JPH0770688B2 - Semiconductor integrated circuit device - Google Patents
Semiconductor integrated circuit deviceInfo
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- JPH0770688B2 JPH0770688B2 JP63291967A JP29196788A JPH0770688B2 JP H0770688 B2 JPH0770688 B2 JP H0770688B2 JP 63291967 A JP63291967 A JP 63291967A JP 29196788 A JP29196788 A JP 29196788A JP H0770688 B2 JPH0770688 B2 JP H0770688B2
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Description
【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は半導体集積回路装置に関し、特にラッチアップ
現象の防止をはかったものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Field of Industrial Application) The present invention relates to a semiconductor integrated circuit device, and more particularly to preventing a latch-up phenomenon.
(従来の技術) 近年集積回路市場に於いて、ICメモリは急成長を遂げ、
とりわけここ数年来、紫外線による消去が可能で電気的
に書込み可能なリード・オンリー・メモリ(EPROM)の
市場が飛躍的な拡大を見せている。この市場拡大に伴い
大容量、高速、低消費電力、低価格という要求から、周
辺CMOS化によって、低消費電力化を図る動きが目立って
きた。(Prior Art) In the integrated circuit market in recent years, IC memory has achieved rapid growth,
In particular, over the past few years, the market for read-only memory (EPROM), which is erasable by ultraviolet light and electrically writable, has shown a dramatic expansion. Due to the demand for large capacity, high speed, low power consumption, and low price with the expansion of this market, there has been a remarkable movement to reduce power consumption by using peripheral CMOS.
(発明が解決しようとする課題) 従来、EPROMはCMOS化が、困難であった。その理由とし
ては、プログラム時に高電圧を必要とする事、そして、
書込みの際に数ミリアンペア程度の基板電流が流れる事
にあった。何故ならば、その事はCMOS回路特有の問題で
ある電源間に大電流を流し、素子の破壊までも引起こし
てしまう「ラッチアップ現象」の誘発原因となりうるか
らである。また、高速化によっても「ラッチアップ現
象」を引き起こしてしまう事がある。それは動作速度の
高速化によって、出力端子に於いて、急速な充放電が行
われる様になり、出力端子に付帯する容量・抵抗・イン
ダクタの為に、出力電位のオーバー・シュート、アンダ
ー・シュート、リンギングを生じ、それらの過激な変動
によって、基板電流が発生し、それが「ラッチアップ現
象」を、誘発するものである。(Problems to be Solved by the Invention) Conventionally, it has been difficult to form an EPROM into CMOS. The reason is that high voltage is required for programming, and
When writing, a substrate current of about several milliamps flowed. This is because that can cause a "latch-up phenomenon", which is a problem peculiar to CMOS circuits, in which a large current is caused to flow between the power supplies and even destruction of the device occurs. In addition, the "latch-up phenomenon" may occur even when the speed is increased. Due to the increase in operating speed, rapid charging and discharging will be performed at the output terminal, and due to the capacitance, resistance, and inductor attached to the output terminal, overshoot and undershoot of the output potential, The ringing occurs, and the radical fluctuations in the ringing generate a substrate current, which induces a “latch-up phenomenon”.
本発明は前記の問題に鑑みて成されたもので、その目的
は、パターン占有面積を増加させることなく、相補素子
型回路を含む半導体集積回路装置のラッチアップ耐性を
高めることが可能な半導体集積回路装置を提供すること
にある。The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to increase the latch-up resistance of a semiconductor integrated circuit device including a complementary element type circuit without increasing the pattern occupying area. It is to provide a circuit device.
[発明の構成] (課題を解決するための手段) 上記目的を達成するために、この発明の第1の態様で
は、第1導電型の半導体基板と、この基板の一周縁部の
近傍に設けられた、保護回路を含む入力回路を配置する
ための第1の回路ブロックと、この第1の回路ブロック
に隣接して設けられた、前記入力回路の周辺回路を配置
するための、少なくとも相補素子型回路を含む第2の回
路ブロックと、この第2の回路ブロックに隣接して設け
られた、記憶回路の周辺回路を配置するための、少なく
とも相補素子型回路を含む第3の回路ブロックと、この
第3の回路ブロックに隣接して設けられた、前記記憶回
路を配置するための、少なくとも記憶素子を含む第4の
回路ブロックと、この第4の回路ブロックに隣接して設
けられた、高電圧系回路を配置するための、少なくとも
相補素子型回路および高電圧素子を含む第5の回路ブロ
ックと、この第5の回路ブロックに隣接して設けられ
た、出力回路の周辺回路を配置するための、少なくとも
相補素子型回路を含む第6の回路ブロックと、この第6
の回路ブロックに隣接して、前記一周縁部に相対する前
記基板の他周縁部の近傍に設けられた、前記出力回路を
配置するための、少なくとも相補素子型回路を含む第7
の回路ブロックとを具備する。そして、前記出力回路が
含む相補素子型回路を得るための第2導電型のウェル領
域を前記基板の他周縁部側に配置し、前記出力回路から
の出力データを外部出力端子に与えるためのパッドを前
記出力回路が含む相補素子型回路を構成する一方導電型
素子、他方導電型素子との間に配置し、前記第2、第
3、第5、第6、第7の回路ブロック間では、同一導電
型の素子を隣接させて配置したことを特徴としている。[Configuration of the Invention] (Means for Solving the Problems) In order to achieve the above object, in a first aspect of the present invention, a semiconductor substrate of a first conductivity type is provided in the vicinity of one peripheral portion of the substrate. First circuit block for arranging the input circuit including the protection circuit, and at least a complementary element for arranging the peripheral circuit of the input circuit, which is provided adjacent to the first circuit block. A second circuit block including a pattern circuit, and a third circuit block provided adjacent to the second circuit block and including at least a complementary element type circuit for arranging a peripheral circuit of the memory circuit, A fourth circuit block, which is provided adjacent to the third circuit block and includes at least a memory element, for arranging the memory circuit, and a high circuit provided adjacent to the fourth circuit block. Voltage circuit A fifth circuit block including at least a complementary element type circuit and a high voltage element, and at least a complementary circuit for arranging a peripheral circuit of the output circuit provided adjacent to the fifth circuit block. A sixth circuit block including an element type circuit and the sixth circuit block
A seventh circuit including at least a complementary element type circuit for arranging the output circuit, which is provided adjacent to the circuit block in the vicinity of the other peripheral edge portion of the substrate facing the one peripheral edge portion.
Circuit block. Then, a well region of the second conductivity type for obtaining a complementary element type circuit included in the output circuit is arranged on the other peripheral edge side of the substrate, and a pad for giving output data from the output circuit to an external output terminal. Between the second conductivity type element and the second conductivity type element that form the complementary element type circuit included in the output circuit, and between the second, third, fifth, sixth, and seventh circuit blocks, The feature is that elements of the same conductivity type are arranged adjacent to each other.
また、この発明の第2の態様では、前記記憶回路が配置
される第4の回路ブロックの、前記第3、第5の回路ブ
ロックとそれぞれ隣接する辺以外の他辺に隣接して、前
記記憶回路の他の周辺回路を配置するための、少なくと
も相補素子型回路を含む第8の回路ブロックをさらに具
備する。そして、相補素子型回路を含む第8の回路ブロ
ックと前記第4の回路ブロック間では、同一導電型の素
子を隣接させて配置したことを特徴としている。According to a second aspect of the present invention, the storage circuit is provided adjacent to other sides of the fourth circuit block in which the storage circuit is arranged, other than the sides respectively adjacent to the third and fifth circuit blocks. An eighth circuit block including at least a complementary element type circuit for arranging other peripheral circuits of the circuit is further provided. Further, between the eighth circuit block including the complementary element type circuit and the fourth circuit block, elements of the same conductivity type are arranged adjacent to each other.
また、この発明の第3の態様では、前記記憶回路が含む
記憶素子はデータの書き替えが可能な不揮発性記憶素子
であり、この不揮発性記憶素子がデータの書き替えの際
に、少なくとも基板電流を伴うものである時、前記記憶
回路が配置される第4の回路ブロックとこの第4の回路
ブロックに隣接する回路ブロック間では、この不揮発性
記憶素子と同一導電型の素子を隣接させて配置したこと
を特徴としている。Further, in a third aspect of the present invention, the storage element included in the storage circuit is a non-volatile memory element capable of rewriting data, and the non-volatile memory element is at least a substrate current when rewriting data. Associated with the non-volatile memory element, the non-volatile memory element is adjacent to the fourth circuit block in which the memory circuit is disposed and the circuit block adjacent to the fourth circuit block. It is characterized by having done.
また、この発明の第4の態様では、前記高電圧系回路で
は、この高電圧系回路の相補素子型回路が含む一方導電
型素子、他方導電型素子のうち、前記高電圧素子と同一
導電型の素子を、この高電圧系回路の高電圧素子に隣接
させて配置したことを特徴としている。Further, in a fourth aspect of the present invention, in the high voltage system circuit, of the one conductivity type element and the other conductivity type element included in the complementary element type circuit of the high voltage system circuit, the same conductivity type as the high voltage element. This element is arranged adjacent to the high voltage element of this high voltage system circuit.
また、この発明の第5の態様では、前記記憶回路が含む
記憶素子、並びに前記高電圧系回路が含む高電圧素子を
ともに一方導電型とした時、前記高電圧素子と前記記憶
回路が配置される第4の回路ブロックとの間に、他の一
方導電型素子を、さらに配置したことを特徴としてい
る。According to a fifth aspect of the present invention, when the storage element included in the storage circuit and the high voltage element included in the high voltage system circuit are both of one conductivity type, the high voltage element and the storage circuit are arranged. Another one-conductivity-type element is further arranged between the fourth circuit block and the fourth circuit block.
また、この発明の第6の態様では、前記記憶回路の周辺
回路のうち、デコーダを少なくとも第8の回路ブロック
に配置したことを特徴としている。The sixth aspect of the present invention is characterized in that, of the peripheral circuits of the memory circuit, the decoder is arranged in at least the eighth circuit block.
(作用) 上記第1乃至第6の態様を有する半導体集積回路装置で
あると、機能の異なった各回路ブロックが相補素子型回
路を含む時、各回路ブロックどうしの隣接部分に、同一
導電型の素子を隣接して配置することで、他導電型素子
を得るための領域どうしが離れるようになり、これら領
域どうしが離れることによって、これら領域間における
基板抵抗が増加し、寄生NPNトランジスタ、および寄生P
NPトランジスタが導通し難くなる。よって、特に相補素
子型回路に発生するラッチアップ現象を抑制することが
できる。(Operation) In the semiconductor integrated circuit device having the first to sixth aspects, when each circuit block having a different function includes a complementary element type circuit, adjacent circuit parts of the circuit blocks are of the same conductivity type. By arranging the elements adjacent to each other, the areas for obtaining the other conductivity type elements are separated from each other, and by separating these areas, the substrate resistance between these areas is increased, and the parasitic NPN transistor and the parasitic P
It is difficult for the NP transistor to conduct. Therefore, the latch-up phenomenon that occurs particularly in the complementary element type circuit can be suppressed.
しかも、上記第1乃至第6の態様を有する半導体集積回
路装置では、各回路ブロックどうしの隣接部分に同一導
電型の素子を隣接して配置する構成を有するので、基板
抵抗を増加させるために、各回路ブロックの大きさ、お
よびこれらの配置間隔を拡大させる必要性も軽減され、
よって、パターン占有面積を増大させることなく、ラッ
チアップ現象をより効果的に抑制することができる。Moreover, in the semiconductor integrated circuit device having the first to sixth aspects, since the elements of the same conductivity type are arranged adjacent to each other in the adjacent portions of the circuit blocks, in order to increase the substrate resistance, It also reduces the size of each circuit block and the need to increase the spacing between them.
Therefore, the latch-up phenomenon can be suppressed more effectively without increasing the pattern occupation area.
(実施例) 第1図(a)は、出力回路21に於ける本発明の一実施例
のパターン平面図である。出力端子に接続されるボンデ
ィング用アルミニウムパッド22を挟むようにしてNチャ
ネルトランジスタ群1,Pチャネルトランジスタ群2が配
置される。(Embodiment) FIG. 1A is a pattern plan view of an embodiment of the present invention in the output circuit 21. The N-channel transistor group 1 and the P-channel transistor group 2 are arranged so as to sandwich the bonding aluminum pad 22 connected to the output terminal.
出力回路の様に、大電流の消費される様な回路、加え
て、外部端子として外来ノイズの影響を受けやすい回路
に於いてはNチャンネルトランジスタ部及び、Pチャネ
ルトランジスタ部のどちらに於いてでも、ラッチアップ
の原因となる基板電流を誘発し易い。In a circuit that consumes a large amount of current, such as an output circuit, and in a circuit that is easily affected by external noise as an external terminal, either in the N-channel transistor section or the P-channel transistor section. , It is easy to induce the substrate current that causes latch-up.
この為、第1図(a)に示す様に外部出力端子に接続さ
れるボンディング用のパッド22に対し、チップの内側に
Nチャネルトランジスタ1が配置され、外側、すなわち
チップのエンド(終端)e側にはPチャネルトランジス
タ2を配する様にした。この様に、Pチャネルトランジ
スタ2をチップのエンドe側に配置する事によって、内
部回路とはパッド領域22の分だけ離れる事になる。この
為、ラッチ・アップの誘発原因である、基板電流が生じ
た場合に於いてでも、内部回路と離れている分、基板抵
抗が大きくなる為、寄生バイポーラ・トランジスタによ
るベース電流が制限される。その事によって、ラッチ・
アップに対する耐性を高める事が可能となる。Therefore, as shown in FIG. 1 (a), the N-channel transistor 1 is arranged inside the chip with respect to the bonding pad 22 connected to the external output terminal, and the outside, that is, the end (termination) e of the chip. The P-channel transistor 2 is arranged on the side. By arranging the P-channel transistor 2 on the end e side of the chip in this way, the pad region 22 is separated from the internal circuit. Therefore, even when the substrate current, which is the cause of the latch-up, is generated, the substrate resistance increases due to the distance from the internal circuit, so that the base current due to the parasitic bipolar transistor is limited. By that,
It is possible to increase the resistance to up.
第1図(b)〜(g)は、同図(a)を断面的に模した
もので、23はP型基板、24はNウエル層、VCCは電源
端、VSSは接地端、251〜252および、30はN+層、26はN
チャネルトランジスタ群1のポリシリコン電極、27はP
チャネルトランジスタ群2のポリシリコン電極、281〜2
82および、29はP+層、Tr1はP+層281,Nウエル24,P基板23
よりなる寄生PNPバイポーラトランジスタ、Tr2はP+層28
2,Nウエル24,P基板23よりなる寄生PNPバイポーラトラン
ジスタ,Tr3はNウエル24,P基板23,N+層251よりなる寄
生NPNバイポーラトランジスタ、Tr4はNウエル24,P基板
23,N+層252よりなる寄生NPNバイポーラトランジスタ、r
1〜r3はNウエル寄生抵抗、r4〜r7はP基板寄生抵抗で
ある。FIGS. 1 (b) to (g) are sectional views of FIG. 1 (a), in which 23 is a P-type substrate, 24 is an N well layer, VCC is a power supply end, VSS is a ground end, and 25 1 25 2 and 30 are N + layer, 26 N
Polysilicon electrode of channel transistor group 1, 27 is P
Polysilicon electrodes of channel transistor group 2, 28 1 to 2
8 2 and 29 are P + layers, Tr 1 is a P + layer 28 1 , N well 24, P substrate 23
Parasitic PNP bipolar transistor, Tr 2 is P + layer 28
2. Parasitic PNP bipolar transistor consisting of N well 24 and P substrate 23, Tr 3 is N well 24 and P substrate 23, parasitic NPN bipolar transistor consisting of N + layer 25 1 , Tr 4 is N well 24 and P substrate
23, consisting of the N + layer 25 2 parasitic NPN bipolar transistor, r
1 to r 3 are N well parasitic resistances, and r 4 to r 7 are P substrate parasitic resistances.
以下に第1図(b)〜(g)を用いて、上記ラッチアッ
プ現象の抑制方法をラッチアップ現象の一例をもとに説
明する。第1図(b)に於て、外部出力端22に電源電圧
VCC以上の、プラス方向のノイズが混入した場合につい
て説明する。このとき、寄生PNPバイポーラトランジス
タTr2のベースは、ウエル寄生抵抗r1,r2を介して、電
源VCCにバイアスされたままである為Tr2はターンオン
し、P基板寄生抵抗r5,r6,r7を通り、接地端VSSに抜
ける電流i1が流れる。この電流i1が流れることにより、
P基板23中に電位勾配が生じP基板寄生抵抗r5,r6,r7
のそれぞれの両端に電位差が生じる。それによって、寄
生NPNバイポーラトランジスタTr4のベースが、順方向バ
イアスされTr4はターンオンする。そのため第1図
(c)に示す様に、ウエル寄生抵抗r1,r2,r3を通り、
電流i2が流れる。またこの電流i2が流れることで、寄生
PNPバイポーラトランジスタTr1のベースが繋がるウエル
寄生抵抗r2の両端に電位効果が生じ、電源電圧VCCより
低下することで、Tr1のベースは順方向バイアスとな
り、Tr1はターンオンし、第1図(d)に示す様にP基
板寄生抵抗r4,r5,r6,r7を介し、接地端VSSに、電流i
3が流れる。この電流i3が流れる事で、寄生NPNバイポー
ラトランジスタTr4のベースは更に順方向バイアスさ
れ、電流i2は増加する。上記の様な動作を繰り返す事に
よって、外部出力端22に混入したノイズが治まっても電
流は電源VCCから接地端VSSへと流れ続け、電源を切るま
でこの状態は続く、これがラッチアップ現象である。ま
た、電源電圧VCCが、他の外部出力回路等の影響を受け
て一時的に電圧が低下(例えば4,5V程度)し、外部出力
端22に電源電圧VCCレベルの電圧(例えば5V)となって
いる場合に於いても、ウエル寄生抵抗r1,r2を介して、
寄生PNPバイポーラトランジスタTr2のベースが順方向バ
イアスとなり、ターンオンする為、第1図(b)の様に
電流i1が流れ、前記と同様な動作を繰り返す事で、ラッ
チアップ現象が発生する。次に、第1図(e)に於て、
外部出力端22に、接地端電圧VSS以下のマイナス方向の
ノイズが混入した場合についても説明する。この時P基
板寄生抵抗r6,r7を介し、ベースが接地電位にバイアス
されている為、寄生NPNバイポーラトランジスタTr3はタ
ーンオンし、ウエル寄生抵抗のr1,r2,r3を通り、電流
i4が流れる。この電流i4が流れることによってNウエル
24内に電位勾配が発生し、ウエル抵抗r1,r2の接続点に
電位降下を生じ、寄生PNPバイポーラトランジスタTr1の
ベースは順方向バイアスとなり、Tr1はターンオンす
る。それによって、P基板寄生抵抗r4,r5,r6,r7を通
り第1図(f)に示すように、接地端VSSに電流i5が流
れる。P基板23内に、電流i5が流れる事によって、P基
板23中にも電位勾配が発生し、寄生NPNバイポーラトラ
ンジスタTr4のベースは順方向バイアスされる事にな
り、Tr4はターンオンする。その為、ウエル寄生抵抗
r1,r2,r3を通り第1図(g)に示すように、電流i6が
流れる。この電流i6が流れる事で、Nウエル24内の電位
勾配は大きくなり、寄生PNPバイポーラトランジスタTr1
のベースが更に順方向バイアスされ電流i5は増加する。
上記のような動作を繰り返す事によっても前記と同様
に、ノイズが治まっても、電源間に電流が流れ続けると
いったラッチアップ現象が発生する。また、接地端VSS
が、ほかの外部出力回路等の影響を受けて、一時的に接
地端電圧が浮き(例えば0.5程度)外部出力端22が接地
端電圧VSSレベルの電圧(例えばOV)である時も、P基
板寄生抵抗のr6,r7を介して寄生NPNバイポーラトラン
ジスタTr3のベースが順方向バイアスされターンオンす
る為、第1図(e)のように電流i4が流れ、前記と同様
な動作を繰り返し、ラッチアップ現象が発生する。以上
のことから、ラッチアップ現象の原因は基板電流または
ウエル電流が流れる事で、基板またはウエルの寄生抵抗
による電位勾配が、寄生バイポーラトランジスタのベー
スを順方向バイアスする為である事が分かる。それに対
し、ラッチアップ現象の発生を防ぐ方法としては寄生抵
抗をコントロールすることであり、即ちガードリング等
によって寄生抵抗を低くし、電位勾配を押さえる。ま
た、寄生抵抗を大きくし基板電流あるいは、ウエル電流
そのもの押さえるという二つの方法である。本発明の一
実施例である出力回路21では、Nチャネルトランジスタ
群1とPチャネルトランジスタ群2の距離を離す事で寄
生基板抵抗を大きくし基板電流を押さえ、ラッチアップ
現象の発生を抑制しようとするものである。A method of suppressing the latch-up phenomenon will be described below with reference to FIGS. 1 (b) to (g) based on an example of the latch-up phenomenon. In FIG. 1 (b), the power supply voltage is applied to the external output terminal 22.
The case where noise in the positive direction above VCC is mixed will be described. At this time, the base of the parasitic PNP bipolar transistor Tr 2 remains biased to the power supply VCC through the well parasitic resistances r 1 and r 2 , so that Tr 2 is turned on, and the P substrate parasitic resistances r 5 and r 6 , A current i 1 flows through r 7 to the ground terminal VSS. By the flow of this current i 1 ,
A potential gradient is generated in the P substrate 23, and P substrate parasitic resistances r 5 , r 6 and r 7
A potential difference is generated at both ends of each. Thereby, the base of the parasitic NPN bipolar transistor Tr 4 is forward biased and Tr 4 is turned on. Therefore, as shown in FIG. 1 (c), it passes through the well parasitic resistances r 1 , r 2 , r 3 ,
Current i 2 flows. In addition, this current i 2 flows
Ends to the potential effects of the well parasitic resistance r 2 in which the base of the PNP bipolar transistor Tr 1 is connected occurs, by lower than the power supply voltage VCC, based Tr 1 becomes forward biased, Tr 1 is turned on, FIG. 1 as shown in (d) P substrate parasitic resistance r 4, through r 5, r 6, r 7 , to the ground terminal VSS, current i
3 flows. By the flow of this current i 3, the base of the parasitic NPN bipolar transistor Tr 4 is further forward biased, and the current i 2 increases. By repeating the above operation, the current continues to flow from the power supply VCC to the grounding terminal VSS even if the noise mixed in the external output terminal 22 subsides, and this state continues until the power is turned off.This is the latch-up phenomenon. . In addition, the power supply voltage VCC is temporarily reduced by the influence of other external output circuits (for example, about 4,5V) and becomes the power supply voltage VCC level voltage (for example, 5V) at the external output terminal 22. In this case, the well parasitic resistances r 1 and r 2
Since the base of the parasitic PNP bipolar transistor Tr 2 is forward biased and turned on, the current i 1 flows as shown in FIG. 1B, and the same operation as described above is repeated, so that the latch-up phenomenon occurs. Next, in FIG. 1 (e),
A case where noise in the negative direction equal to or lower than the ground end voltage VSS is mixed into the external output end 22 will also be described. At this time, since the base is biased to the ground potential via the P substrate parasitic resistances r 6 and r 7 , the parasitic NPN bipolar transistor Tr 3 is turned on and passes through the well parasitic resistances r 1 , r 2 and r 3 , Electric current
i 4 flows. The flow of this current i 4 causes the N well
A potential gradient occurs in 24, a potential drop occurs at the connection point of the well resistors r 1 and r 2 , the base of the parasitic PNP bipolar transistor Tr 1 becomes forward biased, and Tr 1 turns on. As a result, a current i 5 flows through the P substrate parasitic resistances r 4 , r 5 , r 6 , r 7 to the ground terminal VSS as shown in FIG. 1 (f). When the current i 5 flows in the P substrate 23, a potential gradient is also generated in the P substrate 23, the base of the parasitic NPN bipolar transistor Tr 4 is forward biased, and Tr 4 is turned on. Therefore, well parasitic resistance
A current i 6 flows through r 1 , r 2 , and r 3 as shown in FIG. 1 (g). Since this current i 6 flows, the potential gradient in the N well 24 becomes large, and the parasitic PNP bipolar transistor Tr 1
The base of is further forward biased and the current i 5 increases.
By repeating the above-described operation, similarly to the above, even when the noise is suppressed, a latch-up phenomenon occurs in which a current continues to flow between the power supplies. Also, ground end VSS
However, due to the influence of other external output circuits etc., the ground terminal voltage temporarily floats (for example, about 0.5), and when the external output terminal 22 is at the ground terminal voltage VSS level voltage (for example, OV), the P substrate Since the base of the parasitic NPN bipolar transistor Tr 3 is forward biased and turned on via the parasitic resistances r 6 and r 7 , a current i 4 flows as shown in FIG. 1 (e), and the same operation as above is repeated. , Latch-up phenomenon occurs. From the above, it is understood that the cause of the latch-up phenomenon is that the substrate current or the well current flows, and the potential gradient due to the parasitic resistance of the substrate or the well forward biases the base of the parasitic bipolar transistor. On the other hand, a method of preventing the occurrence of the latch-up phenomenon is to control the parasitic resistance, that is, the parasitic resistance is reduced by a guard ring or the like to suppress the potential gradient. There are two methods of increasing the parasitic resistance to suppress the substrate current or the well current itself. In the output circuit 21 which is an embodiment of the present invention, the distance between the N-channel transistor group 1 and the P-channel transistor group 2 is increased to increase the parasitic substrate resistance, suppress the substrate current, and suppress the occurrence of the latch-up phenomenon. To do.
さらに本発明において示したように、P型基板23上の、
この基板と反対の導電型を持つN−well領域を、チップ
の終端側に置くことは、さらにラッチアップを起こりに
くくしている。ラッチアップは、CMOS集積回路特有のも
のであり、NMOSあるいはPMOS集積回路では起こらない。
CMOS集積回路においては、基板と反対導電型のウエル領
域中にトランジスタを作るためにラッチアップが発生す
る。すなわち、ラッチアップの主な原因は、ウエル領域
上のトランジスタであり、このウエル領域が無いならば
ラッチアップは起こらない。このため、特にラッチアッ
プの起こりやすい出力端子に接続されるトランジスタの
つくられるウエル領域と、他の内部回路との距離は、さ
らに大きくとられる。本発明のように、出力端子に接続
されるトランジスタのつくられるウエル領域をチップの
終端側に配置するようにすれば、終端側には、他の回路
は何もなく、チップが終わっているだけであるので、ラ
ッチアップに対しては、チップの内側のみを、すなわ
ち、ウエル領域の一辺のみに対して、他の内部回路を離
して配置すればよいので、出力回路を形成するためのチ
ップ上の面積を小さくできるという利点があり、ウエル
領域の一辺側にしか、他の回路が置かれないのでラッチ
アップも起こりにくくなるのである。Further, as shown in the present invention, on the P-type substrate 23,
Placing the N-well region having a conductivity type opposite to that of the substrate on the terminal side of the chip further makes latch-up less likely to occur. Latch-up is peculiar to CMOS integrated circuits and does not occur in NMOS or PMOS integrated circuits.
In a CMOS integrated circuit, latch-up occurs because a transistor is formed in a well region having a conductivity type opposite to that of a substrate. That is, the main cause of latch-up is the transistor on the well region, and latch-up does not occur without this well region. For this reason, the distance between the well region in which the transistor connected to the output terminal where latch-up is likely to occur and other internal circuits is further increased. As in the present invention, if the well region in which the transistor connected to the output terminal is formed is arranged on the terminal side of the chip, there is no other circuit on the terminal side, and the chip is finished. Therefore, for latch-up, only the inside of the chip, that is, only one side of the well region and the other internal circuits need to be arranged separately, and therefore, on the chip for forming the output circuit. The advantage is that the area of the well can be made small, and since other circuits are placed only on one side of the well region, latch-up is less likely to occur.
第2図は前記出力回路21に近接する周辺回路を配置した
本発明の一実施例である。周辺回路の回路31中のNチャ
ネルトランジスタ群3は出力回路21側に配置され、回路
31中のPチャネルトランジスタ群4は、Nチャネルトラ
ンジスタ群3に対し出力回路21の反対側に配置する、こ
の事は、外部に接続される出力回路中のNチャネルトラ
ンジスタ群1に於いて、それ自体の動作、もしくは、外
来雑音によって基板電流を生じる場合に於いてでも、ラ
ッチアップの直接原因となる基板電流は、第2図に示す
様に、出力回路21のNチャネルトランジスタ群1に対
し、内部回路31のNチャネルトランジスタ群3を挾み、
内部回路31のPチャネルトランジスタ群4を配する事に
よって、出力回路21のNチャネルトランジスタ群1か
ら、内部回路31のPチャネルトランジスタ群4までの基
板抵抗が大きくなり、基板電流は流れ難くなる。即ちノ
イズが入る出力端子22と接続されているNチャネルトラ
ンジスタ群1と、Pチャネルトランジスタ群4を離すた
め、Nチャネルトランジスタ群3を介するようにして配
置する。その結果、回路占有面積も増加せずラッチ・ア
ップ耐性を高める事が可能となる。FIG. 2 shows an embodiment of the present invention in which a peripheral circuit adjacent to the output circuit 21 is arranged. The N-channel transistor group 3 in the circuit 31 of the peripheral circuit is arranged on the output circuit 21 side,
The P-channel transistor group 4 in 31 is arranged on the opposite side of the output circuit 21 with respect to the N-channel transistor group 3. This means that in the N-channel transistor group 1 in the output circuit connected to the outside, Even when the substrate current is generated by its own operation or external noise, the substrate current that directly causes the latch-up is as shown in FIG. 2 with respect to the N-channel transistor group 1 of the output circuit 21. Interposing the N-channel transistor group 3 of the internal circuit 31,
By arranging the P-channel transistor group 4 of the internal circuit 31, the substrate resistance from the N-channel transistor group 1 of the output circuit 21 to the P-channel transistor group 4 of the internal circuit 31 increases, and it becomes difficult for the substrate current to flow. That is, the N-channel transistor group 1 connected to the output terminal 22 where noise enters and the P-channel transistor group 4 are separated from each other so that the N-channel transistor group 3 is arranged. As a result, it is possible to improve the latch-up resistance without increasing the circuit occupation area.
第3図は、高電圧が供給される回路42に近接する周辺回
路を配置した、本発明の一実施例である。周辺回路の回
路41中のNチャネルトランジスタ群6は、Nチャネルト
ランジスタ群5によって構成される高電圧回路42側に配
置され、回路41中のPチャネルトランジスタ群7は、高
電圧回路42に対し、Nチャネルトランジスタ群6を挾
み、離して配置される。例えば電気的に書換え可能なリ
ード・オンリー・メモリ(EPROM)に於いては、メモリ
素子に対してデータの書込みを行う際、そのゲート及び
ドレインに高電圧を印加しなければならない。その為、
必要上メモリ素子の周辺に書込み用の高電圧を発生する
回路を配置しなければならない。そこで問題となってい
るのが、高電圧を使用する為に生じる、寄生フィールド
・トランジスタによるフィールド・リーク、PN接合部で
の降伏現象による降伏電流、高電圧配線に付帯する抵抗
・容量・インダクタが原因の内部チャタリングによる過
渡電流等々の基板電流である。その為、第3図に示すよ
うに、高電圧を使用するNチャネルトランジスタ群5に
対し、周辺の回路41中のNチャネルトランジスタ群6を
挾み、回路41のPチャネルトランジスタ群7を配する事
によって、前記の様な基板電流が生じた場合でも、ラッ
チアップの直接原因である回路41のPチャネルトランジ
スタ領域7から、高電圧回路42中のNチャネルトランジ
スタ領域5への基板電流を、間に回路41のNチャネルト
ランジスタ群6を配した分基板抵抗が大きくなり、基板
電流は流れにくくなる。その結果、ラッチ・アップ耐性
を高める事が可能となる。「すなわち、高電圧回路42
の、Nチャネルトランジスタ群5は基板電流を発生させ
る可能性があるから、Pチャネルトランジスタ群7をつ
くっているNウエルと高電圧Nチャネルトランジスタ群
5とをNチャネルトランジスタ群6を間におくことによ
り離して配置する事で、パターン占有面積を増やさずに
第1図(b)の基板抵抗を増す事でラッチ・アップのト
リガ電流を抑制しようとするものである。」 第4図は、入力回路51に近接する周辺回路 52を配置した本発明の一実施例である。周辺回路52中の
Nチャネルトランジスタ群9は、Nチャネルトランジス
タ群8によって構成される入力保護回路側に配置され、
回路52中のPチャネルトランジスタ群10は、入力保護回
路に対し、Nチャネルトランジスタ群9を挾み、離して
配置される。入力保護回路を、特にMOSトランジスタで
作らず、単に、N+半導体領域と基板とのジャンクション
ブレークダウンを利用したものであっても、N+領域をこ
のような配置とすれば、同様の効果が得られる。CMOS半
導体集積回路装置に於いて、外部入力端子に接続される
入力保護回路及び入力回路51へは外部からの雑音、静電
気による高電圧が混入する場合がある。入力端子53に基
準電位以下の外来雑音が供給された場合、あるいは入力
端子に高電圧が印加され入力保護回路でブレークダウン
が起こる様な場合に基板中に電流が流れ、その電流がラ
ッチ・アップ現象を誘発する事になる。この為、第4図
に示すようにPチャネルトランジスタ領域10から、入力
保護回路のNチャネルトランジスタ領域8への間にNチ
ャネルトランジスタ領域9を配する事によって、パター
ン占有面積を大きくすることなく入力保護回路とPチャ
ネルトランジスタ領域10を離すことができ、基板抵抗を
大きくし、基板電流を流れ難くする。入力端子53につな
がるNチャネルトランジスタ群8は、ノイズによって基
板電流を生む恐れがある為、これとPチャネルトランジ
スタ群10を離して配置する。その結果ラッチ・アップ耐
性を高める事が可能となる。FIG. 3 is an embodiment of the present invention in which peripheral circuits are arranged in the vicinity of the circuit 42 to which a high voltage is supplied. The N-channel transistor group 6 in the circuit 41 of the peripheral circuit is arranged on the high voltage circuit 42 side formed by the N-channel transistor group 5, and the P-channel transistor group 7 in the circuit 41 is The N-channel transistor group 6 is placed so as to be sandwiched and separated. For example, in an electrically rewritable read only memory (EPROM), when writing data to a memory element, a high voltage must be applied to its gate and drain. For that reason,
As a result, a circuit for generating a high voltage for writing must be arranged around the memory device. Therefore, there are problems such as field leakage due to the use of high voltage, field leakage due to parasitic field transistor, breakdown current due to breakdown phenomenon at PN junction, and resistance / capacitance / inductor incidental to high voltage wiring. Substrate current such as transient current due to internal chattering. Therefore, as shown in FIG. 3, the N-channel transistor group 6 in the peripheral circuit 41 is sandwiched by the N-channel transistor group 5 using the high voltage, and the P-channel transistor group 7 in the circuit 41 is arranged. As a result, even when the substrate current as described above occurs, the substrate current from the P-channel transistor region 7 of the circuit 41, which is the direct cause of latch-up, to the N-channel transistor region 5 of the high voltage circuit 42 Since the N-channel transistor group 6 of the circuit 41 is arranged in the circuit substrate, the substrate resistance increases, and it becomes difficult for the substrate current to flow. As a result, it is possible to improve the latch-up resistance. "That is, the high voltage circuit 42
Since the N-channel transistor group 5 may generate a substrate current, the N-well forming the P-channel transistor group 7 and the high-voltage N-channel transistor group 5 should be placed between the N-channel transistor group 6. By arranging them apart from each other, the substrate current in FIG. 1 (b) is increased without increasing the pattern occupying area to suppress the latch-up trigger current. FIG. 4 shows an embodiment of the present invention in which the peripheral circuit 52 is arranged close to the input circuit 51. The N-channel transistor group 9 in the peripheral circuit 52 is arranged on the input protection circuit side formed by the N-channel transistor group 8.
The P-channel transistor group 10 in the circuit 52 is arranged apart from the N-channel transistor group 9 with respect to the input protection circuit. Even if the input protection circuit is not made of MOS transistors but simply uses the junction breakdown between the N + semiconductor region and the substrate, if the N + region is arranged in this way, the same effect can be obtained. can get. In the CMOS semiconductor integrated circuit device, external noise and high voltage due to static electricity may be mixed into the input protection circuit and the input circuit 51 connected to the external input terminal. When external noise below the reference potential is supplied to the input terminal 53, or when a high voltage is applied to the input terminal and breakdown occurs in the input protection circuit, a current flows through the board and the current latches up. It will induce a phenomenon. Therefore, as shown in FIG. 4, by arranging the N-channel transistor region 9 between the P-channel transistor region 10 and the N-channel transistor region 8 of the input protection circuit, the input area can be increased without increasing the pattern occupation area. The protection circuit and the P-channel transistor region 10 can be separated from each other, increasing the substrate resistance and making it difficult for the substrate current to flow. The N-channel transistor group 8 connected to the input terminal 53 may generate a substrate current due to noise, so the P-channel transistor group 10 and the N-channel transistor group 10 are arranged apart from each other. As a result, it is possible to improve the latch-up resistance.
また、入力保護回路あるいは、入力端子53につながるN
チャネルトランジスタ群8をパッドに対して、チップの
終端側に配置するようにすれば、さらにラッチ・アップ
は起こりにくくなる。In addition, the input protection circuit or N connected to the input terminal 53
If the channel transistor group 8 is arranged on the terminal end side of the chip with respect to the pad, latch-up is further suppressed.
第5図は、半導体記憶回路61に近接する周辺回路62を配
置した本発明の一実施例である。周辺回路62中のNチャ
ネルトランジスタ群12は、Nチャネルトランジスタ群11
によって構成される半導体記憶回路6側に配置され、回
路62中のPチャネルトランジスタ群13は、Nチャネルト
ランジスタ群12に対し半導体記憶回路61の反対側に配置
される。EPROMにおいては半導体メモリ素子にデータを
書込む際、記憶素子のゲート及びドレインに高電圧を印
加しなければならない事は上述した通りである。近来の
EPROMに於ける高集積化の為メモリ容量が増大し、全メ
モリセルへデータを書き込むのに要する時間が益々長く
かかるようになって来た。その結果、従来メモリ素子動
作のピンチオフ点で、データの書込みを行っていたもの
が、書込み時間の短縮のため、メモリ素子動作のアバラ
ンシェ領域で書込みを行うようになって来た。しかしこ
の時には半導体記憶素子の基板には数ミリアンペア程度
の基板電流が流れる。この電流が、ラッチ・アップの誘
発原因となる。その為、第5図に示す様に、Pチャネル
トランジスタ領域13と、Nチャネルトランジスタ領域11
との間にNチャネルトランジスタ領域12を配置する。こ
の事によって、基板抵抗が大きくなり、Pチャネルトラ
ンジスタ領域13から半導体記憶回路61中のNチャネルト
ランジスタ群11への基板電流は流れ難くなる。その結
果、ラッチ・アップ耐性を高める事が可能となる。FIG. 5 shows an embodiment of the present invention in which a peripheral circuit 62 is arranged close to the semiconductor memory circuit 61. The N-channel transistor group 12 in the peripheral circuit 62 is the N-channel transistor group 11
The P-channel transistor group 13 in the circuit 62 is arranged on the side opposite to the semiconductor memory circuit 61 with respect to the N-channel transistor group 12. As described above, in EPROM, a high voltage must be applied to the gate and drain of the memory element when writing data to the semiconductor memory element. Upcoming
Due to the high integration of EPROM, the memory capacity has increased, and the time required to write data to all memory cells has become longer and longer. As a result, the conventional method of writing data at the pinch-off point of the memory element operation has come to perform writing in the avalanche region of the memory element operation in order to shorten the writing time. However, at this time, a substrate current of about several milliamperes flows through the substrate of the semiconductor memory element. This current causes the latch up. Therefore, as shown in FIG. 5, the P-channel transistor region 13 and the N-channel transistor region 11 are
And an N-channel transistor region 12 is disposed between and. As a result, the substrate resistance increases, and it becomes difficult for the substrate current to flow from the P-channel transistor region 13 to the N-channel transistor group 11 in the semiconductor memory circuit 61. As a result, it is possible to improve the latch-up resistance.
第6図に前記の発明の実施例によって成された半導体集
積回路装置のチップ81の概略図を示す。第6図に於い
て、鎖線71で囲まれた所が、第1図及び第2図に於いて
説明した出力回路であり、Nチャネルトランジスタ群1
に対し、ボンディング用パット22を挾み、Pチャネルト
ランジスタ群2を配する。鎖線72で囲まれた所が、第2
図に於いて説明した出力回路21に近接する周辺回路31で
あり、出力回路中のNチャネルトランジスタ群1に対
し、回路31のNチャネルトランジスタ群3を挾み、Pチ
ャネルトランジスタ群4を配する。鎖線73で囲まれた所
が、第3図に於いて説明した高電圧が供給されるNチャ
ネルトランジスタ群5に近接する周辺回路41であり、N
チャネルトランジスタ群5に対し、回路41のNチャネル
トランジスタ群6を挾み、Pチャネルトランジスタ群7
を配する。鎖線74で囲まれた所が、第4図に於いて説明
した入力回路51に近接する周辺回路52であり、入力回路
51中のNチャネルトランジスタ群8に対し、回路52のN
チャネルトランジスタ群9を挾み、Pチャネルトランジ
スタ群10を配した本発明の一実施例である。鎖線75で囲
まれた所が、第5図に於いて説明した半導体記憶回路61
に近接する周辺回路62であり、半導体記憶回路61のNチ
ャネルトランジスタ群11に対し、回路62のNチャネルト
ランジスタ群12を挾み、Pチャネルトランジスタ群13を
配するものである。76はNチャネルトランジスタ群であ
る。FIG. 6 shows a schematic view of a chip 81 of a semiconductor integrated circuit device made according to the embodiment of the invention. In FIG. 6, the portion surrounded by the chain line 71 is the output circuit described in FIGS. 1 and 2, and the N-channel transistor group 1
On the other hand, the bonding pad 22 is sandwiched and the P-channel transistor group 2 is arranged. The place surrounded by the chain line 72 is the second
The peripheral circuit 31 is close to the output circuit 21 described in the figure, and the N-channel transistor group 3 of the circuit 31 is sandwiched by the N-channel transistor group 1 of the output circuit and the P-channel transistor group 4 is arranged. . A portion surrounded by a chain line 73 is the peripheral circuit 41 close to the N-channel transistor group 5 to which the high voltage is supplied, which is described in FIG.
The N-channel transistor group 6 of the circuit 41 is sandwiched between the channel-transistor group 5 and the P-channel transistor group 7
Distribute. The area surrounded by the chain line 74 is the peripheral circuit 52 adjacent to the input circuit 51 described in FIG.
For the N-channel transistor group 8 in 51,
This is an embodiment of the present invention in which the channel transistor group 9 is sandwiched and the P-channel transistor group 10 is arranged. A portion surrounded by a chain line 75 is the semiconductor memory circuit 61 described in FIG.
The peripheral circuit 62 is adjacent to the N-channel transistor group 11 of the semiconductor memory circuit 61, and the P-channel transistor group 13 is arranged between the N-channel transistor group 12 of the circuit 62 and the N-channel transistor group 12 of the circuit 62. 76 is an N-channel transistor group.
また実線91で囲まれた領域は行デコーダである。この行
デコーダ領域はメモリセルのピッチで回路を配置しなけ
ればならないので、各素子は、極めて密接して作られ
る。このため本発明による方法を用いれば、従来より、
ラッチ・アップを起こりにくくし、しかも、デコーダ形
成面積も小さくできる。The area surrounded by the solid line 91 is a row decoder. Since the circuits must be arranged in the row decoder area at the pitch of the memory cells, the respective elements are made extremely close to each other. Therefore, when the method according to the present invention is used,
Latch-up is less likely to occur, and the decoder formation area can be reduced.
以上説明した実施例によれば、半導体集積回路に於いて
基板電流を発生する回路に対し、基板電流を発生する回
路素子と極性の等しい半導体素子を間に介して、基板電
流を発生する回路素子と極性の異なる半導体素子を配置
することで、基板抵抗を大きくさせ基板電流を制限する
ことで、電源間の過大電流をもたらし、素子の破壊まで
も引起こすラッチ・アップ現象を容易に抑制する事がで
きる半導体集積回路装置が得られる。また特に、出力回
路に於いてはデータを外部に出力する為、そのトランジ
スタ寸法は大きく設定されている。その為、従来に於い
てPチャネル出力トランジスタと、Nチャネル出力トラ
ンジスタとの間隔をとるばかりでなく、出力トランジス
タと周辺回路との距離もある程度離す事で、ラッチ・ア
ップを防止するようにしていたが、本発明にあっては例
えば第1図に示したように、出力回路を形成するP又
は、Nチャネルトランジスタを、チップの端に配置する
ことにより、出力回路を形成するP又はNチャネルトラ
ンジスタと周辺回路との間隔を特にとる必要がなくな
り、それによってチップ・サイズも小さく出来ると言う
利点も有する。According to the above-described embodiments, a circuit element that generates a substrate current is provided to a circuit that generates a substrate current in a semiconductor integrated circuit via a semiconductor element that has the same polarity as the circuit element that generates the substrate current. By arranging semiconductor elements with different polarities to increase the substrate resistance and limit the substrate current, it is possible to easily suppress the latch-up phenomenon that causes excessive current between power supplies and even damages the elements. A semiconductor integrated circuit device capable of achieving the above is obtained. Further, in particular, since the output circuit outputs data to the outside, the size of the transistor is set large. Therefore, in the related art, not only the distance between the P-channel output transistor and the N-channel output transistor is increased, but also the distance between the output transistor and the peripheral circuit is increased to some extent to prevent the latch-up. However, in the present invention, for example, as shown in FIG. 1, by arranging a P or N channel transistor forming an output circuit at the end of a chip, a P or N channel transistor forming an output circuit is formed. There is also an advantage that the chip size can be reduced by eliminating the need for a particular distance from the peripheral circuit.
なお、本発明は上記実施例のみに限られず種々の応用が
可能である。例えば本発明においては、実施例のP型と
N型とを逆にした構成としても良い。The present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, but various applications are possible. For example, in the present invention, the P-type and N-type of the embodiment may be reversed.
[発明の効果] 以上説明したように、本発明によれば、パターン占有面
積を増加させることなく、相補素子型回路を含む半導体
集積回路装置のラッチアップ耐性を高めることが可能な
半導体集積回路装置を提供できる。As described above, according to the present invention, it is possible to increase the latch-up resistance of the semiconductor integrated circuit device including the complementary element type circuit without increasing the pattern occupying area. Can be provided.
第1図(a)は本発明の実施例のパターン平面図、同図
(b)ないし(g)は同図(a)を断面的に示す図、第
2図ないし第6図は本発明の異なる実施例のパターン平
面図である。 1……第1のトランジスタ群(Nチャネル型)、2……
第2のトランジスタ群(Pチャネル型)、3……第3の
トランジスタ群(Nチャネル型)、4……第4のトラン
ジスタ群(Pチャネル型)、5……第5のトランジスタ
群(Nチャネル型)、6……第6のトランジスタ群(N
チャネル型)、7……第7のトランジスタ群(Pチャネ
ル型)、8……第8のトランジスタ群(Nチャネル
型)、9……第9のトランジスタ群(Nチャネル型)、
10……第10のトランジスタ群(Pチャネル型)、11……
第11のトランジスタ群(Nチャネル型)、12……第12の
トランジスタ群(Nチャネル型)、13……第13のトラン
ジスタ群(Pチャネル型)、21……出力回路、22……出
力端子(ボンディングAlパッド)、51……入力回路、61
……半導体メモリ、81……半導体チップ。1 (a) is a pattern plan view of an embodiment of the present invention, FIGS. 1 (b) to 1 (g) are sectional views of FIG. 1 (a), and FIGS. 2 to 6 are drawings of the present invention. It is a pattern top view of a different Example. 1 ... First transistor group (N-channel type), 2 ...
Second transistor group (P-channel type), 3 ... Third transistor group (N-channel type), 4 ... Fourth transistor group (P-channel type), 5 ... Fifth transistor group (N-channel) Type), 6 ... Sixth transistor group (N
Channel type), 7 ... 7th transistor group (P channel type), 8 ... 8th transistor group (N channel type), 9 ... 9th transistor group (N channel type),
10 …… 10th transistor group (P-channel type), 11 ……
11th transistor group (N channel type), 12 ... 12th transistor group (N channel type), 13 ... 13th transistor group (P channel type), 21 ... Output circuit, 22 ... Output terminal (Bonding Al pad), 51 …… Input circuit, 61
…… Semiconductor memory, 81 …… Semiconductor chip.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤本 俊幸 東京都渋谷区渋谷1―13―9 渋谷たくぎ んビル トスバックコンピューターシステ ム株式会社内 (56)参考文献 特開 昭62−73656(JP,A) 特開 昭63−273349(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Toshiyuki Fujimoto 1-13-9 Shibuya, Shibuya-ku, Tokyo Shibuya Takugin Building Tosback Computer System Co., Ltd. (56) Reference JP-A-62-73656 (JP) , A) JP-A-63-273349 (JP, A)
Claims (6)
む入力回路を配置するための第1の回路ブロックと、 前記第1の回路ブロックに隣接して設けられた、前記入
力回路の周辺回路を配置するための、少なくとも相補素
子型回路を含む第2の回路ブロックと、 前記第2の回路ブロックに隣接して設けられた、記憶回
路の周辺回路を配置するための、少なくとも相補素子型
回路を含む第3の回路ブロックと、 前記第3の回路ブロックに隣接して設けられた、前記記
憶回路を配置するための、少なくとも記憶素子を含む第
4の回路ブロックと、 前記第4の回路ブロックに隣接して設けられた、高電圧
系回路を配置するための、少なくとも相補素子型回路お
よび高電圧素子を含む第5の回路ブロックと、 前記第5の回路ブロックに隣接して設けられた、出力回
路の周辺回路を配置するための、少なくとも相補素子型
回路を含む第6の回路ブロックと、 前記第6の回路ブロックに隣接して、前記一周縁部に相
対する前記基板の他周縁部の近傍に設けられた、前記出
力回路を配置するための、少なくとも相補素子型回路を
含む第7の回路ブロックと を具備し、 前記出力回路が含む相補素子型回路を得るための第2導
電型のウェル領域が、前記基板の他周縁部側に配置さ
れ、 前記出力回路からの出力データを外部出力端子に与える
ためのパッドが、前記出力回路が含む相補素子型回路を
構成する一方導電型素子、他方導電型素子との間に配置
され、 前記第2、第3、第5、第6、第7の回路ブロック間で
は、同一導電型の素子が隣接されて配置されていること
を特徴とする半導体集積回路装置。1. A semiconductor substrate of a first conductivity type, a first circuit block for arranging an input circuit including a protection circuit, which is provided in the vicinity of one peripheral edge of the substrate, and the first circuit. A second circuit block including at least a complementary element type circuit for arranging a peripheral circuit of the input circuit, which is provided adjacent to the block; and a memory provided adjacent to the second circuit block. A third circuit block including at least a complementary element type circuit for arranging a peripheral circuit of the circuit, and at least a memory element provided adjacent to the third circuit block for arranging the memory circuit And a fifth circuit block, which is provided adjacent to the fourth circuit block and includes at least a complementary element type circuit and a high voltage element for disposing a high voltage system circuit. A sixth circuit block, which is provided adjacent to the fifth circuit block and includes at least a complementary element type circuit for arranging a peripheral circuit of the output circuit, and adjacent to the sixth circuit block. A seventh circuit block, which is provided in the vicinity of the other peripheral edge portion of the substrate facing the one peripheral edge portion and includes at least a complementary element type circuit for disposing the output circuit, A well region of the second conductivity type for obtaining a complementary element type circuit included in is disposed on the other peripheral edge side of the substrate, and a pad for applying output data from the output circuit to an external output terminal is provided on the output side. It is arranged between one conductivity type element and the other conductivity type element that form a complementary element type circuit included in the circuit, and the same conductivity type is provided between the second, third, fifth, sixth and seventh circuit blocks. Elements are arranged adjacent to each other A semiconductor integrated circuit device characterized by being provided.
ックの、前記第3、第5の回路ブロックとそれぞれ隣接
する辺以外の他辺に隣接して、前記記憶回路の他の周辺
回路を配置するための、少なくとも相補素子型回路を含
む第8の回路ブロックがさらに設けられ、この相補素子
型回路を含む第8の回路ブロックと前記第4の回路ブロ
ック間では、同一導電型の素子が隣接されて配置されて
いることを特徴とする請求項(1)に記載の半導体集積
回路装置。2. A peripheral circuit adjacent to other sides of a fourth circuit block in which the memory circuit is arranged, other than sides adjacent to the third and fifth circuit blocks, respectively. Is further provided, and an eighth circuit block including at least a complementary element type circuit is provided, and an element of the same conductivity type is provided between the eighth circuit block including the complementary element type circuit and the fourth circuit block. 2. The semiconductor integrated circuit device according to claim 1, wherein the semiconductor integrated circuit device is arranged adjacent to each other.
き替えが可能な不揮発性記憶素子であり、この不揮発性
記憶素子がデータの書き替えの際に、少なくとも基板電
流を伴うものである時、前記記憶回路が配置される第4
の回路ブロックとこの第4の回路ブロックに隣接する回
路ブロック間では、この不揮発性記憶素子と同一導電型
の素子が隣接されて配置されていることを特徴とする請
求項(1)および請求項(2)いずれか一項に記載の半
導体集積回路装置。3. A storage element included in the storage circuit is a non-volatile memory element capable of rewriting data, and when the non-volatile memory element is accompanied by at least a substrate current when rewriting data. A fourth in which the memory circuit is arranged
The element of the same conductivity type as the non-volatile memory element is arranged adjacently between the circuit block and the circuit block adjacent to the fourth circuit block. (2) The semiconductor integrated circuit device according to any one of items.
相補素子型回路が含む一方導電型素子、他方導電型素子
のうち、前記高電圧素子と同一導電型の素子が、この高
電圧系回路の高電圧素子に隣接されて配置されているこ
とを特徴とする請求項(1)乃至請求項(3)いずれか
一項に記載の半導体集積回路装置。4. In the high voltage system circuit, an element of the same conductivity type as the high voltage element among the one conductivity type element and the other conductivity type element included in the complementary element type circuit of the high voltage system circuit is the high conductivity type element. The semiconductor integrated circuit device according to any one of claims (1) to (3), wherein the semiconductor integrated circuit device is arranged adjacent to a high voltage element of a voltage system circuit.
高電圧系回路が含む高電圧素子をともに一方導電型とし
た時、前記高電圧素子と前記記憶回路が配置される第4
の回路ブロックとの間に、他の一方導電型素子が、さら
に配置されていることを特徴とする請求項(4)に記載
の半導体集積回路装置。5. A fourth element in which the high-voltage element and the memory circuit are arranged when the memory element included in the memory circuit and the high-voltage element included in the high-voltage system circuit are both of one conductivity type.
5. The semiconductor integrated circuit device according to claim 4, wherein another one-conductivity-type element is further arranged between the circuit block and the circuit block.
は、少なくとも第8の回路ブロックに配置されることを
特徴とする請求項(2)乃至請求項(5)いずれか一項
に記載の半導体集積回路装置。6. The decoder according to claim 2, wherein among the peripheral circuits of the memory circuit, a decoder is arranged in at least an eighth circuit block. Semiconductor integrated circuit device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63291967A JPH0770688B2 (en) | 1988-11-18 | 1988-11-18 | Semiconductor integrated circuit device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63291967A JPH0770688B2 (en) | 1988-11-18 | 1988-11-18 | Semiconductor integrated circuit device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02137361A JPH02137361A (en) | 1990-05-25 |
| JPH0770688B2 true JPH0770688B2 (en) | 1995-07-31 |
Family
ID=17775784
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63291967A Expired - Lifetime JPH0770688B2 (en) | 1988-11-18 | 1988-11-18 | Semiconductor integrated circuit device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0770688B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4617832B2 (en) * | 2004-11-02 | 2011-01-26 | 株式会社デンソー | Semiconductor integrated circuit design method |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6273656A (en) * | 1985-09-26 | 1987-04-04 | Toshiba Corp | Semiconductor device |
| JPH0770608B2 (en) * | 1987-04-30 | 1995-07-31 | 日本電気株式会社 | CMOS type semiconductor device |
-
1988
- 1988-11-18 JP JP63291967A patent/JPH0770688B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02137361A (en) | 1990-05-25 |
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