JPH0632303B2 - Method for forming electroluminescence panel - Google Patents
Method for forming electroluminescence panelInfo
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- JPH0632303B2 JPH0632303B2 JP61085379A JP8537986A JPH0632303B2 JP H0632303 B2 JPH0632303 B2 JP H0632303B2 JP 61085379 A JP61085379 A JP 61085379A JP 8537986 A JP8537986 A JP 8537986A JP H0632303 B2 JPH0632303 B2 JP H0632303B2
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- electroluminescence panel
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- zinc
- manganese
- sulfur bond
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は平面ディスプレイ等に使用されるエレクトロル
ミネッセンスパネル及びその形成方法に関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electroluminescence panel used for a flat display and the like and a method for forming the same.
従来の技術 従来よりエレクトロルミネッセンスパネルはコンピュー
タ端末や液晶のバックライト等に広く使用されている。2. Description of the Related Art Conventionally, electroluminescence panels have been widely used for computer terminals and liquid crystal backlights.
これらのエレクトロルミネッセンスパネルはスパッタリ
ング法、蒸着法、MOCVD法等によって基板上に形成
されていた。また、スクリーン印刷法等によっても形成
されていた。These electroluminescent panels have been formed on a substrate by a sputtering method, a vapor deposition method, a MOCVD method or the like. It was also formed by a screen printing method or the like.
発明が解決しようとする問題点 上記のような従来のエレクトロルミネッセンスパネルの
形成方法は、真空容器中で行われるために生産性が悪
く、連続操業が困難であるか、あるいは非常に高額の生
産設備を必要とするものであった。また、真空容器の大
きさで製品の大きさを規定され、大面積の製造が困難で
ある等の問題点を有していた。さらに、スクリーン印刷
法では、生産性が良く、大面積の製造が容易であるが、
透明なエレクトロルミネッセンスパネルを形成できない
等の問題点を有していた。Problems to be Solved by the Invention The above-described conventional method for forming an electroluminescence panel has poor productivity because it is carried out in a vacuum vessel, and continuous operation is difficult, or a very expensive production facility. Was needed. In addition, the size of the product is regulated by the size of the vacuum container, which makes it difficult to manufacture a large area. Furthermore, although the screen printing method has good productivity and can easily manufacture a large area,
It has a problem that a transparent electroluminescence panel cannot be formed.
問題点を解決するための手段 上記問題点を解決するために本発明は、亜鉛−硫黄結合
を少なくとも一つ内部に有する有機亜鉛化合物にドープ
剤としてマンガン−硫黄との結合を少なくとも一つ内部
に有する有機マンガン化合物と混合したものを基板上に
形成し、酸化雰囲気中で熱分解により形成することと、
或いは、熱分解後不活性雰囲気中で焼成により形成する
ことである。Means for Solving the Problems In order to solve the above problems, the present invention provides an organozinc compound having at least one zinc-sulfur bond in the interior thereof with at least one manganese-sulfur bond as a dopant. Forming a mixture with an organic manganese compound having on a substrate, by thermal decomposition in an oxidizing atmosphere,
Alternatively, it is formed by firing in an inert atmosphere after thermal decomposition.
本発明に使用できる亜鉛−硫黄結合を少なくとも一つ内
部に有する有機亜鉛化合物としては、各種亜鉛メルカプ
チド、各種チオカルボン酸、またはジチオカルボン酸の
亜鉛塩等を挙げることができる。Examples of the organozinc compound having at least one zinc-sulfur bond inside it that can be used in the present invention include various zinc mercaptides, various thiocarboxylic acids, and zinc salts of dithiocarboxylic acids.
ドープ剤としてマンガン−硫黄との結合を少なくとも一
つ内部に有する有機マンガン化合物としてはマンガンの
メルカプチド、チオカルボン酸塩、ジチオカルボン酸塩
等を挙げることができる。Examples of the organic manganese compound having at least one manganese-sulfur bond inside as a doping agent include manganese mercaptide, thiocarboxylic acid salt, and dithiocarboxylic acid salt.
基板としては、熱分解温度に耐えるものであれば任意に
選ぶことができる。通常熱分解温度は320〜450℃
程度であるため、安価なソーダ石灰ガラス等を十分使用
できる。Any substrate can be selected as long as it can withstand the thermal decomposition temperature. Usually pyrolysis temperature is 320-450 ℃
Since it is about the level, inexpensive soda lime glass or the like can be sufficiently used.
熱分解は、大気中や酸素雰囲気中等の酸化雰囲気中で行
うことにより有機分である炭素や水素を完全に分解する
ことができる。また、より焼結度を増すために高温に上
げる場合は、酸化雰囲気中で硫化亜鉛薄膜が酸化され、
酸化物が含まれた薄膜になるため、熱分解後不活性雰囲
気中で焼成することが有効である。The thermal decomposition can be carried out in the air or in an oxidizing atmosphere such as an oxygen atmosphere to completely decompose organic components such as carbon and hydrogen. Also, when the temperature is raised to a high temperature to increase the degree of sintering, the zinc sulfide thin film is oxidized in an oxidizing atmosphere,
Since it becomes a thin film containing an oxide, it is effective to perform baking in an inert atmosphere after thermal decomposition.
作用 上記本発明の手段を用いることにより、従来の方法の問
題となっている真空容器を使用せずに、エレクトロルミ
ネッセンスパネルを形成できるため、製造に関して、生
産性の向上が計られ、かつ大面積の製造を容易に行うこ
とができ、透明のエレクトロルミネッセンスパネルを形
成できる等の作用がある。By using the means of the present invention, it is possible to form an electroluminescence panel without using a vacuum container, which has been a problem of the conventional method, and therefore, in terms of manufacturing, productivity is improved, and a large area is obtained. Can be easily manufactured, and a transparent electroluminescence panel can be formed.
実施例 以下、実施例により図面を参照しながら本発明を説明す
る。EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings by examples.
<実施例1> 図に示すように、亜鉛ラウリルメルカプチド、マンガン
オクチルメルカプチドをテトラリンに混合、溶解したも
のをパイレックスガラス1に透明電極2を設け、その上
に誘電体層3を設けた基板4上にスピナーにて塗布し、
150℃で乾燥し溶媒を揮散させた後、大気中で450
℃、1時間熱分解して硫化物5を形成する。その上に誘
電体層6を設け、アルミ電極7を設ける。そして、透明
電極2、アルミ電極7間に交流電圧を印加した結果、硫
化亜鉛にマンガンをドープしたエレクトロルミネッセン
スパネル特有の黄橙色の発光が見られた。<Example 1> As shown in the figure, a substrate in which zinc lauryl mercaptide and manganese octyl mercaptide are mixed and dissolved in tetralin and a transparent electrode 2 is provided on a Pyrex glass 1 and a dielectric layer 3 is provided thereon. Apply it on 4 with a spinner,
After drying at 150 ° C and evaporating the solvent, 450 in the air
Pyrolysis is performed at 1 ° C. for 1 hour to form a sulfide 5. A dielectric layer 6 is provided thereon, and an aluminum electrode 7 is provided. Then, as a result of applying an AC voltage between the transparent electrode 2 and the aluminum electrode 7, yellow-orange emission peculiar to an electroluminescence panel in which manganese is doped in zinc sulfide was observed.
<実施例2> 亜鉛ラウリルメルカプチド、マンガンオクチルメルカプ
チドをテトラリンに混合、溶解したものをパイレックス
ガラスに透明電極を設け、その上に誘電体層を設けた基
板上にスピナーにて塗布し、150℃で乾燥し溶媒を揮
散させた後、大気中で450℃、30分熱分解する。そ
の後、窒素気流中で650℃、1時間焼成して硫化物を
形成する。その上に誘電体層を設け、アルミ電極を設け
る。そして、透明電極、アルミ電極間に交流電圧を印加
した結果、硫化亜鉛にマンガンをドープしたエレクトロ
ルミネッセンスパネル特有の黄橙色の発光が見られた。<Example 2> Zinc lauryl mercaptide and manganese octyl mercaptide were mixed and dissolved in tetralin, and a transparent electrode was provided on Pyrex glass, and a substrate having a dielectric layer thereon was coated with a spinner to form 150. After drying at ℃ and volatilizing the solvent, it is thermally decomposed in the air at 450 ℃ for 30 minutes. Then, it is fired in a nitrogen stream at 650 ° C. for 1 hour to form a sulfide. A dielectric layer is provided thereon and an aluminum electrode is provided. Then, as a result of applying an AC voltage between the transparent electrode and the aluminum electrode, yellow-orange emission peculiar to an electroluminescence panel in which manganese is doped in zinc sulfide was observed.
発明の効果 以上のように本発明のエレクトロルミネッセンスパネル
及びその形成方法は、亜鉛−硫黄結合を少なくとも一つ
内部に有する有機亜鉛化合物にドープ剤として硫黄との
結合を少なくとも一つ内部に有する有機金属化合物と混
合したものを基板上に形成し、酸化雰囲気中で熱分解に
より形成することと、あるいは熱分解後不活性雰囲気中
で焼成により形成することにより、スパッタリング法、
蒸着法、MOCVD法に比較して、生産性の向上が計ら
れ、非常に高額の設備を必要とせず、大面積の製造を容
易に行うことができ、また透明なエレクトロルミネッセ
ンスパネルを形成することができ、その実用的効果は大
なるものがある。EFFECTS OF THE INVENTION As described above, the electroluminescence panel and the method for forming the same according to the present invention include an organometallic compound having at least one zinc-sulfur bond in its interior and at least one sulfur-containing bond in the organozinc compound. By forming a mixture with a compound on a substrate and forming it by thermal decomposition in an oxidizing atmosphere, or by forming it by firing in an inert atmosphere after thermal decomposition, a sputtering method,
The productivity is improved as compared with the vapor deposition method and the MOCVD method, a very large amount of equipment is not required, a large area can be easily manufactured, and a transparent electroluminescence panel is formed. Can be done, and its practical effect is great.
図は本発明の実施例によるエレクトロルミネッセンスパ
ネルの構成を示す断面図である。 1……パイレックスガラス、2……透明電極、3,6…
…誘電体層、4……基板、5……硫化物、7……アルミ
電極。FIG. 1 is a sectional view showing the structure of an electroluminescence panel according to an embodiment of the present invention. 1 ... Pyrex glass, 2 ... Transparent electrode, 3, 6 ...
… Dielectric layer, 4 …… Substrate, 5 …… Sulfide, 7 …… Aluminum electrode.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−243286(JP,A) 特開 昭62−243285(JP,A) 特開 昭61−195585(JP,A) 特開 昭60−124395(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) Reference JP 62-243286 (JP, A) JP 62-243285 (JP, A) JP 61-195585 (JP, A) JP 60- 124395 (JP, A)
Claims (2)
する有機亜鉛化合物にドープ剤としてマンガン−硫黄と
の結合を少なくとも一つ内部に有する有機マンガン化合
物と混合したものを基板上に形成し、酸化雰囲気中で熱
分解により形成することを特徴とするエレクトロルミネ
ッセンスパネルの形成方法。1. A mixture of an organozinc compound having at least one zinc-sulfur bond in the interior thereof and an organomanganese compound having at least one manganese-sulfur bond therein as a dopant is formed on a substrate, A method for forming an electroluminescence panel, which is characterized in that it is formed by thermal decomposition in an oxidizing atmosphere.
する有機亜鉛化合物にドープ剤としてマンガン−硫黄と
の結合を少なくとも一つ内部に有する有機マンガン化合
物と混合したものを基板上に形成し、酸化雰囲気中で熱
分解した後、不活性雰囲気中での焼成により形成するこ
とを特徴とするエレクトロルミネッセンスパネルの形成
方法。2. A mixture of an organozinc compound having at least one zinc-sulfur bond in its interior with an organomanganese compound having at least one manganese-sulfur bond in its interior as a dopant is formed on a substrate, A method for forming an electroluminescence panel, which comprises performing pyrolysis in an oxidizing atmosphere and then baking the same in an inert atmosphere.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61085379A JPH0632303B2 (en) | 1986-04-14 | 1986-04-14 | Method for forming electroluminescence panel |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61085379A JPH0632303B2 (en) | 1986-04-14 | 1986-04-14 | Method for forming electroluminescence panel |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62243287A JPS62243287A (en) | 1987-10-23 |
| JPH0632303B2 true JPH0632303B2 (en) | 1994-04-27 |
Family
ID=13857093
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61085379A Expired - Lifetime JPH0632303B2 (en) | 1986-04-14 | 1986-04-14 | Method for forming electroluminescence panel |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0632303B2 (en) |
-
1986
- 1986-04-14 JP JP61085379A patent/JPH0632303B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62243287A (en) | 1987-10-23 |
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