ion Aの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 21353件
The implantation method has a step of scanning a substrate with an ion beam along a series of scan lines extending in a first direction, a step of providing relative rotation between the substrate and the ion beam, and a step of scanning the substrate with the ion beam along a series of second scan lines in a different direction.例文帳に追加
注入方法に関し、第1の方向に延びる一連の走査線に沿って基板に対してイオンビームを走査するステップと、該基板と該イオンビーム間の相対的な回転をもたらすステップと、異なる方向に一連の第2の走査線に沿って該イオンビームを走査するステップとを備えている。 - 特許庁
A cell is cultured in a cell culture chamber 5 and a metal ion capable of producing a chelate compound between the metal ion and a protein and a lysozyme are fed from a liquid inlet 3 to the cell and a cell membrane of the cell is broken by heating and the chelate compound is produced from the protein and its metal ion.例文帳に追加
細胞培養チャンバー5で細胞を培養した後、液入口3からタンパク質との間にキレート化合物を生成しうる金属イオン及びリゾチームを供給し、加熱して、細胞の細胞膜を破壊し、タンパク質とその金属イオンによりキレート化合物を生成させる。 - 特許庁
To provide a separator for a lithium ion secondary battery capable of keeping a form as a porous film up to a temperature above 200°C, and of securing high-temperature stability, and easily manufacturable; a lithium ion secondary battery using it; and a manufacturing method of a lithium ion secondary battery.例文帳に追加
200℃以上までの多孔性膜としての形態保持が可能で高温安定性の確保が図れ、さらに高温安全性の向上が図れ、製造も容易であるリチウムイオン二次電池用セパレータ、これを用いるリチウムイオン二次電池、及びリチウムイオン二次電池の製造方法を得る。 - 特許庁
A color laser print 1 with which the multi-color image is obtained by sequentially transcribing each color toner image (positive polarity) of magenta (M), cyan (C), yellow (Y) and black (BK), is provided with an ion supply unit 20 which transmits the ion air containing ion of negative polarity and a feed tube 22 which feeds the ion air to a predetermined part.例文帳に追加
マゼンタ(M)、シアン(C)、イエロー(Y)、ブラック(BK)の各色トナー像(正極性)を順次転写して多色画像を得るカラーレーザプリンタ1において、負極性のイオンを含むイオンエアーを送出するイオン供給ユニット20と、そのイオンエアーを所定部位へ送給する送給チューブ22とを備える。 - 特許庁
A polymer which contains zinc ion, calcium ion, or magnesium ion and polymerized residues of 0.5 to 7 wt.% itaconic acid and 4 to 15 wt.% (meth)acrylic acid is prepared by forming a polymerization mixture having from 0.5 to 8 wt.% of a di-(meth)acrylate salt of zinc, calcium, or magnesium ion.例文帳に追加
0.5〜8重量%の亜鉛、カルシウムもしくはマグネシウムイオンのジ(メタ)アクリラート塩を有する重合混合物を形成し、亜鉛イオン、カルシウムイオンもしくはマグネシウムイオン;0.5〜7重量%のイタコン酸および4〜15重量%の(メタ)アクリル酸の重合残基を含むポリマーを製造する。 - 特許庁
When a silicide block layer 10 is removed by a reactive-ion etching, it is set up to enhance the voltage amplitude value Vpp of a high-frequency bias electric power for ion drawing-in after detecting an end point of the reactive-ion etching rather than before detecting the end point of the reactive-ion etching.例文帳に追加
シリサイドブロック層10を反応性イオンエッチングで除去する際、反応性イオンエッチングの終点検出前よりも反応性イオンエッチングの終点検出後のほうが、イオン引き込み用のバイアス高周波電力の電圧振幅値であるVppが高くなるように設定する。 - 特許庁
To provide an negative ion generator capable of maintaining the generation of negative ion over a long period of time by sticking particles of a material for generating negative ion, firmly onto the surface of a resin substrate while having an antistatic function for the resin substrate surface without impairing an negative ion generating function.例文帳に追加
マイナスイオンを発生する材料の微粒子を樹脂基体上に、そのマイナスイオン発生機能を損なうことなく、樹脂基体表面の帯電防止機能を有し、強固に基体表面に固着させることにより、長期にわたってマイナスイオンの発生が維持できるマイナスイオン発生体を提供する。 - 特許庁
In this operating condition detecting device for the internal combustion engine, a first ion current detecting signal Si1 capable of easily detecting a fine signal component, and a second ion current detecting signal Si2, capable of detecting the whole waveform of ion current are outputted from an ion current detecting circuit 29.例文帳に追加
本実施例の内燃機関の運転状態検出装置では、微小な信号成分の検出が容易な第1イオン電流検出信号Si1と、イオン電流波形全体の検出が可能な第2イオン電流検出信号Si2とが、イオン電流検出回路29から出力される。 - 特許庁
The stencil mask for ion implantation has a through hole pattern for ion implantation formed at a thin film part supported on a support wherein an ion absorbing layer is formed at least on the side (surface side) of the thin film part being irradiated with an ion beam.例文帳に追加
支持体に支持された薄膜部にイオン注入用の貫通孔パターンを形成してなるイオン注入用ステンシルマスクであって、前記薄膜部の少なくともイオンビームが照射される側(表面側)に、イオン吸収層を形成したことを特徴とするイオン注入用ステンシルマスク。 - 特許庁
This storage is constituted so that the negative ion generator 9 may be movable so as to unify the negative ion concentration in the storage 2, and a guide composed of a hardly charged material may be installed at a supply opening of the negative ion generator 9 so that the air containing the negative ion may blow against the container 10 in the storage 2.例文帳に追加
負イオン発生器を移動可能とし、保存庫内の負イオン濃度が均一になるようにし、また、負イオン発生器の吹き出し口に帯電しにくい素材で構成されたガイドを設け、負イオンを含んだ空気が庫内のコンテナに均一に当たるようにした。 - 特許庁
An ion exchange membrane which is fixed to a base material and comprises perfluorocarbon copolymer having an ion exchange group is bonded to a gas diffusing electrode by using an adhesive containing the perfluorocarbon copolymer having the ion exchange group as a solute, and thereafter, the base material is peeled from the ion exchange membrane.例文帳に追加
基材に固定された、イオン交換基を有するパーフルオロカーボン重合体からなるイオン交換膜と、ガス拡散電極とを、イオン交換基を有するパーフルオロカーボン重合体を溶質として含む接着剤を用いて接合した後、前記基材をイオン交換膜からはく離する。 - 特許庁
To provide a method for substantially completely adsorbing to remove a tetraalkyl ammonium ion (TAA ion) by an ion exchange resin regardless of the presence of coexistent ions and a pH of the drainage, and also easily regenerating the ion exchange resin after use when water is recovered from the drainage containing the TAA ions.例文帳に追加
テトラアルキルアンモニウムイオン(TAAイオン)含有排水から水を回収するに当たって、共存イオンの存在や排水のpHに係わり無くイオン交換樹脂によりTAAイオンを実質的に完全に吸着除去し、且つ、使用後のイオン交換樹脂の再生が容易な方法を提供する。 - 特許庁
To provide a composite structure for oxygen ion transport suitably used in a high efficient applied device for an oxygen ion transport, especially the composite structure for oxygen ion transport capable of fixing in high integration oxygen ion transport ceramics into a metal reaction container.例文帳に追加
高効率な酸素イオン輸送応用装置に好適に使用できる酸素イオン輸送用複合構造体であって、特に、酸素イオン輸送性セラミックスを金属製反応容器に集積度高く固定することを可能にする酸素イオン輸送用複合構造体を提供する。 - 特許庁
This light-emitting element comprises an organic compound layer between an positive electrode and a negative electrode, and the organic compound layer contains 50 mass % or more of an ionic transition metal complex containing a transition metal ion selected from a group of iridium ion, platinum ion and rhenium ion.例文帳に追加
本発明の発光素子は陽極と陰極の間に有機化合物層を有する素子であり、有機化合物層がイリジウムイオン、白金イオン及びレニウムイオンからなる群から選ばれる遷移金属イオンを含むイオン性遷移金属錯体を50質量%以上含有することを特徴とする。 - 特許庁
To provide a stencil mask for ion implantation, which is used in an ion implantation process in the manufacture of a semiconductor device, has excellent ion irradiation resistance, and stably carries out high precision and high purity ion implantation for a long period of time.例文帳に追加
半導体デバイスの作製におけるイオン注入工程で使用するイオン注入用ステンシルマスクであって、イオン照射耐性に優れ、長時間に渡って、高精度かつ高純度のイオン注入を安定して行うことができるイオン注入用ステンシルマスクを提供する。 - 特許庁
This method for using the ion exchange resin comprises combinedly using (A) an acidic ion exchange resin having a protonic acid type residue with (B) an ion exchange resin having a protonic acid alkali metal salt type residue in the chemical reaction using the acidic ion exchange resin as the catalyst.例文帳に追加
触媒として酸性イオン交換樹脂を用いる化学反応において、プロトン酸型の残基を有する酸性イオン交換樹脂(A)と、プロトン酸のアルカリ金属塩型の残基を有するイオン交換樹脂(B)とを組み合わせて用いることを特徴とするイオン交換樹脂の使用方法。 - 特許庁
To provide an ion generation element and an ion generator capable of efficiently performing ionization, in relation to an ion generation element and an ion generator for ionizing a circumferential atmosphere by applying a voltage to electrodes arranged oppositely to each other through a dielectric material.例文帳に追加
誘電体を介して対向して配置された電極に電圧を印加することにより周囲の雰囲気をイオン化するイオン発生素子及びイオン発生装置に関し、効率よくイオン化を行なうことができるイオン発生素子及びイオン発生装置を提供することを目的とする。 - 特許庁
A wall shaped magnetic body member surrounding an ion beam is arranged on a route of the ion beam, and so as to surround a magnetic field formed inside the magnetic member by an ion beam electric current, a coil is formed by winding around a conductive wire in one part of the magnetic member.例文帳に追加
イオンビームの経路上にイオンビームを囲む壁状の磁性体部材を配置し、イオンビーム電流によって磁性体部材の内部に生じる磁界を囲むよう、磁性体部材の一部に導電線を巻き回してコイルを形成する。 - 特許庁
To provide the ion exchange resin keeping method of a condensate demineralizer equipped with a mixed bed type ion exchange column capable of suppressing a fall in the capacity of an ion exchange resin and capable of rapidly bringing the condensate demineralizer from a stop state to a water passing state.例文帳に追加
イオン交換樹脂の性能低下を抑制することが可能でかつ、復水脱塩設備を停止状態から迅速に通水可能ならしめる混床式イオン交換塔を備える復水脱塩設備のイオン交換樹脂保管方法を提供する。 - 特許庁
A desired ion species is selected by a mass spectrometry slit 118, put into an angle correction apparatus 120, changed into a w_2 width ribbon form ion beam parallel in a horizontal plane (xz plane), and ion implantation is carried out to a workpiece 124 in an end station 122.例文帳に追加
所望のイオン種を質量分析スリット118で選別し、角度補正装置120に入れ、水平面(xz面)内で平行な幅w_2のリボン形イオンビームに変換して、エンドステーション122内の加工物124にイオン注入する。 - 特許庁
The oxidation hair dye or the bleaching agent composition contains (A) ammonia or an ammonium ion, (B) a carbonate ion or a bicarbonate ion, (C) an amino-modified silicone or methylpolysiloxanes, (D) a cationic polymer, (E) a dye (not contained in the bleaching agent) and (F) an oxidizing agent.例文帳に追加
(A)アンモニア又はアンモニウムイオン、(B)炭酸イオン又は炭酸水素イオン、(C)アミノ変性シリコーン又はメチルポリシロキサン類、(D)カチオン性ポリマー、(E)染料(脱色剤には含有しない)及び(F)酸化剤を含有する酸化染毛剤又は脱色剤組成物。 - 特許庁
To satisfy a demand of high electric field intensity that is perpendicular to the ion drift direction for improving the skirting of the generation of a short pulse of an ion segment, and satisfy a demand of a parallel electric field so as to make the same ion trajectory to obtain a high resolution.例文帳に追加
高分解能を実現するために必要なイオン切り出しの短パルス化において裾切れを良くするためにイオンのドリフト方向に対して垂直な高電界強度及びイオン軌道を同じくするために平行電界が要求される。 - 特許庁
To simplify a process for ion-exchanging by an ion-exchange aqueous solution in a process for manufacturing an artificial zeolite, and to reduce a facility cost and a running cost and to shorten a treating time, while enabling to carry out the sufficiently satisfactory ion-exchange.例文帳に追加
人工ゼオライトを製造する工程におけるイオン交換水溶液によるイオン変換の工程を簡素化し、充分に満足できるイオン変換を行うことができながら、設備コスト及びにランニングコストの低減と処理時間の短縮を図ること。 - 特許庁
To provide a fluoride ion capturing material which can be used not only in a general-purpose mixing method but also in a liquid-through vessel or column when a fluoride ion of low concentration is removed by the fluoride ion capturing material, simplifies a discharge operation of the treated liquid and is made inexpensive.例文帳に追加
イオン捕捉材により低濃度フッ化物イオンを除去する場合、汎用の混合処理方法に加え、通液性容器やカラムが使用でき、処理液の排出操作が簡便な低価格捕捉材の提供が求められている。 - 特許庁
The alkali metal ionic conductive solid electrolyte consists of a composite glass containing an inorganic salt consisting of the alkali metal ion and a halide ion and an organic salt consisting of a halide ion and a cation of an organic molecule having a quinolinium structure.例文帳に追加
アルカリ金属イオン伝導性の固体電解質であって、前記アルカリ金属イオンとハロゲン化物イオンとからなる無機塩と、キノリニウム骨格を有する有機分子の陽イオンとハロゲン化物イオンとからなる有機塩とを含有する複合ガラスである。 - 特許庁
A gate electrode 3 is provided over a straight line orbit B where the ion outgoing is flying from an ion source 1, and the ion is introduced over a circumvolant orbit A when a voltage is applied to the gate electrode 3 from the MS mode changeover controller 7.例文帳に追加
イオン源1から出射したイオンが飛行する直線軌道B上にゲート電極3を設け、MSモード切替制御部7からゲート電極3に電圧が印加されたときにはイオンが周回軌道Aに導入されるようにする。 - 特許庁
To provide an indoor wall surface finishing method capable of easily and optionally adjusting a negative ion quantity required in a room by adjusting its covering area, by combining a finishing material generating no negative ion with a finishing material generating a negative ion.例文帳に追加
マイナスイオンが発生しない仕上材とマイナスイオンを発生する仕上材を組合わせ、その被覆面積を調整することにより室内で必要とするマイナスイオン量を容易で、任意に調節することができる室内壁面の仕上方法を提供する。 - 特許庁
Endowed with an oxidant electrode containing catalyst ion exchange resin, ion exchange resin consists of a segment made of a polymer having a sulfonic acid group and a segment made of a fluorine-containing polymer virtually without an ion exchange group.例文帳に追加
触媒イオン交換樹脂とを含有する酸化剤極を有し、該イオン交換樹脂は、スルホン酸基を有するポリマーからなるセグメントと実質的にイオン交換基を有しない含フッ素ポリマーからなるセグメントとからなる固体高分子型燃料電池。 - 特許庁
To assemble a device configuration so that a metal ion concentration of fuel is lowered, even if there occurs lack in a capacity of a metal ion remover 16, in a fuel supply device 1.例文帳に追加
燃料供給装置1において、金属イオン除去手段16の能力不足が発生しても、燃料の金属イオン濃度を下げることができるように装置構成を組み立てる。 - 特許庁
A calcium component in sulfate ion-contg. waste water is removed in a hardness reducing device 1 and after the waste water is treated by a flocculator 2 and a filter 3, the sulfate ion is concentrated in a membrane separator 4.例文帳に追加
硫酸イオン含有排水中のカルシウム成分を硬度低減化装置1で除去し、凝集装置2及び濾過装置3で処理後、膜分離装置4で硫酸イオンを濃縮する。 - 特許庁
An ion generating device comprises a propeller 100 having a blade 111, and an ion generating element 121 having a dielectric 131, a plate electrode 141 and a discharge electrode 151.例文帳に追加
イオン発生機は、羽根111を有するプロペラ100と、誘電体131と平板電極141と放電電極151とを有するイオン発生素子121と、を備えている。 - 特許庁
A gallium ion (Ga3+) is irradiated from an ion gun 11 of a FIB device 9 to an exposed surface 22 again by exposing a cross section through a cleavage or FIB processing a semiconductor material.例文帳に追加
半導体試料をへき開またはFIB加工して断面を露出させ、当該露出面22に再度FIB装置9のイオン銃11からガリウムイオン(Ga3+)を照射する。 - 特許庁
This apparatus is provided with an ion gun 6 for ejecting an ion beam and a treatment room 4, through a mass separation machine 2 for selecting ions, a post-acceleration tube 3, a Q lens system 15 and a deflector 16.例文帳に追加
イオンビーム6を放出するイオン源と、イオン選別用質量分離2、後段加速管3、Qレンズ系15、偏向器16などを経て処理室4が設置されている。 - 特許庁
To support an ion-exchange membrane to stabilize a base line of a chromatogram, and to reduce a flow channel resistance by a support body thereof to prevent a load applied to the ion-exchange membrane from getting high.例文帳に追加
イオン交換膜を支持してクロマトグラムのベースラインを安定化するとともに、その支持体による流路抵抗を小さくしてイオン交換膜にかかる負荷が大きくなるのを防ぐ。 - 特許庁
To obtain a negative ion generating ceramic material capable of stably generating a negative ion using a raw material ore in which an uranium series or a thorium series nuclide is contained, and to provide a producing method therefor.例文帳に追加
ウラン系列又はトリウム系列各種を含む鉱石を原料としたマイナスイオンを安定して発生させるマイナスイオン発生セラミック物質及びその製法を提供する。 - 特許庁
This ion implanter includes an implanting control apparatus 26a having a function for sweeping an ion beam by a sweep magnet 12 and a function for controlling a scanning of target by a scanning mechanism 16.例文帳に追加
このイオン注入装置は、スイープマグネット12によるイオンビームのスイープおよびスキャン機構16によるターゲットのスキャンを制御する機能を有する注入制御装置26aを備えている。 - 特許庁
To provide a control device capable of effectively generating a negative ion, without increasing the number of part items of a control circuit, in a combustor having a negative ion generator.例文帳に追加
マイナスイオン発生器を備えた燃焼器に関して、制御回路の部品点数を増やすことなく、効果的にマイナスイオンを発生することのできる制御装置を提供すること。 - 特許庁
A first mixture including a first raw material that forms a first polymer and ion liquid is mixed with a solvent which causes phase separation to the ion liquid to form a second mixed solution.例文帳に追加
第1の高分子となる第1原材料とイオン液体とを含む第1混合溶液と、前記イオン液体に対して相分離を起こす溶媒とを混合して第2混合溶液とする。 - 特許庁
(1) (M^2+ is a divalent metal ion; M^3+ is a trivalent metal ion; A^n- is an n-valent anion; x and m satisfy conditions of 0<x<0.6 and 0≤m<2).例文帳に追加
(M^2+)_1-x(M^3+)_x(OH)_2(SO_4)_0.5x・mH_2O …(1)(但しこれら式中、M^2+は2価の金属イオン、M^3+は3価の金属イオンを示し、A^n-はn価のアニオンを示す。また式中、x、a、bおよびmは下記条件を満足する。0<x<0.6,0≦m<2) - 特許庁
As the working ion beam, two kinds of the focusing ion beam 11 having a high image resolution and the edge working ion beam 12 to be used for the large current beam and capable of sharply working a cross sectional edge part are prepared, and the high working position accuracy is realized even in the case of the large current ion beam.例文帳に追加
加工用のイオンビームとして、像分解能が高い集束イオンビーム11と、大電流ビームに用いる断面エッジ部がシャープに加工できるエッジ加工用イオンビーム12の2種類用意し、大電流イオンビームでも高加工位置精度を実現する。 - 特許庁
An image used for setting the ion beam scanning prohibition region is superposed without a deviation on the FIB image acquired on a region excluding the ion beam scanning prohibition region to form an image including the ion beam scanning prohibition region where ion beam scanning is not performed.例文帳に追加
その後、イオンビーム走査禁止領域を除く領域について取得されるFIB画像に、イオンビーム走査禁止領域の設定に使用した画像をずれ無く重ね合わせ、イオンビーム走査を行っていないイオンビーム走査禁止領域を含む画像を形成する。 - 特許庁
A valve 47 capable of high speed opening and shutting is provided in the gas piping 48 for cooling gas that is used for increasing ion holding performance in the ion trap 4, and a control part 7 closes the valve 47 at ion introduction and ion discharge, and opens the valve 47 only at cooling operation.例文帳に追加
イオントラップ4内でのイオンの保持性能を上げるために利用されるクーリングガスのガス配管48中に高速開閉が可能なバルブ47を介挿し、制御部7はイオン導入時とイオン排出時にはバルブ47を閉じ、クーリング動作時のみバルブ47を開く。 - 特許庁
Ions generated from an RF type ion generating source 11 of an ion implantation device 10 is applied to a wafer W in an ion implantation chamber 15 through an ion acceleration part 12, an energy filter 13 and a scanning part 14, so that particles are secondarily generated from the wafer W.例文帳に追加
イオン注入装置10のRF型イオン発生源11から発生されたイオンが、イオン加速部12、エネルギフィルタ13、走査部14を介して、イオン注入室15のウエハW上に照射されと、ウエハWから二次的に粒子が発生される。 - 特許庁
The antimicrobial/mildewproofing agent is obtained by containing a salt of the heteropoly acid in which a part or all of hydrogen ions in the heteropoly acid are replaced with one or two or more kinds of ions selected from the group consisting of an alkali metal ion, an alkaline earth metal ion, an ammonium ion and an alkylammonium ion.例文帳に追加
ヘテロポリ酸の水素イオンの一部又は全部を、アルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオン、アンモニウムイオン、及びアルキルアンモニウムイオンからなる群より選ばれる1種又は2種以上のイオンで置換したヘテロポリ酸の塩を含有してなる抗菌・防カビ剤とする。 - 特許庁
This method for manufacturing the ion exchange resin membrane comprises applying a reaction liquid to the ion exchange resin precursor membrane bearing an ion exchange group precursor and carrying out a hydrolysis treatment of the ion exchange group precursor while continuously transporting the precursor membrane while holding the both ends thereof.例文帳に追加
イオン交換基前駆体を有するイオン交換樹脂前駆体膜に反応液体を塗布し、前駆体膜の両端を把持して連続的に搬送しながらイオン交換基前駆体の加水分解処理を行うことからなるイオン交換樹脂膜の製造方法。 - 特許庁
While at least a part of the ion already caught stays in the ion trap 4, the application of the high-frequency voltage is restarted, and, the newly led ion is caught in addition to the past one to increase a volume of the ion accumulated for mass spectroscopy.例文帳に追加
それまでに捕捉していたイオンの少なくとも一部がイオントラップ4内に留まっている間に高周波電圧の印加を再開することで、それまでのイオンに加えて新たに導入したイオンを捕捉し、蓄積するイオンの量を増やして質量分析を行う。 - 特許庁
This device is provided with an ion current detection part 3 detecting ion current corresponding to ion generated during combustion of air fuel mixture in a combustion chamber and a one chip microcomputer 4 directly receiving detection signal of the ion current detection part 3 and converting the same to digital data and storing the same.例文帳に追加
燃焼室の混合気の燃焼時に発生するイオンに対応したイオン電流を検出するイオン電流検出部3と、イオン電流検出部3の検出信号を直接的に受け、デジタルデータに変換して記憶するワンチップマイコン4とを備える。 - 特許庁
To provide an ion exchanger which uses a porous ion exchange membrane, has sufficiently large ion exchange capacity and does not have problem of treated water contamination due to elution of a packed material or the like and to provide an ultrapure water manufacturing apparatus using the ion exchanger.例文帳に追加
多孔質イオン交換膜を用いたイオン交換装置であって、イオン交換容量が十分に大きく、充填物の溶出等による処理水汚染の問題のないイオン交換装置と、このイオン交換装置を用いた超純水製造装置を提供する。 - 特許庁
Ions generated by an ion generation source 1 are introduced into an ion trap 2; the ions are selected and cleaved in the ion trap 2 and thereafter the various kinds of fragment ions are extracted from the ion trap 2 and put on an orbit A through an gate electrode 31 in a main flight space 3.例文帳に追加
イオン発生源1で発生させたイオンをイオントラップ2に導入し、イオントラップ2内でイオン選別及びイオン開裂を行った後に各種フラグメントイオンをイオントラップ2から引き出し、主飛行空間3でゲート電極31を介して周回軌道Aに乗せる。 - 特許庁
To provide an ion implanter capable of carrying out the implantation of a plurality of ion types in parallel, setting desired conditions to each different ion type, and performing a plurality of ion implantations with excellent processing efficiency and low cost.例文帳に追加
複数の異なるイオン種の注入を並行して実行でき、異なるイオン種に対しそれぞれ独自に所望のイオン注入条件を設定でき、良好な処理効率で低コストの複数種のイオン注入を行うことの可能なイオン注入装置を提供する。 - 特許庁
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