JPH0458431B2 - - Google Patents
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- JPH0458431B2 JPH0458431B2 JP6129887A JP6129887A JPH0458431B2 JP H0458431 B2 JPH0458431 B2 JP H0458431B2 JP 6129887 A JP6129887 A JP 6129887A JP 6129887 A JP6129887 A JP 6129887A JP H0458431 B2 JPH0458431 B2 JP H0458431B2
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 38
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 34
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 22
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 16
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 15
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 15
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 239000010953 base metal Substances 0.000 claims description 14
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910018487 Ni—Cr Inorganic materials 0.000 claims 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000000635 electron micrograph Methods 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 239000005548 dental material Substances 0.000 description 4
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000599 Cr alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 239000011351 dental ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009864 tensile test Methods 0.000 description 2
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003796 beauty Effects 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 description 1
- 229910001651 emery Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910000923 precious metal alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 238000005204 segregation Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Pressure Welding/Diffusion-Bonding (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は歯科用材料あるいはガスタービン用材
料のような耐熱高強度材料などの製造に適用でき
る金属とセラミツクスとの接合方法に関する。
料のような耐熱高強度材料などの製造に適用でき
る金属とセラミツクスとの接合方法に関する。
[従来の技術]
近年セラミツクスのもつ美観や耐熱性と金属の
もつ強度や加工性とを兼備した材料として金属と
セラミツクスとの複合材料が種々開発されてい
る。
もつ強度や加工性とを兼備した材料として金属と
セラミツクスとの複合材料が種々開発されてい
る。
例えば歯科補綴修復物は貴金属合金とセラミツ
クス(陶材)を接合させた審美性のある金属焼付
ポーセレンと称する材料が主流となつている。こ
の場合両者の接合は、貴金属材料のSn、Inある
いはFeなどの元素を微量添加した合金とし、セ
ラミツクス焼成時に微量添加元素が合金表面に析
出して形成した選択酸化物によつて、セラミツク
スと貴金属材料とを化学結合させる方法がとられ
ている。
クス(陶材)を接合させた審美性のある金属焼付
ポーセレンと称する材料が主流となつている。こ
の場合両者の接合は、貴金属材料のSn、Inある
いはFeなどの元素を微量添加した合金とし、セ
ラミツクス焼成時に微量添加元素が合金表面に析
出して形成した選択酸化物によつて、セラミツク
スと貴金属材料とを化学結合させる方法がとられ
ている。
しかし最近では経済性の点あるいはセラミツク
スの強度を補う必要性から、弾性係数の高いNi
−Cr系、Co−Cr系、Fe系等の卑金属合金が利用
されている。
スの強度を補う必要性から、弾性係数の高いNi
−Cr系、Co−Cr系、Fe系等の卑金属合金が利用
されている。
[発明が解決しようとする問題点]
卑金属合金をセラミツクスとの複合材料に用い
た場合には、貴金属合金材料と同様の接合方法を
行うと、合金表面に析出する酸化物と合金並びに
セラミツクスとの密着性が悪いために、合金とセ
ラミツクスとが剥離し易く、良好な接合体が得ら
れない。
た場合には、貴金属合金材料と同様の接合方法を
行うと、合金表面に析出する酸化物と合金並びに
セラミツクスとの密着性が悪いために、合金とセ
ラミツクスとが剥離し易く、良好な接合体が得ら
れない。
[問題点を解決するための手段]
本発明は上記問題点を解決するためのものであ
り、卑金属合金成形体の表面に合金とセラミツク
スとの双方に接合し易い酸化物層を形成すること
によつて良好な接合体を得るものである。
り、卑金属合金成形体の表面に合金とセラミツク
スとの双方に接合し易い酸化物層を形成すること
によつて良好な接合体を得るものである。
すなわち、本発明の第1発明は卑金属合金成形
体表面に金属クロムをスパツタリングにより積層
した後、加熱して卑金属合金と金属クロムとを反
応させて、表面に緻密な酸化層を形成し、ついで
セラミツクスと接合することを特徴とする金属と
セラミツクスとの接合方法である。又、第2発明
は第1発明において表面に緻密な酸化層を形成し
たのち酸化ケイ素をスパツタリングする方法であ
る。
体表面に金属クロムをスパツタリングにより積層
した後、加熱して卑金属合金と金属クロムとを反
応させて、表面に緻密な酸化層を形成し、ついで
セラミツクスと接合することを特徴とする金属と
セラミツクスとの接合方法である。又、第2発明
は第1発明において表面に緻密な酸化層を形成し
たのち酸化ケイ素をスパツタリングする方法であ
る。
卑金属合金としてはNi−10〜20%Cr系、Co−
Cr系、Fe系などの合金が用いられる。Fe系合金
の一例としてはFe33〜40%、Ni17〜20%、Cr17
〜20%、Co17〜20%、Mn1.3〜1.5%、Si0.4〜0.5
%、Mo6〜10%の組成のものが挙げられる。そ
してスパツタリングにより形成する金属クロムの
膜厚は2000〜3000Åの範囲がよい。
Cr系、Fe系などの合金が用いられる。Fe系合金
の一例としてはFe33〜40%、Ni17〜20%、Cr17
〜20%、Co17〜20%、Mn1.3〜1.5%、Si0.4〜0.5
%、Mo6〜10%の組成のものが挙げられる。そ
してスパツタリングにより形成する金属クロムの
膜厚は2000〜3000Åの範囲がよい。
この金属クロム膜は大気中で800℃で2時間程
度加熱してCr2O3酸化物層に変化させる。
度加熱してCr2O3酸化物層に変化させる。
又、第2発明においてはさらにその上にSiO2
のスパタリング被膜を形成する。
のスパタリング被膜を形成する。
ついでセラミツクス素地を酸化物層に密着させ
て焼結する。使用するセラミツクスは例えば歯科
用の場合、SiO2、Al2O3、K2O、ZrO2などを主成
分とするフリツト磁器が挙げられる。その他耐熱
性セラミツクス材料等が挙げられる。
て焼結する。使用するセラミツクスは例えば歯科
用の場合、SiO2、Al2O3、K2O、ZrO2などを主成
分とするフリツト磁器が挙げられる。その他耐熱
性セラミツクス材料等が挙げられる。
[作用]
卑金属合金成形体表面に積層した金属クロムを
加熱することにより、金属クロムが酸化物に変化
する過程で、合金から析出した酸化物と反応し、
Cr2O3を主成分とした緻密な酸化物層が合金表面
に形成される。この層がセラミツクス層を接合さ
せるための密着性を良くする。又、さらにSiO2
のスパツタリング層を複合させることによつても
良好な密着性が得られる。
加熱することにより、金属クロムが酸化物に変化
する過程で、合金から析出した酸化物と反応し、
Cr2O3を主成分とした緻密な酸化物層が合金表面
に形成される。この層がセラミツクス層を接合さ
せるための密着性を良くする。又、さらにSiO2
のスパツタリング層を複合させることによつても
良好な密着性が得られる。
[実施例]
実施例 1
Ni−20wt%Cr合金を用いロストワツクス法に
より歯科用材料を作製した。次にセラミツクスと
の接合面を細いエメリペーパーで均一に仕上げ、
アルコールにて脱脂および超音波洗浄後、900℃
で5分間加熱の前処理を施す。この前処理は鋳造
応力の緩和、鋳造時の偏析除去ならびにスパツタ
層と合金側酸化物との密着性を考慮した操作であ
るが、セラミツクとの密着性に関しては、かかる
前処理を施さなくても十分所期の効果を達成し得
る。
より歯科用材料を作製した。次にセラミツクスと
の接合面を細いエメリペーパーで均一に仕上げ、
アルコールにて脱脂および超音波洗浄後、900℃
で5分間加熱の前処理を施す。この前処理は鋳造
応力の緩和、鋳造時の偏析除去ならびにスパツタ
層と合金側酸化物との密着性を考慮した操作であ
るが、セラミツクとの密着性に関しては、かかる
前処理を施さなくても十分所期の効果を達成し得
る。
次に前処理後の合金材表面にスパツタリング装
置を用いて金属クロムを2000〜3000Åの膜厚にな
るようにスパツタリングする。スパツタ後800℃
の大気中雰囲気で2時間加熱する。その際金属ク
ロムが酸化物に変化する過程で、合金から析出し
た酸化物と反応し、Cr2O3を主成分とした緻密な
酸化物層が合金表面に形成される。
置を用いて金属クロムを2000〜3000Åの膜厚にな
るようにスパツタリングする。スパツタ後800℃
の大気中雰囲気で2時間加熱する。その際金属ク
ロムが酸化物に変化する過程で、合金から析出し
た酸化物と反応し、Cr2O3を主成分とした緻密な
酸化物層が合金表面に形成される。
上記の方法により形成した酸化物層に、SiO2、
Al2O3、K2O、ZrO2を主成分とする歯科用セラミ
ツクスを被覆して800℃にて焼成した。
Al2O3、K2O、ZrO2を主成分とする歯科用セラミ
ツクスを被覆して800℃にて焼成した。
第1図aはCr2O3酸化物層を形成したときの電
子顕微鏡(日立製H−700型)写真と線分析
(KEVEX社製の分析器7000Qによる)結果を示
すものである。この結果からCrがCr2O3に変化す
る過程でNiOと反応した酸化層を形成しているも
のと考えられる。
子顕微鏡(日立製H−700型)写真と線分析
(KEVEX社製の分析器7000Qによる)結果を示
すものである。この結果からCrがCr2O3に変化す
る過程でNiOと反応した酸化層を形成しているも
のと考えられる。
第1図bはセラミツクスを焼成したものの電子
顕微鏡写真と線分析結果を示すもので、Cr2O3層
のピークは、セラミツクス焼成前(第1図a)に
比べてブロードになることから、Cr2O3とセラミ
ツクス側のSiO2、K2Oなどと拡散層を形成して
接着しているものと考えられる。
顕微鏡写真と線分析結果を示すもので、Cr2O3層
のピークは、セラミツクス焼成前(第1図a)に
比べてブロードになることから、Cr2O3とセラミ
ツクス側のSiO2、K2Oなどと拡散層を形成して
接着しているものと考えられる。
上記の方法により第2図a並びにbに示すよう
な合金1とセラミツクス2との接合試験片をつく
り、引張試験を行つたところ、接合強さは117〜
140Kgf/cm2の値を示し、かつ破断状況も界面で
剥離せず、セラミツクス部で破断して良好な接合
体が得られた。
な合金1とセラミツクス2との接合試験片をつく
り、引張試験を行つたところ、接合強さは117〜
140Kgf/cm2の値を示し、かつ破断状況も界面で
剥離せず、セラミツクス部で破断して良好な接合
体が得られた。
実施例 2
Fe:33.5wt%、Ni:19.5wt%、Cr:19.5wt%、
Co:19.5wt%、Mo:6.0wt%、Mn:1.5wt%、
Si:0.5wt%よりなるオーステナイト系合金を用
い、他は実施例1と同様にしてセラミツクスと接
合した。
Co:19.5wt%、Mo:6.0wt%、Mn:1.5wt%、
Si:0.5wt%よりなるオーステナイト系合金を用
い、他は実施例1と同様にしてセラミツクスと接
合した。
第3図aは合金表面にCr2O3酸化物層を形成し
たときの電子顕微鏡写真並びに線分析結果を示す
もので、Cr2O3酸化物層には合金側から酸化した
Fe2O3も含まれており、反応酸化層が形成された
ものと考えられる。第3図bはセラミツクスと焼
成接合したものについてのものであり、線分析結
果ではCr2O3とFe2O3を主とした酸化層がセラミ
ツクスに含まれているSiO2、K2Oなどと拡散層
を形成している様子がうかがわれる。
たときの電子顕微鏡写真並びに線分析結果を示す
もので、Cr2O3酸化物層には合金側から酸化した
Fe2O3も含まれており、反応酸化層が形成された
ものと考えられる。第3図bはセラミツクスと焼
成接合したものについてのものであり、線分析結
果ではCr2O3とFe2O3を主とした酸化層がセラミ
ツクスに含まれているSiO2、K2Oなどと拡散層
を形成している様子がうかがわれる。
この条件のものについて実施例1と同様に引張
試験を行つたところ、103〜177Kgf/cm2の値で、
破断強度も界面剥離せず、セラミツクス部で破断
した。
試験を行つたところ、103〜177Kgf/cm2の値で、
破断強度も界面剥離せず、セラミツクス部で破断
した。
実施例 3
実施例1においてCr2O3を主成分とした緻密な
酸化物層を形成した後、SiO2層をスパツタリン
グにより形成した。
酸化物層を形成した後、SiO2層をスパツタリン
グにより形成した。
その表面に実施例1と同様にセラミツクス層を
形成したところ、合金材とセラミツクスと良好な
接合体が得られた。
形成したところ、合金材とセラミツクスと良好な
接合体が得られた。
比較例 1
Ni−20wt%Cr合金を用いて実施例1と同様に
して歯科用材料をつくり、前処理を施した。次に
前処理後の合金材表面にスパツタリング装置を用
いてCr2O3層をスパツタリングにより形成した。
して歯科用材料をつくり、前処理を施した。次に
前処理後の合金材表面にスパツタリング装置を用
いてCr2O3層をスパツタリングにより形成した。
この上に実施例1と同様に歯科用セラミツクス
層を形成し、同様の試験をしたところ、界面で剥
離がおこつた。
層を形成し、同様の試験をしたところ、界面で剥
離がおこつた。
[発明の効果]
本発明によれば卑金属合金成形体とセラミツク
スとの良好な接合体が容易に得られ、歯科用材料
あるいは耐熱高強度材料などの製造に有用であ
る。
スとの良好な接合体が容易に得られ、歯科用材料
あるいは耐熱高強度材料などの製造に有用であ
る。
第1図aは実施例1におけるCr2O3酸化物層を
形成したときの結晶の構造を示す電子顕微鏡写真
とオシロ波形、第1図bはセラミツクスを接合し
たときの結晶の構造を示す電子顕微鏡写真とオシ
ロ波形、第2図aは試験片の平面図、同bは側面
図、第3図aは実施例2の製品の結晶の構造を示
す電子顕微鏡写真とオシロ波形、第3図bは同じ
くセラミツクスを接合したときの結晶の構造を示
す電子顕微鏡写真とオシロ波形をそれぞれ示す。 1……合金、2……セラミツクス。
形成したときの結晶の構造を示す電子顕微鏡写真
とオシロ波形、第1図bはセラミツクスを接合し
たときの結晶の構造を示す電子顕微鏡写真とオシ
ロ波形、第2図aは試験片の平面図、同bは側面
図、第3図aは実施例2の製品の結晶の構造を示
す電子顕微鏡写真とオシロ波形、第3図bは同じ
くセラミツクスを接合したときの結晶の構造を示
す電子顕微鏡写真とオシロ波形をそれぞれ示す。 1……合金、2……セラミツクス。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 卑金属合金成形体表面に金属クロムをスパツ
タリングにより積層した後、加熱して卑金属合金
と金属クロムとを反応させて、表面に緻密な酸化
層を形成し、ついでセラミツクスと接合すること
を特徴とする金属とセラミツクスの接合方法。 2 卑金属合金がNi−Cr系、Co−Cr系、Fe系の
合金である特許請求の範囲第1項記載の金属とセ
ラミツクスとの接合方法。 3 スパツタリングにより形成する金属クロムの
膜厚が2000〜3000Åである特許請求の範囲第1項
記載の金属とセラミツクスとの接合方法。 4 卑金属合金成形体表面に金属クロムをスパツ
タリングにより積層した後、加熱して卑金属合金
と金属クロムとを反応させて、表面に緻密な酸化
層を形成し、さらに酸化ケイ素をスパツタリング
により積層し、ついでセラミツクスと接合するこ
とを特徴とする金属とセラミツクスとの接合方
法。 5 卑金属合金がNi−Cr系、Co−Cr系、Fe系の
合金である特許請求の範囲第4項記載の金属とセ
ラミツクスとの接合方法。 6 スパツタリングにより形成する金属クロムの
膜厚が2000〜3000Åである特許請求の範囲第4項
記載の金属とセラミツクスとの接合方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6129887A JPS63230576A (ja) | 1987-03-18 | 1987-03-18 | 金属とセラミツクスとの接合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6129887A JPS63230576A (ja) | 1987-03-18 | 1987-03-18 | 金属とセラミツクスとの接合方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63230576A JPS63230576A (ja) | 1988-09-27 |
| JPH0458431B2 true JPH0458431B2 (ja) | 1992-09-17 |
Family
ID=13167145
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6129887A Granted JPS63230576A (ja) | 1987-03-18 | 1987-03-18 | 金属とセラミツクスとの接合方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63230576A (ja) |
-
1987
- 1987-03-18 JP JP6129887A patent/JPS63230576A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63230576A (ja) | 1988-09-27 |
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