例文 (228件) |
wave aberrationの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 228件
To provide a small size wave-front aberration measuring apparatus which can mount easily a measuring apparatus to an exposing apparatus and can quickly measure with higher accuracy the aberration of the optical system to be detected, a method of measuring such aberration, an exposing apparatus which can manufacture devices with higher accuracy and excellent productivity, and a method of manufacturing devices.例文帳に追加
露光装置への測定装置の装着が容易で、被検光学系の収差を迅速かつ高精度に測定可能な小型の波面収差測定装置及び方法、デバイス等を高精度にかつ生産性よく製造可能な露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。 - 特許庁
A measuring beam RL including an image of pin-hole PH of a test reticle Rt is controlled to be incident to the wave-front aberration measuring unit 75 to measure the wave- front aberration information of the projected optical system PL and this measuring beam RL is developed to various elements including the defocus element using the polynomial of Zernike.例文帳に追加
テストレチクルRtのピンホールPHの像を含む測定光RLを波面収差測定ユニット75に入射させ、投影光学系PLの波面収差情報を測定するとともにツェルニケの多項式を用いてデフォーカス成分を含む種々の成分に展開する。 - 特許庁
In the wave front aberration correction mirror for correcting aberration by displacing the mirror surface of a mirror substrate (6) by a piezoelectric material, a layer (21) for suppressing the deformation of the mirror substrate (6) by thermal expansion is provided.例文帳に追加
ミラー基板(6)のミラー面を圧電材料によって変位させることにより収差補正する波面収差補正ミラーにおいて、熱膨張によるミラー基板(6)の変形を抑制するための層(21)が設けられている。 - 特許庁
To make high density and excellent write-in possible by realizing a stable light spot whose spot size is small by excellently correcting wave front aberration.例文帳に追加
波面収差を良好に補正することにより、スポット径が小さく安定した光スポットを実現し、高密度の良好な書込みを可能にする。 - 特許庁
The detected signals of the imaging elements 91a, 91b are supplied to a wave-front aberration calculation portion provided in the external side of the light receiving cabinet 82 with the radio communication.例文帳に追加
各撮像素子91a,91bでの検出信号は、無線通信で受光筐体82外の波面収差算出部に供給する。 - 特許庁
The ophthalmic lens is characterized as a model for reducing the eye aberration for a wave surface from an optical system comprising the lens and the cornea model.例文帳に追加
この情報から、前記レンズおよび角膜モデルから成る光学系からの波面の眼内での収差が低減するように、眼レンズがモデル化される。 - 特許庁
Further, by changing the beam diffusion angle of the light beam from the light source 8 of the second optical disk 1b, the generation of a wave front aberration can be inhibited.例文帳に追加
さらに、第二の光ディスク1bの光源8からの光ビームのビーム拡散角度を変化させて波面収差の発生を抑止する。 - 特許庁
To provide an exposure device capable of directly measuring the wave aberration of a projection optical system in a projection exposure device on the projection exposure device.例文帳に追加
投影露光装置の投影光学系の波面収差を投影露光装置上で直接測定可能とする露光装置を実現すること。 - 特許庁
To provide an adjusting method and adjusting device of an objective lens, which unitizes an objective lens and an optical element for wave front aberration so as to make high aberration correction, and also to provide a manufacturing method of an objective lens.例文帳に追加
対物レンズと波面収差用の光学素子とを高い収差補正が得られる状態でユニット化することの出来る対物レンズユニットの調整方法、調整装置ならびに対物レンズユニットの製造方法を提供する。 - 特許庁
A beam shaping lens 10 consists of an anamorphic single lens, and each lens 10 forms a wave front aberration independently of each other in the main scanning direction and subscanning direction so that the aberration generated by a rotating polygon mirror and a scanning lens may be compensated.例文帳に追加
ビーム整形レンズ10はアナモフィックな単レンズよりなり、回転多面鏡及び走査レンズで発生する収差を補正するように、主走査方向と副走査方向とにおいて、各々独立して波面収差を形成する。 - 特許庁
To excellently record/reproduce information by suppressing a wave front aberration (coma aberration or the like) caused by an inclination of an optical recording medium, thereby improving a spot shape on the recording surface of an optical recording medium in an optical pickup of an information recording/reproducing device.例文帳に追加
情報記録再生装置の光ピックアップにおいて、光記録媒体の傾きに起因する波面収差(コマ収差等)を抑制し、光記録媒体の記録面でのスポット形状を改善し、良好な記録・再生を実現する。 - 特許庁
To conduct support for carrying out precisely and efficiently eccentricity regulation and lens space regulation in an inspected optical system, by making constitution capable of measuring an eccentric comatic aberration and a transmission wave front aberration in the inspected optical system, by one device.例文帳に追加
被検光学系の偏心コマ収差及び透過波面収差を1台で測定可能な構成とし、被検光学系の偏心調整及びレンズ間隔調整を高精度かつ効率的に行うための支援を行うこと。 - 特許庁
To provide an optical head device capable of efficiently correcting a wave front aberration by tilting an optical disk and shifting an objective lens even if a phase correcting element is not mounted on an actuator.例文帳に追加
位相補正素子をアクチュエータに搭載せずとも、光ディスクチルトおよび対物レンズシフトによる波面収差補正を効率よく行える光ヘッド装置。 - 特許庁
To effectively correct degradation in scanning line deflection and wave front aberration in an optical scanner of an oblique incidence system suitable for low cost, low power consumption and downsizing.例文帳に追加
低コスト,低消費電力,小型化に適した斜入射方式の光走査装置における走査線曲がりと波面収差の劣化を有効に補正する。 - 特許庁
To widen an available temperature range even when using as a high NA objective lens by suppressing variations in wave aberration, due to a temper ature change.例文帳に追加
温度変化による波面収差の変化を小さく抑え、高NAの対物レンズとして利用する場合にも、利用可能な温度範囲を広げること。 - 特許庁
To provide a wave front aberration correction mirror with a structure which is easily deformed and which further maintains a more stable posture in order to be driven at a low voltage.例文帳に追加
低電圧で駆動させるために、変形しやすく、かつ、より一層安定な姿勢を維持できるような構造の波面収差補正ミラーを提供する。 - 特許庁
When wave surface aberration calculated by S20 is smaller than that calculated by S10, this is recognized as the resolution according to the design, so that the operation of a next stage is started for consideration.例文帳に追加
S20で算出された波面収差がS10で算出された波面収差より小さければ,設計解として認め,次の段階の検討に入る。 - 特許庁
To provide a measuring method which can measure the wave aberration of an optical system as a measurement target to given polarization light in a short time and in an easy and convenient manner.例文帳に追加
任意の偏光光に対する被検光学系の波面収差を、短時間、且つ、簡易に測定することができる測定方法を提供する。 - 特許庁
To provide a measurement apparatus which can measure an optical characteristic(wave aberration) of an optical system to be inspected with accuracy higher and in a time shorter than the prior, and a test reticle.例文帳に追加
従来よりも高精度、且つ、短時間で被検光学系の光学特性(波面収差)を測定することができる測定装置、テストレチクルを提供する。 - 特許庁
To provide an interferometer capable of precise measurement of the wave aberration of a lens to be inspected (especially, a projection lens used in an immersion exposure apparatus).例文帳に追加
被検レンズ(特に液浸露光装置に用いられる投影レンズ)の波面収差を高精度に測定することが可能な干渉計を提供すること。 - 特許庁
The reflected beams are analyzed to identify any deformed wave front indicating that retina correction is needed and any induced wave front indicating that aberration has been induced by bubbles made at the time of delamination of tissues.例文帳に追加
反射したビームは分析されて、必要な角膜修正を表す変形された波面と、組織の剥離時に形成された気泡により光収差が誘起されたことを表す誘起された波面とを同定する。 - 特許庁
To appropriately correct wave front aberration caused in an optical system by a liquid crystal element without being affected by a quarter wave plate disposed on an optical path from a light source via a recording medium to a light detector.例文帳に追加
光源から記録媒体を経て光検出器に到る光路上に配置される1/4波長板の影響を受けることなく、光学系に生じる波面収差を液晶素子によって適正に補正する。 - 特許庁
The optical pickup is provided with a laser light source irradiating an optical disk with a light beam, an objective lens converging the light beam emitted from the laser light source to the optical disk, a first lens correcting astigmatism being wave front aberration of the light beam, a second lens correcting coma aberration being wave front aberration of the light beam, and a photodetector receiving the light beam reflected from the optical disk.例文帳に追加
本発明に係る光ピックアップは、光ディスクに光ビームを照射するレーザ光源と、レーザ光源から照射された光ビームを光ディスクに集光する対物レンズと、光ビームの波面収差である非点収差を補正する第1のレンズと、光ビームの波面収差であるコマ収差を補正する第2のレンズと、光ディスクから反射された光ビームを受光する光検出器と、を備える。 - 特許庁
To satisfy the RMS wave aberration and the ray aberration for both DVD and CD by using a means which shifts a part of the faces of lenses in the direction of the optical axis of optical elements including an objective lens in a region which is used for both DVD and CD.例文帳に追加
対物レンズを含む光学素子のDVDとCDの両方に用いられる領域において、レンズ面の一部を光軸方向にシフトさせる手段を用いて、DVD,CD共に、RMS波面収差と光線収差とを満足すること。 - 特許庁
To provide an inspection apparatus capable of accurately measuring an aberration based on sufficient measurement light quantity without using a very small pin hole for generating a spherical wave.例文帳に追加
球面波を発生させるための極小ピンホールを用いることなく、充分な測定光量に基づいて高精度な収差測定を行うことのできる検査装置。 - 特許庁
To provide a reflector or a reflector system, which can properly control the surface image of a mirror, accordingly, the wave surface aberration, and is especially suitable for radiation of ultraviolet rays.例文帳に追加
ミラーの表面像、従って波面収差を改良制御できる、特に極紫外線放射のための適応したリフレクタまたはリフレクタ・システムを提供すること。 - 特許庁
To enhance correction precision for correcting wave front aberration by removing-working a multi-layer film.例文帳に追加
多層膜を除去加工して波面収差を補正する補正精度をより向上さた多層膜反射鏡、その製造方法、軟X線光学系及び露光装置を提供する。 - 特許庁
To prevent deterioration of a beam spot diameter of an optical beam converged on a surface to be scanned of a photoreceptor, by suppressing generation of wave aberration of the optical beam passed through a liquid crystal element.例文帳に追加
液晶素子を透過した光ビームの波面収差の発生量を抑制し、感光体の被走査面に集光される光ビームのビームスポット径の劣化を防止する。 - 特許庁
System which performs a (coating milling) method for eliminating partly a multilayer film for EUV wave aberration measurement and correction by the same holding state as used for holding the multilayer mirror, is provided.例文帳に追加
EUV波面収差計測と修正のための多層膜を部分的に除去する(Coating Milling)方法を多層膜ミラーを同一ホールディングで行う装置。 - 特許庁
When calibration of wave front aberration measuring equipment is performed, calibration pinhole pattern images PHI' are formed in a plurality of different regions of a measurement opening 46 and each calibration pinhole pattern image PHI' is received by the CCD of a wave front sensor.例文帳に追加
波面収差測定装置の較正を行う際に、測定用開口46の複数の異なる領域に較正用ピンホールパターン像PHI’を結像させ、各較正用ピンホールパターン像PHI’を波面センサのCCDで受光する。 - 特許庁
In the wave front aberration correction mirror for correcting aberration by displacing the mirror surface of a mirror substrate 6 by using a piezoelectric material, an adhesive layer 21 of such a thickness that a mirror side electrode 4a and a piezoelectric material side electrode 4 are not brought into direct contact is provided.例文帳に追加
ミラー基板6のミラー面を圧電材を使用して変位させることにより収差補正する波面収差補正ミラーにおいて、ミラー側電極4aと圧電材側電極4とが直接接触しない程度の厚さの接着層21が設けられている。 - 特許庁
The blue ray compatible objective lens 108 designed with a satisfied aberration property is used for the blue ray optical recording medium, and a DVD system optical path is constituted of a finite system for correcting the wave front aberration caused on the DVD system optical recording medium by infinite system light incidence.例文帳に追加
青色光記録媒体に対し良好な収差特性で設計の青色対物レンズ108を用い、DVD系光記録媒体に無限系入射により発生する波面収差を補正するために、DVD系光路は有限系で構成する。 - 特許庁
To prevent decrease in the speed of response of the liquid crystal panel at low temperatures compared with the rate at normal temperature in an optical head which corrects the aberration of the wave front aberration caused by the tilt angle of an optical disk or the like by using a liquid crystal panel to add a phase to the transmitted light.例文帳に追加
液晶パネルを利用して透過光に位相を与えることにより、光ディスクのチルト角等で発生する波面収差を補正する光ヘッドにおいて、低温時に液晶パネルの応答速度が常温時と比べて低下するのを防止する。 - 特許庁
The wave front correcting mirror 10 comprises a reflection surface 1, a silicone substrate 6, an insulating layer 7, a flatness-correcting electrode 4b, a flatness-correcting piezoelectric layer 2b, a common electrode 4a, an aberration-correcting piezoelectric layer 2a and an aberration-correcting electrode 5, which are all laminated in this order.例文帳に追加
波面補正ミラー10は、反射面1、シリコン基板6、絶縁層7、平面補正用電極4b、平面補正用圧電層2b、共通電極4a、収差補正用圧電層2a、収差補正用電極5が順に積層されて構成されている。 - 特許庁
The optical pickup device is provided with a focus error detection circuit connected to the first light receiving part and detecting the focus error of the light beam on the basis of photoelectric conversion output from it and a wave front aberration error detection circuit connected to the second light receiving part and detecting the wave front aberration of the light beam on the basis of the photoelectric conversion output from it.例文帳に追加
光ピックアップ装置は、第1受光部に接続されかつこれからの光電変換出力に基づいて光ビームの焦点誤差を検出する焦点誤差検出回路と、第2受光部に接続されかつこれからの光電変換出力に基づいて光ビームの波面収差を検出する波面収差誤差検出回路と、を備える。 - 特許庁
A spherical wave SW outputted from a floodlighting optical system 12 is converted into parallel beams PB by a relay lens 14 through a pinhole in a first plane 13 of this wave front aberration measuring device 11 provided on the imaging position of the floodlighting optical system 12.例文帳に追加
投影光学系12から出た球面波SWは、投影光学系12の結像位置に設けられた波面収差測定装置11の第1面13中のピンホールを介して、リレーレンズ14により平行光PBに変換される。 - 特許庁
A first region on the optical path of the first optical system 2 of the liquid crystal element 40 is used instead of a 1/4 wavelength plate, a second region on the light path of the second optical system 3 of the liquid crystal element 40 is used as an aberration correction region for correcting wave front aberration.例文帳に追加
液晶素子40の第1光学系2の光路上にある第1領域は、1/4波長板の代わりとして使用され、液晶素子40の第2光学系3の光路上にある第2領域は、波面収差を補正する収差補正領域として使用される。 - 特許庁
The liquid crystal aberration correction device 4 corrects wave aberration of a light beam advancing to the objective lens, and has a liquid crystal molecule layer 24, a first electrode pattern 41-45 arranged on one surface of the liquid crystal molecule layer and a second electrode pattern arranged on the other surface thereof.例文帳に追加
対物レンズに向かう光線の波面収差を補正する液晶収差補正装置4であって、液晶分子層24と、液晶分子層の一方の面に備えられた第1の電極パターン41〜45と、他方の面に備えられた第2の電極パターンとを有する。 - 特許庁
To provide an optical scanning device which is large in latent comatic aberration and selectively corrects the wave front aberration of an intermediate image height disadvantageous to disturbance (a shape error or fitting error of an optical element), to provide an optical writing device, and to provide an image forming apparatus with the optical scanning device and optical writing device.例文帳に追加
潜在的コマ収差が大きく、外乱(光学素子の形状誤差・取り付け誤差)に対して不利な中間像高の波面収差を選択的に補正する光走査装置、光書込装置、及びその光走査装置と光書込装置を備えた画像形成装置を提供する。 - 特許庁
To provide a small wave front aberration measurement apparatus that can be easily mounted on an exposure system and can quickly and highly accurately measure aberration in an optical system to be inspected, and the exposure system and a device manufacturing method that can improve exposure accuracy and highly accurately and productively manufacture a device.例文帳に追加
露光装置への装着が容易で、被検光学系の収差を迅速、高精度に計測可能な小型の波面収差測定装置、及び、露光精度を向上できて、デバイス等を高精度にかつ生産性よく製造可能な露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a model eye for an ocular characteristic measuring instrument which has various aberration and/or power characteristics by combining a refraction lens and a phase plate for adding aberration and is available for confirming the accuracy of the ocular characteristic measuring instrument in the case of wave front measurement or the like, and a correction method therefor.例文帳に追加
屈折型レンズと収差を付加するための位相板を組み合わせることにより様々な収差及び/又はパワーの特性を有し、波面測定等の眼特性測定装置の精度確認として使用できる、眼特性測定装置用模型眼及びその校正方法を提供する。 - 特許庁
A light receiving portion 85 of the wave-front aberration measuring apparatus 81 is accommodated within a light receiving cabinet 82, placed on a wafer stage for exchange, of almost the same shape as a holder to hold wafer.例文帳に追加
ウエハステージ上に交換可能に載置され、ウエハを保持するホルダとほぼ同一形状の受光筐体82内に波面収差測定装置81の受光部85を収容する。 - 特許庁
To realize a projection aligner in which the wave front aberration of a projection optical system can be measured easily with high accuracy under a state where the projection optical system is mounted on the projection aligner.例文帳に追加
投影光学系の波面収差を、該投影光学系を投影露光装置に搭載した状態で、簡易かつ高精度に測定することができる投影露光装置を実現すること。 - 特許庁
To moderate a constraint about a diameter of a pinhole to moderate a requirement for brightness of a light source, and to enhance measuring precision, in wave front aberration measurement by a pinhole interference method.例文帳に追加
ピンホール干渉法による波面収差測定において、ピンホールの径に対する制約を緩和することにより、光源の輝度に対する要求を緩和すると共に、測定精度を向上させる。 - 特許庁
In the confocal microscope device, a variable mirror wherein the wave front evaluation method is optimized as a cost function is used, to thereby realize aberration correction in the system.例文帳に追加
この共焦点顕微鏡装置では本発明の波面評価方法をコスト関数として最適化される可変鏡を用いることでシステムにおける収差の補正を実現する。 - 特許庁
At the time, lens interval of the beam expander is controlled so that wave front aberration during convergence to the object recording layer is within an allowable range based on an output signal of a light receiver PD.例文帳に追加
このとき、受光器PDの出力信号に基づいて、対象記録層に集光するときの波面収差が許容範囲内となるようにビームエキスパンダのレンズ間隔が制御される。 - 特許庁
Furthermore, the second beam splitter is arranged on the beam route to direct the light reflected from the sample toward the detector for preparing the second wave front having the characteristic of the optical aberration of the sample.例文帳に追加
さらに、第2ビーム・スプリッタを、ビーム経路上に配置して、試料から反射された光を、試料の光学収差の特性を有する第2波面の作成のために検出器に向ける。 - 特許庁
To provide an optical element having a multilayer film that has no crack or peeling of a film, has a small wave aberration, and reduces a change in characteristics and light loss due to an environment.例文帳に追加
膜われ,膜剥がれが無く、波面収差が小さく、しかも環境による特性変化や光損失の小さい多層膜を有する光学素子とその製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide an optical scanner capable of effectively correcting the curvature of scanning line and the deterioration in wave front aberration in an oblique incident type optical scanner, and to provide an image forming apparatus provided with the optical scanner.例文帳に追加
斜め入射方式の光走査装置における走査線曲がりと波面収差の劣化を有効に補正することができる光走査装置および画像形成装置を得る。 - 特許庁
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