JPH0669062B2 - 偏平物体の高速自動搬送装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の技術分野） 本発明はウエハの如き板状物体や偏平容器内の収納物等
の検査、製造を自動あるいは半自動で行なうために、板
状物体や偏平容器等の偏平物体を搬送する自動搬送装置
に関するものである。

（発明の背景） 周知のとうり、半導体素子の製造、検査等の市場要求の
１つに短時間で処理を行なえることがある。例えば、ウ
エハ外観検査においてはウエハの観察は顕微鏡等を用
い、人手により検査判定を行うことが多い。従って短時
間で且つ効率良い作業を行なうには観察者の待ち時間
（カセットからウエハが送られ観察できるまでの時間）
ができる限り短いことが必要とされる。第13図は従来の
ウエハ外観検査装置に用いられているウエハ自動搬送装
置の一例の概要図である。

上下方向（紙面に垂直な方向）にウエハ収納部を並設し
たカセット81は、不図示の第１カセット載置装置によっ
てウエハ収納部が順次所定高さ位置に位置決めされる。
ウエハの押出し押戻し装置を有するものでは（ウエハの
押出し部材89A,89Bをカセットの前後に配設し、カセッ
ト81からのウエハの押出しは部材89Bの右方直線移動
で、カセット81へのウエハの収納（押戻し）は部材89A
の上昇かつ左方移動で行なう部材89a,89Bの駆動はウエ
ハの存否を検出する光電センサ等の出力により行なう。
なお、この場合一対のベルト84はカセット外に出てい
る。）カセット81をセンダ用（処理前のウエハ収納
用）、レシーバ用（処理後のウエハ収納用）に併用でき
る。一対のベルト（搬送ベルト）84の一端は上述の所定
位置にあるウエハ収納部のウエハをカセット81から引き
出し搬送するために、所定高さ位置に位置しており、他
端はカセット81に対峙した第２カセット82の所定高さ位
置に位置している（ウエハの押出し押戻し装置は一対の
ベルト84と共にウエハの搬出、搬入のための搬送装置を
構成する。一対のベルト84は左右のプーリ（不図示）に
よって一体に回転移動されるように各々ループ（輪）状
に形成され、一方のプーリをモータにて回転制御する構
成でる。第２カセット82に並置されて第３カセット83が
配設され、一対のベルト84に直交して一対のベルト85が
設けられ、ベルト84に直交して一対のベルト86が第３カ
セット83の所定高さ位置に一端が位置するように設けら
れている。一対のベルト84の途中には位置合せ装置87が
設けられ、位置合せ装置87と不図示の顕微鏡ステージと
の間でウエハの受渡しを行なう受渡しアーム88が設けら
れている。また、一対のベルト84と一対のベルト85の交
差位置及び一対のベルト85と一対のベルト86の交差位置
にはウエハの検出器T₁,T₂が配設されている。検出器T₁,
T₂はウエハが上方にきたことを検出し、不図示の制御装
置に検出信号を出力する。制御装置は動作手順指令信号
と検出信号とによって、搬送ベルト84,85,86の回転駆動
を制御すると共に、位置合せ装置84、受渡しアーム88の
動作をも制御する。通常の使い方としては、カセット81
をセンダ用（処理前のウエハ収納用）とし、カセット8
2,83をレシーバ用（処理後のウエハ収納用）とする。ウ
エハはカセット81→搬送ベルト84→位置合せ装置87→受
渡しアーム88→処理装置（図示せず）→受渡しアーム88
→位置合せ装置87→搬送ベルト84を経由してカセット82
あるいはカセット83に収納される。ここでカセット82に
収納される場合ウエハは搬送ベルト84から一直線にカセ
ット82に収納される。ウエハをカセット83に収納する場
合は、位置合せ装置87のウエハは搬送ベルト84で右方へ
送られ位置T₁で停止する。そして搬送ベルト85が上昇
（搬送ベルト84,86のベルト上面より高い位置）。搬送
ベルト85回転位置T₂で停止。搬送ベルト85下降（初期位
置）。そして搬送ベルト86が回転し、ウエハはカセット
83へ収納される。又、この種の装置（ウエハ外観検査装
置等）において、ウエハの処理終了後の判定によってカ
セット81〜83を使い分ける。従来の装置ではカセット81
がセンダ用（専用）であり、カセット82,83を処理後の
良（合格）、不良（不合格）用に使用する。前にのべた
のがこの使い方である。（２種に判定） この他ウエハ処理後の判定に良、不良、再生３種にふる
いわける場合がある。この時は前述した如く搬送ベルト
と共に押出し、押戻し装置（カセット載置装置にウエハ
の押出し、押戻し装置をそなえたもの、………89A,89
B）を併用することによりカセット81をセンダ、レシー
バ併用することができる。つまりカセット81をウエハ判
定後のレシーバとして使用するウエハの流れは処理後、
受渡しアーム88→位置合せ装置87→搬送ベルト84→カセ
ット81となる。従ってこの場合には、次に処理するウエ
ハは処理終了したウエハがカセット81に戻らないと、カ
セット81から出すことができない。又ウエハの戻る位置
と出る位置で、カセット位置が異なる為、カセット載置
装置によるカセット81の上下動時間も付加され、観察者
の待ち時間が長くなり、ウエハ処理時間（スループッ
ト）が長くなるという欠点がある。

（発明の目的） 本発明は従来の問題点を除去し、一つのカセットを搬
出、搬入に共用するに際し、スループット（処理時間）
を向上させることを可能な自動搬送装置を提供すること
を目的とするものである。

（発明の概要） 本発明は、上下方向に偏平物体の収納部を並設したカセ
ットを上下に移動せしめ、前記収納部のいずれかを所定
高さ位置に位置決めするカセット載置装置（1A）と、搬
送されてきた偏平物体の平面内での位置合せを行なう位
置合せ装置（17）と、前記カセット載置装置と前記位置
合せ装置との間に直線的に設けられ、前記所定高さ位置
の収納部に存在する偏平物体の搬出及び未収納の収納部
への偏平物体の搬入を行なう第１搬送装置（4,5）と、
偏平物体を処理するための処理装置（20）と、前記位置
合せ装置と前記処理装置との間で偏平物体を搬送する第
２搬送装置（18）と、前記カセット載置装置，前記位置
合せ装置，前記第１搬送装置，前記第２搬送装置の駆動
制御を行う制御装置（20）と，を有する自動搬送装置に
おいて、 前記第１搬送装置を前記載置装置側の第１部分（４）と
前記位置合せ装置側の第２部分（５）とに各々を独立し
て制御自在に２分し、前記第２部分の前記第１部分側に
偏平物体の存否を検出する検出器（10）を設けると共
に、前記位置合せ装置の偏平物体を保持部（19B）によ
って保持し前記第１部分に受渡すアーム（19A）を有す
る第３搬送装置（19）を設け、 前記制御装置（20）は、前記位置合せ装置の偏平物体
（ｎ枚目）が前記第２搬送装置に移ってから再び戻って
くるまでの間（207〜209）にカセット内の新たな偏平物
体（ｎ＋２枚目）を前記第１部分と前記第２部分とによ
って搬送すると共に前記検出器からの検知信号によって
前記第１部分と前記第２部分の駆動を停止して該新たな
偏平物体（ｎ＋２枚目）を前記位置合せ装置の前方に待
機させ、前記位置合せ装置に再び戻った偏平物体（ｎ枚
目）を前記アームに保持せしめて前記第１部分に受渡
し、該アームによる保持から前記第１部分に受渡すまで
の間（209〜210）に前記第２部分を駆動して前記待機し
ている新たな偏平物体（ｎ＋２枚目）を前記位置合せ装
置まで搬送する（211）ように制御することを特徴とす
る自動搬送装置である。

〔実施例〕

以下、図面に示した実施例に基づいて本発明を説明す
る。

第１図は本発明の第１実施例であって、上下方向（紙面
に垂直な方向）にウエハ収納部を並設したカセット１を
上下に移動せしめ、カセットのウエハ収納部を順次所定
高さ位置に位置決めする第１カセット載置装置1Aが設け
られている。第１カセット載置装置1Aは、固定部材に設
けた２軸ガイド軸に移動部材に設けたボールブッシュが
上下スライドする構造によって上下動自在に構成されて
おり、移動部材の上下動は、固定部材に設けた送りねじ
に移動部材に設けたナットを螺合し、位置決め等をオー
プンループで可能なステッピングモータによって送りね
じを回転駆動している。ステッピングモータの代わりに
DCモータにエンコーダを組合せたものを用いても同様で
ある。なお、上下動方向の切換えは、モータの正，逆回
転によって容易に行いうる。

一端を所定高さ位置においてカセット１に対抗するよう
におかれた第１搬送ベルト（従来と同様の一対の平行な
ベルト）４及び第１搬送ベルト４に直線的に連続する第
２搬送ベルト５が配設されている。また、カセット内の
ウエハを搬出し、またはカセット内にウエハを搬入する
ために、周知の構造であるウエハの押出し部材89B、押
戻し部材89Aを有する押出し、押戻し装置が設けられて
いる。これら搬送ベルト4,5はウレタン系の材料にてル
ープ状に形成され、ベルトの回転移動は周知の如く、DC
モータとベルトプーリにて行ない、回転方向の切換えは
モータの正、逆回転により行なわれる。

第２搬送ベルト５の第１搬送ベルト４の他端に対抗しな
い方の端（他端）近傍にはウエハの位置合せ装置17が配
設されている。この位置合せ装置17は、第２搬送ベルト
５によって左から右へ搬送されてきたウエハを停止する
ストッパ部17A、ウエハを真空吸着、回転する吸着回転
部17C、ウエハを３本のローラピンに押圧する押し付け
部17B等から構成されている。

第１カセット載置装置1Aに対して搬送ベルト４によるウ
エハの搬送方向に直交する方向に第２カセット載置装置
1Bが並設されており（図では紙面内上方）、第２カセッ
ト載置装置1Bには上下方向にウエハ収納部を並設したカ
セット２が載置されている。ウエハ位置合せ装置17に対
して第２カセット載置装置1Bに対峙するように第３カセ
ット載置装置1Cが並設されている。第２カセット載置装
置1B、第３カセット載置装置1Cは第１カセット載置装置
1aと同構造である。第３カセット載置装置1Cにはカセッ
ト３が載置されている。第３搬送ベルト７が第１搬送ベ
ルト４と並設され、一端が第３搬送ベルト７の他端に対
峙し、他端が所定位置においてカセット３内にわずか挿
入された第４搬送ベルト６が第２搬送ベルト５に並設さ
れている。なお、第３搬送ベルト７側にもウエハの押出
し部材89B、押戻し部材89Aを有する押出し、押戻し装置
が設けられている。また、第１搬送ベルト４と第３搬送
ベルト７とを連結するように両者に直交した第５搬送ベ
ルト８が配設されている。

第３搬送ベルト7,第４搬送ベルト6,第５搬送ベルト８は
既に述べた搬送ベルトと同様であるが、搬送ベルト８に
はさらに、回転移動と共にベルト８全体を上下動する装
置が設けられている。搬送ベルト８を使用しない状態
（下死点）では搬送ベルト８上面位置（高さ方向）は搬
送ベルト4,7のベルト上面より下がった位置にある。又
使用時は、搬送ベルト８上面位置が搬送ベルト4,7のベ
ルト上面より上がった位置で停止した状態（上死点）に
なる。この上下動駆動には高速化が可能なエアシリンダ
を採用しているが、勿論各種モータ等別の駆動源を用い
ても良い。

ウエハ処理装置20は第２搬送ベルト５に対し第４搬送ベ
ルト６とは反対側に設けられ、Ｘ−Ｙステージ，観察装
置等を含むものであるが、図ではウエハを吸着保持する
シリンダ20Aのみを示した。シリンダ20Aのウエハ保持は
真空吸着、またシリンダ20Aには回転機構が設けてあ
る。Ｘ−Ｙステージストロークはウエハ全域移動（例え
ば６インチウエハなど150mm）可能な量とし、位置精度
が必要な為、DCサーボモータにエンコーダを組合せて構
成している。

ウエハ位置合せ装置17とシリンダ20Aの間には、各々の
間でウエハの受渡しを行なう受渡し装置を構成するアー
ム18が設けられている。アーム18によるウエハの保持は
真空吸着で行なわれ、アーム回転駆動にはオープンルー
プで使用可能なステッピングモータを採用している。

また、第２搬送ベルト５と第４搬送ベルト６の間には、
ウエハ位置合せ装置17のウエハを第１搬送ベルト４、第
４搬送ベルト６に受渡す補助の受渡し装置19が設けられ
ている。この補助の受渡し装置19は先端にウエハの吸着
部19Bを有する補助アーム19Aを有している。補助の受け
渡し装置19の構造については後述する。

第１搬送ベルト４と第５搬送ベルト８の交差位置、第２
搬送ベルト５の一端近傍、第３搬送ベルト７と第５搬送
ベルト８の交差位置、第４搬送ベルト６の一端近傍には
ウエハの存否を検出するための光電検出器9,10,13,12が
配設され、位置合せ装置17にもウエハの切欠部を検出す
るための光電検出器11が配設されている。

ウエハ処理装置20の左右には、キーボード部21、ジョイ
スティック部22が設けられると共に、筺体25にコード24
にて接続した制御部23が設けられ、キーボード部21,ジ
ョイスティック部22,制御部23,光電検出器9,10,11,12,1
3,搬送ベルト4,5,6,7,8の回転移動の制御やアーム18,1
9,の制御等を行なう各種モータ（後述する）等によって
制御装置が構成される。

上述した補助の受渡し装置19の構造を平面図である第２
図，第２図のＸ−Ｘ断面図である第３図にて説明する
に、補助の受渡し装置19は処理終了したウエハ（良，不
良，再生などに判定分類される）を決められたカセット
へ収納する為にウエハを収納すべく選択されたカセット
に一番近い搬送ベルト（16あるいは４）上にウエハを渡
すものであり、補助アーム19Aを回転、上下動およびリ
ニアに移動できる。

アーム19Aの回転は、モータ54の回転をモータ54の回転
軸に固定のプーリ53Bとアーム回転軸に一体の大プーリ5
3Aとの間のタイミングベルト53にてアーム回転軸52に伝
え、アーム回転軸52に固定されたアーム19Aを回転させ
る。軸受55にはアンギュラコンタクト型ベアリング56を
用い、アーム回転軸52まわりのスラストおよびラジアル
荷重を受せ、アーム19Aが低摩擦で回転可能な構造にな
っている。尚、モータ54には、オープンループで回転制
御が可能なステッピングモータを採用している。アーム
19Aの上下動は、２本の丸ガイド軸57A,57B上を軸受55に
取付けられた６ケのベアリング58がころがる構造で、駆
動はDCモータ（図示せず）の回転を円筒カム59のカム面
に軸受55に固定のコロ55aを載置する構成にて直線運動
（上下運動）に変換し、軸受55が上下動する。つまり、
軸受55アーム19A、アーム回転軸52は一体で上下動す
る。尚、上下動時アーム回転軸52はキー60により大プー
リ53Aの軸上をスランドする。アーム51のリニア運動
は、ケーシング64の両端に取付けられたボールブッシュ
62が筺体25に固定したリニアガイド軸61上をスライドす
る構造で、駆動はエアシリンダ63にて行なっている。エ
アシリンダ63のシリンダは筺体25に固定され、ピストン
63aがケーシング64に固定されている。また、リニアガ
イド軸61の反対側（第２図では上方）の筺体25にはリニ
アガイド面25′が形成され、ケーシング64に固設のコロ
64aがリニアガイド面25′に載置されている。

第４図は補助アーム19Aの各状態図、第５図は補助アー
ム19Aの上，中，下位置状態図である。各々の動作、状
態を第4,5図にて説明する。補助アーム19Aの初期状態
は、補助アーム19Aの先端のウエハ吸着部19Bの中心が位
置S4に上面が高さH1にある。尚、高さＨは搬送ベルト5,
6のベルト上面位置である。処理終了したウエハは、受
渡しアーム18により位置合せ装置17上に送られる。それ
とほぼ同時に補助アーム19Aは高さH1の状態でウエハの
吸着部19Bが位置S3にくるまで回転する。（このときの
回転角θ１）。次にウエハ吸着部19Bは高さH2に上がり
ウエハを真空吸着する（それによってウエハは受渡しア
ーム18から補助アーム19Aに渡される）。次にウエハを
どのカセット（１〜３）に収納するかにより２通りの動
きのうち何れかの動きを行なう。先ずウエハをカセット
２あるいはカセット３に収納する場合を説明する。補助
アーム19Aは高さH2の状態で位置S4まで回転し（回転角
θ１）、ウエハの吸着を解除する。そして補助アーム19
はベルト６の凹部を通って高さH3に下降し、ウエハを搬
送ベルト６上にのせる。これから搬送ベルト6,7が回転
移動し、収納すべきカセット2,3の何れかに入る。ウエ
ハがカセットに入ったと同時に補助アーム19Aは初期位
置（位置S4,高さH1）に戻る。次にウエハをカセット１
へ収納させる場合であるが、補助アーム19Aは、高さH2
状態のまま回転角θ２まで回転しながらリニア運動にて
Ａ点からＢ点に移動する。（ウエハ吸着部19Aは位置S1
にくる）。尚、この回転およびリニア運動は並行動作で
行なえる。次にウエハの吸着を解除し、搬送ベルト8,4
の凹部（３つのプーリによってＶ字形の凹部を形成すれ
ば良い。なお，ベルトを２つに分離し、各ベルトを１つ
のプーリに掛けるようになしても良い。）を高さH3に下
降し、ウエルは搬送ベルト４上にのせる。ここから搬送
ベルト４が回転し、ウエハはカセット１に収納される。
そして補助アーム19Aは高さH1まで上がり初期位置（位
置S4,高さH1）に戻る。以上が補助アーム19Aの動作であ
る。尚、各々の動作機構はその目的機能が達成できれば
何れの方法でも良い。例えば、エアシリンダ63はリード
スクリューとモータの組合せに置き換えても構わない。

次に電気処理に係る構成につき説明する。第６図はブロ
ック図であって、制御装置23には光電検出器9,10,11,1
2,13からウエハの存否の信号が入力され、第１ウエハ載
置装置1A,第２ウエハ載置装置1B,第３ウエハ載置装置1
C,第１搬送装置A400,第１搬送装置B500,第２搬送装置A6
00,第２搬送装置B700,位置合せ装置17,補助受渡し装置1
9,受渡し装置180に制御信号を出力する。

第７図及び第８図にウエハの搬送に関するフローチャー
トを示す。これらの図はウエハの搬送工程におけるウエ
ハの停止位置（第１図20A,第４図S1〜S4,19）に着目し
た表現をしながら、時間的な流れについても表現してい
る。第７図はカセット１からウエハを搬送し、処理後カ
セット２もしくはカセット３へウエハを搬送する場合に
ついて、第８図はカセット１からウエハを搬送し、検査
処理後カセット１へウエハを搬送する場合についての工
程を示している。なお第９図，第10図及び第12図は実際
の実施例におけるウエハの搬送路を平面的に抽象化表現
したものである。尚、第７図及び第８図に示される工程
は第９図の搬送路をとる。

先ず第７図の説明を行なう。破線で示した処理の流れ10
0は、１枚のウエハに対する処理を示している。処理さ
れるウエハが複数枚ある場合には全てのウエハについて
処理工程100が施される。処理作業中ｎ枚目のウエハは
カセット１より位置S1へ搬送され（101）、さらに位置S
2へ搬送される（102）。ウエハが位置S2にあることは、
光電検出器10の出力によって検知される。ここで、ｎ枚
目のウエハより先行するｎ−１枚目のウエハが位置S3に
存在することが光電検出器11の出力に基づいて検知され
た場合（119）、ｎ枚目のウエハはS2の位置で待機する
（103）。すなわち、第１搬送装置B500のベルト回転用
モータが回転停止し、ベルト５は移動停止する。ｎ−１
枚目のウエハが受渡し装置180のアーム18によりウエハ
処理装置（20）に受渡され（120）、位置S3にウエハが
なくなると、ｎ枚目のウエハは位置S3へ搬送可能となり
第１搬送装置B500ベルト回転用モータが回転し、位置S3
へ搬送される（104）。そしてｎ枚目のウエハは位置S3
でウエハ処理装置（20）へ搬送するための準備（位置合
わせ）を行なう（105）。尚、処理装置20へ搬送された
ｎ−１枚目のウエハは処理装置20への搬送終了と同時に
処理が施される（121）。そしてｎ枚目のウエハが位置S
2から位置S3へ搬送される（104）と、位置S2へ新たなウ
エハの搬送が可能となり、第１載置装置1Aがウエハ収納
部１つ分下降し、ベルト４上にｎ＋１枚目のウエハの一
部が載置され、第１搬送装置A400のベルト回転用モータ
の回転によるベルト４の移動でｎ＋１枚目のウエハがカ
セット１より位置S2へ搬送される（125,126）。ここで
ｎ枚目のウエハが位置S2へ搬送された時点（103）でｎ
＋１枚目のウエハが位置S1へ搬送可能になるが、ｎ＋１
枚目のウエハのカセット１から位置S2へ搬送される（12
5,126）時間がｎ枚目のウエハが位置S3で位置合せを完
了する時間内にある場合は処理速度に何らの影響を与え
ない。さらに本装置の実施例（後述）を考慮すると後続
するウエハを位置S1で待機させるのは得策ではない。

処理装置（20）にあるｎ−１枚目のウエハの処理が終了
するとｎ−１枚目のウエハは位置S3に渡されることにな
るが、この時ｎ枚目のウエハが位置S3の位置で位置合せ
（105）が終了していない場合、ｎ枚目のウエハの位置
合せが完了するまでｎ−１枚目のウエハは位置S3へ搬送
されない。つまりｎ枚目のウエハの位置合せの完了とｎ
−１枚目のウエハの処理装置（20）での処理の終了と、
どちらか遅い方に工程の進行が制限される。本装置の実
施例ではどちらの工程についても高速化を実現してい
る。処理装置（20）にて処理終了したｎ−１枚目のウエ
ハは受渡し装置180のアーム18にて位置S3へ受渡される
と同時に、ｎ枚目のウエハはアーム18によって処理装置
（20）へ受渡される（107,122）、この時、補助受渡し
装置19の補助アーム19Aは位置S3上で待機している。ｎ
−１枚目のウエハは位置S3で補助アーム（19A）に渡さ
れ、光電検出器12の出力によって制御装置23はそれを判
断し、次の工程へと進んでいく（123,124）、つまりｎ
−１枚目のウエハは補助アーム（19A）により位置S4に
渡され、制御装置23は光電検出器12の出力によってそれ
を知り、第２搬送装置A600、第２搬送装置B700に制御信
号を入力し、ｎ−１枚目のウエハはキーボード部21への
指令に基づいてカセット２、もしくはカセット３に収納
される。ｎ−１枚目のウエハが位置S4上に渡されると同
時にｎ＋１枚目のウエハは先行するウエハがたどってき
た工程と同様の工程を進む（128,129,130），（S2→S3
→位置合せ）。そして位置S2へ新たなウエハを搬送する
ことが可能になるのでｎ＋２枚目のウエハが位置S2へ搬
送される（132,133）。尚、ｎ枚目のウエハは処理装置2
0へ受渡されたと同時に処理が施される（121）。そして
使用者の指示もしくは装置自身の指示によって処理され
ているウエハが収納されるべきカセット（２もしくは
３）が指定された時点で処理は終了する。ｎ枚目のウエ
ハの処理が終了し、ｎ＋１枚目のウエハの位置合せが終
了したらｎ枚目のウエハはアーム18により位置S3上に受
渡される（109）。同時にｎ＋１枚目のウエハは処理装
置20へ受渡される（131）。位置S3上へ渡されたｎ枚目
のウエハは補助アーム19Aにより位置S4へ渡される（11
0）。そしてｎ枚目のウエハは位置S4からベルト（７も
しくは６）により、カセット（２もしくは３）へ搬送さ
れる。つまり処理装置（20）で処理されたウエハは位置
S3から補助アーム19Aを用いてベルト（６もしくは７）
へ渡されるために新しいウエハを搬送するベルト（４も
しくは５）に何らの影響を与えないことになる。搬送経
路を抽象化すると第９図の通りである。装置のスループ
ットを向上させるためには、搬送ベルトとカセットが
直線上に配置されていること。各部の動きを極力少な
くする等があるが、本実施例によればこの目的を満たし
ている。

第８図の処理200について説明する。処理を施されるウ
エハについて、ｎ枚目のウエハが処理装置（20）で検査
処理され、位置S3で補助アーム（19A）へ搬送される工
程（201〜209）までは第７図（101〜109）と同様であ
る。ｎ枚目のウエハは補助アーム（19A）へ受渡された
後、高さH2のまま補助アーム（19A）の回転及びリニア
運動により位置S1へ渡され（210）、位置S1で停止す
る。この時、前出のウエハの流れ（第７図100）の中で
述べたが、ｎ＋２枚目のウエハは位置S2から位置S3へ搬
送され（211）、位置S2へｎ＋３枚目のウエハが搬送可
能となる。ｎ＋３枚目のウエハは位置S1の高さH2にある
ｎ枚目のウエハの下をぬけて位置S2へ搬送される（212,
213）。その後、ｎ枚目のウエハはカセット１へ搬送さ
れる（211）。ここで、ｎ枚目のウエハが位置S1へ搬送
された（210）時、ｎ＋３枚目のウエハを搬送せずに先
にｎ枚目のウエハをカセット１へ搬送し（211）、その
後、ｎ＋３枚目のウエハを搬送させてもかまわない（こ
れは図示せず）。正し、この場合ｎ＋３枚目のウエハが
位置S2へ到着する時刻がｎ＋２枚目のウエハが位置合せ
を完了する時刻よりも前になっていることが行条件とな
る。第９図ではウエハの処理工程100と200が同時に実現
できるが、装置の構成により独立に実現してもかまわな
い。処理前のウエハが収納されていたカセット処理後ふ
たたび戻す場合、従来の装置では処理装置への搬送経路
を逆にたどってカセットに戻していたため、先行のウエ
ハがふたたび収納されない限り、次のウエハ搬送が出き
なかった。本装置では処理装置への搬送経路と収納のた
めの搬送経路を別にすることにより従来の装置よりも処
理速度を早めることができる。これは半導体素子の製造
プロセスにおける工程処理時間を縮めるためには有効な
手段である。前述のウエハ処理工程は、カセット１から
ウエハを搬送する場合についてのものであるが、一度に
処理をするウエハの枚数が１ケのカセットに収納しきれ
ない場合がある。本装置ではカセット２ケ分までのウエ
ハを一度に処理することができる。

これについて説明する。

第10図はカセット１及びカセット２からウエハを搬送
し、処理を行なう場合の搬送路を示している。

第10図（ａ）は第９図と似ているが、第10図（ａ）で
は、未処理のウエハがカセト２に収納されているため、
カセット１からウエハを搬送し、カセット２へ搬送する
工程が存在しない。従って処理後のウエハはカセット１
あるいはカセット３へ収納される。第10図（ｂ）は、カ
セット２からウエハを搬送する場合で、カセット２から
搬送されたウエハは第１図で示される第５搬送ベルト８
によって第４図の位置S1へ搬送され、さらに処理装置
（20）へ搬送される。この場合、カセット１には既に処
理されたウエハが収納されているため、処理装置20から
カセット１へ搬送される工程はない。従って、処理後の
ウエハはカセット２あるいはカセット３へ収納される。
第10図の処理においてカセット２ケ分以上のウエハを処
理する場合にはカセット１及び２に新たに未処理のウエ
ハを収納することにより、処理が可能となる。

第10図（ａ），（ｂ）の搬送を行なう場合のフローチャ
ートを第11図に示す。キーボード部21においてカセット
１とカセット２のいずれが選択されているかを判断し
（110），カセット１が選択されている場合には第８図
の工程201,202,203,204,205,206,207,208,209,210,211
と同様の工程を通り、工程211でウエハがカセット１へ
収納されると、カセット１を上昇もしくは下降させて
（111），次のウエハを搬送する。カセット２が選択さ
れると、位置S5へ搬送し（112）、次いで位置S1へ搬送
し（113）、以降は第８図の工程202,203,204,205,206,2
07,208,209と同様の工程を通り、工程210で位置S4で受
渡され、次いで位置S5へ搬送（211）、カセット２へ収
納される（212）。そしてウエハがカセット２へ収納さ
れるとカセット２を上昇もしくは下降させて（213），
次のウエハを搬送する。前述されたウエハの処理工程は
全て本装置の処理装置20でウエハが検査処理をうける場
合について述べられたものである。実際のIC検査プロセ
スではウエハに対して検査処理を必要とせずに、カセッ
トから別のカセットへ搬送する工程が存在する。本装置
はこのような工程を実現する工夫がなされている。

第12図（ａ），（ｂ），（ｃ）はウエハに対して処理装
置（20）における処理を必要としない搬送工程の搬送路
を示している。未処理のウエハが収納されているカセッ
ト搬送処理されたウエハが収納されるカセットの選択に
より、（ａ），（ｂ），（ｃ）の三タイプに分けられ
る。さらに搬送するウエハの枚数も制御可能である。

なお、以上の説明ではウエハ搬送に限って述べたが偏平
容器等、偏平物体（ウエハも含む）の搬送に用いること
のできることは当然である。

なお、実施例では２点鎖線で囲んだベルトの組を１つの
ブロックとして計３つのウエハ搬送部14,15,16にて構成
することにより組立て調整等を行ない易くしている。

さらにウエハ等の搬送はベルトによらず空気流によって
行っても良いことは当然である。

（発明の効果） 以上のように本発明によれば、一つの偏平物体をカセッ
トから搬出し、処理した後、再び同じカセットに搬入す
る場合であっても、上記偏平物体をカセットに搬入する
前に、次の偏平物体を搬出することができるので、スル
ープットを向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例のブロック図、第２図は第
１図で用いた補助の受渡し装置の平面図、第３図は第２
図のＸ−Ｘ矢視断面図、第４図は補助アームの平面動作
説明図、第５図は補助アームの上下動作説明図、第６図
は電気処理に係るブロック図、第７図，第８図，第11図
はウエハの搬送に関するフローチャート、第９図，第10
図（ａ），（ｂ），第12図（ａ），（ｂ），（ｃ）はウ
エハの搬送路を概略的に示した図、第13図は従来をウエ
ハ搬送装置の一例を示す図，である。 （主要部分の符号の説明） 1A……第１カセット載置装置,1B……第２カセット載置
装置,1C……第３カセット載置装置,4……第１搬送ベル
ト,400……第１搬送装置A,5……第２搬送ベルト,50……
第１搬送装置B,6……第４搬送ベルト,600……第２搬送
装置A,7……第３搬送ベルト,700……第２搬送装置B,17
……位置合せ装置,18……アーム,180……受渡し装置,19
……補助の受渡し装置,20……処理装置,23……制御装
置,89A……ウエハの押戻し部材,89B……ウエハの押出し
部材。

フロントページの続き (72)発明者 佐伯 和明 神奈川県横浜市戸塚区長尾台町471番地 日本光学工業株式会社横浜製作所内 (72)発明者 前川 一浩 神奈川県横浜市戸塚区長尾台町471番地 日本光学工業株式会社横浜製作所内

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】上下方向に偏平物体の収納部を並設したカ
   セットを上下に移動せしめ、前記収納部のいずれかを所
   定高さ位置に位置決めするカセット載置装置と、搬送さ
   れてきた偏平物体の平面内での位置合せを行なう位置合
   せ装置と、前記カセット載置装置と前記位置合せ装置と
   の間に直線的に設けられ、前記所定高さ位置の収納部に
   存在する偏平物体の搬出及び未収納の収納部への偏平物
   体の搬入を行なう第１搬送装置と、偏平物体を処理する
   ための処理装置と、前記位置合せ装置と前記処理装置と
   の間で偏平物体を搬送する第２搬送装置と、前記カセッ
   ト載置装置，前記位置合せ装置，前記第１搬送装置，前
   記第２搬送装置の駆動制御を行う制御装置と，を有する
   自動搬送装置において、 前記第１搬送装置を前記載置装置側の第１部分と前記位
   置合せ装置側の第２部分とに各々を独立して制御自在に
   ２分し、前記第２部分の前記第１部分側に偏平物体の存
   否を検出する検出器を設けると共に、前記位置合せ装置
   の偏平物体を保持部によって保持し前記第１部分に受渡
   すアームを有する第３搬送装置を設け、 前記制御装置は、前記位置合せ装置の偏平物体が前記第
   ２搬送装置に移ってから再び戻ってくるまでの間にカセ
   ット内の新たな偏平物体を前記第１部分と前記第２部分
   とによって搬送すると共に前記検出器からの検知信号に
   よって前記第１部分と前記第２部分の駆動を停止して該
   新たな偏平物体を前記位置合せ装置の前方に待機させ、
   前記位置合せ装置に再び戻った偏平物体を前記アームに
   保持せしめて前記第１部分に受渡し、該アームによる保
   持から前記第１部分に受渡すまでの間に前記第２部分を
   駆動して前記待機している新たな偏平物体を前記位置合
   せ装置まで搬送するように制御することを特徴とする自
   動搬送装置。