「dispersion detection」に関連した英語例文の一覧と使い方(5ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide an angular velocity detector capable of enhancing detection accuracy of vibration control for a vibration object, by reducing dispersion in a cut-off frequency of a filter used in self-excited oscillation for resonance-vibrating the vibration object.例文帳に追加

振動体を共振振動させるための自励発振に用いられるフィルタのカットオフ周波数のばらつきを低減することにより、振動体の振動制御の精度を向上させることができる角速度検出装置を提供することを目的とする。 - 特許庁

To preclude an angle error in an electrical angle of a subordinate signal from being generated affected by an assembling error, sensitivity dispersion in a photo-receiving element, illumination unevenness of an LED and the like, so as to realize detection of highly precise and high resolution.例文帳に追加

組立誤差、受光素子の感度ばらつき、ＬＥＤの照明むらなどに影響されて下位信号の電気角に角度誤差が発生する事態を回避し、高精度・高分解能の検出を実現する光学式エンコーダを提供する。 - 特許庁

The surface temperature distribution of fixing rollers 39a, 39b is measured by infrared sensor units 39c, 39d in a non-contact state, and the fixing operation is started according to the detection showing that dispersion in the surface temperature distribution is within the prescribed range.例文帳に追加

定着ローラ３９ａ、３９ｂの表面温度分布を赤外線センサユニット３９ｃ、３９ｄによって非接触にて測定し、表面温度分布のバラツキが規定範囲内になったことを検出し、これに従い、定着動作を開始する。 - 特許庁

To provide a dispersion type power generation system capable of correcting a deviation of zero-point (offset value) of a measurement power by interrupting a current input signal from a current sensor or interrupting a voltage input signal for voltage detection.例文帳に追加

電流センサからの電流入力信号を遮断したり、電圧検出の電圧入力信号を遮断することで、計測電力の零点（オフセット値）のずれを補正することができる分散型発電システムを提供することを目的とする。 - 特許庁

To provide a charge circuit and a charge method which improve the accuracy in detection of a charge termination current at low cost, by suppressing the influence of the temperature property of a circuit and the dispersion of that temperature property to the utmost, and a storage medium.例文帳に追加

回路の温度特性や該温度特性のバラツキによる影響を極力抑えて、低コストで充電終止電流の検出精度を向上させた充電回路、充電方法および記録媒体を提供することを目的とする。 - 特許庁

The air-fuel ratio control according to the cylinders is performed by estimating the air-fuel ratio of each cylinder based on a detection value of an air-fuel ratio sensor 37, and controlling the air-fuel ratio of each cylinder to reduce air-fuel ratio dispersion among the cylinders based on the estimated air-fuel ratio of each cylinder.例文帳に追加

空燃比センサ３７の検出値に基づいて各気筒の空燃比を推定し、各気筒の推定空燃比に基づいて気筒間の空燃比ばらつきを少なくするように各気筒の空燃比を制御する気筒別空燃比制御を行う。 - 特許庁

To provide a polarized wave dispersion compensation device for reducing the manufacture cost by utilizing the fact that the majority of digital optical transmission systems applies an error detection/correction method so as to increase the transmission speed and a transmission distance supplied by an optical fiber.例文帳に追加

光ファイバーによって与えられる伝送速度および伝送距離を増加するために、デジタル光伝送システムの大半がエラー検出／訂正方法を適用していることを利用して、製造コストを低減した偏波分散補償装置を提供する。 - 特許庁

Therefore, since the timing of flow measurement can be optimized by correcting the period based on the dispersion of detection results and by grasping an accurate pressure fluctuation period, the highly accurate flow measurement not influenced by the pressure fluctuation is realized.例文帳に追加

従って、検出結果のばらつきを基に周期を補正し、正確な圧力変動周期を捉えることにより、流量計測のタイミングを最適化できるので、圧力変動の影響を受けない高精度の流量計測が実現される。 - 特許庁

A correlation between a detection signal and the sine wave signal is calculated by a multiplier 11, a correlation between a correlation output signal and the pseudorandom code 5 is calculated by a cross-correlator 12, and the dispersion of a transmission line is found on the basis of its output.例文帳に追加

検出信号は、乗算器１１で正弦波信号４との相関が計算され、さらに相互相関器１２によって相関出力信号と疑似ランダム符号５の相互相関を算出し、この出力から伝送路分散を求める。 - 特許庁

Thus the positional relation of the direction of the flux M flowing in the core 30 to a magnetic detection gap 32 of the core 30 can be held constant, thereby reducing the dispersion of output characteristics near an initial position of an accelerator position sensor 1 among products.例文帳に追加

したがって、コア３０内を流れる磁束Ｍの方向とコア３０の磁気検出ギャップ３２との位置関係を常に同一に維持できるので、アクセル位置センサ１の初期位置付近における出力特性の製品間ばらつきを低減することができる。 - 特許庁

Characteristic X rays are condensed and guided by means of a poly-capillary X-ray lens 13 having an entrance end face close to a specimen S housed in an irradiation chamber 1 and an exit end face fronting the energy dispersion type detector 10 in a detection chamber 2.例文帳に追加

照射チャンバ１内に収容された試料Ｓに近接して入射端面を、検出チャンバ２内のエネルギー分散型検出器１０に向けて出射端面を有するポリキャピラリＸ線レンズ１３を介して固有Ｘ線を集光及び案内する。 - 特許庁

To provide a detection method of a target material capable of removing an influence caused by dispersion of a fixing state of a probe carried by a probe immobilization carrier to a solid phase carrier on a measurement result of the target material, and the probe immobilization carrier, a device or the like therefor.例文帳に追加

標的物質の測定結果へのプローブ固定担体の有するプローブの固相担体への固定状態のバラツキによる影響を排除できる標的物質の検出方法及びそのためのプローブ固定担体及び装置などを提供すること。 - 特許庁

The present invention provides improving sample collection, filtration, detection, measurement, identification and/or analysis (collectively "analysis") using, for example: dispersion characteristics; sample fragmentation; and/or variations in sample processing such as, without limitation, variations in flow channel/filter field conditions.例文帳に追加

本発明は、例えば、分散特性；サンプル解離；及び／又は、限定はされないがフロー・チャンネル／フィルター電界状態中の変動のようなサンプル処理における変動を使って、サンプル収集、フィルタ、検知、測定、識別及び／又は分析（「分析」と総称）の改善を提供する。 - 特許庁

An arithmetic processing section 11 calculates a phase difference R in a plurality of wavelengths from a detection light intensity Ii(θ) for each wavelength λ to the three polarization azimuths θ, based on a principle of a parallel Nicol rotation method, thereby obtaining the wavelength dispersion characteristic R(λ) of the phase difference.例文帳に追加

演算処理部１１は３つの偏光方位θに対する波長λｉごとの検出光強度Ｉｉ（θ）から平行ニコル回転法の原理に基づいて複数波長における位相差Ｒを算出し、位相差の波長分散特性Ｒ（λ）を得る - 特許庁

In a memory, a cathode current detection signal with the number of bits smaller than the number of bits of a display data signal created to be supplied from a video signal to the respective signals is stored to be utilized for the compensation of dispersion.例文帳に追加

メモリには、得られるカソード電流の変動範囲や精度などの特性に応じ、映像信号から各画素に供給するために作成する表示データ信号のビット数よりも少ないビット数のカソード電流検出信号を記憶し、ばらつき補正に利用する。 - 特許庁

A controller 4 outputs a reset signal K to a dispersion equalization part 6 when intensity of an optical signal deviates from a predetermined range based on output of an optical detection circuit 7 which detects change of the intensity of the optical signal to be input in an ROSA (Receiver Optical Sub-Assembly) 5.例文帳に追加

コントローラ４は、ＲＯＳＡ５に入力される光信号の強度の変化を検知する光検知回路７の出力に基いて、光信号の強度が所定の範囲から外れた場合に、分散等化部６にリセット信号Ｋを出力する。 - 特許庁

To suppress a degradation in detection accuracy due to output dispersion of an operating angle sensor for detecting an operating angle of a control shaft, in a variable valve mechanism for continuously varying a valve lift and a valve operating angle of an engine valve by varying the operating angle of the control shaft.例文帳に追加

制御軸の作動角を変化させることで、機関弁のバルブリフト量及びバルブ作動角を連続的に変える可変バルブ機構において、制御軸の作動角を検出する作動角センサの出力ばらつきによる検出精度の低下を抑制する。 - 特許庁

In this case, the CPU detects the rotational quantity of the motor, and when the detection value reaches a previously determined value, the motor is braked to suddenly stop the motor, so that the rotational quantity of the roller is controlled to fixed quantity independently of the dispersion of the motor or the fixing device.例文帳に追加

その際、ＣＰＵはモータの回転量を検知し、その検知値が予め決められた値になったらモータにブレーキをかけて急停止させることで、モータや定着装置のばらつきに関係なく、ローラの回転量が一定になるように制御することが可能となる。 - 特許庁

To provide a cross-point detection circuit for easily detecting a cross-point of a receiving optical signal and also provide an optical receiving apparatus for optimum control of an electrical waveform equalizing circuit and an optical variable dispersion compensating circuit of the optical receiving apparatus using the detected cross-point value.例文帳に追加

受信光信号のクロスポイントを簡易に検出するクロスポイント検出回路を提供し、検出されたクロスポイント値を用いて光受信装置の電気的波形等化回路や光学的可変分散補償回路を最適制御する光受信装置を提供する。 - 特許庁

A PID control constant can be inputted by a user via a keyboard 25, and when the PID control constant is corrected for properly changing an indicial response in a temperature rise, a valance between a dimension of absorbance and dispersion is adjusted and the detection lower limit value can be lowered.例文帳に追加

ＰＩＤ制御定数はユーザによりキーボード２５を介して入力できるようになっており、ＰＩＤ制御定数を修正して昇温時のインディシャル応答を適当に変化させることにより、吸光度の大きさとばらつきのバランスをとって検出下限値を小さくすることができる。 - 特許庁

A compensation value setting part sets the compensation value of the spare line obtained by the second acquisition part to the variable dispersion compensator instead of the compensation value of the active line obtained by the first acquisition part when a fault of the active line is detected by a fault detection part.例文帳に追加

補償値設定部は、障害検出部によって現用回線の障害が検出された場合に、第１の取得部によって取得された現用回線の補償値に代えて、第２の取得部によって取得された予備回線の補償値を可変分散補償器に設定する。 - 特許庁

The noise level being a comparison reference value is set from the minimum value of a focus signal obtained by moving a focus detection area and measuring the value of the focus signal at a plurality of spots on a photographic image plane, thereby eliminating the dispersion of the performance between the sets of the image pickup device having the automatic focusing function.例文帳に追加

焦点検出領域を移動させ撮影画面の複数箇所で焦点信号の値を測定し得られた焦点信号の最小値から比較基準値となるノイズレベルを設定することにより、自動焦点調節機能の撮像装置のセット間における性能ばらつきをなくす。 - 特許庁

To provide a cross-point detection circuit for easily detecting a cross-point of a receiving optical signal, and to provide an optical receiving apparatus for optimum control of an electrical waveform equalizing circuit and an optical variable dispersion compensating circuit of the optical receiving apparatus using a detected cross-point value.例文帳に追加

受信光信号のクロスポイントを簡易に検出するクロスポイント検出回路を提供し、検出されたクロスポイント値を用いて光受信装置の電気的波形等化回路や光学的可変分散補償回路を最適制御する光受信装置を提供する。 - 特許庁

The fundus observation apparatus corrects the influences of dispersion of reference light LR from the information of eyeballs, then generates the interference light LC from the low coherence light LO and detects this interference light LC to form an OCT fundus image from the detection results.例文帳に追加

眼底観察装置は、眼球情報に基づいて参照光ＬＲの分散の影響を補正し、その補正後に低コヒーレンス光Ｌ０に基づく干渉光ＬＣを生成し、この干渉光ＬＣを検出し、その検出結果に基づいて眼底のＯＣＴ画像を形成する。 - 特許庁

Based on the dispersion width within a fixed time of the position (distance, angle) of an obstacle detected by an obstacle detection means, an obstacle composed of a plurality of reflecting points such as plant, stone fence, or wire gauze, which generates a time-serially non-constant irregular reflection signal is discriminated from general obstacles.例文帳に追加

障害物検知手段で検出した障害物の位置（距離、角度）の一定時間内のばらつき幅に基づいて、時系列的に一定しない乱反射信号を生じる草木、石垣、金網等のような複数の反射点からなる障害物と通常の障害物とを区別する。 - 特許庁

By loading two kinds of sensors which are a methane selective detection gas sensor for selectively detecting methane in a fuel gas and a hydrogen selective detection gas sensor for selectively detecting hydrogen in the fuel gas and separately setting the alarm concentration, the problem of yield decline at the time of sensor selection, like the conventional one in which methane and hydrogen are detected with one sensor, is eliminated and the gas alarm with less dispersion of setting is provided.例文帳に追加

燃料ガス中のメタンを選択的に検知するメタン選択検知ガスセンサと、燃料ガス中の水素を選択的に検知する水素選択検知ガスセンサとの２種類のセンサを搭載して別々に警報濃度の設定を可能とすることで、従来のように1個のセンサでメタンと水素を検知するもののように、センサ選別時の歩留まり低下の問題をなくし、設定のばらつきの少ないガス警報器を提供する。 - 特許庁

To accomplish drive control action at a high speed and high accuracy even when dispersion of a drive circuit of a drive means is generated by previously measuring a drive instruction value and a drive instruction value for drive starting at a rotation detection position of a driven position and performing correction on the drive instruction value according to the value.例文帳に追加

本発明は、予め駆動指令値と被駆動位置の回転検出位置での駆動開始の駆動指令値を測定し、その値に応じて駆動指令値に補正を行うことで、駆動手段のドライブ回路のばらつきが生じた場合でも高速でかつ高精度な駆動制御動作を実現可能とする。 - 特許庁

This optical fiber characteristic measuring device has a constitution wherein pulsed light is inputted into an optical fiber to be measured, and back-scattering light from the optical fiber to be measured relative to the pulsed light is detected by a light detection part, and a Stokes vector is determined and the polarization mode dispersion in the longitudinal direction is measured.例文帳に追加

本発明は、パルス光を被測定光ファイバに入力し、このパルス光に対する被測定光ファイバからの後方散乱光を光検出部が検出してストークスベクトルを求め、長手方向における偏波モード分散を測定する光ファイバ特性測定装置に改良を加えたものである。 - 特許庁

In this torque sensor 10 and its manufacturing method, since the relative position between each outside wiring part 53 and each inside wiring part 54 of a pair of resolvers 50, 50 having the same structure agree with each other between both resolvers 50, 50, each dispersion pattern of detection accuracy of the resolvers 50, 50 moving sequentially with rotation of a torsion bar 14 agrees with each other.例文帳に追加

本発明のトルクセンサ１０及びその製造方法によれば、同一構造の１対のレゾルバ５０，５０における外側巻線部５３と内側巻線部５４との相対位置が両レゾルバ５０，５０の間で一致するので、トーションバー１４の回転に連動したレゾルバ５０，５０の検出精度のばらつきパターンも一致する。 - 特許庁

To reduce dispersion of a differential pressure detection value caused by a temperature change, and to thereby improve inspection accuracy, by suppressing heat exchange between a leak inspection device and an inspection object, and by reducing a temperature change during inspection of the device and the inspection object, concerning the leak inspection device of an air differential pressure type.例文帳に追加

空気差圧式の漏洩検査装置において、該洩検査装置と被検査体との間の熱交換を抑制して、装置及び被検査体の検査中の温度変化を低減することにより、温度変化に起因する差圧検出値のバラツキを低減して、検査精度の向上を図るための技術を提案する。 - 特許庁

In such a manner, since combination of sensors and pattern images in plural colors is varied, even if the dispersion is present in sensitivity property among sensors 61 to 64, the toner adhesion quantity can be accurately detected, the accurate toner adhesion quantity control is made possible by controlling the toner adhesion quantity by applying this detection result.例文帳に追加

これにより、センサと複数色のパターン画像との組み合わせが変わるため、センサ６１〜６４の感度特性にばらつきがある場合でも、トナー付着量を正確に検知することができ、この検知結果を用いてトナー付着量を制御することにより、正確なトナー付着量制御が可能となる。 - 特許庁

An abnormality detection/classification method that checks dispersion in a raw data using a raw back-focal-plane image data of radiation from a substrate surface detected by a scatterometer detector, and associates the variation in the raw data that may possibly occur in the lithographic device or a fault that may possibly occur in a process where the substrate surface is patterned is disclosed.例文帳に追加

スキャトロメータディテクタによって検出された、基板表面からの放射の生の後焦点面像データを使用して、生データ内のばらつきを確認し、生データのばらつきをリソグラフィ装置、または基板表面をパターニングしたプロセスにて起こり得る異常に関連付ける、異常検出／分類方法を開示する。 - 特許庁

The method for manufacturing the toner includes a process of subjecting toner particle dispersion liquid containing toner particles formed in an aqueous medium or organic solvent to solid-liquid separation by using a filter, wherein the clogging of the filter is detected by a detecting means and the regeneration of the filter is performed on the basis of the result of the detection thereof.例文帳に追加

水系媒体中または有機溶媒中で形成したトナー粒子を含有するトナー粒子分散液を、フィルターを用いて固液分離する工程を有するトナー製造方法において、該フィルターの目詰まりを検知手段により検知し、その検知結果に基づいて該フィルターの再生を行うことを特徴とするトナー製造方法。 - 特許庁

To provide a polishing head position adjusting method of a substrate processor capable of observing a torque value by rotation of a substrate without dispersion in polishing speed and in a polishing area even when a plurality of bevel polishing heads are furnished and stabilizing working time with less instrumental variations even in a working end detection mechanism to detect a working end and a polishing head position adjusting fixture.例文帳に追加

ベベル研磨ヘッドが複数個備えてあっても研磨速度及び研磨範囲にバラツキがなく、基板回転によるトルク値を観察し、加工終了を検出する加工エンド検出機構にも機差が少なく、加工時間が安定する基板処理装置の研磨ヘッド位置調整方法及び研磨ヘッド位置調整治具を提供すること。 - 特許庁

In the capacity-type dynamic amount sensor, dispersion in detection sensitivity, the film exfoliation of the electrode and disconnection are reduced, by precisely machining the front and the rear faces of a semiconductor substrate and forming a minute protrusion preventing minute gaps between a movable electrode of the semiconductor substrate, a fixed electrode of an insulator surface or the movable electrode from being brought into contact therewith.例文帳に追加

容量型力学量センサにおいて、半導体基板の可動電極と硝子表面の固定電極と間の微小ギャップや、可動電極が硝子に接合することを防止する微小凸部を、半導体基板の表裏面を精密加工して形成することにより、検出感度のばらつき及び電極の膜剥がれや断線を低減させる。 - 特許庁

On the other hand, this regulator accelerates the discharge by switching on all hardware means (the cell equalizing circuit 12, an overcharge detecting circuit 14, an overdischarge detecting circuit 16, and an input/output processing circuit 18) using it, as to objects with high voltages within the block, based on the detection results of the dispersion of the voltages of each block by a voltage detecting circuit 20.例文帳に追加

一方、電圧検出回路２０による各ブロックの電圧のばらつきの検出結果に基づき、ブロックのうちの電圧の高いものについて、これを電源とするハードウェア手段全て（セル均等化回路１２、過充電検出回路１４、過放電検出回路１６、及び入出力処理回路１８）をオン状態とすることで、その放電を促進する。 - 特許庁

The recording ink contains at least water, a water-soluble organic solvent, a surfactant and carbon black having a hydrophilic group at the surface, wherein the detection amount of the fumic acid eluted in a 20 wt.% dispersion of the carbon black is 5.0 to 20.0 based on the maximum light absorbance measured at a 230 to 260 nm wavelength.例文帳に追加

少なくとも水と水溶性有機溶剤、界面活性剤及び表面に親水基を有するカーボンブラックを含有してなり、該カーボンブラックの２０Ｗｔ％分散液中に溶出するフミン酸の検出量が、２３０〜２６０ｎｍの波長で測定される最大吸光度で５．０〜２０．０であることを特徴とする記録用インク。 - 特許庁

In this solder ball detector of the present invention, average collation with respect to a brightness distribution change of a solder ball image is allowed to reduce a dispersion in recognition scores because a template of the solder ball based on an approximation function is used, and a degree of consistency set in a detection determination condition is able to be thereby minimized in template matching.例文帳に追加

本発明のはんだボール検出装置は、近似関数に基づいたはんだボールのテンプレートを用いるため、はんだボール画像の輝度分布変化に対する平均的な照合となり認識スコアのばらつきが小さくなるため、テンプレートマッチングにおいてその検出判定条件に設定される一致度の低下を最小限にできる。 - 特許庁

To provide a magnetic particle for fixing nucleic acid which fixes an increased quantity of a nucleic acid per unit quantity of the magnetic particles by introducing a large number of functional groups on the surface of the magnetic particle, which shows an excellent dispersion state in an aqueous solution due to a hydrophilicity of the introduced functional groups and which enables the detection of the nucleic acid with high operationality and sensitivity.例文帳に追加

磁性粒子表面に多くの官能基を導入することによって、単位磁性粒子量当たりの固定化核酸量が向上すると共に、導入した官能基の親水性により水溶液中での分散状態にも優れ、高感度で操作性の良い核酸検出が可能な核酸固定用磁性粒子の提供。 - 特許庁

To provide a method for mounting component of mounting component machine having superior applicability, in which a variation from a predicted production time is very small, the slight dispersion of a component mounting position detection, movement duration and operating timing for a plurality of component mounting heads, even when being existed, and a successive component mounting cycle with one head and a recovery mounting process for components which are not mounted can be performed.例文帳に追加

複数の部品実装ヘッドの部品装着位置検出や動作時間・動作タイミングなどに微妙なばらつきがあっても予測した生産時間からの変動がごく小さく、一つのヘッドでの連続した部品実装サイクルの実施や未装着部品のリカバリ実装処理が可能な応用性に優れた部品実装機の部品実装方法を提供する。 - 特許庁

The endoscope system 1 comprises an optical fiber 12, a light source device 23 at an end of the optical fiber 12 for emitting incident light 41A including reference wavelength signals as the reference, a detection part 26, and a control device 3 for computing the Bragg wavelength defect information in transmitted light and the quantity of dispersion of the Bragg wavelength and detecting the quantity of distortion of the optical fiber 12.例文帳に追加

内視鏡システム１は、光ファイバ１２と、光ファイバ１２の一端に基準となる基準波長信号を含む入射光４１Ａを出射させる光源装置２３と、検出部２６と、透過光におけるブラック波長欠陥情報及びそのブラック波長の偏移量を求め、光ファイバ１２の歪み量を検出する制御装置３とを有している。 - 特許庁

IN the configuration for acquiring bit information by detecting a difference among a plurality of electronic watermarks, the dispersion of electronic watermark patterns is reduced by executing pre-embedding or corrected embedding of an electronic watermark having a strength for canceling a detection value acquired by electronic watermark detecting to an original image concerning a plurality of electronic watermark patterns to become a difference detecting object.例文帳に追加

複数の電子透かしの差分検出によりビット情報取得を行なう構成において、差分検出処理対象となる複数の電子透かしパターンについて、元画像に対する電子透かしパターン検出処理により取得される検出値を相殺する強度の電子透かしパターンの予備埋め込み、または修正埋め込みを実行して、電子透かしパターンの分散を低減する。 - 特許庁

To provide a DNA chip substrate capable of improving the accuracy of optical detection after hybridization, which is the DNA chip substrate made of amorphous carbon having little light reflection and thickness dispersion, and excellent in surface smoothness, warping property and a DNA immobilization efficiency, and a manufacturing method capable of acquiring easily the DNA chip substrate made of the amorphous carbon.例文帳に追加

光反射、厚みばらつきが少なく、表面平滑性、そり性、ＤＮＡ固定化効率に優れたアモルファスカーボン製のＤＮＡチップ基板であって、このＤＮＡチップ基板を用いることによってハイブリダイゼーション後の光学検出の精度を向上することが可能であるＤＮＡチップ基板の提供、及びこのアモルファスカーボン製のＤＮＡチップ基板を容易に得ることができる製造方法の提供。 - 特許庁

To provide a polishing laminate which is used for a polishing pad suitable for surface flattening work of a semiconductor device wafer such as an interlayer insulation film or metallic wiring, allows optical detection of a terminal point of polishing, and realizes high accuracy polishing by solving problems of in-plane dispersion and aging fluctuation of the polishing pad with an aperture complying with an optical detecting method of conventional structure.例文帳に追加

層間絶縁膜や金属配線等の、半導体デバイスウエハの表面平坦化加工に好適な研磨パッドに用いられる、光学的に研磨の終点検知が可能な研磨用積層体を提供するためのもので、その目的とするところは、従来構造の光学的検知法に対応した窓付き研磨パッドの、面内ばらつきや経時変動の問題を解消し、高精度の研磨を実現することのできる研磨用積層体を提供すること。 - 特許庁