し、
130℃の熱風乾操器で2分間加熱処理し酸化チタ
ン薄膜を形成させた。得られた結果を同じく下表
に示す。
The present invention relates to a method of forming titanium oxide from an alkyl titanate, and more specifically to a method of forming a titanium oxide film by applying an alkyl titanate solution onto a substrate and heat-treating the substrate to remove the solvent and cause a crosslinking reaction. . A titanium oxide thin film is an important component of a transparent conductive film or a selective light transmitting film as a high refractive index dielectric layer. Conventionally, as a method for forming these titanium oxide thin film layers, for example, a vacuum evaporation method, a cathode sputtering method, etc. have been used. However, these methods have drawbacks such as difficulty in forming a thin film of uniform thickness and low productivity. In order to improve these drawbacks, attempts have been made to coat a solution containing an alkyl titanate and obtain a thin titanium oxide layer by heat treatment, etc. However, due to the poor stability of the alkyl titanate to water, However, it was difficult to obtain a uniform and transparent coating layer in the alkyl titanate coating process, and it was difficult to form a desired titanium oxide thin film. Therefore, attempts have been made to convert alkyl titanates into complex salts to obtain stable coating solutions in order to improve their instability with water and ease of handling. For example, there is a method in which acetylacetone or ethyl acetoacetate is added to an alkyl titanate. Forming a complex salt of a titanium compound in this way stabilizes the coating solution and improves the operability of the coating itself, but
The titanium oxide thin film formed by heat-treating the coating layer after coating is not completely converted into the desired titanium oxide component, and the organic compound used to form the complex salt and the alkyloxy component of the raw alkyl titanate are The disadvantage is that it remains and does not allow the formation of a fully satisfactory titanium oxide thin film layer. The present invention focuses on a method of coating an alkyl titanate to form a titanium oxide thin film, in which the alkyl titanate is stable against moisture in the coating process and quickly forms a titanium oxide thin film in the heat treatment process. research,
We have discovered a new method that meets these objectives. That is, the present invention is characterized in that an organic compound having a carbonyl group is added to an alkyl titanate or a solution thereof, and this is heated to remove the solvent and/or cause a crosslinking reaction to form a transparent titanium oxide film. This is a method for manufacturing a transparent titanium oxide film. The coating solution prepared by the method of the present invention is stable against moisture and can be easily coated in a uniform layer on the surface of a glass plate, film, metal plate, etc. in air at room temperature. Furthermore, it has the characteristic that the desired titanium oxide thin film can be quickly formed by heating the coated substrate in, for example, a hot air dryer. Furthermore, by adjusting the concentration and amount of the coating liquid to be prepared, the thickness of the titanium oxide thin film produced can be easily controlled. The alkyl titanate used in the present invention has the general formula Ti l O n R o (where R is an alkyl group,
l, m, n are positive integers). Among the alkyl titanates represented by the above general formula, those where m=3l+1, n=2l+2, and l=1 to 40 are preferably used from the viewpoint of ease of coating. Although the l value may not be uniform and may have a distribution, alkyl titanates having a l value distribution with a maximum value of 25 or less are particularly preferred in coating operations. In the above general formula, R has 1 to 20 carbon atoms.
Preferably. In particular, those having an alkyl group having 2 to 15 carbon atoms are desirable from the viewpoint of film forming operations. When the alkyl titanate reacts with an organic compound having a carbonyl group, some of the titanium atoms become complex titanium, and when it is applied as a solution to the surface of a molded object, most of it becomes a network due to a decomposition reaction and a subsequent condensation reaction. It is thought that titanium oxide has a structure. Examples of the alkyl titanate used in the present invention include tetrabutyl titanate, tetraethyl titanate, tetrapropyl titanate, tetrastearyl titanate, and condensates thereof. By using an alkyl titanate solution modified with an organic compound having a carbonyl group as in the method of the present invention, the coating solution in the coating process can be stabilized and a uniform transparent coating film can be formed. In addition, a titanium oxide thin film is formed by applying heat treatment to the surface of the above-mentioned molded product, but the titanium oxide thin film made from alkyl titanate treated with an organic compound having a carbonyl group according to the present invention has a sufficient network of titanium oxide. Form. As a result, it is characterized by very little organic matter originating from the raw material alkyl titanate and the carbonyl group-containing organic compound component used. Organic compounds having a carbonyl group used in the present invention include aldehydes, ketones and esters. These compounds may have either one carbonyl group or a plurality of carbonyl groups, preferably two carbonyl groups, in the molecule.
However, when it has multiple carbonyl groups,
If each carbonyl carbon is at the 1.3 position and these carbonyl carbons are bonded with a carbon atom containing an active hydrogen, a very stable complex is formed with the alkyl titanate, and the coating solution itself is stable. However, it is difficult to form a transparent titanium oxide film, and a large amount of organic matter ends up remaining in the resulting film. Therefore, a carbonyl-containing compound (that is, a compound having one carbonyl group, or a compound having two carbonyl groups) that forms a complex with appropriate stability as in the present invention.
The bond that connects the carbonyl group of (ke) is a direct bond or a carbon atom that does not have an active hydrogen)
is good in all respects. In the present invention, carbonyl group refers to hydroxyl group (-
It does not contain a carbonyl group directly bonded to (OH), that is, a carboxylic acid group (-COOH), and examples include aldehydes, ketones, and esters as mentioned above. These compounds are preferably compounds that do not easily evaporate during the coating operation, but are easily evaporated and removed during the formation of a titanium oxide thin film by heat treatment after coating. In particular, the boiling point of these compounds is between 50℃ and
200℃ is desirable. When the temperature exceeds 200°C, the content of organic matter in the formed titanium oxide thin film often becomes high. For example, preferred aldehyde compounds include acetaldehyde, propylaldehyde, butyraldehyde, and the like. Further, examples of the ketone compound include acetone, methyl ethyl ketone, diethyl ketone, methyl propyl ketone, ethyl propyl ketone, methyl butyl ketone, cyclopentanone, cyclohexanone, and the like. Ester compounds include methyl formate, ethyl formate, propyl formate, methyl acetate, ethyl acetate,
Examples include propyl acetate, butyl acetate, methyl propionate, ethyl propionate, methyl butyrate, ethyl butyrate, diethyl oxalate, dimethyl succinate, and the like. The amount of these carbonyl-containing compounds used in the present invention is preferably such that the carbonyl group equivalent is in the range of 0.05 to 3.0, particularly preferably in the range of 0.1 to 1.0, relative to the titanium atom of the alkyl titanate. Below the lower limit of this range, the effect of treatment with carbonyl compounds is small, and above the upper limit of this range,
The coating solution becomes cloudy or the storage stability of the coating solution is low. Furthermore, the formed titanium oxide film often does not have a sufficient crosslinked (network) structure. Solvents that can be used in forming the film of the present invention are those that sufficiently dissolve the titanium compound for coating, have affinity for the surface of the molded product to be coated, are easy to coat, and are easy to dry after coating. Solvents are preferred. Examples of such solvents include hexane, heptane, cyclohexane, methylcyclohexane, benzene, toluene, xylene, methanol, ethanol, isopropyl alcohol, propyl alcohol, butanol, cyclohexanol, tetrahydrofuran, dioxane, methyl cellosolve, and the like. These solvents may be used alone or in combination of two or more. Adjustment after coating in the present invention can be carried out by adding a predetermined proportion of an organic compound having a carbonyl group to the alkyl titanate, and adding a predetermined amount of a solvent thereto. At this time, the concentration of the applied titanium solution can be appropriately selected depending on the thickness of the finally formed titanium oxide thin film, the application method, the molded object to be applied, etc. For example, in order to uniformly provide a titanium oxide thin film layer with a thickness of several hundred angstroms or less, the concentration is particularly preferably adjusted to 1 to 7.5% by weight. When applying this solution to the surface of a molded article, for example, a dipping method, a spraying method, a method using a coating machine, etc. are used. The desired titanium oxide thin film layer can be obtained by heat-treating the solution at the same time or after coating. This heat treatment is 50~
It takes about 10 seconds to 1 hour at a temperature of 220°C. The effects of forming a titanium oxide thin film by the method of the present invention are as follows. 1. The applied titanium solution becomes stable against moisture and has a longer pot life. 2. As a result of the coating liquid becoming stable, strict control during the coating process is no longer necessary. 3. The titanium oxide thin film formed has a highly transparent network structure with good performance. Examples will be described below. Examples 1 to 4 The following T 4 is obtained by mixing and reacting the alkyl titanate of T 10 with the organic compound shown in the table below having a carbonyl group, and adding an initial proportion of alkyl titanate to 3.
A coating solution was obtained using the solvents shown in the table below so that the weight percentages were adjusted. This was applied to a polyethylene terephthalate film with a light transmittance of 86% and a thickness of 75 μm and aluminum foil to a thickness of several microns using a bar coater.
A titanium oxide thin film was formed by heat treatment for 2 minutes in a hot air dryer at 130°C. The results obtained are also shown in the table below.
【式】 〔但し、Buはブチル基を表わす。〕【formula】 [However, Bu represents a butyl group. ]
Claims (1)
液から加熱処理して溶媒除去及び/又は架橋反応
を起させて透明な酸化チタン膜を形成せしめる方
法において;当該アルキルチタネート或いはそれ
を含有する溶液が、下記(a),(b)からなる群から選
ばれた少なくとも一種のカルボニル基含有化合物
を含むことを特徴とする透明酸化チタン膜の製造
方法。 (a) 水酸基(―OH)に直結しないカルボニル基
【式】を1個有する化合物; (b) 水酸基(―OH)に直結しないカルボニル基
【式】を2個有する化合物であり、当該2 個のカルボニル基が直接結合で、或いは活性水素
を有さない1個の炭素原子で結合されている化合
物。 2 当該カルボニル基含有化合物が、沸点(常
圧)200℃以下のエステル、アルデヒド又はケト
ン化合物である特許請求の範囲第1項記載の透明
酸化チタン膜の製造方法。[Claims] 1. A method for forming a transparent titanium oxide film by heat-treating an alkyl titanate or a solution containing the same to remove the solvent and/or cause a crosslinking reaction; A method for producing a transparent titanium oxide film, characterized in that the solution contains at least one carbonyl group-containing compound selected from the group consisting of (a) and (b) below. (a) A compound having one carbonyl group [Formula] that is not directly connected to a hydroxyl group (-OH); (b) A compound that has two carbonyl groups [Formula] that is not directly connected to a hydroxyl group (-OH); Compounds in which the carbonyl group is bonded by a direct bond or by one carbon atom without active hydrogen. 2. The method for producing a transparent titanium oxide film according to claim 1, wherein the carbonyl group-containing compound is an ester, aldehyde or ketone compound having a boiling point (normal pressure) of 200°C or lower.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12981579A JPS5654230A (en) | 1979-10-11 | 1979-10-11 | Preparation of transparent titanium oxide film |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12981579A JPS5654230A (en) | 1979-10-11 | 1979-10-11 | Preparation of transparent titanium oxide film |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5654230A JPS5654230A (en) | 1981-05-14 |
| JPS6144951B2 true JPS6144951B2 (en) | 1986-10-06 |
Family
ID=15018897
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12981579A Granted JPS5654230A (en) | 1979-10-11 | 1979-10-11 | Preparation of transparent titanium oxide film |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5654230A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0230260A (en) * | 1988-07-19 | 1990-01-31 | Canon Inc | Telephone set |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01239024A (en) * | 1988-03-18 | 1989-09-25 | Giken Kagaku Kk | Formation of titanium dioxide film |
| WO2009104695A1 (en) * | 2008-02-22 | 2009-08-27 | 住友化学株式会社 | Method for producing transparent conductive substrate |
-
1979
- 1979-10-11 JP JP12981579A patent/JPS5654230A/en active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0230260A (en) * | 1988-07-19 | 1990-01-31 | Canon Inc | Telephone set |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5654230A (en) | 1981-05-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE69305318T2 (en) | Process for the production of a silicon oxide film | |
| US5510147A (en) | Sol gel barrier films | |
| US4345000A (en) | Transparent electrically conductive film | |
| JPS6026021B2 (en) | laminated sheet | |
| JPH02258646A (en) | Coating composition and production thereof | |
| JPS6144951B2 (en) | ||
| US4241108A (en) | Sprayable titanium composition | |
| US5811153A (en) | Coating solutions for use in forming bismuth-based dielectric thin films, and dielectric thin films and memories formed with said coating solutions, as well as processes for production thereof | |
| JPS6144948B2 (en) | ||
| US20140287251A1 (en) | Pzt-based ferroelectric thin film-forming composition, method of preparing the same, and method of forming pzt-based ferroelectric thin film using the same | |
| US5567755A (en) | Coating solution for forming composite metal oxide film and process for making same | |
| JP2014154825A (en) | Composition for lanthanum nickel oxide thin film formation, and method for forming lanthanum nickel oxide thin film by use thereof | |
| US2280829A (en) | Coated cellulosic film | |
| JP3286002B2 (en) | Thin film forming equipment | |
| JPS6058308B2 (en) | Method for manufacturing titanium oxide film | |
| RU94018051A (en) | Method of production of metal-oxide coatings (its variants) | |
| US2941903A (en) | Modified polymeric titanium oxide films | |
| US2190286A (en) | Electrolytic cell | |
| JPS6144950B2 (en) | ||
| JPH08296031A (en) | Metal oxide coated body and method for producing the same | |
| US2148381A (en) | Liquid plastic and the method of applying a plastic coating | |
| JPS6358191B2 (en) | ||
| JPH1179747A (en) | Pb-based metal oxide thin film forming solution with excellent stability that does not change over time | |
| US3298877A (en) | Protective coating for beryllium metal | |
| JP2003002649A (en) | BLT ferroelectric thin film, composition for forming the same, and formation method |