JPH0740067B2 - Ultrasonic transducer - Google Patents
Ultrasonic transducerInfo
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- JPH0740067B2 JPH0740067B2 JP31904687A JP31904687A JPH0740067B2 JP H0740067 B2 JPH0740067 B2 JP H0740067B2 JP 31904687 A JP31904687 A JP 31904687A JP 31904687 A JP31904687 A JP 31904687A JP H0740067 B2 JPH0740067 B2 JP H0740067B2
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- ultrasonic transducer
- ultrasonic
- container
- case
- stainless steel
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- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は例えば、距離の測定などに用いられる超音波
トランスジューサ、特に、距離分解能の向上を図るもの
に関する。Description: [Industrial field of use] The present invention relates to an ultrasonic transducer used for, for example, distance measurement, and more particularly to an ultrasonic transducer for improving distance resolution.
［従来の技術］ 第３図は従来の超音波トランスジューサを示す断面図で
ある。図において、（１）は円筒形をした函状のケー
ス、（２）はケース（１）の開口部を密閉するケースカ
バーで、ケース（１）に接着により組み付けられて密封
容器が構成される。（３）はケース（１）の底部内面に
配設された例えばニオブ酸リチウムからなる円板状の超
音波振動子である。（４）は円板状の押さえ部材保持板
で、ケース（１）の内周面部に形成された段部にネジ
（６）で押され部材保持板（４）の外周縁が固定されて
いる。（７）は振動子押さえコイルスプリングで、ケー
ス（１）の底部内面に800℃で焼成された接合部材であ
る銀ペースト（８）で接合された超音波振動子（３）と
ケース（１）の内周面部に外周縁が固定された押さえ部
材保持板（４）との間に介装され、超音波振動子（３）
を円形の絶縁板（９）を介してケース（１）の底部に向
けて常時付勢している。（10）はケースカバー（２）を
貫通して取り付けられたコネクタ、（11）は電線で、コ
ネクタ（10）と超音波振動子（３）とを接続している。
（12）はシールコネクタ（10）に接続されたケーブル、
（13）はケースカバー（２）に取り付けられた支柱であ
る。[Prior Art] FIG. 3 is a sectional view showing a conventional ultrasonic transducer. In the figure, (1) is a cylindrical box-shaped case, and (2) is a case cover for sealing the opening of the case (1), which is assembled to the case (1) by adhesion to form a sealed container. . (3) is a disc-shaped ultrasonic transducer made of, for example, lithium niobate, which is disposed on the inner surface of the bottom of the case (1). (4) is a disc-shaped pressing member holding plate, and the outer peripheral edge of the member holding plate (4) is fixed to the step portion formed on the inner peripheral surface of the case (1) by a screw (6). . (7) is a vibrator pressing coil spring, which is an ultrasonic vibrator (3) and a case (1) bonded to the inner surface of the bottom of the case (1) with a silver paste (8) which is a bonding member baked at 800 ° C. The ultrasonic transducer (3) is interposed between the pressing member holding plate (4) whose outer peripheral edge is fixed to the inner peripheral surface of the
Is constantly urged toward the bottom of the case (1) through the circular insulating plate (9). (10) is a connector that is attached through the case cover (2), and (11) is an electric wire that connects the connector (10) and the ultrasonic transducer (3).
(12) is the cable connected to the seal connector (10),
(13) is a column attached to the case cover (2).
従来の超音波トランスジューサは上記のように構成さ
れ、ケース（１）とケースカバー（２）によって密閉さ
れた超音波振動子（３）に所定の電圧が印加されたとき
には、周波数が2.5MHzでパルス巾50μsecの超音波を発
振し、その超音波は銀ペースト（８）及びケース（１）
の底部を透過してケース（１）外に送り出される。この
ときの指向角は1.3゜（−6dB）でS/N比はせいぜい20dB
であった。The conventional ultrasonic transducer is configured as described above, and when a predetermined voltage is applied to the ultrasonic transducer (3) sealed by the case (1) and the case cover (2), the pulse is generated at a frequency of 2.5 MHz. It oscillates ultrasonic waves with a width of 50 μsec, and the ultrasonic waves are silver paste (8) and case (1).
Permeate through the bottom of the case to be sent out of the case (1). The directivity angle at this time is 1.3 ° (-6 dB) and the S / N ratio is at most 20 dB.
Met.
［発明が解決しようとする問題点］ 上記のような従来の超音波トランスジューサでは、ケー
ス（１）の底部内面に銀ペースト（８）で接合された超
音波振動子（３）は振動子押さえコイルスプリング
（７）でケース（１）の底部に向けて押圧されている
が、その振動子押さえコイルスプリング（７）の押圧は
超音波振動子（３）のケース接触面とは反対側の面を均
一に押圧するやり方であるから、ケース（１）の底部内
面にミクロにみてくぼみがあるときに、振動子押さえコ
イルスプリング（７）の押圧力が均一なために超音波振
動子（３）のケース接触面の一部がケース（１）の底部
内面に倣わないことがあり、そのため空気層が一部に生
じたり、銀ペースト（８）の厚さが不均一になり、超音
波振動子（３）で発生した超音波の透過率即ち音響の伝
播効率が悪くなり、更に超音波の波形に歪みを生じさ
せ、S/N比が低下すると共にパルス巾が長くなって、距
離分解能を低下させるという問題点があった。[Problems to be Solved by the Invention] In the conventional ultrasonic transducer as described above, the ultrasonic transducer (3) bonded to the inner surface of the bottom of the case (1) with the silver paste (8) is a transducer pressing coil. The spring (7) is pressed toward the bottom of the case (1), but the pressing of the vibrator holding coil spring (7) is applied to the surface of the ultrasonic vibrator (3) opposite to the case contact surface. Since it is a method of uniformly pressing, when the inner surface of the bottom of the case (1) has a microscopic indentation, the pressing force of the vibrator pressing coil spring (7) is uniform, so that the ultrasonic vibrator (3) A part of the case contact surface may not follow the inner surface of the bottom part of the case (1), so that an air layer is partially generated and the thickness of the silver paste (8) becomes non-uniform. Immediate transmittance of ultrasonic waves generated in (3) However, there is a problem that the propagation efficiency of the sound is deteriorated, the waveform of the ultrasonic wave is distorted, the S / N ratio is decreased, and the pulse width is lengthened, which deteriorates the distance resolution.
この発明はかかる問題点を解決するためになされたもの
で、S/N比が良好で、しかも距離分解能が向上した超音
波トランスジューサを得ることを目的としている。The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to obtain an ultrasonic transducer having a good S / N ratio and improved distance resolution.
［問題点を解決するための手段］ この発明に係る超音波トランスジューサは、容器の底部
内面に超音波振動子を液体を介して配設し、容器の内周
面に外周縁が固定された押さえ部材保持板に設けられた
複数のネジ穴に螺合した振動子押さえネジで絶縁部材を
介して超音波振動子を容器の底部内面に押圧するように
構成したものである。[Means for Solving the Problems] An ultrasonic transducer according to the present invention has an ultrasonic transducer disposed on the inner surface of the bottom portion of a container via a liquid, and a holding member whose outer peripheral edge is fixed to the inner peripheral surface of the container. The ultrasonic transducer is configured to press the ultrasonic transducer against the inner surface of the bottom of the container via an insulating member by a transducer pressing screw screwed into a plurality of screw holes provided in the member holding plate.
［作用］ この発明においては、容器の底部内面に液体を介して配
設された超音波振動子は容器に固定された押さえ部材保
持板に螺合した複数の振動子押さえネジで絶縁部材を介
して容器の底部内面に押圧固定されているから、超音波
振動子はケースとの接合面と平行な方向には固定されな
いため、温度変化が生じた時に超音波振動子と容器の底
部内面との間に生じる熱膨張を吸収することができる。
更に容器の底部内面にくぼみがあってもそのくぼみは液
体で充填され、しかも各振動子押さえネジで、超音波振
動子が局部的に押圧調整可能なために、超音波振動子の
容器接触面が容器の底部内面に倣うこととなり、超音波
振動子で発生した超音波が容器を透過するまで透過率即
ち音響の伝播効率が良好となると共に超音波の波形の歪
みを改善することができる。[Operation] In the present invention, the ultrasonic transducer disposed on the inner surface of the bottom portion of the container with the liquid interposed therebetween is made up of a plurality of transducer pressing screws screwed into the pressing member holding plate fixed to the container via the insulating member. Since the ultrasonic transducer is not fixed in a direction parallel to the joint surface with the case because it is pressed and fixed to the inner surface of the bottom of the container, when the temperature changes, the ultrasonic transducer and the inner surface of the bottom of the container It is possible to absorb the thermal expansion that occurs between them.
Furthermore, even if there is a dent on the inner surface of the bottom of the container, the dent is filled with liquid, and the ultrasonic transducer can be locally pressed and adjusted by each transducer holding screw. Follows the inner surface of the bottom of the container, and thus the transmittance, that is, the sound propagation efficiency of the ultrasonic waves generated by the ultrasonic transducers can be improved and the distortion of the ultrasonic waveform can be improved.
［実施例］ 第１図はこの発明の一実施例を示す断面図、第２図は超
音波振動子の押さえ機構を示す部分拡大断面図である。
図において、従来例と同一の構成は同一符号を付して重
複した構成の説明を省略する。（１）はステレスケー
ス、（２）はステンレスケースカバー、（14）は複数の
ネジ穴（14a）を互いに等間隔に有する円板状の押さえ
部材保持板で、その外周縁がステンレスケース（１）の
内周面部に形成された段部にネジ（６）で固定されてい
る。（15）は押さえ部材保持板（14）の各ネジ穴（14
a）に螺合される振動子押さえネジ、（16）は振動子押
さえネジ（16）の先端に螺着されたステンレスの押さえ
片、（17）は絶縁部材である柔軟性を有するポリイミド
で、250℃の耐熱性、1017Ω/cmの絶縁性、１×107Radオ
ーダ以上の耐放射性を有する。（18）はチタン酸鉛系セ
ラミックスからなる円板状の超音波振動子で、キューリ
点が360℃、電気機械結合係数0.45、周波数が約2.5MHz
でパルス巾が20μsecのもので、ステンレスとは熱膨張
係数が異なる。（９）は液体であるシリコーンオイル
で、ステンレスケース（１）の底部内面と超音波振動子
（18）との間に介在させられている。[Embodiment] FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a partially enlarged sectional view showing a pressing mechanism of an ultrasonic transducer.
In the figure, the same configurations as those of the conventional example are denoted by the same reference numerals, and the description of the duplicated configurations will be omitted. (1) is a stainless steel case, (2) is a stainless steel case cover, (14) is a disk-shaped pressing member holding plate having a plurality of screw holes (14a) at equal intervals, and the outer periphery of the stainless steel case (1 ) Is fixed to the stepped portion formed on the inner peripheral surface of the screw with a screw (6). (15) is each screw hole (14
A vibrator holding screw screwed into a), (16) a stainless steel holding piece screwed to the tip of the vibrator holding screw (16), and (17) a flexible polyimide that is an insulating member. It has heat resistance of 250 ° C, insulation of 10 17 Ω / cm, and radiation resistance of 1 × 10 7 Rad order or more. (18) is a disc-shaped ultrasonic transducer made of lead titanate-based ceramics, with a Curie point of 360 ° C, an electromechanical coupling coefficient of 0.45, and a frequency of about 2.5 MHz.
With a pulse width of 20 μsec, the coefficient of thermal expansion differs from that of stainless steel. (9) is a liquid silicone oil, which is interposed between the inner surface of the bottom of the stainless steel case (1) and the ultrasonic transducer (18).
超音波振動子（18）のステンレスケース（１）への取り
付けは、まず、ステンレスケース（１）の底部内面にシ
リコーンオイル（19）を塗布し、しかる後に超音波振動
子（18）をシリコーンオイル（19）が塗布されたステン
レスケース（１）の底部内面に配設する。その超音波振
動子（18）のケース接触面とは反対側の面に絶縁部材と
しての柔軟性を有する耐熱シートであるポリイミドシー
ト（17）を載置する。次に、各ネジ穴（14a）に振動子
押さえネジ（15）が螺合された押さえ部材保持板（14）
の外周縁をステンレスケース（１）の内周面部に形成さ
れた段部にネジ（６）で固定する。しかる後、各振動子
押さえネジ（15）を螺回し、振動子押さえネジ（15）の
先端に取り付けられている押さえ片（16）によってポリ
イミドシート（17）を押圧し、これら振動子押さえネジ
（15）の押圧力によって超音波振動子（18）はステンレ
スケース（１）の底部内面に押圧固定される。最後に、
ステンレスケース（１）にステンレスケースカバー
（２）を溶接で取り付ける。To attach the ultrasonic transducer (18) to the stainless steel case (1), first apply silicone oil (19) to the inner surface of the bottom of the stainless steel case (1), and then attach the ultrasonic transducer (18) to the silicone oil. It is arranged on the inner surface of the bottom of the stainless steel case (1) coated with (19). A polyimide sheet (17), which is a heat-resistant sheet having flexibility as an insulating member, is placed on the surface of the ultrasonic vibrator (18) opposite to the case contact surface. Next, a holding member holding plate (14) having a vibrator holding screw (15) screwed into each screw hole (14a)
The outer peripheral edge of is fixed to the step formed on the inner peripheral surface of the stainless steel case (1) with a screw (6). After that, each vibrator holding screw (15) is screwed, and the polyimide sheet (17) is pressed by the holding piece (16) attached to the tip of the vibrator holding screw (15). The ultrasonic transducer (18) is pressed and fixed to the inner surface of the bottom of the stainless steel case (1) by the pressing force of 15). Finally,
Attach the stainless steel case cover (2) to the stainless steel case (1) by welding.
上記のように構成された超音波トランスジューサにおい
ては、チタン酸鉛系セラミックからなる超音波振動子
（15）はキューリ点が360℃であるから、トランスジュ
ーサ使用条件が温度200℃〜250℃であっても、温度の影
響を受けることなく正常に動作し、電気機械結合係数が
0.45と従来のニオブ酸リチウムからなる超音波振動子
（３）の電気機械結合係数に比べて高く、電気・超音波
相互の変換効率が良好であり、超音波エネルギーが大き
くなってS/N比が向上した。また、ステンレスケース
（１）の底部内面に配設された超音波振動子（18）は、
ステンレスケース（１）に固定された押さえ部材保持板
（14）に螺合した複数の振動子押さえネジ（15）でポリ
イミドシート（17）を介してステンレスケース（１）の
底部内面に押圧固定され、その底部内面と超音波振動子
（18）のケース接触面との間にはシリコーンオイル（1
9）が介在しているから、超音波振動子（18）はステン
レスケース（１）との接合面と平行な方向には固定され
ないため、温度変化が生じた時に超音波振動子（18）と
ステンレスケース（１）の間に生じる熱膨張差を吸収す
ることができるため、劣化の少ない優れた耐久性を有す
ることができる。更に、ステンレスケース（１）の底部
内面にミクロにみてくぼみがあっても、そのくぼみはシ
リコーンオイル（19）で充填され、しかも各振動子押さ
えネジ（15）の押さえ片（16）で超音波振動子（18）が
ポリイミドシート（17）を介して局所的に押圧されるた
め、超音波振動子（18）のケース接触面がステンレスケ
ース（１）の底面内面に倣うこととなり、超音波振動子
（18）で発生した超音波がステンレスケース（１）を透
過するまでの透過率即ち音響の伝播効率が良好となり、
S/N比が向上すると共に超音波の波形に歪みを生じさせ
ることがなくなる。従って、S/N比が向上すると共にパ
ルス巾が短かくなり、距離分解能も向上する。また、振
動子押さえネジと（11）と超音波振動子（18）とを絶縁
するために設けられる絶縁部材をポリイミドシート（1
7）としたのは、耐熱性を有し、しかも柔軟性があり、
振動子押さえネジ（11）で超音波振動子（18）を押圧し
たときに、局部的に押圧調整することができるため、ス
テンレスケース（１）の底部内面に倣わせる最適なもの
だからである。更に、チタン酸鉛系セラミックスからな
る超音波振動子（18）とステンレスケース（１）とは熱
膨張係数が大きく異なるが、ステンレスケース（１）の
底部内面と超音波振動子（18）のケース接触面との間に
シリコーンオイル（19）が介在しているから、温度変化
によって生じる超音波振動子（18）にソリをシリコーン
オイル（19）で吸収し、従来のハンダ付けによって生じ
るソリによる指向性の悪化及び剥離という問題も起こら
ない。また、チタン酸鉛系セラミックスからなる超音波
振動子（18）はニオブ酸リチウムのような劈開性がない
から、割れにくく、熱衝撃にも強い。従って、超音波振
動子製造時の歩留りが良好となると共に寿命も向上し
た。In the ultrasonic transducer configured as described above, since the ultrasonic transducer (15) made of lead titanate-based ceramic has a Curie point of 360 ° C, the transducer usage condition is 200 ° C to 250 ° C. Also operates normally without being affected by temperature, and the electromechanical coupling coefficient is
0.45, which is higher than the electromechanical coupling coefficient of the conventional ultrasonic transducer (3) made of lithium niobate, the conversion efficiency between electricity and ultrasonic waves is good, and the ultrasonic energy increases and the S / N ratio increases. Has improved. Further, the ultrasonic transducer (18) arranged on the inner surface of the bottom of the stainless steel case (1) is
A plurality of transducer holding screws (15) screwed to a holding member holding plate (14) fixed to the stainless steel case (1) are pressed and fixed to the inner surface of the bottom of the stainless steel case (1) via a polyimide sheet (17). , Between the bottom inner surface and the case contact surface of the ultrasonic transducer (18)
Since the ultrasonic transducer (18) is not fixed in the direction parallel to the joint surface with the stainless steel case (1), the ultrasonic transducer (18) and the ultrasonic transducer (18) are not fixed when the temperature changes. Since the difference in thermal expansion generated between the stainless steel cases (1) can be absorbed, excellent durability with less deterioration can be obtained. Furthermore, even if the inner surface of the bottom of the stainless steel case (1) is microscopically dented, the dent is filled with silicone oil (19) and ultrasonic waves are applied by the holding pieces (16) of each transducer holding screw (15). Since the vibrator (18) is locally pressed through the polyimide sheet (17), the case contact surface of the ultrasonic vibrator (18) follows the inner surface of the bottom surface of the stainless steel case (1), and the ultrasonic vibration is generated. The ultrasonic wave generated by the child (18) has a good transmittance until it passes through the stainless steel case (1), that is, the sound transmission efficiency,
The S / N ratio is improved and distortion of the ultrasonic waveform is prevented. Therefore, the S / N ratio is improved, the pulse width is shortened, and the distance resolution is also improved. Further, the polyimide sheet (1) is used as an insulating member provided to insulate the vibrator pressing screw (11) and the ultrasonic vibrator (18).
7) is that it has heat resistance and is flexible,
This is because when the ultrasonic vibrator (18) is pressed by the vibrator pressing screw (11), the pressure can be locally adjusted, so that it is the best one to follow the inner surface of the bottom of the stainless steel case (1). . Furthermore, although the thermal expansion coefficient of the ultrasonic transducer (18) made of lead titanate-based ceramics and the stainless steel case (1) is significantly different, the inner surface of the bottom of the stainless steel case (1) and the ultrasonic transducer (18) case Since the silicone oil (19) is interposed between the contact surface, the ultrasonic transducer (18) generated by temperature change absorbs the sled with the silicone oil (19), and the direction caused by the sled produced by conventional soldering is used. The problem of deterioration of sex and peeling does not occur. Further, since the ultrasonic vibrator (18) made of lead titanate-based ceramics does not have the cleavage property unlike lithium niobate, it is hard to break and is resistant to thermal shock. Therefore, the yield at the time of manufacturing the ultrasonic vibrator was improved and the life was improved.
なお、この実施例では、超音波振動子（18）がキューリ
点300℃以上のチタン酸鉛系セラミックスで形成されて
いるが、これに限るものではなく、ステンレスケース
（１）と熱膨張係数が異なっても、電気機械結合係数が
大きく、高温用のものであれば、この発明を適用しえる
ことは勿論である。例えば、チタン酸鉛系セラミックス
以外のものとしてジルコン酸チタン酸鉛系セラミックス
がある。また、この実施例では、絶縁部材（17）として
ポリイミドシートを用いているが、絶縁性を有し、柔軟
性がある材質であれば、これに限らないことは勿論であ
る。更に、液体としてシリコーンオイルを用いている
が、他のオイル、液体金属を用いても、シリコーンオイ
ルと同様の機能を発揮することはいうまでもない。ま
た、この実施例では容器はステンレスで構成されている
が、他の金属、セラミックス、エンジニアリングプラス
チックで構成するようにしてもこの発明を実施しえるこ
とは勿論である。In this embodiment, the ultrasonic transducer (18) is made of lead titanate-based ceramics having a Curie point of 300 ° C. or higher, but the invention is not limited to this, and the thermal expansion coefficient of the stainless steel case (1) is the same as that of the stainless steel case (1). Even if they are different, the present invention can be applied as long as the electromechanical coupling coefficient is large and the one for high temperature is used. For example, there is lead zirconate titanate-based ceramics other than the lead titanate-based ceramics. In addition, although a polyimide sheet is used as the insulating member (17) in this embodiment, it is needless to say that the material is not limited to this as long as it is a material having an insulating property and flexibility. Further, although silicone oil is used as the liquid, it goes without saying that the same function as that of the silicone oil can be achieved by using other oil or liquid metal. Further, in this embodiment, the container is made of stainless steel, but it goes without saying that the present invention can be carried out if it is made of other metal, ceramics, or engineering plastic.
［発明の効果］ この発明は以上説明したとおり、容器の底部内面に液体
を介して配設された超音波振動子はステンレスケースに
固定された押さえ部材保持板に螺合した複数の振動子押
さえネジで絶縁部材を介して容器の底部内面に押圧固定
され、各振動子押さえネジによって超音波振動子が局部
的に押圧調整できるので、超音波振動子が容器との接合
面と平行な方向に固定されないため、温度変化が生じた
時に超音波振動子と容器の間に生じる熱膨張差を吸収で
きるため、劣化の少ない優れた耐久性を有することがで
きる。更に、容器の底部内面にくぼみがあってもそのく
ぼみは液体で充填され、空気層がなくなり、しかも振動
子押さえネジで超音波振動子が絶縁部材を介して局所的
に押圧されるために超音波振動子の容器接触面が容器の
底部内面にな倣うこととなり、超音波振動子で発生した
超音波が容器を透過するまでの音響の伝播効率が良好と
なり、S/N比が向上すると共に超音波の波形に歪みを生
じさせることがなくなってパスル巾が短かくなって、距
離分解能が向上するという効果がある。EFFECTS OF THE INVENTION As described above, according to the present invention, the ultrasonic transducer disposed on the inner surface of the bottom portion of the container through the liquid has a plurality of transducer holders screwed to the holder holding plate fixed to the stainless steel case. The ultrasonic transducer is pressed and fixed to the inner surface of the bottom of the container through the insulating member with screws, and the ultrasonic transducer can be locally pressed and adjusted by each transducer holding screw, so that the ultrasonic transducer is parallel to the joint surface with the container. Since it is not fixed, the difference in thermal expansion generated between the ultrasonic vibrator and the container when a temperature change occurs can be absorbed, so that excellent durability with little deterioration can be obtained. Furthermore, even if there is a dent on the inner surface of the bottom of the container, the dent is filled with liquid, the air layer disappears, and the ultrasonic holding screw locally presses the ultrasonic vibrator through the insulating member. The container contact surface of the ultrasonic transducer will follow the inner surface of the bottom of the container, the sound transmission efficiency until the ultrasonic waves generated by the ultrasonic transducer pass through the container will be good, and the S / N ratio will be improved. The waveform of the ultrasonic wave is not distorted, the pulse width is shortened, and the distance resolution is improved.
第１図はこの発明の一実施例を示す断面図、第２図は超
音波振動子の押さえ機構を示す部分拡大断面図、第３図
は従来の超音波トランスジューサを示す断面図である。 図において、（１）はステンレスケース（容器）、
（２）はステンレスケースカバー（容器）、（14）は押
さえ部材保持板、（14a）はネジ穴、（15）は振動子押
さえネジ、（17）はポリイミドシート（絶縁部材）、
（18）は超音波振動子、（19）はシリコーンオイル（液
体）である。1 is a sectional view showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a partially enlarged sectional view showing a holding mechanism of an ultrasonic transducer, and FIG. 3 is a sectional view showing a conventional ultrasonic transducer. In the figure, (1) is a stainless steel case (container),
(2) is a stainless steel case cover (container), (14) is a holding member holding plate, (14a) is a screw hole, (15) is a vibrator holding screw, (17) is a polyimide sheet (insulating member),
(18) is an ultrasonic oscillator, and (19) is silicone oil (liquid).
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 唐沢 博一 東京都港区芝浦１丁目１番１号 株式会社 東芝本社事務所内 (72)発明者 佐藤 増雄 東京都港区芝浦１丁目１番１号 株式会社 東芝本社事務所内 (56)参考文献 特開 昭55−46620（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−40900（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−75690（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭59−189156（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭59−11238（ＪＰ，Ｂ２) ─────────────────────────────────────────────────── --- Continuation of the front page (72) Inventor Hirokazu Karasawa 1-1-1, Shibaura, Minato-ku, Tokyo Inside Toshiba Headquarters office (72) Inventor Masuo Sato 1-1-1, Shibaura, Minato-ku, Tokyo In the headquarters office of Toshiba Corporation (56) Reference JP-A-55-46620 (JP, A) JP-A-62-40900 (JP, A) Actually open 61-75690 (JP, U) Actual-open Sho-59-189156 (JP, U) Japanese Patent Publication Sho 59-11238 (JP, B2)
Claims (4)
と、容器の底部内面と超音波振動子との間に介在させら
れた液体と、容器の内周面に外周縁が固定された押さえ
部材保持板と、押さえ部材保持板に設けられた複数のネ
ジ穴に螺合され、先端が絶縁部材を介して超音波振動子
の容器接触面と反対側の面を押圧する複数の振動子押さ
えネジとを備えたことを特徴とする超音波トランスジュ
ーサ。1. An ultrasonic transducer arranged on the inner surface of the bottom of a container, a liquid interposed between the inner surface of the bottom of the container and the ultrasonic transducer, and an outer peripheral edge fixed to the inner peripheral surface of the container. Of the pressing member holding plate and a plurality of screw holes provided in the pressing member holding plate, and the tip of the pressing member holding plate presses the surface of the ultrasonic transducer opposite to the container contact surface via the insulating member. An ultrasonic transducer comprising a vibrator pressing screw.
チタン酸鉛系セラミックスであることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の超音波トランスジューサ。2. The ultrasonic transducer according to claim 1, wherein the ultrasonic vibrator is lead titanate-based ceramics having a Curie point of 300 ° C. or higher.
とする特許請求の範囲第１項又は第２項記載の超音波ト
ランスジューサ。3. The ultrasonic transducer according to claim 1 or 2, wherein the liquid is silicone oil.
らなることを特徴とする特許請求の範囲第１項、第２項
又は第３項記載の超音波トランスジューサ。4. The ultrasonic transducer according to claim 1, 2, or 3, wherein the insulating member is made of a heat-resistant sheet having flexibility.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31904687A JPH0740067B2 (en) | 1987-12-18 | 1987-12-18 | Ultrasonic transducer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31904687A JPH0740067B2 (en) | 1987-12-18 | 1987-12-18 | Ultrasonic transducer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01162183A JPH01162183A (en) | 1989-06-26 |
| JPH0740067B2 true JPH0740067B2 (en) | 1995-05-01 |
Family
ID=18105902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31904687A Expired - Lifetime JPH0740067B2 (en) | 1987-12-18 | 1987-12-18 | Ultrasonic transducer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0740067B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7440246B2 (en) * | 2019-10-28 | 2024-02-28 | Ｊｆｅスチール株式会社 | Interface measurement device, tar decanter, and interface measurement method |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5911238B2 (en) | 2011-09-02 | 2016-04-27 | オリンパス株式会社 | Optical scanning device and endoscope, microscope, and projector provided with the same |
-
1987
- 1987-12-18 JP JP31904687A patent/JPH0740067B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5911238B2 (en) | 2011-09-02 | 2016-04-27 | オリンパス株式会社 | Optical scanning device and endoscope, microscope, and projector provided with the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01162183A (en) | 1989-06-26 |
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