JPH03739B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は露光装置の光源として用いられる放電
灯に関するものである。

集積回路やカラー受像管の製造において、微細
なパターン加工を光学的に行なうが、このとき使
用される露光装置の光源としては安定に発光する
放電灯が、例えば水冷構造のもとで用いられる。

第１図は露光装置に用いられる従来の発光装置
の一例の平面断面図、第２図は第１図の−断
面図である。図において、１はランプハウス台
で、ガイドピン２ａ，２ｂ，２ｃによつて位置決
めされ、固定部３ａ，３ｂを締めつけることによ
り基台上にセツテイングされる。ランプハウス台
１には、上面から凹んで円弧状の管収容部１ａ、
その両端の電極収容部１ｂ，１ｃおよび電極収容
部１ｂ，１ｃから斜め下方に貫通して入路１ｄ、
出路１ｅがそれぞれ形成され、さらに入路１ｄ、
出路１ｅの各開口端には流入管４ａ、流出管４ｂ
がそれぞれ接合されている。また、ランプハウス
台１の下面からは先端が電極収容部１ｂ，１ｃ内
に配置されるように電力供給端子５ａ，５ｂがね
じ込まれ、気密性を保持するためにエポキシレジ
ンで固定されている。放電部が円弧状に形成され
た放電灯は、ガラス、セラミツク等からなる透明
絶縁管（以下ガラス管という）とその両端に固定
されたステム７ａ，７ｂからなり、ステム７ａ，
７ｂをロケータ９に固定された取付板８ａ，８ｂ
にはんだ付けして固定することによりロケータ９
に取付けられる。ロケータ９は両端にピン孔１０
ａ，１０ｂを有し、ランプハウス台１の上面に植
設されたガイドピン１１ａ，１１ｂにピン孔１０
ａ，１０ｂをはめ込むことにより、ロケータ９は
ランプハウス台１上に正しく位置決めして取付け
られる。このとき、ガラス管６、ステム７ａ，７
ｂは管収容部１ａ、電極収容部１ｂ，１ｃ内にそ
れぞれ収容される。また、１２ａ，１２ｂはリー
ド線で、一端は取付板８ａ，８ｂにはんだ付けさ
れ、他端は止めねじ１３ａ，１３ｂによつて電力
供給端子５ａ，５ｂにねじ止めされている。

一方ランプハウス台１の上面にはガラスからな
るフエースプレート１４、およびフエースプレー
ト１４上に開口１５ａを有する蓋１５が設けら
れ、蓋１５はＯリング１６ａ，１６ｂを介してラ
ンプハウス台１に圧接されている。したがつて、
管収容部１ａ、電極収容部１ｂ，１ｃは気密に保
持される。

このような構成で、流入管４ａから冷却水を流
入させると、矢印に示すように、水は入路１ｄ、
電極収容部１ｂ、管収容部１ａ、電極収容部１
ｃ、出路１ｅを経て流出管４ｂから流出される。
この水によつて放電灯は水冷される。そして、電
力供給端子５ａ，５ｂを電源に接続するとガラス
管６の中心部は発光し、この光はフエースプレー
ト１４、開口１５ａを経て放射される。

この場合、ステムは放電灯の電極に接続されて
いるので高電圧部分が水中に露出するという問題
がある。

第３図は前述したような装置に用いられる放電
灯の電極部の断面図である。ガラス管６の先端の
電極部には水銀１８が収容され、さらにこの水銀
１８の面から管内に先端部が突き出した例えばタ
ングステン等からなる電極１９が封着されてい
る。電極１９の他方の端はガラス管６の外に引出
され、この部分で外部引出導体、この例では裸導
線のリード線２０と溶接のような手段で接合され
ている。ガラス管６の外周面には電極１９とリー
ド線２０の溶接部分を覆うようにステム７ａ，７
ｂがかぶされ、その間にはエポキシレジン２１が
充填され互いに固定されている。そして、ステム
７ａ，７ｂの端には封止金属２２がはめ込まれ、
さらに、ステム７ａ，７ｂとリード線２０の間が
はんだ２３によつて接続されている。

このように従来の放電灯においては、ガラス管
に封着された電極と外部引出導体とは溶接のよう
な手段で接合されるため、材質的な点からも溶接
外れ等の発生があり、両者の接合の信頼性が低い
という問題点があつた。

本発明はこのような従来の問題を解決するため
に考えられたもので、その目的とするところは、
電極と外部引出導体との接合の信頼性の極めて高
い放電灯を提供することにある。

このような目的を達成するために、本発明は、
電極と外部引出導体との接合部からガラス管の端
部に亘つてその周囲にコイルを配置固定したもの
である。

以下、本発明を実施例にもとずいて詳細に説明
する。

第４図は本発明に係る放電灯の一実施例の要部
断面図で、第３図と同一部分には同一符号を付し
てある。図において、２５は外部引出導体で、そ
の先端部２５ａは電極１９の外方突出部１９ａと
接合部２６で溶接接合されている。２７は電極１
９と先端部２５ａの接合部２６の外周面上からガ
ラス管６の先端部の外周面上に亘つて弾力でかん
合した補強用のコイルで、このコイル２７は図示
の如く装着後に半田２８によりコイル２７の巻線
相互間を半田接合し、コイル２７が一体の剛体を
呈する構成となつている。しかも前記コイル２７
の巻線相互の半田付け（半田上げという）によ
り、接合部自体にも半田が流入し、電極と外部引
出導体との接合を強化する効果もある。この配置
及び構成とすることにより、接合部の信頼性が向
上する。２９は所定の長さに形成されたシリコン
ゴムからなる絶縁チユーブで、この絶縁チユーブ
２９は前記コイル２７を囲繞すると共に、一端は
ガラス管６の外周面に強くかん合しており、他端
は外部引出導体２５の延在部分２５ｂと対向して
これを囲繞している。そして、絶縁チユーブ２９
の内側には、ガラス管６の先端部、電極１９の外
方突出部１９ａ、外部引出導体２５の先端部２５
ａ、接合部２６を埋めるようにエポキシレジン３
０が充填され、また、ステム７ａ，７ｂと絶縁チ
ユーブ２９との間隙にも同じくエポキシレジン３
１が充填されている。３２はコイルで、このコイ
ル３２はステム７ａ，７ｂとガラス管６とを接合
しており、しかも前述のコイル２７と同様に半田
上げされている。なお、３３はシール材である。

このような構造の放電灯では、ステム自身は電
極から絶縁され、しかも外部引出導体と電極の接
合部等は、絶縁チユーブで覆われ、さらにエポキ
シレジン等が内部に充填されており、したがつ
て、放電灯を水中に配置しても絶縁不良を起こし
たりするようなことはなくなることは勿論のこ
と、本発明に係る放電灯では、電極と外部引出導
体との接合部からガラス管の端部に亘つてその周
囲にコイルを配置し、このコイルが一体の剛体と
して作用する構成としたことにより、前記接合部
の接合の信頼性を確保できる優れた放電灯を可能
にしたものである。

なお、上述の実施例ではコイル２７を接合部２
６からガラス管６の端部に亘つて連続して囲繞し
て配設したが、接合部のみ、あるいはガラス管の
端部から電極の外方突出部迄をそれぞれ単独にあ
るいは組合せて囲繞する構成としても良いことは
勿論である。

このように、本発明に係る放電灯によると、電
極と外部引出導体との接合の信頼性が確保できる
という優れた特徴を有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は発光装置の平面断面図、第２図は第１
図の−断面図、第３図は従来の放電灯の断面
図、第４図は本発明に係る放電灯の一実施例の断
面図である。 ６……ガラス管、７ａ，７ｂ……ステム、１８
……水銀、１９……電極、１９ａ……外方突出
部、２５……外部引出導体、２５ａ……先端部、
２５ｂ……延在部分、２６……接合部、２７……
コイル、２８……半田、２９……絶縁チユーブ、
３０，３１……エポキシレジン、３２……コイ
ル、３３……シール材。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 透明絶縁管の両端部に一端が管内に他端が外
   方に突出するようにそれぞれ電極を封着し、この
   電極の外方突出部に外部引出導体の一端部を接合
   し、この接合部から前記透明絶縁管の端部に亘つ
   てその周囲にコイルを配置固定したことを特徴と
   する放電灯。