「PROBER」に関連した英語例文の一覧と使い方(9ページ目) - Weblio英語例文検索

An imaging means is prepared near a probe pin of a prober frame 10, contact conditions of the probe pin and an electrode is supervised by images acquired from the imaging means, and contact location of the probe pin is checked.例文帳に追加

プローバフレーム１０のプローブピンの近傍に撮像手段を設け、撮像手段で取得した撮像画像によってプローブピンと電極との接触状態を監視し、プローブピンの接触位置を確認する。 - 特許庁

The grounding probe is provided with a grounding spring 68 that is connected to the second prober head 32 and temporarily makes contact with the grounding shield extender for transferring the grounding signal to the grounding shield of the test cable.例文帳に追加

接地プローブは、第２のプローバーヘッドへ接続され、試験ケーブルの接地シールドへ接地信号を伝達するために接地シールドエクステンダーと一時的に接触するための接地ばねを有している。 - 特許庁

To provide a technology capable of achieving probe inspection even to a chip having a narrow-pitched test pad, by using a prober having a probe formed by a manufacturing technology of a semiconductor integrated circuit device.例文帳に追加

半導体集積回路装置の製造技術によって形成された探針を有するプローバを用い、テストパッドが狭ピッチ化したチップに対してもプローブ検査が実現できる技術を提供する。 - 特許庁

Thus, the interval between the test head 10 and the wafer prober 40 is kept constant every time they are connected, so the pogo pins 30 accurately and surely make contacts with prescribed positions of a probe card 50.例文帳に追加

したがって、テストヘッド１０とウェハプローバ４０を接続する毎の両者の間隔を一定に保つことができ、ポゴピン３０をプローブカード５０の所定位置に正確かつ確実に接触できる。 - 特許庁

To provide a lightweight wafer prober having superior temperature rise and drop characteristic, causing no warp even in the case where a probe card is pressed, and effectively preventing breakage of silicon wafer and a measuring error.例文帳に追加

軽量で昇温、降温特性に優れており、しかも、プローブカードを押圧した場合にも反りがなく、シリコンウエハの破損や測定ミスを有効に防止することができるウエハプローバを提供すること。 - 特許庁

To provide a ceramic substrate for semiconductor manufacturing/ inspecting apparatus having a through hole structure exhibiting excellent resistance against a drawing force applied to an external terminal pin, a wafer prober, a ceramic heater and an electrostatic chuck.例文帳に追加

外部端子ピンが受ける引抜き力に対する耐引抜き力性に優れたスルーホール構造を備えた半導体製造・検査装置用セラミック基板、ウエハプローバ、セラミックヒータ及び静電チャックを提供すること。 - 特許庁

In the prober device 10, furthermore, spot light 26 which is emitted from a light source 24 and converged at a convergence point 38 is made to proceed along the optical axis 28 of the camera 22, and the spot light 26 is projected toward the wafer 16.例文帳に追加

プローバ装置１０では、さらに、光源２４から発せられ収束点３８で収束するスポット光２６をカメラ２２の光軸２８に沿って進ませ、ウエハ１６へ向けスポット光２６を投光させる。 - 特許庁

To provide floating mechanism which enables both the movement for handler connection (XYZ direction) and the movement for prober connection (XY direction) with the same configuration to achieve easier connection and cost reduction.例文帳に追加

ハンドラ接続用動作（ＸＹＺ方向）とプローバ接続用動作（ＸＹ）方向を同一構成のフローティング機構を用いて動作可能とし、接続の容易性とコスト低減を可能としたフローティング機構を提供する。 - 特許庁

Thus, in the alignment using a prober, for example, the inclination and position of the package main body can be grasped by using the index, so that the alignment for the electrical test is made possible without using the solder ball.例文帳に追加

これにより、例えばプローバーでの位置合わせの際に、インデックスを用いてパッケージ本体の傾きや位置を把握することが可能になり、従ってハンダボールを用いることなく電気的テストのための位置合わせが可能となる。 - 特許庁

To provide a probe card, its manufacturing method, a wafer prober, and a manufacturing method of a semiconductor device, for achieving stable measurement and probe test by reducing the effect of noise while meeting the miniaturization of a terminal electrode to be measured.例文帳に追加

被測定端子電極の微細化に対応しつつ、ノイズの影響を低減し安定した測定、プローブ試験を達成するプローブカード及びその製造方法、ウェハプローバ、半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a ceramic substrate for semiconductor-manufacturing/ inspecting apparatus having a through hole structure with superb extraction- resistant force properties to extraction force that is applied to an external terminal pin, and to provide a wafer prober, a ceramic heater, and an electrostatic chuck.例文帳に追加

外部端子ピンが受ける引抜き力に対する耐引抜き力性に優れたスルーホール構造を備えた半導体製造・検査装置用セラミック基板、ウエハプローバ、セラミックヒータ及び静電チャックを提供すること。 - 特許庁

To provide a wafer holder equipped with a cooling module for quickly cooling a wafer, and configured to improve the soaking property of the wafer, and to be suitably used for a wafer prober or a cotar developer or the like.例文帳に追加

急速に冷却するための冷却モジュールを備えると共に、ウエハの均熱性を更に向上させることができ、ウエハプローバやコーターデベロッパなどに好適に利用することができるウエハ保持体を提供する。 - 特許庁

To provide a wafer prober in which the reliability of electrical connection with through-holes formed among an external terminal and an electrode and other conductors formed to the surface or inside of a stage for inspection is improved.例文帳に追加

外部端子と、検査用ステージの表面又は内部に形成される電極その他の導電体との間に設けられるスルーホールとの電気的接続の信頼性を向上させたウエハプローバを提供すること。 - 特許庁

In the wafer prober having a chuck top conductor layer formed on the surface of the ceramic substrate, the ceramic substrate has a Young's modulus of 280-350 GPa in a temperature range of 25-800°C.例文帳に追加

セラミック基板の表面にチャックトップ導体層が形成されてなるウエハプローバにおいて、前記セラミック基板は、２５〜８００℃の温度範囲におけるヤング率が２８０〜３５０ＧＰａであることを特徴とするウエハプローバ。 - 特許庁

To provide a wafer prober in which a ceramic board is hardly separated from a guard electrode and/or a ground electrode due to the difference in thermal expansion between a surrounding ceramic and the guard electrode and/or the ground electrode.例文帳に追加

ガード電極および／またはグランド電極と周囲のセラミックとの熱膨張差に起因する、セラミック基板とガード電極および／またはグランド電極との剥離が発生しにくいウエハプローバを提供すること。 - 特許庁

The frame transfer prober 1 for inspecting electrical characteristics of a large number of semiconductor chips 10 fixed to the tape 11 for dicing is provided with a peeling detection means 9 for detecting the peeling or ejection of the chips from the tape.例文帳に追加

ダイシング用テープ１１に固定された多数の半導体チップ１０の電気的特性検査を行うフレーム搬送プローバ１が、該テープからのチップの剥れ又は飛び出しを検出する剥離検出手段９を備えている。 - 特許庁

To provide a ceramic substrate which is fully blackened, capable of concealing a guard electrode and a gland electrode, as well as ensuring thermal conductivity and volume resistivity sufficient to function as a wafer prober.例文帳に追加

充分に黒色化され、ガード電極、グランド電極を隠蔽することができ、かつ、ウエハプローバとして機能するに充分な熱伝導率と体積抵抗率とを確保することができるセラミック基板を提供すること。 - 特許庁

By grounding the conductive film 12 to a prober housing 8 by a cable 9, static electricity generated when the device 4 is removed from the chuck 13 escapes to the ground side via the conductive film 12.例文帳に追加

この高抵抗導電膜１２をケーブル９でプローバ筐体８に接地することにより、デバイス４をチャック１３から取り外す際に発生する静電気は、高抵抗導電膜１２を通して接地側に逃げる。 - 特許庁

The prober exchanger comprises a rack for keeping the probers for inspecting the liquid crystal substrate and a conveyer for conveying the probers between the rack and the load lock chamber, inside a chamber having a hepa-filter in its upper part.例文帳に追加

プローバ交換装置は、液晶基板を検査するためのプローバを保管するラックと、このラックとロードロックチャンバとの間においてプローバを搬送する搬送装置とを、上部にヘパフィルタを有したチャンバ内に備える。 - 特許庁

The prober supports a semiconductor wafer 17, which is composed of a thick-walled peripheral edge 17A and a thin-walled internal part 17B, placed on a chuck 11 and carries out a test bringing its probe needle 7 into contact with the semiconductor wafer 17.例文帳に追加

周縁部１７Ａが肉厚に形成され内側部１７Ｂが肉薄に形成された半導体ウエハ１７をチャック１１上に載置して支持し、当該半導体ウエハ１７にプローブ針７を接触させて検査を行うプローバである。 - 特許庁

By fitting an electro-optical sampling optical system to a mounting/dismounting part 5b, with which the excitation optical system 6b is fixed to a prober body 42, measurement is performed even for a both-side wiring of the IC wafer 1 to be measured.例文帳に追加

また、励起用光学系６ｂをプローバ本体４２に固定する脱着部５ｂに電気光学サンプリング光学系を取り付けることによって、測定対象のＩＣウエハ１が両面配線であっても測定を行うことができる。 - 特許庁

This wave prober device is constituted of a ceramic substrate on whose surface a conductive layer is formed, and at which a heating means is arranged and a support container, and the support container are provided with a fluid blowout port.例文帳に追加

表面に導体層が形成されるとともに発熱手段が設けられたセラミック基板と支持容器とからなるウエハプローバ装置であって、上記支持容器には、流体噴出ポートが形成されていることを特徴とするウエハプローバ装置。 - 特許庁

To reduce the size of a device, and to appropriately attach a test head to prober body, when measuring the electrical characteristics of an inspection target body by bringing a probe into electric contact with the electrode pad of the inspection target body.例文帳に追加

プローブを被検査体の電極パッドに電気的に接触させて当該被検査体の電気的特性を測定するにあたり、装置の小型化を図ることができ、かつテストヘッドを適切にプローバ本体に装着させること。 - 特許庁

To provide a highly stiff wafer holder for wafer probers capable of improving position precision, soaking properties, and further rapid heating/cooling of a chip by enhancing a heat-insulating effect, and to provide a wafer prober device for mounting the wafer holder.例文帳に追加

高剛性であり、断熱効果を高めることにより、位置精度を向上や、均熱性の向上、更にはチップの急速な昇温と冷却ができるウェハプローバ用ウェハ保持体およびそれを搭載したウェハプローバ装置を提供する。 - 特許庁

In a cleaning mechanism of a prober 10 when cleaning the probe pins 23, the cleaning plate 19 is vibrated by ultrasonic waves in addition to pressing the cleaning plate 19 against the probe pins 23 and moving the probe pins 23 up and down.例文帳に追加

本発明のプローバー１０のクリーニング機構では、プローブ針２３のクリーニングのさい、クリーニング板１９をプローブ針２３に押し当てプローブ針２３を上下運動させるのに加えて、クリーニング板１９を超音波振動させるようにした。 - 特許庁

This wafer holder 1 for a wafer prober: includes a chuck top 2 having a chuck top conductor layer 3 on a surface thereof, and a support 4 for supporting the chuck top 2; and has a cavity in a portion between the chuck top 2 and the support 4.例文帳に追加

ウェハプローバ用ウェハ保持体１は、表面にチャックトップ導体層３を有するチャックトップ２と、該チャックトップ２を支持する支持体４とからなり、チャックトップ２と支持体４との間の一部に空隙を有することを特徴とする。 - 特許庁

To provide a wafer prober which can protect a chuck top conductor layer from noises, and prevents a malfunction in an integrated circuit, etc., caused by these noises, and accurately determine whether or not the integrated circuit, etc., operates normally.例文帳に追加

チャックトップ導体層をノイズから保護することができ、このノイズに起因する集積回路等の誤動作を防止することができ、集積回路等が正常に動作するか否かを正確に判定することができるウエハプローバを提供する。 - 特許庁

By allowing the positioning bush to have a roller mechanism for absorbing the positioning deviation of the prober frame, the positioning deviation is absorbed so that the positioning pin is easily inserted into the bush even if the pitch between the positioning bushes changes.例文帳に追加

位置決め用ブッシュに、プローバフレームの位置ずれを吸収するローラー機構を持たせることで、位置決め用ブッシュ間のピッチが変化した場合であっても、その位置ずれを吸収してブッシュへの位置決め用ピンの挿入を容易とする。 - 特許庁

In a wafer prober in which a chuck top conductor layer is formed on one major face of a ceramic substrate, and also a guard electrode is formed in the interior, a metal layer is formed on the side face of the ceramic substrate.例文帳に追加

セラミック基板の一主面にチャックトップ導体層が形成されるとともに、その内部にガード電極が形成されてなるウエハプローバであって、前記セラミック基板の側面に金属層が形成されていることを特徴とするウエハプローバ。 - 特許庁

To provide a liquid crystal display device and its inspection method performing disconnection/short-circuit inspection of a polycrystalline silicon array substrate by using a low precision and inexpensive prober for polycrystalline silicon without increasing the area of a column electrode drive circuit.例文帳に追加

列電極駆動回路の面積を増大させずに、低精度で低価格の多結晶シリコン用プローバを用いて、多結晶シリコンアレイ基板の断線、短絡検査を行い得る液晶表示装置及びその検査方法を提供する。 - 特許庁

A prober device 20 includes a first probe card 21, a second probe card 22, first and second test heads 23 and 24 mounted with the probe cards 21 and 22 respectively, a stage 26 on which the semiconductor chip 11 is mounted, a stage driving mechanism 27, and a housing 28.例文帳に追加

プローバ装置２０は、第１プローブカード２１、第２プローブカード２２、プローブカード２１，２２がそれぞれ装着される第１及び第２テストヘッド２３，２４、半導体チップ１１を載せるステージ２６、ステージ駆動機構２７、筐体２８を備えている。 - 特許庁

To provide a ceramic substrate to be used for a wafer prober for preventing generation of bending even at the time of pressing a probe card, for preventing the damage to a silicon wafer or measurement error, for making excellent temperature ascending and descending characteristics, and for improving controllability by individually controlling the electrode.例文帳に追加

プローブカードを押圧した場合でも反りがなく、ウエハの破損や測定ミスを防止し、かつ昇温、降温特性に優れるとともに、電極を個別に制御でき、制御性に優れるウエハプローバに使用されるセラミック基板を提供すること。 - 特許庁

To provide a ceramic board which is light in weight, is superior in a temperature rise/fall characteristics, there is no warpage at high temperatures, moreover, can mount a large silicon wafer, and is most suitable as equipment for manufacturing semiconductors, such as a hot plate, an electrostatic fastener, and a wafer prober.例文帳に追加

軽量で昇温、降温特性に優れるとともに、高温において反りがなく、しかも、大型のシリコンウエハを載置することができ、ホットプレート、静電チャック、ウエハプローバなどの半導体製造装置として最適なセラミック板を提供すること。 - 特許庁

Thus, the state of a test can be monitored in the vacuum and the low temperature or the very low temperature of the semiconductor wafer W by the prober 5, the position matching of the probe needle 52 and the semiconductor wafer W is easily performed, and the improvement of test precision is enabled.例文帳に追加

従って、プローバ５による半導体ウエハＷの真空中、低温又は極低温下での試験の様子をモニタすることができると共に、プローブ針５２と半導体ウエハＷとの位置合わせを容易にし、試験精度の向上が可能である。 - 特許庁

Based on the probe information and at least either the point positions or the electrode positions, the probe card and the inspection body 12 placed on the prober are relatively displaced to have the points of the reference probes P4, P5 and P6 aligned with the electrodes of the inspection body.例文帳に追加

プローブ情報と、針先位置及び電極位置の少なくとも一方とを基に、プローブカードとプローバに配置された被検査体１２とを相対的に変位させて、基準プローブＰ４，Ｐ５，Ｐ６の針先と被検査体の電極との位置合わせをする。 - 特許庁

To provide a magnetic prober for uniformly applying a magnetic field to a magnetic material device, reliably and accurately applying the desired magnetic field when the magnetic material device having a large area of a magnetic material portion is measured, and having the high measurement accuracy.例文帳に追加

磁性体デバイスに均一に磁界を印加することができ、磁性体部分の面積が大きい磁性体デバイスを測定する際にも、所望の磁界を確実に精度良く印加させることが可能な、測定精度が高い磁界プローバを提供する。 - 特許庁

To improve piping for thermostatic equipment used for a testing device called a wafer prober and used to test the performance of a semiconductor wafer and so on, the piping for thermostatic equipment being developed which dissipates less heat and is easily moved in the device.例文帳に追加

ウエハプローバと称される様な半導体ウエハの性能試験等に使用される試験装置で使用される恒温機器用配管を改良するものであり、放熱が少なく、且つ装置内で動かし易い恒温機器用配管の開発を課題とする。 - 特許庁

To provide a technique for minimizing the incoming of external noises affecting a measurement system without introducing any special and effective device such as a low-current measurement prober in measuring noise (1/f noise, etc.) of a semiconductor element.例文帳に追加

半導体素子のノイズ（１／ｆノイズ等）測定において、低電流測定プローバなどの特殊かつ効果な装置を導入することなく、測定系へ影響を与える外来ノイズの侵入を最小限に抑えることができる技術を提供する。 - 特許庁

The conductive protection film 12 is formed so as to contact with the metal film 11 in the insulation film 10b and be located in a region on a film surface of the metal film 11, which includes a region that a probe contacts during a prober test conducted in the manufacturing processes.例文帳に追加

そして、導電性保護膜１２は、絶縁膜１０ｂ内において金属膜１１に接して形成され、かつ、金属膜１１の膜面において製造途中で行うプローバーテスト時のプローブの接触領域を含む領域に形成される。 - 特許庁

To obtain a lightweight ceramic plate having excellent temperature rising and temperature lowering characteristics, no warpage even at a high temperature, capable of placing a large-scale silicon wafer, most suitable as a semiconductor manufacturing apparatus such as hot plate, antistatic chuck, wafer prober, etc.例文帳に追加

軽量で昇温、降温特性に優れるとともに、高温において反りがなく、しかも、大型のシリコンウエハを載置することができ、ホットプレート、静電チャック、ウエハプローバなどの半導体製造装置として最適なセラミック板を提供すること。 - 特許庁

To provide a magnetic field prober for keeping a probe pin precisely installed in a uniform magnetic field range, hence a magnetic field from a magnetic field application device precisely applied relative to X, Y, Z directions of a magnetic body device, and having high measurement accuracy.例文帳に追加

均一磁界範囲に正確にプローブピンを設置することができ、ひいては、磁界印加装置からの磁界を磁性体デバイスのＸ，Ｙ，Ｚ方向に対して精度良く印加させることができ、測定精度が高い磁界プローバを提供する。 - 特許庁

When the inspecting section and prober exchanger 10 are arranged side by side in this way, the inspection time of the liquid crystal substrate 30 can be shortened.例文帳に追加

液晶基板検査装置１は、基板３０を検査する検査部（ロードロックチャンバ１１）と、基板検査に用いるプローバ６を交換するプローバ交換装置１０とを併設すると共に、プローバ交換装置１０にプローバ６を保管するラック２を設ける構成とする。 - 特許庁

To more accurately measure analog type devices by making not only the top surface of a test board but the back surface usable as regions for mounting wafer-measuring components about a wafer measuring board which constitues a wafer test system with a prober and a tester.例文帳に追加

プローバ５１，テスタ６１と共にウエハテストシステムを構成するウエハ測定用ボードにおいて、テストボードの上面だけでなく、裏面をもウエハ測定用部品類の実装エリアとして使用できるようにして、アナログ系デバイスの測定をより精度よく行うこと。 - 特許庁

The invention relates to the electric contact apparatus 3 having an inspection contact 7 for electric contact of the subject by a contact method and a support 14 capable of accommodating an intermediate component 30 for holding the contact apparatus 3 in an inspection machine (prober).例文帳に追加

本発明は被験体の有接点式の電気的接触のための検査接点7と、接触装置3を検査機(プローバ)内に保持するために中間部品30を取り付けることができる支持装置14とを有する電気的接触装置3に関するものである。 - 特許庁

To provide a technique for surely bringing a probe into contact with a test pad in performing probe inspection for a plurality of chips at a time through the use of a prober having the probe formed by manufacturing technology for a semiconductor integrated circuit device.例文帳に追加

半導体集積回路装置の製造技術によって形成された探針を有するプローバを用い、複数のチップに対して一括してプローブ検査を実施する際に、探針とテストパッドとを確実に接触させる技術を提供する。 - 特許庁