「Gas Diffusion」に関連した英語例文の一覧と使い方(52ページ目) - Weblio英語例文検索

In a fuel cell arranging an anode 23 for oxidizing fuel and a cathode 22 for reducing oxygen through a solid polymer electrolyte membrane 21, by mixing fine air bubbles 26 whose sizes are controlled into slurry of mixture of an anode material and a cathode material, the pore structure of the electrode is controlled, and diffusion of gas and liquid produced/consumed in the electrode is enhanced.例文帳に追加

燃料を酸化するアノード２３および酸素を還元するカソード２２を、固体高分子電解質膜２１を介して配置した燃料電池において、アノードおよびカソード材料を混合したスラリーに、粒径を制御した微細な気泡２６を混入することにより、電極の細孔構造を制御し、電極内で生成・消費するガスおよび液体の拡散性を向上させる。 - 特許庁

Further, the gas diffusion layer for fuel cell has a conductive fiber body 33 in which the conductive fibers 10 are collected, a plurality of porous particles 11 which are dispersed and adhered on the surface of the conductive fibers 10, and a water repellent film 12 which covers at least a part of the conductive fibers 10 and the porous particles 11 and is made from the water repellent substance.例文帳に追加

さらに、燃料電池用ガス拡散層は、導電性繊維１０を集合してなる導電性繊維体３３と、前記導電性繊維１０の表面に分散して付着された、複数の多孔質粒子１１と、前記導電性繊維１０及び多孔質粒子１１の少なくとも一部を被覆し、撥水性物質からなる撥水性皮膜１２と、を備える。 - 特許庁

To provide a semiconductor device in which a hydrogen diffusion route can be secured, so that hydrogen is capable of reaching the interior of the semiconductor device, and effective annealing can be performed with a forming gas.例文帳に追加

本発明の目的は、水素バリア性を有する膜を貫通し、層間を電気的に接続するコンタクト構造及び埋め込み金属配線構造を有する半導体装置において、水素が半導体装置の内部に到達可能な水素拡散経路を確保し、フォーミングガスによる効果的なアニーリングが可能となる半導体装置および半導体装置の製造方法を提供することにある。 - 特許庁

A layer can be formed by exposing the low-dielectric-constant layer to the plasma of an inert gas to densify the low-dielectric-constant layer, by exposing the low-dielectric-constant layer to nitrating plasma to form a passivation nitride surface 236 on the layer 234 or by depositing a thin passivation layer 236 on the low-dielectric-constant layer to reduce oxygen diffusion therein.例文帳に追加

層は、低誘電率の層を不活性ガスのプラズマに暴露して低誘電率の層を高密度化するか、低誘電率の層を硝化プラズマに暴露して層２３４上にパッシベーション窒化物表面２３６を形成するか、或いは低誘電率層２３４上に薄いパッシベーション層２３６を堆積してその中の酸素拡散を低減することにより、形成可能である。 - 特許庁

The fuel battery cell has a cell structure in which a membrane electrode assembly 10 having electrodes 12A, 12B installed on both sides of a polymer electrolyte membrane 11 is interposed by two adjoining separators 20, 30 through a gas diffusion layer which is arranged contacting the electrodes, and has a gasket arranged between each separator on the surrounding of the electrode and the electrolyte membrane.例文帳に追加

高分子電解質膜１１の両面に電極１２Ａ，１２Ｂが設けられた膜電極接合体１０を電極に当接して配置されたガス拡散層を介して隣接する２つのセパレータ２０，３０で挟持してなるセル構造を備え、電極の周囲における各セパレータと電解質膜との間に配置されたガスケットを備える燃料電池セルである。 - 特許庁

In the membrane-electrode assembly 10 wherein a solid polymer electrode membrane 11 forming catalyst layers 12a, 12b on both sides is sandwiched by gas diffusion layers 14a, 14b, conductive thin films 13a, 13b made of gold and having a vent interconnected from one surface side to the other surface side are formed between the membrane-electrode assembly 10 and the catalyst layers 12a, 12b.例文帳に追加

両面に触媒層１２ａ，１２ｂが形成された固体高分子電解質膜１１がガス拡散層１４ａ，１４ｂによって挟持された膜電極接合体１０において、前記固体高分子電解質膜１０と前記触媒層１２ａ，１２ｂとの間に、金からなり、一面側から他面側に連通する通気孔を有する導電性薄膜１２ａ，１２ｂが形成されている。 - 特許庁

To solve problems that, in a polyelectrolyte fuel cell constituted of a gas diffusion layer in which conventional carbon fiber woven fabric is used as the base material, a large pressure is locally loaded on a polyelectrolyte membrane due to roughness and fineness distribution resulting from weaving within the face of the carbon fiber woven fabric, and the polyelectrolyte membrane is broken with the passage of time, and pin holes are formed ultimately.例文帳に追加

従来のカーボン繊維織布を基材とするガス拡散層から構成される高分子電解質型燃料電池においては、カーボン繊維織布の面内における織りに起因する大きな粗密分布により、高分子電解質膜に局所的に大きな圧力がかかり、経時的に高分子電解質膜が破壊し、最終的にはピンホールが発生することを解消する。 - 特許庁

In the excimer lamp in which, on an inner surface of a discharging vessel made of silica glass, there is formed an ultraviolet reflection layer by a diffusion reflection, which is composed of a particle deposited body of silica particles as a main composition, there is formed an impurity gas permeation controlling region composed as a film-state region continuing as a whole where a particle shape is lost.例文帳に追加

シリカガラスよりなる放電容器の内表面に、シリカ粒子を主成分とする粒子堆積体により構成された拡散反射による紫外線反射層が形成されたエキシマランプにおいて、前記紫外線反射層の内表面には、粒子の形態が失われて一体の連続した膜状領域として構成された不純ガス透過抑制領域が形成されている。 - 特許庁

The manufacturing method includes processes of applying slurry containing a catalytic metal precursor, a catalyst support having fine cavities, ionomers having cation exchange groups, and solvent on a gas diffusion layer to form a catalytic layer before reduction and reducing the catalytic metal precursor by means of thermal treatment under a reductive atmosphere to from catalytic metal particles in the fine cavities of the catalyst support.例文帳に追加

触媒金属前駆体、微細気孔を有する触媒担体、陽イオン交換基を有するイオノマ及び溶媒を含むスラリをガス拡散層上に塗布して未還元触媒層を形成する段階と、前記未還元触媒層を還元雰囲気にて熱処理して前記触媒金属前駆体を還元させることにより、前記触媒担体の微細気孔内に触媒金属粒子を形成する段階とを含む。 - 特許庁

To provide a porous conductive substrate in which damage to a polymer electrolyte membrane is reduced and flooding caused by remaining of water in the substrate is suppressed while peeling off is suppressed by a simple method without comprising a calcination process of the substrate, and which has a superior mechanical strength and electric performance, a gas diffusion electrode using this substrate, and a membrane-electrode assembly and a fuel cell using this electrode.例文帳に追加

高分子電解質膜へのダメージを低減し、基材中に水が滞留することによるフラッディングを抑制しつつ、かつ、基材の焼成工程を経ることなく簡便な方法で、剥がれが抑制され、かつ優れた機械的強度と電気特性を有する多孔質導電性基材、該基材を用いたガス拡散電極、該電極を用いた膜・電極接合体および燃料電池を提供すること。 - 特許庁

To provide a resin composition for a proton conductive binder capable of closely bonding a hydrocarbon electrolyte membrane and a gas diffusion electrode and providing high proton conductivity to the inside of the electrode in a proton conductive polymer electrolyte membrane-electrode assembly useful for a constitution material of a polymer electrolyte fuel cell, a direct liquid fuel cell, and a direct methanol fuel cell.例文帳に追加

固体高分子形燃料電池、直接液体形燃料電池、直接メタノール形燃料電池の構成材料として有用なプロトン伝導性高分子電解質膜−電極接合体において、炭化水素系電解質膜をガス拡散電極と良好に密着させ、かつ、電極内部まで良好なプロトン伝導性を付与出来るプロトン伝導性の結着剤用樹脂組成物を提供する。 - 特許庁

This method of manufacturing a gas diffusion electrode for polymer electrolyte fuel cell has a process for dipping the conductive porous base material with the water repellent treatment solution, a process for drying the conductive porous base material, a process for forming a carbon layer on the conductive porous base material and a process for baking the conductive porous base material having the carbon layer in this order.例文帳に追加

（ａ）導電性多孔質基材を撥水処理液中に浸漬する工程、（ｂ）前記導電性多孔質基材を乾燥する工程、（ｃ）前記導電性多孔質基材上にカーボン層を形成する工程、および（ｄ）前記カーボン層を有する導電性多孔質基材を焼成する工程を、工程（ａ）〜（ｄ）の順に有する高分子電解質型燃料電池用ガス拡散電極の製造方法。 - 特許庁

The anode-side electrode 20 is provided with an electrode catalyst layer 20a contacting with one face of the solid polymer electrolyte membrane 18 and making a periphery of the solid polymer electrolyte membrane 18 exposed in a frame shape and the cathode-side electrode 22 is provided with an electrode catalyst layer 22a contacting with the other face 18b of the solid polymer electrolyte membrane 18 and a gas diffusion layer 22b.例文帳に追加

アノード側電極２０は、固体高分子電解質膜１８の一方の面１８ａに当接し、前記固体高分子電解質膜１８の外周を額縁状に露呈させる電極触媒層２０ａ及びガス拡散層２０ｂを設け、カソード側電極２２は、前記固体高分子電解質膜１８の他方の面１８ｂに当接する電極触媒層２２ａ及びガス拡散層２２ｂを設ける。 - 特許庁

To provide a hydroxide ion conductivity imparting agent for gas diffusion electrode, which can be jointed to an electrolyte membrane with good strength and can impart excellent hydroxide ion conductivity to the inside of the electrode to produce the active electrode reaction, in a polymer electrolyte fuel cell using a hydrocarbon anion-exchange membrane as an electrolyte membrane.例文帳に追加

固体高分子型燃料電池、特に電解質膜が炭化水素系陰イオン交換膜を用いた固体高分子型燃料電池のガス拡散電極用水酸化物イオン伝導性付与剤であって、電解質膜と良好な強度で接合可能であり、電極内部まで良好な水酸化物イオン伝導性を付与して活発な電極反応を生じさせることができる水酸化物イオン伝導性付与剤を提供すること。 - 特許庁

To make adjusting an engine output easy when a traction control starts, in an engine which circulates more exhaust gas than a predetermined amount and jets fuel into a cylinder at an earlier point than at the top dead center in a compression stroke so that premixed compression ignition combustion starts close to the top dead center where the ratio of premixed combustion is bigger than that of diffusion combustion.例文帳に追加

予混合燃焼の割合が拡散燃焼の割合よりも多い予混合圧縮着火燃焼がＴＤＣ付近から開始するように、圧縮行程上死点よりも前の早い時期に燃料を筒内に噴射するとともに設定量以上の排気を還流させるようにしたエンジンの燃焼制御装置において、トラクション制御が開始されたときのエンジン出力の調節を容易にする。 - 特許庁

The gas diffusion electrode includes electrode catalyst fine particles 1, carbon particles 2 carrying the electrode catalyst fine particles 1 on the surface, and a proton conductive polymer 3 with a hydrophilic group, and further, an orientation control agent 5 carrying out an action of orientating the proton conductive polymer 3 so that the hydrophilic group part is directed toward the electrode catalyst fine particles 1 carried by the carbon particles 2.例文帳に追加

本発明のガス拡散電極は、電極触媒微粒子１と、該電極触媒微粒子１を表面に担持するカーボン粒子２と、親水基を有するプロトン伝導性高分子３とを含み、更に前記親水基部分を前記カーボン粒子２に担持された前記電極触媒微粒子１に向けるように前記プロトン伝導性高分子３を配向する作用を為す配向制御剤５を含むものである。 - 特許庁

The separator 10 for the fuel cell has at least one conductive layer 12 on at least one side of a metal substrate 11, the conductive layer contains a conductive ceramics and binder resin, has a total thickness of 0.5-10 μm, and a contact angle to water on the surface of the conductive layer being in contact with a gas diffusion electrode of the fuel cell is 120 degrees or more.例文帳に追加

金属基板１１の少なくとも片面上に少なくとも１層の導電性の層１２を備える燃料電池セパレータ１０であって、該導電性の層は、導電性セラミックスとバインダー樹脂とを含み、その総厚みが０．５〜１０μｍであり、及び、燃料電池のガス拡散電極と接する側の表面の水に対する接触角が１２０度以上であることを特徴とする燃料電池用セパレータ。 - 特許庁

In the membrane/electrode assembly, a pair of electrode catalyst layers is made of a composite catalyst particle, having a polyelectrolyte, a catalytic material, and an electron conductive substance, and the content ratio of the polyelectrolyte in the composite catalyst particle is larger on the side in contact with the solid polymer electrolyte membrane, as compared with the side in contact with the gas diffusion layer in a thickness direction of the electrode catalyst layer.例文帳に追加

一対の電極触媒層は、高分子電解質と触媒物質と電子伝導性物質を有する複合触媒粒子からなり、電極触媒層の厚み方向において、ガス拡散層に接する側と比べて、固体高分子電解質膜に接する側において、複合触媒粒子中の高分子電解質の含有割合が多いことを特徴とする膜電極接合体。 - 特許庁

To provide an improved CVD apparatus and method for producing an alminide diffusion coating modified by inclusion of one or more other coating elements such as only and one or more so-called reactive elements in the coating produced with improved efficiency of use of metal charge residing in one or more coating gas generators.例文帳に追加

本発明の目的は、コーティングが一つ以上のコーティングガスジェネレーターに存在する金属電荷の改良された使用効率によって生成できる場合において、単に、シリコン及び一つ以上の所謂反応的な元素など、一つ以上の他のコーティング元素の封入によって修飾されるアルミニウム化物イオン拡散コーティングの生成が可能な改良型ＣＶＤ装置及び方法を提供することである。 - 特許庁

To provide a sealing composition (especially for making a conductive porous body to be a gas diffusion layer member) which has a sealability for sealing an end surface of the conductive porous body and moldability for molding integrally with the conductive porous body and moreover has suitable mechanical properties (hardness, strength, elongation or the like) and has an excellent chemical resistance (especially an acid resistance) and a thermal resistance.例文帳に追加

導電性多孔質体の端面を封止し得るシール性及び導電性多孔質体に一体成形できる成形性を有し、かつ、得られる成形物が適度な機械的物性（硬さ、強度、伸び等）と、優れた耐薬品性（特に耐酸性）及び耐熱性を示すシール組成物（特に、導電性多孔質体を燃料電池のガス拡散層用部材にするためのシール組成物）を提供すること。 - 特許庁

To provide a production method whereby a washing solvent, used for removing a solvent added at film-formation, can be removed at a high speed while inhibiting its evaporation and diffusion into a gas phase in a production system and inhibiting shrinkage of a thermoplastic resin, and a thermoplastic resin microporous membrane which is excellent in porosity, air permeability, dimensional stability and appearance can be obtained.例文帳に追加

成膜加工の際に添加した溶剤の除去に用いた洗浄溶媒を除去する際、その製造工程系内の気相中への揮発拡散を抑制しながら高速に、かつ熱可塑性樹脂の収縮を抑制しつつ除去し、もって空孔率、透気度、寸法安定性及び外観性状に優れた熱可塑性樹脂微多孔膜を製造することが可能な製造方法を提供する。 - 特許庁

This contamination control device 100 includes: a cover 106 disposed to surround the respective connecting parts 104 for preventing diffusion of contaminants; an inflow port 108 for supplying outside air to a space 106c among the cover 106 and the pipeline 102a, 102b; and an outflow port 110 for discharging mixed gas of the air supplied to the space 106c and the contaminants.例文帳に追加

汚染制御装置１００は、汚染物の拡散を防止するために、それぞれの連結部１０４を囲むように配置されるカバー１０６と、前記カバー１０６と配管１０２ａ、１０２ｂとの間の空間１０６ｃに外部空気を供給するための流入ポート１０８と、前記空間１０６ｃに供給された空気と前記汚染物との混合ガスを排出するための流出ポート１１０と、を含む。 - 特許庁

The fuel cell includes an electrolyte membrane 120, an anode electrode 140 and a cathode electrode 130 arranged by pinching the electrolyte membrane 120 and having gas diffusion layers 144, 134, respectively, and a first and a second separators 170, 160 arranged on the outer surface of the anode electrode 140 and the cathode electrode 130 and with ribs 172, 162 formed on opposite surfaces of the anode electrode 140 and the cathode electrode 130.例文帳に追加

電解質膜１２０、電解質膜１２０を挟んで配置され、ガス拡散層１４４，１３４をそれぞれ有するアノード電極１４０とカソード電極１３０、および、アノード電極１４０およびカソード電極１３０の外面に配置され、アノード電極１４０およびカソード電極１３０に相対する面にリブ１７２，１６２が形成された第１および第２セパレータ１７０，１６０を有する。 - 特許庁

The catalyst combustor for the gas fuel having the planar combustion catalyst layer on the end face of a casing comprises a plurality of laminates each consisting of a plurality of porous ceramic paper sheets laminated, arranged on the front stage of the catalyst layer in spaced relation, and diffusion layers formed between the adjacent laminates and between the laminate near the catalyst layer and the catalyst layer.例文帳に追加

ケーシングの端部面に平面状燃焼触媒層を備えたガス燃料の触媒燃焼器であって、該触媒層の前段に、複数の多孔質セラミックペーパーを積層してなる積層体の複数個を間隔を置いて配置するとともに、相隣り合う積層体の間、及び、触媒層寄りの積層体と触媒層の間に拡散層を形成してなることを特徴とするガス燃料の触媒燃焼器。 - 特許庁

To provide an electrode for a fuel cell exerting stable, high performance for a long time by removing an effect of condensed water in a slit of a cathode end plate by humidity control and keeping wetting of a catalyst layer or a gas diffusion layer in a suitable state; to provide a polymer electrolyte fuel cell and a liquid fuel cell using the electrode; and to provide information electronic equipment mounting these fuel cells.例文帳に追加

本発明の目的は、調湿によってカソード端板のスリット内に溜まる結露水の影響を除くと共に、触媒層やガス拡散層の濡れを適した状態に維持することによって、長期間安定して高い性能を発揮する燃料電池用電極、その電極を用いた高分子電解質型燃料電池および液体燃料電池と、それら燃料電池を組み込んだ情報電子機器を提供することにある。 - 特許庁

In this gas diffusion electrode composed of a catalyst layer composed of carbon powder holding a catalyst and a high molecular electrolyte, a porous material composed of a carbon material and supporting the catalyst layer, and a water repellent material applied to the porous board, the quantity of the water repellent material in the porous material is continuously changed from a side abutted on the catalyst layer toward the other side.例文帳に追加

触媒を担持した炭素粉末および高分子電解質からなる触媒層と、炭素材料からなり前記触媒層を支持する多孔質基材と、前記多孔質基材に付与された撥水材とからなるガス拡散電極であって、前記多孔質基材内における前記撥水材の量が、前記触媒層と接する側から他方の側に向かって連続的に変化していることを特徴とする燃料電池用ガス拡散電極。 - 特許庁

This invention relates to the method of manufacturing the membrane-electrode assembly for the fuel cell having: an electrolyte membrane composed of a solid polymer; a pair of catalyst layers arranged and installed on both face sides of the electrolyte membrane; and a pair of gas diffusion layers each arranged and installed outside the respective catalyst layers.例文帳に追加

固体高分子よりなる電解質膜と、前記電解質膜の両面側に配設された一対の触媒層と、前記各触媒層の外側にそれぞれ配設された一対のガス拡散層とを有する燃料電池用膜電極接合体の製造方法であって、前記一対のガス拡散層のうちの少なくとも一方に対して加圧した水を前記ガス拡散層の厚み方向に透過させるガス拡散層処理工程を有することを特徴とする。 - 特許庁

A method of diffusing impurities into crystal silicon particles has process of forming silica glass containing impurities for a second conductive semiconductor on the surface of crystal silicon particles by introducing an impurity gas containing oxygen while inputting a great amount of first conductive crystal silicon particles into a diffusion pipe to make stir and process of forming a second conductive silicon layer by making impurities diffuse on the surface of the crystal silicon.例文帳に追加

結晶シリコン粒子への不純物の拡散方法は、拡散管内に多数の第１導電型の結晶シリコン粒子を入れて攪拌させながら酸素を含んだ不純物ガスを導入することによって、結晶シリコン粒子の表面に第２の導電型用の不純物を含有した珪酸ガラスを形成する工程と、結晶シリコン粒子の表面に不純物を拡散させて第２の導電型のシリコン層を形成する工程とを有する。 - 特許庁

During a period from the termination of fuel cut operation of the internal combustion engine until oxygen concentration in the cylinder decreases to desired concentration, a swirl flow is caused in the cylinder and the internal combustion engine is operated in diffusion combustion so that increasing correction of a fuel injection quantity can be made without involving misfire and increase of smoke and therefore the oxygen concentration in EGR gas and oxygen concentration in the cylinder promptly decrease.例文帳に追加

本発明は、内燃機関のフューエルカット運転終了時から気筒内の酸素濃度が所望の濃度へ低下するまでの期間は、気筒内にスワール流を発生させつつ内燃機関を拡散燃焼運転させることにより、失火やスモークの増加を伴うことなく燃料噴射量の増量補正を行えるようにし、以てＥＧＲガス中の酸素濃度、及び気筒内の酸素濃度を早期に低下させるようにした。 - 特許庁

The manufacturing method of a membrane electrode assembly for a solid polymer fuel cell, is provided with a process, after covering a first gas diffusion layer on a first carbon layer coating liquid layer, forming a first carbon layer by drying the first carbon layer coating liquid layer, and a process heating and jointing by making the first carbon layer in contact with a first catalyst layer formed on one surface of a solid polymer electrolyte membrane.例文帳に追加

第１のカーボン層塗工液層の上に、第１のガス拡散層を被せた後、前記第１のカーボン層塗工液層を乾燥して第１のカーボン層を形成する工程と、前記第１のカーボン層と、固体高分子電解質膜の一方の面に形成された前記第１の触媒層とを接するようにして加熱接合する工程と、を有する固体高分子形燃料電池用膜電極接合体の製造方法。 - 特許庁

This is the manufacturing method of the membrane-electrode assembly which has the catalyst layer containing the protonic acid group containing aromatic polymer and carbon particles on which a metal catalyst is carried, and which has a process in which at least one catalyst layer and the gas diffusion layer are joined by interposing an adhesive layer containing the protonic acid group containing aromatic polymer.例文帳に追加

本発明に係る膜−電極接合体の製造方法は、固体高分子電解質膜の両面に、プロトン酸基含有芳香族系ポリマーと、金属触媒が担持されたカーボン粒子とを含有する触媒層を有し、該触媒層上にガス拡散層を有する膜−電極接合体の製造方法であって、少なくとも一方の触媒層とガス拡散層とを、プロトン酸基含有芳香族系ポリマーを含有する接着剤層を介在させて接合する工程を含むことを特徴とする。 - 特許庁

MEA for a fuel cell is manufactured by a process manufacturing the catalyst layer by mixing conductive carbon particles carried with at least the catalyst metal and the polymer electrolyte; a process forming a thin membrane of the produced catalyst layer; a process forming an assembly of a proton conductive electrolyte membrane and the catalyst layer by successively laminating a plurality of thin membranes on the proton conductive membrane, and a process joining a gas diffusion layer to the assembly.例文帳に追加

少なくとも触媒金属を担持した導電性炭素粒子と高分子電解質とを混合し触媒層を製造する工程と、作製された触媒層を薄膜化する工程と、その薄膜の複数枚をプロトン伝導性電解質膜の上に順次積層することによりそのプロトン伝導性電解質膜と触媒層との接合体を形成する工程と、その接合体にガス拡散層を接合する工程とにより燃料電池用ＭＥＡを作製する。 - 特許庁

In the method for producing polycarbonate obtained by combining a bisphenol and a diaryl carbonate, isolated monophenol is again reacted for the production of the diaryl carbonate, and a halide of an alkali metal formed in the production of the diaryl carbonate is converted into chlorine and an alkali hydroxide solution by electrochemical oxidation using a gas diffusion electrode, and the chlorine is recycled for the production of phosgene, and the alkali hydroxide solution is recycled for the production of the diaryl carbonate.例文帳に追加

本発明の目的は、遊離されるモノフェノールをジアリールカーボネートの製造のために再度反応させ、ジアリールカーボネートの製造において生成するアルカリ金属ハロゲン化物を電気化学的酸化によって、要すればガス拡散電極を用いて、塩素とアルカリ水酸化物溶液に転化させ、塩素をホスゲンの製造にリサイクルし、アルカリ水酸化物溶液をジアリールカーボネートの製造にリサイクルする、ビスフェノールとジアリールカーボネートからの組み合わされたポリカーボネートの製造方法によって解決される。 - 特許庁

A relative position, between the plurality of holes 9 in the gas diffusion plate 3 and the coil 4, can be made movable.例文帳に追加

プラズマ処理装置の構成を、減圧自在な処理室１と、複数の開孔９を有するガス分散板３と、ガス分散板３の複数の開孔９を通して処理室１にプロセスガスを供給するガス供給路２と、処理室１で発生するガスを処理室１から排出するガス排出路７と、ガス分散板３と対向して設けられ、処理室１の内部にプロセスガスのプラズマ放電を発生させるコイル４とを含み、ガス分散板３の複数の開孔９とコイル４との相対位置が移動自在である構成とする。 - 特許庁