JPH071783B2

JPH071783B2 - 偏平物体の自動搬送装置

Info

Publication number: JPH071783B2
Application number: JP26895785A
Authority: JP
Inventors: 憲慶橋本; 邦行吉川; 和明佐伯; 一浩前川; 菊雄平田
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1985-11-28
Filing date: 1985-11-28
Publication date: 1995-01-11
Anticipated expiration: 2010-01-11
Also published as: JPS62128144A

Description

【発明の詳細な説明】（発明の技術分野）本発明はウエハの如き板状物体や偏平容器内の収納物等
の検査、製造を自動あるいは半自動で行なうために、板
状物体や偏平容器等の偏平物体を搬送する自動搬送装置
に関するものである。

（発明の背景）第13図は従来のウエハ外観検査装置に用いられているウ
エハ自動搬送装置の一例についての概要図である。

上下方向（紙面に垂直な方向）にウエハ収納部を並設し
たカセツト81は、不図示の第１カセツト載置装置によつ
てウエハ収納部が順次所定位置に位置決めされる。一対
のベルト84の一端は上述の所定位置にあるウエハ収納部
のウエハをカセツト81から引き出し搬送するために、所
定位置に位置しており、他端はカセツト81に対峙した第
２カセツト82の所定位置に位置している。一対のベルト
84は左右のプーリ（不図示）によつて一体に回転移動さ
れるように各々輪状に形成され、一方のプーリをモータ
にて回転制御する構成である。第２カセツト82に並置さ
れて第３カセツト83が配設され、一対のベルト84に直交
して一対のベルト85が設けられ、ベルト84に直交して一
対のベルト86が第３カセツト83の所定位置に一端が位置
するように設けられている。一対のベルト84の途中には
位置合せ装置87が設けられ、位置合せ装置87と不図示の
顕微鏡ステージとの間でウエハの受渡しを行なう受渡し
アーム88が設けられている。また、一対のベルト84と一
対のベルト85の交差点及び一対のベルト85と一対のベル
ト86の交差点にはウエハの検出器T₁、T₂が配設されてい
る。検出器T₁、T₂はウエハが上方にきたことを検出し、
不図示の制御装置に検出信号を入力する。制御装置は動
作手順指令信号と検出信号とによつて、ベルト84、85、
86の回転駆動を制御すると共に、位置合せ装置84、受渡
しアーム88の動作をも制御する。

通常の使い方としては、カセツト81をセンダ用（処理前
のウエハ収納用）とし、カセツト82、83をレシーバ用
（処理後のウエハ収納用）とする。ウエハはカセツト81
→搬送ベルト84→位置合せ装置87→受渡し装置88→顕微
鏡ステージ（図示せず）受渡し装置88→位置合せ装置87
→搬送ベルト84を経由してカセツト82に、あるいは搬送
ベルト84、85、86を経由してカセツト83に収納される。

ところが、このような従来の搬送装置では３つのカセツ
トを用いる場合、搬送ベルト85を設けてある為、装置の
横方向寸法に必ずウエハ１枚分のスペースが必要となり
装置の横方向寸法が長くなる、という欠点があつた。

（発明の目的）本発明は従来の問題点を除去し、コンパクトな搬送装置
を提供することを目的とするものである。

（発明の概要）本発明は、第１カセツト載置装置（1A）と、偏平物体の
平面内での位置合せを行なう位置合せ装置（17）と、前
記第１カセツト載置装置と前記位置合せ装置との間に直
線的に配設され、偏平物体の搬送を行なう第１搬送装置
（４、400、５、500）と、前記第１カセツト載置装置に
対し前記第１搬送装置の搬送方向に直交する方向へ並設
された第２カセツト載置装置（1B）と、前記第２カセツ
ト載置装置に対峙するように前記位置合せ装置に並設さ
れた第３カセツト載置装置（1C）と、前記第２カセツト
載置装置と前記第３カセツト載置装置との間に直線的に
配設され、偏平物体の搬送を行なう第２搬送装置（６、
700、７、600）と、偏平物体を処理するための処理装置
（20、20A）と、前記位置合せ装置と前記処理装置との
間で偏平物体の受渡しを行なう第１受渡し装置（18、18
0）と、前記位置合せ装置と前記第２搬送装置との間で
偏平物体の受渡しを行なう第２受渡し装置（19、19A、1
9B）と、前記第１カセツト載置装置、前記第２カセツト
載置装置、前記第３カセツト載置装置、前記第１搬送装
置、前記第２搬送装置、前記位置合せ装置、前記第１受
渡し装置及び前記第２受渡し装置の駆動制御を行なう制
御装置（23）と、を有することを特徴とする偏平物体の
自動搬送装置である。

（実施例）以下、図面に示した実施例に基づいて本発明を説明す
る。

第１図は本発明の第１実施例であつて、上下方向（紙面
に垂直な方向）にウエハ収納部を並設したカセツト１を
上下に移動せしめ、カセツトのウエハ収納部を順次所定
高さ位置に位置決めする第１カセツト載置装置1Aが設け
られている。第１カセツト載置装置1Aは、固定部材に設
けた２軸ガイド軸に移動部材に設けたボールブッシュが
上下スライドする構造によつて上下動自在に構成されて
おり、移動部材の上下動は、固定部材に設けた送りねじ
に移動部材に設けたナツトを螺合し、位置決め等をオー
プンループで可能なステツピングモータによつて送りね
じを回転駆動している。

ステツピングモータの代わりにDCモータにエンコーダを
組合せたものを用いても同様である。なお、上下動方向
の切換えは、モータの正、逆回転によつて容易に行ない
うる。

一端を所定高さ位置においてカセツト１に一端を対向す
るように置かれた第１搬送ベルト（従来と同様の一対の
並行なベルト）４及び第１搬送ベルト４に直線的に連続
する第２搬送ベルト５が配設されている。また、カセツ
ト内のウエハを搬出し、またはカセツト内にウエハを搬
入するために周知の構造であるウエハの押出し部材89
B、押戻し部材89Aを有する押出し押戻し装置が設けられ
ている。なお、これら搬送ベルト４、５はウレタン系の
材料にてループ状に形成され、ベルトの回転移動は周知
の如く、DCモータとベルトプーリにて行ない、回転方向
の切換えはモータの正、逆回転により行なわれる。

第２搬送ベルト５の第１搬送ベルト４の他端に対向しな
い方の端（他端）近傍にはウエハの位置合せ装置17が配
設されている。この位置合せ装置17は、第２搬送ベルト
５によつて左から右へ搬送されてきたウエハを停止する
ストツパ部17A、ウエハを真空吸着、回転する吸着回転1
7C、ウエハを３本のローラピンに押圧する押し付け部17
Bから構成されている。

第１カセツト載置装置1Aに対して搬送ベルト４によるウ
エハの搬送方向に直交する方向に第２カセツト載置装置
1Bが並設されており、（図では紙面内上方）、第２カセ
ツト載置装置1Bには上下方向にウエハ収納部を並設した
カセツト２が載置されている。ウエハ位置合せ装置17に
対し第２カセツト載置装置1Bに対峙するように第３カセ
ツト載置装置1Cが並設されている。第２カセツト載置装
置1B、第３カセツト載置装置1Cは第１カセツト載置装置
1aと同構造である。第３カセツト載置装置1Cにはカセツ
ト３が載置されている。第３搬送ベルト７が第１搬送ベ
ルト４と並設され、一端が第３搬送ベルト７の他端に対
峙し、他端が所定位置においてカセツト３内にわずかに
挿入された第４搬送ベルト６が第２搬送ベルト５に並設
されている。なお、第３搬送ベルト７側にもウエハの押
出し部材89B、押戻し部材89Aを有する押出し押戻し装置
が設けられている。また、第１搬送ベルト４と第３搬送
ベルト７とを連結するように両者に直交した第５搬送ベ
ルト８が配設されている。

第３搬送ベルト７、第４搬送ベルト６、第５搬送ベルト
８は既に述べた搬送ベルトと同様であるが、搬送ベルト
８には、さらに、回転移動と共に、ベルト８全体を上下
動する装置が設けられている。搬送ベルト８を使用しな
い状態（下死点）では搬送ベルト８上面位置（高さ方
向）は搬送ベルト４、７のベルト上面より下がつた位置
にある。又使用時は、搬送ベルト８上面位置が搬送ベル
ト４、７のベルト上面より上がつた位置で停止した状態
（上死点）になる。この上下動駆動には、高速化が可能
なエアシリンダを採用しているが、勿論各種モータ等別
の駆動源を用いても良い。

ウエハ処理装置20は第２搬送ベルト５に対し第４搬送ベ
ルト６とは反対側に設けられ、Ｘ−Ｙステージ、観察装
置等を含むものであるが、図ではウエハを吸着保持する
シリンダ20Aのみを示した。シリンダ20Aのウエハ保持は
真空吸着、またシリンダ20Aには回転機構が設けてあ
る。Ｘ−Ｙステージストロークはウエハ全域移動（例え
ば６インチウエハだと150mm）可能な量とし、位置精度
が必要な為、DCサーボモータにエンコーダを組合せて構
成している。

ウエハ位置合せ装置17とシリンダ20Aの間には、各々の
間でウエハの受渡しを行なう受渡し装置を構成するアー
ム18が設けられている。アーム18によるウエハの保持は
真空吸着で行なわれ、アーム回転駆動にはオープンルー
プで使用可能なステツピングモータを採用している。

また、第２搬送ベルト５と第４搬送ベルト６の間には、
ウエハ位置合せ装置17のウエハを第１搬送ベルト４、第
４搬送ベルト６に受渡す補助の受渡し装置19が設けられ
ている。この補助の受渡し装置19は先端にウエハ吸着部
19Bを有する補助アーム19Aを有している。補助の受渡し
装置19の構造については後述する。

第１搬送ベルト４と第５搬送ベルト８の交差位置、第２
搬送ベルト５の一端近傍、第３搬送ベルト７と第５搬送
ベルト８の交差位置、第４搬送ベルト６の一端近傍には
ウエハの存否を検出するための光電検出器９、10、13、
12が配設され、位置合せ装置17にもウエハの切欠部を検
出するための光電検出器11が配設されている。

ウエハ処理装置20の左右には、キーボード部21、ジヨイ
ステイツク22が設けられると共に、筐体25にコード24に
て接続した制御部23が設けられ、キーボード部21、ジヨ
イステイツク部22、制御部23、光電検出器９、10、11、
12、13、搬送ベルト４、５、６、７、８の回転移動の制
御やアーム18、19の制御等を行なう各種モータ（後述す
る）等によつて制御装置が構成される。

上述した補助の受渡し装置19の構造を平面図である第２
図、第２図のＸ−Ｘ断面図である第３図にて説明する
に、補助の受渡し装置19は、処理終了したウエハ（良、
不良、再生などに判定分類される。）を決められたカセ
ツトへ収納する為にウエハを収納すべく選択されたカセ
ツトに一番近い搬送ベルト（16あるいは４）上にウエハ
を渡すものであり、補助アーム19Aを回転、上下動およ
びリニアに移動できる。アーム19Aの回転は、モータ54
の回転をモータ54の回転軸に固定のプーリ53Bとアーム
回転軸に一体の大プーリ53Aとの間のタイミングベルト5
3にてアーム回転軸52に伝え、アーム回転軸52に固定さ
れたアーム19Aを回転させる。軸受55にはアンギユラコ
ンタクト型ベアリング56を用いアーム回転軸52まわりの
スラストおよびラジアル荷重を受けアーム19Aが低摩擦
で回転可能な構造になつている。尚、モータ54には、オ
ープンループで回転制御が可能なステツピングモータを
採用している。

アーム19Aの上下動は、２本の丸ガイド軸57A、57B上を
軸受55に取付けられた６ケのベアリング58がころがる構
造で駆動は、DCモータ（図示せず）の回転を円筒カム59
のカム面に軸受55に固定のコロ55aを載置する構成にて
直線運動（上下運動）に変換し、軸受55が上下動する。
つまり、軸受55アーム19A、アーム回転軸52は一体で上
下動する。尚お、上下動時アーム回転軸52はキー60によ
り大プーリ53Aの軸上をスライドする。アーム51のリニ
ア運動は、ケージング64の両端に取付けられたボールブ
ツシュ62が筐体25に固定したリニアガイド軸61上をスラ
イドする構造で、駆動はエアシリンダ63にて行なつてい
る。エアシリンダ63のシリンダは筐体25に固定され、ピ
ストン63aがケージング64に固定されている。また、リ
ニアガイド軸61の反対側（第２図では上方）の筐体25に
はリニアガイド面25′が形成され、ケージング64に固設
のコロ64aがリニアガイド面25′に載置されている。第
４図は補助アーム19Aの各状態図、第５図は補助アーム1
9Aの上、中、下位置状態図である。各々の動作、状態を
第４、５図にて説明する。

補助アーム19Aの初期状態は、補助アーム19Aの先端のウ
エハ吸着部19Bの中心が位置S4に、上面が高さH1にあ
る。尚高さＨは、搬送ベルト５、６のベルト上面位置で
ある。処理終了したウエハは、受渡しアーム18により位
置合せ装置17上に送られる。それとほぼ同時に補助アー
ム19Aは高さH1の状態でウエハ吸着部19Bが位置S3にくる
まで回転する（このとき回転角θ₁）。次にウエハ吸着
部19Bは高さH2に上がりウエハを真空吸着する（それに
よつて、ウエハは受渡しアーム18から補助アーム19Aに
渡される）。次にウエハをどのカセツト（１〜３）に収
納するかにより２通りの動きのうち何れかの動きを行な
う。

先ずウエハをカセツト２あるいはカセツト３に収納する
場合を説明する。補助アーム19Aは高さH2の状態で位置S
4まで回転し（回転角θ₁）、ウエハの吸着を解除する。
そして補助アーム19はベルト６の凹部を通つて高さH3に
下降し、ウエハを搬送ベルト６上にのせる。これから搬
送ベルト６、７が回転移動し、収納すべきカセツト２、
３の何れかに入る。ウエハがカセツトに入つたと同時に
補助アーム19Aは初期位置（位置S4、高さH1）に戻る。
次にウエハをカセツト１へ収納させる場合であるが、補
助アーム19Aは、高さH2状態のまま、回転角θ₂まで回転
しながらリニア運動にてＡ点からＢ点に移動する。（ウ
エハ吸着部19Aは位置S1にくる。）尚、この回転および
リニア運動は、並行動作で行なえる。次にウエハの吸着
を解除し、搬送ベルト８、４の凹部（３つのプーリによ
つてＶ字形の凹部を形成すれば良い。尚、ベルトを２つ
に分離し、各ベルトを１つのプーリに掛けるようになし
ても良い。）を高さH3に下降し、ウエハを搬送ベルト４
上にのせる。ここから搬送ベルト４が回転し、ウエハ
は、カセツト１に収納される。そして、補助アーム19A
は高さH1まで上がり初期位置（位置S4、高さH1）に戻
る。以上が補助アーム19Aの動作である。尚、各々の動
作機構は、その目的機能が達成できれば、何れの方法で
も良い。例えば、エアシリンダ63はリードスクリユーと
モータの組合せに置き換えても構わない。

次に、電気処理に係る構成につき説明する。第６図はブ
ロツク図であつて、制御装置23には光電検出器９、10、
11、12、13からウエハの存否の信号が入力され、第１ウ
エハ載置装置1A、第２ウエハ載置装置1B、第３ウエハ載
置装置1C、第１搬送装置A400、第１搬送装置B500、第２
搬送装置A600、第２搬送装置B700、位置合せ装置17、補
助受渡し装置19、受渡し装置180に制御信号を出力す
る。

第７図および第８図にウエハの搬送に関するフローチヤ
ートを示す。これらの図は、ウエハの搬送工程における
ウエハの停止位置（第１図20A、第４図S1〜S4、19）に
着目した表現をしながら、時間的な流れについても表現
している。

第７図は、カセツト１からウエハを搬送し、処理後、カ
セツト２もしくは、カセツト３へウエハを搬送する場合
について、第８図は、カセツト１からウエハを搬送し、
検査処理後、カセツト１へウエハを搬送する場合につい
ての工程を示している。

尚、第９図、第10図及び第12図は、実際の実施例におけ
るウエハの搬送路を、平面的に抽象化表現したものであ
る。

尚、第７図および第８図に示される工程は、第９図の搬
送路をとる。

先ず第７図の説明を行なう。

破線で示した処理の流れ100は、１枚のウエハに対する
処理を示している。

処理されるウエハが、複数枚ある場合には、全てのウエ
ハについて処理工程100が施される。

処理作業中、ｎ枚目のウエハは、カセツト１より、位置
S1へ搬送され（101）さらに位置S2へ搬送さえる（102）
……ウエハが位置S2にあることは光電検出器10の出力に
よる。

ここで、ｎ枚目のウエハより先行するｎ−１枚目のウエ
ハが位置S3に存在する場合（119）……光電検出器11の
出力による、ｎ枚目のウエハは、S2の位置で待機する
（103）。すなわち、第１搬送装置B500のベルト回転用
モータが回転停止し、ベルト５は移動停止する。ｎ−１
枚目のウエハが受渡し装置180のアーム18によりウエハ
処理装置（20）に受渡しされ（120）、位置S3にウエハ
がなくなると、ｎ枚目のウエハは、位置S3へ搬送可能と
なり、第１搬送装置B500のベルト回転用モータが回転
し、位置S3へ搬送される（104）。

そして、ｎ枚目のウエハは、位置S3で、ウエハ処理装置
（20）へ搬送するための準備（位置合せ）を行なう（10
5）。

尚、処理装置20へ搬送されたｎ−１枚目のウエハは、処
理装置20への搬送終了と同時に処理が施される（12
1）。

そして、ｎ枚目のウエハが位置S2から位置S3へ搬送され
る（104）と、位置S2へ新たなウエハの搬送が可能とな
り、第１載置装置1Aがウエハ収納部１つ分下降し、ベル
ト４上にｎ＋１枚目のウエハの一部が載置され、第１搬
送装置A400のベルト回転用モータの回転によるベルト４
の移動で、ｎ＋１枚目のウエハがカセツト１より位置S2
へ搬送される（125、126）。ここで、ｎ枚目のウエハ
が、位置S2へ搬送された時点（103）で、ｎ＋１枚目の
ウエハが、位置S1へ搬送可能になるが、ｎ＋１枚目のウ
エハのカセツト１から位置S2へ搬送される（125、126）
時間がｎ枚目のウエハが位置S3で位置合せを完了する時
間内にある場合は、処理速度に何らの影響を与えない。

さらに、本装置の実施例（後述）を考慮すると、後続す
るウエハを位置S1で待機させるのは得策ではない。

処理装置（20）にあるｎ−１枚目のウエハの処理が終了
すると、ｎ−１枚目のウエハは、位置S3に渡されること
になるが、この時、ｎ枚目のウエハが位置S3の位置で位
置合せ（105）が終了していない場合、ｎ枚目のウエハ
の位置合せが完了するまで、ｎ−１枚目のウエハは、位
置S3へ搬送されない。

つまり、ｎ枚目のウエハの位置合せの完了と、ｎ−１枚
目のウエハの処理装置（20）での処理の終了と、どちら
か遅い方に工程の進行が制限される。本装置の実施例で
は、どちらの工程についても高速化を実現している。

処理装置（20）にて、処理終了したｎ−１枚目のウエハ
は、受渡し装置180のアーム18にて位置S3へ受渡しされ
ると同時に、ｎ枚目のウエハは、アーム18によつて処理
装置（20）へ受渡される（107、122）。この時、補助受
渡し装置19の補助アーム19Aは、位置S3上で待機してい
る。ｎ−１枚目のウエハは位置S3で補助アーム（19A）
に渡され、光電検出器12の出力によつて制御装置23はそ
れを判断し次の工程へと進んでいく（123、124）。つま
り、ｎ−１枚目のウエハは、補助アーム（19A）によ
り、位置S4に渡され、制御装置23は光電検出器12の出力
によつてそれを知り、第２搬送装置A600、第２搬送B700
に制御信号を入力し、ｎ−１枚目のウエハはキーボード
部21への指令に基づいてカセツト２、もしくはカセツト
３に収納される。

ｎ−１枚目のウエハが位置S4上に渡されると同時にｎ＋
１枚目のウエハは先行するウエハがたどつてきた工程と
同様の工程を進む（128、129、130），（S2→S3→位置
合せ）。そして位置S2へ新たなウエハを搬送することが
可能になるのでｎ＋２枚目のウエハが位置S2へ搬送され
る。（132、133）。

尚、ｎ枚目のウエハは、処理装置20へ受渡されたと同時
に処理が施される（121）。そして、使用者の指示もし
くは、装置自身の指示によつて処理されているウエハ
が、収納されるべきカセツト（２もしくは３）が指定さ
れた時点で処理は終了する。

ｎ枚目のウエハの処理が終了し、ｎ＋１枚目のウエハの
位置合せが終了したら、ｎ枚目のウエハは、アーム18に
より位置S3上に受渡される（109）。同時にｎ＋１枚目
のウエハは処理装置20へ受渡される（131）。

位置S3上へ渡されたｎ枚目のウエハは、補助アーム19A
により、位置S4へ渡される（110）。そしてｎ枚目のウ
エハは位置S4からベルト（７、もしくは６）により、カ
セツト（２、もしくは３）へ搬送される。つまり処理装
置（20）で処理されたウエハは位置S3から補助アーム19
Aを用いて、ベルト（６、もしくは７）へ渡されるため
に新しいウエハを搬送するベルト（４、もしくは５）に
何らの影響を与えないことになる。

搬送経路を抽象化すると第９図の通りである。

装置のスループツトを向上させるには、搬送ベルトと
カセツトが直線上に配置されていること、各部の動き
を極力少なくする等があるが、本実施例によれば、この
目的を満たしている。

第８図の処理200について説明する。

処理を施されるウエハについて、ｎ枚目のウエハが、処
理装置（20）で検査処理され、位置S3で補助アーム（19
A）へ搬送される工程（201〜209）までは、第７図（101
〜109）と同様である。ｎ枚目のウエハは、補助アーム
（19A）へ受渡された後、高さH2のまま、回転およびリ
ニア運動により位置S1へ渡され（210）、位置S1で停止
する。

この時、前出のウエハの流れ（第７図100）の中で述べ
たが、ｎ＋２枚目のウエハは、位置S2から、位置S3へ搬
送され、（211）位置S2へｎ＋３枚目のウエハが搬送可
能となる。

ｎ＋３枚目のウエハは、位置S1の高さH2にあるｎ枚目の
ウエハの下をぬけて、位置S2へ搬送される（212、21
3）。

その後、ｎ枚目のウエハは、カセツト１へ搬送される
（211）。

ここで、ｎ枚目のウエハが、位置S1へ搬送された（21
0）時、ｎ＋３枚目のウエハを搬送せずに、先に、ｎ枚
目のウエハをカセツト１へ搬送し（211）その後、ｎ＋
３枚目のウエハを搬送させてもかまわない（これは、図
示せず）。但し、この場合、ｎ＋３枚目のウエハが位置
S2へ到着する時刻がｎ＋２枚目のウエハが位置合せを完
了する時刻よりも前になつていることが条件となる。

第９図では、ウエハの処理工程100と200が同時に実現で
きるが、装置の構成により、独立に実現してもかまわな
い。処理前のウエハが収納されていたカセツトに処理
後、ふたたび戻す場合、従来の装置では処理装置への搬
送経路を逆にたどつてカセツトに戻していたため先行の
ウエハがふたたび収納されない限り次のウエハの搬送が
出きなかつた。

本装置では処理装置への搬送経路と、収納のための搬送
経路を別にすることにより従来の装置よりも、処理速度
を早めることができる。これは半導体素子の製造プロセ
スにおける工程処理時間を縮めるためには有効な手段で
ある。

前述のウエハ処理工程は、カセツト１からウエハを搬送
する場合についてのものであるが、一度に処理をするウ
エハの枚数が一ケのカセツトに収納しきれない場合があ
る。

本装置では、カセツト２ケ分までのウエハを一度に処理
する工夫がほどこされている。

これについて説明する。

第10図は、カセツト１およびカセツト２からウエハを搬
送し処理を行なう場合の搬送路を示している。

第10図（ａ）は、第９図と似ているが、第10図（ａ）で
は、未処理のウエハがカセツト２に収納されているた
め、カセツト１からウエハを搬送し、カセツト２へ搬送
する工程が存在しない。

従つて処理後のウエハはカセツト１あるいはカセツト３
へ収納される。

第10図（ｂ）は、カセツト２からウエハを搬送する場合
で、カセツト２から搬送されたウエハは、第１図で示さ
れる第５搬送ベルト８によつて第４図の位置S1へ搬送さ
れ、さらに処理装置（20）へ搬送される。

この場合、カセツト１には、既に処理されたウエハが収
納されているため、処理装置20から、カセツト１へ搬送
される工程は存在しない。

従つて処理後のウエハはカセツト２あるいはカセツト３
へ収納される。

第10図の処理において、カセツト２ケ分以上のウエハを
処理する場合には、カセツト１および２に、新たに未処
理のウエハを設置することにより、処理が可能となる。

第10図（ａ）、（ｂ）の搬送を行なう場合のフローチャ
ートを第11図に示す。キーボード部21においてカセツト
１とカセツト２のいずれが選択されているかを判断し
（110）、カセツト１が選択されている場合には第８図
の工程201、202、203、204、205、206、207、208、20
9、210、211と同様の工程を通り、工程211でウエハがカ
セツト１へ収納されると、カセツト１を上昇もしくは下
降させて（111）、次のウエハを搬送する。カセツト２
が選択されていると、位置S5へ搬送し（112）、次いで
位置S1へ搬送し（113）以降は第８図の工程202、203、2
04、205、206、207、208、209と同様の工程を通り、工
程210で位置S4へ受渡され、次いで位置S5へ搬送（21
1）、カセツト２へ収納される（212）。そしてウエハが
カセツト２へ収納されるとカセツト２を上昇もしくは下
降させて213）、次のウエハを搬送する。前述されるウ
エハの処理工程は、全て、本装置の処理装置20でウエハ
が検査処理をうける場合について述べられたものであ
る。

実際のIC（検査）プロセスでは、ウエハに対して、検査
処理を必要とせずに、カセツトから別のカセツトへ搬送
する工程が存在する。

本装置は、このような工程を実現する工夫がなされてい
る。第12図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、ウエハに対して
処理装置（20）における処理を必要としない搬送工程の
搬送路を示している。未処理のウエハが収納されている
カセツト搬送処理されたウエハが収納されるカセツトの
選択により、（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の３タイプに分け
られる。さらに、搬送するウエハの枚数も制御可能であ
る。

尚、以上の説明ではウエハ搬送に限って述べたが偏平容
器等、偏平物体（ウエハも含む）の搬送に用いることの
できることは当然である。

尚、実施例では分離した第１搬送ベルト４と第２搬送ベ
ルト５は１つのものとして考えることができ、本明細書
では、第１搬送ベルト４と第２搬送ベルト５を第１搬送
装置（400、500）に含まれるものとして考えており、ま
た第３搬送ベルト７と第４搬送ベルト６についても同様
に第２搬送装置（600、700）に含まれるものとして考え
ている。

尚、実施例では２点鎖線で囲んだベルトの組みを１つの
ブロツクとして計３つのウエハ搬送部14、15、16にて構
成することにより組立て調整等を行ない易くしている。

さらにウエハらの搬送はベルトによらず空気流によつて
行なつても良いことは当然である。

（発明の効果）以上のように本発明によれば、空間を有効に用いること
によりコンパクトになすと共に、第２ウエハ受渡し装置
によつてウエハの流れを逆にすることなく一方向で行な
うことができるから、従来のものに比しスループツトを
低下させることもない偏平物体の自動搬送装置を得るこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例のブロツク図、第２図は第
１図で用いた補助の受渡し装置の平面図、第３図は第２
図のＸ−Ｘ矢視断面図、第４図は補助アームの平面動作
説明図、第５図は補助アームの上下動作説明図、第６図
は電気処理に係るブロツク図、第７図、第８図、第11図
はウエハの搬送に関するフローチャート、第９図、第10
図（ａ）、（ｂ）、第12図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はウ
エハの搬送路を概略的に示した図、第13図は従来のウエ
ハ搬送装置の一例を示す図、である。〔主要部分の符号の説明〕 1A……第１カセツト載置装置 1B……第２カセツト載置装置 1C……第３カセツト載置装置４……第１搬送ベルト 400……第１搬送装置Ａ５……第２搬送ベルト 500……第１搬送装置Ｂ６……第４搬送ベルト 600……第２搬送装置Ａ７……第３搬送ベルト 700……第２搬送装置Ｂ 17……位置合せ装置 18……アーム、180……受渡し装置 19……補助の受渡し装置 20……処理装置、23……制御装置 89A……ウエハの押戻し部材 89B……ウエハの押出し部材。

フロントページの続き (72)発明者前川一浩神奈川県横浜市戸塚区長尾台町471番地日本光学工業株式会社横浜製作所内 (72)発明者平田菊雄神奈川県横浜市戸塚区長尾台町471番地日本光学工業株式会社横浜製作所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】第１カセツト載置装置と、偏平物体の平面内での位置合せを行なう位置合せ装置
と、前記第１カセツト載置装置と前記位置合せ装置との間に
直線的に配設され、偏平物体の搬送を行なう第１搬送装
置と、前記第１カセツト載置装置に対し前記第１搬送装置の搬
送方向に直交する方向へ並設された第２カセツト載置装
置と、前記第２カセツト載置装置に対峙するように前記位置合
せ装置に並設された第３カセツト載置装置と、前記第２カセツト載置装置と前記第３カセツト載置装置
との間に直線的に配設され、偏平物体の搬送を行なう第
２搬送装置と、偏平物体を処理するための処理装置と、前記位置合せ装置と前記処理装置との間で偏平物体の受
渡しを行なう第１受渡し装置と、前記位置合せ装置と前記第２搬送装置との間で偏平物体
の受渡しを行なう第２受渡し装置と、前記第１カセツト載置装置、前記第２カセツト載置装
置、前記第３カセツト載置装置、前記第１搬送装置、前
記第２搬送装置、前記位置合せ装置、前記第１受渡し装
置及び前記第２受渡し装置の駆動制御を行なう制御装置
と、を有することを特徴とする偏平物体の自動搬送装置。