JPS6347269B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6347269B2 JPS6347269B2 JP57053092A JP5309282A JPS6347269B2 JP S6347269 B2 JPS6347269 B2 JP S6347269B2 JP 57053092 A JP57053092 A JP 57053092A JP 5309282 A JP5309282 A JP 5309282A JP S6347269 B2 JPS6347269 B2 JP S6347269B2
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- JP
- Japan
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- lead
- base
- cap
- lead frame
- leads
- Prior art date
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W70/00—Package substrates; Interposers; Redistribution layers [RDL]
- H10W70/40—Leadframes
- H10W70/421—Shapes or dispositions
- H10W70/424—Cross-sectional shapes
- H10W70/427—Bent parts
- H10W70/429—Bent parts being the outer leads
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
Landscapes
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(1) 発明の技術分野
本発明は半導体装置の製造方法、詳しくはパツ
ケージの蓋および基体の位置ぎめを可能にするリ
ードフレームを用いてなす半導体パツケージの製
造方法に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (1) Technical Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a semiconductor device, and more particularly to a method of manufacturing a semiconductor package using a lead frame that enables positioning of a lid and a base of the package.
(2) 技術の背景
半導体装置のパツケージ製作は、半導体チツプ
が搭載されたパツケージ基体(以下基体という)
へのリードの装着、かくして作られたリードと基
体との組立体(リードベース)への蓋(キヤツ
プ)の実装の工程によりなされる。(2) Background of the technology The production of semiconductor device packages involves manufacturing a package base (hereinafter referred to as the base) on which a semiconductor chip is mounted.
This is accomplished through the steps of attaching the lead to the lead and mounting the cap onto the lead-substrate assembly (lead base) thus produced.
かかる蓋の取付けは通常、前記組立体を倒立さ
せた状態で行われている。この技術を第1図aの
平面図とそのbの断面図を参照して略述すると、
治具1を用意し、キヤツプ2を図示の如く位置ぎ
めし、次に治具のピン3を用いてリードフレーム
4を位置ぎめし、次にリードフレーム4の上にチ
ツプ6が固着された基体5を置き、基体5の自重
を利用し炉内でリードベースとキヤツプとを封止
する。なお同図において、7は接続用のワイヤを
示す。 Attachment of such a lid is usually performed with the assembly inverted. This technique will be briefly described with reference to the plan view in Figure 1a and the cross-sectional view in Figure 1B.
Prepare a jig 1, position the cap 2 as shown in the figure, then position the lead frame 4 using the pins 3 of the jig, and then place the base on which the chip 6 is fixed on the lead frame 4. 5, and the lead base and cap are sealed in a furnace using the weight of the base 5. In addition, in the figure, 7 indicates a connection wire.
(3) 従来技術と問題点
上記した半導体パツケージの封止においては、
半導体チツプ(ダイス)、ワイヤ付けされた基体
およびキヤツプを専用治具で位置ぎめすることが
必要であつた。従来は、チツプとワイヤ付け作業
の後にリードベースを倒立させたので、ワイヤや
チツプを破損することが多かつた。また治具の上
記したピン3は直径0.85mmのもので曲つたりして
損傷が激しい。加えて、基体の外形が変更される
毎に治具を変形しなければならず、そのことは半
導体パツケージ製造のコストを増大させる原因と
なつた。(3) Conventional technology and problems In the encapsulation of the semiconductor package described above,
It was necessary to position the semiconductor chip (dice), the wire-attached substrate, and the cap using a special jig. Conventionally, the lead base was turned upside down after the tip and wire attachment work, which often resulted in damage to the wires and tips. Furthermore, the above-mentioned pin 3 of the jig has a diameter of 0.85 mm and is bent and severely damaged. In addition, the jig must be modified every time the outer shape of the base is changed, which increases the cost of manufacturing semiconductor packages.
(4) 発明の目的
本発明は上記従来の欠点に鑑み、専用治具を必
要とせず、リードとパツケージ基体の組立体であ
るリードベースを倒立することなく、かつ、基体
と蓋(キヤツプ)の位置ぎめを可能にするリード
フレームを用いて半導体パツケージを組み立てる
方法を提供することを目的とする。(4) Purpose of the Invention In view of the above-mentioned drawbacks of the prior art, the present invention eliminates the need for a special jig, eliminates the need to invert the lead base, which is an assembly of the lead and the package base, and allows the base and cap to be separated. It is an object of the present invention to provide a method for assembling a semiconductor package using a lead frame that allows positioning.
(5) 発明の構成
そしてこの目的は、半導体チツプをパツケージ
基体に固着する工程、複数のリードとそれらを連
結する枠部とからなるリードフレームを用意し、
枠部の一部を折り曲げまたは切り起すことによ
り、その先端がリードよりも上方へ延在し、キヤ
ツプの位置ぎめガイドとなるガイド部を形成する
工程、リードをパツケージ基体上に固着する工
程、パツケージ基体の表面よりも上方へ延在する
ガイド部によつてキヤツプをパツケージ基体上に
位置ぎめし固着する工程とを含む半導体装置の製
造方法により達成される。(5) Structure of the Invention The purpose is to provide a process for fixing a semiconductor chip to a package base, preparing a lead frame consisting of a plurality of leads and a frame for connecting them;
A process of bending or cutting a part of the frame part so that its tip extends above the lead to form a guide part that serves as a positioning guide for the cap; a process of fixing the lead onto the package base; This is achieved by a method of manufacturing a semiconductor device including the step of positioning and fixing the cap on the package base by means of a guide portion extending above the surface of the base.
(6) 発明の実施例 以下本発明実施例を図面によつて詳述する。(6) Examples of the invention Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.
第2図を参照すると、本発明にかかる半導体パ
ツケージの製造に用いられるリードフレームとパ
ツケージ基体の組立体(リードベース)が、その
aには側面図、bには平面図で、cには斜視図で
示され、いずれにおいてもリードベースの中央部
分は簡略のため切欠してある。なお、第2図にお
いては、11はリードフレーム(従つてベース)
の長手方向の最外側リード、12はパツケージ基
体(ベース)、13は蓋(キヤツプ)を示す。同
図のaとbから理解され得る如く、1対のリード
は互いに対称に形成される。また符号14で示す
砂地部分は封止用ガラスを表し、このガラスが炉
内で溶融し、冷却されて固化してベース12とキ
ヤツプ13とを一体的に封止する。 Referring to FIG. 2, a side view is shown in a, a top view is shown in b, and a perspective view is shown in c. In both figures, the central portion of the lead base is cut away for simplicity. In addition, in Fig. 2, 11 is the lead frame (therefore, the base).
12 is a package base, and 13 is a cap. As can be understood from a and b in the figure, the pair of leads are formed symmetrically to each other. Furthermore, the sandy area indicated by the reference numeral 14 represents sealing glass, and this glass is melted in the furnace, cooled, and solidified to integrally seal the base 12 and the cap 13.
半導体パツケージの製造においては、パツケー
ジ基体12に第1図bに示した如くチツプ(図示
せず)を固着する。第2図に図示の実施例におい
ては、複数のリードとこれらリードを連結する枠
部からなるリードフレーム11に折り曲げまたは
切り起しによりコの字型の切り起し(ガイドとも
いう)15が形成されている。かかる1対のコの
字型切り起し15は長方形の凹部の両端部分を限
定し、かつ、パツケージ基体12の表面より同図
に示される如く上方に延在する。切り起し15の
幅および高さはキヤツプ13の厚みを計算に入れ
て適宜選定しておけば、リードをパツケージ基体
12上に固着すると、前記した凹部内にキヤツプ
13がきちんとはまり込むことになり、キヤツプ
13の位置合せになんらの治具も要しない。 In manufacturing a semiconductor package, a chip (not shown) is fixed to the package base 12 as shown in FIG. 1b. In the embodiment shown in FIG. 2, a U-shaped cut-out (also referred to as a guide) 15 is formed by bending or cutting out a lead frame 11 consisting of a plurality of leads and a frame portion connecting these leads. has been done. The pair of U-shaped cut-outs 15 define both ends of the rectangular recess and extend upward from the surface of the package base 12 as shown in the figure. If the width and height of the cut-out portion 15 are appropriately selected taking into account the thickness of the cap 13, the cap 13 will fit neatly into the recess when the lead is fixed onto the package base 12. , no jig is required for positioning the cap 13.
かかるコの字型切り起しは、リードフレームを
製造するときに通常のプレス工程で容易に折り曲
げまたは切り起して形成されるものである。リー
ドフレームの装着は、従来のリードフレームの場
合と全く同様になされるのでなんらの問題もな
い。 Such U-shaped cut-and-raised portions are formed by easily bending or cutting them in a normal pressing process when manufacturing a lead frame. There is no problem in mounting the lead frame because it is carried out in exactly the same way as in the case of conventional lead frames.
本発明の他の実施例に用いるリードフレームは
第3図に、そのaには側面図で、bには平面図
で、cには斜視図で示され、同図においては、2
1はリードフレーム(従つてベース)の長手方向
最外側のリード、22はリード21のすぐ隣りの
リード、23はパツケージ基体(ベース)、24
はキヤツプを示し、リードフレームおよびベース
の中央部分は簡略のため切り欠いて示し、砂地で
示す部分25は封止用ガラスを表す。 A lead frame used in another embodiment of the present invention is shown in FIG. 3 in a side view in FIG.
1 is the outermost lead in the longitudinal direction of the lead frame (therefore, the base), 22 is the lead immediately adjacent to the lead 21, 23 is the package base (base), and 24
indicates a cap, the central portions of the lead frame and base are shown cut away for simplicity, and the sanded portion 25 represents the sealing glass.
図示のリードフレームにおいて、最外側リード
21にはキヤツプの長手方向動きを制限する止め
21′が切り起しによつて形成され、またリード
21の隣のリード22にはキヤツプの横手方向動
きを制限する止め22′が同様に形成されている。
これらの止め21′,22′は第2図の例の切り起
し15と同様にパツケージ基体12の表面より上
方に延在するもので、その高さをキヤツプ24の
厚みを計算して適宜選定すると、キヤツプ24は
合計4個の止めによつて限定される凹部内にきち
んとはまり込むから、キヤツプの位置ぎめはなん
らの治具を用いることなく容易になされ得る。 In the illustrated lead frame, a stop 21' for restricting the longitudinal movement of the cap is formed on the outermost lead 21 by cutting and raising, and a stop 21' for restricting the lateral movement of the cap is formed on the lead 22 adjacent to the lead 21. A stop 22' is similarly formed.
These stops 21' and 22' extend above the surface of the package base 12, similar to the cut-out 15 in the example shown in FIG. 2, and their heights are selected as appropriate by calculating the thickness of the cap 24. The cap 24 then fits neatly into the recess defined by a total of four stops, so that the cap can be easily positioned without the use of any jig.
第3図に示したリードフレーム長手方向最外側
のリードは第4図の斜視図に示す如く変形し得
る。最外側リード31を切り起し、第3図の止め
21′に類似の止め31′を形成するとき、その両
側の材料はリード31とは反対方向に図に見て下
方に切り下げて、1対の切り下がり部41(その
1つのみが図示される)を、またその先端部分に
止め31′に類似の止め41′を形成する。リード
フレームの長手方向の最外側にかくの如き上方に
延びるリード31と下方に延びる2つのリード4
1を設け、それぞれに止め31′と41′とを形成
すると、下方の止め41′はベース33の位置ぎ
めに、かつ上方の止め31′は基体12の表面よ
り上方に延在するので、キヤツプ34の位置ぎめ
に効果的である。なお、ベース33の上面とキヤ
ツプ34の下面には封止ガラスが置かれている。
更に図示の実施例においては、リード31と止め
41′の台部45とによつて空間が形成され、封
止のとき余分のガラスが流出したとしても、それ
はこの空間内に逃げることができるという利点が
ある。 The outermost lead in the longitudinal direction of the lead frame shown in FIG. 3 can be deformed as shown in the perspective view of FIG. 4. When the outermost lead 31 is cut up to form a stop 31' similar to the stop 21' in FIG. 41 (only one of which is shown) and a stop 41' similar to stop 31' at its distal end. A lead 31 extending upward and two leads 4 extending downward are provided at the outermost side in the longitudinal direction of the lead frame.
1 and formed with stops 31' and 41' respectively, the lower stop 41' is positioned at the base 33, and the upper stop 31' extends above the surface of the base 12, so that the cap Effective for 34 positioning. Note that sealing glass is placed on the upper surface of the base 33 and the lower surface of the cap 34.
Furthermore, in the illustrated embodiment, a space is formed by the lead 31 and the base portion 45 of the stopper 41', and even if excess glass flows out during sealing, it can escape into this space. There are advantages.
第2図のリード11と同様に、第3図と第4図
に示すリード21,31,41はリードフレーム
を形成するときに通常のプレス加工によつて容易
に形成され得る。またリードベースは倒立でなく
チツプを上にした状態でパツケージを形成し得
る。なお、リードフレームの切り起しの形状は上
記実施例の形状のみに限定されるものではない。 Like the lead 11 in FIG. 2, the leads 21, 31, 41 shown in FIGS. 3 and 4 can be easily formed by normal press working when forming a lead frame. Also, the lead base can form a package with the chip facing up rather than upside down. Note that the shape of the cut-and-raised part of the lead frame is not limited to the shape of the above embodiment.
(7) 発明の効果
以上、詳細に説明したように、本発明にかかる
半導体パツケージの製造においては、リードフレ
ームの最外側のリードフレームにコの字型切り起
しを設け、または、最外側のリードフレームとす
ぐその隣のリードに切り起しを、またその先端部
分に止めを形成することによつて、リードベース
を倒立することなくキヤツプの位置ぎめが治具を
用いることなく容易になされ、またその変形例に
おいては、最外側のリードに切り起しと切り下げ
とを設け、それらの先端部分に止めを形成するこ
とによつてベースとキヤツプの双方を治具を用い
ることなく位置ぎめ可能にし、しかもかかるリー
ドはリードフレーム形成時に通常のプレス加工で
容易に形成可能であるので、半導体パツケージ製
造のコスト低減に効果大である。(7) Effects of the Invention As explained above in detail, in manufacturing the semiconductor package according to the present invention, a U-shaped cut-out is provided on the outermost lead frame, or a U-shaped cut-out is provided on the outermost lead frame. By forming a cut in the lead frame and the lead immediately adjacent to it, and by forming a stop at the tip of the lead frame, the cap can be easily positioned without using a jig without inverting the lead base. In a modified example, the outermost lead is provided with a cut-up and a cut-down, and a stop is formed at the tip of the lead, thereby making it possible to position both the base and the cap without using a jig. Furthermore, such leads can be easily formed by normal press processing when forming the lead frame, and are therefore highly effective in reducing the cost of manufacturing semiconductor packages.
第1図は従来技術による半導体パツケージのキ
ヤツプ位置ぎめを示す図で、そのaは治具とキヤ
ツプの平面図、bは断面図、第2図は本発明によ
る半導体パツケージの製造に用いるリードフレー
ムを示す図で、そのaは側面図、bは平面図、c
は斜視図、第3図a,b,cは本発明の他の実施
例の第2図a,b,cに類似の図、第4図は更に
他の実施例の斜視図である。
11,21,31…リードフレームの長手方向
最外側のリード、12,23,33…パツケージ
基体(ベース)、13,14,34…キヤツプ、
14…封止ガラス、15…コの字型切り起し、2
2…リード21のすぐ隣のリード、21′,2
2′,31′,41′…止め、41…切り下げ、4
5…台部。
FIG. 1 is a diagram showing the cap positioning of a semiconductor package according to the prior art, in which a is a plan view of the jig and the cap, b is a cross-sectional view, and FIG. 2 is a diagram showing the lead frame used for manufacturing the semiconductor package according to the present invention. In the figure shown, a is a side view, b is a plan view, and c is a side view.
3 is a perspective view, FIGS. 3a, b, and c are views similar to FIGS. 2a, b, and c of another embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a perspective view of still another embodiment. 11, 21, 31... Longitudinal outermost lead of the lead frame, 12, 23, 33... Package base (base), 13, 14, 34... Cap,
14...Sealing glass, 15...U-shaped cut-out, 2
2...Lead immediately next to lead 21, 21', 2
2', 31', 41'...stop, 41...cut down, 4
5...Taibu.
Claims (1)
程と、 複数のリードと該リードを連結する枠部とから
なるリードフレームを用意し、該枠部の一部を折
り曲げまたは該リードの一部を切り起すことによ
り、その先端が該リードよりも上方へ延在し、キ
ヤツプの位置ぎめガイドとなるガイド部15,2
2′を形成する工程と、 前記リードを前記パツケージ基体12上に固着
する工程と、 前記パツケージ基体12の表面よりも上方へ延
在する前記ガイド部15,22′によつて前記キ
ヤツプを前記パツケージ基体上に位置ぎめ、固着
する工程とを有する半導体装置の製造方法におい
て、 上記ガイド部を形成する工程が、リード31と
止め31′,41′との間に台部45を形成する工
程を有することを特徴とする半導体装置の製造方
法。[Claims] 1. A step of fixing a semiconductor chip to a package base, and preparing a lead frame consisting of a plurality of leads and a frame for connecting the leads, and bending a part of the frame or bending the leads. By cutting and raising a part, the guide portions 15 and 2 whose tips extend upwards from the leads and serve as positioning guides for the cap.
2'; fixing the lead onto the package base 12; and fixing the cap to the package base 12 by means of the guide portions 15, 22' extending above the surface of the package base 12. In the method of manufacturing a semiconductor device, the step of forming the guide portion includes the step of forming a pedestal portion 45 between the lead 31 and the stoppers 31' and 41'. A method for manufacturing a semiconductor device, characterized in that:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57053092A JPS58170045A (en) | 1982-03-31 | 1982-03-31 | Semiconductor package |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57053092A JPS58170045A (en) | 1982-03-31 | 1982-03-31 | Semiconductor package |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58170045A JPS58170045A (en) | 1983-10-06 |
| JPS6347269B2 true JPS6347269B2 (en) | 1988-09-21 |
Family
ID=12933133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57053092A Granted JPS58170045A (en) | 1982-03-31 | 1982-03-31 | Semiconductor package |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58170045A (en) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5325360A (en) * | 1976-08-23 | 1978-03-09 | Hitachi Ltd | Production of semiconductor device |
-
1982
- 1982-03-31 JP JP57053092A patent/JPS58170045A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58170045A (en) | 1983-10-06 |
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