JPH0810064B2 - 恒温空気供給装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、恒温恒湿に調整された
空気を超高性能フィルタを通してクリーンエアとして供
給する装置の改良に関するものであり、特に、これに用
いられるフィルタの支持構造に関するものである。

【０００２】

【従来技術】半導体製造やバイオテクノロジー、医薬、
食品製造、或いは、医療関係等においては、新鮮で、し
かも、一定の温度、湿度に調整され、且つ極めて高い清
浄度を有する調整空気が必要とされる場合が多い。この
ような目的に用いられている恒温恒湿空気供給装置とし
ては、例えば、図４に示すように、箱体１５０中を仕切
板１５１により仕切ることによって、外気導入口１５２
から調整空気出口１５３に至る一連の空気流路を形成
し、この外気導入口１５２に送風機１５４を装着して、
外気導入口から調整空気出口１５３に向かって送風し、
外気導入口１５２に隣接して、蒸発式加湿器１５５、冷
凍機１５６の蒸発器から成る空気冷却器１５７、電熱式
加熱器１５８を、風上側から風下側に向かって、この順
序に設けてある。

【０００３】１６１は、温度センサで、その出力は、温
度コントローラ１６０に入力され、所望の空気温度が得
られるように、加熱器１５８を制御する。同様に、１６
３は、湿度センサで、その検出信号に基づいて、湿度コ
ントローラ１６２、加湿器１５５のヒータ１５５ａの作
動を制御するように構成されている。１６５は、ホース
ダクトで、クリーンベンチなどの調整空気供給空間１７
０と、恒温恒湿空気供給装置本体とを自在に連結する目
的で設けられいる。２００は、ホースダクトの端部に設
けたＨＥＰＡフィルターなどの超高性能フィルタを収納
するフィルタボックスである。（例えば、特開平４−１
３９３４５号公報参照）。

【０００４】このフィルタボックス２００は、例えば、
図５に示すように、調整空気の入口２０１と清浄空気の
供給口２０２とを有する２重の箱状ダクト内に、該ダク
トを横断するように、フィルタ３００の取付座２０３を
設け、この取付座に一端で固着する締付ボルト２０４、
２０４、…の他端に取付金具２０５を係合して、該取付
金具２０５と取付座２０３との間に、フィルタ３００
を、着脱自在に、挟持した構造を有する。

【０００５】一般に、ＨＥＰＡ，ＵＬＰＡ等と略称され
る超高性能エアフィルタは、使用頻度にもよるが、少な
くとも年に１〜２回は、交換する必要がある。ＨＥＰＡ
やＵＬＰＡは、傷つきやすい上に、ある程度重量がある
ので、狭いフィルタボックス内での取り扱いは、熟練と
細心の注意を必要とする上に、交換の前後には、フィル
タボックスの外側天板２０６の着脱、内側天板２０７の
着脱、更に、ボックス内におけるフィルタの取り外しに
伴う移動を可能にするために必要があれば、側板２０
８、２０９を変位させたり、取り除いたりする操作が伴
う。したがって、フィルタ交換操作に時間がかかると共
に、フィルタボックス内でのフィルタの取り扱いを容易
にするため、ボックスが大きくなりがちであった。

【０００６】

【発明の目的】本発明は、フィルタ交換が容易で短時間
に行うことができ、交換時におけるフィルタの損傷の虞
れが少ないうえに、コンパクトな構成のフィルタ取付構
造を有する恒温空気供給装置を開示することを目的とし
ている。

【０００７】

【発明の構成】本発明の第一の要旨は、空気入口及び調
整空気出口とを結ぶ一連の空気流路に、加熱器と冷却器
と、必要に応じて、加湿器とを備え、前記調整空気出口
から、所定の恒温恒湿条件の調整空気を供給する装置に
おいて、前記調整空気出口が上方に向けて開口している
基盤の上方に、該基盤に立脚するフレーム等の支持手段
によって、上面に清浄空気供給口を有し下面にはエアフ
ィルタの一側の周縁との当接座と該当接座の内側に開口
する通気開口を有し且つ該通気開口と前記清浄空気供給
口との間には出口チャンバが形成されて成る上部挟持体
を所定の高さに支持固定し、該上部挟持体の下方に、上
面には前記エアフィルタの他側の周縁を支承する支承座
と該支承座の内側に開口する入気開口とを有し下面には
前記調整空気出口に下端で連結している伸縮ダクトとの
接続口を備え且つ該接続口と前記入気開口との間には入
口チャンバが形成されて成る下部挟持体を設け、前記当
接座と前記支承座との間にエアフィルタを挟持して、前
記下部挟持体を固着具を介して上部挟持体に着脱自在に
固定したことを特徴とする恒温空気若しくは恒温恒湿空
気供給装置にある。

【０００８】本発明の第二の要旨は、上記第一の要旨に
おいて規定される供給装置において、調整空気を供給す
る装置の天板を兼ねている基盤上に、該基盤に開口する
調整空気出口を内包する状態で囲い板を立設し、上部挟
持体を、前記囲い板の上部付近によって固定支持すると
共に、該囲い板の一部が開閉自在に構成されていること
を特徴とする恒温空気若しくは恒温恒湿空気供給装置に
ある。以下、実施例に基づいて、本発明を詳細に説明す
る。

【０００９】

【実施例】図１〜２は、本発明の一実施例を示すもので
ある。図において、１００は、図４に示した従来の恒温
恒湿空気供給装置と同じ構成条件を備え、所望の温度湿
度条件に調整済みの空気を供給する装置で、箱体１中を
仕切板により仕切ることによって、外気導入口から調整
空気出口２に至る一連の空気流路を形成し、外気導入口
に送風機を装着して、外気導入口から調整空気出口２に
向かって送風し、外気導入口に隣接して、蒸発式加湿
皿、冷凍機の蒸発器から成る空気冷却器、電熱式加熱器
を、風上側から風下側に向かって、この順序に設けたも
のから成る。

【００１０】ただし、図４に示した装置の調整空気出口
１５３に相当する、実施例における調整空気出口２は、
箱体１の天板１ａの中央部付近に上方に向かって開口し
ている点が図４の装置と異なるだけで、他の構成は、実
質的に図４の従来装置と同じである。このエアフィルタ
取付構造の基盤としての天板１ａには、調整空気出口２
を内包するようにして、四方から、４枚の囲い板３、
４、５、６が、天板１ａの縁辺部から上方に立ち上げて
設けられている。これらの囲い板のうち、任意の一対
４、６は、その下端縁４ａ、６ａが、天板１ａ上に固着
された状態で立設され、他の一対３、５は、これらの囲
い板４、６の側縁部４ｂ、６ｂ付近にスナップ結合など
により係止されたり、或いは、止着具としてのネジ８、
…等により着脱自在に取り付けられている。

【００１１】この角筒状の囲い板の上端付近の内側に、
エアフィルタの上部挟持体１０が設けられている。上部
挟持体１０は、超高性能エアフィルタ９の形状に合わせ
て、それより大きな方形板から成る上面を持つ上下方向
の幅が狭い偏平箱状をなし、上面１１の中央には、清浄
空気供給口１２が開口し、上面１１と向かい合う下面に
は、フィルタ９の上側周縁部９ａが気密に当接する当接
座１３があり、該当接座１３に沿って、その内側に、フ
ィルタ９の有効面に対応する形状の通気開口１４が開口
している。そして、この通気開口１４を含む下面と清浄
空気供給口１２を含む上面との間の空間が、出口チャン
バ１６として、エアフィルタ９に面する雰囲気の均圧化
とフィルタを通過した空気を供給口１２に導く役割を果
たす。更に、上部挟持体の下面のコーナー部付近には、
当接座１３より外側の位置に、固着具としての４本のボ
ルト１７、１７、…が、ボルト頭部を上部挟持体下面に
溶着一体化した状態で垂設されている。

【００１２】このような構成の上部挟持体１０は、その
側面１５を天板１ａに立脚する囲い板４、６の上部内側
に固着されることにより、基盤としての天板１ａの上方
に、所定の距離を隔てて強固に支持されている。そし
て、囲い板４、６に、 ネジ結合等により着脱自在に囲い
板３、５を止着すると、天板１ａ上には、上部挟持体１
０と囲い板３〜６とにより囲まれたフィルタ収納スペー
スが形成される。この収納スペースの中において、上部
挟持体１０の下方に、蛇腹ホース３０によって支持され
た下部挟持体２０が設けられている。蛇腹ホース３０
は、天板１ａに開口する調整空気出口２に下端で接続し
ている。

【００１３】下部挟持体２０は、上面に、エアフィルタ
９の有効面の形状に合わせた入気開口２１とその開口２
１の周縁部に階段状に設けられた、エアフィルタの支承
座２２とを有する方形皿状をなし、該下部挟持体２０の
下面中央に設けられた伸縮ダクトとの接続口２３には、
伸縮ダクトとしての前記蛇腹ホース３０が、その上端３
１において、気密に外嵌している。この接続口２３を含
む下面と入気開口を含む上面とに挟まれた入口チャンバ
２６は、エアフィルタを通過する空気量の場所による偏
りを防止する。蛇腹ホース３０は、ゴム弾性素材やコイ
ルバネ等を芯材として備えた伸縮ホースで、上下方向に
伸縮可能で且つ左右方向に揺動でき、軽量な下部挟持体
２０をその重量と釣り合った位置において、空中に支持
することが可能である。３２は締付リングである。

【００１４】このような構成の下部挟持体２０の支承座
２２に、エアフィルタ９の下側の周縁部９ｂを当接して
支承すると共に、該フィルタの上側周縁部９ａを、上部
挟持体１０の当接座１３に当接して、下部挟持体を上部
挟持体に固着することにより、エアフィルタ９が交換自
在に取り付けられて成るものである。固着方法として
は、例えば、前記ボルト１７の位置に応じて、下部挟持
体２０の支承座２２から囲い板４、６に向けて突設した
係止片２４、２４、…の夫々に、ボルト挿通孔２５、２
５、…を設け、これにボルト１７を挿通し、固定ナット
２８で固定すればよい。２７は、位置決めナットであ
る。

【００１５】上記実施例では、フィルタの形状に合わせ
て、略方形の上、下部挟持体及び囲い板が、採用された
が、これは、エアフィルタの形状に応じて、例えば、円
形ならば、夫々が円筒形を採用することは、容易であ
る。又、伸縮ダクトとして、伸縮性、可撓性及び弾性を
備えた蛇腹状ホースを用いたが、これは、例えば、図３
に示すような２重管構成の伸縮管４０でもよい。囲い板
は必ずしも必須のものでなく、基盤上の適宜な高さにフ
レーム等により、上部挟持体を支持したものでもよい。

【００１６】

【効果】本願装置は、エアフィルタの取り外しに際し
て、囲い板の一部３又は５を取り外し、ナット２８を外
せば、エアフィルタ９は、自重で下がるので、これを下
部挟持体の支承座から外し、容易に手前に取り出すこと
ができる。装着にあたっては、その逆の動作をすればよ
い。特に、伸縮ダクトとして、伸縮弾性を有するホース
を用いれば、フィルタの着脱にあたって、フィルタの動
きが緩衝されるので、操作性が極めてよく、不用意にエ
アフィルタが部材に当たって損傷するといったことも防
止できる。又、従来のように、フィルタ収納ボックスの
解体組み立てを必要としないので、交換に要する時間が
著しく短縮できる。更に、出口チャンバ及び入口チャン
バの上下方向の幅や伸縮ダクトの必要伸縮幅は、ごく僅
かでよいので、エアフィルタの収納部の容積をコンパク
ト化することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の要部を示す分解説明図であ
る。

【図２】図１に示した実施例の要部の構成を示す断面説
明図である。

【図３】伸縮ダクトの他の例を示す断面説明図である。

【図４】従来技術の一例を示す説明図である。

【図５】図４におけるフィルタボックスの構成を示す説
明図である。

【符号の説明】

１ａ 天板 ２ 調整空気出口 ３〜６ 囲い板 ９ 超高性能エアフィルタ １０ 上部挟持体 １２ 清浄空気供給口 ２０ 下部挟持体 ３０ 伸縮ダクト １００ 調整空気供給装置

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】空気入口及び調整空気出口とを結ぶ一連の
   空気流路に、加熱器と冷却器とを備え、前記調整空気出
   口から所定条件の調整空気を供給する装置において、前
   記調整空気出口が上方に向けて開口している基盤の上方
   に、上面に清浄空気供給口を有し下面にはエアフィルタ
   の一側の周縁との当接座と該当接座より内側に開口する
   通気開口とを有し且つ該通気開口と前記清浄空気供給口
   との間には出口チャンバが形成されて成る上部挟持体を
   支持固定し、該上部挟持体の下方に、上面には前記エア
   フィルタの他側の周縁を支承する支承座と該支承座より
   内側に開口する入気開口とを有し下面には前記調整空気
   出口に下端で連結している伸縮ダクトとの接続口を有し
   且つ該接続口と前記入気開口との間には入口チャンバが
   形成されて成る下部挟持体を設け、前記当接座と前記支
   承座との間にエアフィルタを挟持して、前記下部挟持体
   を固着具を介して上部挟持体に着脱自在に固定したこと
   を特徴とする恒温空気供給装置。
2. 【請求項２】調整空気を供給する装置の天板を兼ねてい
   る基盤上に、該基盤に開口する調整空気出口を内包する
   状態で囲い板を立設し、上部挟持体を、前記囲い板の上
   部付近によって固定支持すると共に、該囲い板の少なく
   とも一部が開閉自在に構成されている請求項１の恒温空
   気供給装置。
3. 【請求項３】伸縮ダクトが、伸縮弾性を備えた蛇腹ホー
   スである請求項１又は２の恒温空気供給装置。
4. 【請求項４】固着具が、上部挟持体の当接座の外傍に垂
   設された複数のボルトと、下部挟持体の支承座の外傍に
   設けられたボルト挿通孔を通過した前記ボルト下端に螺
   合するナットとから構成されている請求項１〜３のいづ
   れかに記載の恒温空気供給装置。
5. 【請求項５】調整空気を供給する装置の空気入口と調整
   空気出口とを結ぶ一連の空気流路中に、加熱器と冷却器
   に加えて、加湿器が設けられている請求項１〜４のいづ
   れかに記載の恒温空気供給装置。