JPH0778856B2 - Magnetic head - Google Patents
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Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims description 82
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims description 55
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 55
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 55
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 37
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 35
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 23
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 15
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 14
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 12
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000011162 core material Substances 0.000 description 38
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 16
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 11
- 229910000702 sendust Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 8
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 6
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 4
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 3
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910002796 Si–Al Inorganic materials 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AOWKSNWVBZGMTJ-UHFFFAOYSA-N calcium titanate Chemical compound [Ca+2].[O-][Ti]([O-])=O AOWKSNWVBZGMTJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018598 Si-Co Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910008453 Si—Co Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000808 amorphous metal alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- SJKRCWUQJZIWQB-UHFFFAOYSA-N azane;chromium Chemical compound N.[Cr] SJKRCWUQJZIWQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CXOWYMLTGOFURZ-UHFFFAOYSA-N azanylidynechromium Chemical compound [Cr]#N CXOWYMLTGOFURZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- -1 ferrite Chemical class 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006247 magnetic powder Substances 0.000 description 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 1
- 238000006722 reduction reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は磁気ヘッドに関し、特に強磁性金属酸化物コア
材料と強磁性金属コア材料とによる複合磁性コア材料か
らなる磁気ヘッドに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head, and more particularly to a magnetic head composed of a composite magnetic core material composed of a ferromagnetic metal oxide core material and a ferromagnetic metal core material.
従来の技術 例えば、FDD（フロッピーディスクドライブ）等の磁気
記録再生装置においては、記録密度の高密度化が進めら
れており、これら対応して、磁気記録媒体として磁性粉
を用いた、いわゆるメタル塗布媒体が使用されるように
なっている。2. Description of the Related Art For example, in magnetic recording / reproducing devices such as FDD (floppy disk drive), the recording density is being increased, and in response to these, so-called metal coating using magnetic powder as a magnetic recording medium. The medium is being used.
この種の磁気記録媒体は、高い抗磁力を有するので、記
録再生に用いる磁気ヘッドのヘッド材料には、媒体に対
応した高い飽和磁束密度を有することが要求される。従
来ヘッド材料として用いられているフェライト材では飽
和磁束密度が低く高抗磁力化に対処することができな
い。Since this type of magnetic recording medium has a high coercive force, the head material of the magnetic head used for recording / reproducing is required to have a high saturation magnetic flux density corresponding to the medium. Ferrite materials conventionally used as head materials have low saturation magnetic flux densities and cannot cope with high coercive force.
そこで、上述の高抗磁力化に対応するために、磁気コア
部がフェライト等の強磁性金属酸化物材料からなり、こ
の磁気コア部に強磁性金属薄膜を被着形成したコア半体
を強磁性金属薄膜同士を突き合わせることにより磁気ギ
ャップを構成した、いわゆる複合型の磁気ヘッドが提案
されている。Therefore, in order to cope with the above-mentioned high coercive force, the magnetic core is made of a ferromagnetic metal oxide material such as ferrite, and the magnetic core is coated with a ferromagnetic metal thin film to form a core half body. A so-called composite type magnetic head in which a magnetic gap is formed by abutting metal thin films on each other has been proposed.
上記磁気ヘッドは第４図と第５図に示すように磁気コア
部31,32が強磁性金属酸化物のMn−Znフェライト等より
形成され、その当接面が磁気ギャップと平行に形成さ
れ、その両側に切り欠き溝を設けることにより、トラッ
ク幅を規制している。磁気コア部31,32の内接面には主
コアとなる強磁性金属薄膜33,34が被着形成され、更に
磁気ギャップｇ′の両側にはガラス等の非磁性材35,36
が溶融充填されている。更に磁気コア部31,32の脚の部
分には、信号入出力巻線導体37,38が施され、磁気的に
コア31,32をつなぐために強磁性金属酸化物材のMn−Zn
フェライト等よりなるバックバー39が貼りつけられてい
る。更に磁気コアの両側には、チタン酸カルシウム，チ
タン酸バリウム等の非磁性材からなるスライダー42,43
が貼りつけられている（破線で図示）。In the above magnetic head, as shown in FIGS. 4 and 5, the magnetic core portions 31 and 32 are formed of Mn-Zn ferrite which is a ferromagnetic metal oxide, and the contact surface is formed parallel to the magnetic gap. The track width is regulated by providing notch grooves on both sides thereof. Ferromagnetic metal thin films 33 and 34 serving as main cores are adhered and formed on the inscribed surfaces of the magnetic core portions 31 and 32, and nonmagnetic materials 35 and 36 such as glass are provided on both sides of the magnetic gap g '.
Is melt-filled. Further, signal input / output winding conductors 37 and 38 are provided on the legs of the magnetic core portions 31 and 32, and in order to magnetically connect the cores 31 and 32, the ferromagnetic metal oxide material Mn-Zn is used.
A back bar 39 made of ferrite or the like is attached. Furthermore, on both sides of the magnetic core, sliders 42, 43 made of non-magnetic material such as calcium titanate or barium titanate are used.
Is attached (illustrated by a broken line).
発明が解決しようとする課題 ところで、上記のセンダスト（Fe−Si−Al合金）等の材
料からなる強磁性金属薄膜33,34はスパッタリング等の
真空薄膜形成技術を用いて被着形成される。更にガラス
等の非磁性35,36は、400〜700℃の高温で溶融充填され
る。DISCLOSURE OF THE INVENTION Problems to be Solved by the Invention By the way, the ferromagnetic metal thin films 33, 34 made of a material such as the above-mentioned sendust (Fe-Si-Al alloy) are deposited by using a vacuum thin film forming technique such as sputtering. Further, the non-magnetic materials 35 and 36 such as glass are melt-filled at a high temperature of 400 to 700 ° C.
すなわち、センダストがフェライト上に被着形成されて
後、センダストとフェライトの界面では密着した状態で
400〜700℃の高温状態にされされることになる。That is, after the sendust is deposited on the ferrite, the sendust and the ferrite are in close contact with each other at the interface.
It will be in a high temperature state of 400-700 ℃.
このような状態になると、フェライトを構成している酸
素原子がセンダスト中に拡散し、センダストを構成する
Fe原子,Si原子或いはAl原子と結合する。この結果、上
記界面近くのフェライトは還元された状態となり、拡散
層40,41が形成される。この拡散層40,41は非磁性に近い
ものであり、しかもメインギャップｇ′と平行に位置す
るため疑似ギャップとして作用するという欠点がある。
この疑似ギャップは、メインギャップと同様に磁気記録
媒体に記録された信号を再生するため疑似ギャップによ
り再生された信号はエラーの原因となっている。例えば
孤立信号を再生した場合、第６図ような再生波形が得ら
れる。メインギャップｇ′により再生された信号45と疑
似ギャップにより再生された信号46,47との出力比は−1
0〜−14dBと大きくエラーを招く原因となっている。When this happens, the oxygen atoms that make up the ferrite diffuse into sendust and form sendust.
Combines with Fe, Si or Al atoms. As a result, the ferrite near the interface is reduced and diffusion layers 40 and 41 are formed. These diffusion layers 40 and 41 are close to non-magnetic, and have the drawback that they act as pseudo gaps because they are positioned parallel to the main gap g '.
The pseudo gap reproduces the signal recorded on the magnetic recording medium like the main gap, and therefore the signal reproduced by the pseudo gap causes an error. For example, when an isolated signal is reproduced, a reproduced waveform as shown in FIG. 6 is obtained. The output ratio of the signal 45 reproduced by the main gap g'to the signals 46, 47 reproduced by the pseudo gap is -1.
This causes a large error of 0 to -14 dB.
そこで従来、上記疑似ギャップの影響を抑制するため
に、強磁性金属酸化物材料からなる磁気コア部とこの磁
気コア部にセンダスト等の強磁性金属薄膜を被着形成し
てなるコア半体を、上記強磁性金属薄膜同士を突き合わ
せて磁気ギャップを構成してなる磁気ヘッドにおいて、
上記強磁性金属酸化物と、強磁性金属薄膜の界面に酸化
物材料及び金属材料よりなる反応防止膜を介在させ、上
記反応防止膜の酸化物材料を上記磁気コア部側に配し、
金属材料を上記強磁性金属薄膜側に配したことを特徴と
する磁気ヘッドが例えば特開昭62−145510号公報にて提
案され、上記反応防止膜により、上記強磁性酸化物の還
元反応が防止でき磁気ギャップの影響を低減されること
が確認されている。Therefore, conventionally, in order to suppress the influence of the pseudo gap, a magnetic core part made of a ferromagnetic metal oxide material and a core half body formed by depositing a ferromagnetic metal thin film such as sendust on the magnetic core part, In a magnetic head formed by abutting the ferromagnetic metal thin films to form a magnetic gap,
The ferromagnetic metal oxide and the ferromagnetic metal thin film are provided at the interface with a reaction preventive film made of an oxide material and a metal material, and the oxide material of the reaction preventive film is arranged on the magnetic core side.
A magnetic head characterized by arranging a metal material on the side of the ferromagnetic metal thin film is proposed in, for example, JP-A-62-145510, and the reaction preventing film prevents the reduction reaction of the ferromagnetic oxide. It has been confirmed that the effect of the magnetic gap can be reduced.
上記ヘッドの媒体摺動部要部拡大図を第７図に示した。
磁気コア部51,52が強磁性酸化物のMn−Zn系フェライト
等により形成され、その当接面が磁気ギャップｇ″と平
行となるように形成され、その両側が斜めに切り欠かれ
トラック幅を規制している。各磁気コア部の対向面に
は、SiO2等からなる反応防止膜57,58が被着され、その
上にCr等の金属材料からなる反応防止膜59,60が被着形
成される。更にこの上に主コアとなるセンダスト等の強
磁性金属薄膜53,54が被着形成されている。FIG. 7 shows an enlarged view of a main part of the medium sliding portion of the head.
The magnetic core portions 51, 52 are formed of Mn-Zn ferrite, which is a ferromagnetic oxide, and the contact surface thereof is formed to be parallel to the magnetic gap g ″. Reaction-preventing films 57 and 58 made of SiO 2 or the like are deposited on the facing surfaces of the magnetic cores, and reaction-preventing films 59 and 60 made of a metal material such as Cr are coated thereon. Ferromagnetic metal thin films 53, 54 such as sendust, which will be the main core, are also formed by adhesion.
ところで上記強磁性金属薄膜53,54と金属材料からなる
反応防止膜59,60との界面では高温にさらされた場合に
拡散層61,62が形成される。By the way, diffusion layers 61 and 62 are formed at the interfaces between the ferromagnetic metal thin films 53 and 54 and the reaction preventing films 59 and 60 made of a metal material when exposed to high temperatures.
すなわち、センダスト（強磁性金属薄膜）が、Cr（反応
防止膜）の上にスパッタリング法により被着形成され、
400〜700℃の高温にさらされることになる。これにより
反応防止膜中のCr原子はセンダスト膜中に拡散し、拡散
層61,62が形成される。この拡散層61,62は非磁性に近い
ものであり、メインギャップｇ″と平行に位置するため
疑似ギャップとして作用するという欠点がある。この疑
似ギャップは、再生信号の劣化の原因となっている。例
えば、上記磁気ヘッドで孤立信号を再生した場合、第８
図に示すようにメインギャップｇ″により再生された信
号65と疑似ギャップにより再生された信号66,67との出
力比は−20〜−24dBと充分に小さいとはいえず、エラー
を招く原因となっている。That is, sendust (ferromagnetic metal thin film) is deposited on Cr (reaction prevention film) by sputtering,
It will be exposed to high temperatures of 400-700 ℃. As a result, Cr atoms in the reaction preventing film diffuse into the sendust film, and diffusion layers 61 and 62 are formed. The diffusion layers 61 and 62 are close to non-magnetic, and are located in parallel with the main gap g ″, so that they act as pseudo gaps. This pseudo gap causes deterioration of the reproduced signal. For example, when an isolated signal is reproduced by the above magnetic head,
As shown in the figure, the output ratio between the signal 65 reproduced by the main gap g ″ and the signals 66, 67 reproduced by the pseudo gap is not sufficiently small as −20 to −24 dB, which causes an error. Has become.
課題を解決するための手段 そこで本発明は上述の事情に鑑みて提案されたものであ
り、強磁性金属薄膜と反応防止膜の金属膜との界面での
拡散を防止し、これにより疑似ギャップの影響を低減し
記録再生特性の優れた磁気ヘッドを提供することを目的
とする。Means for Solving the Problems Therefore, the present invention has been proposed in view of the above circumstances, and prevents the diffusion at the interface between the ferromagnetic metal thin film and the metal film of the anti-reaction film, thereby preventing the pseudo gap. It is an object of the present invention to provide a magnetic head with reduced influence and excellent recording / reproducing characteristics.
本発明の磁気ヘッドは、強磁性金属酸化物よりなる磁気
コア部とこの磁気コア部に被着形成される強磁性金属薄
膜により磁気コア半体が構成され、上記強磁性金属薄膜
同士を突き合わせ磁気ギャップを構成してなる磁気ヘッ
ドにおいて、少なくとも磁気ギャップ近傍で上記強磁性
金属酸化物と強磁性金属薄膜の界面に酸化物材料及び金
属窒化物材料からなる反応防止膜を介在させ、さらに詳
述すれば、上記反応防止膜の酸化物材料を上記磁気コア
部側に配し、金属材料を上記強磁性金属薄膜に配したこ
とを特徴とするものである。In the magnetic head of the present invention, a magnetic core half body is composed of a magnetic core portion made of a ferromagnetic metal oxide and a ferromagnetic metal thin film adhered to the magnetic core portion. In a magnetic head having a gap, at least in the vicinity of the magnetic gap, a reaction preventive film made of an oxide material and a metal nitride material is interposed at the interface between the ferromagnetic metal oxide and the ferromagnetic metal thin film. For example, the oxide material of the reaction prevention film is arranged on the magnetic core side, and the metal material is arranged on the ferromagnetic metal thin film.
作用 磁気コア部と強磁性金属薄膜との界面に酸化物材料及び
金属の窒化物よりなる反応防止膜を介在させ、しかも上
記酸化物材料を上記磁気コア部側に配することにより高
温時における磁気コア部から強磁性金属薄膜への酸素原
子の拡散を防止することができる。更に上記金属の窒化
物材料を強磁性金属薄膜側に配することにより強磁性金
属薄膜の密着性が向上し、しかも窒化物であることから
熱的に安定しており、強磁性金属薄膜中に金属の窒化物
材料を構成する金属材料が拡散し、疑似ギャップとなる
のを防止し、しかも強磁性金属薄膜の密着性も向上す
る。Action A reaction preventive film made of an oxide material and a metal nitride is provided at the interface between the magnetic core portion and the ferromagnetic metal thin film, and the oxide material is arranged on the magnetic core portion side to provide magnetic properties at high temperature. It is possible to prevent the diffusion of oxygen atoms from the core portion to the ferromagnetic metal thin film. Further, by arranging the above-mentioned metal nitride material on the ferromagnetic metal thin film side, the adhesion of the ferromagnetic metal thin film is improved, and since it is a nitride, it is thermally stable. This prevents the metal material forming the metal nitride material from diffusing and forming a pseudo gap, and also improves the adhesion of the ferromagnetic metal thin film.
実施例 次に本発明について図面を参照して説明する。第１図は
本発明の一実施例の外観斜視図である。第２図は磁気記
録媒体摺動面を示す要部拡大平面図である。EXAMPLES Next, the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is an external perspective view of an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an enlarged plan view of an essential part showing a sliding surface of the magnetic recording medium.
磁気コア部1,2はフェライト等の強磁性金属酸化物で形
成され、トラック幅を規制するための溝5a,6aがギャッ
プｇの両側に斜めに切り欠かれている。The magnetic cores 1 and 2 are formed of a ferromagnetic metal oxide such as ferrite, and grooves 5a and 6a for restricting the track width are obliquely cut out on both sides of the gap g.
また、磁気コア1,2にはフトントギャップ付近を除いた
対向面に、信号の入出力を行うコイル13,14を巻くため
の切り欠き23,24が施されて磁気コア半体21,22が構成さ
れている。また、リアギャップ付近には磁気的な導通を
行うための強磁性金属酸化物材料からなるバックバー15
が貼り付けられている。また磁気コア1,2の両側には磁
気記録媒体との良好な接触状態を得るためにチタン酸カ
ルシウム等のセラミック材料からなるスライダー11,12
が貼りつけられている（破線で図示）。Further, the magnetic cores 1 and 2 are provided with notches 23 and 24 for winding the coils 13 and 14 for inputting and outputting signals on the opposite surfaces excluding the vicinity of the front gap and the magnetic core halves 21 and 22, respectively. It is configured. A back bar 15 made of a ferromagnetic metal oxide material for magnetic conduction is provided near the rear gap.
Is pasted. Further, sliders 11 and 12 made of a ceramic material such as calcium titanate are provided on both sides of the magnetic cores 1 and 2 in order to obtain a good contact state with the magnetic recording medium.
Is attached (illustrated by a broken line).
そして、上記各磁気コア1,2に形成された強磁性金属薄
膜3,4を付き合わせることにより磁気ギャップｇが構成
されている。またトラック幅を規制する溝5a,6a内に
は、強磁性金属薄膜3,4の摩耗を防止するための非磁性
材5,6が溶融充填されている。The magnetic gap g is formed by abutting the ferromagnetic metal thin films 3 and 4 formed on the magnetic cores 1 and 2, respectively. In addition, non-magnetic materials 5 and 6 for preventing wear of the ferromagnetic metal thin films 3 and 4 are melt-filled in the grooves 5a and 6a that regulate the track width.
上記強磁性金属薄膜3,4は、強磁性非晶質合金,Fe−Si−
Al系合金,Fe−Si−Co系合金,Fe−Al系合金,Fe−Ni系合
金等の強磁性金属材料、あるいはこれら強磁性金属材料
を絶縁層を介して積層したもので構成され、その形成方
法としては、真空蒸着法，スパッタリング法，イオンプ
レーティング法等の真空成膜技術がある。The ferromagnetic metal thin films 3 and 4 are composed of a ferromagnetic amorphous alloy, Fe-Si-
Al-based alloys, Fe-Si-Co-based alloys, Fe-Al-based alloys, Fe-Ni-based alloys and other ferromagnetic metal materials, or these ferromagnetic metal materials are laminated via an insulating layer. As a forming method, there are vacuum film forming techniques such as a vacuum vapor deposition method, a sputtering method and an ion plating method.
そして本発明の磁気ヘッドでは、この強磁性金属薄膜3,
4と強磁性金属酸化物よりなる磁気コア部1,2との界面に
酸化物膜7,8及び金属の窒化物膜9,10よりなる反応防止
膜が形成されている。And in the magnetic head of the present invention, this ferromagnetic metal thin film 3,
At the interface between 4 and the magnetic core portions 1 and 2 made of a ferromagnetic metal oxide, reaction preventing films made of oxide films 7 and 8 and metal nitride films 9 and 10 are formed.
上記酸化物膜7,8は材料としてSiO2,Al2O3,Cr2O3等の酸
化物材料を用いることができる。As the material of the oxide films 7 and 8, an oxide material such as SiO 2 , Al 2 O 3 , Cr 2 O 3 can be used.
このように上記界面に酸化物膜7,8を形成することによ
り磁気コア部1,2を構成する酸素原子が強磁性金属薄膜
3,4中に拡散するのが防止され磁気コア部1,2界面の低酸
素状態の拡散層の発生を防止することができる。By forming the oxide films 7 and 8 on the interface as described above, the oxygen atoms that constitute the magnetic cores 1 and 2 are
It is possible to prevent the diffusion into the magnetic layers 3 and 4 and to prevent the generation of the diffusion layer in the low oxygen state at the interface between the magnetic cores 1 and 2.
一方、上記界面に形成される金属窒化膜9,10は強磁性金
属薄膜3,4と接合するように配されており、材料として
は窒化クロム，窒化アルミ，窒化シリコン等が挙げられ
る。このように界面に金属の窒化膜9,10を形成すること
により強磁性金属薄膜3,4の密着性が向上し、しかも金
属膜よりもそれを窒化したほうが熱的に安定となるため
金属の窒化膜9,10を構成する金属原子が強磁性金属薄膜
3,4に拡散して従来例で説明したように拡散層が形成さ
れるのを防止でき、疑似ギャップの発生を防止すること
ができる。On the other hand, the metal nitride films 9 and 10 formed on the interface are arranged so as to be bonded to the ferromagnetic metal thin films 3 and 4, and examples of the material thereof include chromium nitride, aluminum nitride, silicon nitride and the like. By forming the metal nitride films 9 and 10 at the interface in this way, the adhesion of the ferromagnetic metal thin films 3 and 4 is improved, and it is more thermally stable to nitride the metal film than to the metal film. The metal atoms composing the nitride films 9 and 10 are ferromagnetic metal thin films.
It is possible to prevent the diffusion layer from being diffused into 3 and 4 to form a diffusion layer as described in the conventional example, and it is possible to prevent the occurrence of a pseudo gap.
本発明者は、磁気コア部1,2にMn−Zn系フェライトを、
強磁性金属薄膜3,4としてFe−Si−Al系合金を用い、酸
化物膜7,8としてAl2O3を100Å，金属の窒化膜9,10とし
て窒化クロム膜を400Å形成した磁気ヘッドについて孤
立波再生波形を調べたところ、第３図に示すような結果
となった。この第３図に示すように、メインギャップｇ
により再生した信号25と疑似ギャップにより再生した信
号26,27の出力比は−24〜−28dBと小さく、拡散防止膜
に金属膜を用いた磁気ヘッド（第７図）に比べ4dB程度
改善されていることがわかる。The present inventor has added Mn-Zn ferrite to the magnetic cores 1 and 2.
Magnetic head using Fe-Si-Al based alloy as ferromagnetic metal thin films 3 and 4, 100 Å Al 2 O 3 as oxide films 7 and 8 and 400 Å chromium nitride film as metal nitride films 9 and 10. When the solitary wave reproduction waveform was examined, the results shown in FIG. 3 were obtained. As shown in FIG. 3, the main gap g
The output ratio of the signal 25 reproduced by the and the signals 26, 27 reproduced by the pseudo gap is as small as -24 to -28 dB, which is improved by about 4 dB compared with the magnetic head using the metal film as the diffusion prevention film (Fig. 7). You can see that
発明の効果 以上説明したように、本発明の磁気ヘッドによれば上記
磁気コア部と強磁性金属薄膜の界面に磁気コア部の低酸
素状態の拡散層が形成されなくないり、この拡散層に起
因して生じる疑似ギャップの影響を軽減することができ
る。As described above, according to the magnetic head of the present invention, the low oxygen state diffusion layer of the magnetic core portion is not formed at the interface between the magnetic core portion and the ferromagnetic metal thin film, and this diffusion layer is formed. It is possible to reduce the influence of the pseudo gap caused by that.
一方、拡散防止膜の金属膜の窒化により、金属窒化膜を
構成する金属原子が強磁性金属膜中に拡散して拡散層を
形成するのを防止することができ、この拡散層に起因し
て生じる疑似ギャップの影響を軽減する効果がある。On the other hand, by nitriding the metal film of the diffusion prevention film, it is possible to prevent the metal atoms forming the metal nitride film from diffusing into the ferromagnetic metal film to form a diffusion layer. This has the effect of reducing the influence of the pseudo gap that occurs.
第１図は本発明の磁気ヘッドの外観斜視図、第２図はそ
の磁気記録媒体摺動面を示す要部拡大平面図である。 第３図は本発明の磁気ヘッドの孤立波再生波形を示す図
である。 第４図は従来の磁気ヘッドの外観斜視図、第５図はその
磁気記録媒体摺動面を示す要部拡大平面図、第６図はそ
の磁気ヘッドの孤立波再生波形を示す図である。 第７図は改良された従来の磁気ヘッドの磁気記録媒体摺
動面を示す要部拡大平面図、第８図はその磁気ヘッドの
孤立波再生波形を示す図である。 1,2……磁気コア部（強磁性金属酸化物）、 3,4……強磁性金属薄膜、 7,8……酸化物膜、 9,10……金属窒化膜。FIG. 1 is an external perspective view of a magnetic head of the present invention, and FIG. 2 is an enlarged plan view of an essential part showing a sliding surface of the magnetic recording medium. FIG. 3 is a diagram showing a reproduced waveform of a solitary wave of the magnetic head of the present invention. FIG. 4 is an external perspective view of a conventional magnetic head, FIG. 5 is an enlarged plan view of an essential part showing a sliding surface of the magnetic recording medium, and FIG. 6 is a diagram showing a solitary wave reproduction waveform of the magnetic head. FIG. 7 is an enlarged plan view of an essential part showing a sliding surface of a magnetic recording medium of an improved conventional magnetic head, and FIG. 8 is a diagram showing a solitary wave reproduction waveform of the magnetic head. 1,2 …… Magnetic core (ferromagnetic metal oxide), 3,4 …… Ferromagnetic metal thin film, 7,8 …… Oxide film, 9,10 …… Metal nitride film.
Claims (1)
着される強磁性金属薄膜により構成される磁気コア半体
を、上記強磁性金属薄膜同士を相対して突き合わせて磁
気ギャップが構成される磁気ヘッドにおいて、 少なくとも磁気ギャップ近傍で、上記強磁性金属酸化物
と強磁性金属薄膜の界面に前記強磁性金属酸化物側に配
する酸化物材料及び前記強磁性金属薄膜側に配する金属
窒化物材料よりなる反応防止膜を介在させることを特徴
とする磁気ヘッド。Claim: What is claimed is: 1. A magnetic gap comprising a magnetic core half body made of a ferromagnetic metal thin film adhered to a magnetic core portion made of a ferromagnetic metal oxide, the ferromagnetic metal thin films being opposed to each other. In the magnetic head, an oxide material disposed on the ferromagnetic metal oxide side and a metal disposed on the ferromagnetic metal thin film side at the interface between the ferromagnetic metal oxide and the ferromagnetic metal thin film at least near the magnetic gap. A magnetic head characterized in that a reaction preventive film made of a nitride material is interposed.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63237788A JPH0778856B2 (en) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | Magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63237788A JPH0778856B2 (en) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | Magnetic head |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0287308A JPH0287308A (en) | 1990-03-28 |
| JPH0778856B2 true JPH0778856B2 (en) | 1995-08-23 |
Family
ID=17020440
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63237788A Expired - Lifetime JPH0778856B2 (en) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | Magnetic head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0778856B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0668414A (en) * | 1992-08-20 | 1994-03-11 | Nec Kansai Ltd | Mig type magnetic head and its production |
| KR100244186B1 (en) * | 1992-10-06 | 2000-02-01 | 구자홍 | Stacked Magnetic Heads |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2513232B2 (en) * | 1987-05-29 | 1996-07-03 | ソニー株式会社 | Composite magnetic head |
-
1988
- 1988-09-22 JP JP63237788A patent/JPH0778856B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0287308A (en) | 1990-03-28 |
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