JPH0711831B2 - パターン伸縮度算出装置 - Google Patents
パターン伸縮度算出装置Info
- Publication number
- JPH0711831B2 JPH0711831B2 JP63005777A JP577788A JPH0711831B2 JP H0711831 B2 JPH0711831 B2 JP H0711831B2 JP 63005777 A JP63005777 A JP 63005777A JP 577788 A JP577788 A JP 577788A JP H0711831 B2 JPH0711831 B2 JP H0711831B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pulse width
- calculated
- equivalent pulse
- expansion
- circuit
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- Expired - Lifetime
Links
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- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 21
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- 238000005314 correlation function Methods 0.000 claims 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
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- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010183 spectrum analysis Methods 0.000 description 1
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- Image Processing (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はパターン伸縮度算出装置、特に、伸縮を伴なう
パターン間の比較検査を行なう際に、高精度な位置決め
を行なうためのパターン伸縮度算出装置に関する。
パターン間の比較検査を行なう際に、高精度な位置決め
を行なうためのパターン伸縮度算出装置に関する。
従来の技術としては、例えば、原，柄崎，宇都“プリン
ト基板パターンの外観検査自動化”信学論J67−C,8,P43
5（昭59−05）にみられる様に、伸縮のあるパターン間
の比較検査を行なう場合には、位置合わせ誤差が生じ、
例えば本例にみられる様に、他の手段即ち局所的特徴を
用いて、位置合わせ誤差の回避を計っている。
ト基板パターンの外観検査自動化”信学論J67−C,8,P43
5（昭59−05）にみられる様に、伸縮のあるパターン間
の比較検査を行なう場合には、位置合わせ誤差が生じ、
例えば本例にみられる様に、他の手段即ち局所的特徴を
用いて、位置合わせ誤差の回避を計っている。
上述した従来の技術では、伸縮度の大きいパターン間の
比較検査を行なう事が不可能であり、また、高密度化に
伴なう高精度な比較検査も不可能となる問題あり、パタ
ーン間の伸縮度算出装置が必要である。
比較検査を行なう事が不可能であり、また、高密度化に
伴なう高精度な比較検査も不可能となる問題あり、パタ
ーン間の伸縮度算出装置が必要である。
本発明のパターン伸縮度算出装置は、光電変換スキャナ
で走査して読み出した標準パターン画像信号を多値レベ
ルのデイジタル画像に変換するためのA/D変換回路と、
前記デイジタル画像の水平方向および垂直方向の各々に
ついて平均値を算出して各々垂直方向および水平方向の
濃度分布として求める濃度分布算出回路と、算出された
濃度分布を用いて各々の方向に対する自己相関関数を算
出する自己相関関数算出回路と、算出した自己相関関数
のずれ量０の近傍の複数個の点の値を用いて直線近似を
行ない近似自己相関直線として求め近似自己相関直線の
値が０となるずれ量の位置を等価パルス幅として算出す
る等価パルス幅算出回路と、前記算出した等価パルス幅
を前記垂直方向および水平方向の各々について記憶させ
る等価パルス幅記憶回路と、伸縮パターン画像に対して
前述と同様の処理を行なつて前記等価パルス幅を垂直方
向および水平方向の各々について算出しこの算出した等
価パルス幅と前記等価パルス幅記憶回路に記憶されてい
る標準パターンに対する等価パルス幅との比を垂直方向
および水平方向各々について算出する伸縮度算出回路と
を含んで構成される。
で走査して読み出した標準パターン画像信号を多値レベ
ルのデイジタル画像に変換するためのA/D変換回路と、
前記デイジタル画像の水平方向および垂直方向の各々に
ついて平均値を算出して各々垂直方向および水平方向の
濃度分布として求める濃度分布算出回路と、算出された
濃度分布を用いて各々の方向に対する自己相関関数を算
出する自己相関関数算出回路と、算出した自己相関関数
のずれ量０の近傍の複数個の点の値を用いて直線近似を
行ない近似自己相関直線として求め近似自己相関直線の
値が０となるずれ量の位置を等価パルス幅として算出す
る等価パルス幅算出回路と、前記算出した等価パルス幅
を前記垂直方向および水平方向の各々について記憶させ
る等価パルス幅記憶回路と、伸縮パターン画像に対して
前述と同様の処理を行なつて前記等価パルス幅を垂直方
向および水平方向の各々について算出しこの算出した等
価パルス幅と前記等価パルス幅記憶回路に記憶されてい
る標準パターンに対する等価パルス幅との比を垂直方向
および水平方向各々について算出する伸縮度算出回路と
を含んで構成される。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は、本発明の一実施例を示すブロック図である。
光電変換スキャナ１を走査して読み出した入力画像２
は、A/D変換回路３により、多値レベルのデイジタル画
像４に変換される。
は、A/D変換回路３により、多値レベルのデイジタル画
像４に変換される。
濃度分布算出回路９では、前記デイジタル画像４の水平
方向および垂直方向の各々についての平均値を算出し
て、それぞれ垂直方向および水平方向の濃度分布として
求め、濃度分布信号10を出力する。
方向および垂直方向の各々についての平均値を算出し
て、それぞれ垂直方向および水平方向の濃度分布として
求め、濃度分布信号10を出力する。
自己相関関数算出回路11では、前記濃度分布信号10を用
いて、垂直方向および水平方向の各々の方向に対する自
己相関関数12を算出する。
いて、垂直方向および水平方向の各々の方向に対する自
己相関関数12を算出する。
更に、等価パルス幅算出回路13では、前述自己相関関数
12のずれ量０の近傍の複数個の点の値を用いて直線近似
を行ない近似自己相関値直線として求め、その近似自己
相関直線の値が０となるずれ量の位置を等価パルス幅14
として算出する。
12のずれ量０の近傍の複数個の点の値を用いて直線近似
を行ない近似自己相関値直線として求め、その近似自己
相関直線の値が０となるずれ量の位置を等価パルス幅14
として算出する。
等価パルス幅記憶回路15では、標準パターンに対して前
述の処理を行なった結果得られる垂直方向および水平方
向に対する前記等価パルス幅14を記憶する。
述の処理を行なった結果得られる垂直方向および水平方
向に対する前記等価パルス幅14を記憶する。
伸縮度算出回路17では、伸縮パターンに対して前述の処
理を行なった結果得られる垂直方向および水平方向に対
する前記等価パルス幅14と、前述の等価パルス幅記憶回
路15より出力される標準パターンに対する等価パルス幅
記憶信号との比を、垂直方向および水平方向各々につい
て算出し、この算出した比の値を伸縮度信号18として出
力する。
理を行なった結果得られる垂直方向および水平方向に対
する前記等価パルス幅14と、前述の等価パルス幅記憶回
路15より出力される標準パターンに対する等価パルス幅
記憶信号との比を、垂直方向および水平方向各々につい
て算出し、この算出した比の値を伸縮度信号18として出
力する。
次に各部の詳細について説明を行なう。
第２図（ａ）〜（ｃ）は、水平方向についてのみのパタ
ーン伸縮度算出方法を示す模式図である。
ーン伸縮度算出方法を示す模式図である。
第２図（ａ）は、標準パターン22と伸縮パターン21との
差異を説明するために、両者のデイジタル画像を重ね合
わせて表示したものである。
差異を説明するために、両者のデイジタル画像を重ね合
わせて表示したものである。
第２図（ｂ）では、第２図（ａ）で示されるデイジタル
画像を、前述した濃度分布算出回路９を用いて、垂直方
向についてのみ平均値を算出して水平方向の濃度分布と
して求め、各々標準パターン濃度分布23および伸縮パタ
ーン濃度分布24として示している。
画像を、前述した濃度分布算出回路９を用いて、垂直方
向についてのみ平均値を算出して水平方向の濃度分布と
して求め、各々標準パターン濃度分布23および伸縮パタ
ーン濃度分布24として示している。
第２図（ｃ）は、第２図（ｂ）で示す標準パターン濃度
分布23および伸縮パターン濃度分布24について求めた標
準パターン自己相関関数25および伸縮パターン自己相関
関数26を示す。
分布23および伸縮パターン濃度分布24について求めた標
準パターン自己相関関数25および伸縮パターン自己相関
関数26を示す。
一般に、第２図（ｂ）に示される様な濃度分布信号の自
己相関関数は、第２図（ｃ）に示される様になり、ま
た、この自己相関関数の形状は単一矩形パルスと同一と
なる。（日野幹雄著“スペクトル解析”朝倉書店）。
己相関関数は、第２図（ｃ）に示される様になり、ま
た、この自己相関関数の形状は単一矩形パルスと同一と
なる。（日野幹雄著“スペクトル解析”朝倉書店）。
従って、標準パターン自己相関関数25および伸縮パター
ン自己相関関数26各々が対応する等価な矩形パルスのパ
ルス幅ｂおよびｂ′を等価パルス幅として求めて、両者
の比γｘを （１）式により求めれば、この値が、標準パターンに対
する伸縮パターンの伸縮度となる。
ン自己相関関数26各々が対応する等価な矩形パルスのパ
ルス幅ｂおよびｂ′を等価パルス幅として求めて、両者
の比γｘを （１）式により求めれば、この値が、標準パターンに対
する伸縮パターンの伸縮度となる。
第３図は、等価パルス幅算出方法を示す模式図である。
前述の自己相関関数算出回路11で算出した自己相関関数
の値Ｃ（ｋ）（但し、ｋ＝0,±1,±２…±Ｎ）の値を用
いて、最小２乗法による直線近似により近似自己相関直
線27（K1およびK2）を求める。更に、この近似自己相関
直線27（K1およびK2）の値が０となるずれ量の位置b1お
よびb2を求めて、前述した等価パルス幅ｂを （２）式より算出する。
の値Ｃ（ｋ）（但し、ｋ＝0,±1,±２…±Ｎ）の値を用
いて、最小２乗法による直線近似により近似自己相関直
線27（K1およびK2）を求める。更に、この近似自己相関
直線27（K1およびK2）の値が０となるずれ量の位置b1お
よびb2を求めて、前述した等価パルス幅ｂを （２）式より算出する。
本発明のパターン伸縮度算出装置は、伸縮の大きいパタ
ーンの伸縮度が算出きるため、算出された伸縮度を用い
て、入力画像の補正を行なう事ができるので、伸縮度の
大きいパターン間の比較検査および高精度な比較検査が
できるという効果がある。
ーンの伸縮度が算出きるため、算出された伸縮度を用い
て、入力画像の補正を行なう事ができるので、伸縮度の
大きいパターン間の比較検査および高精度な比較検査が
できるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図
（ａ）〜（ｃ）は水平方向についてのみのパターン伸縮
度算出方法を示す模式図、第３図は等価パルス幅算出方
法を示す模式図である。 １……光電変換スキャナ、２……入力画像、３……A/D
変換回路、４……デイジタル画像、９……濃度分布算出
回路、10……濃度分布信号、11……自己相関関数算出回
路、12……自己相関関数、13……等価パルス幅算出回
路、14……等価パルス幅、15……等価パルス幅記憶回
路、16……等価パルス幅記憶信号、17……伸縮度算出回
路、18……伸縮度信号、20……デイジタル画像、21……
伸縮パターン、22……標準パターン、23……標準パター
ン濃度分布、24……伸縮パターン濃度分布、25……標準
パターン自己相関関数、26……伸縮パターン自己相関関
数、27……近似自己相関直線。
（ａ）〜（ｃ）は水平方向についてのみのパターン伸縮
度算出方法を示す模式図、第３図は等価パルス幅算出方
法を示す模式図である。 １……光電変換スキャナ、２……入力画像、３……A/D
変換回路、４……デイジタル画像、９……濃度分布算出
回路、10……濃度分布信号、11……自己相関関数算出回
路、12……自己相関関数、13……等価パルス幅算出回
路、14……等価パルス幅、15……等価パルス幅記憶回
路、16……等価パルス幅記憶信号、17……伸縮度算出回
路、18……伸縮度信号、20……デイジタル画像、21……
伸縮パターン、22……標準パターン、23……標準パター
ン濃度分布、24……伸縮パターン濃度分布、25……標準
パターン自己相関関数、26……伸縮パターン自己相関関
数、27……近似自己相関直線。
Claims (1)
- 【請求項１】光電変換スキャナで走査して読み出した標
準パターン画像信号を多値レベルのデイジタル画像に変
換するためのA/D変換回路と、前記デイジタル画像の水
平方向および垂直方向の各々について平均値を算出して
各々垂直方向および水平方向の濃度分布として求める濃
度分布算出回路と、算出された濃度分布を用いて各々の
方向に対する自己相関関数を算出する自己相関関数算出
回路と、算出した自己相関関数のずれ量０の近傍の複数
個の点の値を用いて直線近似を行ない近似自己相関直線
として求め近似自己相関直線の値が０となるずれ量の位
置を等価パルス幅として算出する等価パルス幅算出回路
と、前記算出した等価パルス幅を前記垂直方向および水
平方向の各々について記憶させる等価パルス幅記憶回路
と、伸縮パターン画像に対して前述と同様の処理を行な
つて前記等価パルス幅を垂直方向および水平方向の各々
について算出しこの算出した等価パルス幅と前記等価パ
ルス幅記憶回路に記憶されている標準パターンに対する
等価パルス幅との比を垂直方向および水平方向各々につ
いて算出する伸縮度算出回路とを含むことを特徴とする
パターン伸縮度算出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63005777A JPH0711831B2 (ja) | 1988-01-13 | 1988-01-13 | パターン伸縮度算出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63005777A JPH0711831B2 (ja) | 1988-01-13 | 1988-01-13 | パターン伸縮度算出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01181167A JPH01181167A (ja) | 1989-07-19 |
| JPH0711831B2 true JPH0711831B2 (ja) | 1995-02-08 |
Family
ID=11620544
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63005777A Expired - Lifetime JPH0711831B2 (ja) | 1988-01-13 | 1988-01-13 | パターン伸縮度算出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0711831B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4366318B2 (ja) | 2005-01-11 | 2009-11-18 | キヤノン株式会社 | 画像処理装置及びその方法、プログラム |
-
1988
- 1988-01-13 JP JP63005777A patent/JPH0711831B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01181167A (ja) | 1989-07-19 |
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