JPH0330252B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は露光装置の光源として用いられる放電
灯に関するものである。

集積回路やカラー受像管の製造において、微細
なパターン加工を光学的に行なうが、このとき使
用される露光装置の光源としては安定に発光する
放電灯が用いられる。

第１図は露光装置に用いられる従来の発光装置
の平面断面図、第２図は第１図の−断面図で
ある。図において、１はランプハウス台で、ガイ
ドピン２ａ，２ｂ，２ｃによつて位置決めされ、
固定部３ａ，３ｂを締めつけることにより基台上
にセツテイングされる。ランプハウス台１には、
上面から凹んで円弧状の管収容部１ａ、その両端
の電極収容部１ｂ，１ｃおよび電極収容部１ｂ，
１ｃから斜め下方に貫通して入路１ｄ、出路１ｅ
がそれぞれ形成され、さらに入路１ｄ、出路１ｅ
の各開口端には流入管４ａ、流出管４ｂがそれぞ
れ接合されている。また、ランプハウス台１の下
面からは先端が電極収容部１ｂ，１ｃ内に配置さ
れるように電力供給端子５ａ，５ｂがねじ込ま
れ、気密性を保持するためにエポキシレジンで固
定されている。放電部が円弧状に形成された放電
灯は、ガラス、セラミツクの透明絶縁管（以下ガ
ラス管という）６とその両端に固定されたステム
７ａ，７ｂからなり、ステム７ａ，７ｂをロケー
タ９に固定された取付板８ａ，８ｂにはんだ付け
して固定することによりロケータ９に取付けられ
る。ロケータ９は両端にピン孔１０ａ，１０ｂを
有し、ランプハウス台１の上面に植設されたガイ
ドピン１１ａ，１１ｂにピン孔１０ａ，１０ｂを
はめ込むことにより、ロケータ９はランプハウス
台１上に正しく位置決めして取付けられる。この
とき、ガラス管６、ステム７ａ，７ｂは管収容部
１ａ、電極収容部１ｂ，１ｃ内にそれぞれ収容さ
れる。また、１２ａ，１２ｂはリード線で、一端
は取付板８ａ，８ｂにはんだ付けされ、他端は止
めねじ１３ａ，１３ｂによつて電力供給端子５
ａ，５ｂにねじ止めされている。

一方、ランプハウス台１の上面にはガラスから
なるフエースプレート１４、およびフエースプレ
ート１４上に開口１５ａを有する蓋１５が設けら
れ、蓋１５はＯリング１６ａ，１６ｂを介してラ
ンプハウス台１に圧接されている。したがつて、
管収容部１ａ、電極収容部１ｂ，１ｃは気密に保
持される。

このような構成で、流入管４ａから冷却水を流
入させると、矢印に示すように、水は入路１ｄ、
電極収容部１ｂ、管収容部１ａ、電極収容部１
ｃ、出路１ｅを経て流出管４ｂから流出される。
この水によつて放電灯は水冷される。そして、電
力供給端子５ａ，５ｂを電源に接続するとガラス
管６の中心部は発光し、この光はフエースプレー
ト１４、開口１５ａを経て放射される。

この場合、ステムは放電灯の電極に接続されて
いるので高電圧部分が水中に露出するという問題
がある。

第３図は放電灯の電極部の断面図である。ガラ
ス管６の先端の電極部には水銀１８が収容され、
さらにこの水銀１８の面から管内に先端部が突き
出した電極１９が封着されている。電極１９の他
方の端はガラス管６の外に引出され、この部分に
裸導線のリード線２０が溶接されている。ガラス
管６の外周面には電極１９とリード線２０の溶接
部分を覆うようにステム７ａ，７ｂがかぶされ、
その間にはエポキシレジン２１が充填され互いに
固定されている。そして、ステム７ａ，７ｂの端
には封止金属２２がはめ込まれ、さらに、ステム
７ａ，７ｂとリード線２０の間がはんだ２３によ
つて接続されている。

このように従来の放電灯においては、ガラス管
の電極封着部近傍と接合部とがステム内の広い空
間でレジンに取り囲まれているため、強度低下の
恐れがあるという問題があつた。

本発明はこのような従来の問題を解決するため
に考えられたもので、その目的とするところは、
電極の接合部及びガラス管の端部を絶縁チユーブ
で囲繞して補強するようにした放電灯を提供する
ことにある。

本発明は、電極の接合部及びガラス管の端部の
周囲に絶縁チユーブを設け、この絶縁チユーブは
一端がガラス管の外周面にかん合し他端が接合部
を囲繞する方向に延在するように形成し、絶縁チ
ユーブ内に絶縁レジンを充填したものである。

以下、本発明を実施例にもとずいて詳細に説明
する。

第４図は本発明に係る放電灯の一実施例の断面
図である。図において、第３図と同一部分には同
一符号を付してある。２５は外部引出導体であ
り、その一端側２５ａで電極１９の外方突出部１
９ａと接合部１９ｂで溶接されている。２５ｂは
外部引出導体２５の絶縁被覆である。２６は所定
の長さに形成されたシリコンゴムからなる絶縁チ
ユーブで、電極１９と外部引出導体２５との接合
部１９ｂを覆い、一端はガラス管６の外周面に強
くかん合している。そして、絶縁チユーブ２６の
内には、ガラス管６の先端部、電極１９の外方突
出部１９ａ、外部引出導体２５及び接合部１９ｂ
を埋めるようにエポキシレジン２７が充填され、
また、ステム７ａ，７ｂと絶縁チユーブ２６との
間隙にも同じくエポキシレジン２８が充填されて
いる。なお、２９はシール材である。

第５図は他の実施例の断面図である。図におい
て、第４図と同一部分には同一符号を付してあ
る。３１は電極１９と外部引出導体２５との接合
部１９ｂの外周面上およびガラス管６の先端部の
外周面上にまたいで弾力でかん合した補強用のコ
イルで、電極１９の接合部１９ｂ及び前記先端部
に外力が加わらないようにしたものである。この
コイル３１はその表面に半田層を形成し、線相互
を半田付けすることで一体の剛体として作用する
構成となつている。絶縁チユーブ２６はこのコイ
ル３１の外周を覆うように設けられている。そし
て、絶縁チユーブ２６の内にはエポキシレジン２
７が充填されている。また、ステム３２と絶縁チ
ユーブ２６およびガラス管６との間にはエポキシ
レジン２８が充填され、かつ、ステム３２とガラ
ス管６との間はコイル３３によつて接合されてい
る。このコイル３３も半田層を形成し、一体の剛
体として作用する構成としてもよい。なお、３４
はシール部材である。この例はコイルが設けられ
ただけで作用は前記実施例と同様である。

このように、本発明に係る放電灯によると、電
極の接合部及びガラス管の先端部が絶縁チユーブ
によつて覆われているため、これらの部分の機械
的強度が保持できるという優れた効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は発光装置の平面断面図、第２図は第１
図の−断面図、第３図は従来の放電灯の断面
図、第４図は本発明に係る放電灯の一実施例の断
面図、第５図は他の実施例の断面図である。 ６……ガラス管、７ａ，７ｂ……ステム、１８
……水銀、１９……電極、２５……外部引出導
体、２６……絶縁チユーブ、２７，２８……エポ
キシレジン、３１……コイル。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 透明絶縁管の内部に水銀を封入し、かつ両端
   にそれぞれ電極を密封した放電管と、この放電管
   の端部に固着されたステムと、前記電極の外力突
   出部に接合された絶縁被覆を施されたリード線と
   を有する放電灯において、前記接合部及び前記透
   明絶縁管の一部を囲繞し、かつその一端を前記透
   明絶縁管に固定した絶縁チユーブと、この絶縁チ
   ユーブの内側及び外側に充填された絶縁材料から
   なるレジンとを有することを特徴とする放電灯。