JPH0559331B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は、超LSI、IC等の製造分野等で用い
るクリーンルームに関する。

「従来の技術」 従来の、この種のクリーンルームとしては、第
２図に示すような部分層流型クリーンルームが知
られている。

図において、符号１は天井版、２は床版であ
る。天井版１と床版２との間の室内には、天井部
分に天井板３が設けられており、天井板３の上部
には主空調機（図示せず）からの給気ダクト４が
配設されている。また、天井板３の下部には、給
気チヤンバ５，５，５が形成されており、それら
はULPAフイルタ（又はHEPAフイルタ）６，
６，６を介して下方の空間部と連通されている。
一方、室内の床部には、床版２の上方に開口部を
有する床部である、有孔床（グレーチング、パン
チングメタル等）７が設置されており、それらの
間にはユーテイリテイ領域８が形成されている。
さらに、室内は給気チヤンバ５と有孔床７との間
に立設された間仕切板９，９によつて、作業室１
０とサービス領域１１とに分けられている。間仕
切板９の下部付近には、LSI等の製造装置１２，
１２が配設されており、間仕切板９の下端部には
ダンパー付き間仕切板排気口１３が形成されてい
る。

前記、作業室１０の空間部は、製造装置１２の
上方の装置部領域Ａと、作業室１０のほぼ中央部
で作業者１４が通る通路部領域Ｃとに区分されて
おり、通路部領域Ｃは、人の心理的影響を考慮し
天井部分を高くしてあり、供給チヤンバ５の
ULPAフイルタ６が装置部領域Ａのものより高い
位置に配設されている。また、前記供給チヤンバ
５には、作業者１４の上方に照明器具１５が取り
付けられており、サービス領域１１側には外側に
ダンパー付きガラリ１６を備えたフアン内蔵型の
空調機１７，１７が設けられた構成とされてい
る。

このような、従来の部分層流型クリーンルーム
においては、まず、給気ダクト４を通つて送られ
た清浄空気が、天井に設けられた給気チヤンバ
５，５，５から作業室１０へ吹き出される。作業
室１０へ供給された清浄空気は天井部分から有孔
床７が設けられた床部へ向けて、一方向にほぼ層
流状態で流れ、次いで、ユーテイリテイ領域８か
らサービス領域１１を経て空調機１７に達し、さ
らに、空調機１７から供給チヤンバ５内へ送ら
れ、ULPAフイルタ６を通過して再び作業室１０
へ供給される。

「発明が解決しようとする問題点」 ところが、前記従来のクリーンルームにおいて
は、床部がグレーチング等の有孔床となつている
ため、歩行性が悪く、作業者が疲労し易いととも
に、床下（通常、有孔床と床版との間は1.5m〜
3m程度の深さとなる）が見えて恐怖感を与える
こと、有孔床が作業者の歩行に伴つて振動して製
造装置に悪影響を与えること、また、有孔床から
製造装置の上面までの高さが低いため、床部や作
業者からの発塵が製造装置の上部に拡散し易く、
LSIの歩留まりを低下させる原因となつているこ
と、さらに、通路部領域は人の心理的影響を考慮
して天井部分を高くする必要があり、そのため建
物の階高が高くなり、建設費のコストアツプの原
因となつていること等の問題点があつた。

本発明は、前記問題に鑑みてなされたもので、
作業者が疲労することなく、恐怖感を覚えること
なく、また、製造装置に振動による悪影響を与え
ることのない床部とするとともに、床部や作業者
からの発塵の影響を少なくしてLSIの歩留まりを
高め、さらに、建物の階高を低くして建設費のコ
ストダウンを実現できるクリーンルームを提供す
ることを目的とする。

「問題点を解決するための手段」 本発明は、前記問題点を解決するために、天井
に設けられた空気供給部から、排気用の開口部を
有する床部に向けて清浄空気を流すことによつ
て、室内に設けられた装置部領域及び通路部領域
の空気を清浄な状態に維持するクリーンルーム
の、前記装置部領域及び通路部領域の床部を固定
床で形成し、前記通路部領域の固定床を装置部領
域の固定床の下方に配置し、通路部領域の固定床
と装置部領域の固定床との間を開口部としたもの
である。

「実施例」 以下、図面を用いてこの発明の実施例を説明す
る。第１図は、本発明の一実施例を示すものでク
リーンルームの断面図である。図において、前記
第２図に示した従来のクリーンルームに示す構成
要素と同一の要素については、同一符号を付して
その説明を省略する。

第１図において、装置部領域Ａと通路部領域
Ｃ、即ち、作業室１０付近の床部はコンクリート
製の固定床７ａ，７ａ，７ｂで形成されており、
通路部領域Ｃの固定床７ｂは、その直下のユーテ
イリテイ領域８の余り使用されていない空間を利
用して、装置部領域Ａの固定床７ａより所定寸法
（本実施例においては40cm程度）だけ低い位置に
配設されている。そして、固定床７ａと７ｂとの
間には排気用の開口部２１が形成され、開口部２
１には物が床下に落下しない程度の粗いメツシユ
のガラリ２１ａが取り付けられている。したがつ
て、装置部領域Ａの固定床７ａの上に置かれた製
造装置１２の上面は、通路部領域Ｃの固定床７ｂ
面から高いところに位置しているとともに、この
クリーンルームの建物は、通路部領域Ｃの固定床
７ｂが低くなつた分だけ、天井板３を低くするこ
とが可能となり、その分階高が低くなつた構成と
されている。また、天井板を下げたことに伴い、
装置部領域Ａの給気チヤンバ５のULPAフイルタ
（又はHEPAフイルタ）６が、通路部領域Ｃの
ULPAフイルタ（又はHEPAフイルタ）６と同
レベルの高さに取り付けられており（本実施例に
おいては、給気チヤンバ５の高さ寸法が従来のも
のの２／３程度となる）、そのことにより製造装
置１２の上面からULPAフイルタ６の下面までの
装置部領域Ａの空間を所定の高さに保持してい
る。その他の構成については、第２図に示すクリ
ーンルームと同様である。

つぎに、前記構成のクリーンルームの作用につ
いて説明する。

まず、主空調機から給気ダクト４を通つて送ら
れた清浄空気が、天井に設けられた給気チヤンバ
５，５，５へ供給される。給気チヤンバ５，５，
５へ供給された清浄空気はULPAフイルタ（又は
HEPAフイルタ）６，６，６を通過して作業室
１０内へ吹き出される。吹き出された清浄空気
は、主に３種類の流路を通つて、再び、給気チヤ
ンバ５，５，５へ還気される。

まず、第１の流路は、装置部領域Ａの給気チ
ヤンバ５から吹き出された清浄空気が製造装置１
２の上面を通つた後、間仕切板排気口１３を通過
してサービス領域１１に達し、次いで空調機１７
を経て給気チヤンバ５へ戻る流路。つぎに、第２
の流路は、同様に装置部領域Ａの給気チヤンバ
５から吹き出された清浄空気が製造装置１２の上
面を通つた後、作業者１４を包み込むようにして
固定床７ａと７ｂとの間の開口部２１を通過して
ユーテイリテイ領域８に達し、次いでサービス領
域１１を通過した後空調機１７を経て給気チヤン
バ５へ戻る流路。第３の流路は、通路部領域Ｃ
の給気チヤンバ５から吹き出された清浄空気が、
頭部から作業者１４を包むようにして、開口部２
１から前記流路とともに給気チヤンバ５へ戻る
流路である。

ここで、最も清浄な環境を維持したい領域は、
製造装置１２の上面、即ち、ウエハーカセツトの
ロード、アンロードの部分を含む装置部領域Ａで
ある。したがつて、清浄空気を吹き付けることに
よつて、装置部領域Ａの塵埃を直接的に排除する
とともに、作業者１４や固定床７ｂからの塵埃の
拡散を阻止することが必要であり、この条件を満
たすように、流路を流れる清浄空気が製造装
置１２の上面のシールを行なう。

特に、本実施例では、流路を流れる清浄空気
は、装置部領域Ａから通路部領域Ｃへ向かう、横
方向の大きな速度ベクトルを有した気流形状とな
つており、これによつて、通路部領域Ｃからの塵
埃の拡散を防止することができるばかりでなく、
製造装置１２が載置されている固定床７ａが通路
部領域７ｂの固定床７ｂから高い位置にあるた
め、それけ製造装置１２の上面が固定床７ｂから
高くなつており、作業者１４の身体の大部分が製
造装置１２の上面より下に位置する（本実施例に
おいては、固定床７ｂから製造装置の上面までの
高さを140cm程度とする）ことになり、そのこと
によつて作業者１４や固定床７ｂから発生する塵
埃の侵入を防止している。

したがつて、本実施例においては、製造装置１
２の上面を超清浄に維持することができるととも
に、作業室１０内に供給された清浄空気を固定床
７ａと７ｂとの間に設けた開口部２１から排気す
ることができるため、床部を固定床７ａ，７ｂと
することができ、さらに、装置部領域Ａと通路部
領域Ｃとの固定床７ａと７ｂを分離することによ
り、固定床７ｂが作業者１４の歩行に伴つて振動
したり、振動が製造装置１２に伝達したりするこ
とが少なくなつて悪影響を与えることがなく、製
造装置１２で製造するLSI等の歩留まりを高まる
ことができる。また、固定床７ｂは歩行性が良
く、作業者１４に疲労を与えることが少ないとと
もに、床下が見えることなく恐怖感を与えること
もない。また、通路部領域Ｃの床部を低くするこ
とにより、天井板３を低くすることができ、その
結果、建物の階高を低くすることができ、建設費
のコストダウンを実現できる。さらに、本実施例
においては、固定床７ａとサービス領域１１の床
部７とが同一平面上に形成されているため、製造
装置１２のメンテナンスや交換を行う際に、製造
装置１２を容易にサービス領域１１に引き出すこ
とが可能である。

なお、固定床７ａ，７ｂは、施工法を考慮して
PC板（プレキヤスト・コンクリート・プレート）
を用いてもよく、作業者１４の身長が低い場合を
鑑みて、固定床７ｂに移動式の踏み台を設けるよ
うにしてもよい。また、製造装置１２の振動をさ
らに完全に防止するために、製造装置１２の脚部
に防振ゴム等の防振装置を取り付けるようにして
もよい。

「発明の効果」 以上説明したように本発明のクリーンルーム
は、装置部領域及び通路部領域の床部を固定床で
形成し、通路部領域の固定床を装置部領域の固定
床の下方に配置し、通路部領域の固定床と装置部
領域の固定床との間を開口部としたものであるの
で、歩行性が良く、作業者が疲労することが少な
いとともに、恐怖感を覚えることがなく、また、
床部が作業者の歩行に伴つて振動したり、振動の
伝達が少なくなり、製造装置に悪影響を与えるよ
うなことがないとともに、通路部領域の固定床か
ら製造装置の上面までの高さが高くなるため、床
部や作業者からの発塵が製造装置の上部に拡散す
るのを大幅の減少させ、LSIの歩留まりを高める
ことができる。さらに、建物の階高を低くするこ
とができ、建設費のコストダウンを実現すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すものであり、
クリーンルームの側断面図、第２図は従来の技術
を示すクリーンルームの側断面図である。 ５……給気チヤンバ（空気供給部）、７ａ，７
ｂ……固定床（床部）、２１……開口部、Ａ……
装置部領域、Ｃ……通路部領域。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 天井に設けられた空気供給部から、排気用の
   開口部を有する床部に向けて清浄空気を流すこと
   によつて、室内に設けられた装置部領域及び通路
   部領域の空気を清浄な状態に維持するクリーンル
   ームの、前記装置部領域及び通路部領域の床部を
   固定床で形成し、前記通路部領域の固定床を装置
   部領域の固定床の下方に配置し、通路部領域の固
   定床と装置部領域の固定床との間を開口部とした
   クリーンルーム。